KR20130006611A - 텐터 장치 및 텐터 장치 내에서의 이물질 제거 방법 그리고 용액 제막 설비 - Google Patents

Abstract

핀 텐터 내의 필름은, 양측 단부가 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 에 담지된 상태에서 반송된다. 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 는, 필름의 담지가 해방되면, 제트풍 세정 에어리어 (83) 로 보내진다. 제트풍 세정 에어리어 (83) 에서는, 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 는 챔버 (202) 내에서 덮인다. 챔버 (202) 내에서는, 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 에 대하여 제트풍이 분사된다. 이 제트풍의 분사에 의해, 필름의 첨가제가 액화 또는 고화된 것이나 핀 (72) 을 필름에 삽입했을 때에 나오는 타발 잔사 등을 포함하는 이물질이 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 로부터 제거된다. 이물질은 흡인 노즐을 개재하여 챔버 (202) 외로 배출된다.

Description

텐터 장치 및 텐터 장치 내에서의 이물질 제거 방법 그리고 용액 제막 설비 {TENTER APPARATUS, METHOD FOR REMOVING FOREIGN SUBSTANCES IN TENTER APPARATUS, AND EQUIPMENT FOR PRODUCING FILM FROM SOLUTION}

본 발명은, 필름의 양측 단부 (端部) 를 담지한 상태에서 필름을 일정한 확폭률로 연신하면서 건조시키는 텐터 장치 및 텐터 장치 내에서의 이물질 제거 방법에 관한 것이다. 본 발명은, 또한, 그 텐터 장치를 구비한 용액 제막 설비에 관한 것이다.

폴리머 필름은, 우수한 광 투과성이나 유연성을 가지고, 경량 박막화가 가능하다는 점에서, 광학 기능성 필름으로서 다방면에 이용되고 있다. 이 중에서도, 셀룰로오스아실레이트 등을 사용한 셀룰로오스에스테르계 필름은, 전술한 특성에 더하여, 추가로 강인성 (强靭性) 이나 저복굴절률을 가지고 있다. 이 셀룰로오스에스테르계 필름은, 사진 감광용 필름을 비롯하여, 최근 시장이 확대되고 있는 액정 표시 장치 (LCD) 의 구성 부재인 편광판의 보호 필름이나 광학 보상 필름으로서 이용되고 있다.

폴리머 필름의 제조 방법의 하나로서, 용액 제막 (製膜) 방법을 들 수 있다. 이 용액 제막 방법에 의하면, 먼저, 폴리머와 용매가 함유된 도프를 유연 다이로부터 지지체 상으로 유연하여 유연막을 형성한다. 다음으로, 유연막이 자기 지지성을 갖게 된 후에, 유연막을 습윤 필름으로 하여 지지체로부터 박리한다. 그리고, 텐터에 의해, 습윤 필름의 양측 단부 (이하 에지부 (耳部) 라고 한다) 를 유지한 상태에서 그 습윤 필름을 반송한다. 또, 텐터에서는, 반송 중인 습윤 필름에 대하여, 에지부를 폭 방향으로 연신함과 함께, 건조풍을 분사함으로써 건조를 실시한다. 이로써, 필름이 얻어진다. 그리고, 필름의 에지부를 절단한 후에, 건조 장치에 의해 다시 건조를 실시한다. 건조 장치를 거친 필름은, 권취 장치에 의해 권취된다.

텐터에 있어서의 습윤 필름의 건조는, 필름의 양측 단부를 클립이나 핀 등의 담지 수단에 의해 담지하여 주행시키고, 이 주행 중인 필름에 대하여 건조풍을 분사함으로써 실시하고 있다. 한편, 담지 수단은 체인 등의 무단 (無端) 이동체에 고정시켜 순환 주행시킨다. 이로 인해, 텐터 출구 부근에서 고온 건조풍에 노출되어 고온이 된 담지 수단으로 재차 필름을 담지하면, 필름 중의 용제의 비등에 의한 발포가 발생하며, 필름 절단에 이르는 경우가 있다. 또, 냉각 겔화에 의해 자기 지지성을 갖게 하는 용액 제막 방법에서는, 핀을 구비하는 핀 플레이트에 의해 필름을 담지한다. 핀의 온도가 높으면, 핀이 필름에 들어갈 때에 핀 선단에 덮어쓰여진 수지가 고형화되어 박리되고 캡상의 분말이 되어, 이물질 고장이나 찰상의 원인이 된다. 이것을 방지하기 위하여, 필름 양측 단부를 담지하기 전에, 냉각 덕트를 통과시켜서 담지 수단을 냉각시키는 것이 실시되고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).

일본 공개특허공보 평9-85846호

그러나, 냉각 덕트를 형성함으로써, 새로운 문제가 발생 된다. 텐터 내에서는, 습윤 필름으로부터 증발한 용제 가스가 충만해져 있다. 텐터 내의 고온 분위기하에서는, 습윤 필름 내의 가소제나 UV 제 (자외선 흡수제) 가 용제와 함께 증발하고, 이것들도 용제 가스 중에 섞여 있다. 이와 같은 용제 가스가 클립이나 핀 플레이트의 이동에 수반하여, 냉각 덕트 내로 동반된다. 냉각 덕트로 들어간 용제 가스는, 그 냉각 덕트의 냉각에 의해 액화 또는 고화되고, 이물질로서 핀이나 핀 플레이트에 부착되게 된다. 이 이물질에는, 도프에 첨가한 가소제나 UV 제 등의 첨가제가 많이 함유되어 있다. 이 이물질의 퇴적량이 증가하면, 핀 플레이트에 큰 부담이 가해지게 된다. 또한, 핀 플레이트의 반송에 사용하는 반송용 가이드 롤러나 이것에 사용되는 베어링에 이물질이 퇴적하게 되면, 필름의 반송을 안정적으로 실시할 수 없게 된다.

이상의 문제에 대하여, 잘 증발하지 않는 가소제나 UV 제의 도입, 텐터의 건조 온도의 저온화, 텐터의 건조 장시간화 등의 대책을 생각할 수 있다. 그러나, 그러한 대책을 강구함으로써, 제조 후의 필름의 품질이 변화되거나, 비용이 과잉으로 들거나 하는 등의 새로운 문제가 발생하여, 바람직하지 않다. 또, 브러시 등을 사용하여 핀 플레이트에 부착된 이물질을 제거하는 것도 생각할 수 있다. 그러나, 이물질의 제거를 반복하는 사이에, 브러시가 막히거나, 한 번 제거한 이물질이 다시 핀 플레이트에 부착되거나 하는 등의 문제가 있다. 또, 부착된 이물질에는 브러시로는 떨어낼 수 없는 부분이 있는 등의 문제가 있다.

텐터에서는, 그 텐터 내의 용제 가스로부터 응축 회수나 흡착 회수 등에 의해 용제를 회수하여, 그 용제가 제거된 가스를 다시 텐터 내로 보내고 있다. 이 용제의 회수에 맞추어 가소제나 UV 제 등을 회수하고 있다. 그러나, 이 방법을 사용해도, 핀 플레이트 등에 부착되는 이물질의 양을 전혀 없게 할 수는 없다.

또, 세정용 용제를 사용하여 핀 플레이트 등을 세정하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 세정 효과가 약한 데다가, 그 세정용 용제에 의해 반송용 가이드 롤러나 베어링의 윤활제로서의 오일 성분을 녹인다는 문제가 있다. 또한, 이 세정용 용제가 텐터 내로 증발하면, 그 세정용 용제의 회수도 실시해야만 한다는 문제가 있다. 따라서, 이제까지는, 정기적으로 필름의 제조 라인을 정지하고, 오프라인에서 핀 플레이트 등의 세정을 실시하고 있었다.

또, 핀 텐터에 있어서는, 상술한 바와 같이 냉각 덕트 내에서 발생하는 이물질 외에, 핀을 필름에 삽입했을 때에 발생하는 타발 잔사나, 핀을 필름에서 뽑아냈을 때에 핀의 주위에 잔존하는 버 (burr) 등의 이물질도, 핀 플레이트에 부착·퇴적되는 경우가 있다. 이와 같은 이물질은, 상술한 바와 같이 냉각 덕트 내에서 발생하는 이물질과 동일하게, 필름의 안정적인 반송을 방해할 뿐만 아니라, 핀 텐터 (13) 내의 공정 내 오염의 한 요인이 된다. 이와 함께, 그러한 이물질이 필름에 혼입됐을 때에는 필름의 품질에 영향을 미칠 우려가 있다.

