KR20120116689A - 평판표시장치의 기판 세정장치 - Google Patents

평판표시장치의 기판 세정장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 실시예는, 로딩된 기판을 이송하는 롤러부; 기판을 세정하는 롤 브러시부; 롤러부 및 롤 브러시부 중 적어도 하나를 제어하는 제어부; 기판에 전달되는 진동을 감지하는 진동감지부; 및 진동감지부를 통해 감지된 값을 기반으로 롤 브러시부의 0점을 조절하는 데이터를 산출하는 진동데이터산출부를 포함하는 평판표시장치의 기판 세정장치를 제공한다.

Description

평판표시장치의 기판 세정장치{Substrate Cleaning Appratus of Flat Panel Display}
본 발명의 실시예는 평판표시장치의 기판 세정장치에 관한 것이다.
정보화 기술이 발달함에 따라 사용자와 정보간의 연결 매체인 표시장치의 시장이 커지고 있다. 이에 따라, 액정 표시장치(Liquid Crystal Display: LCD), 유기전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED) 및 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP) 등과 같은 평판표시장치(Flat Panel Display: FPD)의 사용이 증가하고 있다.
평판표시장치 분야의 공정에서 기판 세정을 위하여 사용하는 방법 중 롤 브러시(Roll Brush)를 이용한 방법의 경우, 롤 브러시가 기판의 상면과 하면에 닿는 정도로 세정력을 조절한다. 이때, 롤 브러시가 기판의 표면 너무 적게 닿으면 세정력이 저하되고, 너무 많이 닿으면 롤 브러시에 의한 패턴 뜯김 등의 불량이 발생하게 된다.
롤 브러시의 닿는 정도는 0점을 기준으로 플러스(+) 또는 마이너스(-) 방향으로 높이를 조절함으로써 제어를 하게 된다. 롤 브러시의 0점이란 기판이 롤러 위를 진행할 때 롤 브러시가 기판에 닿기 시작하는 부분을 말한다. 0점 조절을 할 때에는 롤 브러시의 높이가 기판으로부터 ±0.1mm로 오도록 작업자의 손으로부터 전해 오는 감각에 의존한다.
이와 같이 작업자의 감각에 의존하다 보니, 종래 기판 세정장치로는 장비 자체의 진동과 롤 브러시가 닿게 됨으로써 발생하는 진동의 미세한 차이를 구분하기가 용이하지 않고 또한 작업자 간의 편차가 발생하고 있어 이의 개선이 요구된다.
상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 실시예는, 센서모듈을 사용하여 롤 브러시의 0점 조절이나 위치 보정을 수행함으로써 작업자 간의 0점 편차를 없애고 정량화된 세정력을 관리할 수 있는 모듈 기반 또는 시스템 기반의 평판표시장치의 기판 세정장치를 제공하는 것이다.
상술한 과제 해결 수단으로 본 발명의 실시예는, 로딩된 기판을 이송하는 롤러부; 기판을 세정하는 롤 브러시부; 롤러부 및 롤 브러시부 중 적어도 하나를 제어하는 제어부; 기판에 전달되는 진동을 감지하는 진동감지부; 및 진동감지부를 통해 감지된 값을 기반으로 롤 브러시부의 0점을 조절하는 데이터를 산출하는 진동데이터산출부를 포함하는 평판표시장치의 기판 세정장치를 제공한다.
진동데이터산출부는 진동감지부를 통해 감지된 원시 진동값을 유효 진동값으로 가공하는 데이터가공부와, 데이터가공부로부터 전달된 유효 진동값을 기반으로 기판에 전달되는 진동의 정도를 그래프로 표시하는 표시부를 포함할 수 있다.
진동감지부는 기판의 일면에 부착되는 제1케이스와, 기판의 타면에 부착되며 센서모듈이 수납된 제2케이스를 포함하며, 제1케이스와 제2케이스는 자력에 의해 기판의 일면과 타면에 부착될 수 있다.
제1 및 제2케이스는 고무자석을 각각 포함할 수 있다.
제1 및 상기 제2케이스의 재질은 고무자석으로 이루어질 수 있다.
데이터가공부는 제어부를 조작하여 롤 브러시부의 위치를 제어할 때 롤 브러시부의 위치에 따른 기판의 진동의 정도를 원시 진동값으로 산출하고, 원시 진동값에서 기판과 롤 브러시부 간의 접촉이 발생하는 진동 구간을 0점이 되는 변곡점으로 나타나도록 유효 진동값으로 가공할 수 있다.
진동감지부와 진동데이터산출부는 유선 또는 무선으로 데이터를 송수신하는 모듈로 이루어질 수 있다.
