KR20130053555A

KR20130053555A - 기판 처리 장치

Info

Publication number: KR20130053555A
Application number: KR1020110118637A
Authority: KR
Inventors: 김철우
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2011-11-15
Filing date: 2011-11-15
Publication date: 2013-05-24
Also published as: KR102019779B1

Abstract

기판 처리 장치가 개시된다. 본 발명의 실시예에 따르면, 기판을 이송하는 기판 이송부재와; 상기 기판 이송부재로부터 상기 기판을 이송받아 상기 기판 상에 처리 공정을 수행하는 공정 처리부재와; 상기 기판 이송 부재 또는 상기 공정 처리부재를 감싸며, 그 내부를 진공 배기시키는 배기부재를 포함하고, 상기 기판 이송 부재와 상기 공정 처리부재는 일방향으로 배치되는 기판 처리 장치가 제공된다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE TREATING APPARATUS}

본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 진공 배기 부재를 가진 기판 처리 장치에 관한 것이다.

최근 휴대 전화기, 휴대형 컴퓨터 등의 전자 기기의 표시부에 액정 표시 장치가 널리 이용되고 있다. 액정 표시 장치는 블랙 매트릭스, 컬러 필터, 공통 전극 및 배향막이 형성된 컬러 필터 기판과; 박막트랜지스터(TFT), 화소 전극 및 배향막이 형성된 어레이 기판 사이에 액정층을 형성하여, 액정의 이방성에 따른 빛의 굴절률의 차이를 이용해 영상 효과를 얻는다.

컬러 필터 기판과 어레이 기판 사이에 액정층을 형성하는 방법으로는 액정 주입 방법 또는 액정 적하 방법이 있다. 액정 주입 방법은 컬러 필터 기판과 어레이 기판을 일정 간격 이격시켜 합착하고, 그 사이 공간으로 액정을 주입하여 충전하는 방법이다.

액정 적하 방법은 컬러 필터 기판 또는 어레이 기판상의 실라인 영역에 실라인을 형성한 후 실라인에 의해 정의된 표시 영역 내에 액정을 적하하는 방법이다. 액정이 적하된 컬러 필터 기판과 어레이 기판은 얼라인된 후 적하된 액정이 전면에 고르게 퍼지도록 가압되며, 자외선(UV) 및 열처리 공정을 통해 씰 패턴을 경화시킴으로써 컬러 필터 기판과 어레이 기판이 합착된다.

한편, 특허문헌 1에는 지지 유닛, 액적을 잉크젯 방식으로 토출하여 프린팅하는 헤드, 그리고 제어부를 가진 프린팅 장치가 개시되어 있다. 그러나, 특허문헌 1의 프린팅 장치는 공정 진행시 외부로부터 유입되는 수분이나 산소 등을 차단할 수 없다.

특허문헌 1 : 한국공개특허 10-2011-0012741 (2011. 02. 09. 공개)

본 발명의 목적은 공정 진행시 외부로부터 수분이나 산소 등의 유입을 차단할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판을 이송하는 기판 이송부재와; 상기 기판 이송부재로부터 상기 기판을 이송받아 상기 기판 상에 처리 공정을 수행하는 공정 처리부재와; 상기 공정 처리부재를 감싸며, 그 내부를 진공 배기시키는 배기부재를 포함하고, 상기 기판 이송 부재와 상기 공정 처리부재는 일방향으로 배치되는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 배기부재는, 상기 공정 처리부재를 감싸 외부로부터 밀폐시키는 몸체부와; 상기 몸체부와 상기 공정 처리부재 사이의 공간을 진공 배기시키는 배기부를 가지는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 배기부재는, 상기 기판 이송 부재와 상기 공정 처리부재를 동시에 감싸 밀폐시키는 몸체부와; 상기 몸체부에 연통하여 상기 몸체부 내부를 진공 배기시키는 배기부를 가지는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 배기부재는, 상기 몸체부 내에서 상기 기판 이송 부재가 놓이는 영역과 상기 공정 처리부재가 놓이는 영역을 구획하는 격벽과; 상기 기판 이송 부재가 놓이는 영역에 연통하여 그 내부를 진공 배기시키는 제 1 배기부와; 상기 공정 처리부재가 놓이는 영역에 연통하는 제 2 배기부를 더 포함하고, 상기 공정 처리부재가 놓이는 영역 내에서 상기 공정 처리부재와 상기 몸체부 사이에는 버퍼 영역이 형성되며, 상기 제 2 배기부는 상기 버퍼 영역을 진공 배기시키는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 공정 처리부재는, 상기 기판이 놓이는 기판 지지 유닛과; 상기 기판 지지 유닛 상에 놓인 상기 기판으로 액을 토출하는 헤드 유닛과; 상기 헤드 유닛을 세정하는 세정 유닛을 포함하는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.

