KR20130066560A

KR20130066560A - 산업용 로보트

Info

Publication number: KR20130066560A
Application number: KR1020127018432A
Authority: KR
Inventors: 야스유키 기타하라; 시게유키 가이노
Original assignee: 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
Priority date: 2010-04-28
Filing date: 2011-04-06
Publication date: 2013-06-20
Also published as: TWI526289B; EP2567793A4; US9266235B2; TW201201984A; US20130036851A1; KR101603819B1; EP2567793B1; JP5462064B2; EP2567793A1; WO2011135986A1; CN102686368B; JP2011230256A; CN102686368A

Abstract

산업용 로보트(1)는 본체부(3)와, 제1 암(4)과, 제2 암(5)과, 제3 암(6)과, 본체부(3)와 제1 암(4)을 연결하는 제1 감속기(21)와, 제1 암(4)과 제2 암(5)을 연결하는 제2 감속기(22)와, 제1 감속기(21)의 입력축(25)과 제2 감속기(22)의 입력축(32)을 연결하는 연결기구(23)와, 제3 암(6)을 회전 구동하는 제2 구동용 모터(40)를 구비하고 있다. 제2 암(5)과 제3 암(6)을 연결하는 제3 관절부의 이동궤적이 직선 모양이 되도록, 제1 감속기(21)의 감속비 및 제2 감속기(22)의 감속비가 설정됨과 아울러, 연결기구(23)가 소정의 속도비로 입력축(25)과 입력축(32)을 연결하고 있다. 또, 제2 구동용 모터(40)는 제2 암(5)의, 제3 관절부보다도 선단 측으로, 또한, 제1 암(4) 측으로 돌출하도록 제2 암(5)에 장착되어 있다.

Description

산업용 로보트 {INDUSTRIAL ROBOT}

본 발명은 복수의 관절부를 가지는 다관절형의 산업용 로보트에 관한 것이다.

종래, 반도체 웨이퍼 등의 워크를 반송하는 산업용 로보트로서, 기대(基臺)와, 링크기구와, 암부와, 핸드부로 구성된 산업용 로보트가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재한 산업용 로보트에서는, 링크기구는 기대에 회동 가능하게 장착되는 기대 측 링크부와, 기대 측 링크부에 회동 가능하게 장착되는 암부 측 링크부를 구비하고 있다.

기대 측 링크부는 기대에 내장된 링크기구 모터에 회동 가능하게 유지되어 있다. 또, 기대 측 링크부에는 기대에 고정되는 기대 측 풀리와, 암부 측 링크부에 고정되는 암부 측 풀리와, 기대 측 풀리와 암부 측 풀리에 걸쳐지는 벨트가 내장되어 있다. 이 산업용 로보트에서는, 기대 측 풀리와 암부 측 풀리는 그 지름의 비가 2:1이 되도록 형성되어 있고, 링크기구 모터가 회동하면, 암부 측 링크부의 선단 측은 직선동작을 행하도록 구성되어 있다.

또, 이 산업용 로보트에서는, 암부는 암부 측 링크부의 선단 측에 회전 가능하게 장착되어 있다. 이 암부는 암부 측 링크부에 내장된 암부 모터에 연결되어 있다. 암부 모터는 상하방향을 회전축의 방향으로 하여 암부 측 링크부에 내장되어 있다.

[특허문헌 1] 일본국 특개2007-152490호 공보

특허문헌 1에 기재한 산업용 로보트에서는, 기대 측 풀리의 지름과 암부 측 풀리의 지름과의 비가 2:1로 되어 있다. 또, 기대 측 풀리와 암부 측 풀리에 걸쳐지는 벨트에는 암부 측 링크부, 암부 및 핸드부의 부하가 걸린다. 이 때문에, 기대 측 링크부의 내부에 배치되는 기대 측 풀리, 암부 측 풀리 및 벨트가 대형화하기 쉽다. 따라서, 이 산업용 로보트에서는 기대 측 링크부가 대형화하기 쉬워지며, 그 결과, 산업용 로보트가 대형화하기 쉬워진다.

또, 이 산업용 로보트에서는 암부 모터가 상하방향을 회전축의 방향으로 하여 암부 측 링크부에 내장되어 있기 때문에, 암부 측 링크부가 두꺼워진다. 이 때문에, 이 산업용 로보트에서는 핸드부의 높이가 높아지기 쉽고, 로보트가 액세스 가능한 최저 높이(패스 라인)가 높아질 우려가 있다.

그래서, 본 발명의 과제는 소형화가 가능하고 또한 패스 라인을 낮게 하는 것이 가능한 산업용 로보트를 제공하는 것에 있다.

상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 산업용 로보트는, 본체부와, 그 기단 측이 본체부에 회동 가능하게 장착되는 제1 암과, 그 기단 측이 제1 암의 선단 측에 회동 가능하게 장착되는 제2 암과, 그 기단 측이 제2 암의 선단 측에 회전 가능하게 장착되는 선단 측 동작부와, 본체부와 제1 암을 연결하는 제1 관절부를 구성하는 제1 감속기와, 제1 암과 제2 암을 연결하는 제2 관절부를 구성하는 제2 감속기와, 제2 암과 선단 측 동작부를 연결하는 제3 관절부와, 제1 감속기의 입력축인 제1 입력축과 제2 감속기의 입력축인 제2 입력축을 연결함과 아울러 제1 암의 내부에 배치되는 연결기구와, 제1 입력축에 연결되는 제1 구동용 모터와, 선단 측 동작부를 회전 구동하는 제2 구동용 모터를 구비하고, 제3 관절부의 이동궤적이 직선 모양이 되도록 제1 감속기의 감속비 및 제2 감속기의 감속비가 설정됨과 아울러, 연결기구가 소정의 속도비로 제1 입력축과 제2 입력축을 연결하며, 제2 구동용 모터는 제2 암의, 제3 관절부보다도 선단 측으로, 또한, 제1 암 측으로 돌출하도록 제2 암에 장착되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 산업용 로보트에서는, 제2 구동용 모터는 제2 암의, 제3 관절부보다도 선단 측으로, 또한, 제1 암 측으로 돌출하도록 제2 암에 장착되어 있다. 이 때문에, 제2 암의, 제2 관절부와 제3 관절부와의 사이에 제2 구동용 모터가 내장되는 경우와 비교하여, 제2 암을 얇게 하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 발명에서는 산업용 로보트의 패스 라인을 낮게 하는 것이 가능하게 된다.

