KR20130015245A - Fringe field switching liquid crystal display device and method of fabricating the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A fringe field type LCD(Liquid Crystal Display) device and a manufacturing method thereof are provided to improve charging characteristics of a pixel by reducing loads of a data line. CONSTITUTION: A column spacer(150) is formed on a part of a data line(117). The column spacer is formed by photo acrylic. A common electrode(108) is formed on a upper part of the column spacer. An area of a black matrix(106) is reduced by forming the common electrode on the data line. A parasitic capacitance is reduced between the common electrode and the data line by forming the column spacer. [Reference numerals] (AA) TFT area; (BB) Data line area

Description

프린지 필드형 액정표시장치 및 그 제조방법{FRINGE FIELD SWITCHING LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND METHOD OF FABRICATING THE SAME}Fringe field type liquid crystal display device and manufacturing method therefor {FRINGE FIELD SWITCHING LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND METHOD OF FABRICATING THE SAME}

본 발명은 프린지 필드형 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 마스크공정의 추가 없이 데이터라인의 부하(load)를 감소시키도록 한 프린지 필드형 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a fringe field type liquid crystal display device and a manufacturing method thereof, and more particularly, to a fringe field type liquid crystal display device and a method for manufacturing the same to reduce the load of the data line without the addition of a mask process. will be.

최근 정보 디스플레이에 관한 관심이 고조되고 휴대가 가능한 정보매체를 이용하려는 요구가 높아지면서 기존의 표시장치인 브라운관(Cathode Ray Tube; CRT)을 대체하는 경량 박막형 평판표시장치(Flat Panel Display; FPD)에 대한 연구 및 상업화가 중점적으로 이루어지고 있다. 특히, 이러한 평판표시장치 중 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 액정의 광학적 이방성을 이용하여 이미지를 표현하는 장치로서, 해상도와 컬러표시 및 화질 등에서 우수하여 노트북이나 데스크탑 모니터 등에 활발하게 적용되고 있다.Recently, interest in information display has increased, and a demand for using portable information media has increased, and a light-weight flat panel display (FPD) that replaces a cathode ray tube (CRT) And research and commercialization are being carried out. Particularly, among such flat panel display devices, a liquid crystal display (LCD) is an apparatus for displaying an image using the optical anisotropy of a liquid crystal, and is excellent in resolution, color display and picture quality and is actively applied to a notebook or a desktop monitor have.

상기 액정표시장치는 크게 컬러필터(color filter) 기판과 어레이(array) 기판 및 상기 컬러필터 기판과 어레이 기판 사이에 형성된 액정층(liquid crystal layer)으로 구성된다.The liquid crystal display comprises a color filter substrate, an array substrate, and a liquid crystal layer formed between the color filter substrate and the array substrate.

이하, 도 1을 참조하여 일반적인 액정표시장치의 구조에 대해서 상세히 설명한다.Hereinafter, the structure of a typical liquid crystal display device will be described in detail with reference to FIG.

도 1은 일반적인 액정표시장치를 개략적으로 나타내는 분해사시도이다.1 is an exploded perspective view schematically showing a general liquid crystal display device.

도면에 도시된 바와 같이, 상기 액정표시장치는 크게 컬러필터 기판(5)과 어레이 기판(10) 및 상기 컬러필터 기판(5)과 어레이 기판(10) 사이에 형성된 액정층(liquid crystal layer)(30)으로 구성된다.As shown in the figure, the liquid crystal display comprises a color filter substrate 5, an array substrate 10, and a liquid crystal layer (not shown) formed between the color filter substrate 5 and the array substrate 10 30).

상기 컬러필터 기판(5)은 적(Red; R), 녹(Green; G) 및 청(Blue; B)의 색상을 구현하는 다수의 서브-컬러필터(7)로 구성된 컬러필터(C)와 상기 서브-컬러필터(7) 사이를 구분하고 액정층(30)을 투과하는 광을 차단하는 블랙매트릭스(black matrix)(6), 그리고 상기 액정층(30)에 전압을 인가하는 투명한 공통전극(8)으로 이루어져 있다.The color filter substrate 5 includes a color filter C composed of a plurality of sub-color filters 7 for implementing colors of red (R), green (G), and blue (B); A black matrix 6 that separates the sub-color filters 7 and blocks light passing through the liquid crystal layer 30, and a transparent common electrode that applies a voltage to the liquid crystal layer 30. 8)

또한, 상기 어레이 기판(10)은 종횡으로 배열되어 다수의 화소영역(P)을 정의하는 다수의 게이트라인(16)과 데이터라인(17), 상기 게이트라인(16)과 데이터라인(17)의 교차영역에 형성된 스위칭소자인 박막 트랜지스터(Thin Film transistor; TFT)(T) 및 상기 화소영역(P) 위에 형성된 화소전극(18)으로 이루어져 있다.In addition, the array substrate 10 may be arranged vertically and horizontally to define a plurality of gate lines 16 and data lines 17 and a plurality of gate lines 16 and data lines 17 that define a plurality of pixel regions P. A thin film transistor (TFT) T, which is a switching element formed in an intersection region, and a pixel electrode 18 formed on the pixel region P are included.

이와 같이 구성된 상기 컬러필터 기판(5)과 어레이 기판(10)은 화상표시 영역의 외곽에 형성된 실런트(sealant)(미도시)에 의해 대향하도록 합착되어 패널을 구성하며, 상기 컬러필터 기판(5)과 어레이 기판(10)의 합착은 상기 컬러필터 기판(5) 또는 어레이 기판(10)에 형성된 합착키(미도시)를 통해 이루어진다.The color filter substrate 5 and the array substrate 10 configured as described above are joined to face each other by sealants (not shown) formed on the outer side of the image display area to form a panel, and the color filter substrate 5 And the bonding of the array substrate 10 is made through a bonding key (not shown) formed in the color filter substrate 5 or the array substrate 10.

이때, 상기 액정표시장치에 일반적으로 사용되는 구동방식으로 네마틱상의 액정분자를 기판에 대해 수직 방향으로 구동시키는 트위스티드 네마틱(Twisted Nematic; TN)방식이 있으나, 상기 트위스티드 네마틱방식의 액정표시장치는 시야각이 90도 정도로 좁다는 단점을 가지고 있다. 이것은 액정분자의 굴절률 이방성(refractive anisotropy)에 기인하는 것으로 기판과 수평하게 배향된 액정분자가 패널에 전압이 인가될 때 기판과 거의 수직방향으로 배향되기 때문이다.At this time, the driving method generally used in the liquid crystal display device is a twisted nematic (TN) method for driving the nematic liquid crystal molecules in a vertical direction with respect to the substrate, but the liquid crystal display device of the twisted nematic method Has the disadvantage that the viewing angle is as narrow as 90 degrees. This is due to the refractive anisotropy of the liquid crystal molecules because the liquid crystal molecules oriented horizontally with the substrate are oriented almost perpendicular to the substrate when a voltage is applied to the panel.

이에 액정분자를 기판에 대해 수평한 방향으로 구동시켜 시야각을 170도 이상으로 향상시킨 횡전계(In Plane Switching; IPS)방식 액정표시장치가 있으며, 이를 자세히 설명하면 다음과 같다.Accordingly, there is an in-plane switching (IPS) type liquid crystal display device in which the liquid crystal molecules are driven in a horizontal direction with respect to the substrate to improve the viewing angle to 170 degrees or more.

도 2는 횡전계방식 액정표시장치의 일부를 나타내는 단면도로써, 화소전극과 공통전극 사이에 형성되는 프린지 필드가 슬릿을 관통하여 화소영역 및 공통전극 상에 위치하는 액정분자를 구동시킴으로써 화상을 구현하는 프린지 필드형(Fringe Field Switching; FFS) 액정표시장치의 단면 구조를 나타내고 있다.FIG. 2 is a cross-sectional view of a portion of a transverse electric field type liquid crystal display device, in which a fringe field formed between a pixel electrode and a common electrode penetrates a slit to drive liquid crystal molecules positioned on a pixel region and a common electrode to implement an image A cross-sectional structure of a fringe field switching (FFS) liquid crystal display device is shown.

상기 프린지 필드형 액정표시장치는 액정분자가 수평으로 배향되어 있는 상태에서 하부에 화소전극이 형성되는 한편 상부에 공통전극이 형성됨에 따라 전계가 수평 및 수직 방향으로 발생하여 액정분자가 트위스트(twist)와 틸트(tilt)되어 구동되어 진다.In the fringe field type liquid crystal display, the liquid crystal molecules are horizontally aligned, and as the pixel electrode is formed at the bottom and the common electrode is formed at the top, an electric field is generated in the horizontal and vertical directions so that the liquid crystal molecules are twisted. It is tilted and driven.

도면에 도시된 바와 같이, 프린지 필드형 액정표시장치는 크게 제 1 기판인 컬러필터 기판(5)과 제 2 기판인 어레이 기판(10) 및 상기 컬러필터 기판(5)과 어레이 기판(10) 사이에 형성된 액정층(미도시)으로 구성되며, 상기 컬러필터 기판(5)과 어레이 기판(10) 사이에는 컬럼 스페이서(50)가 형성되어 상기 컬러필터 기판(5)과 어레이 기판(10) 사이의 셀갭(cell gap)을 일정하게 유지시킨다.As shown in the drawing, the fringe field type liquid crystal display device is largely divided between the color filter substrate 5 as the first substrate and the array substrate 10 as the second substrate, and the color filter substrate 5 and the array substrate 10. And a column spacer 50 between the color filter substrate 5 and the array substrate 10 to form a column spacer 50 between the color filter substrate 5 and the array substrate 10. Keep the cell gap constant.