본 발명은, 필름의 반송을 저해하는 이물질을 제거하여, 필름의 반송을 안정시키는 텐터 장치 및 텐터 장치 내에서의 이물질 제거 방법 그리고 용액 제막 설비를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 텐터 장치는, 담지 부재와, 순환 이동부와, 연신·건조부와, 챔버와, 제트풍 분사부와, 이물질 배출부를 구비한다. 담지 부재는, 반송 중인 필름의 양측 단부를 담지한다. 순환 이동부는, 담지 구간과 해방 구간 사이에서 상기 담지 부재를 순환 이동시킨다. 상기 담지 구간은 상기 담지 부재가 상기 필름의 담지를 실시하는 구간이다. 상기 해방 구간은 상기 담지 부재가 상기 필름의 담지를 해방하는 구간이다. 연신·건조부는, 상기 담지 구간에 있어서의 필름을 일정한 확폭률 (擴幅率) 로 연신함과 함께 건조풍을 분사함으로써 건조시킨다. 상기 필름이 확폭되는 방향으로 상기 담지 부재를 서서히 어긋나게 해 둠으로써 상기 연신을 실시한다. 챔버는, 상기 해방 구간에 있어서의 상기 담지 부재를 덮는다. 제트풍 분사부는, 상기 챔버 내를 통과하는 상기 담지 부재에 대하여 제트풍을 분사함으로써, 상기 담지 부재에 부착된 이물질을 제거한다. 이물질 배출부는, 상기 이물질을 상기 챔버 외로 배출한다.

텐터 장치에 있어서는, 상기 이물질 배출부는, 상기 담지 부재의 이동 방향에 대하여 상기 제트풍 분사부보다 상류측에 형성된 상류측 흡인실과, 상기 제트풍 분사부보다 하류측에 형성된 하류측 흡인실에 있어서, 상기 이물질을 흡인하고, 흡인된 이물질을 상기 상류측 흡인실 및 하류측 흡인실에 장착된 배출 노즐을 통하여, 상기 제트풍과 함께 상기 챔버 외로 배출하는 것이 바람직하다. 상기 상류측 흡인실 및 하류측 흡인실은 부압 (負壓) 상태로 되어 있는 것이 바람직하다.

텐터 장치는, 제트풍 순환부와, 제트풍 우회부와, 제어부를 구비하는 것이 바람직하다. 제트풍 순환부는, 상기 챔버 내에서 상기 담지 부재에 분사된 제트풍을 회수하고, 회수된 제트풍을 상기 챔버에까지 되돌림으로써, 제트풍을 순환시킨다. 제트풍 우회부는, 회수된 제트풍의 일부를 우회한다. 제어부는, 상기 제트풍 우회부에 의해 우회하는 제트풍의 풍량을 조절함으로써, 상기 담지 부재에 분사하는 제트풍의 온도를 제어한다.

본 발명의 용액 제막 설비는, 지지체와 텐터 장치를 구비한다. 상기 지지체는 도프가 유연되어 유연막이 형성된다. 상기 도프는 폴리머와 용매와 첨가제를 함유한다. 상기 텐터 장치는, 상기 지지체로부터 박리된 상기 유연막인 습윤 필름을, 폭 방향으로 연신함과 함께 건조풍의 분사로 건조시켜 필름으로 한다. 상기 텐터 장치는, 담지 부재와, 순환 이동부와, 챔버와, 제트풍 분사부와, 이물질 배출부를 포함한다. 담지 부재는, 반송 중인 필름의 양측 단부를 담지한다. 순환 이동부는, 담지 구간과 해방 구간 사이에서 상기 담지 부재를 순환 이동시킨다. 상기 담지 구간은, 상기 담지 부재가 상기 필름의 담지를 실시하는 구간이다. 상기 해방 구간은, 상기 담지 부재가 상기 필름의 담지를 해방하는 구간이다. 챔버는, 상기 해방 구간에 있어서의 상기 담지 부재를 덮는다. 제트풍 분사부는, 상기 챔버 내를 통과하는 상기 담지 부재에 대하여 제트풍을 분사함으로써, 상기 담지 부재로부터 이물질을 제거한다. 이물질 배출부는, 상기 제트풍과 함께 상기 이물질을 상기 챔버 외로 배출한다.

상기 이물질은, 상기 첨가제가 액화 또는 고화된 것을 포함한다.

상기 이물질은, 상기 담지 부재의 담지를 개시 또는 해방했을 때에 발생하는 잔사와 버 중의 적어도 어느 일방을 포함한다.

용액 제막 설비에 있어서, 상기 텐터 장치는, 분리부와 하향 경사 배관을 포함하는 것이 바람직하다. 분리부는, 상기 이물질과 상기 제트풍을 분리한다. 하향 경사 배관은, 상기 이물질 배출부로부터 상기 분리부를 향해 서서히 낮아지도록 형성되어, 상기 이물질 배출부로부터의 이물질을 상기 분리부에까지 보낸다.

용액 제막 설비에 있어서, 상기 텐터 장치는, 제트풍 순환부와, 제트풍 우회부와, 제어부를 포함하는 것이 바람직하다. 제트풍 순환부는, 상기 챔버 내에서 상기 담지 부재에 분사된 제트풍을 회수하고, 회수된 제트풍을 상기 챔버에까지 되돌림으로써, 제트풍을 순환시킨다. 제트풍 우회부는, 회수된 제트풍의 일부를 우회한다. 제어부는, 상기 제트풍 우회부에 의해 우회하는 제트풍의 풍량을 조절함으로써, 상기 담지 부재에 분사하는 제트풍의 온도를 제어한다. 상기 제어부는, 상기 첨가제의 융점을 초과하는 온도로서, 상기 텐터 장치 내의 각종 기기의 내열 온도 미만의 범위로, 상기 제트풍의 온도를 제어한다.

상기 제트풍의 온도는 49 ℃ 이상으로서, 상기 텐터 장치 내의 각종 기기의 내열 온도인 120 ℃ 이하로 제어되는 것이 바람직하다.

상기 텐터 장치는, 상기 담지 부재로서, 핀과 이 핀이 다수 꽂힌 플레이트를 갖는 핀 텐터인 것이 바람직하다.

본 발명의 텐터 장치 내에서의 이물질 제거 방법은, 순환 이동 단계와, 연신·건조 단계와, 제트풍 분사 단계와, 이물질 배출 단계를 구비한다. 순환 이동 단계는, 담지 구간과 해방 구간 사이에서 상기 담지 부재를 순환 이동시킨다. 상기 담지 구간은, 반송 중인 필름의 양측 단부를 담지 부재에 의해 담지하는 구간이다. 상기 해방 구간은, 상기 담지 부재에 의한 상기 필름의 담지를 해방한 구간이다. 연신·건조 단계는, 상기 담지 구간에 있어서의 필름을 일정한 확폭률로 연신함과 함께, 건조풍을 분사함으로써 건조시킨다. 상기 연신은, 상기 필름이 확폭되는 방향으로 상기 담지 부재를 서서히 어긋나게 해 둠으로써 실시한다. 제트풍 분사 단계는, 상기 해방 구간에 있어서의 상기 담지 부재를 덮는 챔버에 있어서, 상기 챔버 내를 통과하는 담지 부재에 대하여 제트풍을 분사함으로써, 상기 담지 부재에 부착된 이물질을 제거한다. 이물질 배출 단계는, 상기 이물질을 상기 챔버 외로 배출한다.

본 발명에 의하면, 필름 반송의 저해가 되는 이물질을 제거하여, 필름 반송을 안정시키는 것이 가능해진다.

도 1 은 용액 제막 설비를 나타내는 개략도이다.
도 2 는 본 발명의 핀 텐터를 나타내는 평면도이다.
도 3 은 본 발명의 핀 텐터를 나타내는 정면도이다.
도 4 는 레일, 레일 커버 및 핀 캐리어의 단면도이다.
도 5 는 스프로킷의 톱니와 핀 캐리어의 맞물림 홈이 맞물린 상태를 나타내는 레일, 레일 커버 및 핀 캐리어의 단면도이다.
도 6 은 도 3 의 Ⅵ - Ⅵ 선 단면도이다.
도 7 은 도 3 의 Ⅶ - Ⅶ 선 단면도이다.
도 8 은 도 3 의 Ⅷ - Ⅷ 선 단면도이다.
도 9 는 도 3 의 Ⅸ - Ⅸ 선 단면도이다.
도 10 은 제 1 냉각 에어리어 내의 레일, 레일 커버 및 핀 캐리어를 나타내는 단면도이다.

본 발명의 제 1 실시형태를 설명한다. 도 1 에 나타내는 바와 같이, 용액 제막 설비 (10) 는, 유연실 (11) 과, 반송부 (12) 와, 핀 텐터 (13) 와, 클립 텐터 (14) 와, 에지 커팅 장치 (15) 와, 건조 장치 (16) 와, 냉각 장치 (17) 와, 권취 장치 (18) 로 구성되어 있다.

유연실 (11) 에는, 피드 블록 (21) 과, 유연 드럼 (22) 과, 유연 다이 (23) 와, 박리 롤러 (26) 와, 응축기 (콘덴서) (27) 와, 회수 장치 (28) 가 구비되어 있다. 피드 블록 (21) 은, 도프 제조 설비 (20) 로부터의 도프가 보내진다. 유연 드럼 (22) 은, 도프가 유연되는 지지체이다. 유연 다이 (23) 는, 도프를 유연 드럼 (22) 으로 유연한다. 박리 롤러 (26) 는, 유연 드럼 (22) 상의 유연막 (24) 을 습윤 필름 (25) 으로 하여 벗겨낸다. 응축기 (27) 는, 유연막 (24) 및 습윤 필름 (25) 으로부터 증발한 용제 가스를 응축 액화한다. 회수 장치 (28) 는, 액화한 용제를 회수한다. 또, 유연 드럼 (22) 에는 전열 매체 공급 장치 (도시 생략) 가 접속되어 있다. 이 전열 매체 공급 장치의 내부에 전열 매체를 공급함으로써, 유연 드럼 (22) 의 표면 온도를 원하는 온도로 조정하고 있다. 또, 유연실 (11) 에는, 그 내부 온도를 조정하기 위한 온도 조절 장치 (30) 가 장착되어 있다.