제어부 및 진동데이터산출부는 하나의 시스템에 통합되고, 진동데이터산출부로부터 롤 브러시부의 0점을 조절하는 데이터가 산출되면 제어부는 데이터를 기반으로 롤 브러시부의 0점을 자동 조절할 수 있다.
롤러부는 기판의 상면과 하면에 각각 위치하는 한 쌍의 롤러를 복수로 포함할 수 있다.
롤 브러시부는 기판의 상면과 하면에 각각 위치하는 한 쌍의 롤 브러시를 복수로 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예는, 센서모듈을 사용하여 롤 브러시의 0점 조절이나 위치 보정을 수행함으로써 작업자 간의 0점 편차를 없애고 정량화된 세정력을 관리할 수 있는 모듈 기반 또는 시스템 기반의 평판표시장치의 기판 세정장치를 제공하는 효과가 있다. 또한, 본 발명의 실시예는 롤 브러시의 높이, 세정력 그리고 불량률 간의 관계를 정의할 수 있게 되므로 기판 세정시의 불량률 발생을 저감할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 평판표시장치의 기판 세정장치의 개략적인 구성도.
도 2는 진동감지부의 분해 사시도.
도 3은 측정된 데이터의 가공 전 후를 나타내는 도면.
도 4 및 도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 평판표시장치의 기판 세정장치를 이용한 롤 브러시의 0점 조절 방법을 설명하기 위한 도면.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 평판표시장치의 기판 세정장치의 개략적인 구성도.
이하, 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 평판표시장치의 기판 세정장치의 개략적인 구성도이고, 도 2는 진동감지부의 분해 사시도이며, 도 3은 측정된 데이터의 가공 전 후를 나타내는 도면이다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 평판표시장치의 기판 세정장치에는 롤러부(121, 124), 롤 브러시부(122, 123), 제어부(160), 진동감지부(130) 및 진동데이터산출부(140)가 포함된다.
롤러부(121, 124)는 로딩된 기판(110)을 이송하는 역할을 한다. 롤러부(121, 124)는 모터 등에 의한 동력을 기반으로 회전운동을 하며 로딩된 기판(110)을 이송한다. 롤러부(121, 124)는 기판(110)의 상면과 하면에 각각 위치하는 한 쌍의 롤러로 구성되며, 이들은 기판(110)의 이송경로에 복수로 형성된다.
롤 브러시부(122, 123)는 기판(110)을 세정하는 역할을 한다. 롤 브러시부(122, 123)는 모터 등에 의한 동력을 기반으로 회전운동을 하며 이송되는 기판(110)의 표면을 브러시로 세정한다. 롤 브러시부(122, 123)는 기판(110)의 상면 및 하면 중 적어도 하나에 위치하는 롤 브러시로 구성되며, 이들은 기판(110)의 이송경로에 복수로 형성된다. 실시예에서는 롤 브러시부(122, 123)에 상부 롤 브러시(122a, 123a)와 하부 롤 브러시(122b, 123b)가 포함되는 것을 일례로 한다.
제어부(160)는 롤러부(121, 124) 및 롤 브러시부(122, 123) 중 적어도 하나를 제어한다. 제어부(160)는 롤러부(121, 124)의 회전운동과 롤 브러시부(122, 123)의 회전운동 및 위치보정을 수행한다. 롤러부(121, 124)와 롤 브러시부(122, 123)는 각각 구분된 제어장치에 의해 제어될 수 있으나 실시예에서는 하나의 제어부(160)에 의해 제어되는 것을 일례로 한다.
진동감지부(130)는 기판(110)에 전달되는 진동을 감지하는 역할을 한다. 진동감지부(130)는 도 2와 같이 기판(110)의 일면에 부착되는 제1케이스(131)와, 기판(110)의 타면에 부착되며 센서모듈(135)이 수납된 제2케이스(132, 136)를 포함한다. 센서모듈(135)은 두 개로 구분된 제2케이스(132, 136)의 내부에 수납된 것을 일례로 하였으나 이에 한정되지 않는다.
제1케이스(131)와 제2케이스(132, 136)는 자력에 의해 기판(110)의 일면과 타면에 부착된다. 이를 위해 제1케이스(131) 및 제2케이스(132, 136)의 내부에는 고무자석이 각각 포함되거나 제1케이스(131) 및 제2케이스(132, 136)의 재질이 고무자석으로 이루어진 것으로 선택될 수 있다.
