KR20130013876A - 고체전해질 박막 제조방법 및 제조장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 고체전해질 박막 제조방법 및 제조장치에 관한 것으로서, 유기금속 화학 기상 증착법에 의함으로써 성막속도가 향상되고, 박막의 손상이 현저히 감소하며, 등각 증착이 가능하여 트렌치 구조의 박막전지에도 유용하게 활용할 수 있는, 고체전해질 박막 제조방법 및 제조장치에 관한 것이다.

Description

고체전해질 박막 제조방법 및 제조장치{METHOD OF DEPOSITION SOLID ELECTROLYTE FILM AND APPARATUS FOR THE SAME}
본 발명은 고체전해질 박막 제조방법 및 제조장치에 관한 것으로서, 유기금속 화학 기상 증착법에 의함으로써 성막속도가 향상되고, 박막의 손상이 현저히 감소하며, 등각(conformal) 증착이 가능하여 트렌치 구조의 박막전지에도 유용하게 활용할 수 있는, 고체전해질 박막 제조방법 및 제조장치에 관한 것이다.
최근 반도체 기술의 급속한 발전으로 각종 전자기기들의 고집적화 및 초소형화가 급진전되고 있다.
소형 전지는 초소형 전자기기의 광범위한 보급을 가능케하는 핵심부품으로, 특히 리튬 이차 전지는 중량·부피당 높은 에너지 밀도를 갖는 전지로서, 기존의 Ni-MH, Ni-Cd 전지를 급속도로 대체하면서 상용화되어 있는 대부분의 휴대 전자 기기의 전원으로 채용되고 있다.
그러나, 현재 사용되고 있는 리튬 이차 전지는 분말 형태의 활물질로 이루어진 두 개의 전극과 액상의 전해질로 이루어지는 벌크형 전지로서, 독립된 전지 팩의 형태로 제조되고 있기 때문에, 초소형 전자기기에는 적합하지 않다. 또한 각종 첨가물과 액체 전해질은 전지의 용량을 감소시키고, 충방전 수명의 저하를 초래하며, 환경문제를 야기하는 요인으로 작용한다.
상기한 문제를 해결하기 위해 음극, 양극 및 전해질의 전지 구성 요소들을 스퍼터링, 열증착 등 박막 증착 공정을 이용하여 박막의 형태로 제조한 고상 박막형 리튬 이차 마이크로 전지(이하 '박막전지')가 연구되고 있다.
이러한 박막 전지는 양극, 고체전해질 및 음극으로 구성되며, 전고상의 상기 전지 구성 요소들을 순차적으로 성막하여 제조한다.
이 중 고체전해질은 높은 이온전도도, 전기화학적으로 안정한 전위창, 낮은 전기전도도 등의 특성을 모두 만족시켜야 하기 때문에, 활발한 연구가 이루어지고 있다.
현재 가장 크게 주목을 받고 있는 박막 전지용 고체전해질은 Bates 등이 발표한 LiPON이다(미국특허 5,338,625호: John B. Bates et al., Thin film battery and method for making same).
상기 미국특허 5,338,625호에는 Li3PO4 타겟을 질소 분위기에서 고주파 스퍼터링함으로써 LiPON 고체전해질을 형성한다는 내용이 개시되어 있는데, 이러한 LiPON 고체전해질은 상온에서 2(±1)×10-6S/cm의 높은 이온전도도를 나타내었으며, 특히 양극 또는 음극과 매우 안정한 계면을 형성함으로써, 작동 중 전지의 열화가 매우 적기 때문에 박막 전지용 고체 전해질이 가져야 할 대부분의 조건을 충족하는 것으로 보고되었다.
이외에도 상기한 요건들을 만족하는 새로운 고체전해질을 개발하려는 연구가 활발히 이루어지고 있으나, 고체전해질의 성막 방법으로는 여전히 고주파 스퍼터링법이 이용되고 있다.
