KR20120053209A - 패드 드레싱 장치 및 이를 이용하여 패드를 드레싱하는 방법 - Google Patents

패드 드레싱 장치 및 이를 이용하여 패드를 드레싱하는 방법 Download PDF

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KR20120053209A
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    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
    • B24B53/12—Dressing tools; Holders therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Abstract

패드 드레싱 장치 및 이를 이용하여 패드를 드레싱하는 방법이 개시된다. 패드 드레싱 장치는 헤드 몸체; 상기 헤드 몸체에 구비되며, 고압의 액체를 분사하는 노즐; 상기 헤드 몸체에 회전 가능하도록 구비되는 드레서; 및 상기 헤드 몸체에 연결되는 암을 포함한다.

Description

패드 드레싱 장치 및 이를 이용하여 패드를 드레싱하는 방법{PAD DRESSING APPARATUS AND METHOD FOR DRESSING PAD USING THE SAME}
실시예는 패드 드레싱 장치 및 이를 이용하여 패드를 드레싱하는 방법에 관한 것이다.
웨이퍼를 연마하기 위해서, 패드가 사용된다. 이때, 연마의 질에 대하여 특히 중요한 것은 패드 전체에 걸친 연마 입자들의 분포이다. 패드의 상부는 섬유질 또는 소형 공극들에 의해 입자들을 지지하는데, 이는 패드의 회전 운동에 의하여 생성되는 원심력으로 인한 입자들의 탈락을 저해하기에 충분한 마찰력을 제공한다. 그러므로, 가능한 한 패드의 상부를 유연하게 유지시키는 것, 가능한 한 섬유질들을 직립시켜 유지시키는 것, 그리고 새로이 처리된 연마 입자들을 수용할 수 있는 풍부한 개방 공극들이 존재하도록 확보하는 것이 중요하다.
이때, 패드 표면을 유지시키는 패드 드레서는 패드 표면을 "빗질(combing)" 또는 "절단"함에 의해 재생시키기 위하여 사용될 수 있다. 이러한 공정은 패드의 "드레싱" 및 "컨디셔닝"으로 공지되어 있다. 이를 위하여 많은 유형의 장치 및 공정들이 사용되어 왔다. 이러한 하나의 장치는 금속-매트릭스 표면에 부착된 다이아몬드 입자들과 같은 복수의 초경질의 결정질 입자들을 가지는 드레서이다.
실시예는 패드를 균일하고 용이하게 드레싱하는 패드 드레싱 장치 및 이를 이용하여 패드를 드레싱하는 방법을 제공하고자 한다.
실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 헤드 몸체; 상기 헤드 몸체에 구비되며, 고압의 세정액을 분사하는 노즐; 상기 헤드 몸체에 회전 가능하도록 구비되는 드레서; 및 상기 헤드 몸체에 연결되는 암을 포함한다.
실시예에 따른 패드를 드레싱하는 방법은 상기 패드 드레싱 장치를 연마 패드에 로딩하는 단계; 상기 드레서를 상기 연마 패드에 접촉시킨 상태에서, 상기 드레서를 회전시키는 단계; 상기 노즐을 통하여, 상기 연마 패드를 향하여 상기 세정액을 분사하는 단계; 및 상기 패드 드레싱 장치를 상기 연마 패드로부터 언로딩하는 단계를 포함한다.
실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 노즐 및 드레서를 포함한다. 이에 따라서, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 연마 패드에 세정액을 분사하면서, 드레서를 사용하여, 연마 패드를 드레싱할 수 있다.
이에 따라서, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 연마 패드를 균일하게 드레싱 할 수 있다.
또한, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 세정액 분사 및 다이아몬드 드레서 등에 의한 드레싱 공정을 따로 진행할 필요가 없으므로, 드레싱 공정에 소모되는 시간을 줄일 수 있다.
따라서, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 연마 패드를 용이하게 드레싱 할 수 있다.
도 1은 실시예에 따른 패드 드레싱 장치를 도시한 개략도이다.
도 2는 드레싱 헤드를 도시한 분해 사시도이다.
도 3은 제 1 드레서 및 제 1 구동부를 도시한 사시도이다.
도 4는 제 1 드레서를 도시한 분해 사시도이다.
