KR20110111237A - Repair apparatus - Google Patents

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KR20110111237A
KR20110111237A KR1020110024484A KR20110024484A KR20110111237A KR 20110111237 A KR20110111237 A KR 20110111237A KR 1020110024484 A KR1020110024484 A KR 1020110024484A KR 20110024484 A KR20110024484 A KR 20110024484A KR 20110111237 A KR20110111237 A KR 20110111237A
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KR1020110024484A
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카츠히코 기무라
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가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
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Abstract

본 발명은 패널을 그 아래쪽에서 효율적으로 리페어 처리하기 위한 것이다.
본 발명의 리페어 장치는 처리 대상 패널의 리페어 처리를 행한다. 처리 대상 패널을 반송하여 리페어 처리를 행하는 처리 컨베이어를 갖추고, 상기 처리 컨베이어가, 롤러 컨베이어부, 반입부, 리페어부, 반출부, 패널 반송 스테이지를 갖춘다. 상기 롤러 컨베이어부는, 프리 롤러를 갖추어 상기 패널 반송 스테이지에 의한 상기 패널의 반송을 보조한다. 상기 리페어부의 XY축 스테이지는, 레이저 장치의 반송 방향과 직행하는 방향의 위치 조정을 행하는 Y축 이동기구와, 상기 패널 반송 스테이지로 상기 패널의 위치 결정이 된 후에 상기 레이저 장치를 반송 방향으로 이동시켜 보조적으로 미세조정을 행하는 X축 이동기구를 갖춘다. The present invention is to efficiently repair the panel underneath.
The repair apparatus of the present invention performs a repair process on the processing target panel. The process conveyor which carries out a process target panel and performs a repair process is provided, The said process conveyor is equipped with a roller conveyor part, an import part, a repair part, a carrying out part, and a panel conveyance stage. The said roller conveyor part is equipped with the free roller, and assists conveyance of the said panel by the said panel conveyance stage. The XY-axis stage of the repair portion includes a Y-axis moving mechanism that performs position adjustment in a direction perpendicular to the conveying direction of the laser device, and moves the laser device in the conveying direction after positioning the panel by the panel conveying stage. It is equipped with the X-axis moving mechanism which performs subsidiary fine adjustment.

Figure P1020110024484
Figure P1020110024484

Description

리페어 장치{Repair Apparatus}Repair Device {Repair Apparatus}

본 발명은, 액정 패널 등의 리페어를 행하는 리페어 장치에 관한 것이다.
TECHNICAL FIELD This invention relates to the repair apparatus which performs repairs, such as a liquid crystal panel.

액정 패널은, 일반적으로, 전극에 배선을 통해 각각 접속된 복수의 박막 트랜지스터 측의 기판과, 칼라 필터와 같은 광 필터 측의 기판과의 사이에, 액정 층을 배치하여 구성되어 있다. 이와 같은 표시용 패널은, 제조 과정에서 점등 검사가 행해진다. 점등 검사 결과, 불량품으로 된 패널 중, 수정 가능한 것은 리페어 처리가 실시된다. 이와 같은 수정을 행하는 장치로는, 예를 들어 특허 문헌 1의 표시용 패널의 처리장치가 있다.Generally, a liquid crystal panel is comprised by arrange | positioning a liquid crystal layer between the board | substrate of the some thin film transistor side connected to the electrode via wiring, and the board | substrate of the optical filter side like a color filter. In such a display panel, a lighting test is performed in the manufacturing process. As a result of lighting inspection, the repair process is performed for the panel which became a defective product which can be corrected. As an apparatus for performing such correction, there is a processing apparatus for a display panel of Patent Document 1, for example.

