CN103657269A - 空气净化装置及其试验系统 - Google Patents

Abstract

提供一种空气净化装置及其试验系统，作业者能够在目视直接观察取样探测器的同时，容易地对空气净化部的试验用粒子进行取样。空气净化装置（100）具有：上游侧检测部（111），在外壳（1）内的空气净化部（2）的泄漏试验时，在空气净化部（2）的上游侧的外壳下部（1A）的外侧捕捉空气；取样探测器（8），能够在空气净化部（2）的下游侧的外壳上部（1B）内自由移动，在泄漏试验时，捕捉空气净化部的下游侧的外壳上部（1B）内的空气；操作部（14），配置在下游侧的外壳上部（1B），移动操作取样探测器（8）；观察窗（115），位于下游侧的外壳上部（1B），配置在操作部（14）上方的位置，用于作业者目视确认取样探测器。

Description

空气净化装置及其试验系统

技术领域

本发明涉及在使用化学有害物质的作业场所中，例如抗生物质的制造室等的排气系统中使用的空气净化装置及其试验系统。

背景技术

例如，在抗生物质的制造室等使用化学有害物质的制造现场，使制造现场的氛围气通过空气净化装置，由此防止化学有害物质向制造现场的外部流出。空气净化装置使用对0.3μm的DOP（邻苯二甲酸二辛酯）粒子具有99.97%以上的过滤效率的HEPA过滤器（高效空气过滤器）或者对0.1μm的粒子具有99.999%以上的过滤效率的ULPA过滤器（超高效空气过滤器）等。这样的空气净化装置公开在例如专利文献1和专利文献2中。其空气净化单元是在由钢或者SUS（不锈钢）制成的外壳内安装有HEPA过滤器的单元，过滤包含流入空气净化装置的有害物质的空气，只将清洁的空气排出室外。

在空气净化装置的HEPA过滤器中，随着空气的过滤，不但堆积有害物质而且堆积粉尘。因此，HEPA过滤器由于堵塞导致圧力损失增加，因而需要定期更换。

HEPA过滤器和外壳的密封部一般是通过海绵垫片保持气密性，由于垫片随时间劣化，存在从密封部产生泄漏的可能性。因此，在更换HEPA过滤器时或者运转一定期间后等，需要定期地进行泄漏试验，确认没有来自HEPA过滤器或密封部的泄漏。

下面对该泄漏试验进行说明，空气净化装置的泄漏试验是通过如下方式进行的：向HEPA过滤器的上游侧的外壳内供给试验用粒子，检测HEPA过滤器的上游侧和下游侧的试验用粒子浓度（参见专利文献1的图13）。泄漏试验按照以下方式进行。

（1）向空气净化装置送风。

（2）向空气净化装置的上游侧的外壳投入试验用粒子（例如粒径0.3μm的DOP粒子）。

（3）利用粒子检测器（例如粒子计数器），测定HEPA过滤器的上游侧的试验用粒子浓度。

（4）同样地，测定HEPA过滤器的下游侧的试验用粒子浓度。

（5）根据HEPA过滤器上游和下游的试验用粒子浓度的比，确认来自HEPA过滤器的泄漏在规定的水平以下。

另外，近年来，希望出现具有如下构造的空气净化装置的用户正在增加：该构造使得能够在HEPA过滤器安装状态下进行泄漏试验，该泄漏试验伴随着作业者进行的探测器的扫描作业。已知用于进行HEPA过滤器的泄漏试验的、例如专利文献3记载的高性能过滤器检查装置。在专利文献3记载的检查装置中，采用中间夹着过滤器的方式，以较小的间隔使过滤器的上游侧的粒子供给部和过滤器的下游侧的取样探测器彼此相对，并且，具有在保持粒子供给部和取样探测器的相对位置关系的状态下，使粒子供给部和取样探测器对整个过滤器进行扫描的同步扫描机构。专利文献3的检查装置可高效率地进行试验用粒子的供给和检测，因此，具有能够以较少的粒子供给量较高精度地检测过滤器的泄漏的优点。

【专利文献1】日本特开2002-214115号公报

【专利文献2】日本特开2009-50831号公报

【专利文献3】日本特开平8-110294号公报

然而，在专利文献1和专利文献2公开的空气净化装置中，由于HEPA过滤器应用在排气系统中，因此，与空气净化装置外的圧力相比，HEPA过滤器的下游侧成为负圧。因此，在泄漏试验中，空气净化装置外的粒子被吸引到HEPA过滤器的下游侧，为了不妨害对泄漏粒子的检测，HEPA过滤器的下游侧必须与空气净化装置的外部高气密性地阻断。因此，在空气净化装置的泄漏试验中，不能将HEPA过滤器的下游侧开放于空气净化装置外的氛围气，因此，作业者无法像在HEPA过滤器的下游侧形成清洁空间的通常的净化室那样，在吹出口手持探测器进行泄漏试验。

通常使用如下检测方法：利用空气净化装置的外壳或者设置固定配管等，由此，在过滤器下游侧形成相对于空气净化装置的外部气密的通气路径，检测泄漏的粒子。然而，在使用该检测泄漏的粒子的方法时，存在下面的问题。

（1）当HEPA过滤器的下游侧的试验用粒子取样位置接近HEPA过滤器时，在远离取样位置的场所存在泄漏的情况下，无法对从该泄漏处漏出的试验用粒子进行取样，有时导致未发现泄漏。

（2）当为了可靠地检测从泄漏处漏出来的试验用粒子，将HEPA过滤器的下游侧的取样位置设为离HEPA过滤器足够远的位置时，由于漏出来的试验用粒子被通过HEPA过滤器的正常部分的清洁空气稀释，因此，有时导致未发现较小的泄漏。

另外，专利文献3记载的高性能过滤器检查装置是用于检测HEPA过滤器的泄漏的装置，因此，在例如已将HEPA过滤器安装到空气净化装置上时，无法对安装的缺陷或者垫片的劣化等由于安装而造成的泄漏进行检测。因此，专利文献3记载的高性能过滤器检查装置未必适合对在实际上已将HEPA过滤器设置在空气净化单元上的情况下有无泄漏进行检查。

因此，为了能够在净化空气的状态下进行泄漏试验，专利文献1公开的空气净化装置具有：外壳，其形成待净化的空气的通气路径；以及HEPA过滤器，其设置在该外壳内，净化通过外壳的空气，该空气净化装置还具有：上游侧检测口，在泄漏试验时，捕捉并引导HEPA过滤器的上游侧的外壳内的空气；以及取样探测器，其在HEPA过滤器的下游侧的外壳内移动自如，在泄漏试验时，捕捉并引导HEPA过滤器的下游侧的外壳内的空气。

然而，在专利文献1的空气净化装置中，虽然为了让作业者对外壳的内部进行观察而设置有观察窗，但是，该观察窗形成在外壳正面的中央部分的位置上。因此，当作业者通过探测器扫描对HEPA过滤器上的试验用粒子进行取样时，作业者沿着大致水平方向并且通过手套以目视方式观察探测器，作业者的观察视野变窄，很难观察探测器扫描状況，因此，难以进行试验用粒子的取样作业。