상기 컬러필터 기판(5)은 적, 녹 및 청색의 서브컬러필터(7)로 구성되는 컬러필터와 상기 서브컬러필터(7) 사이를 구분하고 상기 액정층을 투과하는 광을 차단하는 블랙매트릭스(6), 그리고 상기 컬러필터와 블랙매트릭스(6) 상부에 형성된 오버코트층(overcoat layer)(9)으로 이루어져 있다.The color filter substrate 5 may include a black matrix that distinguishes between a color filter composed of red, green, and blue sub color filters 7 and the sub color filter 7 and blocks light transmitted through the liquid crystal layer. 6) and an overcoat layer 9 formed on the color filter and the black matrix 6.

상기 어레이 기판(10)에는 종횡으로 배열되어 화소영역을 정의하는 게이트라인(미도시)과 데이터라인(17)이 형성되어 있으며, 상기 게이트라인과 데이터라인(17)의 교차영역, 즉 TFT 영역에는 스위칭소자인 박막 트랜지스터가 형성되어 있다.A gate line (not shown) and a data line 17 are formed in the array substrate 10 to be arranged horizontally and horizontally to define a pixel area, and in the intersection area of the gate line and the data line 17, that is, in the TFT area. A thin film transistor which is a switching element is formed.

이때, 상기 박막 트랜지스터는 상기 게이트라인에 연결된 게이트전극(21), 상기 데이터라인(17)에 연결된 소오스전극(22) 및 화소전극(18)에 연결된 드레인전극(23)으로 구성된다. 또한, 상기 박막 트랜지스터는 상기 게이트전극(21)과 소오스/드레인전극(22, 23) 사이의 절연을 위한 게이트절연막(15a) 및 상기 게이트전극(21)에 공급되는 게이트전압에 의해 상기 소오스전극(22)과 드레인전극(23) 사이에 전도채널(conductive channel)을 형성하는 액티브층(24)을 포함한다.In this case, the thin film transistor includes a gate electrode 21 connected to the gate line, a source electrode 22 connected to the data line 17, and a drain electrode 23 connected to the pixel electrode 18. In addition, the thin film transistor is formed by the gate insulating film 15a for insulation between the gate electrode 21 and the source / drain electrodes 22 and 23 and the gate electrode supplied by the gate voltage supplied to the gate electrode 21. An active layer 24 is formed between the 22 and the drain electrode 23 to form a conductive channel.

이때, 상기 액티브층(24)의 소오스/드레인영역은 오믹-콘택층(ohmic contact layer)(25n)을 통해 상기 소오스/드레인전극(22, 23)과 오믹-콘택을 형성하게 된다.In this case, the source / drain regions of the active layer 24 form ohmic contacts with the source / drain electrodes 22 and 23 through an ohmic contact layer 25n.

상기 화소영역 내에는 공통전극(8)과 화소전극(18)이 형성되어 있으며, 이때 상기 공통전극(8)은 박스 형태의 상기 화소전극(18)과 함께 프린지 필드를 발생시키기 위해 상기 공통전극(8) 내에 다수의 슬릿(8s)을 포함하고 있다.The common electrode 8 and the pixel electrode 18 are formed in the pixel region, and the common electrode 8 is formed together with the pixel electrode 18 in a box shape to generate a fringe field. 8, a plurality of slits 8s are included.

이때, 상기 화소전극(18)은 제 1 절연막(15b) 및 제 2 절연막(15c)에 형성된 콘택홀을 통해 상기 드레인전극(23)과 전기적으로 접속하게 되며, 상기 공통전극(8)은 화소전극(18) 위에 형성된 제 3 절연막(15d)에 의해 상기 화소전극(18)과 절연된다.In this case, the pixel electrode 18 is electrically connected to the drain electrode 23 through contact holes formed in the first insulating film 15b and the second insulating film 15c, and the common electrode 8 is a pixel electrode. The pixel electrode 18 is insulated from each other by the third insulating film 15d formed on the upper portion 18.

상기의 프린지 필드형 액정표시장치는 시야각이 넓은 장점을 가지고 있으며, 공통전극(8)이 데이터라인(17) 상부에까지 형성되는 경우 블랙매트릭스(6) 영역의 축소가 가능하여 개구율이 향상되는 이점이 있다.The fringe field type liquid crystal display device has a wide viewing angle, and when the common electrode 8 is formed on the data line 17, the black matrix 6 area can be reduced to increase the aperture ratio. have.

다만, 상기 공통전극(8)과 데이터라인(17) 사이의 오버랩에 의해 기생 커패시턴스(parasitic capacitance)가 발생하게 되는데, 이는 상기 데이터라인(17)의 부하(load) 증가에 따른 충전(charging) 특성 저하, 박막 트랜지스터의 크기 증가 및 소비전력의 증가를 초래하게 된다.However, parasitic capacitance is generated due to overlap between the common electrode 8 and the data line 17, which is a charging characteristic according to an increase in load of the data line 17. Deterioration, an increase in the size of the thin film transistor, and an increase in power consumption are caused.

이를 감소시키기 위해 도시된 바와 같이, 데이터라인(17) 상부에 제 2 절연막(15c)으로 낮은 유전율을 가진 포토 아크릴(photo acryl)을 적용하는 경우 마스크공정(즉, 포토리소그래피(photolithography)공정)이 추가되게 된다. 즉, 기존의 경우에는 화소전극과 드레인전극이 직접 콘택하는 반면, 포토 아크릴을 적용하는 경우에는 전술한 콘택홀이 필요하기 때문에 포토리소그래피공정이 한번 더 필요하게 된다.In order to reduce this, when a photo acryl having a low dielectric constant is applied to the second insulating layer 15c on the data line 17, a mask process (ie, a photolithography process) is performed. Will be added. That is, in the conventional case, the pixel electrode and the drain electrode are in direct contact, while in the case of applying photoacrylic, the photolithography process is required once more because the aforementioned contact hole is required.

상기 포토리소그래피공정은 마스크에 그려진 패턴을 박막이 증착된 기판 위에 전사시켜 원하는 패턴을 형성하는 일련의 공정으로 감광액 도포, 노광, 현상공정 등 다수의 공정으로 이루어지며, 다수의 포토리소그래피공정은 생산 수율을 떨어뜨리는 단점이 있다.The photolithography process is a series of processes in which a pattern drawn on a mask is transferred onto a substrate on which a thin film is deposited to form a desired pattern. The photolithography process includes a plurality of processes such as photoresist coating, exposure, and development processes. It has the disadvantage of dropping.

특히, 패턴을 형성하기 위하여 설계된 마스크는 매우 고가이어서, 공정에 적용되는 마스크수가 증가하면 액정표시장치의 제조비용이 이에 비례하여 상승하게 된다.In particular, a mask designed to form a pattern is very expensive, and as the number of masks applied to the process increases, the manufacturing cost of the liquid crystal display device increases in proportion thereto.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 고해상도 프린지 필드형 액정표시장치에 있어 데이터라인의 부하를 감소시켜 소비전력을 감소시키도록 한 프린지 필드형 액정표시장치 및 그 제조방법을 제공하는데 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problem, and an object of the present invention is to provide a fringe field type liquid crystal display device and a method for manufacturing the same, which reduce power consumption by reducing the load on a data line in a high resolution fringe field type liquid crystal display device. have.

본 발명의 다른 목적은 마스크공정의 추가 없이 데이터라인의 부하를 감소시키도록 한 프린지 필드형 액정표시장치 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a fringe field type liquid crystal display device and a method of manufacturing the same, which reduce the load on the data line without adding a mask process.

기타, 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 후술되는 발명의 구성 및 특허청구범위에서 설명될 것이다.Other objects and features of the present invention will be described in the configuration and claims of the invention which will be described later.

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 프린지 필드형 액정표시장치는 제 1 기판 위에 형성된 게이트전극과 게이트라인; 상기 게이트전극과 게이트라인이 형성된 제 1 기판 위에 형성된 게이트절연막; 상기 게이트절연막이 형성된 상기 게이트전극 상부에 형성된 액티브층; 상기 액티브층이 형성된 제 1 기판의 화소영역에 형성된 화소전극; 상기 화소전극이 형성된 제 1 기판의 액티브층 상부에 형성된 소오스전극과 드레인전극 및 상기 게이트라인과 교차하여 상기 화소영역을 정의하는 데이터라인; 상기 데이터라인 위에 유기 절연물질로 이루어져 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이의 셀갭을 유지하는 컬럼 스페이서; 상기 컬럼 스페이서가 형성된 제 1 기판 위에 형성된 보호막; 상기 보호막이 형성된 상기 제 1 기판에 형성되며, 상기 화소영역에 다수의 슬릿을 가진 공통전극; 및 상기 제 1 기판과 대향하여 합착하는 상기 제 2 기판을 포함한다.In order to achieve the above object, the fringe field type liquid crystal display device of the present invention comprises a gate electrode and a gate line formed on the first substrate; A gate insulating film formed on the first substrate on which the gate electrode and the gate line are formed; An active layer formed on the gate electrode on which the gate insulating film is formed; A pixel electrode formed in the pixel region of the first substrate on which the active layer is formed; A data line defining the pixel region by crossing the source electrode, the drain electrode, and the gate line formed on the active layer of the first substrate on which the pixel electrode is formed; A column spacer formed of an organic insulating material on the data line to maintain a cell gap between the first substrate and the second substrate; A protective film formed on the first substrate on which the column spacer is formed; A common electrode formed on the first substrate on which the passivation layer is formed and having a plurality of slits in the pixel region; And the second substrate bonded to face the first substrate.