그런데, 고주파 스퍼터링법에 의하여 성막하는 경우에는, 기판 및 하지막에 많은 손상을 줄 뿐만 아니라, 성막 속도가 매우 느리다는 문제점이 있다.
특히 스퍼터링시 반응가스로 이용되는 질소분위기 하에서는 더욱 성막 속도가 느리기 때문에(약 20nm/min), 목표두께인 2μm에 도달하기 위해서는 매우 많은 시간이 소요되므로, 공정의 효율을 도모할 수 있는 새로운 박막 제조방법 및 장치가 필요한 실정이었다.
본 발명은 유기금속 화학 기상 증착법에 의함으로써 성막 속도가 향상되고, 기판 및 하지막의 손상도 최소화하며, 등각 증착이 가능하여 트렌치 구조의 박막전지에도 적용할 수 있는, 고체전해질 박막 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 상기한 제조방법을 구현하도록 하는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 고체전해질 박막 제조방법은 반응공간 내에 기판을 인서트하는 단계; 상기 반응공간 내에 에너지를 부여하고 기판을 가열하는 단계; 상기 반응공간 내에 리튬 전구체 가스 가스, 인 또는 보론 전구체 가스 가스, 질소 전구체 가스 가스를 주입하는 단계; 및 상기 전구체 가스 가스들을 서로 반응시켜 상기 기판상에 고체전해질 박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 고체전해질 박막 제조장치는 기판이 수용되는 반응공간을 구비하는 반응부; 상기 반응공간에 리튬 전구체 가스 가스를 공급하는 제 1공급부; 상기 반응공간에 인 또는 보론 전구체 가스 가스를 공급하는 제 2공급부; 상기 반응공간에 질소 전구체 가스 가스를 공급하는 제 3공급부; 상기 전구체 가스들을 분해하기 위한 에너지를 부여하는 에너지 발생부; 및 상기 기판을 가열하는 가열부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 고체전해질 박막 제조방법 및 장치에 의하면 성막 속도가 매우 향상될 뿐만 아니라 속도를 자유롭게 조절할 수 있고, 기판 및 하지막의 손상이 감소된다는 우수한 효과가 있다.
또한, 등각 증착이 가능하여, 표면적을 넓힌 트렌치 구조의 박막전지에도 적용할 수 있다는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 제조방법의 모식도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 제조장치의 모식도이다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 이하의 상세한 설명 및 도면에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및/또는 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 후술되어 있는 실시예들 및 도면을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이어서, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
이하에서는 본 발명에 따른 고체전해질 박막 제조방법 및 제조장치에 대하여 상세히 설명하기로 한다.
고체전해질 박막 제조방법
본 발명의 일 실시예에 따른 고체전해질 박막 제조방법은, 도 1에 나타낸 바와 같이 반응공간 내에 기판을 인서트하는 단계(S110); 상기 반응공간 내에 에너지를 부여하고 가열하는 단계(S120); 상기 반응공간 내에 리튬 전구체 가스, 인 또는 보론 전구체 가스, 질소 전구체 가스를 주입하는 단계(S130); 및 상기 전구체 가스들을 서로 반응시켜 상기 기판상에 고체전해질 박막을 형성하는 단계(S140)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
먼저, 반응공간 내에 기판을 인서트한다(S110).
상기 반응공간은 유기금속 화학 기상 증착(MOCVD; Metal Organic Chemical Vapor Deposition)이 이루어지는 공간을 의미하는 것으로, 증착 대상 기판이 안착되는 공간을 포함한다.
상기 기판은 박막전지에 사용될 수 있는 것이라면 제한이 없으며, 공정 효율을 높이기 위하여 복수의 기판을 인서트할 수도 있다.
다음으로, 상기 반응공간 내에 에너지를 부여하고 기판을 가열한다(S120).
상기 반응공간 내에 에너지를 부여함으로써 각 전구체 가스가 분해되고, 반응하여 상기 기판에 증착될 수 있다.
상기 에너지를 부여하는 수단에는 특별히 제한이 없으나, 열, 촉매, 빛을 이용함이 바람직하다.
