KR20120021446A

KR20120021446A - 전주장치

Info

Publication number: KR20120021446A
Application number: KR1020100074332A
Authority: KR
Inventors: 이호범
Original assignee: 레이젠 주식회사
Priority date: 2010-07-30
Filing date: 2010-07-30
Publication date: 2012-03-09
Also published as: KR101225341B1

Abstract

두께가 균일한 고정밀도의 대면적 전착물을 얻을 수 있도록 구성된 전주장치가 제공된다. 상기 전주장치는, 내부로 유입되어 넘치는 전주액을 측면에 형성된 전주액 배출관을 통해 그 하부에 위치되는 회수조로 배출하는 외측전해조와; 상부가 개구되어 상기 외측전해조의 내부에서 회전되도록 설치되며, 캐소드 전극으로 하부에 형성된 전주용의 형부재인 마스터 베이스를 갖는 전주조와; 애노드 전극이 형성되어 상기 전주조의 상부에서 회전되도록 설치되며, 전주되는 금속이 내장되는 금속 함들이 원호상으로 이격 배열 구성되어 상기 애노드 전극에 선택적으로 접속되는 분극 클램프를 적어도 한 쌍 이상 갖는 로터리 분극 클램프와; 관통된 전주액 유동 접촉구가 다수 형성되어 상기 로터리 분극 클램프의 하부에 결합되며 상기 로터리 분극 클램프의 회전에 의해 상기 마스터 베이스의 표면에 전착되는 전착물의 두께를 균일하게 평탄화 하는 유동접촉전류 제어판과; 상기 전주조의 캐소드 전극와 로터리 분극 클램프의 애노드 전극에 전원을 공급하는 전원 공급 장치와; 상기 회수조의 전주액을 여과하여 상기 로터리 분극 클램프의 중앙부를 통하여 상기 전주조에 전주액을 공급하는 전주액공급장치와; 상기 전주조와 로터리 분극 클램프를 같은 방향, 다른 회전속도로 회전시키는 동력전달장치를 포함하여 구성된다.

Description

전주장치{electroforming apparatus}

본 발명은 전주장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전주로서 고정밀도의 대면적 전착물(electrodeposit of big surface panel type)을 얻을 수 있도록 구성된 전주장치에 관한 것이다.

일반적으로, BLU(back light unit)와 같은 전자기기의 부품은 도광판(Light Guide Plate : LGP), 반사판 등과 같은 시트들이 많이 사용되고 있다. 상기와 같은 BLU 부품 이외에도 전자기기의 부품 중 상당수의 소자는 니켈(Ni)과 구리(Cu)와 같은 금속소재의 제품이 많이 사용되고 있으며, 이러한 금속 소재의 부품은 주로 전주법(electroforming method)으로 제조된다.

전주법은 박리피막을 부여한 모형상에 금속을 전착시킨 후 그 전착금속을 분리하여 모형 표면과 반대의 요철의 제품을 얻든가 그의 전착 금속 표면에 다시 분리피막 처리를 하여 금속을 전착시켜서 분리하면 최초의 모형과 같은 요철을 갖는 제품을 얻는 방법으로 전기 도금이 가능한 금속이나 합금이면 원칙적으로 전주의 대상이 되는데 조업기술의 난이도나 가격면에서 구리(Cu), 니켈(Ni)이 주로 사용되고 있다. 전주의 이점은 복잡하거나 미세한 형상물의 전사, 복제, 가공방법에서는 불가능한 시뮬레스 일체 구조물의 제조가 가능하며 전착시간이 비교적 길다.

통상의 니켈(Ni) 전주에서 전류밀도 5?10A/dm2로 전주하면 0,5mm의 두께까지는 5?10시간이 필요하고 수 cm의 두께의 전주는 수주간의 전착시간이 필요하다. 그래서 캐소드(cathode) 부근의 전주액을 강하게 교반함으로써 고전류밀도에서의 전착을 가능하게 하고, 이것에 의한 고속전주가 시도되고 있다.