상기 표시용 패널의 처리장치는, 표시용 패널을 그 박막 트랜지스터 및 배선이 광 필터보다 아래쪽이 되는 상태에서 공동으로 받는 복수의 패널 받침과, 적어도 2개의 패널 받침에 각각 대응하여 갖춰진 적어도 2개의 프로브 블록으로서 표시용 패널의 전극의 위쪽에 접촉자를 누를 수 있는 프로브 블록과, 표시용 패널의 피처리 부분에 조명용 광선을 위쪽에서 조사(照射)하는 백라이트와, 표시용 패널의 아래쪽에 배치된 처리 유닛을 포함하여 구성되어 있다. 처리 유닛은, 피처리 부분에 처리용 레이저 광선을 아래쪽에서 조사(照射)하는 레이저 발생기와, 피처리 부분을 아래쪽에서 촬영하는 비디오 카메라를 포함하여 구성되어 있다. 이에 의해, 표시용 패널의 상하를 반대로 하지 않고, 수정을 할 수 있게 된다.
The apparatus for processing a display panel includes a plurality of panel supports which receive the display panel jointly in a state where the thin film transistor and the wiring are lower than the optical filter, and at least two probes respectively provided corresponding to the at least two panel supports. A probe block capable of pressing a contactor on the upper side of the electrode of the display panel as a block, a backlight for irradiating a light beam from above on the to-be-processed portion of the display panel, and a processing unit disposed below the display panel It is configured to include. The processing unit is configured to include a laser generator for irradiating a laser beam for processing to a portion to be processed from below and a video camera for photographing the portion to be processed from below. Thereby, the correction can be performed without inverting the top and bottom of the display panel.

특허문헌 1: 일본 공개특허 특개2005-227652호 공보Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2005-227652

상술한 처리장치에서는, 외부에서 반입된 표시용 패널을 패널 받침으로 받아서 처리를 시행하고, 처리가 종료된 표시용 패널을 외부로 반출하여, 새로운 표시용 패널을 반입하고 상술한 처리를 반복하여, 복수의 표시용 패널의 수정이 행해진다.In the above-mentioned processing apparatus, the display panel carried in from the outside is received by the panel support, the processing is performed, the display panel after the processing is finished to the outside, the new display panel is brought in and the above-described processing is repeated, Correction of a plurality of display panels is performed.

상기 처리장치에 의해, 표시용 패널을 그 아래쪽에서 효율적으로 수정할 수 있지만, 표시용 패널의 매수가 많아지면, 표시용 패널의 반입, 위치 결정, 수정 처리, 반출의 일련의 동작에 시간이 걸려, 매수가 많은 표시용 패널을 연속적으로 처리하는 데에는 적합하지 않다.By the above processing apparatus, the display panel can be efficiently modified under the display panel. However, when the number of display panels increases, it takes time for a series of operations of importing, positioning, correcting and exporting the display panel. It is not suitable for continuously processing a large number of display panels.