이때, 상기 컬럼 스페이서는 포토 아크릴과 같은 낮은 유전율을 가진 유기 절연물질로 이루어진 것을 특징으로 한다.In this case, the column spacer is made of an organic insulating material having a low dielectric constant such as photo acryl.

상기 컬럼 스페이서는 각각의 화소영역 내에서 분리되도록 상기 데이터라인을 따라 소정의 길이를 가지는 것을 특징으로 한다.The column spacer may have a predetermined length along the data line to be separated in each pixel area.

상기 컬럼 스페이서는 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이의 셀갭을 유지하기 위한 갭 스페이서와 패널 표면에 압력이 가해졌을 경우 이를 완충하기 위한 눌림 스페이서로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The column spacer may include a gap spacer for maintaining a cell gap between the first substrate and the second substrate, and a press spacer for buffering a pressure when a pressure is applied to the panel surface.

상기 갭 스페이서와 눌림 스페이서는 서로 다른 높이를 가지는 것을 특징으로 한다.The gap spacer and the pressing spacer may have different heights.

본 발명의 프린지 필드형 액정표시장치의 제조방법은 제 1 기판과 제 2 기판을 제공하는 단계; 상기 제 1 기판에 게이트전극과 게이트라인을 형성하는 단계; 상기 게이트전극과 게이트라인이 형성된 제 1 기판 위에 게이트절연막을 형성하는 단계; 상기 게이트절연막이 형성된 상기 게이트전극 상부에 액티브층을 형성하는 단계; 상기 액티브층이 형성된 제 1 기판의 화소영역에 화소전극을 형성하는 단계; 상기 화소전극이 형성된 제 1 기판의 액티브층 상부에 소오스전극과 드레인전극을 형성하며, 상기 게이트라인과 교차하여 상기 화소영역을 정의하는 데이터라인을 형성하는 단계; 상기 데이터라인 위에 유기 절연물질로 이루어져 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이의 셀갭을 유지하는 컬럼 스페이서를 형성하는 단계; 상기 컬럼 스페이서가 형성된 제 1 기판 위에 보호막을 형성하는 단계; 상기 보호막이 형성된 상기 제 1 기판의 화소영역에 다수의 슬릿을 가진 공통전극을 형성하는 단계; 및 상기 제 1 기판과 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함한다.Method of manufacturing a fringe field type liquid crystal display device of the present invention comprises the steps of providing a first substrate and a second substrate; Forming a gate electrode and a gate line on the first substrate; Forming a gate insulating film on the first substrate on which the gate electrode and the gate line are formed; Forming an active layer on the gate electrode on which the gate insulating film is formed; Forming a pixel electrode in the pixel region of the first substrate on which the active layer is formed; Forming a source electrode and a drain electrode on the active layer of the first substrate on which the pixel electrode is formed, and forming a data line crossing the gate line to define the pixel region; Forming a column spacer formed of an organic insulating material on the data line to maintain a cell gap between the first substrate and the second substrate; Forming a protective film on the first substrate on which the column spacer is formed; Forming a common electrode having a plurality of slits in a pixel area of the first substrate on which the passivation layer is formed; And bonding the first substrate and the second substrate to each other.

이때, 상기 컬럼 스페이서는 포토 아크릴과 같은 낮은 유전율을 가진 유기 절연물질로 형성하는 것을 특징으로 한다.In this case, the column spacer is formed of an organic insulating material having a low dielectric constant such as photo acryl.

상기 컬럼 스페이서는 상기 데이터라인 상부에만 형성되는 것을 특징으로 한다.The column spacer is formed only on the data line.

상기 컬럼 스페이서는 상기 데이터라인을 따라 소정의 길이로 형성되는 것을 특징으로 한다.The column spacer may be formed to have a predetermined length along the data line.

상기 컬럼 스페이서는 각각의 화소영역 내에서 분리되도록 상기 데이터라인을 따라 소정의 길이로 형성되는 것을 특징으로 한다.The column spacer may be formed to have a predetermined length along the data line to be separated in each pixel area.

상기 컬럼 스페이서는 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이의 셀갭을 유지하기 위한 갭 스페이서와 패널 표면에 압력이 가해졌을 경우 이를 완충하기 위한 눌림 스페이서로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The column spacer may include a gap spacer for maintaining a cell gap between the first substrate and the second substrate, and a press spacer for buffering a pressure when a pressure is applied to the panel surface.

이때, 상기 갭 스페이서와 눌림 스페이서는 서로 다른 높이를 가지도록 형성되는 것을 특징으로 한다.In this case, the gap spacer and the pressed spacer are formed to have different heights.

상기 갭 스페이서와 눌림 스페이서는 하프-톤 마스크 또는 회절 마스크를 이용하여 서로 다른 높이를 가지도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The gap spacer and the pressing spacer may be formed to have different heights by using a half-tone mask or a diffraction mask.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 프린지 필드형 액정표시장치 및 그 제조방법은 데이터라인의 부하가 감소됨에 따라 화소의 충전 특성이 향상되게 된다. 그 결과 박막 트랜지스터의 성능이 향상되는 한편, 박막 트랜지스터의 크기를 줄일 수 있어 개구율을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다. 또한, 데이터라인의 부하가 감소됨에 따라 패널을 구동하는데 필요한 소비전력이 기존대비 1/4로 감소하게 된다.As described above, in the fringe field type liquid crystal display device and the manufacturing method thereof, the charging characteristic of the pixel is improved as the load of the data line is reduced. As a result, while the performance of the thin film transistor is improved, the size of the thin film transistor can be reduced, thereby providing an effect of improving the aperture ratio. In addition, as the load on the data line is reduced, the power consumption required to drive the panel is reduced to one-quarter.

특히, 상기 본 발명에 따른 프린지 필드형 액정표시장치 및 그 제조방법은 데이터라인 상부에 포토 아크릴로 컬럼 스페이서를 형성한 후, 그 상부에 공통전극을 형성함으로써 마스크공정의 추가 없이 데이터라인과 공통전극 사이의 커패시턴스를 감소시킬 수 있어 제조공정 및 비용이 감소되는 효과를 제공한다.In particular, the fringe field type liquid crystal display device and the method of manufacturing the same according to the present invention form a column spacer with photoacryl on the data line, and then form a common electrode on the data line and the common electrode without adding a mask process. Capacitance in between can be reduced, resulting in reduced manufacturing processes and costs.

도 1은 일반적인 액정표시장치를 개략적으로 나타내는 분해사시도.
도 2는 프린지 필드형 액정표시장치의 단면 구조를 개략적으로 나타내는 도면.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 프린지 필드형 액정표시장치의 단면 구조를 개략적으로 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 프린지 필드형 액정표시장치의 어레이 기판 일부를 개략적으로 나타내는 평면도.
도 5a 내지 도 5g는 상기 도 4에 도시된 어레이 기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 단면도.
도 6a 내지 도 6g는 상기 도 4에 도시된 어레이 기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 평면도.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 프린지 필드형 액정표시장치의 단면 구조를 개략적으로 나타내는 도면.
도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 프린지 필드형 액정표시장치의 어레이 기판 일부를 개략적으로 나타내는 평면도.
1 is an exploded perspective view schematically showing a general liquid crystal display device.
2 is a schematic cross-sectional view of a fringe field type liquid crystal display device;
3 is a schematic cross-sectional view of a fringe field type liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention;
4 is a plan view schematically illustrating a portion of an array substrate of a fringe field type liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention;
5A to 5G are cross-sectional views sequentially illustrating a manufacturing process of the array substrate illustrated in FIG. 4.
6A to 6G are plan views sequentially illustrating a manufacturing process of the array substrate illustrated in FIG. 4.
7 is a schematic cross-sectional view of a fringe field type liquid crystal display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.
8 is a plan view schematically illustrating a portion of an array substrate of a fringe field type liquid crystal display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 프린지 필드형 액정표시장치 및 그 제조방법의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the fringe field type liquid crystal display device and a method of manufacturing the same.

도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 프린지 필드형 액정표시장치의 단면 구조를 개략적으로 나타내는 도면이다.3 is a schematic cross-sectional view of a fringe field type liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.

또한, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 프린지 필드형 액정표시장치의 어레이 기판 일부를 개략적으로 나타내는 평면도로써, 화소전극과 공통전극 사이에 형성되는 프린지 필드가 슬릿을 관통하여 화소영역 및 화소전극 상에 위치하는 액정분자를 구동시킴으로써 화상을 구현하는 프린지 필드형 액정표시장치를 나타내고 있다.4 is a plan view schematically illustrating a portion of an array substrate of a fringe field type liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention, in which a fringe field formed between a pixel electrode and a common electrode penetrates a slit, A fringe field type liquid crystal display device for realizing an image by driving liquid crystal molecules positioned on a pixel electrode is shown.

이때, 실제의 액정표시장치에서는 N개의 게이트라인과 M개의 데이터라인이 교차하여 MxN개의 화소가 존재하지만, 설명을 간단하게 하기 위해 상기 도면에는 하나의 화소를 나타내고 있다. 즉, 상기 도 3은 TFT 영역과 데이터라인 영역을 포함하는 화소부 일부를 나타내고 있으며, 상기 도 4는 화소부와 데이터패드부 및 게이트패드부를 포함하는 하나의 화소를 예를 들어 나타내고 있다.At this time, in the actual liquid crystal display device, the N gate lines and the M data lines cross each other and there are M × N pixels. However, for simplicity, one pixel is shown in the figure. 3 illustrates a portion of a pixel portion including a TFT region and a data line region, and FIG. 4 illustrates one pixel including a pixel portion, a data pad portion, and a gate pad portion.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 프린지 필드형 액정표시장치는 크게 제 1 기판인 컬러필터 기판(105)과 제 2 기판인 어레이 기판(110) 및 상기 컬러필터 기판(105)과 어레이 기판(110) 사이에 형성된 액정층(미도시)으로 구성되며, 상기 컬러필터 기판(105)과 어레이 기판(110) 사이에는 컬럼 스페이서(150)가 형성되어 상기 컬러필터 기판(105)과 어레이 기판(110) 사이의 셀갭을 일정하게 유지시킨다.As shown in the figure, the fringe field type liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention is largely the color filter substrate 105 as the first substrate, the array substrate 110 as the second substrate and the color filter substrate ( It consists of a liquid crystal layer (not shown) formed between the 105 and the array substrate 110, a column spacer 150 is formed between the color filter substrate 105 and the array substrate 110 to the color filter substrate 105 ) And the cell gap between the array substrate 110 is kept constant.