또, 본 발명에서는, 연결기구는 제1 감속기의 입력축인 제1 입력축과 제2 감속기의 입력축인 제2 입력축을 연결하고 있다. 이 때문에, 연결기구에 걸리는 부하를 작게 하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 제1 암의 내부에 배치되는 연결기구를 소형화하는 것이 가능하게 되어, 제1 암을 소형화하는 것이 가능하게 된다. 또, 제1 암을 소형화하는 것이 가능하게 되기 때문에, 제1 암 측으로 돌출하도록 제2 구동용 모터가 제2 암에 장착되어 있어도, 제2 암을 대형화시키지 않고, 제1 암과 제2 구동용 모터와의 간섭을 방지하는 것이 가능하게 된다. 즉, 본 발명에서는, 제1 암 측으로 돌출하도록 제2 구동용 모터가 제2 암에 장착되어 있어도, 제1 암과 제2 구동용 모터와의 간섭을 방지하면서, 제2 암을 소형화하는 것이 가능하게 된다. 이와 같이, 본 발명에서는 제1 암 및 제2 암을 소형화하는 것이 가능하게 된다. 또, 본 발명에서는, 상술한 바와 같이, 제2 암을 얇게 하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 발명에서는 산업용 로보트를 소형화하는 것이 가능하게 된다.

또, 본 발명에서는 제1 감속기에 의해서 제1 관절부가 구성되고, 제2 감속기에 의해서 제2 관절부가 구성되어 있기 때문에, 제1 관절부 및 제2 관절부의 강성을 높이는 것이 가능하게 된다.

본 발명에서, 산업용 로보트는 제1 감속기 및/또는 제2 감속기의 중심을 통과하도록 배치되는 중공형상의 중공축을 구비하고, 제1 입력축 및/또는 제2 입력축은 중공축의 외주 측에 회전 가능하게 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제1 관절부나 제2 관절부가 감속기로 구성되어 있는 경우라도, 제1 관절부나 제2 관절부에서는 중공축의 내주 측을 사용하여, 산업용 로보트의 배선을 인회(引回)하는 것이 가능하게 된다. 즉, 제1 관절부나 제2 관절부에서, 감속기의 외주 측에 배선을 인회하기 위한 스페이스를 마련하지 않아도, 산업용 로보트의 배선을 인회하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 제1 관절부 및/또는 제2 관절부의 지름을 작게 하는 것이 가능하게 되어, 산업용 로보트를 소형화하는 것이 가능하게 된다.

본 발명에서, 제3 관절부는 제3 감속기로 구성되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제3 관절부의 강성을 높이는 것이 가능하게 된다.

본 발명에서, 산업용 로보트는 제3 감속기의 중심을 통과하도록 배치되는 중공형상의 제2 중공축을 구비하고, 제3 감속기의 입력축인 제3 입력축은 제2 중공축의 외주 측에 회전 가능하게 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제3 관절부가 감속기로 구성되어 있는 경우라도, 제3 관절부에서는 제2 중공축의 내주 측을 사용하여, 산업용 로보트의 배선을 인회하는 것이 가능하게 된다. 즉, 제3 관절부에서, 감속기의 외주 측에 배선을 인회하기 위한 스페이스를 마련하지 않아도, 산업용 로보트의 배선을 인회하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 제3 관절부의 지름을 작게 하는 것이 가능하게 되어, 산업용 로보트를 소형화하는 것이 가능하게 된다.

본 발명에서, 연결기구는, 예를 들어, 제1 입력축에 고정되는 제1 풀리와, 제2 입력축에 고정되는 제2 풀리와, 제1 풀리와 제2 풀리에 걸쳐지는 벨트를 구비하고 있다.

본 발명에서, 선단 측 동작부는 그 기단 측이 제2 암의 선단 측에 회전 가능하게 장착되는 제3 암과, 그 기단 측이 제3 암의 선단 측에 회전 가능하게 장착되는 핸드와, 핸드를 회전 구동하는 핸드구동기구를 구비하고, 핸드구동기구는 핸드구동용 모터와, 핸드구동용 모터의 출력축에 장착되는 핸드용 감속기와, 핸드용 감속기에 장착되는 핸드용 풀리를 구비하며, 핸드용 풀리는 대략 통 모양으로 형성되고, 핸드구동용 모터의 본체의 외주면의 일부를 덮도록 핸드용 감속기에 장착되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 핸드용 풀리가 핸드구동용 모터의 본체의 외주면의 일부를 덮도록 핸드용 감속기에 장착되어 있기 때문에, 핸드구동기구의 높이를 낮게 하여, 산업용 로보트의 패스 라인을 낮게 하는 것이 가능하게 된다.

본 발명에서, 핸드용 감속기는 핸드구동용 모터의 출력축의 외주면을 덮도록 핸드구동용 모터의 출력축에 장착되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 핸드구동기구의 높이를 보다 낮게 하여, 산업용 로보트의 패스 라인을 보다 낮게 하는 것이 가능하게 된다.

본 발명에서, 선단 측 동작부는, 핸드로서, 상하방향으로 겹쳐지도록 배치되는 제1 핸드와 제2 핸드를 구비함과 아울러, 핸드구동기구로서, 제1 핸드를 회전 구동하는 제1 핸드구동기구와 제2 핸드를 회전 구동하는 제2 핸드구동기구를 구비하고, 제1 핸드구동기구는 핸드구동용 모터로서의 제1 핸드구동용 모터와, 핸드용 감속기로서의 제1 핸드용 감속기와, 핸드용 풀리로서의 제1 핸드용 풀리를 구비하며, 제2 핸드구동기구는 핸드구동용 모터로서의 제2 핸드구동용 모터와, 핸드용 감속기로서의 제2 핸드용 감속기와, 핸드용 풀리로서의 제2 핸드용 풀리를 구비하고, 제1 핸드구동용 모터와 제2 핸드구동용 모터는 대략 같은 높이로 배치되며, 제1 핸드용 감속기와 제2 핸드용 감속기는 대략 같은 높이로 배치되고, 제1 핸드용 풀리와 제2 핸드용 풀리는 상하방향으로 어긋난 위치에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 선단 측 동작부가 2개의 핸드를 구비하고 있는 경우라도, 핸드구동기구의 높이를 낮게 하여, 산업용 로보트의 패스 라인을 낮게 하는 것이 가능하게 된다.