도 5는 실시예에 따른 패드 드레싱 장치의 일 단면을 도시한 단면도이다.
도 6은 드레싱 헤드의 일 단면을 도시한 단면도이다.
도 7은 실시예에 따른 패드 드레싱 장치를 이용하여, 제 1 연마 패드 및 제 2 연마 패드를 드레싱하는 과정을 도시한 도면이다.
실시 예의 설명에 있어서, 각 패드, 플레이트, 웨이퍼 또는 영역 등이 각 패드, 플레이트, 웨이퍼 또는 영역 등의 "상(on)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상(on)"과 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 구성요소를 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 구성요소의 상 또는 하부에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다. 도면에서의 각 구성요소들의 크기는 설명을 위하여 과장될 수 있으며, 실제로 적용되는 크기를 의미하는 것은 아니다.
도 1은 실시예에 따른 패드 드레싱 장치를 도시한 개략도이다. 도 2는 드레싱 헤드를 도시한 분해 사시도이다. 도 3은 제 1 드레서 및 제 1 구동부를 도시한 사시도이다. 도 4는 제 1 드레서를 도시한 분해 사시도이다. 도 5는 실시예에 따른 패드 드레싱 장치의 일 단면을 도시한 단면도이다. 도 6은 드레싱 헤드의 일 단면을 도시한 단면도이다. 도 7은 실시예에 따른 패드 드레싱 장치를 이용하여, 제 1 연마 패드 및 제 2 연마 패드를 드레싱하는 과정을 도시한 도면이다.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 헤드 유닛(10), 암(20) 및 헤드 유닛 구동부(30)를 포함한다.
상기 헤드 유닛(10)은 상기 암(20)에 연결된다. 상기 헤드 유닛(10)은 상기 헤드 유닛 구동부(30)에 의해서 구동된다. 또한, 상기 헤드 유닛(10)은 상기 암(20)을 통하여, 세정액을 공급받는다.
도 2, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 헤드 유닛(10)은 헤드 몸체(100), 노즐(210, 220), 드레서(310, 320), 드레서 가이드(410, 420) 및 드레서 구동부(510, 520)를 포함한다.
상기 헤드 몸체(100)는 상기 암(20)에 연결된다. 상기 헤드 몸체(100)는 상기 노즐(210, 220), 상기 드레서(310, 320), 상기 드레서 가이드(410, 420) 및 상기 드레서 구동부(510, 520)를 지지한다. 상기 헤드 몸체(100)는 상기 드레서 구동부(510, 520)를 수용하기 위한 수용부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 헤드 몸체(100)는 상기 드레서 구동부(510, 520)를 수용하기 위한 홈들을 포함할 수 있다. 또한, 상기 헤드 몸체(100)는 상기 드레서 가이드(410, 420)와 일체로 형성될 수 있다. 또한, 상기 헤드 몸체(100)는 상기 노즐(210, 220)에 상기 세정액을 공급하기 위한 유로를 포함한다.
상기 노즐(210, 220)은 상기 헤드 몸체(100)에 구비된다. 상기 노즐(210, 220)은 상기 헤드 몸체(100)에 볼트 등에 의해서 고정될 수 있다. 상기 노즐(210, 220)은 상기 세정액을 고압으로 분사할 수 있다. 상기 노즐(210, 220)은 제 1 노즐(210) 및 제 2 노즐(220)을 포함한다.
상기 제 1 노즐(210)은 상기 헤드 몸체(100)의 상부에 구비된다. 상기 제 1 노즐(210)은 상기 유로와 연결된다. 상기 제 1 노즐(210)은 상기 세정액을 제 1 방향으로 분사한다. 더 자세하게, 상기 제 1 노즐(210)은 상기 세정액을 상방으로 분사할 수 있다.
상기 제 2 노즐(220)은 상기 헤드 몸체(100)의 하부에 구비된다. 상기 제 2 노즐(220)은 상기 유로와 연결된다. 상기 제 2 노즐(220)은 상기 세정액을 상기 제 1 방향에 대하여 반대 방향인 제 2 방향으로 분사한다. 더 자세하게, 상기 제 2 노즐(220)은 상기 세정액을 하방으로 분사할 수 있다.