상기 컬러필터 기판(105)은 적, 녹 및 청색의 서브컬러필터(107)로 구성되는 컬러필터와 상기 서브컬러필터(107) 사이를 구분하고 상기 액정층을 투과하는 광을 차단하는 블랙매트릭스(106), 그리고 상기 컬러필터와 블랙매트릭스(106) 상부에 형성된 오버코트층(109)으로 이루어져 있다.The color filter substrate 105 may include a black matrix that distinguishes between a color filter composed of red, green, and blue sub color filters 107 and the sub color filter 107 and blocks light transmitted through the liquid crystal layer ( 106, and an overcoat layer 109 formed on the color filter and the black matrix 106.

상기 어레이 기판(110)에는 종횡으로 배열되어 화소영역을 정의하는 게이트라인(116)과 데이터라인(117)이 형성되어 있으며, 상기 게이트라인(116)과 데이터라인(117)의 교차영역, 즉 TFT 영역에는 스위칭소자인 박막 트랜지스터가 형성되어 있다.A gate line 116 and a data line 117 are formed in the array substrate 110 to define a pixel area vertically and horizontally, and an intersection area of the gate line 116 and the data line 117, that is, a TFT, is formed. In the region, a thin film transistor serving as a switching element is formed.

이때, 상기 박막 트랜지스터는 상기 게이트라인(116)에 연결된 게이트전극(121), 상기 데이터라인(117)에 연결된 소오스전극(122) 및 화소전극(118)에 연결된 드레인전극(123)으로 구성된다. 또한, 상기 박막 트랜지스터는 상기 게이트전극(121)과 소오스/드레인전극(122, 123) 사이의 절연을 위한 게이트절연막(115a) 및 상기 게이트전극(121)에 공급되는 게이트전압에 의해 상기 소오스전극(122)과 드레인전극(123) 사이에 전도채널을 형성하는 액티브층(124)을 포함한다.In this case, the thin film transistor includes a gate electrode 121 connected to the gate line 116, a source electrode 122 connected to the data line 117, and a drain electrode 123 connected to the pixel electrode 118. In addition, the thin film transistor is connected to the source electrode by the gate insulating film 115a for insulation between the gate electrode 121 and the source / drain electrodes 122 and 123 and the gate voltage supplied to the gate electrode 121. An active layer 124 forming a conductive channel between the 122 and the drain electrode 123.

이때, 상기 액티브층(124)의 소오스/드레인영역은 오믹-콘택층(125n)을 통해 상기 소오스/드레인전극(122, 123)과 오믹-콘택을 형성하게 된다.In this case, the source / drain regions of the active layer 124 form ohmic contacts with the source / drain electrodes 122 and 123 through the ohmic contact layer 125n.

여기서, 상기 화소영역 내에는 공통전극(108)과 화소전극(118)이 형성되어 있으며, 이때 상기 공통전극(108)은 박스 형태의 상기 화소전극(118)과 함께 프린지 필드를 발생시키기 위해 상기 공통전극(108) 내에 다수의 슬릿(108s)을 포함하고 있다. 즉, 상기 화소영역 내에는 프린지 필드를 발생시키기 위한 공통전극(108)과 화소전극(118)이 형성되어 있는데, 이때 상기 화소전극(118)은 상기 화소영역 내에 박스 형태로 형성되어 있으며, 상기 공통전극(108)은 화소부 전체에 걸쳐 단일패턴으로 형성되는 동시에 각각의 화소영역 내에서 다수의 슬릿(108s)을 가지도록 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.Here, the common electrode 108 and the pixel electrode 118 are formed in the pixel region, wherein the common electrode 108 is formed together with the pixel electrode 118 in a box shape to generate a fringe field. A plurality of slits 108s are included in the electrode 108. That is, the common electrode 108 and the pixel electrode 118 for generating a fringe field are formed in the pixel region, wherein the pixel electrode 118 is formed in a box shape in the pixel region, and the common The electrode 108 is formed in a single pattern throughout the pixel portion and is formed to have a plurality of slits 108s in each pixel region.

이때, 상기 드레인전극(123)은 상기 화소전극(118) 위에 형성되어 상기 화소전극(118)과 직접 연결되게 되며, 상기 공통전극(108)은 상기 화소전극(118) 위에 형성된 보호막(115b)에 의해 상기 화소전극(118)과 절연된다.In this case, the drain electrode 123 is formed on the pixel electrode 118 to be directly connected to the pixel electrode 118, and the common electrode 108 is formed on the passivation layer 115b formed on the pixel electrode 118. It is insulated from the pixel electrode 118 by this.

이와 같이 상기 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치는 액정층 내에 포물선 형태의 횡전계인 프린지 필드를 유발시켜 액정분자를 구동시키는 프린지 필드형 액정표시장치를 예를 들어 나타내고 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.As described above, the liquid crystal display device according to the first exemplary embodiment of the present invention shows a fringe field type liquid crystal display device which drives a liquid crystal molecule by inducing a fringe field having a parabolic transverse electric field in the liquid crystal layer. However, the present invention is not limited thereto.

또한, 이와 같이 공통전극(108)이 데이터라인(117) 상부에도 형성되게 되므로 블랙매트릭스(106) 영역의 축소가 가능하여 개구율이 향상되게 되며, 상기 데이터라인(117) 상부에 낮은 유전율을 가진 포토 아크릴로 이루어진 컬럼 스페이서(150)가 형성됨에 따라 공통전극(108)과 데이터라인(117) 사이의 기생 커패시턴스를 감소시킬 수 있게 된다. 이에 따라 데이터라인의 부하가 감소되어 화소의 충전 특성이 향상되는 한편, 패널을 구동하는데 필요한 소비전력이 예를 들어, 4.5인치 HD 기준으로 기존 실리콘절연막 구조대비 1/4로 감소하게 된다.In addition, since the common electrode 108 is also formed on the data line 117 as described above, the area of the black matrix 106 can be reduced so that the aperture ratio is improved, and the photo having a low dielectric constant on the data line 117 is provided. As the column spacer 150 made of acrylic is formed, parasitic capacitance between the common electrode 108 and the data line 117 can be reduced. As a result, the load of the data line is reduced to improve the charging characteristic of the pixel, and the power consumption required to drive the panel is reduced to 1/4 of the structure of the conventional silicon insulating layer based on 4.5 inch HD, for example.

또한, 상기 본 발명의 제 1 실시예에 따른 프린지 필드형 액정표시장치는 전술한 바와 같이 상기 데이터라인(117) 상부에 포토 아크릴로 이루어진 컬럼 스페이서(150)를 형성한 후, 그 상부에 공통전극(108)을 형성함으로써 마스크공정의 추가 없이 공통전극(108)과 데이터라인(117) 사이의 상기 기생 커패시턴스를 감소시킬 수 있어 제조공정 및 비용이 감소되는 효과를 제공한다. 즉, 상기 포토 아크릴이 공통전극과 데이터라인 사이의 기생 커패시턴스를 감소시키는 역할 이외에 기존의 컬러필터 공정에서 적용하는 컬럼 스페이서를 대체하도록 함으로써 마스크공정이 추가되지 않게 된다.In the fringe field type liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention, after forming the column spacer 150 made of photoacryl on the data line 117, the common electrode is formed on the data line 117. Forming 108 allows the parasitic capacitance between common electrode 108 and data line 117 to be reduced without the addition of a mask process, thereby reducing the manufacturing process and cost. That is, the photo acryl replaces the column spacer applied in the existing color filter process in addition to reducing the parasitic capacitance between the common electrode and the data line, thereby preventing the mask process from being added.

이를 위해서 상기 포토 아크릴이 박막 트랜지스터 전면에 형성되는 것이 아니라, 데이터라인(117) 상부에만 형성하여 컬럼 스페이서(150) 역할을 수행하도록 하며, 상기 포토 아크릴이 컬럼 스페이서(150)로 적용될 경우 전체 컬럼 스페이서의 밀도가 너무 크면 안되기 때문에 컬럼 스페이서 밀도를 최소화하는 설계를 고려하여야 한다.To this end, the photo acryl is not formed on the entire surface of the thin film transistor, but is formed only on the data line 117 to serve as a column spacer 150. When the photo acryl is applied as the column spacer 150, the entire column spacer Because the density of D should not be too large, a design that minimizes column spacer density should be considered.

이와 같이 구성된 상기 어레이 기판(110)의 가장자리 영역에는 상기 게이트라인(116)과 데이터라인(117)에 각각 전기적으로 접속하는 게이트패드전극(126p)과 데이터패드전극(127p)이 형성되어 있으며, 외부의 구동회로부(미도시)로부터 인가 받은 주사신호와 데이터신호를 각각 상기 게이트라인(116)과 데이터라인(117)에 전달하게 된다.The gate pad electrode 126p and the data pad electrode 127p electrically connected to the gate line 116 and the data line 117 are formed in the edge region of the array substrate 110 configured as described above. The scan signal and the data signal applied from the driving circuit unit (not shown) are transferred to the gate line 116 and the data line 117, respectively.