열을 이용하여 에너지를 부여하기 위해, 반응공간 외부에 고주파 코일을 감아주거나 램프 히터를 장착할 수 있다. 이 경우 열에 의하여 각 전구체 가스가 분해되고, 반응하여 기판에 증착될 수 있게 된다.
한편, 촉매를 이용하여 에너지를 부여하기 위해, 각 전구체 가스가 텅스텐 와이어를 통과하도록 할 수 있다. 이 때 텅스텐 와이어는 촉매 역할을 하는 것으로, 반응 온도는 약 1800~2000℃인 것이 바람직하다. 높은 온도의 텅스텐 와이어를 통과한 각 전구체 가스는 분해되고 서로 반응하여 기판에 증착될 수 있게 된다.
한편, 빛을 이용하여 에너지를 부여하기 위해, 증착 대상 기판에 인접한 반응영역에 레이저나 UV를 조사할 수 있다. 이 경우 광 에너지에 의하여 각 전구체 가스가 분해되고 서로 반응하여 기판에 증착될 수 있게 된다. 조사강도나 시간은 성막 속도, 반응 공간의 내부 조건 등에 따라 적절히 조절하는 것이 바람직하다. 또한, 증착이 용이하도록 기판을 가열해줄 수 있는데, 가열온도는 기판의 종류, 성막 속도에 따라 적절하게 조절할 수 있다.
다음으로, 상기 반응공간 내에 리튬 전구체 가스, 인 또는 보론 전구체 가스, 질소 전구체 가스를 주입한다(S130).
본 발명의 고체전해질 박막의 재료로는 특별히 제한이 없지만, 이온전도도가 특히 우수한 LiPON 또는 LiBON인 것이 바람직하다. 이를 위해서는 리튬, 인 또는 보론, 질소의 전구체 가스를 반응물로 주입하여야 한다.
상기 리튬 전구체 가스는 본 발명의 유기금속 화학 기상 증착법에 적용할 수 있는 것이라면 제한이 없으나, 특히 Li(C11H19O2) (lithium dipivaloylmethanate, Li(DPM)이라고도 한다)인 것이 바람직하다. 상기 Li(C11H19O2)은 상온에서 고체상태인바, 약 160~200℃ 정도의 온도를 주어 기화된 것을 사용한다.
상기 인 전구체 가스는 본 발명의 유기금속 화학 기상 증착법에 적용할 수 있는 것이라면 제한이 없으나, 특히 PO(OCH3)3 (trimethyl phosphate) 또는 PO(OC2H5)3 (triethyl phosphate)인 것이 바람직하다.
상기 보론 전구체 가스는 본 발명의 유기금속 화학 기상 증착에 적용할 수 있는 것이라면 제한이 없으나, 특히 B(OCH3)3 (boron trimethoxide) 또는 B(OC2H5)3 (boron triethoxide)인 것이 바람직하다.
상기 PO(OCH3)3, PO(OC2H5)3, B(OCH3)3, B(OC2H5)3는 상온에서 액체상태인바, 약 30~100℃ 정도의 온도를 주어 기화된 것을 사용한다.
상기 질소 전구체 가스는 본 발명의 유기금속 화학 기상 증착에 적용할 수 있는 것이라면 제한이 없으나, 특히 NH3 가스인 것이 바람직하다. 일반적으로 스퍼터링 공법에 의할 때 사용되는 N2 가스를 사용하지 않기 때문에 N2 분해를 위한 에너지 인가 수단이 플라즈마에 국한되지 않으며, 카본과 같은 유기물의 효율적 제거를 위하여 수소를 별도로 사용하지 않아도 된다는 장점이 있다.
이 때, 반응공간 내부는 진공상태인 것이 바람직하다.
다음으로, 상기 각 전구체 가스들을 서로 반응시켜 상기 기판상에 고체전해질 박막을 형성한다(S140).
상기 전구체 가스들을 반응공간 내에서 반응시키는 경우, 반응식은 다음과 같다.