상기 드레서(310, 320)는 상기 헤드 몸체(100)에 구비된다. 더 자세하게, 상기 드레서(310, 320)는 상기 드레서 가이드(410, 420)를 통하여 상기 헤드 몸체(100)에 설치된다. 상기 드레서(310, 320)는 상기 헤드 몸체(100)에 회전 가능하도록 구비된다. 상기 드레서(310, 320)는 전체적으로 고리 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 드레서(310, 320)는 상기 노즐(210, 220)을 둘러쌀 수 있다. 상기 드레서(310, 320)는 제 1 드레서(310) 및 제 2 드레서(320)를 포함한다.
상기 제 1 드레서(310)는 상기 헤드 몸체(100)의 상부에 구비된다. 상기 제 1 드레서(310)는 상기 제 1 노즐(210)을 둘러싼다. 상기 제 1 드레서(310)는 상기 제 1 노즐(210)의 주위를 따라서 회전할 수 있다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 드레서(310)는 제 1 프레임 및 다수 개의 제 1 절삭부들(313)을 포함한다.
상기 제 1 프레임은 상기 제 1 절삭부들(313)을 지지한다. 상기 제 1 프레임은 제 1 드레서 구동부(510)에 의해서, 회전된다. 상기 제 1 프레임은 제 1 플레이트(311) 및 제 1 기어부(312)를 포함한다.
상기 제 1 플레이트(311)에는 중공이 형성된다. 즉, 상기 제 1 플레이트(311)는 고리 형상을 가진다. 이때, 상기 제 1 노즐(210)은 상기 제 1 플레이트(311)의 중공에 배치된다. 즉, 상기 제 1 노즐(210)은 상기 제 1 드레서(310) 내측에 배치될 수 있다.
상기 제 1 플레이트(311)의 상면에 상기 제 1 절삭부들(313)이 구비된다. 즉, 상기 제 1 절삭부들(313)은 상기 제 1 플레이트(311)에 볼트 등에 의해서 고정될 수 있다.
상기 제 1 기어부(312)는 상기 제 1 플레이트(311)에 결합된다. 상기 제 1 기어부(312)는 상기 제 1 플레이트(311)에 볼트 등에 의해서 결합될 수 있다. 이와는 다르게, 상기 제 1 기어부(312)는 상기 제 1 플레이트(311)와 일체로 형성될 수 있다.
상기 제 1 기어부(312)에는 다수 개의 제 1 기어들이 형성된다. 상기 제 1 기어들은 상기 제 1 드레서 구동부(510)의 제 2 기어들과 기어 결합된다. 상기 제 1 드레서(310)의 회전력은 상기 제 2 기어들 및 상기 제 1 기어들을 통하여, 상기 제 1 드레서(310)에 전달된다.
상기 제 1 절삭부들(313)은 상기 플레이트에 체결된다. 상기 제 1 절삭부들(313)은 상기 플레이트의 중심을 둘러싼다. 상기 제 1 절삭부들(313)은 상기 제 1 플레이트(311)의 중공의 주위를 따라서 열을 지어 배치된다. 이때, 상기 제 1 절삭부들(313)은 서로 일정한 간격으로 이격될 수 있다.
상기 제 1 절삭부들(313)은 제 1 몸체부, 다수 개의 제 1 절삭 입자들 및 제 1 코팅층을 포함할 수 있다.
상기 제 1 몸체부는 상기 플레이트 상에 배치된다. 상기 제 1 몸체부는 상기 플레이트에 고정된다. 상기 제 1 몸체부는 상기 플레이트의 상면에 볼트 등에 의해서 체결될 수 있다. 상기 제 1 몸체부로 사용되는 물질의 예로서는 금속, 합금 또는 세라믹 등을 들 수 있다.
상기 제 1 절삭 입자들은 상기 제 1 몸체부에 배치된다. 더 자세하게, 상기 제 1 절삭 입자들은 상기 제 1 절삭 입자들은 상기 제 1 몸체부에 일부 삽입될 수 있다. 즉, 상기 제 1 절삭 입자들의 일부는 상기 제 1 몸체부 내측에 삽입되고, 상기 제 1 절삭 입자들의 다른 일부는 상기 제 1 몸체부로부터 노출된다.