发明内容

本发明正是为了解决上述问题而完成的，其目的在于提供一种空气净化装置及其试验系统，作业者能够在目视直接观察取样探测器的同时，容易地对空气净化部的试验用粒子进行取样。

本发明的空气净化装置具有：外壳，其形成待净化的空气的通气路径；以及空气净化部，其设置在所述外壳内，净化通过所述外壳的空气，该空气净化装置具有：上游侧检测部，其在所述外壳内的所述空气净化部的泄漏试验时，在所述空气净化部的上游侧的外壳下部的外侧捕捉空气；取样探测器，其能够在所述空气净化部的下游侧的外壳上部内自由移动，在所述泄漏试验时，捕捉所述空气净化部的所述下游侧的外壳上部内的空气；操作部，其配置在所述下游侧的外壳上部，移动操作所述取样探测器；以及观察窗，其位于所述下游侧的外壳上部，配置在所述操作部上方的位置，用于作业者目视确认所述取样探测器。

根据上述结构，作业者能够在目视直接观察取样探测器的同时，容易地对空气净化部的试验用粒子进行取样。即，观察窗位于比取样探测器和操作部的位置高的位置，因而作业者通过观察窗能够容易地观察到外壳内的整体情况，作业者能够在目视直接观察取样探测器的同时，容易地对空气净化部的试验用粒子进行取样。

优选的是，所述操作部是与所述观察窗分体设置，用于放入作业者的手的具有能够自由变形的气密结构的手套。

根据上述结构，作业者只要将手插入作为操作部的手套中，作业者就能够通过使取样探测器进行扫描，容易地对空气净化部的试验用粒子进行取样。

优选的是，所述空气净化装置具有拆装部，该拆装部能够从所述上游侧的外壳下部可拆装地安装所述空气净化部。

根据上述结构，空气净化部在更换时，能够从上游侧的外壳下部卸下，因此，能够将下游侧的外壳上部维持在气密状态，不需要进行以往需要的塑料袋的更换作业。

优选的是，构成为将从所述试验用粒子供给部供给的试验用粒子引导至室，所述上游侧检测部在所述室的室出口与所述外壳的开口之间，捕捉并引导上游侧的空气。

根据上述结构，上游侧检测部能够在室的室出口与外壳的开口之间捕捉上游侧的空气，因此，能够代表试验粒子的上游侧浓度。

优选的是，所述外壳的内部是连通的，使得从所述外壳的开口吸入的空气通过预过滤器和所述空气净化部从排气口排出，在所述外壳的内部，将所述空气净化部可拆装地安装在所述拆装部上，使得在卸下所述预过滤器的状态下，从所述开口向所述外壳的内部放水时，能够对所述空气净化部的至少空气流上游侧的面进行水洗。

根据上述结构，能够利用清洗水淋湿空气净化部的至少上游侧的表面，因此，在空气净化部的上游侧的表面捕捉到的有害粉尘不会飞散。因此，在空气净化部的水洗作业或空气净化部的更换作业的过程中，作业者不会吸入有害粉尘。

本发明的试验系统是一种试验装置，该试验系统用于检测空气净化装置中的泄漏，该空气净化装置具有：外壳，其形成待净化的空气的通气路径；以及空气净化部，其设置在所述外壳内，净化通过所述外壳的空气，所述试验系统具有：上游侧检测部，其在所述外壳内的所述空气净化部的泄漏试验时，在所述空气净化部的上游侧的外壳下部的外侧捕捉空气；取样探测器，其能够在所述空气净化部的下游侧的外壳上部内自由移动，在所述泄漏试验时，捕捉所述空气净化部的所述下游侧的外壳上部内的空气；操作部，其配置在所述下游侧的外壳上部，移动操作所述取样探测器；以及观察窗，其位于所述下游侧的外壳上部，配置在所述操作部上方的位置，用于所述作业者目视确认所述取样探测器；试验用粒子供给部，其向所述空气净化部的所述上游侧的外壳下部内供给试验用粒子；以及试验用粒子检测部，其检测从所述上游侧检测部引入的上游侧空气中包含的所述试验用粒子和从所述取样探测器引入的下游侧空气中包含的所述试验用粒子。

根据上述结构，作业者能够在目视直接观察取样探测器的同时，容易地对空气净化部的试验用粒子进行取样。即，观察窗位于比取样探测器和操作部的位置高的位置，因而作业者能够通过观察窗容易地观察到外壳内的整体情况，作业者能够在目视直接观察取样探测器的同时，容易地对空气净化部的试验用粒子进行取样。

优选的是，该试验系统具有粒子分散部，该粒子分散部对从所述试验用粒子供给部供给的所述试验用粒子进行分散而使其均匀。

根据上述结构，能够使试验用粒子成为将来自试验用粒子供给部的试验用粒子均匀地分散后的状态，然后导入上游侧的外壳下部内，因此，能够保证泄漏试验的精度。

优选的是，在试验系统中，所述操作部是与所述观察窗分体设置，用于放入作业者的手的具有能够自由变形的气密结构的手套。

根据上述结构，作业者只要将手插入作为操作部的手套中，作业者就能够通过使取样探测器进行扫描，容易地对空气净化部的试验用粒子进行取样。

优选的是，试验系统具有拆装部，该拆装部能够从所述上游侧的外壳下部可拆装地安装所述空气净化部。

根据上述结构，空气净化部在更换时，能够从上游侧的外壳下部卸下，因此，能够将下游侧的外壳上部维持在气密状态，并且不需要进行以往需要的塑料袋的更换作业。

优选的是，试验系统构成为将从所述试验用粒子供给部供给的试验用粒子引导至室，所述上游侧检测部在所述室的室出口与所述外壳的开口之间，捕捉并引导上游侧的空气。

根据上述结构，上游侧检测部能够在室的室出口与外壳的开口之间捕捉上游侧的空气，因此，能够代表试验粒子的上游侧浓度。

优选的是，在试验系统中，所述外壳的内部是连通的，使得从所述外壳的开口吸入的空气通过预过滤器和所述空气净化部从排气口排出，在所述外壳的内部，将所述空气净化部可拆装地安装在所述拆装部上，使得在卸下所述预过滤器的状态下，从所述开口向所述外壳的内部放水时，能够对所述空气净化部的至少空气流上游侧的面进行水洗。

根据上述结构，能够利用清洗水淋湿空气净化部的至少上游侧的表面，因此，在空气净化部的上游侧的表面捕捉到的有害粉尘不会飞散。因此，在空气净化部的水洗作业或空气净化部的更换作业的过程中，作业者不会吸入有害粉尘。