이상과 같이, 본 발명의 산업용 로보트에서는 소형화가 가능하고 또한 패스 라인을 낮게 하는 것이 가능하게 된다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 산업용 로보트의 개략 측면도이다.
도 2는 도 1의 E-E방향에서 산업용 로보트를 나타내는 개략 평면도이다
도 3은 도 1에 나타내는 산업용 로보트가 사용되는 반도체 제조 시스템의 개략 평면도이다.
도 4는 도 1에 나타내는 산업용 로보트의 내부 구성을 나타내는 단면도이다.
도 5는 도 4에 나타내는 제1 감속기 및 그 주변 부분의 구성을 나타내는 확대 단면도이다.
도 6은 도 4에 나타내는 제2 감속기 및 그 주변 부분의 구성을 나타내는 확대 단면도이다.
도 7은 도 4의 F부의 확대도이다.
도 8은 도 7에 나타내는 제1 핸드구동용 모터 및 그 주변 부분의 구성을 나타내는 확대 단면도이다.
도 9는 도 7에 나타내는 제2 핸드구동용 모터 및 그 주변 부분의 구성을 나타내는 확대 단면도이다.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시형태를 설명한다.

(산업용 로보트의 개략 구성)

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 산업용 로보트(1)의 개략 측면도이다. 도 2는 도 1의 E-E방향에서 산업용 로보트(1)를 나타내는 개략 평면도이다. 도 3은 도 1에 나타내는 산업용 로보트(1)가 사용되는 반도체 제조 시스템(16)의 개략 평면도이다. 또한, 도 2에서는 핸드(7, 8)의 도시를 생략하고 있다.

본 형태의 산업용 로보트(1)는 반도체 웨이퍼(2)(도 3 참조)를 반송하기 위한 다관절형의 로보트이다. 이 산업용 로보트(1)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 본체부(3)와, 본체부(3)에 회동 가능하게 장착되는 제1 암(4)과, 제1 암(4)에 회동 가능하게 장착되는 제2 암(5)과, 제2 암(5)에 회전 가능하게 장착되는 제3 암(6)과, 제3 암(6)에 회전 가능하게 장착되는 핸드(7, 8)를 구비하고 있다. 또한, 이하의 설명에서는, 산업용 로보트(1)를 「로보트(1)」라고 하고, 반도체 웨이퍼(2)를 「웨이퍼(2)」라고 한다.

또, 로보트(1)는 제1 암(4) 및 제2 암(5)을 회동시켜 제1 암(4)과 제2 암(5)으로 이루어지는 암부(9)를 신축시키는 암부 구동기구(11)와, 제3 암(6)을 회전 구동하는 제3 암 구동기구(12)와, 핸드(7)를 회전 구동하는 핸드구동기구(13)와, 핸드(8)를 회전 구동하는 핸드구동기구(14)를 구비하고 있다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 로보트(1)는, 예를 들어, 반도체 제조 시스템(16)에 조립되어 사용된다. 구체적으로는, 로보트(1)는 반도체 제조 시스템(16)의 입구에 배치되고, 카세트(17)에 수납되어 있는 웨이퍼(2)를 취출하여 처리장치(18) 안에 웨이퍼(2)를 수납한다.

본체부(3)는 원통 모양으로 형성되어 있다. 본체부(3)의 내부에는 제1 암(4)을 승강시키는 승강기구(도시생략)가 수납되어 있다. 제1 암(4), 제2 암(5) 및 제3 암(6)은 중공 모양으로 형성되어 있다. 제1 암(4)의 기단 측은 본체부(3)에 회동 가능하게 장착되어 있다. 제2 암(5)의 기단 측은 제1 암(4)의 선단 측에 회동 가능하게 장착되어 있다. 제3 암(6)의 기단 측은 제2 암(5)의 선단 측에 회전 가능하게 장착되어 있다. 본 형태에서는, 상하방향에서, 본체부(3)와 제1 암(4)과 제2 암(5)과 제3 암(6)이 하측으로부터 이 순서로 배치되어 있다.

핸드(7)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 상하방향에서 보았을 때의 형상이 대략 Y형상이 되도록 형성되어 있고, 양다리 모양으로 되어 있는 핸드(7)의 선단부에 웨이퍼(2)가 탑재된다. 핸드(8)는 핸드(7)와 같은 형상으로 형성되어 있으며, 양다리 모양으로 되어 있는 핸드(8)의 선단부에 웨이퍼(2)가 탑재된다.

핸드(7, 8)의 기단 측은 제3 암(6)의 선단 측에 회전 가능하게 장착되어 있다. 핸드(7, 8)는 상하방향으로 겹치도록 배치되어 있다. 구체적으로는, 핸드(7)가 상측에 배치되고, 핸드(8)가 하측에 배치되어 있다. 또, 핸드(7, 8)는 제3 암(6)보다도 상측에 배치되어 있다. 본 형태에서는, 예를 들어, 핸드(7)는 제1 핸드이고, 핸드(8)는 제2 핸드이다. 또, 본 형태에서는, 제3 암(6)과 핸드(7, 8)에 의해서, 그 기단 측이 제2 암(5)의 선단 측에 회전 가능하게 장착되는 선단 측 동작부가 구성되어 있다.

또한, 도 3에서는, 핸드(8)의 도시를 생략하고 있다. 또, 본 형태의 로보트(1)의 동작시에는, 핸드(7)와 핸드(8)가 상하방향으로 겹치는 경우도 있지만, 대부분의 경우, 핸드(7)와 핸드(8)는 상하방향으로 겹치지 않는다. 예를 들어, 도 3의 이점쇄선으로 나타내는 바와 같이, 핸드(7)가 카세트(7) 안에 비집고 들어가고 있을 때에는, 핸드(8)는 본체부(3) 측으로 회전하고 있고, 카세트(7) 안에 들어가 있지 않는다. 이 때의 핸드(7)에 대한 핸드(8)의 회전각도는, 예를 들어, 120° ~ 150°이다.

(암부 구동기구의 구성)

도 4는 도 1에 나타내는 산업용 로보트(1)의 내부 구성을 나타내는 단면도이다. 도 5는 도 4에 나타내는 제1 감속기(21) 및 그 주변 부분의 구성을 나타내는 확대 단면도이다. 도 6은 도 4에 나타내는 제2 감속기(22) 및 그 주변 부분의 구성을 나타내는 확대 단면도이다.

암부 구동기구(11)는 구동원이 되는 제1 구동용 모터(20)와, 제1 구동용 모터(20)의 동력을 감속하여 제1 암(4)에 전달하기 위한 제1 감속기(21)와, 제1 구동용 모터(20)의 동력을 감속하여 제2 암(5)에 전달하기 위한 제2 감속기(22)와, 제1 감속기(21)와 제2 감속기(22)를 연결하는 연결기구(23)를 구비하고 있다.