상기 제 1 절삭 입자들은 높은 경도를 가진다. 상기 제 1 절삭 입자들로 사용되는 물질의 예로서는 다이아몬드, 다결정 다이아몬드(polycrystaline diamond;PCD), 입방 보론 질화물 및 다결정 입방 보론 질화물(polycrystaline boron nitride;PCBN) 등을 들 수 있다.
상기 제 1 코팅층은 상기 제 1 몸체부의 상면에 배치된다. 즉, 상기 제 1 코팅층은 상기 제 1 몸체부의 상면에 코팅된다. 상기 제 1 코팅층은 상기 제 1 몸체부에 전기도금되는 금속층을 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 코팅층은 상기 제 1 몸체부에 니켈 등의 금속이 전기도금되어 형성될 수 있다.
상기 제 1 절삭 입자들은 상기 제 1 몸체부에 압력에 의해서 삽입될 수 있다. 즉, 상기 제 1 몸체부 전기도금 등에 의해서, 상기 제 1 코팅층이 형성되고, 이후, 상기 제 1 절삭 입자들이 상기 제 1 몸체부의 상면에 배치된다.
이후, 평평한 하면을 가지는 합금 시트 등에 의해서, 상기 제 1 절삭 입자들에 압력이 가해진다. 이에 따라서, 상기 제 1 절삭 입자들이 상기 제 1 몸체부에 삽입될 수 있다.
상기 제 2 드레서(320)는 상기 헤드 몸체(100)의 하부에 구비된다. 상기 제 2 드레서(320)는 상기 제 2 노즐(220)을 둘러싼다. 상기 제 2 드레서(320)는 상기 제 2 노즐(220)의 주위를 따라서 회전할 수 있다.
상기 제 2 드레서(320)는 상기 제 1 드레서(310)와 실질적으로 동일한 구성을 가질 수 있다. 상기 제 2 드레서(320)는 제 2 프레임 및 다수 개의 제 2 절삭부들(323)을 포함한다.
상기 제 2 프레임은 상기 제 2 절삭부들(323)을 지지한다. 상기 제 2 프레임은 제 2 드레서 구동부(520)에 의해서, 회전된다. 상기 제 2 프레임은 제 2 플레이트(321) 및 제 2 기어부(322)를 포함한다.
상기 제 2 플레이트(321)에는 중공이 형성된다. 즉, 상기 제 2 플레이트(321)는 고리 형상을 가진다. 이때, 상기 제 2 노즐(220)은 상기 제 2 플레이트(321)의 중공에 배치된다. 즉, 상기 제 2 노즐(220)은 상기 제 2 드레서(320) 내측에 배치될 수 있다.
상기 제 2 플레이트(321)의 상면에 상기 제 2 절삭부들(323)이 구비된다. 즉, 상기 제 2 절삭부들(323)은 상기 제 2 플레이트(321)에 볼트 등에 의해서 고정될 수 있다.
상기 제 2 기어부(322)는 상기 제 2 플레이트(321)에 결합된다. 상기 제 2 기어부(322)는 상기 제 2 플레이트(321)에 볼트 등에 의해서 결합될 수 있다. 이와는 다르게, 상기 제 2 기어부(322)는 상기 제 2 플레이트(321)와 일체로 형성될 수 있다.
상기 제 2 기어부(322)에는 다수 개의 제 3 기어들이 형성된다. 상기 제 3 기어들은 상기 제 2 드레서 구동부(520)의 제 4 기어들과 기어 결합된다. 상기 제 2 드레서(320)의 회전력은 상기 제 3 기어들 및 상기 제 4 기어들을 통하여, 상기 제 2 드레서(320)에 전달된다.
상기 제 2 절삭부들(323)은 상기 플레이트에 체결된다. 상기 제 2 절삭부들(323)은 상기 플레이트의 중심을 둘러싼다. 상기 제 2 절삭부들(323)은 상기 제 2 플레이트(321)의 중공의 주위를 따라서 열을 지어 배치된다. 이때, 상기 제 2 절삭부들(323)은 서로 일정한 간격으로 이격될 수 있다.