본 발명은, 패널을 연속적이고 효율적으로 리페어할 수 있는 리페어 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
An object of this invention is to provide the repair apparatus which can repair a panel continuously and efficiently.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 처리 대상 패널의 리페어 처리를 행하는 리페어 장치로서, 처리 대상 패널을 반송하여 리페어 처리를 행하는 처리 컨베이어를 갖추고, 상기 처리 컨베이어가, 상기 처리 대상 패널을 슬라이드 가능하게 지지하는 롤러 컨베이어부와, 상기 롤러 컨베이어부의 상류 측에 설치되어 처리대상 패널을 외부에서 반입하는 반입부와, 상기 롤러 컨베이어부의 중앙부에 설치되어 상기 반입부에서 받은 상기 패널에 리페어 처리를 실시하는 리페어부와, 상기 롤러 컨베이어부의 하류 측에 설치되어 상기 리페어부에서 리페어 처리가 실시된 상기 패널을 외부로 반출하는 반출부와, 상기 반입부로 반입된 상기 패널의 반송 방향으로 직행하는 방향의 위치결정을 하여 상기 패널을 반송 방향의 상기 리페어부 및 상기 반출부로 반송함과 동시에 반송 방향의 위치 결정을 하는 패널 반송 스테이지를 갖추며, 상기 롤러 컨베이어부가, 구동원을 갖지 않고 상기 패널을 슬라이드 가능하게 지지하는 프리 롤러를 갖추어 구성되어 상기 패널 반송 스테이지에 의한 상기 패널의 반송을 보조하고, 상기 리페어부가, 상기 롤러 컨베이어부의 아래쪽에서 상기 패널의 결함부에 레이저 광을 조사(照射)하여 리페어를 실시하는 레이저 장치와, 상기 레이저 장치를 반송 방향과 그것에 직행하는 방향으로 이동시켜 레이저 광의 조사 위치와 상기 패널의 결함 위치를 맞추는 XY축 스테이지를 갖추고, 상기 XY축 스테이지가, 상기 레이저 장치의 반송 방향과 직행하는 방향의 위치 조정을 행하는 Y축 이동기구와, 상기 패널 반송 스테이지에서 상기 패널의 위치 결정이 된 후에 상기 레이저 장치를 반송 방향으로 이동시켜 보조적으로 레이저 광의 조사 위치와 결함 위치와의 미세 조정을 행하는 X축 이동기구를 갖춘 것을 특징으로 한다.
The present invention for solving the above problems is a repair apparatus for performing a repair process of a process target panel, comprising a process conveyor for carrying a repair process by transporting a process target panel, wherein the process conveyor is capable of sliding the process target panel. Repair to support the roller conveyor unit, an upstream part provided upstream of the roller conveyor part to carry in a panel to be processed from the outside, and a panel installed at the center of the roller conveyor part to perform the repair process on the panel received from the carry-in part. And a carrying-out portion which is provided on the downstream side of the roller conveyor portion to carry out the repaired panel from the repair portion to the outside, and positioning in a direction going straight in the conveying direction of the panel carried into the carrying-in portion. The panel to the repair section and the carry-out section in the conveying direction. A panel conveyance stage for positioning the conveyance direction at the same time as the conveyance is provided, and the roller conveyor section is provided with a free roller which slidably supports the panel without having a driving source, thereby conveying the panel by the panel conveyance stage. And a repairing apparatus, wherein the repair unit irradiates laser light to a defective part of the panel from below the roller conveyor unit to perform repair, and moves the laser apparatus in a conveying direction and a direction perpendicular thereto. A Y-axis moving mechanism having an XY axis stage for matching the irradiation position of the light with the defect position of the panel, wherein the XY axis stage performs position adjustment in a direction which is directly parallel to the conveying direction of the laser device, and in the panel conveying stage, After the panel has been positioned, cut the laser unit. Characterized in that by moving in the direction as adjuvant with an X axis moving mechanism for performing fine adjustment of the laser light irradiation position and the fault location.

처리 대상 패널에 그 아래쪽에서 레이저 광을 조사하여 효율적으로 리페어 처리를 행할 수 있다.
The repair process can be performed efficiently by irradiating a laser beam from the lower part to a process target panel.