피드 블록 (21) 의 내부에는 도프의 유로가 형성되어 있다. 유연 다이 (23) 에는 감압 챔버 (32) 가 장착되어 있다. 이 감압 챔버 (32) 는, 유연 다이 (23) 의 토출구로부터 유연 드럼 (22) 에 도달할 때까지의 도프의 흐름 (이하 「비드」 라고 한다) 의 후방을 감압하여, 유연 드럼 (22) 에 대한 비드의 접촉을 안정시킨다. 감압 챔버 (32) 에는 재킷 (도시 생략) 이 장착되어 있어, 감압 챔버 (32) 를 원하는 온도로 조정하고 있다.

수송부 (12) 에는 다수의 롤러 (35) 가 설치되어 있다. 이들 롤러 (35) 는, 유연 드럼 (22) 으로부터 박리 된 습윤 필름 (25) 을 핀 텐터 (13) 까지 반송한다. 이하, 이 습윤 필름 (25) 의 반송 방향을 A 방향이라고 한다. 습윤 필름 (25) 의 반송로의 상방에는 송풍기 (36) 가 형성되어 있다. 이 송풍기 (36) 는 습윤 필름 (25) 에 대하여 건조풍을 분사하여, 습윤 필름 (25) 의 건조를 촉진시킨다.

핀 텐터 (13) 는, 습윤 필름 (25) 의 에지부에 핀에 삽입하여 유지하고, 그 에지부를 유지한 상태에서 습윤 필름 (25) 을 반송한다. 핀 텐터 (13) 에서는, 에지부를 폭 방향으로 연신함으로써, 습윤 필름 (25) 의 폭을 일정한 확폭률로 확대하고 있다. 또, 이 습윤 필름 (25) 에 대해서는, 건조 덕트 (52, 53) (도 3 참조) 로부터 건조풍이 보내지고, 원하는 온도로 가열되어, 건조가 촉진된다. 건조풍 순환 장치 (60) 는, 건조 덕트 (52, 53) 로부터 보내져온 건조풍으로부터 용매나 가소제를 흡착 회수함과 함께, 흡착 회수 후의 건조풍을 건조 덕트 (52, 53) 로 되돌린다.

클립 텐터 (14) 는 핀 텐터 (13) 의 하류에 형성되며, 핀 텐터 (13) 로부터 나온 습윤 필름 (25) 의 에지부를 파지하여 반송함과 함께 건조를 실시한다. 클립 텐터 (14) 에 있어서도, 에지부를 폭 방향으로 연신함과 함께, 건조풍을 분사함으로써 습윤 필름 (25) 을 건조시키고 있다. 이로써, 필름 (37) 이 얻어진다. 또한, 클립 텐터는 필요에 따라 형성되는 것으로, 생략해도 된다. 이 경우에는, 핀 텐터 (13) 를 나온 필름 (37) 은 건조 장치 (16) 로 보내진다. 에지 커팅 장치 (15) 는, 클립 텐터 (14) 를 나온 필름 (37) 의 에지부를 절단한다. 또, 에지 커팅 장치 (15) 에는 크러셔 (66) 가 접속되어 있고, 이 크러셔 (66) 에 의해 필름 (37) 의 에지부는 분쇄되어 칩이 된다. 그리고, 에지부가 절단된 필름 (37) 은 건조 장치 (16) 로 보내진다.

건조 장치 (16) 의 내부에는 다수의 롤러 (67) 가 구비되어 있고, 필름 (37) 은 롤러 (67) 에 의해 반송되면서 건조된다. 이 건조 장치 (16) 내에서 필름 (37) 으로부터 발생한 용제 가스는, 건조 장치 (16) 의 외측에 형성된 흡착 회수 장치 (69) 에 의해 흡착 회수된다. 흡착 회수에 의해 용제가 제거된 가스는, 다시 건조 장치 (16) 로 되돌려진다. 건조 장치 (16) 를 나온 필름 (37) 은 냉각 장치 (17) 로 보내지며, 이 냉각 장치 (17) 내에서 대략 실온까지 냉각된다. 또한, 에지 커팅 장치는 핀 텐터 (13) 의 출구에도 형성하여, 에지부를 절단한 후에, 이것을 클립 텐터에 보내도록 해도 된다.

권취 장치 (18) 는 권취심 (卷芯) (70) 을 구비하고, 냉각 장치 (17) 를 나온 필름 (37) 은 권심 (70) 에 롤상으로 권취된다. 또, 권취 장치 (18) 는 프레스 롤러 (71) 를 구비하고, 이 프레스 롤러 (71) 는 권취압 (卷壓) 을 조절하면서 필름 (37) 을 권취한다.

도 2 및 도 3 에 나타내는 바와 같이, 핀 텐터 (13) 는, 습윤 필름 (25) 의 양측 단부 (에지부) (25a) 를 담지한 상태에서, 그 습윤 필름 (25) 을 A 방향으로 반송함과 함께, 그 폭 방향 (이하 「B 방향」 이라고 한다) 으로 소정의 연신율로 연신한다. 핀 텐터 (13) 는, 핀 삽입용 브러시 롤러 (40) 와, 제진 장치 (42) 와, 레일 (44) 과, 스프로킷 (46 ～ 48) 과, 건조 덕트 (52, 53) 와, 레일 커버 (덕트) (54) 와, 핀 캐리어 (58) 를 구비한다.

브러시 롤러 (40) 는 핀 텐터 (13) 의 입구 (13a) 측에 형성되고, 핀 텐터 (13) 에 들어간 습윤 필름 (25) 의 에지부 (25a) 에 핀 (72) (도 4 참조) 을 그 근원부까지 삽입한다. 제진 장치 (42) 는 핀 텐터 (13) 의 출구 (13b) 측에 형성되며, 에지부 (25a) 상의 먼지 등을 흡인에 의해 제거한다.

레일 (44) 은 습윤 필름 (25) 의 반송로의 양측에 설치되어 있다. 레일 (44) 은, 습윤 필름 (25) 의 연신율에 따라 그 폭이나 확폭 패턴이 결정되어 있으며, 도시한 것은, 연신 상태를 과장하여 표시하고 있다. 또, 확폭 패턴도 일례이며, 필름의 광학 특성을 고려하여 각종 확폭 패턴을 채용해도 된다. 레일 (44) 은, 상하 방향으로 배치되는 1 쌍의 레일 (44a, 44b) 로 구성되어 있다.

스프로킷 (46, 47) 은 핀 텐터 (13) 의 입구 (13a) 측에 형성되어 있다. 스프로킷 (48) 은 핀 텐터 (13) 의 출구 (13b) 측에 형성되어 있다. 스프로킷 (48) 이 모터 등의 회전 구동에 의해 회전하면, 핀 (72) 및 핀 (72) 이 다수 꽂힌 핀 플레이트 (모두 도 4 참조) 를 운반하기 위한 핀 캐리어 (58) 는, 레일 (44) 을 따라 주행한다. 그리고, 이 핀 캐리어 (58) 의 주행과 함께, 스프로킷 (46, 47) 이 회전한다.

건조 덕트 (52) 는 습윤 필름 (25) 의 반송로의 상방에 설치되어 있다. 건조 덕트 (53) 는 습윤 필름 (25) 의 반송로의 하방에 설치되어 있다. 건조 덕트 (52) 는, 습윤 필름 (25) 의 상면에 건조풍을 분사한다. 또, 건조 덕트 (53) 는, 습윤 필름 (25) 의 하면에 건조풍을 분사한다. 건조 덕트 (52, 53) 의 건조풍의 온도는, 40 ℃ 이상 200 ℃ 이하의 범위에서 소정의 온도로 설정되어 있다. 이로써, 습윤 필름 (25) 의 건조가 촉진됨과 함께, 습윤 필름 (25) 으로부터 용제 가스가 증발한다.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 레일 커버 (54) 는, 레일 (44a, 44b) 및 핀 캐리어 (58) 의 일부를 덮는다. 레일 커버 (54) 의 내부의 상면에는 레일 (44a) 이, 그 하면에는 레일 (44b) 이 장착되어 있다. 핀 캐리어 (58) 는, 레일 (44a) 과 레일 (44b) 사이에 배치되어 있다. 또, 레일 커버 (54) 에는, 핀 캐리어 (58) 의 주행 방향을 따라 슬릿 (54a) 이 형성되어 있다. 이 슬릿 (54a) 은 후술하는 차풍 (遮風) 부재 (75) 에 의해 덮여있고, 레일 커버 (54) 내로 보내지는 불활성 가스나 냉각풍이 빠져나가는 경우가 없도록 되어있다. 또, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 스프로킷 (46) 의 설치 위치 부근의 레일 커버 (54) 에는, 스프로킷 (46) 이 들어가기 위한 슬릿 (54b) 이 형성되어 있다. 스프로킷 (47) 의 설치 위치 부근의 레일 커버 (54) 에 대해서도 동일하므로, 설명을 생략한다.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 핀 캐리어 (58) 는, 핀 (72) 과, 핀 플레이트 (73) 와, 캐리어 본체 (74) 와, 차풍 부재 (75) 와, 가이드 롤러 (76 ～ 79) 로 구성된다. 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 에 의해, 담지 부재가 구성된다. 핀 (72) 은, 핀 플레이트 (73) 에 소정의 간격으로 다수 꽂혀 있다. 이 핀 플레이트 (73) 는, 차풍 부재 (75) 의 차풍부 (75a) 에 고착되어 있다. 또, 캐리어 본체 (74) 의 측면에는, 차풍 부재 (75) 를 지지하기 위한 돌기부 (74a) 가 형성되어 있다. 이 돌기부 (74a) 에는 차풍 부재 (75) 가 고착되어 있다. 또, 캐리어 본체 (74) 의 하면의 중앙부에는, 스프로킷 (46, 47, 48) 의 톱니와 서로 맞물리는 맞물림 홈 (74b) 이 형성되어 있다.