그러나 일반적인 전주장치를 이용하여 고정밀도의 대면적(판형상) 전착물을 얻기 위하여는 많은 불편함이 있었다. 왜냐하면, 캐소드 전극에 연결된 전주몰드(또는 "마스터 몰드", "마스터 베이스"라고도 칭함)에 금속을 전주시키는 경우 전주몰드의 중앙부분 보다는 에지(edge)부분에 더 많은 전류가 흐르기 때문에 중앙부분 보다는 에지부분의 두께가 더 두텁게 되어 일정한 두께의 전착물을 얻기가 매우 힘들었다. 따라서 고정밀도의 대면적 전착물을 얻기 위하여는 정밀한 기계를 이용하여 후 가공하는 공정이 추가되는 등 불편이 있었다.

따라서 본 발명의 목적은 두께가 일정한 고정밀도의 대면적 전착물을 얻을 수 있는 전주장치를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 대면적 전착물의 평면을 평활화하여 전착할 수 있는 유동 접촉 전류 제어판을 갖는 전주장치를 제공함에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 전주액으로 채워진 전주조의 전류 밀도를 전착물의 두께에 따라 조절하여 전착물의 표면이 균일하게 전주되도록 하는 전주장치를 제공함에 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 하부프레임 및 그 상부에 결합된 상부프레임과; 상기 하부프레임의 상부에 결합되며 내부로 유입되어 넘쳐흐르는 전주액을 전주액 배출관을 통해 회수조로 배출하는 외측전해조와; 상부가 개구되어 상기 외측전해조의 내부에서 회전가능토록 설치되며, 제1전극, 예를 들면, 캐소드(cathode)로 하부에 형성된 흡착구의 진공에 의하여 전주용의 형부재인 마스터 베이스를 진공 흡착하여 내부에 공급된 전주액에 용해된 산화금속을 상기 마스터 베이스에 환원시키는 전주조와; 상기 상부프레임의 하부에서 회전가능토록 설치되며, 제2전극, 예를 들면, 애노드(anode)가 형성되어 니켈, 구리 등의 산화금속이 내장되는 금속 함들이 원호상으로 이격 배열 구성되어 상기 제2전극에 선택적으로 접속되는 분극 클램프를 적어도 한 쌍 이상 갖는 로터리 분극 클램프와; 상하 관통된 전주액 유동 접촉구가 다수 형성되어 상기 로터리 분극 클램프의 하부에 결합되며 상기 로터리 분극 클램프의 회전에 의해 상기 마스터 베이스의 표면에 전착되는 전착물의 두께를 균일하게 평활화 하는 유동 접촉 전류 제어판과; 상기 상부프레임과 하부프레임에 각각 설치된 제1 및 제2회전모터들과, 상기 제1 및 제2회전모터의 회전축과 상기 로터리 분극 클램프의 회전축과 전주조의 회전축에 각각 밸트풀리로 연결되어 상기 로터리 분극 클램프와 전주조를 회전시키는 동력전달장치와; 상기 전주조의 제1전극과 로터리 분극 클램프의 제2전극에 전압을 인가하는 전원장치를 포함하여 구성되며, 상기 제1전극과 제2전극은 브러시타입의 전극임으로 하는 것이 바람직하다.

상기 구성 중 로터리 분극 클램프의 회전속도는 전주조의 회전속도보다 더 빠르게 회전토록 하는 것이 좋으며, 바람직하게는 로터리 분극 클램프의 회전속도가 전주조의 회전속도 보다 약 1.5배~2배 빠르게 하는 것이 좋다.

상기 유동 접촉 전류 제어판에 형성된 전주액 유동 접촉구는 상기 전주조내에 채워지는 전주액을 상기 마스터 베이스의 표면에 적절하게 유동 접촉시킬 수 있도록 1 ~ 5센티미터의 지름으로 형성하는 것이 바람직하다. 상기 전주액 유동 접촉구의 직경이 1센티미터 이하인 경우 전착량이 적어 장시간 동안 전주조를 작동시켜야 하고, 5센티미터를 초과하는 경우에는 모서리 부분의 전착량이 증대됨으로 균일한 전착을 기대할 수 없기 때문이다.

상기 로터리 분극 클램프는 중심축에 관통된 전주액 공급구가 형성되며, 상기 전주액 공급구의 상부에는 여과된 전주액(전해액)을 공급하는 전주액 공급라인이 로터리 조인트(rotary joint)에 연결되어 제2전극의 중심으로 고속으로 전주액을 공급하도록 구성하여 상기 분극 클램프들의 전류 분할에 의한 전주가 행하여지도록 구성되어 있다.