상기 제 2 절삭부들(323)은 상기 제 1 절삭부들(313)과 실질적으로 동일할 수 있다. 즉, 상기 제 2 절삭부들(323)은 제 2 몸체부, 다수 개의 제 2 절삭 입자들 및 제 2 코팅층을 포함할 수 있고, 상기 제 2 몸체부, 상기 제 2 절삭 입자들 및 상기 제 2 코팅층은 상기 제 1 몸체부, 상기 제 1 절삭 입자들 및 상기 제 1 코팅층과 실질적으로 동일할 수 있다.
상기 제 2 몸체부는 상기 제 2 플레이트(321) 상에 배치된다. 상기 제 2 몸체부는 상기 제 2 플레이트(321)에 고정된다. 상기 제 2 절삭 입자들은 상기 제 2 몸체부에 배치된다. 더 자세하게, 상기 제 2 절삭 입자들은 상기 제 2 몸체부에 일부 삽입될 수 있다. 상기 제 2 코팅층은 상기 제 2 몸체부의 상면에 배치된다. 즉, 상기 제 2 코팅층은 상기 제 2 몸체부의 상면에 코팅된다.
상기 드레서 가이드(410, 420)는 상기 드레서(310, 320)를 가이드한다. 상기 드레서 가이드(410, 420)는 상기 헤드 몸체(100)와 일체로 형성될 수 있다. 상기 드레서 가이드(410, 420)는 상기 드레서(310, 320)가 회전할 때, 상기 헤드 몸체(100)로부터 이탈되지 않도록 상기 드레서(310, 320)를 가이드한다.
상기 드레서 가이드(410, 420)는 제 1 드레서 가이드(410) 및 제 2 드레서 가이드(420)를 포함한다. 상기 제 1 드레서 가이드(410)는 상기 제 1 드레서(310)를 가이드한다. 상기 제 1 드레서 가이드(410)는 상기 헤드 몸체(100)의 상부에 구비된다.
상기 제 1 드레서 가이드(410)의 일부는 상기 제 1 기어부(312)의 내측에 형성된 가이드 홈 내측에 삽입될 수 있다. 상기 제 1 드레서 가이드(410) 중 상기 가이드 홈 내측에 삽입되는 부분과 삽입되지 않는 부분은 서로 일체로 형성될 수 있다. 이와는 다르게, 상기 제 1 드레서 가이드(410) 중 상기 가이드 홈 내측에 삽입되는 부분과 삽입되지 않는 부분은 서로 분리될 수 있고, 볼트 등에 의해서 체결될 수 있다.
상기 제 2 드레서 가이드(420)는 상기 제 2 드레서(320)를 가이드한다. 상기 제 2 드레서 가이드(420)는 상기 헤드 몸체(100)의 하부에 구비된다. 상기 제 2 드레서 가이드(420)는 상기 제 2 드레서 가이드(420)와 실질적으로 동일할 수 있다.
상기 드레서 구동부(510, 520)는 상기 헤드 몸체(100)에 구비된다. 상기 드레서 구동부(510, 520)는 상기 드레서(310, 320)를 구동한다. 상기 드레서 구동부(510, 520)는 상기 제 1 드레서 구동부(510) 및 상기 제 2 드레서 구동부(520)를 포함한다.
상기 제 1 드레서 구동부(510)는 상기 제 1 드레서(310)를 구동한다. 또한, 상기 제 1 드레서 구동부(510)는 상기 헤드 몸체(100)에 형성된 홈 내측에 배치될 수 있다. 또한, 상기 제 1 드레서 구동부(510)는 상기 헤드 몸체(100)에 고정될 수 있다.
상기 제 1 드레서 구동부(510)는 상기 제 2 기어들을 포함하고, 상기 제 1 기어부(312)의 제 1 기어들과 기어 결합한다. 상기 제 1 드레서 구동부(510)에 의해서, 상기 제 1 드레서(310)는 회전된다.
본 실시예에서는 상기 제 1 드레서 구동부(510)가 제 1 기어들 및 제 2 기어들에 의해서, 상기 제 1 드레서(310)를 구동하는 것으로 기재되어 있지만, 이에 한정되지 않고, 상기 제 1 드레서 구동부(510)는 상기 제 1 드레서(310)를 다양한 방식으로 회전시킬 수 있다.