차풍 부재 (75) 는, 레일 커버 (54) 의 슬릿 (54a) 을 개재하여, 캐리어 본체 (74) 의 돌기부 (74a) 와 고착되어 있다. 또, 이 차풍 부재 (75) 는 슬릿 (54a) 을 덮도록 상하 좌우 방향으로 연장된 차풍부 (75a) 를 구비하고 있고, 차풍부 (75a) 는 레일 커버 (54) 의 슬릿 (54a) 을 덮어 가리고 있다. 이 차풍부 (75a) 에 의해, 습윤 필름 (25) 으로부터 증발한 용제 가스를 함유하는 건조풍이 레일 커버 (54) 의 내부에 침입하는 것이 방지된다. 또, 차풍부 (75a) 는, 후술하는 스팀 세정 에어리어 (82) (도 7 참조) 에서 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 를 스팀 세정할 때에, 그 스팀이 레일 커버 (54) 내부에 들어가는 것을 방지한다.

가이드 롤러 (76) 와 가이드 롤러 (77) 는, 캐리어 본체 (74) 의 상면에, 레일 (44a) 의 폭만큼 이간하여 형성되어 있다. 동일하게, 가이드 롤러 (78) 와 가이드 롤러 (79) 는, 캐리어 본체 (74) 의 하면에, 레일 (44b) 의 폭만큼 이간하여 형성되어 있다. 이들 가이드 롤러 (76 ～ 79) 는 레일 (44a, 44b) 을 협지 (挾持) 하여, 캐리어 본체 (74) 가 레일 (44a, 44b) 을 따라 이동할 때에, 캐리어 본체 (74) 를 안내한다.

각 캐리어 본체 (74) 의 주행 방향의 전단부 및 후단부에는, 각 캐리어 본체 (74) 를 상호 연결하는 연결 브래킷이 형성되어 있다. 이 연결 브래킷에 연결 핀이 수평 방향으로 장착되어 있다. 따라서, 연결핀을 개재하여 각 캐리어 본체 (74) 는 연결되므로, 도 3 에 나타내는 바와 같이 연직면 내에서 주행 이동할 수 있다. 또한, 블록상의 캐리어 본체를 연결핀으로 상호 연결하여 핀 캐리어를 구성하는 대신에, 체인을 사용하여 핀 캐리어를 구성해도 된다.

도 3 에 나타내는 바와 같이, 핀 텐터 (13) 에는, 습윤 필름 (25) 의 담지가 해방된 핀 캐리어 (58) 의 주행 방향을 따라, 가스 퍼지 에어리어 (81), 스팀 세정 에어리어 (82), 제트풍 세정 에어리어 (83), 제 1 냉각 에어리어 (84), 제 2 냉각 에어리어 (86) 가 형성되어 있다. 스팀 세정 에어리어 (82) 및 제트풍 세정 에어리어 (83) 에 있어서의 세정에 의해 제거되는 이물질의 대부분은, 습윤 필름 (25) 으로부터 증발한 용제 가스에 함유되는 성분이 포함된다. 용제 가스에 함유되는 성분으로서는, 특히 TPP (트리페닐포스페이트), BDP (비페닐디페닐포스페이트), 폴리에스테르계 등의 가소제나, 벤조트리아졸계 소재 등의 UV 제 등의 도프의 첨가제가 액화 또는 고화된 것 외에, 핀을 필름에 삽입했을 때에 발생하는 타발 잔사나, 핀을 필름으로부터 뽑아냈을 때에 핀의 주위에 잔존하는 버 등도 있다. 또, 이물질에는 광학 특성 조정제가 액화 또는 고화된 것이 포함되어 있다. 이와 같은 이물질을 제거함으로써, 핀 캐리어 (58) 에 습윤 필름의 반송을 저해하는 것이 없어진다. 이와 함께, 핀 텐터 (13) 내에 있어서의 공정내 오염을 방지할 수 있고, 또 습윤 필름 (25) 에 이물질이 혼입되는 것을 방지할 수 있다.

도 6 에 나타내는 바와 같이, 가스 퍼지 에어리어 (81) 에 위치하는 레일 커버 (54) 에는, 급기용 노즐 (90) 과 흡기용 배출 파이프 (91) 가 장착되어 있다. 노즐 (90) 의 취출공 및 배출 파이프 (91) 의 흡기공은, 각각 레일 커버 (54) 의 내부로 향해져 있다. 또, 가스 퍼지 에어리어 (81) 에는, 질소 가스 공급부 (94), 흡인 장치 (95), 필터 (96) 가 설치되어 있다. 질소 가스 공급부 (94) 는 노즐 (90) 에 접속되어 있다. 흡인 장치 (95) 는 배출 파이프 (91) 에 접속되어 있다. 또, 흡인 장치 (95) 는, 필터 (96) 를 개재하여, 질소 가스 공급부 (94) 와 접속하고 있다.

가스 퍼지를 실시할 때에는, 질소 가스 공급부 (94) 로부터 노즐 (90) 로 질소 가스가 공급된다. 이 질소 가스는, 노즐 (90) 의 취출공을 통하여, 레일 커버 (54) 내로 공급된다. 노즐 (90) 로부터의 질소 가스의 취출에 의해, 레일 커버 (54) 내부의 압력이 상승함과 함께, 캐리어 본체 (74), 가이드 롤러 (76 ～ 79) 및 레일 (44a, 44b) 에 부착된 이물질이 제거된다. 흡인 장치 (95) 는, 배출 파이프 (91) 의 흡기공을 통하여, 가압 상태의 레일 커버 (54) 내로부터 가스를 흡기함과 함께, 그 레일 커버 (54) 내부에 쌓인 이물질을 흡인한다. 필터 (96) 는, 흡인 장치 (95) 에서 흡인된 가스로부터 이물질을 제거한다. 그리고, 그 이물질이 제거된 질소 가스는, 질소 가스 공급부 (94) 로 보내진다.

이 가스 퍼지 에어리어 (81) 중에서도, 특히 습윤 필름 (25) 의 에지부 (25a) 의 유지가 해방되는 에어리어는, 핀 텐터 (13) 내에서도 특히 용제 가스의 농도가 높아지는 에어리어이다. 따라서, 질소 가스의 급기에 의해 레일 커버 (54) 내부의 압력을 높여 둠으로써, 레일 커버 (54) 내부에 용제 가스가 들어가는 것이 방지된다. 또, 만일, 레일 커버 (54) 내에 용제 가스가 들어가, 그 용제 가스가 액화 또는 고화된 것이 이물질로서 가이드 롤러 (76 ～ 79) 에 부착되었다고 해도, 그러한 이물질은 질소 가스의 분사에 의해 제거된다. 또, 그 제거된 이물질은 흡인 장치 (95) 에 의해 레일 커버 (54) 외로 배출되기 때문에, 핀 캐리어 (58) 의 주행을 저해하는 것이 레일 커버 (54) 내부에 존재하지 않게 된다. 이로써, 핀 캐리어 (58) 는 레일 (44) 을 따라 안정적으로 주행하는 것이 가능해진다.

또한, 가스 퍼지는, 습윤 필름 (25) 의 반송 에어리어뿐만 아니라, 핀 캐리어 (58) 가 주행하는 에어리어 전체에서 실시해도 된다. 또, 배출 파이프 (91) 를 노즐 (90) 에 대응하는 위치에서 레일 커버 (54) 의 반대측에 형성하고 있지만, 배출 파이프 (91) 는, 핀 캐리어 (58) 의 주행 방향에서 노즐 (90) 로부터 떨어져서 설치해도 된다. 이 경우에는, 배출 위치가 노즐 (90) 의 위치로부터 떨어짐으로써, 레일 커버 (54) 내를 텐터실보다 압력을 높게 설정하는 것을 효율적으로 실시할 수 있다. 또, 노즐 (90) 및 배출 파이프 (91) 는, 가스 퍼지 에어리어 (81) 내에서 핀 캐리어 (58) 의 주행 방향으로 적절한 피치로 복수 형성해도 된다.