즉, 상기 게이트라인(116)과 데이터라인(117)은 구동회로부 쪽으로 연장되어 각각 해당하는 게이트패드라인(116p)과 데이터패드라인(117p)에 연결되며, 상기 게이트패드라인(116p)과 데이터패드라인(117p)은 상기 게이트패드라인(116p)과 데이터패드라인(117p)에 각각 전기적으로 접속된 게이트패드전극(126p)과 데이터패드전극(127p)을 통해 구동회로부로부터 각각 주사신호와 데이터신호를 인가 받게 된다.That is, the gate line 116 and the data line 117 extend toward the driving circuit part and are connected to the corresponding gate pad line 116p and the data pad line 117p, respectively, and the gate pad line 116p and the data pad The line 117p receives the scan signal and the data signal from the driving circuit unit through the gate pad electrode 126p and the data pad electrode 127p electrically connected to the gate pad line 116p and the data pad line 117p, respectively. You will be authorized.

이때, 상기 데이터패드전극(127p)은 제 1 콘택홀(140a)을 통해 상기 데이터패드라인(117p)과 전기적으로 접속하고 상기 게이트패드전극(126p)은 제 2 콘택홀(140b)을 통해 상기 게이트패드라인(116p)과 전기적으로 접속하게 된다.In this case, the data pad electrode 127p is electrically connected to the data pad line 117p through the first contact hole 140a and the gate pad electrode 126p is connected to the gate through the second contact hole 140b. It is electrically connected to the pad line 116p.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 프린지 필드형 액정표시장치의 제조방법을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a fringe field type liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention configured as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 5a 내지 도 5g는 상기 도 4에 도시된 어레이 기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 단면도로써, TFT 영역과 데이터라인 영역의 어레이 기판 및 데이터패드 영역과 게이트패드 영역의 어레이 기판을 제조하는 공정을 각각 나타내고 있다.5A through 5G are cross-sectional views sequentially illustrating a manufacturing process of the array substrate illustrated in FIG. 4, and a process of manufacturing an array substrate of a TFT region and a data line region, and an array substrate of a data pad region and a gate pad region, respectively. It is shown.

또한, 도 6a 내지 도 6g는 상기 도 4에 도시된 어레이 기판의 제조공정을 순차적으로 나타내는 평면도이다.6A to 6G are plan views sequentially illustrating a manufacturing process of the array substrate illustrated in FIG. 4.

도 5a 및 도 6a에 도시된 바와 같이, 유리와 같은 투명한 절연물질로 이루어진 어레이 기판(110)의 TFT 영역에 게이트전극(121)과 게이트라인(116)을 형성하며, 상기 어레이 기판(110)의 게이트패드 영역에 게이트패드라인(116p)을 형성한다.As shown in FIGS. 5A and 6A, a gate electrode 121 and a gate line 116 are formed in a TFT region of an array substrate 110 made of a transparent insulating material such as glass, and the array substrate 110 may be formed. The gate pad line 116p is formed in the gate pad area.

이때, 상기 게이트전극(121)과 게이트라인(116) 및 게이트패드라인(116p)은 제 1 도전막을 상기 어레이 기판(110) 전면에 증착한 후 포토리소그래피공정(제 1 마스크공정)을 통해 선택적으로 패터닝하여 형성하게 된다.In this case, the gate electrode 121, the gate line 116, and the gate pad line 116p are selectively deposited through a photolithography process (first mask process) after depositing a first conductive layer on the entire surface of the array substrate 110. It is formed by patterning.

여기서, 상기 제 1 도전막으로 알루미늄(aluminium; Al), 알루미늄 합금(Al alloy), 텅스텐(tungsten; W), 구리(copper; Cu), 크롬(chromium; Cr), 몰리브덴(molybdenum; Mo) 및 몰리브덴 합금 등과 같은 저저항 불투명 도전물질을 사용할 수 있다. 또한, 상기 제 1 도전막은 상기 저저항 도전물질이 2가지 이상 적층된 다층구조로 형성할 수 있다.Here, the first conductive layer may include aluminum (Al), aluminum alloy (Al alloy), tungsten (W), copper (Cu), chromium (Cr), molybdenum (Mo), and Low resistance opaque conductive materials such as molybdenum alloys can be used. The first conductive layer may have a multilayer structure in which two or more low resistance conductive materials are stacked.

다음으로, 도 5b 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 게이트전극(121)과 게이트라인(116) 및 게이트패드라인(116p)이 형성된 어레이 기판(110) 전면에 게이트절연막(115a)과 비정질 실리콘 박막 및 n+ 비정질 실리콘 박막을 형성한다.Next, as shown in FIGS. 5B and 6B, the gate insulating layer 115a and the amorphous silicon are formed on the entire surface of the array substrate 110 on which the gate electrode 121, the gate line 116, and the gate pad line 116p are formed. A thin film and an n + amorphous silicon thin film are formed.

이후, 포토리소그래피공정(제 2 마스크공정)을 통해 상기 비정질 실리콘 박막과 n+ 비정질 실리콘 박막을 선택적으로 제거함으로써 상기 어레이 기판(110)의 TFT 영역에 상기 비정질 실리콘 박막으로 이루어진 액티브층(124)을 형성한다.Thereafter, the amorphous silicon thin film and the n + amorphous silicon thin film are selectively removed through a photolithography process (second mask process) to form an active layer 124 made of the amorphous silicon thin film in the TFT region of the array substrate 110. do.

이때, 상기 액티브층(124) 위에는 상기 액티브층(124)과 실질적으로 동일한 형태로 패터닝된 n+ 비정질 실리콘 박막패턴(125)이 형성되게 된다.In this case, the n + amorphous silicon thin film pattern 125 is formed on the active layer 124 and patterned in substantially the same shape as the active layer 124.

다음으로, 도 5c 및 도 6c에 도시된 바와 같이, 상기 액티브층(124)과 n+ 비정질 실리콘 박막패턴(125)이 형성된 어레이 기판(110) 전면에 제 2 도전막을 형성한다. 이때, 상기 제 2 도전막은 화소전극을 형성하기 위해 인듐-틴-옥사이드(Indium Tin Oxide; ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(Indium Zinc Oxide; IZO)와 같은 투과율이 뛰어난 투명한 도전물질을 포함한다.Next, as shown in FIGS. 5C and 6C, a second conductive layer is formed on the entire surface of the array substrate 110 on which the active layer 124 and the n + amorphous silicon thin film pattern 125 are formed. In this case, the second conductive layer includes a transparent conductive material having excellent transmittance such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO) to form a pixel electrode.

이후, 포토리소그래피공정(제 3 마스크공정)을 통해 상기 제 2 도전막을 선택적으로 제거함으로써 상기 어레이 기판(110)의 화소영역에 상기 제 2 도전막으로 이루어진 박스 형태의 화소전극(118)을 형성한다.Thereafter, the second conductive layer is selectively removed through a photolithography process (a third mask process) to form a box-shaped pixel electrode 118 formed of the second conductive layer in the pixel region of the array substrate 110. .

그리고, 도 5d 및 도 6d에 도시된 바와 같이, 상기 화소전극(118)이 형성된 어레이 기판(110) 전면에 제 3 도전막을 형성한다. 이때, 상기 제 3 도전막은 소오스전극과 드레인전극 및 데이터라인을 구성하기 위해 알루미늄, 알루미늄 합금, 텅스텐, 구리, 크롬, 몰리브덴 및 몰리브덴 합금 등과 같은 저저항 불투명 도전물질로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 제 3 도전막은 상기 저저항 도전물질이 2가지 이상 적층된 다층구조로 형성할 수 있다.5D and 6D, a third conductive layer is formed on the entire surface of the array substrate 110 on which the pixel electrode 118 is formed. In this case, the third conductive layer may be made of a low resistance opaque conductive material such as aluminum, aluminum alloy, tungsten, copper, chromium, molybdenum and molybdenum alloy to form a source electrode, a drain electrode, and a data line. The third conductive layer may have a multilayer structure in which two or more low resistance conductive materials are stacked.

이후, 포토리소그래피공정(제 4 마스크공정)을 통해 상기 n+ 비정질 실리콘 박막 및 제 3 도전막을 선택적으로 제거함으로써 상기 액티브층(124) 상부에 상기 제 3 도전막으로 이루어진 소오스전극(122)과 드레인전극(123)을 형성한다.Thereafter, the n + amorphous silicon thin film and the third conductive film are selectively removed through a photolithography process (a fourth mask process), so that the source electrode 122 and the drain electrode formed of the third conductive film on the active layer 124. 123 is formed.

이때, 상기 제 4 마스크공정을 통해 상기 어레이 기판(110)의 데이터라인 영역에 상기 제 3 도전막으로 이루어진 데이터라인(117)을 형성하는 동시에 상기 어레이 기판(110)의 데이터패드 영역에 상기 제 3 도전막으로 이루어진 데이터패드라인(117p)을 형성하게 된다.In this case, a data line 117 made of the third conductive layer is formed in the data line region of the array substrate 110 through the fourth mask process, and at the same time, the third data pad region of the array substrate 110 is formed. A data pad line 117p made of a conductive film is formed.

이때, 상기 액티브층(124) 상부에는 상기 n+ 비정질 실리콘 박막으로 이루어지며 상기 액티브층(124)의 소오스/드레인영역과 상기 소오스/드레인전극(122, 123) 사이를 오믹-콘택시키는 오믹-콘택층(125n)이 형성되게 된다.In this case, an ohmic contact layer formed of the n + amorphous silicon thin film on the active layer 124 and ohmic contact between the source / drain region of the active layer 124 and the source / drain electrodes 122 and 123. 125n is formed.