상술한 바와 같은 본 발명은 회전되는 제2전극인 애노드의 중심축에서 고속으로 전주액을 공급함과 동시에 분극 클램프들 선택적으로 상기 제2전극에 접속시켜 전류 분할 공급이 가능한 로터리 분극 클램프를 회전시킴으로 제1전극에 연결된 마스터 베이스의 표면에 균일한 전착을 할 수 있다. 또한, 마스터 베이스의 표면에 전착된 전착물의 평활화를 위해 유동 접촉 전류 제어판을 마스터 베이스의 상부에 근접(또는 밀착)하여 회전시킴으로써 응력이 없는 전착이 가능하여 전체적으로 균일전착을 할 수 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 전주 장치의 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 전주장치의 단면도.
도 3은 도 1에 도시된 전주조 및 그 주변의 상세 구성을 나타내는 사시도.
도 4는 도 2에 도시된 분극 클램프의 전류량 조절의 상관관계를 설명하기 위한 도면.
도 5a, 도 5b는 도 2 및 도 3에 도시된 전주 전착물과 그 상부에 위치된 유동 접촉 전류 제어판 간의 전착 평탄화를 설명하기 위한 도면.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예들을 보다 상세하게 설명한다. 그러나 본 발명은 다수의 상이한 형태로 구현될 수 있고, 기술된 실시 예에 제한되지 않음을 이해하여야 한다. 하기에 설명되는 본 발명의 실시 예는 당업자에게 본 발명의 사상을 충분하게 전달하기 위한 것임에 유의하여야 한다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 전주장치(1)의 하부프레임(12)에는 외측전해조(2)가 설치된다. 상기 외측전해조(2)는 상부가 개구되며 개폐 가능한 덮개(6)가 설치되어 있다. 상기 외측전해조(2)의 내부에는 그 내부에서 회전가능토록 전주조(16)가 도 2와 같이 설치되어 상기 전주조(16)로부터 넘쳐흐르는(over flow) 전주액(102)을 회수조(3)로 회수하도록 되어 있다.

상기 전주조(16)는 상부가 개구되어 상기 외측전해조(2)의 내부에서 회전가능토록 설치되며, 제1전극, 예를 들면, 캐소드(cathode)로 하부에 형성된 흡착구(19)의 진공에 의하여 그 상부에 놓아지는 전주용의 형부재인 마스터 베이스(17)를 진공 흡착하여 내부에 공급된 전주액(102)에 용해된 산화금속을 상기 마스터 베이스(17)에 전착시킨다.

이때, 상기 흡착구(19)는 외부 전원 공급 장치의 제1전극, 예를 들면, 캐소드와 전기적으로 연결된 브러시 캐소드(52)가 외주면에 형성된 캐소드 샤트프(50)의 중심에 형성된 석션튜브(54)에 연결되어 있다. 상기 석션튜브(54)에는 진공펌프(도시하지 않았음)의 작동에 의해 내부의 바닥면에 놓아진 마스터 베이스(17)를 진공 흡착하여 고정한다.

또한, 상기 캐소드 샤프트(50)는 도면에는 상세하게 도시하지 않았으나 벨트풀리(belt pulley)가 결합되며, 상기 벨트풀리는 하부프레임(12)에 고정 결합된 제1회전모터의 회전축에 결합된 또 다른 벨트풀리에 벨트로 결합되며, 상기 제1회전모터의 구동에 따라 회전된다.

한편, 상기 전주조(16)내의 마스터 베이스(17)의 상부측에는 회전체전극(18)이 설치된다. 상기 회전체전극(18)은 외부공급장치의 전원공급단자에 접속된 제2전극, 예를 들면, 애노드(anode)와 전기적으로 연결된 브러시 애노드(42)가 외주면에 형성된 애노드 샤프트(40)를 구비한다. 상기 회전체전극(18)은 도 2와 같이 상기 하부프레임(12)의 상부에 결합된 상부프레임(14)의 하부에서 상기 전주조(16)의 내부로 삽입되는 형태로 회전가능토록 설치된다.

상기 회전체전극(18)은 애노드 전극이 형성되어 니켈, 구리 등의 산화금속이 내장되는 금속 함들이 원호상으로 이격 배열 구성되어 상기 제2전극에 선택적으로 접속되는 분극 클램프(29, 30, 31)를 적어도 한 쌍 이상 가지는 로터리 분극 클램프(28)와, 관통된 전주액 유동 접촉구(26)가 다수 형성되어 전류 제어판 연결고정대(32)를 통해 상기 로터리 분극 클램프(28)의 하부에 결합되며 그 회전에 의해 상기 마스터 베이스(17)의 표면에 전착되는 전착물(100)의 두께를 균일하게 평활화 하는 유동 접촉 전류 제어판(24)으로 구성된다.