상기 제 2 드레서 구동부(520)는 상기 제 2 드레서(320)를 구동한다. 또한, 상기 제 2 드레서 구동부(520)는 상기 헤드 몸체(100)에 형성된 홈 내측에 배치될 수 있다. 또한, 상기 제 2 드레서 구동부(520)는 상기 헤드 몸체(100)에 고정될 수 있다.
상기 제 2 드레서 구동부(520)는 상기 제 4 기어들을 포함하고, 상기 제 2 기어부(322)와 기어 결합한다. 상기 제 2 드레서 구동부(520)에 의해서, 상기 제 2 드레서(320)는 회전된다.
본 실시예에서는 상기 제 2 드레서 구동부(520)가 상기 제 3 기어들 및 상기 제 4 기어들에 의해서, 상기 제 2 드레서(320)를 구동하는 것으로 기재되어 있지만, 이에 한정되지 않고, 상기 제 2 드레서 구동부(520)는 상기 제 2 드레서(320)를 다양한 방식으로 회전시킬 수 있다.
상기 제 1 드레서(310) 및 상기 제 2 드레서(320)는 서로 같은 방향으로 회전될 수 있다. 이와는 다르게, 상기 제 1 드레서(310) 및 상기 제 2 드레서(320)는 서로 다른 방향으로 회전될 수 있다.
상기 암(20)은 상기 헤드 유닛(10)과 연결된다. 더 자세하게, 상기 암(20)은 상기 헤드 몸체(100)와 연결된다. 또한, 상기 암(20)은 상기 헤드 유닛 구동부(30)와 연결된다. 상기 암(20)에는 상기 제 1 노즐(210) 및 상기 제 2 노즐(220)에 상기 세정액을 공급하기 위한 유로(21)가 형성된다.
상기 암(20)은 상기 헤드 유닛 구동부(30)를 중심으로 힌지 구동될 수 있다. 또한, 상기 암(20)은 길이 방향으로도 구동될 수 있다.
상기 헤드 유닛 구동부(30)는 상기 헤드 유닛(10)을 구동한다. 더 자세하게, 상기 헤드 유닛 구동부(30)는 상기 암(20)을 통하여, 상기 헤드 유닛(10)을 구동할 수 있다. 또한, 상기 헤드 유닛 구동부(30)는 상기 헤드 유닛(10)에 상기 세정액을 고압으로 상기 암(20)을 통하여 공급할 수 있다.
상기 헤드 유닛 구동부(30)는 상기 암(20)을 직경 방향 및 길이 방향으로 구동할 수 이 있다. 또한, 상기 헤드 유닛 구동부(30)는 상기 헤드 유닛(10)의 높이를 조절할 수 있다.
도 7을 참조하면, 상기 헤드 유닛(10)은 웨이퍼 양면 연마장치의 상정반(40) 및 하정반(50) 사이에 배치될 수 있다. 즉, 상기 헤드 유닛(10)은 상기 헤드 유닛 구동부(30)에 의해서, 상기 상정반(40)에 부착된 제 1 연마 패드(41) 및 상기 하정반(50)에 부착된 제 2 연마 패드(51) 사이에 로딩된다. 이때, 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)는 서로 이격되고, 서로 마주본다.
이후, 상기 상정반(40)은 하강한다. 이에 따라서, 상기 제 1 연마 패드(41)는 상기 제 1 드레서(310)에 직접 접촉하고, 상기 제 2 연마 패드(51)는 상기 제 2 드레서(320)에 직접 접촉될 수 있다.
이후, 상기 제 1 노즐(210)로부터 상기 세정액이 상방으로 분사된다. 즉, 상기 제 1 노즐(210)은 상기 세정액을 상기 제 1 연마 패드(41)를 향하여 분사한다. 이때, 상기 세정액은 탈 이온수일 수 있다.
마찬가지로, 상기 제 2 노즐(220)로부터 상기 세정액이 하방으로 분사된다. 즉, 상기 제 2 노즐(220)은 상기 세정액을 상기 제 2 연마 패드(51)를 향하여 분사한다.