도 7 에 나타내는 바와 같이, 스팀 세정 에어리어 (82) 에는, 스팀을 분사하기 위한 노즐 (120a ～ 120c) 이 설치되어 있다. 노즐 (120a) 의 취출공은 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 의 방향으로 향해져 있다. 또, 노즐 (120b, 120c) 의 취출공은, 레일 (44a, 44b), 캐리어 본체 (74), 가이드 롤러 (76 ～ 79) 의 방향으로 향해져 있다. 또, 스팀 세정 에어리어 (82) 에는 스팀 공급부 (122) 가 설치되어 있다. 이 스팀 공급부 (122) 는, 노즐 (120a ～ 120c) 에 접속되어 있다.

스팀 세정을 실시하는 경우에는, 스팀 공급부 (122) 로부터 노즐 (120a ～ 120c) 에 스팀이 공급된다. 이 스팀은, 노즐 (120a) 의 취출공으로부터, 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 에 분사된다. 또, 스팀은, 노즐 (120b, 120c) 의 취출공으로부터, 레일 (44a, 44b), 캐리어 본체 (74), 가이드 롤러 (76 ～ 79) 에 분사된다. 이 스팀의 분사에 의해, 핀 (72), 핀 플레이트 (73), 레일 (44a, 44b), 캐리어 본체 (74), 가이드 롤러 (76 ～ 79) 에 부착되어 있던 이물질이 제거된다. 또한, 스팀의 분사에 의해 이물질의 제거를 실시하였지만, 이것에 한정되지 않고, 이물질을 제거하는 효과가 높은 액체를 함유한 증기를 사용하여 세정해도 된다.

도 8 에 나타내는 바와 같이, 제트풍 세정 에어리어 (83) 에서는, 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 에 대하여, 챔버 (202) 내에 배치된 노즐 (203, 204) 로부터 제트풍을 분사한다. 이 챔버 (202) 내에서의 제트풍의 분사에 의해, 타발 잔사나 버 등의 이물질이 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 로부터 제거된다. 또, 챔버 (202) 내에 쌓인 이물질은, 배기 노즐 (240) (도 9 참조) 에 의해 챔버 (202) 외로 배출된다.

제트풍은, 케이싱 (200) 외의 블로어 (205) 로부터 공급용 배관 (206) 을 개재하여 공급된다. 공급용 배관 (206) 은, 블로어 (205) 와 챔버 (202) 사이를 연결한다. 공급용 배관 (206) 의 도중에는, 제트풍의 일부를 공급용 배관 (206) 으로부터 우회하여, 케이싱 (200) 내로 방출하는 우회풍용 배관 (208) 이 장착되어 있다. 공급용 배관 (206) 과 우회풍용 배관 (208) 의 분기점에는, 우회풍용 배관 (208) 으로 우회하는 제트풍의 풍량을 조절하는 삼방 밸브 (209) 가 장착되어 있다.

챔버 (202) 내에서 발생한 이물질은, 흡인용 배관 (210) 을 통하여, 제트풍과 함께 원심 분리기 (212) 로 보내진다. 원심 분리기 (212) 는 챔버 (202) 보다 낮은 위치에 형성되어 있고, 그것들을 연결하는 흡인용 배관 (210) 은, 챔버 (202) 로부터 원심 분리기 (212) 를 향해 서서히 낮아지도록 경사져 있다. 흡인용 배관 (210) 내를 흐르는 이물질은, 상기 서술한 바와 같이, 타발 잔사 등의 고형물뿐만 아니라, TPP 등이 액화된 액화물도 포함되어 있다. 따라서, 흡인용 배관 (210) 을 하향 구배로 함으로써, 액화 또는 고화된 이물질은, 흡인용 배관 (210) 의 도중에서 막히지 않고 원심 분리기 (212) 까지 확실하게 보낼 수 있다.

원심 분리기 (212) 는, 흡인용 배관 (210) 으로부터 보내져 온 이물질 및 제트풍을 분리한다. 원심 분리기 (212) 는 사이클론 방식으로, 흡인용 배관 (210) 으로부터의 이물질 및 제트풍을 원통상 본체 (214) 의 내주면을 따라 보낸다. 이물질은 제트풍보다 무겁기 때문에, 원통상 본체 (214) 내를 선회할 때마다, 자중 (自重) 에 의해 나선상으로 서서히 낙하한다. 이로써, 이물질과 제트풍은 분리된다. 낙하한 이물질은, 원통상 본체 (214) 의 하부에 장착된 호퍼 (215) 를 통하여, 회수부 (216) 로 보내진다. 한편, 이물질과 분리된 제트풍은, 배관 (218) 을 통하여 블로어 (205) 로 보내진다. 또한, 회수부 (216) 에 회수된 이물질 중 TPP 는 여과함으로써 재이용이 가능하다.

챔버 (202) 에는 내부의 온도를 측정하는 온도 센서 (219) 가 형성되어 있다. 컨트롤러 (220) 는, 온도 센서 (219) 가 측정한 챔버 (202) 내의 온도에 기초하여, 3 방 밸브 (209) 의 개도 (開度) 를 제어한다. 이 개도의 제어에 의해, 우회풍용 배관 (208) 으로 보내는 제트풍의 풍량을 제어함으로써, 챔버 (202) 내의 노즐 (203, 204) 로부터 나오는 제트풍의 온도를 조절할 수 있다. 따라서, 제트풍의 일부를 우회풍용 배관 (208) 으로 우회하는 것만으로, 제트풍의 온도뿐만 아니라, 챔버 (202) 내의 온도도 조절할 수 있기 때문에, 가열 히터나 냉각 쿨러의 설치 등 별도 비용이 드는 것을 필요로 하지 않는다. 여기서, 컨트롤러 (220) 에 의해 제어할 때에는, TPP 의 융점을 초과하는 온도로서, 케이싱 (200) 이나 노즐 (203, 204) 이나 챔버 (202) 그 외 기기의 내열 온도 미만이 되도록, 제트풍의 온도를 조절하는 것이 바람직하다. 또한, 예를 들어, TPP 의 융점은 49 ℃ 이며, 기기의 내열 온도는 120 ℃ 이다.

도 9 에 나타내는 바와 같이, 챔버 (202) 는, 제트풍 분사부 (230) 와, 상류측 흡기실 (231) 과, 하류측 흡기실 (232) 을 구비하고 있다. 제트풍 분사부 (230) 는, 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 에 대하여 제트풍을 분사한다. 상류측 흡기실 (231) 은, 핀 및 핀 플레이트의 이동 방향 P 에 대하여 제트풍 분사부 (230) 보다 상류측에 형성되어 있다. 하류측 흡기실 (232) 은, 제트풍 분사부 (230) 보다 하류측에 형성되어 있다. 제트풍 분사부 (230) 는, 덕트 (235, 236) 와 복수의 노즐 (203a ～ 203e, 204a ～ 204e) 을 구비하고 있다. 덕트 (235, 236) 는, 블로어 (205) 로부터의 제트풍이 보내진다. 복수의 노즐 (203a ～ 203e, 204a ～ 204e) 은, 덕트 (235, 236) 의 하면 및 덕트의 상면에 형성되고, 덕트 (235, 236) 내의 제트풍을 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 를 향하여 분사한다.

복수의 노즐 (203a ～ 203e, 204a ～ 204e) 은, 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 의 이동 방향 P 를 따라 일정 간격으로 형성되어 있다. 상류측 흡기실 (231) 에 가장 가까운 노즐 (203a, 204a) 은, 제트풍이 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 의 이동 방향 P 를 거의 따라 취출 (吹出) 하도록 형성되어 있다. 반대로, 그 이외의 노즐 (203b ～ 203e, 204b ～ 204e) 은, 제트풍이 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 의 이동 방향 P 와 거의 역방향 Q 로 취출하도록 형성되어 있다. 또한, 노즐 (203a ～ 203e, 204a ～ 204e) 로부터 분사하는 제트풍의 풍속은 10 m/분 이상인 것이 바람직하다.

이와 같이, 노즐 (203b ～ 203e, 204b ～ 204e) 로부터 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 의 이동 방향 P 에 대하여 거의 역방향 Q 로 제트풍을 분사함으로써, 제트풍을 이동 방향 P 를 따르도록 분사했을 때보다, 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 와 제트풍이 충돌했을 때의 충격력이 커진다. 이로써, 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 에 부착된 이물질을 용이하게 제거할 수 있다. 또, 이와 같이 하류측으로부터 상류측을 향하는 Q 방향으로 제트풍을 분사했다고 해도, 이 Q 방향의 제트풍에 대하여 카운터풍이 되는 P 방향의 제트풍을, 가장 상류측의 노즐 (203a, 204a) 로부터 분사하고 있기 때문에, Q 방향에 대한 제트풍의 기세는 약해진다. 따라서, 제트풍이나 그 제트풍에 포함되는 이물질은, 상류측 흡기실 (231) 을 넘어서, 챔버 (202) 밖으로까지 나올 우려는 없다.

상류측 흡기실 (231) 에는 배기 노즐 (240) 이 장착되어 있다. 이 배기 노즐 (240) 에 의해 상류측 흡기실 (231) 내의 가스를 배기함으로써, 상류측 흡기실 (231) 내를 부압 상태로 하고 있다. 또, 하류측 흡기실 (232) 에도, 상류측 흡기실 (231) 과 동일한 배기 노즐 (242) 이 장착되어 있고, 이 배기 노즐 (242) 에 의해 하류측 흡기실 (232) 내는 부압 상태로 되어 있다. 이와 같이, 상류측 흡기실 (231) 및 하류측 흡기실 (232) 은 부압 상태로 되어 있기 때문에, 제트풍 분사부 (230) 에서 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 로부터 제거된 이물질은, 상류측 흡기실 (231) 또는 하류측 흡기실 (232) 로 빨려 들어간다. 상류측 흡기실 (231) 또는 하류측 흡기실 (232) 로 빨려 들어간 이물질은, 배기 노즐 (240, 242) 을 통하여, 흡인용 배관 (210) 으로 보내진다.