상기 분극 클램프(29, 30, 31)들은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 원호상으로 서로 분리되어진 금속망의 형태로 내부에 니켈, 구리 등의 산화금속이 넣어지도록 형성되며, 원호상을 기준으로 제2전극에 전기적으로 접속되거나 차단되도록 회로가 형성된다.

상기 회전체 전극(18)을 구성하는 애노드 샤프트(40)의 중심축은 상하 관통된 전주액 공급구(23)가 형성되며, 상기 전주액 공급구(23)의 상부에는 로터리 조인트(rotary joint)(20)가 연결되어 있다. 상기 로터리 조인트(20)는 여과된 전주액(102)을 공급하는 전주액 공급라인(21)에 연결되어 이를 통해 고속으로 전주액(102)을 상기 회전체 전극(18)을 통해 전주조(16)로 공급하도록 구성되어 있다. 또한 상기 상부프레임(14)에는 회전체 전극(18)을 회전시키기 위한 제2회전모터가 설치되고, 상기 회전체전극(18)의 애노드샤프트(40)와 상기 제2회전모터는 벨트와 풀리로 연결되어 회전된다.

이때, 상기 제2회전모터의 회전방향은 전술한 제1회전모터와는 동일방향으로 20~30RPM의 속도로 회전되며, 제1회전모터는 10~20RPM의 속도로 회전하여 유동접촉전류 제어판(24)이 회전에 의해 전주조(16)에 채워진 전주액(102)과 마스터 베이스(17)간의 접촉전류, 즉 전류밀도를 크게 하는 것이 좋다.

또한, 본 발명의 실시 예에 따른 전주장치(1)의 외측전해조(2)의 하부의 일측에는 도 2에 도시한 바와 같이 전주조(16)로부터 넘쳐 회수되는 전주액(102)을 배출하기 위한 전주액 배출관(5)이 형성되어 있다. 상기 전주액 배출관(5)으로부터 배출되는 전주액(102)은 내부에 다수의 여과필터(4)가 형성된 회수조(3)로 회수된다. 상기 회수조(3)로 회수된 전주액(102)은 내부의 여과필터(4)에 의해 불순물이 여과된 후 전주액 공급장치인 펌프(13)에 의해 고속으로 펌핑되어 전주액 공급호수(21)와 회전체전극(18)을 통해 전주조(16)로 공급된다. 이때, 상기 전주액 공급펌프(13)에 의하여 펌핑되는 유량은 약 8ℓ/sec정도이다.

도 1에서 미설명된 참조부호 10은 제어박스로서, 외부로터의 전원공급제어, 로터리 분극 클램프(29, 30, 31)의 선택제어, 각종 모터의 제어 등을 수행한다.

상기와 같은 구성을 갖는 본 발명의 전주장치(1)의 동작을 도 4와 도 5를 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.

도 1의 전주조(16)의 내측 하부에 전주용의 형부재인 마스터 베이스(17)를 위치시킨 후, 전주장치(1)를 작동시키면, 진공펌프(도시하지 않았음)가 석션튜브(54)내의 공기를 펌핑하여 상기 마스터 베이스(17)를 전주조(16)의 바닥면에 진공흡착시켜 고정한다.

이와 같은 상태에서 도 1에 도시된 전주액 공급펌프(13)가 공급되면, 회수조(3)의 내부에 저장된 전주액(102)이 전주액 공급호수(21)와 회전체전극(18)의 중심부에 형성된 전주액 공급구(23)를 통해 전주조(16)로 공급된다. 이때, 회전체전극(18)의 중심축으로 공급되는 전주액(102)의 유속은 약 8ℓ/sec로 고속유량이며, 온도는 약 45도 내지 50도이다.