本发明能够提供一种空气净化装置及其试验系统，作业者能够在目视直接观察取样探测器的同时，容易地对空气净化部的试验用粒子进行取样。

附图说明

图1是示出本发明空气净化装置的实施方式和该空气净化装置的试验系统的实施方式的概略侧视图。

图2是图1中示出的本发明的空气净化装置及其试验系统的实施方式的概略正视图。

图3是示出图1中示出的本发明的空气净化装置的试验系统的实施方式的使用状态的概略正视图。

图4是图3的使用状态的概略俯视图。

图5是示出图2中示出的预过滤器的D-D线的截面结构示例的图。

图6是示出用于将HEPA过滤器可拆装地安装在外壳内的拆装部的结构示例的图。

图7是示出下游侧检测口附近的图。

图8是示出手套的安装结构示例的图。

图9是示出HEPA过滤器的更换作业的示例的图。

标号说明

1…外壳；1A…上游侧的外壳下部；1B…下游侧的外壳上部；2…HEPA过滤器（空气净化部）；3…吸气口；4…预过滤器；6…下游侧检测口；6a…承接部；6b…盖；7…树脂管；8…取样探测器；14…手套（操作部的一例）；15…排气口；17…上游侧检测管；18…下游侧检测管（下游侧检测部）；19…粒子计数器（试验用粒子检测部）；20…PAO粒子产生器（试验用粒子供给部）；100…空气净化装置；101…空气净化装置的试验系统；102…密封垫；103…过滤器安装框；104…双头螺栓；105…压板；106…螺母；107…板网；108…导入管；109…室；109a…室出口；110…开口；111…上游侧检测管端子（上游侧检测部）；112…树脂管连接用具；113…下游侧检测口插头；114…下游侧检测口插座；115…观察窗；116…手套接口；117…O型环；300…拆装部；CF…倾斜面。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的优选实施方式进行详细地说明。

另外，由于以下叙述的实施方式是本发明的优选的具体示例，在技术上进行了优选的各种限定，不过，在以下的说明中只要没有特别地记载对本发明进行限定，则本发明的范围不受这些实施方式的限制。

图1是示出本发明的空气净化装置和该空气净化装置的试验系统的各实施方式的图，图2是仅示出图1的空气净化装置的正视图，图3是示出图1中示出的空气净化装置的试验系统（试验装置）的使用状态的正视图，图4是示出图3的使用状态的概略俯视图。

在图1中，示出将试验系统（试验装置）设置在空气净化装置的状态。

图1和图2所示的空气净化装置100用于使用化学有害物质的作业场所，例如抗生物质的制造室等中的排气系统。该空气净化装置100设定在房间R的地面F上，设置成相对于房间R的侧壁W成为同一平面，形成房间R的壁面W的一部分。在空气净化装置100上配置粒子产生器20、室109等，形成试验系统（试验装置）。

图1和图2所示的空气净化装置100具有外壳1，外壳1具有上游侧的外壳下部1A和下游侧的外壳上部1B。从上游侧的外壳下部1A取入房间R内的空气，通过作为空气净化部的例如HEPA过滤器2对房间R内的空气进行净化后，如箭头C所示，将净化后的空气从下游侧的外壳上部1B的上部的排气口15排出到房间R的外部。

如上所述，图1所示的外壳1的上游侧的外壳下部1A和下游侧的外壳上部1B形成空气的通气路径，HEPA过滤器2使用拆装部300，可拆装地设置在该外壳1内的中途的位置。外壳1的上游侧的外壳下部1A位于HEPA过滤器2的下侧，下游侧的外壳上部1B位于HEPA过滤器2的上侧。即，上游侧的外壳下部1A相对于HEPA过滤器2位于空气的上游侧，下游侧的外壳上部1B相对于HEPA过滤器2位于空气的下游侧。

在上游侧的外壳下部1A设置有空气的吸气口3。

图5示出了图2中示出的预过滤器4的D-D线的截面结构示例。如图5所示，在该吸气口3的开口110可拆装地设置有预过滤器4。该预过滤器4相对于HEPA过滤器2配置在上游侧，与HEPA过滤器2相比，能够捕捉较大的尘埃。

如图1所示，在上游侧的外壳下部1A内形成有倾斜面CF。该倾斜面CF以从上游侧的外壳下部1A的背面侧向吸气口3下降弯曲的方式形成。由此，当用清洗水对HEPA过滤器2的下面侧进行清洗打扫后，容易从上游侧的外壳下部1A内排出清洗水。

图1中示出的HEPA过滤器2是例如处理风量为19.6m³/min，圧力损失为250Pa，并且对0.3μm的粒子的过滤效率为99.99%以上的过滤器。

图6示出了用于将HEPA过滤器2可拆装地安装在外壳1内的拆装部300的结构示例。如图6所示，拆装部300具有过滤器安装框103，过滤器安装框103水平地固定在图1的外壳1的中间位置。图6所示的4根长螺栓104相对于过滤器安装框103朝下固定。各长螺栓104位于HEPA过滤器2的各边的中间位置。HEPA过滤器2隔着海绵垫片等密封部件（密封垫）102，压向过滤器安装框103，相对于长螺栓104使用过滤器压板105紧固螺母106，由此，将HEPA过滤器2以气密状态安装到过滤器安装框103。

由此，如图6所示，作业者在更换HEPA过滤器2时，能够从上游侧的外壳下部1A侧沿着T方向相对于过滤器安装框103向上安装HEPA过滤器2，能够在T方向的相反方向卸下。即，作业者能够从空气的上游侧（下侧）更换HEPA过滤器2。另外，如图6所示，为了保护HEPA过滤器2，板网107被设置在过滤器安装框103的外壳下部1A侧。

如图1所示，在上游侧的外壳下部1A的空气的吸气口3设置有上游侧检测管端子111。

上游侧检测管端子111是上游侧检测部的一个示例，其处于外壳1的外侧，且室出口109a与外壳1的开口110之间，在空气净化部上游侧的外壳下部的外侧捕捉空气，该空气净化部能够捕捉上游侧空气，通过上游侧检测管17引入粒子计数器19内。

如图1所示，在位于HEPA过滤器2上侧的下游侧的外壳上部1B设置有在空气净化时能够自由密封的下游侧检测口6。

图7示出了该下游侧检测口6的附近，在下游侧检测口6配置有多个树脂管连接用具112。树脂管连接用具112经由下游侧检测口插头113和下游侧检测口插座114，分别连接下游侧检测管18和取样探测器8的树脂管7。

各树脂管连接用具112通过焊接的方式安装到外壳1的下游侧检测口6的承接部6a。在泄漏试验时，取下外壳1的下游侧检测口6的盖6b，连接能够自由变形的树脂管18。在树脂管7的前端连接有持续取样探测器8。

树脂管7是能够自由变形的管，具有足够使取样探测器8在HEPA过滤器2的下游侧端面上及其周边二维地（平面地）移动的长度。

图1所示的取样探测器8的基端具有插座，截面积从该基端向前端逐渐扩大，前端形成为开口成矩形的形状。取样探测器8经由连接在树脂管7的前端的接头与树脂管7连接。

如图1所示，在下游侧的外壳上部1B的上部设置有用于使后述的作业者M能够通过目视直接观察下游侧的外壳上部1B的内部的观察窗115。即，图1和图2所示的观察窗115是用于作业者用眼睛直接目视手套14和取样手套8的窥视窗，不过，在下游侧的外壳上部1B，观察窗115配置在手套14上方的位置，作业者M能够直接目视确认取样探测器8。该观察窗115采用例如嵌入透明玻璃板的方式构成。