고체전해질 : LiPON 인 경우
[반응식 1]
3Li(DPM) + PO(OC2H5)3 + 0.46NH3 = Li 3 PO 3 .3 N 0 .46 +3DPM +0.7H2O + 3C2H4 + 1.5H2
[반응식 2]
3Li(DPM) + PO(OCH3)3 + 0.46NH3 = Li 3 PO 3 .3 N 0 .46 +3DPM +0.7H2O + 1.5C2H4 + 1.5H2
고체전해질 : LiBON 인 경우
[반응식 3]
3Li(DPM) + B(OC2H5)3 + 0.3NH3 = Li 3 BO 2 .55 N 0 .3 +3DPM +0.45H2O + 3C2H4 + 1.5H2
[반응식 4]
3Li(DPM) + B(OCH3)3 + 0.3NH3 = Li 3 BO 2 .55 N 0 .3 +3DPM +0.45H2O + 1.5C2H4 + 1.5H2
상기와 같은 반응에 의하여, 기판에 LiPON 또는 LiBON 고체전해질이 증착됨으로써 박막을 형성하게 된다.
원하는 두께의 고체전해질 박막이 형성될 때까지 상기 공정을 반복하여 실시한다.
고체전해질 박막 제조장치
본 발명의 일 실시예에 따른 고체전해질 박막 제조장치는 기판이 수용되는 반응공간을 구비하는 반응부(100); 상기 반응공간에 리튬 전구체 가스를 공급하는 제 1공급부(210); 상기 반응공간에 인 또는 보론 전구체 가스를 공급하는 제 2공급부(220); 상기 반응공간에 질소 전구체 가스를 공급하는 제 3공급부(230); 상기 전구체 가스들을 분해하기 위한 에너지를 부여하는 에너지 발생부(300); 및 상기 기판을 가열하는 가열부(400)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
반응부(100)는 본 발명의 유기금속 화학 기상 증착 공정이 수행되는 공간을 제공한다. 이러한 반응부(100) 내부에는 증착 대상 기판(S)이 안착되는 서셉터(110)가 구비될 수 있다.
상기 서셉터(110)에는 복수의 기판(S)이 안착될 수 있는데, 예를 들면 원형의 서셉터(110)에 가장 자리 둘레를 따라 복수의 기판(S)이 안착되도록 할 수 있다.
서셉터(110)는 서셉터(110)를 지지하는 서셉터 지지부(115)와 일체로 형성될 수 있다. 이러한 서셉터 지지부(115)는 상하이동 또는 회전운동이 가능하도록 설계 될 수 있다. 이에 따라서 서셉터에 안착된 기판(S)은 상하이동 또는 회전이 가능하여 증착 효율을 높일 수 있게 된다.
제 1공급부(210)는 반응부(100) 내 서셉터(110)에 안착된 기판(S)을 향하여 분사되는 리튬 전구체 가스를 공급한다.
여기에서 상기 리튬 전구체 가스는 상기 제조방법에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 유기금속 화학 기상 증착법에 적용할 수 있는 것이라면 제한이 없으나, 특히 Li(C11H19O2) (lithium dipivaloylmethanate, Li(DPM)이라고도 한다)인 것이 바람직하다.
도시되지는 않았지만, 상온에서 고체상태인 Li(C11H19O2)을 반응공간 내로 주입하기 위하여 제 1공급부에는 버블러가 설치될 수 있다. 상기 버블러의 온도는 리튬 전구체 Li(C11H19O2)가 기화되는데 충분하도록 160~200℃의 범위로 설정하는 것이 바람직하다. Li(C11H19O2)을 반응공간 내로 주입할 때 사용되는 운반기체는 불활성 가스로서, 아르곤 등이 바람직하다.
제 2공급부(220)는 반응부(100) 내 서셉터(110)에 안착된 기판(S)을 향하여 분사되는 인 또는 보론 전구체 가스를 공급한다.
