JP2012527524A - 薄層の制御された電解処理のための方法および装置 - Google Patents
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- C25D7/12—Semiconductors
- C25D7/123—Semiconductors first coated with a seed layer or a conductive layer
Abstract
Description
2 ホルダ
3 処理面
4 処理容器
5 電解液
6 ポンプ
7、7'、7"、7'"、7"" アノード電極、グローバルアノード、部分的なアノード、部分的な電極
8 収集容器
9、9'、9"、9'"、9"" 整流器、電源、電気メッキ電流源
10、10'、10"、10'"、10"" 接点、接触領域
11、11'、11" 電解セル、部分的な電解セル、グローバルセル
12、12'、12"、12'"、12"" カソード電極、反対電極、グローバルカソード、部分的なカソード
13 注入口
14 隔壁
15、15'、15" 摺動接点、回転接点
16、16'、16"、16'"、16"" 直列抵抗を備えた、または備えていないスイッチ接点
I 電流、直流、電気メッキ電流
Claims (10)
- たとえば、グローバルな電解セル(11)をともに形成する、グローバルカソード(12)およびグローバルな溶解性または非溶解性のアノード(7)などの、処理面(3)上の少なくとも1つの電気的な伝導性の層と、
材料(1)の端部領域での電気的接点(10)とを備え、
殊に、カッププレーターまたは同様の電解処理容器中のウエハなどの基板の電気メッキまたはエッチングのための、前記材料(1)の電気化学的な処理のための方法であって、
部分的な電極(7’、7”)および部分的な反対カソード(12’、12”)から構成される、少なくとも2つの直径方向に配置された対の部分的な電解セル(11’、11”)が、前記処理容器中で形成され、それらのそれぞれが、調節可能な電流源(9’、9”)から電解電流(I)を給電され、
それぞれの電流(I)は、前記材料に前記端部部分から給電され、そしてそれは、前記材料上に前記それぞれの部分的なセル(11’、11”)に対向して直径方向に配置される、方法。 - カソード電流(I)の電気メッキおよびアノード電流(I)の電解エッチングでは、前記材料は、前記それぞれの部分的なセル(11’、11”)に対して対向して直径方向に配置された接触領域(10’、10”)を介して、給電されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記部分的な電解セル(11’および11”)は、異なる密度の電流(I)を用いて、同時に、またはほぼ同時に、対として交互に給電されることを特徴とする、請求項1または2のいずれか一項に記載の方法。
- 1ミリ秒の時間範囲内の前記異なる電流(I)の交互給電は、全露光時間の半分までの間、達成されることを特徴とする、請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記交互にスイッチングされる電源(9’、9”)からの、中心における前記材料の電気化学的処理が、好ましい処理であることを特徴とする、請求項1から4のいずれか一項に記載の方法。
- 端部の電気メッキを優先として、それによって前記部分的な電解セル(11’および11”)が、直列抵抗を備えたまたは備えていないスイッチ接点(16’、16”)により互いに電気的に接続されることによって、結果として得られる好ましい中心の処理の平坦化が、達成されることを特徴とする、請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記材料(1)と前記部分的なアノード(7’、7”)または部分的なカソード(12’、12”)の間での一時的な停止を含む、回転する、または反転して枢動する線形または非線形の相対運動が、蒸着されるまたはエッチングされる金属層を平坦化することを特徴とする、請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。
- たとえば、グローバル電極セル(11)をともに形成する、グローバルカソード(12)およびグローバルな溶解性または非溶解性のアノード(7)などの、処理されることになる面(3)上の少なくとも1つの電気的な伝導性の層と、
材料(1)の端部領域での電気的接点(10)とを備え、
殊に、カッププレーターまたは同様の電解処理容器中のウエハなどの基板の電気メッキまたはエッチングのための、前記材料(1)の電気化学的処理のための装置であって、
請求項1から7に記載の前記方法を使用し、
少なくとも2つのアノード(7’、7”)を備え、それらは、互いに対向して直径方向に配置され、前記処理容器(4)中で互いから電気的に絶縁され、そして電気メッキ電流源(9’、9”)から電気メッキ電流を給電され、
前記電気メッキ電流源(9’)の正極が、前記部分的なアノード(7’)上に在り、この電気メッキ電流源(9’)の負極が、前記材料の直径方向に対向する端部上に在って、前記接点(10”)を介して接続され、さらに、
前記電気メッキ電流源(9”)の前記正極が、前記部分的なアノード(7”)上に在り、この電気メッキ電流源(9”)の前記負極が、前記材料の直径方向に対向する端部上に在って、前記接点(10”)を介して接続される、装置。 - 前記部分的な電極(7’、7”)と前記材料の間の、回転する、または反転して枢動する相対運動のために、少なくとも1つの駆動部が存在することを特徴とする、請求項8に記載の装置。
- 前記直列抵抗を備えたまたは備えていないスイッチ接点(16)は、前記制御される部分的な電極(7’、7”)と電気的に接続されることを特徴とする、請求項8および9のいずれか一項に記載の装置。
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