이때, 전주조(16)의 캐소드 샤프트(50)에 벨트풀리로 연결된 제1회전모터 및 회전체전극(18)의 애노드샤프트(40)에 벨트풀리로 연결된 제2회전모터가 서로 동일방향으로 회전되고, 외부 전원공급 장치의 전압이 애노드샤프트(40)의 브러시 애노드(42)와 캐소드샤프트(50)의 브러시 캐소드(52)로 공급되면, 전주조(16)는 제1회전모터에 의해 약 10~20RPM의 속도로 회전되고 회전체전극(18)은 제2회전모터에 의하여 20~30RPM으로 회전된다.

상기에서 전주조(16)와 회전체전극(18)의 회전방향을 동일방향으로 하고 그 회전속도를 달리하는 이유는 전주조(16)에 채워진 전주액(102)에 용해된 금속과 전주용의 형부재인 마스터 베이스(17)간의 유동접촉을 크게 하기 위함이다. 이때, 상기 전주조(16)와 회전체전극(18)의 회전속도가 같은 경우에는 유동접촉량이 적고, 회전속도의 차이가 큰 경우에는 상기 전주조(16)에 채우진 전주액(102)의 유동량이 많아져 외측전해조(2)로 넘쳐흐르는 양이 증가하기 때문에 전착 속도가 느리게 되는 등의 문제가 발생하므로 전주조(16)와 회전체전극(18)의 회전속도 차이는 1.5배에서 2배로 설정하는 것이 바람직하다.

또한, 전주조(16)와 회전체전극(18)이 서로 회전축이 동일 직선상에 있지 않기 때문에 서로 회전할 때 전주조(16)의 중심을 축으로 하여 회전체전극(18)이 편심회전작용을 하기 때문에 전주조(16)에 채워진 전주액(102)의 회전범위를 넓게함과 동시에 회전력을 강하게하여 전주액의 유속을 증대하게 되므로 전주액(102)에 용해된 금속과 전주용의 형부재인 마스터 베이스(17)간의 유동접촉이 크져서 전착물이 빠른속도로 평탄하게 전착된다.

이때 마스터 베이스(17)의 크기에 따라서 캐소드샤프트(50)와 애노드 샤프트(40)와의 축간 거리가 50 ~ 150㎜ 사이에서 조정가능한 편심거리를 둔다.

한편, 회전체전극(18)을 구성하는 로터리 분극 클램프(28)내의 분극 클램프(29, 30, 31)들의 내부에는 전주를 위한 니켈 또는 구리 등의 금속이 채워져 있고, 이들 분극 클램프(29, 30, 31)들은 서로 마주보고 있는 것들이 한 쌍으로 브러시 애노드, 즉 제2전극에 선택적으로 연결된다.

이때, 상기 분극 클램프(29, 30, 31)들과 애노드인 제2전극간의 선택적인 연결은 도 4에 도시된 바와 같이 캐소드 전극, 즉, 마스터 베이스(17)에 대한 전착영역에 따라 다르게 설정되어 있다. 이와 같이 전착영역에 따른 분극 클램프(29, 30, 31)의 선택적인 접속은 도 1에 도시된 제어박스(10)내의 조작스위치들을 조절하여 할 수 있다.

예를 들어, 캐소드 전극의 전착영역이 도 4의 A와 같은 경우 한 쌍의 분극 클램프(31)만을 브러시 애노드(42)의 전극에 접속하여 그 내부에 넣어진 니켈 등과 같은 금속이 전주액에 용해되도록 하는 방식이다.

상기와 같이 애노드(42)의 전극에 연결된 분극 클램프(29, 30, 31)에 넣어진 금속이 전주액(102)에 용해되면, 상기 전주액(102)에 용해된 금속은 캐소드 전극으로 작용하는 마스터 베이스(17)로 전착된다. 상기 마스터 베이스(17)로 전착되는 전착물(100)은 상기 로타리 분극 클램프(29)의 하부에 결합된 유동 접촉 전류 제어판(24)에 의해 균일한 두께로 평활화 된다.

즉, 회전체전극(18)이 회전되면, 그 하부에 결합된 유동 접촉 전류 제어판(24)이 회전하여 그에 형성된 전주액 유동 접촉구(26)를 통한 전주액(102)이 마스터 베이스(17)의 전착물(100)과 유동접촉하게 된다. 즉, 전류량이 제어된다. 이때 상기 유동 전류 제어판(17)은 합성수지 계열로서 재질의 비중은 1.5~1.6 내외의 것을 사용하는 것이 좋다.