제1 구동용 모터(20)는 본체부(3)의 내부에 배치되어 있다. 이 제1 구동용 모터(20)의 출력축에는 풀리(24)가 고정되어 있다.

제1 감속기(21)는 본체부(3)와 제1 암(4)을 연결하는 제1 관절부를 구성하고 있다. 이 제1 감속기(21)는, 예를 들어, 파동치차(波動齒車)장치인 하모닉 드라이브(등록상표)이며, 도 5에 나타내는 바와 같이, 웨이브 제네레이터(25)와, 서큘러 스플라인(26)과, 플렉스(flex) 스플라인(27)으로 구성되어 있다. 플렉스 스플라인(27)은 본체부(3)에 고정되어 있다. 서큘러 스플라인(26)은 제1 암(4)의 기단 측에 고정되어 있다. 웨이브 제네레이터(25)의 하단에는 풀리(28)가 고정되어 있다. 이 풀리(28)와 제1 구동용 모터(20)의 출력축에 고정되는 풀리(24)에는 벨트(29)가 걸쳐져 있다.

제1 암(4)의 기단 측에는 제1 감속기(21)의 중심을 통과하도록 배치되는 중공축(30)이 고정되어 있다. 웨이브 제네레이터(25)는 중공축(30)의 외주 측에 회전 가능하게 배치되어 있다. 본 형태에서는, 중공축(30)의 내주 측을 이용하여, 소정의 배선이 인회되어 있다.

제2 감속기(22)는 제1 암(4)과 제2 암(5)을 연결하는 제2 관절부를 구성하고 있다. 이 제2 감속기(22)는 제1 감속기(21)와 같은 형상의 하모닉 드라이브(등록상표)이며, 도 6에 나타내는 바와 같이, 웨이브 제네레이터(32)와, 서큘러 스플라인(33)과, 플렉스 스플라인(34)으로 구성되어 있다. 플렉스 스플라인(34)은 제2 암(5)의 기단 측에 고정되어 있다. 서큘러 스플라인(33)은 제1 암(4)의 선단 측에 고정되어 있다.

제1 암(4)의 선단 측에는 제2 감속기(22)의 중심을 통과하도록 배치되는 중공축(35)이 고정되어 있다. 웨이브 제네레이터(32)는 중공축(35)의 외주 측에 회전 가능하게 배치되어 있다. 본 형태에서는, 중공축(35)의 내주 측을 이용하여, 소정의 배선이 인회되어 있다.

연결기구(23)는 웨이브 제네레이터(25)의 상단에 고정되는 풀리(36)와, 웨이브 제네레이터(32)의 하단에 고정되는 풀리(37)와, 풀리(36, 37)에 걸쳐지는 벨트(38)를 구비하고 있다. 풀리(36, 37) 및 벨트(38)는 제1 암(4)의 내부에 배치되어 있다.

웨이브 제네레이터(25)의 하단에 고정되는 풀리(28)에는, 상술한 바와 같이, 벨트(29)를 통하여 제1 구동용 모터(20)의 출력축이 연결되어 있고, 본 형태의 웨이브 제네레이터(25)는 제1 감속기(21)의 입력축인 제1 입력축으로 되어 있다. 또, 웨이브 제네레이터(32)에는 웨이브 제네레이터(25), 벨트(29, 38) 및 풀리(28, 36, 37)를 통하여 제1 구동용 모터(20)의 출력축이 연결되어 있으며, 본 형태의 웨이브 제네레이터(32)는 제2 감속기(22)의 입력축인 제2 입력축으로 되어 있다. 또, 풀리(36)는 제1 입력축인 웨이브 제네레이터(25)에 고정되는 제1 풀리이고, 풀리(37)는 제2 입력축인 웨이브 제네레이터(32)에 고정되는 제2 풀리이다.

본 형태에서는, 제1 감속기(21)와 제2 감속기(22)는 같은 형상의 감속기이지만, 그 감속비는 차이가 난다. 또, 본 형태에서는, 제1 감속기(21)의 감속비, 제2 감속기(22)의 감속비 및 풀리(36)의 지름과 풀리(37)의 지름과의 비는 제2 암(5)과 제3 암(6)을 연결하는 제3 관절부를 구성하는 후술의 제3 감속기(41)의 중심의 이동궤적이 직선 모양으로 되도록 설정되어 있다. 즉, 연결기구(23)는 제3 감속기(41)의 중심의 이동궤적이 직선 모양이 되도록, 제1 감속기(21) 및 제2 감속기(22)의 감속비를 고려한 후, 소정의 속도비로 웨이브 제네레이터(25, 32)를 연결하고 있다. 구체적으로는, 상하방향에서 보았을 때에, 암부(9)의 신축시의 제3 감속기(41)의 중심의 이동궤적이 제1 감속기(21)의 중심을 통과하는 직선(L)(도 2, 도 3 참조)이 되도록, 풀리(36)의 지름과 풀리(37)의 지름과의 비가 설정되어 있다.

(제3 암 구동기구의 구성)

도 7은 도 4의 F부의 확대도이다. 제3 암부 구동기구(12)는 구동원이 되는 제2 구동용 모터(40)와, 제2 구동용 모터(40)의 동력을 감속하여 제3 암(6)에 전달하기 위한 제3 감속기(41)를 구비하고 있다.

제2 구동용 모터(40)는 제2 암(5)의 선단 측에 장착되어 있다. 구체적으로는, 제2 구동용 모터(40)는 제2 암(5)의, 제3 감속기(41)가 배치된 개소보다도 선단 측에 고정되어 있다. 제2 구동용 모터(40)는 제2 암(5)의 선단 측에 고정되어 있고, 도 4에 나타내는 바와 같이, 제2 구동용 모터(40)의 본체는 제2 암(5)의 하면보다도 제1 암(4) 측(즉, 하측)으로 돌출해 있다. 제2 구동용 모터(40)의 출력축에는 풀리(42)가 고정되어 있다. 또한, 제2 암(5)의 하면보다도 하측으로 돌출해 있는 제2 구동용 모터(40)의 본체 부분은 커버에 의해서 덮여 있다.

또, 제2 구동용 모터(40)는 암부(9)가 수축되었을 때(도 2, 도 4 등에 나타내는 상태 때)에, 제2 구동용 모터(40)의 본체가 제1 암(4)의 기단 측의 측방에 배치되어 제1 암(4)과 간섭하지 않도록, 제2 암(5)의 선단 측에 고정되어 있다. 또, 도 2에 나타내는 바와 같이, 암부(9)가 수축되었을 때에, 제2 구동용 모터(40)가 본체부(3)의 외주면보다도 지름방향 외측으로 불거져 나가지 않도록, 제2 구동용 모터(40)가 제2 암(5)의 선단 측에 고정되어 있다.