도 10 에 나타내는 바와 같이, 제 1 냉각 에어리어 (84) 내에서는, 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 는 핀 커버 (130) 에 의해 덮여있다. 이 핀 커버 (130) 의 측면에는 공급공 (130a) 이 형성되어 있다. 또, 제 1 냉각 에어리어 (84) 에 위치하는 레일 커버 (54) 에는, 급기용 노즐 (132) 이 장착되어 있다. 이 노즐 (132) 의 취출공은, 레일 커버 (54) 의 내부로 향해져 있다. 또, 제 1 냉각 에어리어 (84) 에는 냉각풍 공급부 (134) 가 설치되어 있고, 이 냉각풍 공급부 (134) 는 공급공 (130a) 에 접속되어 있다.

제 1 냉각 에어리어 (84) 내에서는, 제 1 냉각 에어리어 (84) 의 레일 커버 (54) 의 내부 및 핀 커버 (130) 의 내부 전체의 온도가 거의 균일해지도록, 냉각풍 공급부 (134) 로부터 냉각풍이 공급된다. 이 냉각풍의 온도는, 예를 들어 -30 ℃ 이상 + 30 ℃ 이하의 소정의 온도가 된다. 이로써, 레일 커버 (54) 의 내부 및 핀 커버 (130) 의 내부 전체의 온도가, TPP 의 융점 이하, 즉 50 ℃ 이하가 된다. 따라서, 습윤 필름 (25) 으로부터 용제와 함께 증발한 TPP 등이 핀 캐리어 (58) 나 핀 플레이트 (73) 의 이동에 수반하여 제 1 냉각 에어리어 (84) 내에 들어간 경우에는, 그 TPP 등이 핀 (72) 이나 핀 캐리어 (58) 등에 석출된다.

또한, 제 2 냉각 에어리어 (86) 에서는, 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 만을 냉각풍에 의해 냉각시킨다. 이 제 2 냉각 에어리어 (86) 의 구성은, 핀 커버를 설치하지 않는 것 이외에는 제 1 냉각 에어리어 (84) 와 동일하므로, 설명을 생략한다. 이 제 2 냉각 에어리어 (86) 에서는, 제 1 냉각 에어리어 (84) 에 이어서 냉각을 실시함으로써, 핀 (72) 및 핀 플레이트 (73) 의 표면 온도가 35 ℃ 이상 50 ℃ 이하가 된다. 핀 (72) 의 온도를 상기 범위의 온도로 함으로써, 핀 (72) 이 에지부 (25a) 로 통과하기 쉬워진다.

본 실시형태에서는, 습윤 필름의 에지부의 유지를 개시하고부터 해방할 때까지의 동안, 습윤 필름을 반전시키지 않고 반송하였다. 그러나, 이것에 한정할 필요는 없으며, 습윤 필름을 복수 회 반전시키면서 반송하는 다단 반송 방식으로 해도 된다.

본 실시형태에서는, 본 실시형태에서는, 본 발명을 핀 텐터에 적용했지만, 이것에 한정하지 않고, 클립 텐터에도 본 발명을 적용할 수 있다. 또, 본 발명의 핀 텐터를 용액 제막 설비 내에 도입했지만, 이것에 한정할 필요는 없으며, 필름 이외의 웨브를 제조하는 웨브 제조 설비 내에 본 발명을 실시해도 된다.

본 실시형태에서 제조되는 필름 (37) 의 폭은 1400 ㎜ 이상 2500 ㎜ 이하인 것이 바람직하다. 또한, 필름 (37) 의 폭이 2500 ㎜ 를 초과하는 경우라도, 본 발명의 효과를 얻을 수 있다. 또, 상기 실시형태에서 제조되는 필름 (37) 의 두께는, 20 ㎛ 이상 100 ㎛ 이하인 것이 바람직하고, 20 ㎛ 이상 80 ㎛ 이하인 것이 보다 바람직하며, 30 ㎛ 이상 70 ㎛ 이하인 것이 가장 바람직하다.

상기 실시형태에서는, 1 종류의 도프를 사용하여 단층의 필름을 제조하는 경우에 대하여 설명했지만, 본 발명은 복층 구조의 유연막을 형성하는 경우에도 효과를 발휘한다. 이 경우에는, 원하는 수의 도프를 동시 혹은 순서대로 유연하는 등의 공지된 방법을 사용하면 되고, 특별히 한정되지 않는다. 또, 유연 다이, 감압실, 지지체 등의 구조, 공유연, 박리법, 연신, 각 공정의 건조 조건, 핸들링 방법, 컬, 평면성 교정 후의 권취 방법으로부터, 용제 회수 방법, 필름 회수 방법까지, 일본 공개특허공보 2005-104148호의 [0617] 단락 내지 [0889] 단락에 상세하게 기술되어 있고, 이들 기재에 관련된 발명도 본 발명에 적용할 수 있다. 또, 완성한 필름의 성능이나, 컬의 정도, 두께 및 이들의 측정법은, 일본 공개특허공보 2005-104148호의 [1073] 단락 내지 [1087] 단락에 기재되어 있고, 이들 기재에 관련된 발명도 본 발명에 적용할 수 있다.

완성한 필름이 적어도 일방의 면에 표면 처리를 실시하면, 편광판 등의 광학 부재와의 접착도를 높일 수 있기 때문에 바람직하다. 표면 처리로서는, 예를 들어, 진공 글로 방전 처리, 대기압 플라즈마 방전 처리, 자외선 조사 처리, 코로나 방전 처리, 화염 처리, 산 처리, 알칼리 처리 등을 들 수 있고, 이들 중에서 적어도 하나의 처리를 실시하는 것이 바람직하다.

완성한 필름을 베이스로 하여, 그 양면 혹은 일방의 면에 원하는 기능층을 형성하면, 각종 기능성 필름으로서 사용할 수 있다. 기능층으로서는, 예를 들어, 대전 방지층, 경화 수지층, 반사 방지층, 접착 용이층, 방현층, 광학 보상층 등을 들 수 있다. 예를 들어, 반사 방지층을 형성하면, 광의 반사를 방지하여 고화질을 제공할 수 있는 반사 방지 필름을 얻을 수 있다. 상기의 기능층이나 형성 방법 등에 관해서는, 일본 공개특허공보 2005-104148호의 [0890] 단락 내지 [1072] 단락에 상세하게 기재되어 있으며, 이들 기재에 관련된 발명도 본 발명에 적용할 수 있다. 또, 폴리머 필름의 구체적 용도에 관해서는, 예를 들어, 일본 공개특허공보 2005-104148호의 [1088] 단락 내지 [1265] 단락에 기재되어 있는, TN 형, STN 형, VA 형, OCB 형, 반사형 등의 액정 표시장치에 대한 이용 등을 들 수 있다.

다음으로, 도프 제조 설비 (20) 에서 제조되는 도프의 원료를 이하에 나타낸다.

도프의 원료로서 셀룰로오스에스테르를 사용하면, 투명도가 높은 필름을 얻을 수 있으므로 바람직하다. 셀룰로오스에스테르로서는, 예를 들어, 셀룰로오스트리아세테이트, 셀룰로오스아세테이트프로피오네이트, 셀룰로오스아실레이트부틸레이트 등의 셀룰로오스의 저급 지방산 에스테르를 들 수 있다. 그 중에서도, 투명도의 높이로부터, 셀룰로오스아실레이트를 사용하는 것이 바람직하고, 트리아세틸셀룰로오스 (TAC) 를 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 실시형태에서 사용하는 도프는, 폴리머로서 트리아세틸셀룰로오스 (TAC) 를 함유하는 것으로 한다. 이와 같이 TAC 를 사용하는 경우에는, TAC 의 90 질량％ 이상이 0.1 ～ 4 ㎜ 의 입자인 것이 바람직하다.

상기의 셀룰로오스아실레이트로서는, 보다 투명도가 높은 필름을 얻기 위해서라도, 셀룰로오스의 수산기에 대한 아실기로의 치환도가 하기 식 (a) ～ (c) 모두를 만족하는 것이 바람직하다. 하기 식 중의 A, B 는, 셀룰로오스의 수산기 중의 수소 원자에 대한 아실기의 치환도를 나타내고 있고, 구체적으로는, A 는 아세틸기의 치환도이며, B 는 탄소수가 3 ～ 22 인 아실기의 치환도이다.

(a) 2.5 ≤ A + B ≤ 3.0

(b) 0 ≤ A ≤ 3.0

(c) 0 ≤ B ≤ 2.9

셀룰로오스를 구성하는 β-1,4 결합하고 있는 글루코오스 단위는, 2 위치, 3 위치 및 6 위치에 유리된 수산기를 가지고 있다. 셀룰로오스아실레이트는, 이들 수산기의 일부 또는 전부를 탄소수가 2 이상인 아실기에 의해 에스테르화한 중합체 (폴리머) 이다. 아실 치환도는, 2 위치, 3 위치 및 6 위치 각각에 대하여, 셀룰로오스의 수산기가 에스테르화하고 있는 비율을 의미한다. 또한, 100 ％ 에스테르화한 경우를 치환도 1 로 한다.