도1은 본 발명의 실시형태에 따른 리페어 장치를 나타낸 사시도이다.
도2는 본 발명의 실시형태에 따른 리페어 장치의 처리 컨베이어를 나타낸 사시도이다.
도3은 본 발명의 실시형태에 따른 리페어 장치의 처리 컨베이어를 나타낸 분해 사시도이다.
도4는 본 발명의 실시형태에 따른 리페어 장치의 리프터부 및 X축 얼라인먼트 기구를 나타낸 평면도이다.
도5는 본 발명의 실시형태에 따른 리페어 장치의 리프터부 및 X축 얼라인먼트 기구를 나타낸 측면도이다.
도6은 본 발명의 실시형태에 따른 리페어 장치의 반입부를 나타낸 평면도이다.
도7은 본 발명의 실시형태에 따른 리페어 장치의 반입부를 나타낸 측면도이다.
도8은 본 발명의 실시형태에 따른 리페어 장치의 레이저 장치를 나타낸 정면도이다.
도9는 본 발명의 실시형태에 따른 리페어 장치의 레이저 장치를 나타낸 측면도이다.
도10은 본 발명의 실시형태에 따른 리페어 장치의 반송 컨베이어의 롤러 컨베이어부를 나타낸 사시도이다.
도11은 본 발명의 실시형태에 따른 리페어 장치를 나타낸 측면도이다.
도12는 본 발명의 실시형태에 따른 리페어 장치를 나타낸 평면도이다.
도13은 본 발명의 실시형태에 따른 리페어 장치의 제어부에서의 처리를 나타낸 플로우 차트이다.
도14는 본 발명의 변형예를 나타낸 측면도이다. 1 is a perspective view showing a repair apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view showing a processing conveyor of the repair apparatus according to the embodiment of the present invention.
3 is an exploded perspective view showing the processing conveyor of the repair apparatus according to the embodiment of the present invention.
4 is a plan view showing a lifter portion and an X-axis alignment mechanism of the repair apparatus according to the embodiment of the present invention.
5 is a side view showing a lifter portion and an X-axis alignment mechanism of the repair apparatus according to the embodiment of the present invention.
6 is a plan view showing a carry-in portion of the repair apparatus according to the embodiment of the present invention.
Fig. 7 is a side view showing a carrying in portion of the repair apparatus according to the embodiment of the present invention.
8 is a front view showing the laser device of the repair apparatus according to the embodiment of the present invention.
9 is a side view showing a laser device of the repair apparatus according to the embodiment of the present invention.
Fig. 10 is a perspective view showing the roller conveyor section of the transport conveyor of the repair apparatus according to the embodiment of the present invention.
11 is a side view showing the repair apparatus according to the embodiment of the present invention.
12 is a plan view of a repair apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 13 is a flowchart showing processing in the control unit of the repair apparatus according to the embodiment of the present invention.
14 is a side view showing a modification of the present invention.

이하, 본 발명의 실시 형태에 따른 리페어 장치에 대해 첨부 도면을 참조하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the repair apparatus which concerns on embodiment of this invention is demonstrated with reference to an accompanying drawing.

본 실시 형태의 리페어 장치는, 롤러 컨베이어의 아래쪽에서, 각 롤러의 사이에 레이저 조사구를 설치하여, 롤러 컨베이어 위의 패널에 그 아래쪽에서 레이저를 조사(照射)하여 결함 등을 리페어하는 장치이다. 이 리페어 장치로 처리하는 대상물은, 레이저광으로 결함을 제거할 수 있는 액정 패널의 셀 기판 등이다.In the repair apparatus of the present embodiment, a laser irradiation port is provided between the rollers under the roller conveyor, and the laser beam is irradiated to the panel on the roller conveyor below to repair defects or the like. The object processed by this repair apparatus is a cell board | substrate etc. of the liquid crystal panel which can remove a defect with a laser beam.

도1에 나타낸 리페어 장치(1)는, 롤러 컨베이어를 2단으로 쌓아 올려 구성되어 있다. 구체적으로 리페어 장치(1)는, 하단의 처리 컨베이어(2)와, 상단의 반송 컨베이어(3)로 구성되어 있다. 하단의 처리 컨베이어(2)는, 처리 대상인 패널(4)(도6 참조)의 리페어 처리를 행하는 장치이며, 상단의 반송 컨베이어(3)는, 리페어 처리 후의 패널(4)을 받아 외부로 반송하기 위한 장치이다.The repair apparatus 1 shown in FIG. 1 is constructed by stacking roller conveyors in two stages. Specifically, the repair apparatus 1 is comprised by the process conveyor 2 of the lower end, and the conveyance conveyor 3 of the upper end. The lower process conveyor 2 is an apparatus which performs the repair process of the panel 4 (refer FIG. 6) which is a process object, and the conveyance conveyor 3 of the upper end receives the panel 4 after a repair process, and conveys it to the outside. It is a device for.

처리 컨베이어(2)는, 도1, 2에 나타나 있듯이, 하우징(6), 롤러 컨베이어부(7), 반입부(8), 리페어부(9), 반출부(10), 패널 반송 스테이지(11)로 구성되어 있다. As shown in FIGS. 1 and 2, the processing conveyor 2 includes a housing 6, a roller conveyor 7, a carrying in 8, a repair 9, a carrying out 10, and a panel conveying stage 11. It consists of).