在与下游侧检测口6相同的水平高度的位置上设置有手套14。图8示出手套14的安装结构示例。图8所示的手套14例如是透明的合成树脂制成的手套，使用O型环117a，相对于手套接口116固定成气密状态。具体地，如图8所示，手套接口116由压紧螺钉117b固定在外壳1上。在手套接口116处手套14被翻折，使用O型环117a将被翻折的部分压住并固定在手套接口116上。进而，手套接口116的被翻折的端部（图8所示的手套接口116的左端）构成为通过压盖117c压住手套接口116，使得手套接口116的孔关闭。例如，如图所示，通过贯通压盖117c的螺栓117e与设置在手套接口116上的螺孔螺合，由此，压盖117c塞住手套接口116的孔。此时，压盖117c以压住手套接口116的被翻折的端部（图8所示的手套接口116的左端）的状态固定。另外，在压盖117c的接触部分设置有橡胶垫片等缓冲材料117d，使得在手套接口116的端部，即使压盖117c与手套14被翻折的部分接触，手套14也不会由于接触而产生摩损。

手套14具有足够在HEPA过滤器2下游侧的外壳上部1B内的任意位置使取样探测器8进行二维扫描的作业的大小。手套14要使作业者M能够将手放入，手套14在下游侧的外壳上部1B的前面侧，具有与观察窗115分体（各自的位置）设置，为了放入作业者M的手而能够自由变形的气密结构。该手套14是配置在下游侧的外壳上部1B上的、能够手动地移动操作取样探测器8的操作部的一个示例。

如图1所示，在下游侧的外壳上部1B的最下游设置有排气口15。另外，排气口15的截面形状形成为矩形。在排气口15内，可以设置能够自由调整从外壳1排出的净化空气的风量（吸入外壳1的空气的吸入量）的节气门。

该排气口15与没有图示的排气管道连接，净化空气通过排气管道排出至室外。另外，构成为在排气管道的通气路径中设置有鼓风机，用该鼓风机将室内的空气吸引至空气净化装置内。在空气净化装置100中，除了图1所示的HEPA过滤器2、预过滤器4、树脂管7以及图8所示的手套14、O型环117等以外，其大部分由SUS构成。

接着，参照图1，对空气净化装置100的空气的净化动作进行说明。

在净化图1所示的房间R的空气时，用预过滤器4密封作为上游侧检测部的上游侧检测管端子111，用树脂管连接用具112密封下游侧检测口6。另外，手套14成为能够在下游侧的外壳上部1B中使用的状态。

当外壳1的未图示的鼓风机驱动时，房间R的空气从吸气口3被吸入到上游侧的外壳下部1A内，通过预过滤器4。此时，较大的粒子或尘埃等被预过滤器4捕捉。通过预过滤器4的空气通过HEPA过滤器2。此时，化学有害物质等包含在室内空气中的粒子状的汚染物质被该HEPA过滤器2捕捉，从室内吸入的空气被净化。净化后的空气通过下游侧的外壳上部1B、排气口15以及排气管道被排出到室外。

另外，在该空气净化装置100中，用预过滤器4密封的部分的开口比现有的要大，使得能够取入较多的空气，因此，预过滤器4的通气开口侧截面积也比现有的要大，由此，能够向外壳下部1A导入在室109中分散均匀的试验用粒子而不会使该试验用粒子变得不均匀。

接着，参照图1，对空气净化装置的试验系统即试验装置101进行说明。

如图1所示，空气净化装置的试验系统101具有空气净化装置100、粒子产生器20、室109以及粒子计数器19等。

该室109具有使粒子产生器20产生的大量粒子均匀分散，并向上游侧的外壳下部1A侧供给的功能。粒子产生器20是在空气净化装置100的泄漏试验时，用于向空气净化装置100的外壳1的上游侧供给试验用粒子的试验用粒子供给部的一个示例。粒子计数器19是检测试验用粒子的试验用粒子检测部的一个示例。

在泄漏试验时，作为试验用粒子供给部的PAO（聚α-烯烃合成基础油）粒子产生器20通过导入管108与室109连接。室109是混入到经由预过滤器4取入的空气中的PAO粒子（后述）的均匀化部或者均匀化装置的一个示例。

在上述净化装置100中，增大预过滤器4，能够导入较多的空气，随之开口110增大，因而在使用试验系统101时，需要提高试验、诊断时混入的PAO粒子的扩散均匀度，为此，设置使粒子分散而均匀化的粒子分散部（粒子分散单元）。

室109是内部具有足够使从粒子产生器20导入的试验用粒子扩散均匀化的空间的装置。如图1、图2、图3所示，室109被配置成位于作业者M与空气净化装置100之间，与外壳下部1A的开口110的位置吻合。

该室109连接有从粒子产生器20延伸出的导入管108。即，作为试验用粒子供给部的粒子产生器20能够只在空气净化装置100的泄漏试验时，向上游侧的外壳下部1A内供给大量试验用粒子。粒子产生器20产生的大量试验用粒子通过导入管108导入至室109，室109均匀地分散该大量试验用粒子。该室109是对从粒子产生器20供给的大量试验用粒子进行分散而均匀化的粒子分散部，仅在泄漏试验时构成试验系统（试验装置）时安装。参照图1和图3可以理解，该室109配置在试验作业的作业者M侧的外壳1的前面。

室109例如是内部具有空间的管道状的形态，形成有空气的吸入口25，使得能够吸入来自外部的空气。例如，如图3所示，吸入口25被设置在室109的正面的大致中央附近被设置成四边形的端部。

在室109与外壳1之间的间隙，如图1中用平行斜线所示，为了防止泄漏，采用例如密封垫等填充物21，该填充物21设置在室109的全周，使得完全填满室109与外壳1之间的间隙，由此，维持气密状态。

这里，优选将导入管108拉回至室109的大致中央，在该室109的中央部的吸入口25，将试验用粒子导入至室109内。由此，从吸入口25吸入的空气在管道状的室109内与该试验用粒子在移动过程中混合，并均匀地扩散。

与此对应地，上游侧检测管端子111配置在外壳1的外侧，且室出口109a与外壳1的开口110之间，并且配置在室出口109a的中央部，在该部位，代表检测正常地扩散而从室109出来的粒子。由此能够进行精密的计测。

使室109的室出口109a和上游侧的外壳下部1A的开口110相对，卸下设置在开口110上的预过滤器4。由此，连接室109的室出口109a和上游侧的外壳下部1A的开口110。另外，在泄漏试验时，图7所示的下游侧检测口6的盖6b和插头113被取下。如图1所示，作为上游侧检测部的上游侧检测管端子111设置在室109与上游侧的外壳下部1A的开口110之间。该上游侧检测管17设置在作为上游侧检测部的上游侧检测管端子111与粒子计数器19之间。

如图7所示，下游侧检测管18与下游侧检测口6的树脂管连接用具112连接。这样，上游侧检测管17和下游侧检测管18与作为试验用粒子检测部的粒子计数器（LASAIR，PMS公司生产）19连接。

接着，参照图1，对利用空气净化装置的试验系统101进行的空气净化装置100的泄漏试验进行说明。

在泄漏试验中，首先从图1所示的PAO粒子产生器20供给PAO粒子作为试验用粒子。此时，以粒子浓度在HEPA过滤器2的上游侧为10⁶～10⁷个/ft³（3.5×10⁷～3.5×10⁸个/m³）的方式供给PAO粒子。根据节气门的开度或从压缩机供给圧缩空气，调整PAO粒子的粒子浓度。HEPA过滤器2的上游侧的室109与上游侧的外壳下部1A的开口110之间的空气的一部分被上游侧检测管端子111捕捉，引导到上游侧检测管17，通过上游侧检测管17输送到粒子计数器19。由此，粒子计数器19能够检测包含在上游侧空气中的PAO粒子，测定HEPA过滤器2的上游侧的PAO粒子浓度。