제3 감속기(41)는 제2 암(5)과 제3 암(6)을 연결하는 제3 관절부를 구성하고 있다. 이 제3 감속기(41)는 하모닉 드라이브(등록상표)이며, 도 7에 나타내는 바와 같이, 웨이브 제네레이터(45)와, 서큘러 스플라인(46)과, 플렉스 스플라인(47)으로 구성되어 있다. 플렉스 스플라인(47)은 제3 암(6)에 고정되어 있다. 서큘러 스플라인(46)은 제2 암(5)의 선단 측에 고정되어 있다. 웨이브 제네레이터(45)의 하단에는 풀리(48)가 고정되어 있다. 이 풀리(48)와 제2 구동용 모터(40)의 출력축에 고정되는 풀리(42)에는 벨트(49)가 걸쳐져 있다. 이와 같이, 풀리(48)에는 벨트(49)를 통하여 제2 구동용 모터(40)의 출력축이 연결되어 있고, 본 형태의 웨이브 제네레이터(45)는 제3 감속기(41)의 입력축인 제3 입력축으로 되어 있다.

제2 암(5)의 선단 측에는 제3 감속기(41)의 중심을 통과하도록 배치되는 제2 중공축으로서의 중공축(50)이 고정되어 있다. 웨이브 제네레이터(45)는 중공축(50)의 외주 측에 회전 가능하게 배치되어 있다. 본 형태에서는, 중공축(50)의 내주 측을 이용하여, 소정의 배선이 인회되어 있다.

(핸드구동기구의 구성)

도 8은 도 7에 나타내는 핸드구동용 모터(52) 및 그 주변 부분의 구성을 나타내는 확대 단면도이다. 도 9는 도 7에 나타내는 핸드구동용 모터(58) 및 그 주변 부분의 구성을 나타내는 확대 단면도이다.

핸드구동기구(13)는 구동원이 되는 핸드구동용 모터(52)와, 핸드구동용 모터(52)의 동력을 감속하여 핸드(7)에 전달하기 위한 핸드용 감속기(53)와, 핸드용 감속기(53)에 장착되는 풀리(54)와, 핸드(7)에 장착되는 풀리(55)와, 풀리(54, 55)에 걸쳐지는 벨트(56)를 구비하고 있다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 핸드구동용 모터(52), 핸드용 감속기(53), 풀리(54, 55) 및 벨트(56)는 제3 암(6)의 내부에 배치되어 있다.

핸드구동기구(14)는, 핸드구동기구(13)와 마찬가지로, 구동원이 되는 핸드구동용 모터(58)와, 핸드구동용 모터(58)의 동력을 감속하여 핸드(8)에 전달하기 위한 핸드용 감속기(59)와, 핸드용 감속기(59)에 장착되는 풀리(60)와, 핸드(8)에 장착되는 풀리(61)와, 풀리(60, 61)에 걸쳐지는 벨트(62)를 구비하고 있다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 핸드구동용 모터(58), 핸드용 감속기(59), 풀리(60, 61) 및 벨트(62)는 제3 암(6)의 내부에 배치되어 있다.

핸드구동용 모터(52, 58)는 같은 모터이다. 이 핸드구동용 모터(52, 58)는 상하방향에서 보았을 때에 제3 감속기(41)의 중심축에 대하여 점대칭으로 배치되어 있다. 본 형태에서는, 핸드구동용 모터(52)가 제3 감속기(41)의 중심축보다도 제3 암(6)의 선단 측에 고정되고, 핸드구동용 모터(58)가 제3 감속기(41)의 중심축보다도 제3 암(6)의 기단 측에 고정되어 있다. 또, 핸드구동용 모터(52, 58)는 대략 같은 높이로 배치되어 있다.

핸드용 감속기(53)는 하모닉 드라이브(등록상표)이며, 도 8에 나타내는 바와 같이, 웨이브 제네레이터(65)와, 서큘러 스플라인(66)과, 플렉스 스플라인(67)으로 구성되어 있다. 플렉스 스플라인(67)에는 풀리(54)가 고정되어 있다. 서큘러 스플라인(66)은 제3 암(6)에 고정되어 있다. 웨이브 제네레이터(65)는 핸드구동용 모터(52)의 출력축에 고정되어 있다. 본 형태에서는, 핸드용 감속기(53)의 두께가 핸드구동용 모터(52)의 출력축의 길이와 대략 동일한 정도로 되어 있으며, 핸드용 감속기(53)는 핸드구동용 모터(52)의 출력축의 외주면을 덮도록 배치되어 있다.

핸드용 감속기(59)는 핸드용 감속기(53)와 같은(같은 형상의) 하모닉 드라이브(등록상표)이며, 도 9에 나타내는 바와 같이, 웨이브 제네레이터(69)와, 서큘러 스플라인(70)과, 플렉스 스플라인(71)으로 구성되어 있다. 플렉스 스플라인(71)에는 풀리(60)가 고정되어 있다. 서큘러 스플라인(70)은 제3 암(6)에 고정되어 있다. 웨이브 제네레이터(69)는 핸드구동용 모터(58)의 출력축에 고정되어 있다. 본 형태에서는, 핸드용 감속기(59)의 두께가 핸드구동용 모터(58)의 출력축의 길이와 대략 같은 정도로 되어 있으며, 핸드용 감속기(59)는 핸드구동용 모터(58)의 출력축의 외주면을 덮도록 배치되어 있다. 또, 본 형태에서는, 핸드용 감속기(53, 59)는 대략 같은 높이로 배치되어 있다.

풀리(54)는 대략 원통 모양으로 형성되어 있다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 풀리(54)의 상단이 플렉스 스플라인(67)의 하단에 고정되어 있고, 풀리(54)는 핸드구동용 모터(52)의 본체(52a)의 상단 측의 외주면의 일부를 덮고 있다. 풀리(54)의 측면의 하단 측에는 벨트(56)가 맞물리는 맞물림부(54a)가 형성되어 있다.

풀리(60)는 상하방향의 길이가 풀리(54)보다도 짧은 대략 원통 모양으로 형성되어 있다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 풀리(60)의 상단이 플렉스 스플라인(71)의 하단에 고정되어 있고, 풀리(60)는 핸드구동용 모터(58)의 본체(58a)의 상단 측의 외주면의 일부를 덮고 있다. 풀리(60)의 측면에는 벨트(62)가 맞물리는 맞물림부(60a)가 형성되어 있다.