본 발명의 실시예에 의하면, 몸체부 내부를 배기부로 진공 배기하여 수분, 산소 등이 몸체부 내로 유입되는 것을 방지함으로써 기판 처리 공정의 불량률을 낮출 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 평면 배치를 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1의 공정 처리부재의 사시도이다.
도 3은 도 2의 공정 처리부재의 평면도이다.
도 4는 도 1의 기판 처리 장치의 다른 실시예에 대한 평면 배치를 보여주는 도면이다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 상세히 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 평면 배치를 보여주는 도면이다.

도 1을 참고할 때, 기판 처리 장치(1)는 기판 이송부재(30), 공정 처리부재(40), 그리고 배기부재(50)를 포함한다. 기판 이송부재(30)와 공정 처리부재(40)는 일렬로 배치된다. 배기부재(50)는 공정 처리부재(40)를 감싼다. 이와 달리, 배기부재(50)는 기판 이송 부재(30)와 공정 처리부재(40)를 동시에 감쌀 수도 있다. 이하, 기판 이송부재(30)와 공정 처리부재(40)가 배치된 방향을 제 1 방향(2)이라 하고, 상부에서 보았을 때 제 1 방향(2)에 수직인 방향을 제 2 방향(4)이라 하며, 제 1 방향(2)과 제 2 방향(4)에 모두 수직인 방향을 제 3 방향(6)이라 한다.

기판 이송부재(30)는 제 1 방향(2) 일측에서 인입되는 기판(S)을 제 1 방향(2) 타측의 공정 처리부재(40)로 이송한다. 기판 이송부재(30)는 구동부(31), 암(33), 그리고 지지부(35)를 포함한다.

공정 처리부재(40)는 기판 이송부재(30)로부터 기판(S)을 이송받아 기판(S) 상에 처리 공정을 수행한다.

도 2는 도 1의 공정 처리부재의 사시도이다. 도 3은 도 2의 공정 처리부재의 평면도이다. 공정 처리부재(40)는 잉크젯 방식으로 기판(S)에 액정(Liquid Crystal)을 도포하는 장치이고, 기판은 액정 표시 패널의 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판일 수 있으며, 액정은 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판의 전면에 도포될 수 있다.

도 2와 도 3을 참고할 때, 공정 처리부재(40)는 기판 지지 유닛(100), 헤드 유닛(400), 헤드 이동 유닛(500), 그리고 세정 유닛(800)을 포함한다. 기판 지지 유닛(100) 상에는 기판(S)이 놓인다. 기판 지지 유닛(100)은 지지판(110), 회전 구동 부재(120), 그리고 직선 구동 부재(130)를 포함한다. 직선 구동 부재(130)는 슬라이더(132)와 가이드 부재(134)를 가진다. 헤드 유닛(400)은 기판 지지 유닛(100) 상에 놓인 기판(S)으로 액을 토출한다. 헤드 유닛(400)은 갠트리(200)에 제공되고, 헤드 이동 유닛(500)에 의해 이동한다. 헤드 유닛(400)은 제 1 헤드 유닛(410), 제 2 헤드 유닛(420), 그리고 제 3 헤드 유닛(430)을 가진다. 이와 달리, 헤드 유닛(400)은 4개 이상이 될 수도 있다. 갠트리 이동 유닛(300)은 제 1 구동 유닛(310)과 제 2 구동 유닛(320)을 가진다. 제 1 구동 유닛(310)은 갠트리(200)의 일단에 제공되고, 제 2 구동 유닛(320)은 갠트리(300)의 타단에 제공된다. 세정 유닛(800)은 헤드 유닛(400)을 세정한다. 세정 유닛(800)은 제 1 세정 유닛(800a), 제 2 세정 유닛(800b), 그리고 제 3 세정 유닛(800c)을 포함한다. 세정 유닛(800)은 헤드 유닛(400)의 개수에 대응하게 제공될 수 있다.

다시 도 1을 참고할 때, 배기부재(50)는 기판 이송부재(30)와 공정 처리부재(40)를 감싸며, 그 내부를 진공 배기시킨다. 배기부재(50)는 몸체부(51)와 배기부(53)를 포함한다. 몸체부(51)는 박스 형상을 가진다. 몸체부(51)는 기판 이송부재(30)와 공정 처리부재(40)를 감싸 외부로부터 밀폐시킨다. 이와 달리, 몸체부(51)는 공정 처리부재(40)를 감싸 외부로부터 밀폐시킬 수 있다. 몸체부(51)의 제 1 방향(2) 일측면에는 기판(S)이 인입되는 입구(미도시)가 제공되고, 제 1 방향(2) 타측면에는 기판(S)이 인출되는 출구(미도시)가 제공된다. 입구(미도시)와 출구(미도시)에는 각각 셔터가 제공될 수 있다. 배기부(53)는 복수 개 제공될 수 있다. 배기부(53)는 몸체부(51)에 연통하여 몸체부(51)의 내부를 진공 배기시킨다. 배기부(53)는 몸체부(51)와 공정 처리부재(40) 사이의 공간을 진공 배기시킬 수 있다. 배기부(53)는 몸체부(51) 내부의 수분, 산소 등을 몸체부(51) 외부로 배기시킨다. 이와 같이 배기부(53)로 몸체부(51) 내부를 진공 배기시킴으로써, 글러브 박스(Glove Box) 기능을 수행하게 할 수 있다.