在确认图1所示的HEPA过滤器2的上游侧的PAO粒子浓度在预先规定的范围内后，作业者打开接口盖117c（参照图8），然后将手放入手套14，拿着取样探测器8，通过观察窗115，直接观察HEPA过滤器2的下游侧端面及其周边，沿着HEPA过滤器2的过滤器面和密封部使取样探测器8进行扫描（scan）。

HEPA过滤器2的下游侧的外壳上部1B内的空气的一部分被扫描中的取样探测器8捕捉，引导到树脂管7，通过下游侧检测口6和下游侧检测管18输送到粒子计数器19。由此，粒子计数器19能够检测包含在下游侧空气中的PAO粒子，测定HEPA过滤器2的下游侧的PAO粒子浓度。

FDA的无菌操作指导方针中的HEPA过滤器的局部的容许基准泄漏率为0.01%（10²～10³个/ft³或者大约3.5×10³～3.5×10⁴个/m³）以下。在试验系统101中，虽然由于装置的运行状态、HEPA过滤器2的大小以及取样探测器8的开口面积等条件而存在差异，不过在5cm/s左右的速度下移动取样探测器8使其进行扫描，能够实施上述基准的泄漏试验。

更具体地，在泄漏试验中，首先，沿着密封部以一定速度使取样探测器8移动，之后，沿着规定的移动路径以一定速度使取样探测器8在过滤器面移动，在移动过程中，检查粒子是否被计数。此时，即使在仅计数到一个PAO粒子的情况下，也要在计数的位置，停止取样探测器8的移动，在相同的位置连续地检查PAO粒子是否被连续地计数。在PAO粒子被连续地计数的情况下，试验对象的HEPA过滤器2为泄漏试验不合格，将其从空气净化装置100卸下，安装替代的HEPA过滤器。另一方面，在取样探测器8的扫描过程中，当一个PAO粒子也没有被计数的情况下，此外，在虽然取样探测器8的扫描过程中有PAO粒子被计数，但是在其位置没有被连续地计数的情况下，泄漏试验合格，维持空气净化装置100不变。

接着，对图1和图2所示的空气净化装置100的维护进行说明。

图9示出HEPA过滤器2的更换作业的示例，参照图9对HEPA过滤器2的更换作业进行说明。

在根据泄漏试验中检测出试验用粒子的数量而检测到超出上述基准值的结果的情况下、HEPA过滤器2的净化能力降低（例如通过差圧计检测出堵塞）的情况下、或者临近HEPA过滤器2的耐久期限的情况下等，将已使用的HEPA过滤器2更换成新的HEPA过滤器2。

HEPA过滤器2的更换作业在图9的（a）～（e）中示出。

如图9的（a）所示，外部软管114向预过滤器4撒水，由此，防止附着在预过滤器4上的粉尘飞散，如图9的（b）所示，防止粉尘飞散后，卸下预过滤器4。

如图9的（c）所示，外部软管114向上游侧的外壳下部1A的内部撒水，冲洗附着在HEPA过滤器2的空气流的上游侧的面2F上的粉尘，并且，对HEPA过滤器2的至少上游侧的面2F进行水洗。

接着，如图9的（d）所示，为了在图1和图6所示的拆装部300中对使用完的HEPA过滤器2（为了区別表示为2A）和新的HEPA过滤器2（为了区別表示为2B）进行更换，松开图6所示的使用完的HEPA过滤器2A的螺母106，移开压板105，卸下固定在过滤器安装框103上的使用完的HEPA过滤器2A。然后，用插入双头螺栓104的压板105保持新的HEPA过滤器2B，用螺母106紧固，从而将其固定在过滤器安装框103上。最后，如图9的（e）所示，安装清洗后的预过滤器4。

另外，图9所示的基于水洗的过滤器更换是一个示例，在粉尘不飞散的情况下，不存在粉尘有害性的情况下，也可以直接更换HEPA过滤器2而不水洗。

新安装HEPA过滤器2时的泄漏试验和前述的泄漏试验同样地进行。通过这样的HEPA过滤器2的更换作业，能够防止被HEPA过滤器2捕捉的化学有害物质等汚染物质随着过滤器更换作业从空气净化装置飞散。

在HEPA过滤器2的上游侧的外壳下部1A内，净化前的空气通过，因此，HEPA过滤器2的上游侧的外壳下部1A内比较容易污染。另外，在进行了泄漏试验的情况下，PAO粒子附着在上游侧的外壳下部1A内。在这样的情况下，通常进行水洗。

在图1所示的空气净化装置100中，由于从上游侧的外壳下部1A侧安装HEPA过滤器2，因此，在水洗时，如图9的（c）所示，能够淋湿HEPA过滤器2的上游侧的面2F侧，从而能够防止附着在上游侧的面2F上的粉尘飞散。由于上游侧的外壳下部1A的底面具有向吸气口3倾斜的倾斜面CF，因此，在对上游侧的外壳下部1A进行水洗时排水性好。

另外，在图1的空气净化装置100中，在通常的空气净化时，在将树脂管7的基端插入到取样探测器8的开口部的状态（即树脂管7和取样探测器8的内部空间从外部闭塞的状态）下，可以采用将两者固定在外壳内壁上等的方式进行收纳，使得在上游侧的外壳下部1A内不阻碍空气的流动。

图1所示的空气净化装置100具有：外壳1，其形成待净化的空气的通气路径；HEPA过滤器2，其设置在该外壳1内，能够从空气的上游侧的外壳下部1A侧（从下侧）进行更换，用于净化通过外壳1的空气；上游侧检测管端子111（上游侧检测部），其设置在室出口109a与外壳1的开口110之间，在泄漏试验时捕捉并引导EPA过滤器2的上游侧的外壳下部1A内的空气；以及取样探测器8，其能够在HEPA过滤器2的下游侧的外壳上部1B内自由移动，在泄漏试验时捕捉并引导HEPA过滤器2的下游侧的外壳1B内的空气。

因此，空气净化装置100能够净化空气，并且能够在净化空气的状态下，实施精度和可靠性高的泄漏试验。

而且，由于在空气净化装置100的下游侧的外壳上部1B设置有作为窥视玻璃窗的观察窗115，用于从外部观察HEPA过滤器2的下游侧的外壳上部1B的内部，因此，作业者能够在泄漏试验时目视直接确认取样探测器8的位置，能够更容易地进行取样作业。具有用于图1的作业者M从外部观察空气净化部2的下游侧的外壳上部1B内部的观察窗115，这有利于在泄漏试验时进行更准确的扫描或泄漏部位的确定。作为这样的观察窗115，例如可以示例出使用透明树脂薄膜或玻璃等的透光性物质以气密方式塞住设置在下游侧的外壳上部1B的开口部位的结构等。

空气净化装置100具有用于使取样探测器8自由地进行扫描的手套14，因此，作业者在泄漏试验时，能够任意地以手动方式使取样探测器8进行扫描，泄漏部位的确定更加容易。手套14由例如透明塑料等的合成树脂等成形，因此，能够从观察窗115直接目视确认插入手套14内的作业者的手，能够在泄漏试验时更容易地进行扫描或维护作业。