도 7에 나타내는 바와 같이, 풀리(55)는 핸드(7)의 기단 측에 고정되는 중공축(73)의 하단 측에 고정되어 있다. 즉, 풀리(55)는 중공축(73)을 통하여 핸드(7)에 고정되어 있다. 풀리(61)는 핸드(8)의 기단 측에 고정되는 중공축(74)의 하단에 고정되어 있다. 즉, 풀리(61)는 중공축(74)을 통하여 핸드(8)에 고정되어 있다. 중공축(74)은 중공축(73)의 외주면을 덮도록 중공축(73)과 동심 모양으로 배치되어 있으며, 풀리(55, 61)는 상하방향으로 겹치도록 배치되어 있다. 본 형태에서는, 풀리(55)가 하측에 배치되고, 풀리(61)가 상측에 배치되어 있다. 또, 풀리(55, 61)가 상하방향으로 겹치도록 배치되어 있기 때문에, 풀리(54)의 맞물림부(54a)와, 풀리(60)의 맞물림부(60a)는 상하방향으로 어긋난 위치에 배치되어 있다. 본 형태에서는, 맞물림부(54a)가 하측에 배치되고, 맞물림부(60a)가 상측에 배치되어 있다.

또한, 본 형태에서는, 풀리(54, 60)는 핸드용 감속기(53, 59)에 장착되는 핸드용 풀리이다. 또, 핸드구동기구(13)는 제1 핸드인 핸드(7)를 회전 구동하는 제1 핸드구동기구이며, 핸드구동기구(14)는 제2 핸드인 핸드(8)를 회전 구동하는 제2 핸드구동기구이다. 또한, 핸드구동용 모터(52)는 제1 핸드구동용 모터이며, 핸드구동용 모터(58)는 제2 핸드구동용 모터이고, 핸드용 감속기(53)는 제1 핸드용 감속기이며, 핸드용 감속기(59)는 제2 핸드용 감속기이고, 풀리(54)는 제1 핸드용 풀리이며, 풀리(60)는 제2 핸드용 풀리이다.

(산업용 로보트의 개략 동작)

이상과 같이 구성된 로보트(1)에서는, 제1 구동용 모터(20)가 구동하면, 도 3에 나타내는 바와 같이, 제3 감속기(41)의 중심이 직선(L)상을 이동하도록 암부(9)가 신축한다. 또, 제2 구동용 모터(40)가 구동하면, 제3 감속기(41)를 중심으로 하여, 제3 암(6)이 암부(9)에 대해서 상대 회전한다. 또한, 핸드구동용 모터(52)가 구동하면, 중공축(73)을 중심으로 하여 핸드(7)가 제3 암(6)에 대해서 상대 회전하며, 핸드구동용 모터(58)가 구동하면, 중공축(74)을 중심으로 하여 핸드(8)가 제3 암(6)에 대해서 상대 회전한다.

이상의 동작을 조합하여, 로보트(1)는 카세트(17)에 수납되어 있는 웨이퍼(2)를 취출하여 처리장치(18) 안으로 웨이퍼(2)를 수납한다. 또한, 로보트(1)가 웨이퍼(2)를 반송할 때에는, 본체부(3)의 내부에 배치된 승강기구에 의해서, 필요에 따라서, 암부(9), 제3 암(6) 및 핸드(7, 8)가 승강한다.

(본 형태의 주된 효과)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 제2 구동용 모터(40)는 제2 암(5)의, 제3 감속기(41)가 배치된 개소보다도 선단 측으로, 또한, 제1 암(4) 측으로 돌출하도록 제2 암(5)에 장착되어 있다. 이 때문에, 제2 암(5)의, 제2 감속기(22)와 제3 감속기(41)와의 사이에 제2 구동용 모터(40)가 내장되는 경우와 비교하여, 제2 암(5)을 얇게 하는 것이 가능하게 된다.

또, 본 형태에서는, 핸드구동용 모터(52)의 본체(52a)의 상단 측의 외주면의 일부를 덮도록 풀리(54)가 핸드용 감속기(53)에 고정되고, 핸드구동용 모터(58)의 본체(58a)의 상단 측의 외주면의 일부를 덮도록 풀리(60)가 핸드용 감속기(59)에 고정되어 있다. 또, 본 형태에서는, 핸드구동용 모터(52)의 출력축의 길이와 대략 같은 정도의 두께의 핸드용 감속기(53)가, 핸드구동용 모터(52)의 출력축의 외주면을 덮도록 배치되며, 핸드구동용 모터(58)의 출력축의 길이와 대략 같은 정도의 두께의 핸드용 감속기(59)가, 핸드구동용 모터(58)의 출력축의 외주면을 덮도록 배치되어 있다. 이 때문에, 핸드구동용 모터(52, 58)의 출력축에 핸드용 감속기(53, 59)가 고정되며, 또한, 핸드용 감속기(53, 59)에 풀리(54, 60)가 고정되어 있는 경우라도, 핸드구동기구(13, 14)의 높이를 낮게 하여, 제3 암(6)을 얇게 하는 것이 가능하게 된다.

특히, 본 형태에서는, 풀리(54)의 형상과 풀리(60)의 형상이 차이가 나기 때문에, 핸드구동용 모터(52, 58)가 대략 같은 높이로 배치되며, 핸드용 감속기(53, 59)가 대략 같은 높이로 배치되어 있음도 불구하고, 풀리(54)의 맞물림부(54a)와, 풀리(60)의 맞물림부(60a)가 상하방향으로 어긋난 위치에 배치되어 있다. 따라서, 로보트(1)가 2개의 핸드(7, 8)를 구비하고 있는 경우라도, 제3 암(6)을 얇게 하는 것이 가능하게 된다.

이와 같이, 본 형태에서는, 제2 암(5) 및 제3 암(6)을 얇게 하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 형태에서는, 핸드(7, 8)의 상면까지의 높이를 낮게 하는 것이 가능하게 되어, 로보트(1)의 패스 라인을 낮게 하는 것이 가능하게 된다.

본 형태에서는, 제1 감속기(21)의 입력축인 웨이브 제네레이터(25)와, 제2 감속기(22)의 입력축인 웨이브 제네레이터(32)가 연결기구(23)에 의해서 연결되어 있다. 이 때문에, 연결기구(23)에 걸리는 부하를 작게 하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 제1 암(4)의 내부에 배치되는 연결기구(23)를 소형화할 수 있어, 제1 암(4)을 소형화하는 것이 가능하게 된다.