도 4는 도 1의 기판 처리 장치의 다른 실시예에 대한 평면 배치를 보여주는 도면이다.

도 4를 참고할 때, 기판 처리 장치(1')는 제 1 기판 이송부재(10'), 제 2 기판 이송부재(20'), 공정 처리부재(40'), 그리고 배기부재(50')를 포함한다. 제 2 기판 이송부재(20'), 공정 처리부재(40')는 각각 도 1의 기판 처리 장치(1)의 기판 이송부재(30), 공정 처리부재(40)와 유사하다.

제 1 기판 이송부재(10')는 컨베이어 방식으로 기판(S)을 이송한다. 제 1 기판 이송부재(10')는 복수 개의 회전축(11')과 롤러(13')들을 포함한다. 회전축(11')들은 제 1 방향(2)을 따라 일정 거리 이격되어 복수 개 배치된다. 각각의 회전축(11')은 제 2 방향(4)에 나란하게 놓인다. 롤러(13')들은 회전축(11')을 따라 제 2 방향(4)에 나란하게 복수 개 제공된다. 롤러(13')들은 기판(S)의 하부면을 지지하며, 기판(S)을 제 1 방향(2)에 나란한 방향으로 이동시킨다.

배기부재(50')는 몸체부(51')와 배기부(53')를 포함한다. 몸체부(51')는 제 1 기판 이송부재(10'), 제 2 기판 이송부재(20'), 그리고 공정 처리부재(40')를 감싸 외부로부터 밀폐시킨다. 이와 달리, 몸체부(51')는 제 2 기판 이송부재(20')와 공정 처리부재(40')를 감쌀 수도 있다. 몸체부(51')는 박스 형상으로 제공될 수 있다. 몸체부(51')는 격벽들(55',57')을 가진다. 제 1 격벽(55')은 몸체부(51') 내에서 제 1 기판 이송부재(10')가 배치되는 영역과 제 2 기판 이송부재(20')가 배치되는 영역을 구획한다. 제 2 격벽(57')은 몸체부(51') 내에서 제 2 기판 이송부재(20')가 배치되는 영역과 공정 처리부재(40')가 배치되는 영역을 구획한다. 제 1 격벽(55')과 제 2 격벽(57')에는 각각 기판(S)이 출입하는 출입구(미도시)가 제공된다. 출입구(미도시)에는 셔터가 제공될 수 있다. 배기부(53')는 제 2 기판 이송부재(20')가 배치되는 영역과 공정 처리부재(40')가 배치되는 영역에 각각 제공된다. 청구항에 따라 제 2 기판 이송부재(20')가 배치되는 영역에 제공된 배기부(53')를 제 1 배기부라 하고, 공정 처리부재(40')가 배치되는 영역에 제공된 배기부(53')를 제 2 배기부라 한다. 배기부(53')는 제 1 기판 이송부재(10')가 배치되는 영역에도 제공될 수 있다. 공정 처리부재(40')가 배치되는 영역 내에서 공정 처리부재(40')와 몸체부(51') 사이에는 버퍼 영역(BA)이 제공된다. 공정 처리부재(40')가 배치되는 영역에 제공된 배기부(53')는 버퍼 영역(BA)을 진공 배기시킨다. 이와 같이 배기부(53')로 버퍼 영역(BA)을 진공 배기시킴으로써, 국부적으로 글러브 박스(Glove Box) 기능을 수행하게 할 수 있다. 또한, 몸체부 내부를 배기부로 진공 배기하여 수분, 산소 등이 몸체부 내로 유입되는 것을 방지함으로써 기판 처리 공정의 불량률을 낮출 수 있다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다.

따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 **
10 : 기판 처리 장치
100 : 기판 지지 유닛
110 : 지지판
120 : 회전 구동 부재
130 : 직선 구동 부재
200 : 갠트리
400 : 헤드 유닛
500 : 헤드 이동 유닛
800 : 세정 유닛

Claims

기판을 이송하는 기판 이송부재와;
상기 기판 이송부재로부터 상기 기판을 이송받아 상기 기판 상에 처리 공정을 수행하는 공정 처리부재와;
상기 공정 처리부재를 감싸며, 그 내부를 진공 배기시키는 배기부재를 포함하고,
상기 기판 이송 부재와 상기 공정 처리부재는 일방향으로 배치되는 기판 처리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 배기부재는,
상기 공정 처리부재를 감싸 외부로부터 밀폐시키는 몸체부와;
상기 몸체부와 상기 공정 처리부재 사이의 공간을 진공 배기시키는 배기부를 가지는 기판 처리 장치.