하우징(6)은, 프레임(13)과 외측(外側) 판(도시하지 않음)으로 구성되어 있다. 프레임(13)은, 롤러 컨베이어부(7) 등을 수납하여 지지하기 위한 골조이다. 프레임(13)은, 제관(製管) 용접 구조에 의해 구성되어 있다. 외측 판은, 프레임(13)을 덮는 판재이다. 외측 판은, 스테인리스 판 등으로 구성된다. 하우징(6)의 상류측 단부(端部)(도1 중의 좌측 단부)에는, 패널(4)을 반입하기 위한 패널 반입구(도시하지 않음)가 반입부(8)에 면하여 설치된다. 패널 반입구에는 셔터(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 레이저 조사 중에는, 셔터가 닫혀, 레이저 광이 외부로 새는 것을 방지하고 있다. 셔터의 개폐문(도시하지 않음)에는 인터록 스위치가 설치되어 있다. The housing 6 is comprised from the frame 13 and an outer board (not shown). The frame 13 is a frame for accommodating and supporting the roller conveyor 7 and the like. The frame 13 is comprised by the steel pipe welding structure. The outer plate is a plate that covers the frame 13. The outer plate is made of a stainless steel plate or the like. At an upstream end (left end in FIG. 1) of the housing 6, a panel carrying inlet (not shown) for carrying in the panel 4 is provided facing the carrying section 8. A shutter (not shown) is provided at the panel entrance. During laser irradiation, the shutter is closed to prevent the laser light from leaking to the outside. An interlock switch is provided in the opening / closing door (not shown) of the shutter.

롤러 컨베이어부(7)는, 패널(4)을 슬라이드 가능하게 지지함과 동시에, 패널 반송 스테이지(11)에서의 패널(4)의 반송을 보조하기 위한 컨베이어이다. 롤러 컨베이어부(7)는, 도2, 3에 나타나 있듯이, 구동원을 갖지 않는 프리 롤러(7A)를 갖추어 구성되고, 패널(4)을 수평으로 유지한 상태로 슬라이드 가능하게 지지한다. 이에 의해, 롤러 컨베이어부(7)는, 패널 반송 스테이지(11)가 패널(4)을 지지하여 이동시킬 때에, 패널(4)을 수평으로 유지하여 낙하를 방지한 상태로, 패널 반송 스테이지(11)에 의한 패널(4)의 정확한 이동을 보조하도록 되어 있다. 즉, 롤러 컨베이어부(7)가 패널 반송 스테이지(11)를 보조함으로써, 패널 반송 스테이지(11)가, 패널(4)을 휘지 않고 가벼운 힘으로 정확하게 이동시킬 수 있도록 되어 있다. The roller conveyor 7 is a conveyor for slidably supporting the panel 4 and assisting the conveyance of the panel 4 in the panel conveyance stage 11. As shown in Figs. 2 and 3, the roller conveyor portion 7 is provided with a free roller 7A having no driving source, and is slidably supported while the panel 4 is kept horizontal. Thereby, when the panel conveyance stage 11 supports and moves the panel 4, the roller conveyor part 7 keeps the panel 4 horizontal and prevents falling, and the panel conveyance stage 11 It is intended to assist the accurate movement of the panel 4 by). That is, since the roller conveyor 7 assists the panel conveyance stage 11, the panel conveyance stage 11 can move the panel 4 accurately with light force, without bending.

반입부(8)는, 패널(4)을 외부에서 반입하는 부분이다. 반입부(8)는, 롤러 컨베이어부(7)의 상류측 부분(도1 중의 좌측이며, 전체 길이의 1/3 정도를 차지하는 부분)에 설치되어 있다. 반입부(8)는, 반입 롤러부(15), 리프터부(16), X축 얼라인먼트 기구(17), ID 리더(18)로 구성되어 있다. The carry-in part 8 is a part which carries in the panel 4 from the exterior. The carrying-in part 8 is provided in the upstream part of the roller conveyor part 7 (it is the left side in FIG. 1, and occupies about 1/3 of the total length). The carry-in part 8 is comprised by the carry-in roller part 15, the lifter part 16, the X-axis alignment mechanism 17, and the ID reader 18. As shown in FIG.