또, 본 형태에서는, 제1 암(4)을 소형화할 수 있기 때문에, 제2 구동용 모터(40)의 본체가 제2 암(5)의 하면보다도 제1 암(4) 측으로 돌출하도록 제2 구동용 모터(40)가 제2 암(5)의 선단 측에 고정되어 있어도, 제2 암(5)을 대형화시키지 않고, 암부(9)가 수축되었을 때의 제2 구동용 모터(40)의 본체와 제1 암(4)과의 간섭을 방지할 수 있다. 즉, 본 형태에서는, 제1 암(4) 측으로 돌출하도록 제2 구동용 모터(40)가 제2 암(5)에 장착되어 있어도, 암부(9)가 수축되었을 때의 제2 구동용 모터(40)의 본체와 제1 암(4)과의 간섭을 방지하면서, 제2 암(5)을 소형화하는 것이 가능하게 된다.

이와 같이, 본 형태에서는, 제1 암(4) 및 제2 암(5)을 소형화하는 것이 가능하게 된다. 또, 본 형태에서는, 상술한 바와 같이, 제2 암(5) 및 제3 암(6)을 얇게 하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 형태에서는, 로보트(1)를 소형화하는 것이 가능하게 된다.

본 형태에서는, 제1 감속기(21)는 본체부(3)와 제1 암(4)을 연결하는 제1 관절부를 구성하고, 제2 감속기(22)는 제1 암(4)과 제2 암(5)을 연결하는 제2 관절부를 구성하며, 제3 감속기(41)는 제2 암(5)과 제3 암(6)을 연결하는 제3 관절부를 구성하고 있다. 이 때문에, 제1 관절부, 제2 관절부 및 제3 관절부의 강성을 높이는 것이 가능하게 된다.

본 형태에서는, 제1 감속기(21)의 중심을 통과하도록 배치되는 중공축(30), 제2 감속기(22)의 중심을 통과하도록 배치되는 중공축(35) 및 제3 감속기(41)의 중심을 통과하도록 배치되는 중공축(50)의 내주 측을 이용하여 소정의 배선이 인회되어 있다. 이 때문에, 제1 관절부, 제2 관절부 및 제3 관절부가 감속기로 구성되어 있는 경우라도, 제1 관절부, 제2 관절부 및 제3 관절부에서, 감속기의 외주 측에서 배선을 인회할 필요가 없다. 따라서, 본 형태에서는, 제1 관절부, 제2 관절부 및 제3 관절부의 지름을 작게 하는 것이 가능하게 되어, 로보트(1)를 소형화하는 것이 가능하게 된다.

(다른 실시형태)

상술한 형태는, 본 발명의 바람직한 형태의 일례이지만, 이것에 한정되지 않고 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 여러 가지 변형 실시가 가능하다.

상술한 형태에서는, 제1 감속기(21)의 플렉스 스플라인(27)이 본체부(3)에 고정되고, 서큘러 스플라인(26)이 제1 암(4)의 기단 측에 고정됨과 아울러, 제2 감속기(22)의 플렉스 스플라인(34)이 제2 암(5)의 기단 측에 고정되고, 서큘러 스플라인(33)이 제1 암(4)의 선단 측에 고정되어 있다. 이 밖에도 예를 들어, 서큘러 스플라인(26)이 본체부(3)에 고정되고, 플렉스 스플라인(27)이 제1 암(4)의 기단 측에 고정됨과 아울러, 서큘러 스플라인(33)이 제2 암(5)의 기단 측에 고정되며, 플렉스 스플라인(34)이 제1 암(4)의 선단 측에 고정되어도 된다. 즉, 제1 감속기(21) 및 제2 감속기(22)가 상하 반전되어 배치되어도 된다. 이 경우에는, 제3 감속기(41)의 중심의 이동궤적이 직선 모양이 되도록, 풀리(36)의 지름과 풀리(37)의 지름과의 비가 설정된다. 또, 제3 감속기(41)가 상하 반전되어서 배치되어도 된다.

상술한 형태에서는, 제1 감속기(21), 제2 감속기(22) 및 제3 감속기(41)는 하모닉 드라이브(등록상표)이지만, 제1 감속기(21), 제2 감속기(22) 및/또는 제3 감속기(41)는 하모닉 드라이브(등록상표) 이외의 중공 구조의 치차장치라도 된다. 예를 들어, 제1 감속기(21), 제2 감속기(22) 및/또는 제3 감속기(41)는 사이크로 감속기(등록상표)라도 되고, RV(Rotor Vector) 감속기 혹은 유성치차 감속기 등이라도 된다. 또, 제1 감속기(21), 제2 감속기(22) 및/또는 제3 감속기(41)는 제1 하이포이드 기어(hypoid gear)와, 제1 하이포이드 기어에 치합(齒合)하는 제2 하이포이드 기어를 구비하는 감속기라도 된다. 또, 제1 감속기(21), 제2 감속기(22) 및/또는 제3 감속기(41)는 중공 구조로 되지 않아도 된다.

상술한 형태에서는, 연결기구(23)는 풀리(36, 37)와 벨트(38)에 의해서 구성되어 있다. 이 밖에도 예를 들어, 연결기구(23)는 치차열에 의해서 구성되어도 된다. 또, 연결기구(23)는 스프로켓(sprocket)과 체인에 의해서 구성되어도 된다.

상술한 형태에서는, 제3 암(6)과 핸드(7, 8)에 의해서, 그 기단 측이 제2 암(5)의 선단 측에 회전 가능하게 장착되는 선단 측 동작부가 구성되어 있다. 이 밖에도 예를 들어, 핸드(7, 8)에 의해서 선단 측 동작부가 구성되어도 된다. 또, 소정의 엔드 이펙터(end effector)에 의해서 선단 측 동작부가 구성되어도 된다.

상술한 형태에서는, 제3 감속기(41)에 의해서 제2 구동용 모터(40)의 동력이 감속되어 제3 암(6)에 전달되어 있다. 이 밖에도 예를 들어, 제3 감속기(41)에 대신하여, 풀리와 벨트에 의해서, 혹은, 스프로켓과 체인에 의해서, 제2 구동용 모터(40)의 동력이 감속되어 제3 암(6)에 전달되어도 된다.

상술한 형태에서는, 제3 암(6)의 선단 측에 2개의 핸드(7, 8)가 장착되어 있지만, 제3 암(6)의 선단 측에 1개의 핸드가 장착되어도 된다. 또, 상술한 형태에서는, 로보트(1)는 반도체 웨이퍼(2)를 반송하기 위한 로보트지만, 로보트(1)는 액정용의 유리기판 등의 다른 반송대상물을 반송하는 반송용 로보트라도 되고, 조립용 로보트 등의 반송용 로보트 이외의 산업용 로보트라도 된다.