在图1的空气净化装置100中，上游侧的外壳下部1A的底面形成有向吸气3倾斜的倾斜面CF，因此，在泄漏试验后等清洗HEPA过滤器2的上游侧的面的情况下，上游侧的外壳下部1A内的水洗的水具有良好的排水性，能够容易地使水洗后的上游侧的外壳下部1A内成为更清洁的状态，外壳1的维护性方面也变得更好。

试验系统101具有：PAO粒子产生器20，其向HEPA过滤器2的上游侧的外壳下部1A内供给PAO粒子；PAO粒子（试验用粒子），其包含在由设置在室出口109a与外壳1的开口110之间的上游侧检测管端子111引入的上游侧空气中；以及粒子计数器19，其检测包含在从取样探测器8引入的下游侧空气中的PAO粒子。因此，能够容易地进行微小泄漏的检测以及泄漏部位的确定，对于净化空气的状态的空气净化装置，能够实施精度和可靠性高的泄漏试验。

针对截面形状为矩形的外壳1，试验系统101采用具有矩形的开口端的取样探测器8，因此，在下游侧的外壳上部1B的角部或HEPA过滤器2的安装部（密封部）周边，能够无遗漏地对HEPA过滤器2的下游侧的外壳上部1B的内部进行扫描，能捕捉并引导角部周边的空气，因此，能够实施更精密的泄漏试验。

图1所示的外壳1只要形成待净化的空气的通气路径即可，对此没有特别限定，不过，外壳1是SUS制或者钢制，有利于保持装置的耐圧性或气密性。

图1和图6所示的作为空气净化部的HEPA过滤器2只要捕捉粒子状的汚染物质即可，对此没有特别限定。作为该空气净化部可以例示例如准HEPA过滤器、HEPA过滤器或ULPA过滤器、超ULPA过滤器等的高性能过滤器，作为排气系统的空气净化装置优选采用HEPA过滤器。以气密的方式将空气净化部安装到外壳1，对于空气净化部的安装，如图6所示，使用长螺栓和螺母或者橡胶等的紧固部件，有利于确保安装的气密性。

图1所示的作为上游侧检测部的上游侧检测管端子111只要能够在泄漏试验时，在空气净化部的上游侧且在外壳1的外侧，捕捉并引导空气，并能够与作为试验用粒子检测部的粒子计数器19连接即可，对此没有特别限定。上游侧检测部优选能够自由地在泄漏试验时打开，在空气净化时关闭。这样的上游侧检测部能够通过导入管108从作为供给试验用粒子的试验用粒子供给部的粒子产生器20向室109引导试验用粒子，能够在室出口109a与外壳1的开口（如果存在预过滤器则没有吸气口的开口）之间，捕捉并引导外壳1的上游侧空气。

图1的取样探测器8只要能够在空气净化部2的下游侧的外壳上部1B内，特别是在空气净化部2的下游侧端面及其附近自由移动，在泄漏试验时捕捉并引导空气净化部2的下游侧的外壳上部1B内的空气即可。具有作为用于自由地操作图1的取样探测器8的操作部的手套14，这有利于在泄漏试验时进行更准确的扫描或泄漏部位的确定。操作部只要能够在空气净化部的下游侧的外壳上部1B内（特别是空气净化部下游侧端面及其附近），自由地操作取样探测器8即可，对此没有特别限制，不过，优选还能够有效应用在空气净化部的更换等维护作业方面。作为这样的操作部，可以例示树脂制的手套等能够自由变形且气密的手套。进一步地，如果操作部是透明手套，则能够目视确认操作时手的形状，从而更加理想。

作为自由移动取样探测器8的结构，可以是作业者M以手动的方式使取样探测器8移动的结构，也可以是取样探测器8自动地在空气净化部2的下游侧端面附近移动的结构。当采用通过手动的方式自由移动取样探测器8的结构时，采用简单的结构就能够自由移动，有利于确定成为空气净化时的汚染源的危险小并且微小的泄漏部位，从而是理想的。作为以手动的方式自由移动取样探测器8的结构，例如可以例示在能够自由变形且气密的管状体的前端连接取样探测器的结构。

作为图1的取样探测器8，可以优选地例示前端比基端开口宽的取样探测器，使用前端的开口面积适度的取样探测器，有利于实施高精度的泄漏试验。取样探测器8的前端的开口面积可以根据空气净化部2的净化能力或者截面积、空气净化装置的运行条件等适当地确定。

优选的是，取样探测器8的前端的开口形状根据外壳1的截面形状、空气净化部2的下游侧端面的形状以及空气净化部2和外壳1的安装部的形状等确定。在例如外壳1的截面形状为矩形的情况下，当使取样探测器8的开口形状也为矩形时，在泄漏试验时，在外壳的角部也能够无间隙地捕捉空气，能够更准确地扫描。另外，截面形状也可以采用圆形、椭圆形等。

图1的取样探测器8将在泄漏试验时能够打开，在空气净化时能够自由密闭的下游侧检测口设置在净化部下游侧的外壳1上，在外壳1内与下游侧检测口6连接，这有利于更方便地进行各个空气净化装置的泄漏试验。作为这样的下游侧检测口6，可以例示在空气净化部2的下游侧的外壳上部1B内开口并且能够自由密闭的管状体，例如具有阀的通气管或能够封入插头的插座等。

图1所示的作为试验用粒子供给部的粒子产生器20不特别限于向空气净化部2的上游侧的外壳下部1A内供给试验用粒子，可以采用在本技术领域中当前已知的粒子产生装置等。根据用于泄漏试验的试验用粒子的种类采用适当的试验用粒子供给部。试验用粒子供给部在泄漏试验时可以不与空气净化部2的上游侧的外壳下部1A直接连接，也可以经由例如适合的管道等与上游侧的外壳下部1A连接，供给试验用粒子。

由于泄漏试验的规格依据空气净化部的种类或待净化的空气的性状等而不同，因此，优选试验用粒子供给部能够自由调整试验用粒子的粒径或供给量。例如，在使用HEPA过滤器2作为空气净化部的情况下，优选向HEPA过滤器2的上游侧的外壳下部1A内供给试验用粒子，使得粒径0.3μm的试验用粒子的粒子浓度为10⁶～10⁷个/ft³（3.5×10⁷～3.5×10⁸个/m³）。试验用粒子的粒径和供给量可以根据例如产生试验用粒子的喷嘴的种类或试验用粒子的产生条件（例如圧力或风量等）等调整。

作为试验用粒子，以往使用DOP，不过，由于对过滤器汚染问题、致癌性、内分泌干扰素的人体有害问题的怀疑，因而，使用被规定为JISZ8901的试验用粒子2之一的聚α-烯烃合成基础油（PAO）粒子作为代替粒子。在使用该PAO粒子作为试验用粒子时的试验用粒子供给部中，例如，如JISB9927所示，可以将称作Raskin喷嘴的喷嘴浸在PAO液中，通过从喷嘴的孔喷出的圧缩空气流产生粒径1μm以下的PAO粒子。