반입 롤러부(15)는, 외부에서 반입되는 패널(4)을 받아 위치 결정을 조정하는 부분이다. 반입 롤러부(15)는, 롤러 컨베이어부(7)의 상류측 부분에, 롤러 컨베이어부(7)의 일부로서 구성되어 있다. 반입 롤러부(15)는 구체적으로, 거의 C자형의 스테이(stay)(19)에 의해 프리 롤러(7A)를 두 개로 분할하여 구성되어 있다. 이에 의해, 중앙에 조정용 슬릿(20)이 형성되어 있다. 이 조정용 슬릿(20)은, X축 얼라인먼트 기구(17)가 장착되는 슬릿이다.The carrying-in roller part 15 is a part which receives the panel 4 carried in from the outside, and adjusts positioning. The carrying-in roller part 15 is comprised as a part of the roller conveyor part 7 in the upstream part of the roller conveyor part 7. Specifically, the carrying-in roller part 15 is comprised by the substantially C-shaped stay 19 divided | segmenting the free roller 7A into two. Thereby, the adjustment slit 20 is formed in the center. This slit 20 for adjustment is a slit to which the X-axis alignment mechanism 17 is mounted.

리프터부(16)는, 외부에서 반입되는 패널(4)을 받아 반입 롤러부(15)에 놓기 위한 장치이다. 리프터부(16)는, 도3∼7에 나타나 있듯이, 지지핀부(22), 승강판(23), 승강기(24)로 구성되어 있다. The lifter portion 16 is a device for receiving the panel 4 carried in from the outside and placing it on the carry-in roller portion 15. The lifter part 16 is comprised from the support pin part 22, the elevating plate 23, and the elevator 24, as shown to FIGS.

지지핀부(22)는, 지지핀(25), 연결판(26), 슬라이더(27)로 구성되어 있다. 지지핀(25)은, 수직으로 3개가 병렬로 배설(配設)되어 있다. 연결판(26)은, 3개의 지지핀(25)을 일체로 지지하기 위한 판재이다. 연결판(26)은, 3개의 지지핀(25)을 일체로 지지하여, 승강되도록 되어 있다. 슬라이더(27)는, 3개의 지지핀(25)을 Y축 방향(롤러 컨베이어부(7)의 길이 방향과 직교하는 방향, 패널(4)의 반송 방향으로 직행하는 방향)으로 이동시키기 위한 부재이다. 슬라이더(27)는, 연결판(26)의 아래쪽 면에 설치되어, Y축 방향으로 배설된 후술하는 가이드 레일(29)에 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 지지핀부(22)는, Y축 방향으로 2개 설치되어, 6개의 지지핀(25)으로 패널(4)을 지지하도록 되어 있다. 지지핀(25)의 상단부에는, 패널(4)을 받아 지지하는 패널 받침(28)이 설치되어 있다. 패널 받침(28)은, 탄성 부재로 구성되어, 패널(4)을 손상 입히지 않고 지지하도록 되어 있다. 슬라이더(27)는, 임의 위치에 고정할 수 있도록 되어 있다. The support pin part 22 is comprised from the support pin 25, the connection plate 26, and the slider 27. As shown in FIG. Three support pins 25 are arranged in parallel in the vertical direction. The connecting plate 26 is a plate material for integrally supporting the three support pins 25. The connecting plate 26 supports three support pins 25 integrally, and is moved up and down. The slider 27 is a member for moving the three support pins 25 in the Y-axis direction (the direction orthogonal to the longitudinal direction of the roller conveyor unit 7 and the direction going straight to the conveyance direction of the panel 4). . The slider 27 is provided on the lower surface of the connecting plate 26 and is slidably supported by a guide rail 29 to be described later disposed in the Y-axis direction. Two support pin parts 22 are provided in the Y-axis direction, and six support pins 25 support the panel 4. The panel support 28 which receives and supports the panel 4 is provided in the upper end part of the support pin 25. As shown in FIG. The panel support 28 is comprised with an elastic member, and is to support the panel 4 without damaging. The slider 27 can be fixed to an arbitrary position.