진동데이터산출부(140)는 진동감지부(130)를 통해 감지된 값을 기반으로 기판(110)의 진동의 정도를 측정하고 측정된 값으로 롤 브러시부(122, 123)의 0점을 조절하는 데이터를 산출하는 역할을 한다. 롤 브러시부(122, 123)의 0점이란 기판(110)이 롤러부(121, 124)의 위를 진행할 때 롤 브러시부(122, 123)가 기판(110)에 닿기 시작하는 부분을 말한다.
진동데이터산출부(140)는 진동감지부(130)를 통해 측정된 원시 진동값을 유효 진동값으로 가공하는 데이터가공부(141)와, 데이터가공부(141)로부터 전달된 유효 진동값을 기반으로 기판(110)에 전달되는 진동의 정도를 그래프(또는 수치)로 표시하는 표시부(145)를 포함한다.
진동감지부(130)를 통해 기판(110)의 진동의 정도를 측정하게 되면 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 0점 확인이 어려운 원시 진동값으로 감지된다. 즉, 진동감지부(130)를 통해 감지된 가공 전의 진동 측정값은 롤 브러시부(122, 123)의 위치보정시 기판(110)에 전달되는 진동을 모두 감지하고 어느 구간이 0점이 되는 위치인지를 확인하는데 어려움이 있다.
따라서, 데이터가공부(141)는 제어부(160)를 조작하여 롤 브러시부(122, 123)의 위치를 제어할 때 롤 브러시부(122, 123)의 위치에 따른 기판(110)의 진동의 정도를 원시 진동값으로 산출한다. 그리고 원시 진동값에서 기판(110)과 롤 브러시부(122, 123) 간의 접촉이 발생하는 진동 구간을 0점이 되는 변곡점으로 나타나도록 유효 진동값으로 가공할 수 있다. 변곡점은 기판(110)과 롤 브러시부(122, 123)의 브러시 간의 거리가 ± 0.1mm가 되는 지점으로 설정할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
데이터가공부(141)는 진동감지부(130)를 통해 감지된 원시 진동값을 연산하는 프로세서와 원시 진동값을 유효 진동값으로 가공하는 프로그램으로 이루어진다.
데이터가공부(141)에 의해 가공된 유효 진동값은 표시부(145)에 의해 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이 롤 브러시부(122, 123)의 0점이 되는 변곡점이 나타나도록 그래프로 표시된다.
이하, 본 발명의 제1실시예에 따른 평판표시장치의 기판 세정장치를 이용한 롤 브러시의 0점 조절 방법에 대해 설명한다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 평판표시장치의 기판 세정장치를 이용한 롤 브러시의 0점 조절 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 평판표시장치의 기판 세정장치 상에 로딩된 기판(110)의 일면 및 타면에 진동감지부(130)를 부착한다. 진동감지부(130)와 진동데이터산출부(140)는 유선 또는 무선으로 데이터를 송수신하는 모듈로 이루어진다.
진동데이터산출부(140)를 모니터링하며 제어부(160)를 조작하여 예컨대 기판(110)의 하면에 위치하는 제2롤 브러시(122b)의 위치를 조절한다. 제2롤 브러시(122b)의 위치는 제어부(160)에 의해 상하(+, -)로 조절이 가능하다.
제2롤 브러시(122b)의 위치를 기판(110)과 맞닿는 방향인 상부 방향으로 조절하다 보면 진동데이터산출부(140)의 표시부(145)에 제2롤 브러시(122b)의 0점이 되는 변곡점이 그래프에 나타난다. 그러면, 제2롤 브러시(122b)의 위치는 0점에 맞게 설정된 것이므로 제어부(160)의 조작을 정지하고 이와 같은 방식으로 다른 롤 브러시의 0점을 조절한다.
실시예에서는 롤 브러시부(122, 123)의 0점 조절을 위한 제어의 일환으로 진동감지부(130)와 진동데이터산출부(140)의 기능을 설명하였다. 그러나 진동감지부(130)와 진동데이터산출부(140)의 기능은 이에 한정되지 않고 롤 브러시부(122, 123) 간의 위치 보정 등을 수행할 수도 있다. 또한, 진동데이터산출부(140)는 하나 이상의 진동감지부(130)와 연동하여 롤 브러시부(122, 123)의 0점 조절을 조절하거나 롤 브러시부(122, 123) 간의 위치 보정 등을 수행할 수 있다.
본 발명의 제1실시예에서는 진동감지부(130)와 진동데이터산출부(140)가 모듈로 구성된 것을 일례로 설명하였다. 그러나 이들은 하기의 제2실시예와 같이 제어부(160) 등과 함께 하나의 시스템으로 통합될 수도 있다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 평판표시장치의 기판 세정장치의 개략적인 구성도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 평판표시장치의 기판 세정장치에는 롤러부(121, 124), 롤 브러시부(122, 123), 제어부(160), 진동감지부(130) 및 진동데이터산출부(150)가 포함된다.