在PAO等的液体雾的挥发可能成为汚染源的环境中，优选使用个体粒子作为试验用粒子。作为这样的试验用粒子，例如可以例示日本特开平8-136437号公报记载的二氧化硅粒子。在将该二氧化硅粒子作为试验用粒子的情况下，试验用粒子供给部例如可以使用如下装置，该装置具有：粒子产生器，其被投入胶体二氧化硅悬浊液，收容有Collison型（雾化气溶胶型）喷雾器；送气管，其用于向该产生器送入圧缩空气；与该送气管连接的过滤器、调节器、流量计以及圧力计；以及乾燥筒，其干燥由粒子产生器产生的含二氧化硅液滴粒子。

图1的上游侧检测管端子（上游侧检测部）111和取样探测器8分别吸入空气，引导至例如设置在外壳1外的计测器等作为试验用粒子检测部的粒子计数器19。试验用粒子检测部只要是检测分别包含在从上游侧检测管端子111和取样探测器8导入的上游侧空气和下游侧空气的试验用粒子的部分即可，对此没有特别限定，可采用本技术领域中已知的装置。

根据使用的试验用粒子的种类，采用适当的试验用粒子检测部。作为试验用粒子检测部，例如可以例示PMS公司生产的粒子计数器（LASAIR）、JISZ4812中的光散射式相对浓度计（例如ATI公司生产的TDA-2E）等。

由于图1的手套14不更换而始终处于外壳1内部，因而在空气净化过程中会阻碍气流，因此，例如可以在外壳1设置面拉链的凹部，在手套14设置面拉链的凸部，由此，可以将手套14固定在外壳1的内壁，使之在净化过程中不阻碍气流。

空气净化装置100根据需要采用由SUS或钢等金属形成的部件等，除了能够自由拆装的部位以外全部采用焊接结构，这有利于保持耐圧性或气密性等。空气净化装置100优选用于排气系统，不过，也可以用于形成清洁空间，例如向被室等封闭的空间供给净化后的空气等，还可以作为构成清洁空间或制造室等的壁面或通气路径等的一部分的单元使用。试验系统101是用于进行空气净化装置100的泄漏试验的系统，不过也可以用于空气净化部2的泄漏试验。

空气净化装置100中，从上游侧（下侧）相对于上游侧的外壳下部1A的拆装部300的过滤器安装框103，拆装自由地安装HEPA过滤器2，因此，作业者M不需要使用现有的塑料袋就可以安全地更换过滤器，由于过滤器更换简单，作业者M在短时间内不需要特别熟练的技术就能够掌握。

以往，需要将上游侧检测口设置在装置前面，因此，前面的预过滤器的设置面积受到限制，但是，由于在空气净化装置之外检测上游侧浓度，因此，预过滤器的设置不受限制，可以在前面的全部尺寸上设置预过滤器。

以往，使观察窗、塑料袋以及手套一体化，观察窗、塑料袋以及手套集中配置在外壳前面的中央部，因此，存在用于作业者M目视观察外壳内的取样探测器的视野狭窄，无法直接确认探测器扫描，确认动作困难的问题。

然而，在本发明的实施方式中，在下游侧的外壳上部1B，在手套14的上部的位置分体地设置观察窗115，因此，能够目视直接观察外壳1的下游侧的外壳上部1B的整个内部和取样探测器。因此，作业者M能够实施精度和可靠性高的泄漏试验。

以往需要采用使观察窗、塑料袋以及手套一体化的结构，因此，每次更换HEPA过滤器都需要重新更换并安装手套，产生了废弃物。对此，在本发明的实施方式中，由于手套不需要更换，因而能够防止废弃物的产生。

空气净化装置100具有形成待净化的空气的通气路径的外壳1和设置在该外壳1内并净化通过外壳1的空气的空气净化部2，还具有上游侧检测管端子111和取样探测器8，该上游侧检测管端子111设置在室出口与外壳下部的开口之间，在泄漏试验时捕捉并引导空气净化部2的上游侧的空气，该取样探测器8能够在空气净化部2的下游侧的外壳1内自由移动，在泄漏试验时捕捉并引导空气净化部2的下游侧的外壳上部1B内的空气，因此，能够净化空气，并且能够在净化空气的状态下，实施精度和可靠性高的泄漏试验。

图1所示的本发明的实施方式的试验系统101，对于实际设置有空气净化部2的状态下的空气净化装置100，不仅能够检测空气净化部2有无泄漏，而且能够检测空气净化部2与外壳1的安装部分有无泄漏，对于空气净化装置100，能够实施精度和可靠性高的泄漏试验。

在空气净化装置及其试验系统中，当空气净化部是HEPA过滤器时，也可以用于化学有害物质的捕捉、去除等需要高度净化的空气净化，而且能够实施需要高度净化的空气净化装置100的泄漏试验。

当图1所示的本发明的实施方式的空气净化装置100及其试验系统101具有用于从外部观察空气净化部的下游侧的外壳上部1B内的观察窗115时，作业者M在泄漏试验时，能够目视确认空气净化部的下游侧的外壳上部1B内的情况，能够在泄漏试验中容易地进行更精密的作业。

空气净化装置100及其试验系统101具有用于自由地操作取样探测器8的操作部（手套14），因此，作业者能够在泄漏试验时任意地进行扫描，能够更容易且正确地确定泄漏部位。

在空气净化装置100及其试验系统101中，当操作部（手套14）是能够自由变形且气密的手套时，能够进一步降低最初成本，在空气净化时能够容易地收纳操作部，不易对空气的净化造成影响，并且对于作业性的提高具有更好的效果。

在图1所示的本发明的实施方式的空气净化装置100和试验系统101中，能够从上游侧（下侧）相对于上游侧的外壳下部1A的过滤器安装框，拆装自由地安装HEPA过滤器2（空气净化部），因此，HEPA过滤器2向上游侧的外壳下部1A侧突出。

因此，当HEPA过滤器2在上游侧的外壳下部1A内捕捉空气时，可能无法代表上游侧的浓度。不过，上游侧检测管端子（上游侧检测部）111在HEPA过滤器2的泄漏试验时，能够在HEPA过滤器2的上游侧，且在外壳1的外侧捕捉并引导空气。即，上游侧检测管端子（上游侧检测部）111具有如下优点：能够在外壳之外充满试验粒子的室出口109a（外壳1的开口110）检测试验粒子，因此，能够代表试验粒子的上游侧浓度。

在现有示例中，由于要从下游侧的外壳上部侧拆装自由地更换HEPA过滤器，因此，必然需要在使下游侧的外壳上部维持气密状态的同时进行塑料袋的更换作业。

对此，在图1所示的本发明的实施方式的空气净化装置100和试验系统101中，能够从上游侧（下侧）相对于上游侧的外壳下部1A的过滤器安装框103，拆装自由地更换HEPA过滤器（空气净化部2）。因此，如图9所示例的那样，能够仅通过对上游侧的外壳下部1B进行水洗，简单地更换HEPA过滤器而不需要更换塑料袋。特别地，由于能够用清洗水淋湿HEPA过滤器的至少上游侧的面2F，因此，在HEPA过滤器的上游侧的面2F捕捉到的有害粉尘不会飞散。因此，具有在HEPA过滤器的水洗作业或HEPA过滤器的更换作业中，作业者不会吸入有害粉尘的优点。