상기 인 전구체 가스는 상기 제조방법에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 유기금속 화학 기상 증착법에 적용할 수 있는 것이라면 제한이 없으나, 특히 PO(OCH3)3 (trimethyl phosphate) 또는 PO(OC2H5)3 (triethyl phosphate)인 것이 바람직하다.
상기 보론 전구체 가스는 상기 제조방법에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 유기금속 화학 기상 증착에 적용할 수 있는 것이라면 제한이 없으나, 특히 B(OCH3)3 (boron trimethoxide) 또는 B(OC2H5)3 (boron triethoxide)인 것이 바람직하다.
역시 도시되지는 않았지만, 상온에서 액체상태인 PO(OCH3)3, PO(OC2H5)3, B(OCH3)3, B(OC2H5)3 를 반응공간 내로 주입하기 위하여 제 2공급부에는 버블러가 설치될 수 있다. 상기 버블러의 온도는 인 또는 보론 전구체 PO(OCH3)3, PO(OC2H5)3, B(OCH3)3, B(OC2H5)3 가 기화되는데 충분하도록 30~100℃의 범위로 설정하는 것이 바람직하다. 마찬가지로 반응공간 내 주입될 때 사용되는 운반기체는 불활성 가스로서, 아르곤 등이 바람직하다.
제 3공급부(230)는 반응부(100) 내 서셉터(110)에 안착된 기판(S)을 향하여 분사되는 질소 전구체 가스를 공급한다.
상기 질소 전구체 가스는 상기 제조방법에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 유기금속 화학 기상 증착에 적용할 수 있는 것이라면 제한이 없으나, 특히 NH3 가스인 것이 바람직하다. 일반적으로 스퍼터링 공법에 의할 때 사용되는 N2 가스를 사용하지 않기 때문에 성막속도를 빠르게 할 수 있다.
상기 제 1공급부(210), 제 2공급부(220) 및 제 3공급부(230)에 의하여 공급되는 각각의 전구체 가스들은 반응부(100)에서 서로 반응하여, 상기 제조방법에서 설명한 바와 같이 LiPON 또는 LiBON 고체전해질 박막을 기판(S)상에 형성하게 된다.
에너지 발생부(300)는 상기한 제 1공급부(210), 제 2공급부(220) 및 제 3공급부(230)에서 공급되는 각각의 전구체 가스에 에너지를 부여함으로써 반응성을 갖도록 한다.
도 2에 도시한 에너지 발생부(300)는 본 발명의 구성임을 명확하게 보이기 위한 목적으로 모식화하여 도시한 것으로, 하기의 에너지 부여 수단에 따라 적절한 형태로 위치를 조절하여 설치 가능하다.
전구체 가스에 에너지를 부여하는 수단에는 특별히 제한이 없으나, 열, 촉매, 빛을 이용함이 바람직하다.
전구체 가스에 에너지를 부여하는 수단이 열인 경우, 에너지 발생부(300)는 고주파 코일 또는 램프 히터를 구비할 수 있다.
또한, 전구체 가스에 에너지를 부여하는 수단이 촉매인 경우, 에너지 발생부(300)는 텅스텐 와이어를 구비할 수 있다.
또한, 전구체 가스에 에너지를 부여하는 수단이 빛인 경우, 에너지 발생부(300)는 레이저 또는 UV 조사부를 구비할 수 있다.
각각의 에너지 부여 원리는 상기 제조방법에서 설명한 바와 같은바, 여기에서는 생략하기로 한다.
가열부(400)는 증착이 용이하도록 기판(S)을 가열하는 기능을 한다. 가열부(400)는 기판(S)이 안착된 서셉터(110)의 내부 또는 외부에 설치될 수 있다. 가열온도는 기판의 종류, 성막 속도, 반응 공간 내부 조건 등에 따라 적절하게 조절할 수 있다.
각 전구체 가스의 주입량을 조절하는 밸브, 반응 부산물과 잔류된 금속원료를 외부로 배출하는 관로, 로터리 펌프 등, 본 발명의 제조장치에 도시하지 않은 여타의 구성요소는 유기금속 화학 기상 증착과 관련한 장비를 다루는 당업자에게는 자명한 사항이므로 생략하기로 한다.