롤러부(121, 124)는 로딩된 기판(110)을 이송하는 역할을 한다. 롤러부(121, 124)는 모터 등에 의한 동력을 기반으로 회전운동을 하며 로딩된 기판(110)을 이송한다. 롤러부(121, 124)는 기판(110)의 상면과 하면에 각각 위치하는 한 쌍의 롤러로 구성되며, 이들은 기판(110)의 이송경로에 복수로 형성된다.
롤 브러시부(122, 123)는 기판(110)을 세정하는 역할을 한다. 롤 브러시부(122, 123)는 모터 등에 의한 동력을 기반으로 회전운동을 하며 이송되는 기판(110)의 표면을 브러시로 세정한다. 롤 브러시부(122, 123)는 기판(110)의 상면 및 하면 중 적어도 하나에 위치하는 롤 브러시로 구성되며, 이들은 기판(110)의 이송경로에 복수로 형성된다.
제어부(160)는 롤러부(121, 124) 및 롤 브러시부(122, 123) 중 적어도 하나를 제어한다. 제어부(160)는 롤러부(121, 124)의 회전운동과 롤 브러시부(122, 123)의 회전운동 및 위치보정을 수행한다. 롤러부(121, 124)와 롤 브러시부(122, 123)는 각각 구분된 제어장치에 의해 제어될 수 있으나 실시예에서는 하나의 제어부(160)에 의해 제어되는 것을 일례로 한다.
진동감지부(130)는 기판(110)에 전달되는 진동을 감지하는 역할을 한다. 진동감지부(130)는 도 2와 같이 기판(110)의 일면에 부착되는 제1케이스(131)와, 기판(110)의 타면에 부착되며 센서모듈(135)이 수납된 제2케이스(132, 136)를 포함한다. 센서모듈(135)은 두 개로 구분된 제2케이스(132, 136)의 내부에 수납된 것을 일례로 하였으나 이에 한정되지 않는다.
제1케이스(131)와 제2케이스(132, 136)는 자력에 의해 기판(110)의 일면과 타면에 부착된다. 이를 위해 제1케이스(131) 및 제2케이스(132, 136)의 내부에는 고무자석이 각각 포함되거나 제1케이스(131) 및 제2케이스(132, 136)의 재질이 고무자석으로 이루어진 것으로 선택될 수 있다.
진동데이터산출부(150)는 진동감지부(130)를 통해 감지된 값을 기반으로 기판(110)의 진동의 정도를 측정하고 측정된 값으로 롤 브러시부(122, 123)의 0점을 조절하는 데이터를 산출하는 역할을 한다.
진동데이터산출부(150)는 진동감지부(130)를 통해 측정된 원시 진동값을 유효 진동값으로 가공하는 데이터가공부(151)와, 데이터가공부(151)로부터 전달된 유효 진동값을 기반으로 기판(110)에 전달되는 진동의 정도를 그래프(또는 수치)로 표시하는 표시부(155)를 포함한다.
제2실시예에 따르면 진동데이터산출부(150)는 모듈이 아닌 컴퓨터 기반 또는 이와 유사한 기능을 수행하는 단말 기반으로 구성된다. 그리고 진동감지부(130), 진동데이터산출부(150) 및 제어부(160)는 하나의 시스템으로 통합되도록 구성된다. 제2실시예에서는 진동데이터산출부(150) 및 제어부(160)를 별도의 구성으로 구분하였으나 이들은 하나의 구성으로 재차 통합될 수 있다.
데이터가공부(151)는 제어부(160)를 조작하여 롤 브러시부(122, 123)의 위치를 제어할 때 롤 브러시부(122, 123)의 위치에 따른 기판(110)의 진동의 정도를 원시 진동값으로 산출한다. 그리고 원시 진동값에서 기판(110)과 롤 브러시부(122, 123) 간의 접촉이 발생하는 진동 구간을 0점이 되는 변곡점으로 나타나도록 유효 진동값으로 가공할 수 있다.
데이터가공부(151)는 진동감지부(130)를 통해 감지된 원시 진동값을 연산하는 컴퓨터와 원시 진동값을 유효 진동값으로 가공하는 프로그램으로 이루어진다.
데이터가공부(151)에 의해 가공된 유효 진동값은 표시부(155)에 의해 롤 브러시부(122, 123)의 0점이 되는 변곡점이 나타나도록 그래프로 표시된다.