전체 아실화 치환도, 즉, DS2 + DS3 + DS6 의 값은, 2.00 ～ 3.00 이 바람직하고, 보다 바람직하게는 2.22 ～ 2.90 이며, 특히 바람직하게는 2.40 ～ 2.88 이다. 또, DS6/(DS2 + DS3 + DS6) 의 값은, 0.28 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.30 이상이며, 특히 바람직하게는 0.31 ～ 0.34 이다. 여기서, DS2 는, 글루코오스 단위에 있어서의 2 위치의 수산기의 수소가 아실기에 의해 치환되어 있는 비율이고, DS3 은, 글루코오스 단위에 있어서의 3 위치의 수산기의 수소가 아실기에 의해 치환되어 있는 비율이며, DS6 은, 글루코오스 단위에 있어서, 6 위치의 수산기의 수소가 아실기에 의해 치환되어 있는 비율이다.

셀룰로오스아실레이트에 사용되는 아실기는 1 종류만이어도 되고, 2 종류 이상의 아실기가 사용되어도 된다. 또한, 2 종류 이상의 아실기를 사용할 때에는, 그 1 개가 아세틸기인 것이 바람직하다. 2 위치, 3 위치 및 6 위치의 수산기가 아세틸기에 의해 치환되어 있는 정도의 총합을 DSA 라고 하고, 2 위치, 3 위치 및 6 위치의 수산기가 아세틸기 이외의 아실기에 의해 치환되어 있는 정도의 총합을 DSB 라고 하면, DSA + DSB 의 값은, 2.22 ～ 2.90 인 것이 바람직하고, 특히 바람직하게는 2.40 ～ 2.88 이다.

또, DSB 는 0.30 이상인 것이 바람직하고, 특히 바람직하게는 0.7 이상이다. 또한, DSB 는, 그 20 ％ 이상이 6 위치 수산기의 치환기인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 25 ％ 이상이며, 30 ％ 이상이 더욱 바람직하고, 33 ％ 이상인 것이 특히 바람직하다. 또한, 셀룰로오스아실레이트의 6 위치에 있어서의 DSA + DSB 의 값이 0.75 이상이고, 더욱 바람직하게는, 0.80 이상이며, 특히 0.85 이상인 셀룰로오스아실레이트도 바람직하다. 이와 같은 셀룰로오스아실레이트를 사용하면, 매우 용해성이 우수한 도프를 조제할 수 있다. 또한, 상기와 같은 셀룰로오스아실레이트를 사용하는 경우에는, 비염소계 용제를 사용하면, 매우 우수한 용해성을 갖고, 저점도이며, 또한 여과성이 우수한 도프를 조제할 수 있다.

셀룰로오스아실레이트의 원료인 셀룰로오스는, 린터면, 펄프면 중 어느 쪽으로부터 얻어진 것이어도 된다.

셀룰로오스아실레이트의 탄소수가 2 이상인 아실기로서는, 지방족기여도 되고 아릴기여도 되며, 특별히 한정은 되지 않는다. 예를 들어, 셀룰로오스의 알킬카르보닐에스테르, 알케닐카르보닐에스테르, 방향족 카르보닐에스테르, 방향족 알킬카르보닐에스테르 등을 들 수 있다. 또, 각각이 치환된 기를 가지고 있어도 된다. 이들의 바람직한 예로서는, 프로피오닐기, 부타노일기, 펜타노일기, 헥사노일기, 옥타노일기, 데카노일기, 도데카노일기, 트리데카노일기, 테트라데카노일기, 헥사데카노일기, 옥타데카노일기, iso-부타노일기, t-부타노일기, 시클로헥산카르보닐기, 올레오일기, 벤조일기, 나프틸카르보닐기, 신나모일기 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 프로피오닐기, 부타노일기, 도데카노일기, 옥타데카노일기, t-부타노일기, 올레오일기, 벤조일기, 나프틸카르보닐기, 신나모일기 등이 보다 바람직하고, 특히 바람직하게는, 프로피오닐기, 부타노일기이다.

또한, 본 발명에서 사용할 수 있는 셀룰로오스아실레이트의 상세에 대해서는, 일본 공개특허공보 2005-104148호의 [0140] 단락 내지 [0195] 단락에 기재되어 있으며, 이들 기재도 본 발명에 적용할 수 있다.

도프 원료가 되는 용제는, 사용되는 폴리머를 용해할 수 있는 유기 화합물을 사용하는 것이 바람직하다. 단, 본 발명에 있어서 도프란, 폴리머를 용제에 용해 또는 분산시킴으로써 얻어지는 혼합물을 의미하므로, 폴리머와의 용해성이 낮은 용제도 사용할 수 있다. 적절하게 사용할 수 있는 용제로서는, 예를 들어, 벤젠이나 톨루엔 등의 방향족 탄화수소, 디클로로메탄이나 클로로포름, 클로로벤젠 등의 할로겐화 탄화수소, 메탄올이나 에탄올, n-프로판올, n-부탄올, 디에틸렌글리콜 등의 알코올, 아세톤이나 메틸에틸케톤 등의 케톤, 아세트산메틸이나 아세트산에틸, 아세트산프로필 등의 에스테르, 테트라하이드로푸란이나 메틸셀로솔브 등의 에테르 등을 들 수 있다. 이들 용제 중에서 2 종류 이상의 용제를 선택하여, 혼합한 혼합 용제를 사용해도 된다. 그 중에서도 디클로로메탄을 사용하면 용해도가 우수한 도프를 얻을 수 있음과 함께, 단시간 동안에 유연막 중의 용제를 증발시켜 필름으로 할 수 있으므로 바람직하다.

상기 할로겐화 탄화수소로서는, 탄소 원자수 1 ～ 7 인 것이 바람직하게 사용된다. 또, 폴리머와의 상용성 (相溶性) 이나, 지지체로부터 박리하는 유연막의 박리 용이함의 지표인 박리성, 필름의 기계 강도, 광학 특성 등의 관점으로부터, 디클로로메탄에 탄소수가 1 ～ 5 인 알코올을 1 종 내지는, 여러 종류 혼합시킨 것을 사용하는 것이 바람직하다. 알코올의 함유량은, 용제 전체에 대하여 2 ～ 25 중량％ 가 바람직하고, 5 ～ 20 중량％ 가 보다 바람직하다. 알코올의 구체예로서는, 메탄올, 에탄올, n-프로판올, 이소프로판올, n-부탄올 등을 들 수 있고, 그 중에서도 메탄올, 에탄올, n-부탄올, 혹은 이들의 혼합물을 사용하는 것이 바람직하다.

최근, 환경에 대한 영향을 최소한으로 억제하기 위하여, 디클로로메탄을 사용하지 않는 용제 조성도 제안되고 있다. 이 목적에 대해서는, 탄소수가 4 ～ 12 인 에테르, 탄소수가 3 ～ 12 인 케톤, 탄소수가 3 ～ 12 인 에스테르가 바람직하고, 이들을 적절하게 혼합하여 사용하는 것이 바람직하다. 이들 화합물은 고리형 구조를 가지고 있어도 되고, 에테르, 케톤 및 에스테르의 관능기, 즉, -O-, -CO- 및 -COO- 중 어느 것을 2 개 이상 갖는 화합물도 용제로서 사용할 수 있다. 그 외에도, 용제는, 알코올성 수산기와 같은 다른 관능기를 가지고 있어도 된다. 또한, 2 종류 이상의 관능기를 갖는 경우에는, 그 탄소수가 어느 관능기를 갖는 화합물의 규정 범위 내이면 되며, 특별히 한정은 되지 않는다.

도프에는, 목적에 따라 가소제, 자외선 흡수제 (UV 제), 열화 방지제, 윤활제, 박리 촉진제 등의 공지된 각종 첨가제를 첨가시켜도 된다. 예를 들어, 가소제로서는, 트리페닐피스페이트, 비페닐디페닐포스페이트 등의 인산에스테르계 가소제나, 디에틸프탈레이트 등의 프탈산에스테르계 가소제, 및 폴리에스테르폴리우레탄엘라스토머 등의 공지된 각종 가소제를 사용할 수 있다.

또, 도프에는, 필름끼리의 접착을 방지하거나, 굴절률을 조정하거나 하는 목적으로 미립자를 첨가시키는 것이 바람직하다. 이 미립자로서는, 이산화규소 유도체를 사용하는 것이 바람직하다. 본 발명에 있어서의 이산화규소 유도체란, 이산화규소나, 삼차원의 망상 구조를 갖는 실리콘 수지도 포함된다. 이와 같은 이산화규소 유도체는, 그 표면이 알킬화 처리된 것을 사용하는 것이 바람직하다. 알킬화 처리와 같은 소수화 처리가 실시되어 있는 미립자는, 용제에 대한 분산성이 우수하므로, 미립자끼리가 응집하지 않고 도프를 조제하고, 나아가서는 필름을 제조할 수 있기 때문에, 면상 결함이 적고, 투명도가 높은 필름을 제조하는 것이 가능해진다.