도 5a에 도시된 바와 같이, 마스터 베이스(17)에 전착된 전착물(100)의 두께가 불균일하여 일부분이 유동 접촉 전류 제어판(24)의 표면에 닿게 되면, 해당 부분에서 전주액(102)의 흐름이 차단되어 전주액(102)을 통한 전류는 거의 흐르지 않게 되어 전착은 이루어지지 않는다. 이에 반하여 유동 접촉 전류 제어판(24)의 전주액 유동 접촉구(26)를 통한 전주액(102)의 흐름은 화살표 방향과 같이 커지게 되어 전주액(102)을 통한 전류가 증가되어 전착물(100)로의 전착량이 증대된다.

만약, 마스터 베이스(17)에 전착된 전착물(100)의 두께가 도 5b에 도시된 바와 같은 경우, 전착물(100)의 전착 두께가 두꺼운 영역에서의 전주액(102)의 흐름은 적어져 전착량이 적어진다. 전착물(100)의 전착 두께가 얇은 영역에서 전주액의 흐름은 전주액 유동 접촉구(26)를 통하여 증대되어 전주액을 통한 전류량이 증대되어 전착량이 많아진다.

상기한 바와 같이 유동 접촉 전류 제어판(24)은 마스터 베이스(17)에 전착된 전착물(100)의 두께에 따라 전주조(16)에 채워진 전주액과 전착물(100)간의 유동 접촉량을 제어하여 전주액(102)을 통해 양극으로부터 음극으로 흐르는 전류량을 제어하여 전착물(100)의 두께를 균일하게 평탄화하는 것을 알 수 있다.

상기 유동접촉 전류 제어판(24)에 형성된 전주액 유동 접촉구(26)의 직경이 1센티미터 이하인 경우, 전주액(102)으로부터 마스터 베이스(17)로 전착되는 양이 매우 적어 회전체전극(18)을 고속으로 회전시켜야 하는 문제가 발생하며, 5센티미터를 초과하는 경우 전주액(102)으로부터 마스터 베이스(17)로 전착되는 양이 많아 두께를 균일하게 평탄화하는 것이 어렵게 됨으로 전주액 유동 접촉구(26)의 직경은 약 1 ~ 5센티미터로 설정하는 것이 바람직하며, 1 ~ 3센티미터로 하는 것이 가장 좋다.

또한, 전주액 유동 접촉구(16)의 총 면적은 유동 접촉에 의한 전류제어가 최적화되도록 유동 접촉 전류 제어판(24)의 총 면적에 1/4 ~ 3/4 사이로 하는 것이 좋다.

1 : 전주장치, 2 : 외측전해조,
3 : 회수조, 4 : 여과기,
5 : 전주액 배출관, 6 : 덮개,
12 : 하부프레임, 13 : 전주액 공급펌프,
14 : 상부프레임, 16 : 전주조,
17 : 마스터 베이스, 18 : 회전체전극
19 : 흡입구, 20 : 로터리 조인트,
21 : 전주액 공급호수, 22 : 분극 로터리 장치,
23 : 전주액 공급구, 24 : 유동 접촉 전류 제어판,
26 : 전주액 유동 접촉구, 28 : 로터리 분극 클램프,
29, 31, 33 : 분극 클램프, 32 : 전류 제어판 연결고정대
40 : 애노드 샤프트, 42 : 브러시 애노드,
50 : 캐소드 샤프트, 52 : 브러시 캐소드,
54 : 석션 튜브, 100 : 전착물,
102 : 전주액