제2실시예에 따라 하나의 시스템으로 통합된 평판표시장치의 기판 세정장치는 진동데이터산출부(150)로부터 롤 브러시부(122, 123)의 0점을 조절하는 데이터가 산출되면 제어부(160)는 데이터를 기반으로 롤 브러시부(122, 123)의 0점을 자동 조절할 수 있다. 또한, 롤 브러시부(122, 123) 간의 위치 보정 등을 수행할 수도 있다. 또한, 하나 이상의 진동감지부(130)와 연동하여 롤 브러시부(122, 123)의 0점 조절을 조절하거나 롤 브러시부(122, 123) 간의 위치 보정 등을 수행할 수 있다.
위의 설명에서 알 수 있듯이, 제1실시예는 작업자가 기판(110)에 진동감지부(130)를 부착하는 일부터 표시부(155)를 모니터링 하고 제어부(160)를 조작하며 롤 브러시부(122, 123)의 0점 등을 조절해야 한다. 그러나, 제2실시예는 작업자가 기판(110)에 진동감지부(130)만 부착하면 시스템이 롤 브러시부(122, 123)의 0점 등을 자동으로 조절하게 된다.
이상 본 발명의 실시예는 센서모듈을 사용하여 롤 브러시의 0점 조절이나 위치 보정을 수행함으로써 작업자 간의 0점 편차를 없애고 정량화된 세정력을 관리할 수 있는 모듈 기반 또는 시스템 기반의 평판표시장치의 기판 세정장치를 제공하는 효과가 있다. 또한, 본 발명의 실시예는 롤 브러시의 높이, 세정력 그리고 불량률 간의 관계를 정의할 수 있게 되므로 기판 세정시의 불량률 발생을 저감할 수 있는 효과가 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 한다. 아울러, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어진다. 또한, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
121, 124: 롤러부 122, 123: 롤 브러시부
130: 진동감지부 135: 센서모듈
140: 진동데이터산출부 141: 데이터가공부
145: 표시부 160: 제어부

Claims (10)

  1. 로딩된 기판을 이송하는 롤러부;
    상기 기판을 세정하는 롤 브러시부;
    상기 롤러부 및 상기 롤 브러시부 중 적어도 하나를 제어하는 제어부;
    상기 기판에 전달되는 진동을 감지하는 진동감지부; 및
    상기 진동감지부를 통해 감지된 값을 기반으로 상기 롤 브러시부의 0점을 조절하는 데이터를 산출하는 진동데이터산출부를 포함하는 평판표시장치의 기판 세정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 진동데이터산출부는
    상기 진동감지부를 통해 감지된 원시 진동값을 유효 진동값으로 가공하는 데이터가공부와,
    상기 데이터가공부로부터 전달된 유효 진동값을 기반으로 상기 기판에 전달되는 진동의 정도를 그래프로 표시하는 표시부를 포함하는 평판표시장치의 기판 세정장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 진동감지부는
    상기 기판의 일면에 부착되는 제1케이스와,
    상기 기판의 타면에 부착되며 센서모듈이 수납된 제2케이스를 포함하며,
    상기 제1케이스와 상기 제2케이스는 자력에 의해 상기 기판의 일면과 타면에 부착되는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 기판 세정장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 및 상기 제2케이스는 고무자석을 각각 포함하는 평판표시장치의 기판 세정장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제1 및 상기 제2케이스의 재질은 고무자석으로 이루어진 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 기판 세정장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 데이터가공부는
    상기 제어부를 조작하여 상기 롤 브러시부의 위치를 제어할 때 상기 롤 브러시부의 위치에 따른 상기 기판의 진동의 정도를 상기 원시 진동값으로 산출하고,
    상기 원시 진동값에서 상기 기판과 상기 롤 브러시부 간의 접촉이 발생하는 진동 구간을 0점이 되는 변곡점으로 나타나도록 상기 유효 진동값으로 가공하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 기판 세정장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 진동감지부와 상기 진동데이터산출부는 유선 또는 무선으로 상기 데이터를 송수신하는 모듈로 이루어진 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 기판 세정장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제어부 및 상기 진동데이터산출부는 하나의 시스템에 통합되고,
    상기 진동데이터산출부로부터 상기 롤 브러시부의 0점을 조절하는 데이터가 산출되면 상기 제어부는 상기 데이터를 기반으로 상기 롤 브러시부의 0점을 자동 조절하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 기판 세정장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 롤러부는
    상기 기판의 상면과 하면에 각각 위치하는 한 쌍의 롤러를 복수로 포함하는 평판표시장치의 기판 세정장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 롤 브러시부는
    상기 기판의 상면과 하면에 각각 위치하는 한 쌍의 롤 브러시를 복수로 포함하는 평판표시장치의 기판 세정장치.
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