전술한 본 발명의 고체전해질 박막 제조방법 및 그 제조장치에 의하면 성막속도가 매우 향상되며, 기판 및 하지막에 대한 손상도가 현저히 감소하는바, 신뢰도 높은 박막전지를 효율적으로 제조할 수 있다. 또한, 등각 증착이 가능하므로, 트렌치 구조의 박막전지의 제조에 적용할 수 있다.
지금까지 본 발명에 따른 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구의 범위뿐만 아니라, 이 특허청구의 범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 이는 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명 사상은 아래에 기재된 특허청구범위에 의해서만 파악되어야 하고, 이의 균등 또는 등가적 변형 모두는 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
100: 반응부
210: 제 1공급부
220: 제 2공급부
230: 제 3공급부
300: 에너지 발생부
400: 가열부

Claims (16)

  1. 반응공간 내에 기판을 인서트하는 단계;
    상기 반응공간 내에 에너지를 부여하고 기판을 가열하는 단계;
    상기 반응공간 내에 리튬 전구체 가스, 인 또는 보론 전구체 가스, 질소 전구체 가스를 주입하는 단계; 및
    상기 전구체 가스들을 서로 반응시켜 상기 기판상에 고체전해질 박막을 형성하는 단계를 포함하는 고체전해질 박막 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 리튬 전구체 가스는 Li(C11H19O2)인 것을 특징으로 하는 고체전해질 박막 제조방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 인 전구체 가스는 PO(OCH3)3, PO(OC2H5)3 중 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 고체전해질 박막 제조방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 보론 전구체 가스는 B(OCH3)3, B(OC2H5)3 중 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 고체전해질 박막 제조방법.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 질소 전구체 가스는 NH3인 것을 특징으로 하는 고체전해질 박막 제조방법.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 에너지 부여는 고주파 코일 또는 램프 히터를 통해 열을 가하는 것에 의함을 특징으로 하는 고체전해질 박막 제조방법.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 에너지 부여는 텅스텐 와이어 촉매에 의함을 특징으로 하는 고체전해질 박막 제조방법.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 에너지 부여는 레이저 또는 UV를 조사하는 것에 의함을 특징으로 하는 고체전해질 박막 제조방법.
  9. 기판이 수용되는 반응공간을 구비하는 반응부;
    상기 반응공간에 리튬 전구체 가스를 공급하는 제 1공급부;
    상기 반응공간에 인 또는 보론 전구체 가스를 공급하는 제 2공급부;
    상기 반응공간에 질소 전구체 가스를 공급하는 제 3공급부;
    상기 전구체 가스들을 분해하기 위한 에너지를 부여하는 에너지 발생부; 및
    상기 기판을 가열하는 가열부를 포함하는 고체전해질 박막 제조장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 리튬 전구체 가스는 Li(C11H19O2)인 것을 특징으로 하는 고체전해질 박막 제조장치.
  11. 제 9항에 있어서,
    상기 인 전구체 가스는 PO(OCH3)3, PO(OC2H5)3 중 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 고체전해질 박막 제조장치.
  12. 제 9항에 있어서,
    상기 보론 전구체 가스는 B(OCH3)3, B(OC2H5)3 중 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 고체전해질 박막 제조장치.
  13. 제 9항에 있어서,
    상기 질소 전구체 가스는 NH3인 것을 특징으로 하는 고체전해질 박막 제조장치.
  14. 제 9항에 있어서,
    상기 에너지 발생부는 고주파 코일 또는 램프 히터를 구비하는 것을 특징으로 하는 고체전해질 박막 제조장치.
  15. 제 9항에 있어서,
    상기 에너지 발생부는 텅스텐 와이어를 구비하는 것을 특징으로 하는 고체전해질 박막 제조장치.
  16. 제 9항에 있어서,
    상기 에너지 발생부는 레이저 또는 UV 조사부를 구비하는 것을 특징으로 하는 고체전해질 박막 제조장치.
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