이에 의해, 각 슬라이더(27)는, 패널(4)의 크기에 맞춰서 슬라이드 되어 고정되어 있다. As a result, the sliders 27 slide to fit the size of the panel 4 and are fixed.

승강판(23)은, 지지핀부(22)를 지지하여 승강하기 위한 판재이다. 승강판(23)의 위쪽 면에는 가이드 레일(29)이 설치되어 있다. 상기 가이드 레일(29)은, Y축 방향으로 4개가 배설되어 있다. 각 가이드 레일(29)에 지지핀부(22)의 슬라이더(27)가 슬라이드 가능하게 끼워져, 지지핀부(22)를 Y축 방향으로 슬라이드 가능하게 지지하고 있다. 승강판(23)은, Y축 방향으로 긴 장방형 판상으로 형성되어 있다. The lifting plate 23 is a plate for supporting and lifting the support pin portion 22. The guide rail 29 is provided in the upper surface of the lifting plate 23. Four said guide rails 29 are arranged in the Y-axis direction. The slider 27 of the support pin part 22 is slidably fitted to each guide rail 29, and the support pin part 22 is slidably supported in the Y-axis direction. The lifting plate 23 is formed in a rectangular plate shape that is long in the Y-axis direction.

승강기(24)는, 승강판(23)을 지지하고, 상기 승강판(23)을 통하여 지지핀부(22)를 승강시키기 위한 장치이다. 구체적으로 승강기(24)는, 외부에서 패널(4)이 반입될 때에 지지핀부(22)를, 롤러 컨베이어부(7)의 프리 롤러(7A)의 사이로부터 상승시켜 패널(4)을 받고, 하강시켜 패널(4)을 반입 롤러부(15)에 놓기 위한 장치이다. The elevator 24 is a device for supporting the elevating plate 23 and elevating the support pin portion 22 via the elevating plate 23. Specifically, the elevator 24 receives the panel 4 by raising the support pin portion 22 from between the free rollers 7A of the roller conveyor portion 7 when the panel 4 is loaded from the outside. It is a device for placing the panel 4 in the loading roller 15.

승강기(24)는, 지지판(31), 가이드봉(32), 승강 실린더(33), 승강 지지판(34), 지주(35)로 구성되어 있다. The elevator 24 is composed of a support plate 31, a guide rod 32, a lift cylinder 33, a lift support plate 34, and a support 35.

지지판(31)은, 승강판(23)을 직접 지지하기 위한 판재이다. 지지판(31)은 승강판(23)에 일체로 고정되어 있다. 가이드봉(32)은, 지지판(31)의 승강을 안내하기 위한 봉재(棒材)이다. 가이드봉(32)은, 지지판(31)의 아래쪽에 일체로 설치되고, 수직방향으로 배설되어 있다. 가이드봉(32)은, 지지판(31)의 아래쪽의 적어도 4개소에 설치되어, 지지판(31)을 안정하게 승강시키도록 안내한다. 승강 실린더(33)는, 가이드봉(32)으로 지지된 지지판(31) 및 승강판(23)을 통하여 지지핀부(22)를 승강시키기 위한 장치이다. 승강 실린더(33)의 승강축(33A)이 지지판(31)에 고정되어 있다. 승강 실린더(33)는, 낙하 방지 브레이크 부착 에어 실린더로 구성되고, 후술하는 제어부(111)로 제어되고 있다. 승강 지지판(34)은, 승강 실린더(33)를 고정하여 지지함과 동시에, 가이드봉(32)을 승강 가능하게 지지하기 위한 판재이다. 승강 지지판(34)은, 지주(35)로 지지되어, 프레임(13)에 고정되어 있다. The support plate 31 is a plate material for directly supporting the lifting plate 23. The support plate 31 is fixed to the lifting plate 23 integrally. The guide rod 32 is a rod for guiding the lifting and lowering of the support plate 31. The guide rod 32 is integrally provided below the support plate 31, and is arrange | positioned in the vertical direction. The guide rod 32 is provided in at least four places below the support plate 31, and guides it so that the support plate 31 can be raised and lowered stably. The lifting cylinder 33 is an apparatus for raising and lowering the support pin part 22 via the support plate 31 and the lifting plate 23 supported by the guide rod 32. The lifting shaft 33A of the lifting cylinder 33 is fixed to the support plate 31. The lifting cylinder 33 is comprised by the air cylinder with a fall prevention brake, and is controlled by the control part 111 mentioned later. The lifting support plate 34 is a plate material for fixing and supporting the lifting cylinder 33 and supporting the guide rod 32 so that the lifting and lowering is possible. The lifting support plate 34 is supported by the support 35 and fixed to the frame 13.