이때, 상기 드레인전극(123)의 일부는 그 하부의 화소전극(118) 위에 형성됨에 따라 상기 화소전극(118)과 직접 전기적으로 접속하게 된다.In this case, a part of the drain electrode 123 is directly formed on the pixel electrode 118 below and electrically connected to the pixel electrode 118.

다음으로, 도 5e 및 도 6e에 도시된 바와 같이, 상기 소오스/드레인전극(122, 123)과 데이터라인(117) 및 데이터패드라인(117p)이 형성된 어레이 기판(110) 전면에 포토 아크릴과 같은 낮은 유전율을 가진 유기 절연물질을 형성한 후, 포토리소그래피공정(제 5 마스크공정)을 통해 선택적으로 제거함으로써 상기 데이터라인(117) 상부에 상기 유기 절연물질로 이루어진 컬럼 스페이서(150)를 형성한다.Next, as shown in FIGS. 5E and 6E, photoacrylic is formed on the entire surface of the array substrate 110 on which the source / drain electrodes 122 and 123, the data line 117, and the data pad line 117p are formed. After forming an organic insulating material having a low dielectric constant, a column spacer 150 made of the organic insulating material is formed on the data line 117 by selectively removing the organic insulating material through a photolithography process (a fifth mask process).

이때, 전술한 바와 같이 상기 컬럼 스페이서(150)는 다음에 형성될 공통전극과 상기 데이터라인(117) 사이의 기생 커패시턴스를 감소시키는 역할 이외에 기존의 컬러필터 공정에서 적용하는 컬럼 스페이서를 대체하는 역할을 하게 된다.At this time, as described above, the column spacer 150 serves to replace the column spacer applied in the existing color filter process in addition to reducing the parasitic capacitance between the common electrode to be formed next and the data line 117. Done.

또한, 상기 컬럼 스페이서(150)는 박막 트랜지스터 전면에 형성되는 것이 아니라, 데이터라인(117) 상부에만 형성하여 컬럼 스페이서(150) 역할을 수행하도록 하며, 상기 포토 아크릴이 컬럼 스페이서(150)로 적용될 경우 전체 컬럼 스페이서의 밀도가 너무 크면 안되기 때문에 컬럼 스페이서 밀도를 최소화하는 설계를 고려하여야 한다. 예를 들어, 도시된 바와 같이 상기 본 발명의 제 1 실시예에 따른 컬럼 스페이서(150)는 상기 데이터라인(117) 일부의 상부를 덮도록 형성될 수 있다.In addition, the column spacer 150 is not formed on the entire surface of the thin film transistor, but is formed only on the data line 117 to serve as the column spacer 150, and when the photo acryl is applied as the column spacer 150. Since the density of the entire column spacer should not be too large, a design that minimizes the column spacer density should be considered. For example, as illustrated, the column spacer 150 according to the first embodiment of the present invention may be formed to cover a portion of the data line 117.

예를 들어, 상기 컬럼 스페이서(150)는 상기 데이터라인(117) 상부에만 형성될 수 있으며, 상기 데이터라인(117)을 따라 소정의 길이로 형성될 수 있다. 또한, 상기 컬럼 스페이서(150)는 각각의 화소영역 내에서 분리되도록 상기 데이터라인(117)을 따라 소정의 길이로 형성될 수 있다.For example, the column spacer 150 may be formed only on the data line 117 and may have a predetermined length along the data line 117. In addition, the column spacer 150 may be formed to have a predetermined length along the data line 117 so as to be separated in each pixel area.

다음으로, 도 5f 및 도 6f에 도시된 바와 같이, 상기 컬럼 스페이서(150)가 형성된 어레이 기판(110) 전면에 보호막(115b)을 형성한다.Next, as shown in FIGS. 5F and 6F, the passivation layer 115b is formed on the entire surface of the array substrate 110 on which the column spacer 150 is formed.

이때, 상기 보호막(115c)은 실리콘질화막(SiNx), 실리콘산화막(SiO2)과 같은 무기절연막으로 형성할 수 있다.In this case, the passivation layer 115c may be formed of an inorganic insulating layer such as silicon nitride layer (SiNx) or silicon oxide layer (SiO 2 ).

그리고, 포토리소그래피공정(제 6 마스크공정)을 통해 상기 보호막(115b) 및 게이트절연막(115a)을 선택적으로 제거함으로써 상기 어레이 기판(110)의 데이터패드 영역 및 게이트패드 영역에 각각 상기 데이터패드라인(117p) 및 게이트패드라인(116p)의 일부를 노출시키는 제 1 콘택홀(140a) 및 제 2 콘택홀(140b)을 형성한다.In addition, the protective film 115b and the gate insulating film 115a are selectively removed through a photolithography process (a sixth mask process), respectively, in the data pad region and the gate pad region of the array substrate 110. A first contact hole 140a and a second contact hole 140b exposing a portion 117p and a portion of the gate pad line 116p are formed.

그리고, 도 5g 및 도 6g에 도시된 바와 같이, 상기 보호막(115b)이 형성된 어레이 기판(110) 전면에 투명한 도전물질로 이루어진 제 4 도전막을 형성한 후, 포토리소그래피공정(제 7 마스크공정)을 이용하여 선택적으로 패터닝함으로써 화소영역에 다수의 슬릿(108s)을 가진 공통전극(108)을 형성한다.5G and 6G, after forming a fourth conductive film made of a transparent conductive material on the entire surface of the array substrate 110 on which the protective film 115b is formed, a photolithography process (seventh mask process) is performed. By selectively patterning the same, a common electrode 108 having a plurality of slits 108s is formed in the pixel region.

이때, 상기 제 7 마스크공정을 이용하여 상기 제 4 도전막을 선택적으로 패터닝함으로써 상기 데이터패드 영역 및 게이트패드 영역에 각각 상기 제 1 콘택홀(140a) 및 제 2 콘택홀(140b)을 통해 상기 데이터패드라인(117p) 및 게이트패드라인(116p)에 전기적으로 접속하는 데이터패드전극(127p) 및 게이트패드전극(126p)을 형성하게 된다.In this case, by selectively patterning the fourth conductive layer using the seventh mask process, the data pads are formed through the first contact hole 140a and the second contact hole 140b in the data pad region and the gate pad region, respectively. The data pad electrode 127p and the gate pad electrode 126p electrically connected to the line 117p and the gate pad line 116p are formed.

이와 같이 구성된 상기 본 발명의 제 1 실시예의 어레이 기판은 화상표시 영역의 외곽에 형성된 실런트에 의해 컬러필터 기판과 대향하여 합착되게 되는데, 이때 상기 컬러필터 기판에는 상기 박막 트랜지스터와 게이트라인 및 데이터라인으로 빛이 새는 것을 방지하는 블랙매트릭스와 적, 녹 및 청색의 컬러를 구현하기 위한 컬러필터가 형성되어 있다.The array substrate according to the first embodiment of the present invention configured as described above is bonded to the color filter substrate by a sealant formed on the outside of the image display area, wherein the color filter substrate includes the thin film transistor, the gate line, and the data line. Black matrix to prevent light leakage and color filter to realize red, green and blue colors are formed.

이때, 상기 컬러필터 기판과 어레이 기판의 합착은 상기 컬러필터 기판 또는 어레이 기판에 형성된 합착키를 통해 이루어진다.At this time, the color filter substrate and the array substrate are bonded together through a covalent key formed on the color filter substrate or the array substrate.

한편, 액정 마진을 확보하기 위해 상기 컬럼 스페이서 형성 시 하프-톤 마스크 또는 회절 마스크를 이용해 듀얼 갭 구조를 형성할 수 있는데, 이를 다음의 본 발명의 제 2 실시예를 통해 상세히 설명한다.Meanwhile, in order to secure the liquid crystal margin, a dual gap structure may be formed using a half-tone mask or a diffraction mask when forming the column spacer, which will be described in detail with reference to the second embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 프린지 필드형 액정표시장치의 단면 구조를 개략적으로 나타내는 도면으로써, 이웃하는 2개의 데이터라인 영역을 포함하는 액정표시장치의 단면 구조를 나타내고 있다.FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of a fringe field type liquid crystal display device according to a second exemplary embodiment of the present invention, and illustrates a cross-sectional structure of a liquid crystal display device including two adjacent data line regions.

또한, 도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 프린지 필드형 액정표시장치의 어레이 기판 일부를 개략적으로 나타내는 평면도로써, 6x2개의 화소가 도시된 어레이 기판 일부를 예를 들어 나타내고 있다.8 is a plan view schematically illustrating a portion of an array substrate of a fringe field type liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention, and illustrates a portion of the array substrate on which 6x2 pixels are illustrated.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 프린지 필드형 액정표시장치는 크게 제 1 기판인 컬러필터 기판(205)과 제 2 기판인 어레이 기판(210) 및 상기 컬러필터 기판(205)과 어레이 기판(210) 사이에 형성된 액정층(미도시)으로 구성되며, 상기 컬러필터 기판(205)과 어레이 기판(210) 사이에는 컬럼 스페이서(250, 255)가 형성되어 상기 컬러필터 기판(205)과 어레이 기판(210) 사이의 셀갭을 일정하게 유지시킨다.As shown in the figure, the fringe field type liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention is largely a color filter substrate 205 which is a first substrate, an array substrate 210 which is a second substrate, and the color filter substrate ( 205 and a liquid crystal layer (not shown) formed between the array substrate 210 and column spacers 250 and 255 are formed between the color filter substrate 205 and the array substrate 210 to form the color filter substrate. The cell gap between 205 and array substrate 210 is kept constant.