상기와 같이, 표면에 알킬화 처리된 미립자로서는, 예를 들어, 표면에 옥틸기가 도입된 이산화규소 유도체로서 시판되고 있는 아에로질 R805 (닛폰 아에로질 (주) 제조) 등을 사용할 수 있다. 또한, 미립자를 첨가시키는 효과를 확보하면서, 투명도가 높은 필름을 얻기 위해서라도, 도프의 고형분에 대한 미립자의 함유량은 0.2 ％ 이하가 되도록 하는 것이 바람직하다. 또, 미립자가 광의 통과를 저해시키지 않도록, 그 평균 입경은 1.0 ㎛ 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.3 ～ 1.0 ㎛ 이며, 특히 바람직하게는, 0.4 ～ 0.8 ㎛ 이다.

앞서 설명한 바와 같이, 본 발명에서는, 투명도가 높은 폴리머 필름을 얻기 위해서라도 폴리머로서 TAC 를 이용하여 도프를 조제하는 것이 바람직하다. 이 경우, 용제나 첨가제 등을 혼합한 후의 도프의 전체량에 대하여, TAC 를 함유하는 비율이 5 ～ 40 중량％ 인 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는, TAC 를 함유하는 비율이 15 ～ 30 중량％ 이며, 특히 바람직하게는 17 ～ 25 중량％ 이다. 또, 첨가제 (주로 가소제) 를 함유시키는 비율은, 도프 중에 함유되는 폴리머나 그 외 첨가제 등을 함유한 고형분 전체에 대하여, 1 ～ 20 중량％ 로 하는 것이 바람직하다.

또한, 용제, 가소제, 자외선 흡수제, 열화 방지제, 윤활제, 박리 촉진제, 광학 이방성 컨트롤제, 리타데이션 제어제, 염료, 박리제 등의 각종 첨가제 및 미립자에 대해서는, 일본 공개특허공보 2005-104148호의 [0196] 단락 내지 [0516] 단락에 상세하게 기재되어 있으며, 이들 기재도 본 발명에 적용할 수 있다. 또, TAC 를 이용한 도프의 제조 방법으로, 예를 들어, 소재, 원료, 첨가제의 용해 방법 및 첨가 방법, 여과 방법, 탈포 등에 대해서도 동일하게, 일본 공개특허공보 2005-104148호의 [0517] 단락 내지 [0616] 단락에 상세하게 기재되어 있으며, 이들 기재도 본 발명에 적용할 수 있다.

Claims (12)

1. 반송 중인 필름의 양측 단부를 담지하는 담지 부재,
   담지 구간과 해방 구간 사이에서 상기 담지 부재를 순환 이동시키는 순환 이동부로서, 상기 담지 구간은 상기 담지 부재가 상기 필름의 담지를 실시하는 구간이고, 상기 해방 구간은 상기 담지 부재가 상기 필름의 담지를 해방하는 구간인, 순환 이동부,
   상기 담지 구간에 있어서의 필름을 일정한 확폭률로 연신함과 함께 건조풍을 분사함으로써 건조시키는 연신·건조부로서, 상기 필름이 확폭되는 방향으로 상기 담지 부재를 서서히 어긋나게 해 둠으로써 상기 연신을 실시하는, 연신·건조부,
   상기 해방 구간에 있어서의 상기 담지 부재를 덮는 챔버,
   상기 챔버 내를 통과하는 상기 담지 부재에 대하여 제트풍을 분사함으로써, 상기 담지 부재에 부착된 이물질을 제거하는 제트풍 분사부, 및
   상기 이물질을 상기 챔버 외로 배출하는 이물질 배출부를 구비하는 텐더 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 이물질 배출부는, 상기 담지 부재의 이동 방향에 대하여 상기 제트풍 분사부보다 상류측에 형성된 상류측 흡인실과, 상기 제트풍 분사부보다 하류측에 형성된 하류측 흡인실에 있어서, 상기 이물질을 흡인하고, 흡인된 이물질을 상기 상류측 흡인실 및 하류측 흡인실에 장착된 배출 노즐을 통하여, 상기 제트풍과 함께 상기 챔버 외로 배출하는 텐터 장치.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 상류측 흡인실 및 하류측 흡인실은 부압 상태로 되어 있는 텐터 장치.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 챔버 내에서 상기 담지 부재에 분사된 제트풍을 회수하고, 회수된 제트풍을 상기 챔버로까지 되돌림으로써, 제트풍을 순환시키는 제트풍 순환부,
   회수한 제트풍의 일부를 우회하는 제트풍 우회부, 및
   상기 제트풍 우회부에 의해 우회하는 제트풍의 풍량을 조절함으로써, 상기 담지 부재에 분사하는 제트풍의 온도를 제어하는 제어부를 구비하는 텐터 장치.
5. 지지체와 텐터 장치를 구비하는 용액 제막 설비로서, 상기 지지체는 도프가 유연되어 유연막이 형성되고, 상기 도프는 폴리머와 용매와 첨가제를 함유하고, 상기 텐터 장치는 상기 지지체로부터 박리된 상기 유연막인 습윤 필름을, 폭 방향으로 연신함과 함께 건조풍의 분사로 건조시켜 필름으로 하고, 상기 텐터 장치는,
   반송 중인 필름의 양측 단부를 담지하는 담지 부재,
   담지 구간과 해방 구간 사이에서 상기 담지 부재를 순환 이동시키는 순환 이동부로서, 상기 담지 구간은 상기 담지 부재가 상기 필름의 담지를 실시하는 구간이며, 상기 해방 구간은 상기 담지 부재가 상기 필름의 담지를 해방하는 구간인, 순환 이동부,
   상기 해방 구간에 있어서의 상기 담지 부재를 덮는 챔버,
   상기 챔버 내를 통과하는 상기 담지 부재에 대하여 제트풍을 분사함으로써, 상기 담지 부재로부터 이물질을 제거하는 제트풍 분사부, 및,
   상기 제트풍과 함께 상기 이물질을 상기 챔버 외로 배출하는 이물질 배출부를 포함하는 용액 제막 설비.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 이물질은 상기 첨가제가 액화 또는 고화된 것을 포함하는 용액 제막 설비.
7. 제 5 항에 있어서,
   상기 이물질은 상기 담지 부재의 담지를 개시 또는 해방했을 때에 발생하는 잔사와 버 중 적어도 어느 일방을 포함하는 용액 제막 설비.
8. 제 5 항에 있어서,
   상기 텐터 장치는,
   상기 이물질과 상기 제트풍을 분리하는 분리부, 및
   상기 이물질 배출부로부터 상기 분리부를 향하여 서서히 낮아지도록 형성되고, 상기 이물질 배출부로부터의 이물질을 상기 분리부로까지 보내는 하향 경사 배관을 포함하는 용액 제막 설비.
9. 제 5 항에 있어서,
   상기 텐터 장치는,
   상기 챔버 내에서 상기 담지 부재에 분사된 제트풍을 회수하고, 회수된 제트풍을 상기 챔버로까지 되돌림으로써, 제트풍을 순환시키는 제트풍 순환부,
   회수된 제트풍의 일부를 우회하는 제트풍 우회부, 및
   상기 제트풍 우회부에 의해 우회하는 제트풍의 풍량을 조절함으로써, 상기 담지 부재에 분사하는 제트풍의 온도를 제어하는 제어부로서, 상기 제어부는, 상기 첨가제의 융점을 초과하는 온도로서, 상기 텐터 장치 내의 각종 기기의 내열 온도 미만의 범위로, 상기 제트풍의 온도를 제어하는, 제어부를 포함하는 용액 제막 설비.
10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제트풍의 온도는, 49 ℃ 이상으로서, 상기 텐터 장치 내의 각종 기기의 내열 온도인 120 ℃ 이하로 제어되는 용액 제막 설비.
11. 제 5 항에 있어서,
    상기 텐터 장치는, 상기 담지 부재로서, 핀과 이 핀이 다수 꽂힌 핀 플레이트를 갖는 핀 텐터인 용액 제막 설비.
12. 텐터 장치 내에서의 이물질 제거 방법은,
    담지 구간과 해방 구간 사이에서 상기 담지 부재를 순환 이동시키는 단계로서, 상기 담지 구간은 반송 중인 필름의 양측 단부를 담지 부재에 의해 담지하는 구간이고, 상기 해방 구간은 상기 담지 부재에 의한 상기 필름의 담지를 해방한 구간인 단계,
    상기 담지 구간에 있어서의 필름을 일정한 확폭률로 연신함과 함께, 건조풍을 분사함으로써 건조시키는 단계로서, 상기 연신은 상기 필름이 확폭되는 방향으로 상기 담지 부재를 서서히 어긋나게 해 둠으로써 실시하는 단계,
    상기 해방 구간에 있어서의 상기 담지 부재를 덮는 챔버에 있어서, 상기 챔버 내를 통과하는 담지 부재에 대하여 제트풍을 분사함으로써, 상기 담지 부재에 부착된 이물질을 제거하는 단계, 및
    상기 이물질을 상기 챔버 외로 배출하는 단계를 구비하는 이물질 제거 방법.

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