상술한 형태에서는, 핸드(7, 8)는 상하방향에서 보았을 때의 형상이 대략 Y형상이 되도록 형성되어 있지만, 핸드(7, 8)는 그 외의 형상에 형성되어도 된다. 또, 상술한 형태에서는, 핸드(7, 8)가 같은 형상으로 형성되어 있지만, 또 핸드(7, 8)는 같은 형상이 아니라도 된다.

1 로보트(산업용 로보트) 3 본체부
4 제1 암 5 제2 암
6 제3 암(선단 측 동작부의 일부)
7 핸드(제1 핸드, 선단 측 동작부의 일부)
8 핸드(제2 핸드, 선단 측 동작부의 일부)
13 핸드구동기구(제1 핸드구동기구) 14 핸드구동기구(제2 핸드구동기구)
20 제1 구동용 모터 21 제1 감속기(제1 관절부)
22 제2 감속기(제2 관절부) 23 연결기구
25 웨이브 제네레이터(제1 입력축) 30, 35 중공축
32 웨이브 제네레이터(제2 입력축) 36 풀리(제1 풀리)
37 풀리(제2 풀리) 38 벨트
40 제2 구동용 모터 41 제3 감속기(제3 관절부)
45 웨이브 제네레이터(제3 입력축) 50 중공축(제2 중공축)
52 핸드구동용 모터(제1 핸드구동용 모터)
53 핸드용 감속기(제1 핸드용 감속기)
54 풀리(핸드용 풀리, 제1 핸드용 풀리)
58 핸드구동용 모터(제2 핸드구동용 모터)
59 핸드용 감속기(제2 핸드용 감속기)
60 풀리(핸드용 풀리, 제2 핸드용 풀리)

Claims

본체부와, 그 기단 측이 상기 본체부에 회동 가능하게 장착되는 제1 암과, 그 기단 측이 상기 제1 암의 선단 측에 회동 가능하게 장착되는 제2 암과, 그 기단 측이 상기 제2 암의 선단 측에 회전 가능하게 장착되는 선단 측 동작부와, 상기 본체부와 상기 제1 암을 연결하는 제1 관절부를 구성하는 제1 감속기와, 상기 제1 암과 상기 제2 암을 연결하는 제2 관절부를 구성하는 제2 감속기와, 상기 제2 암과 상기 선단 측 동작부를 연결하는 제3 관절부와, 상기 제1 감속기의 입력축인 제1 입력축과 상기 제2 감속기의 입력축인 제2 입력축을 연결함과 아울러 상기 제1 암의 내부에 배치되는 연결기구와, 상기 제1 입력축에 연결되는 제1 구동용 모터와, 상기 선단 측 동작부를 회전 구동하는 제2 구동용 모터를 구비하고,
상기 제3 관절부의 이동궤적이 직선 모양이 되도록 상기 제1 감속기의 감속비 및 상기 제2 감속기의 감속비가 설정됨과 아울러, 상기 연결기구가 소정의 속도비로 상기 제1 입력축과 상기 제2 입력축을 연결하며,
상기 제2 구동용 모터는, 상기 제2 암의, 상기 제3 관절부보다도 선단 측으로, 또한, 상기 제1 암 측으로 돌출하도록 상기 제2 암에 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 감속기 및/또는 상기 제2 감속기의 중심을 통과하도록 배치되는 중공형상의 중공축을 구비하고,
상기 제1 입력축 및/또는 상기 제2 입력축은 상기 중공축의 외주 측에 회전 가능하게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
청구항 1 또는 2에 있어서,
상기 제3 관절부는 제3 감속기로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
청구항 3에 있어서,
상기 제3 감속기의 중심을 통과하도록 배치되는 중공형상의 제2 중공축을 구비하고,
상기 제3 감속기의 입력축인 제3 입력축은 상기 제2 중공축의 외주 측에 회전 가능하게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 연결기구는 상기 제1 입력축에 고정되는 제1 풀리와, 상기 제2 입력축에 고정되는 제2 풀리와, 상기 제1 풀리와 상기 제2 풀리에 걸쳐지는 벨트를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 있어서,
상기 선단 측 동작부는 그 기단 측이 상기 제2 암의 선단 측에 회전 가능하게 장착되는 제3 암과, 그 기단 측이 상기 제3 암의 선단 측에 회전 가능하게 장착되는 핸드와, 상기 핸드를 회전 구동하는 핸드구동기구를 구비하고,
상기 핸드구동기구는 핸드구동용 모터와, 상기 핸드구동용 모터의 출력축에 장착되는 핸드용 감속기와, 상기 핸드용 감속기에 장착되는 핸드용 풀리를 구비하며,
상기 핸드용 풀리는 대략 통 모양으로 형성되고, 상기 핸드구동용 모터의 본체의 외주면의 일부를 덮도록 상기 핸드용 감속기에 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
청구항 6에 있어서,
상기 핸드용 감속기는 상기 핸드구동용 모터의 출력축의 외주면을 덮도록 상기 핸드구동용 모터의 출력축에 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
청구항 6 또는 7에 있어서,
상기 선단 측 동작부는, 상기 핸드로서, 상하방향으로 겹쳐지도록 배치되는 제1 핸드와 제2 핸드를 구비함과 아울러, 상기 핸드구동기구로서, 상기 제1 핸드를 회전 구동하는 제1 핸드구동기구와 상기 제2 핸드를 회전 구동하는 제2 핸드구동기구를 구비하고,
상기 제1 핸드구동기구는 상기 핸드구동용 모터로서의 제1 핸드구동용 모터와, 상기 핸드용 감속기로서의 제1 핸드용 감속기와, 상기 핸드용 풀리로서의 제1 핸드용 풀리를 구비하며,
상기 제2 핸드구동기구는 상기 핸드구동용 모터로서의 제2 핸드구동용 모터와, 상기 핸드용 감속기로서의 제2 핸드용 감속기와, 상기 핸드용 풀리로서의 제2 핸드용 풀리를 구비하고,
상기 제1 핸드구동용 모터와 상기 제2 핸드구동용 모터는 대략 같은 높이로 배치되고, 상기 제1 핸드용 감속기와 상기 제2 핸드용 감속기는 대략 같은 높이로 배치되며, 상기 제1 핸드용 풀리와 상기 제2 핸드용 풀리는 상하방향으로 어긋난 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.