상기 컬러필터 기판(205)은 적, 녹 및 청색의 서브컬러필터(207)로 구성되는 컬러필터와 상기 서브컬러필터(207) 사이를 구분하고 상기 액정층을 투과하는 광을 차단하는 블랙매트릭스(206), 그리고 상기 컬러필터와 블랙매트릭스(206) 상부에 형성된 오버코트층(209)으로 이루어져 있다.The color filter substrate 205 distinguishes between a color filter composed of red, green, and blue sub-color filters 207 and the sub-color filter 207 and blocks a black matrix that blocks light transmitted through the liquid crystal layer. 206, and an overcoat layer 209 formed on the color filter and the black matrix 206.

상기 어레이 기판(210)에는 종횡으로 배열되어 화소영역을 정의하는 게이트라인(216)과 데이터라인(217)이 형성되어 있으며, 상기 게이트라인(216)과 데이터라인(217)의 교차영역, 즉 TFT 영역에는 스위칭소자인 박막 트랜지스터가 형성되어 있다.A gate line 216 and a data line 217 are formed in the array substrate 210 to define a pixel area vertically and horizontally, and an intersection area of the gate line 216 and the data line 217, that is, a TFT, is formed. In the region, a thin film transistor serving as a switching element is formed.

이때, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 박막 트랜지스터는 상기 게이트라인(216)에 연결된 게이트전극, 상기 데이터라인(217)에 연결된 소오스전극 및 화소전극에 연결된 드레인전극으로 구성된다. 또한, 상기 박막 트랜지스터는 상기 게이트전극과 소오스/드레인전극 사이의 절연을 위한 게이트절연막(215a) 및 상기 게이트전극에 공급되는 게이트전압에 의해 상기 소오스전극과 드레인전극 사이에 전도채널을 형성하는 액티브층을 포함한다.Although not shown in the drawing, the thin film transistor includes a gate electrode connected to the gate line 216, a source electrode connected to the data line 217, and a drain electrode connected to the pixel electrode. The thin film transistor may further include an active layer forming a conductive channel between the source electrode and the drain electrode by a gate insulating film 215a for insulating the gate electrode and a source / drain electrode and a gate voltage supplied to the gate electrode. It includes.

상기 화소영역 내에는 공통전극(208)과 화소전극(218)이 형성되어 있으며, 이때 상기 공통전극(208)은 박스 형태의 상기 화소전극(218)과 함께 프린지 필드를 발생시키기 위해 상기 공통전극(208) 내에 다수의 슬릿(208s)을 포함하고 있다. 즉, 상기 화소영역 내에는 프린지 필드를 발생시키기 위한 공통전극(208)과 화소전극(218)이 형성되어 있는데, 이때 상기 화소전극(218)은 상기 화소영역 내에 박스 형태로 형성되어 있으며, 상기 공통전극(208)은 화소부 전체에 걸쳐 단일패턴으로 형성되는 동시에 각각의 화소영역 내에서 다수의 슬릿(208s)을 가지도록 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.The common electrode 208 and the pixel electrode 218 are formed in the pixel area, and the common electrode 208 together with the box-shaped pixel electrode 218 generates the fringe field together with the common electrode ( 208 includes a number of slits 208s. That is, the common electrode 208 and the pixel electrode 218 for generating a fringe field are formed in the pixel region. In this case, the pixel electrode 218 is formed in a box shape in the pixel region. The electrode 208 is formed in a single pattern over the entire pixel portion and is formed to have a plurality of slits 208s in each pixel region.

이때, 상기 드레인전극은 상기 화소전극(218) 위에 형성되어 상기 화소전극(218)과 직접 연결되게 되며, 상기 공통전극(208)은 상기 화소전극(218) 위에 형성된 보호막(215b)에 의해 상기 화소전극(218)과 절연된다.In this case, the drain electrode is formed on the pixel electrode 218 to be directly connected to the pixel electrode 218, and the common electrode 208 is formed by the passivation layer 215b formed on the pixel electrode 218. It is insulated from the electrode 218.

이와 같이 상기 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치는 액정층 내에 포물선 형태의 횡전계인 프린지 필드를 유발시켜 액정분자를 구동시키는 프린지 필드형 액정표시장치를 예를 들어 나타내고 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.As described above, the liquid crystal display according to the second exemplary embodiment of the present invention shows a fringe field type liquid crystal display device which drives a liquid crystal molecule by inducing a fringe field having a parabolic transverse electric field in the liquid crystal layer. However, the present invention is not limited thereto.

또한, 이와 같이 공통전극(208)이 데이터라인(217) 상부에도 형성되게 되므로 블랙매트릭스(206) 영역의 축소가 가능하여 개구율이 향상되게 되며, 상기 데이터라인(217) 상부에 낮은 유전율을 가진 포토 아크릴로 이루어진 컬럼 스페이서(250, 255)가 형성됨에 따라 공통전극(208)과 데이터라인(217) 사이의 기생 커패시턴스를 감소시킬 수 있게 된다. 이에 따라 데이터라인의 부하가 감소되어 화소의 충전 특성이 향상되는 한편, 패널을 구동하는데 필요한 소비전력이 감소하게 된다.In addition, since the common electrode 208 is formed on the data line 217 as described above, the black matrix 206 can be reduced in size so that the aperture ratio can be improved, and the photo having a low dielectric constant on the data line 217 can be reduced. As the column spacers 250 and 255 made of acrylic are formed, parasitic capacitance between the common electrode 208 and the data line 217 can be reduced. As a result, the load of the data line is reduced to improve the charging characteristic of the pixel, and the power consumption required to drive the panel is reduced.

또한, 상기 본 발명의 제 2 실시예에 따른 프린지 필드형 액정표시장치는 전술한 본 발명의 제 1 실시예와 같이 상기 데이터라인(217) 상부에 포토 아크릴로 이루어진 컬럼 스페이서(250, 255)를 형성한 후, 그 상부에 공통전극(208)을 형성함으로써 마스크공정의 추가 없이 공통전극(208)과 데이터라인(217) 사이의 상기 기생 커패시턴스를 감소시킬 수 있어 제조공정 및 비용이 감소되는 효과를 제공한다.In addition, in the fringe field type liquid crystal display according to the second embodiment of the present invention, column spacers 250 and 255 made of photoacryl are formed on the data line 217 as in the first embodiment of the present invention. After forming, by forming the common electrode 208 thereon, the parasitic capacitance between the common electrode 208 and the data line 217 can be reduced without adding a mask process, thereby reducing the manufacturing process and cost. to provide.

이를 위해서 상기 포토 아크릴이 박막 트랜지스터 전면에 형성되는 것이 아니라, 데이터라인(217) 상부에만 형성하여 컬럼 스페이서(250, 255) 역할을 수행하도록 하며, 상기 포토 아크릴이 컬럼 스페이서(250, 255)로 적용될 경우 전체 컬럼 스페이서의 밀도가 너무 크면 안되기 때문에 컬럼 스페이서 밀도를 최소화하는 설계를 고려하여야 한다.To this end, the photo acryl is not formed on the entire surface of the thin film transistor, but is formed only on the data line 217 to serve as column spacers 250 and 255, and the photo acryl is applied to the column spacers 250 and 255. In this case, the density of the entire column spacer should not be too large, so a design that minimizes the column spacer density should be considered.

한편, 상기 본 발명의 제 2 실시예에 따른 컬럼 스페이서(250, 255)는 상기 컬러필터 기판(205)과 어레이 기판(210) 사이의 셀갭을 유지하기 위한 갭 스페이서(250)와 패널 표면에 압력이 가해졌을 경우 이를 완충하기 위한 눌림 스페이서(255)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.Meanwhile, the column spacers 250 and 255 according to the second embodiment of the present invention may pressurize the gap spacer 250 and the panel surface to maintain the cell gap between the color filter substrate 205 and the array substrate 210. When applied, it is characterized by consisting of a pressing spacer 255 for buffering it.

이때, 상기 눌림 스페이서(255)는 상기 갭 스페이서(250)와 함께 컬러필터 기판(205)과 어레이 기판(210) 사이의 셀갭을 일정하게 유지시킴과 아울러, 패널 표면에 압력이 가해졌을 경우에 이 압력을 완충할 수 있도록 데이터라인(217) 상부에 형성될 수 있다.In this case, the pressing spacer 255 together with the gap spacer 250 maintains a constant cell gap between the color filter substrate 205 and the array substrate 210, and when the pressure is applied to the panel surface. It may be formed on the data line 217 to buffer the pressure.

상기 눌림 스페이서(255)는 갭 스페이서(250)에 비해 그 높이를 낮게 하여 패널이 외부의 압력에 의해 눌려질 경우에만 상부 컬러필터 기판(205)과 접촉하게 되는데, 이와 같은 갭 스페이서(250)와 눌림 스페이서(255)의 높이 차는 하프-톤 마스크 또는 회절 마스크를 사용하여 형성할 수 있다.The pressing spacer 255 has a height lower than that of the gap spacer 250 such that the pressing spacer 255 comes into contact with the upper color filter substrate 205 only when the panel is pressed by an external pressure. The height difference of the pressing spacer 255 may be formed using a half-tone mask or a diffraction mask.

상기 도면에는 5x2개의 화소 당 하나의 갭 스페이서(250)와 9개의 눌림 스페이서(255)가 형성된 경우를 예를 들어 나타내고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.In the drawing, a case where one gap spacer 250 and nine pressing spacers 255 are formed per 5 × 2 pixels is illustrated as an example, but the present invention is not limited thereto.