동시에, 상기 제 1 드레서(310) 및 상기 제 2 드레서(320)는 회전하게된다. 상기 제 1 드레서(310) 및 상기 제 2 드레서(320)는 서로 같은 방향 또는 다른 방향으로 회전될 수 있다. 또한, 상기 제 1 드레서(310) 및 상기 제 2 드레서(320)는 시계 방향 또는 반 시계 방향으로 회전될 수 있다.
이에 따라서, 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)는 상기 세정액에 의해서 세정됨과 동시에, 상기 제 1 드레서(310) 및 상기 제 2 드레서(320)에 의해서 드레싱된다.
즉, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)를 드레싱함과 동시에, 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)에 상기 세정액을 분사한다.
이에 따라서, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)에 남아있는 잔유물들을 효율적으로 제거할 수 있다.
또한, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)에 상기 세정액을 분사하면서, 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)를 드레싱한다.
이에 따라서, 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)는 균일하게 드레싱 될 수 있다.
특히, 상기 제 1 노즐(210)은 상기 제 1 드레서(310) 내에 배치되고, 상기 제 2 노즐(220)은 상기 제 2 드레서(320) 내에 배치된다. 이에 따라서, 상기 세정액이 분사되는 시간과 상기 드레서(310, 320)가 드레싱하는 시간 사이의 간격이 매우 짧다.
이에 따라서, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)를 더욱 효율적으로 드레싱 할 수 있다.
또한, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 세정액 분사에 의한 세정 공정 및 다이아몬드 드레서(310, 320) 등에 의한 드레싱 공정을 따로 진행할 필요가 없으므로, 드레싱 공정에 소모되는 시간을 줄일 수 있다.
따라서, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)를 용이하게 드레싱 할 수 있다.
또한, 이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (10)

  1. 헤드 몸체;
    상기 헤드 몸체에 구비되며, 고압의 세정액을 분사하는 노즐;
    상기 헤드 몸체에 회전 가능하도록 구비되는 드레서; 및
    상기 헤드 몸체에 연결되는 암을 포함하는 패드 드레싱 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 노즐은,
    제 1 방향으로 상기 세정액을 분사하는 제 1 노즐; 및
    상기 제 1 방향에 대하여 반대 방향인 제 2 방향으로 상기 세정액을 분사하는 제 2 노즐을 포함하는 패드 드레싱 장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 노즐의 주위를 둘러싸는 제 1 드레서; 및
    상기 제 2 노즐의 주위를 둘러싸는 제 2 드레서를 포함하는 패드 드레싱 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 드레서를 회전시키는 구동부를 포함하는 패드 드레싱 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 드레서는 고리 형상을 가지며,
    상기 드레서는 상기 노즐의 주위를 둘러싸는 패드 드레싱 장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 드레서는
    중공이 형성된 프레임; 및
    상기 프레임에 고정되는 다수 개의 절삭부들을 포함하는 패드 드레싱 장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 각각의 절삭부는 다수 개의 제 1 절삭 입자들을 포함하는 패드 드레싱 장치.
  8. 헤드 몸체; 상기 헤드 몸체에 구비되며, 고압의 세정액을 분사하는 노즐; 상기 헤드 몸체에 회전 가능하도록 구비되는 드레서; 및 상기 헤드 몸체에 연결되는 암을 포함하는 패드 드레싱 장치를 연마 패드에 로딩하는 단계;
    상기 드레서를 상기 연마 패드에 접촉시킨 상태에서, 상기 드레서를 회전시키는 단계;
    상기 노즐을 통하여, 상기 연마 패드를 향하여 상기 세정액을 분사하는 단계; 및
    상기 패드 드레싱 장치를 상기 연마 패드로부터 언로딩하는 단계를 포함하는 패드를 드레싱하는 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 연마 패드는 서로 마주보는 제 1 연마 패드 및 제 2 연마 패드를 포함하고,
    상기 노즐은 상기 제 1 연마 패드를 향하여 상기 세정액을 분사하는 제 1 노즐 및 상기 제 2 연마 패드를 향하여 상기 세정액을 분사하는 제 2 노즐을 포함하는 패드를 드레싱하는 방법.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 드레서는 상기 제 1 연마 패드에 접촉하는 제 1 드레서 및 상기 제 2 연마 패드에 접촉하는 제 2 드레서를 포함하는 패드를 드레싱하는 방법.
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