Claims

전주 장치에 있어서, 내부로 유입되어 넘치는 전주액을 배출관을 통해 회수조로 배출하는 외측전해조와; 상부가 개구되어 상기 외측전해조의 내부에서 회전되도록 설치되며, 캐소드 전극으로 하부에 형성된 전주용의 형부재인 마스터 베이스가 고정되는 전주조와; 애노드 전극이 형성되어 상기 전주조의 상부에서 회전되도록 설치되며, 전주되는 금속이 내장되는 금속함들이 원호상으로 이격 배열 구성되어 상기 애노드 전극에 선택적으로 접속되는 분극 클램프를 적어도 한 쌍 이상 갖는 로터리 분극 클램프와; 관통된 전주액 유동 접촉구가 다수 형성되어 상기 로터리 분극 클램프의 하부에 결합되며 상기 로터리 분극 클램프의 회전에 의해 상기 마스터 베이스의 표면에 전착되는 전착물의 두께를 균일하게 평탄화하는 유동접촉전류 제어판과; 상기 전주조의 캐소드 전극와 로터리 분극 클램프의 애노드 전극에 전원을 공급하는 전원 공급 장치와; 상기 회수조의 전주액을 여과하여 상기 로터리 분극 클램프의 중앙부를 통하여 상기 전주조에 전주액을 공급하는 전주액공급장치와; 상기 전주조와 로터리 분극 클램프를 동일방향, 다른 회전속도로 회전시키는 동력전달장치로 구성함을 특징으로 하는 전주장치.
제1항에 있어서, 상기 전주조의 캐소드 전극와 로터리 분극 클램프의 애노드 전극은 브러시 타입의 전극임을 특징으로 하는 전주장치.
제1항에 있어서, 상기 로터리 분극클램프와, 이에 연결된 유동접촉전류 제어판의 회전수가 전주조의 회전수보다 1.5 ~ 2배 빠르게 회전하는 것을 특징으로 하는 전주장치.
전주장치에 있어서, 하부프레임 및 그 상부에 결합된 상부프레임과; 상기 하부프레임의 상부에 결합되며 내부로 유입되어 넘치는 전주액을 배출관을 통해 회수조로 배출하는 외측전해조와; 상부가 개구되어 상기 외측전해조의 내부에서 회전가능토록 설치되며, 캐소드 전극으로 하부에 형성된 흡착구의 진공에 의하여 전주용의 형부재인 마스터 베이스를 진공 흡착하여 내부에 공급된 전주액에 용해된 금속을 상기 마스터 베이스에 전착시키는 전주조와; 상기 상부프레임의 하부에서 회전가능토록 설치되며, 애노드 전극이 형성되어 전주되는 금속이 넣어지는 금속 함들이 원호상으로 이격 배열 구성되어 상기 애노드 전극에 선택적으로 접속되는 분극 클램프를 적어도 한 쌍 이상 갖는 로터리 분극 클램프와; 관통된 전주액 유동 접촉구가 다수 형성되어 상기 로터리 분극 클램프의 하부에 결합되며 상기 로터리 분극 클램프의 회전에 의해 상기 마스터 베이스의 표면에 전착되는 전착물의 두께를 균일하게 평탄화 하는 유동접촉전류 제어판과; 상기 하부프레임과 상부프레임에 각각 설치된 제1 및 제2회전모터와, 상기 제1 및 제2회전모터의 회전축과 전주조의 캐소드 샤프트와 로터리 분극 클램프의 애노드 샤프트에 각각 밸트풀리로 연결되어 상기 로터리 분극 클램프와 전주조를 동일방향으로 회전시키는 동력전달장치와; 상기 전주조의 제1전극과 로터리 분극 클램프의 제2전극에 전압을 인가하는 전원장치를 포함하여 구성함을 특징으로 하는 전주장치.
제4항에 있어서, 상기 로터리 분극 클램프와, 이에 연결된 유동접촉전류 제어판의 회전수가 전주조의 회전수보다 1.5 ~ 2배 빠르게 회전함을 특징으로 하는 전주장치.
제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 유동 접촉 전류 제어판에 형성된 전주액 유동 접촉구는 1 ~ 3센티미터임을 특징으로 하는 전주장치.
제6항에 있어서, 상기 로터리 분극 클램프는 중심축에 관통된 전주액 공급구가 형성되며, 상기 전주액 공급구의 상부에는 여과된 전주액을 공급하는 전주액 공급라인이 로터리 조인트에 연결되어 애노드 전극의 중심으로 고속으로 전주액을 공급하도록 구성된 것임을 특징으로 하는 전주장치.
제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 분극클램프에 연결고정된 유동접촉전류제어판과 전주조는 서로 회전축이 동일 수직선상에 있지 않아서 상호 편심 회전운동하는 것을 특징으로 하는 전주장치
제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 전주액 유동 접촉구의 총 면적은 유동 접촉 전류 제어판의 총 면적에 1/4 ~ 3/4 사이에서 마련되는 것을 특징으로 하는 전주장치
제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 마스터 베이스의 크기에 따라서 캐소드샤프트와 애노드샤프트와의 축간 거리가 50 ~ 150㎜ 사이에서 조정가능한 편심거리를 두는 것을 특징으로 하는 전주장치