在现有示例中，由于要从下游侧的外壳上部1B侧拆装自由地更换HEPA过滤器，因此，下游侧的外壳上部1B必须是气密结构。因此，为了更换HEPA过滤器，需要在下游侧的外壳上部盖内预先设置准备透明的塑料袋。而且，在现有示例中，作业者将该透明的塑料袋作为观察窗使用，塑料袋和手套成为相同高度的位置。因此，在现有示例中，存在作业者难以目视观察整个外壳内部的问题。

对此，在图1所示的本发明的实施方式的空气净化装置100和试验系统101中，观察窗115的配置位置在手套14的安装位置的上方。因此，如三角形的虚线所示，作业者M的眼睛的位置P1、成为气密结构的手套14的安装位置P2以及下游侧的外壳上部1B内的取样探测器8的扫描面的前端（最里面）位置P3形成例如大致等腰三角形。因此，在图1所示的本发明的实施方式的空气净化装置100和试验系统101中，作业者M的眼睛的位置P1处在高于取样探测器8和手套14的位置，因此，作业者M能够容易地观察整个外壳1内部的情况，能够可靠地目视确认取样探测器8的扫描状況。

另外，能够从上游侧（下侧）相对于上游侧的外壳下部1A的过滤器安装框，拆装自由地更换HEPA过滤器（空气净化部2），因此，不需要采用将下游侧的外壳上部1B气密化的结构，而且不需要使用以往需要的塑料袋。具有能够容易地从上游侧的外壳下部1A侧对上游侧的外壳下部1A进行水洗的优点。

在现有示例中，为了在下游侧的外壳上部，将HEPA过滤器载置在过滤器安装框的上部，取样探测器需要避开用于安装过滤器安装框的螺栓等突出物，而且不仅需要在水平方向运动还需要在垂直方向运动，即，需要进行三维的复杂的运动。

对此，在图1的本发明的实施方式的空气净化装置100和试验系统101中，如图6所示，采用从上游侧，即从下侧沿着T方向将HEPA过滤器2安装到过滤器安装框103上的结构。因此，由于过滤器安装框103的上部为没有突出物的平面形状，因而，图1所示的取样探测器8只进行平面的二维扫描即可。这样，取样探测器8在平面上进行扫描，因此，取样探测器8能够沿着HEPA过滤器2的吹出面侧可靠地进行试验粒子的取样，因此，具有提高泄漏试验的可靠性的优点。

在图1的本发明的实施方式的空气净化装置100和试验系统101中，作业者能够在目视直接观察取样探测器的同时，容易地对空气净化部的试验用粒子进行取样。即，观察窗位于比取样探测器和操作部的位置高的位置，因而作业者通过观察窗能够观察到外壳内的整体情况，作业者能够在目视直接观察取样探测器的同时，容易地对空气净化部的试验用粒子进行取样。

以上，本发明不限于上述实施方式，本发明可以进行各种修改和变化，可以在权利要求书记载的范围内进行各种变形。

Claims (11)

1.一种空气净化装置，该空气净化装置具有：外壳，其形成待净化的空气的通气路径；以及空气净化部，其设置在所述外壳内，净化通过所述外壳的空气，其特征在于，该空气净化装置具有：

上游侧检测部，其在所述外壳内的所述空气净化部的泄漏试验时，在所述空气净化部的上游侧的外壳下部的外侧捕捉空气；

取样探测器，其能够在所述空气净化部的下游侧的外壳上部内自由移动，在所述泄漏试验时，捕捉所述空气净化部的所述下游侧的外壳上部内的空气；

操作部，其配置在所述下游侧的外壳上部，移动操作所述取样探测器；以及

观察窗，其位于所述下游侧的外壳上部，配置在所述操作部上方的位置，用于作业者目视确认所述取样探测器。

2.根据权利要求1所述的空气净化装置，其特征在于，

所述操作部是与所述观察窗分体设置，用于放入作业者的手的具有能够自由变形的气密结构的手套。

3.根据权利要求1或2所述的空气净化装置，其特征在于，

所述空气净化装置具有拆装部，该拆装部能够从所述上游侧的外壳下部可拆装地安装所述空气净化部。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的空气净化装置，其特征在于，

所述空气净化装置具有粒子分散部，该粒子分散部对从试验用粒子供给部供给的试验用粒子进行分散而使其均匀。

5.根据权利要求3或4所述的空气净化装置，其特征在于，

所述外壳的内部是连通的，使得从所述外壳的开口吸入的空气通过预过滤器和所述空气净化部从排气口排出，在所述外壳的内部，将所述空气净化部可拆装地安装在所述拆装部上，使得在卸下所述预过滤器的状态下，从所述开口向所述外壳的内部放水时，能够对所述空气净化部的至少空气流上游侧的面进行水洗。

6.一种试验系统，该试验系统用于检测空气净化装置中的泄漏，该空气净化装置具有：外壳，其形成待净化的空气的通气路径；以及空气净化部，其设置在所述外壳内，净化通过所述外壳的空气，其特征在于，所述试验系统具有：

上游侧检测部，其在所述外壳内的所述空气净化部的泄漏试验时，在所述空气净化部的上游侧的外壳下部的外侧捕捉空气；

取样探测器，其能够在所述空气净化部的下游侧的外壳上部内自由移动，在所述泄漏试验时，捕捉所述空气净化部的所述下游侧的外壳上部内的空气；

操作部，其配置在所述下游侧的外壳上部，移动操作所述取样探测器；

观察窗，其位于所述下游侧的外壳上部，配置在所述操作部上方的位置，用于所述作业者目视确认所述取样探测器；

试验用粒子供给部，其向所述空气净化部的所述上游侧的外壳下部内供给试验用粒子；以及

试验用粒子检测部，其检测从所述上游侧检测部引入的上游侧空气中包含的所述试验用粒子和从所述取样探测器引入的下游侧空气中包含的所述试验用粒子。

7.根据权利要求6所述的试验系统，其特征在于，

该试验系统具有粒子分散部，该粒子分散部对从所述试验用粒子供给部供给的所述试验用粒子进行分散而使其均匀。

8.根据权利要求6或7所述的试验系统，其特征在于，

所述操作部是与所述观察窗分体设置，用于放入作业者的手的具有能够自由变形的气密结构的手套。

9.根据权利要求6～8中的任意一项所述的试验系统，其特征在于，

所述试验系统具有拆装部，该拆装部能够从所述上游侧的外壳下部可拆装地安装所述空气净化部。

10.根据权利要求7～9中的任意一项所述的试验系统，其特征在于，

所述试验系统构成为将从所述试验用粒子供给部供给的试验用粒子引导至作为所述粒子分散部的室，所述上游侧检测部在所述室的室出口与所述外壳的开口之间，捕捉并引入上游侧的空气。

11.根据权利要求9或10所述的试验系统，其特征在于，

所述外壳的内部是连通的，使得从所述外壳的开口吸入的空气通过预过滤器和所述空气净化部从排气口排出，在所述外壳的内部，将所述空气净化部可拆装地安装在所述拆装部上，使得在卸下所述预过滤器的状态下，从所述开口向所述外壳的内部放水时，能够对所述空气净化部的至少空气流上游侧的面进行水洗。

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