상기 본 발명의 제 1, 제 2 실시예의 프린지 필드형 액정표시장치는 액티브층으로 비정질 실리콘 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 트랜지스터를 예를 들어 설명하고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명은 상기 액티브층으로 다결정 실리콘 박막을 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터에도 적용된다.In the fringe field type liquid crystal display device of the first and second embodiments of the present invention, an amorphous silicon thin film transistor using an amorphous silicon thin film as an active layer is described as an example, but the present invention is not limited thereto. The same applies to polycrystalline silicon thin film transistors using polycrystalline silicon thin films as active layers.

또한, 본 발명은 액정표시장치뿐만 아니라 박막 트랜지스터를 이용하여 제작하는 다른 표시장치, 예를 들면 구동 트랜지스터에 유기전계발광소자(Organic Light Emitting Diodes; OLED)가 연결된 유기전계발광 디스플레이장치에도 이용될 수 있다.In addition, the present invention can be applied not only to a liquid crystal display device but also to other display devices manufactured using thin film transistors, for example, organic electroluminescent display devices in which organic light emitting diodes (OLEDs) have.

상기한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 이것은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서 발명은 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.Many details are set forth in the foregoing description but should be construed as illustrative of preferred embodiments rather than to limit the scope of the invention. Therefore, the invention should not be construed as limited to the embodiments described, but should be determined by equivalents to the appended claims and the claims.

105,205 : 컬러필터 기판 106,206 : 블랙매트릭스
107,207 : 서브컬러필터 108,208 : 공통전극
108s,208s : 슬릿 109,209 : 오버코트층
110,210 : 어레이 기판 116,216 : 게이트라인
117,217 : 데이터라인 118,218 : 화소전극
150,250,255 : 컬럼 스페이서
105,205: Color filter substrate 106,206: Black matrix
107,207: sub color filter 108,208: common electrode
108s, 208s: slit 109,209: overcoat layer
110, 210: array substrate 116, 216: gate line
117,217 data line 118,218 pixel electrode
150,250,255: Column spacer

Claims (13)

제 1 기판과 제 2 기판을 제공하는 단계;
상기 제 1 기판에 게이트전극과 게이트라인을 형성하는 단계;
상기 게이트전극과 게이트라인이 형성된 제 1 기판 위에 게이트절연막을 형성하는 단계;
상기 게이트절연막이 형성된 상기 게이트전극 상부에 액티브층을 형성하는 단계;
상기 액티브층이 형성된 제 1 기판의 화소영역에 화소전극을 형성하는 단계;
상기 화소전극이 형성된 제 1 기판의 액티브층 상부에 소오스전극과 드레인전극을 형성하며, 상기 게이트라인과 교차하여 상기 화소영역을 정의하는 데이터라인을 형성하는 단계;
상기 데이터라인 위에 유기 절연물질로 이루어져 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이의 셀갭을 유지하는 컬럼 스페이서를 형성하는 단계;
상기 컬럼 스페이서가 형성된 제 1 기판 위에 보호막을 형성하는 단계;
상기 보호막이 형성된 상기 제 1 기판의 화소영역에 다수의 슬릿을 가진 공통전극을 형성하는 단계; 및
상기 제 1 기판과 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하는 프린지 필드형 액정표시장치의 제조방법.
Providing a first substrate and a second substrate;
Forming a gate electrode and a gate line on the first substrate;
Forming a gate insulating film on the first substrate on which the gate electrode and the gate line are formed;
Forming an active layer on the gate electrode on which the gate insulating film is formed;
Forming a pixel electrode in the pixel region of the first substrate on which the active layer is formed;
Forming a source electrode and a drain electrode on the active layer of the first substrate on which the pixel electrode is formed, and forming a data line crossing the gate line to define the pixel region;
Forming a column spacer formed of an organic insulating material on the data line to maintain a cell gap between the first substrate and the second substrate;
Forming a protective film on the first substrate on which the column spacer is formed;
Forming a common electrode having a plurality of slits in a pixel area of the first substrate on which the passivation layer is formed; And
A method of manufacturing a fringe field type liquid crystal display device comprising the step of bonding the first substrate and the second substrate.
제 1 항에 있어서, 상기 컬럼 스페이서는 포토 아크릴과 같은 낮은 유전율을 가진 유기 절연물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 프린지 필드형 액정표시장치의 제조방법.The method of claim 1, wherein the column spacer is formed of an organic insulating material having a low dielectric constant such as photoacrylic. 제 1 항에 있어서, 상기 컬럼 스페이서는 상기 데이터라인 상부에만 형성되는 것을 특징으로 하는 프린지 필드형 액정표시장치의 제조방법.The method of claim 1, wherein the column spacer is formed only on the data line. 제 1 항에 있어서, 상기 컬럼 스페이서는 상기 데이터라인을 따라 소정의 길이로 형성되는 것을 특징으로 하는 프린지 필드형 액정표시장치의 제조방법.2. The method of claim 1, wherein the column spacer is formed to have a predetermined length along the data line. 제 1 항에 있어서, 상기 컬럼 스페이서는 각각의 화소영역 내에서 분리되도록 상기 데이터라인을 따라 소정의 길이로 형성되는 것을 특징으로 하는 프린지 필드형 액정표시장치의 제조방법.2. The method of claim 1, wherein the column spacers are formed to have a predetermined length along the data lines so as to be separated in each pixel area. 제 1 항에 있어서, 상기 컬럼 스페이서는 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이의 셀갭을 유지하기 위한 갭 스페이서와 패널 표면에 압력이 가해졌을 경우 이를 완충하기 위한 눌림 스페이서로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프린지 필드형 액정표시장치의 제조방법.The fringe field of claim 1, wherein the column spacer comprises a gap spacer for maintaining a cell gap between the first substrate and a second substrate, and a press spacer for buffering a pressure when a pressure is applied to the panel surface. Method of manufacturing a type liquid crystal display device. 제 6 항에 있어서, 상기 갭 스페이서와 눌림 스페이서는 서로 다른 높이를 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 프린지 필드형 액정표시장치의 제조방법.7. The method of claim 6, wherein the gap spacer and the pressing spacer are formed to have different heights. 제 6 항에 있어서, 상기 갭 스페이서와 눌림 스페이서는 하프-톤 마스크 또는 회절 마스크를 이용하여 서로 다른 높이를 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 프린지 필드형 액정표시장치의 제조방법.7. The method of claim 6, wherein the gap spacer and the depression spacer are formed to have different heights by using a half-tone mask or a diffraction mask. 제 1 기판 위에 형성된 게이트전극과 게이트라인;
상기 게이트전극과 게이트라인이 형성된 제 1 기판 위에 형성된 게이트절연막;
상기 게이트절연막이 형성된 상기 게이트전극 상부에 형성된 액티브층;
상기 액티브층이 형성된 제 1 기판의 화소영역에 형성된 화소전극;
상기 화소전극이 형성된 제 1 기판의 액티브층 상부에 형성된 소오스전극과 드레인전극 및 상기 게이트라인과 교차하여 상기 화소영역을 정의하는 데이터라인;
상기 데이터라인 위에 유기 절연물질로 이루어져 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이의 셀갭을 유지하는 컬럼 스페이서;
상기 컬럼 스페이서가 형성된 제 1 기판 위에 형성된 보호막;
상기 보호막이 형성된 상기 제 1 기판에 형성되며, 상기 화소영역에 다수의 슬릿을 가진 공통전극; 및
상기 제 1 기판과 대향하여 합착하는 상기 제 2 기판을 포함하는 프린지 필드형 액정표시장치.
A gate electrode and a gate line formed on the first substrate;
A gate insulating film formed on the first substrate on which the gate electrode and the gate line are formed;
An active layer formed on the gate electrode on which the gate insulating film is formed;
A pixel electrode formed in the pixel region of the first substrate on which the active layer is formed;
A data line defining the pixel region by crossing the source electrode, the drain electrode, and the gate line formed on the active layer of the first substrate on which the pixel electrode is formed;
A column spacer formed of an organic insulating material on the data line to maintain a cell gap between the first substrate and the second substrate;
A protective film formed on the first substrate on which the column spacer is formed;
A common electrode formed on the first substrate on which the passivation layer is formed and having a plurality of slits in the pixel region; And
A fringe field type liquid crystal display device comprising the second substrate bonded to face the first substrate.
제 9 항에 있어서, 상기 컬럼 스페이서는 포토 아크릴과 같은 낮은 유전율을 가진 유기 절연물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 프린지 필드형 액정표시장치.10. The fringe field type liquid crystal display of claim 9, wherein the column spacer is made of an organic insulating material having a low dielectric constant such as photoacrylic. 제 9 항에 있어서, 상기 컬럼 스페이서는 각각의 화소영역 내에서 분리되도록 상기 데이터라인을 따라 소정의 길이를 가지는 것을 특징으로 하는 프린지 필드형 액정표시장치.10. The fringe field type liquid crystal display device according to claim 9, wherein the column spacers have a predetermined length along the data lines so as to be separated in each pixel area. 제 9 항에 있어서, 상기 컬럼 스페이서는 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이의 셀갭을 유지하기 위한 갭 스페이서와 패널 표면에 압력이 가해졌을 경우 이를 완충하기 위한 눌림 스페이서로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프린지 필드형 액정표시장치.10. The fringe field of claim 9, wherein the column spacer comprises a gap spacer for maintaining a cell gap between the first substrate and a second substrate, and a press spacer for buffering a pressure when a pressure is applied to the panel surface. Type liquid crystal display device. 제 9 항에 있어서, 상기 갭 스페이서와 눌림 스페이서는 서로 다른 높이를 가지는 것을 특징으로 하는 프린지 필드형 액정표시장치.10. The fringe field type liquid crystal display device according to claim 9, wherein the gap spacer and the pressing spacer have different heights.
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