X축 얼라인먼트 기구(17)는, 반입 롤러부(15)에 반입된 패널(4)의 X축 방향(반송방향)의 위치를 조정하기 위한 기구이다. X축 얼라인먼트 기구(17)는, 지지판(37), 제1 패널 클램프(38), 제2 패널 클램프(39)로 구성되어 있다. 지지판(37)은, 제1 패널 클램프(38) 및 제2 패널 클램프(39)를 지지하기 위한 판재이다. 지지판(37)은, X축 방향(롤러 컨베이어부(7)의 길이 방향)으로 긴 장방형 판상으로 형성되어 있다. 지지판(37)의 위쪽 면에는, X축 방향으로 직렬로 2개의 가이드 레일(41)이 설치되어 있다. The X-axis alignment mechanism 17 is a mechanism for adjusting the position in the X-axis direction (transfer direction) of the panel 4 carried in to the carrying-in roller part 15. The X-axis alignment mechanism 17 is composed of the support plate 37, the first panel clamp 38, and the second panel clamp 39. The support plate 37 is a plate material for supporting the first panel clamp 38 and the second panel clamp 39. The support plate 37 is formed in the long rectangular plate shape in the X-axis direction (the longitudinal direction of the roller conveyor part 7). Two guide rails 41 are provided on the upper surface of the support plate 37 in series in the X-axis direction.

제1 패널 클램프(38)는, 패널(4)의 X축 방향 한쪽(도4 중의 왼쪽) 가장자리에 접하여 지지하기 위한 부재이다. 제1 패널 클램프(38)는, 접촉부(42), 지주(43), 슬라이더(44)로 구성되어 있다. 접촉부(42)는, 패널(4)의 가장자리에 직접 접하는 부재이다. 접촉부(42)는, 탄성 부재로 구성되어 있다. 지주(43)는, 접촉부(42)를 일체로 지지하여 패널(4)의 가장자리에 접촉시키기 위한 부재이다. 슬라이더(44)는, 지주(43)를 통하여 접촉부(42)를 X축 방향으로 슬라이드시키기 위한 부재이다. 슬라이더(44)는, 지주(43)에 일체로 연결되어, 가이드 레일(41)에 슬라이드 가능하게 끼워져(결합되어) 있다. The first panel clamp 38 is a member for supporting the panel 4 in contact with one edge of the panel 4 in the X-axis direction (left side in FIG. 4). The 1st panel clamp 38 is comprised from the contact part 42, the support | pillar 43, and the slider 44. As shown in FIG. The contact portion 42 is a member directly in contact with the edge of the panel 4. The contact part 42 is comprised with the elastic member. The strut 43 is a member for supporting the contact portion 42 integrally and contacting the edge of the panel 4. The slider 44 is a member for sliding the contact portion 42 in the X-axis direction through the strut 43. The slider 44 is integrally connected to the strut 43, and is slidably fitted (coupled) to the guide rail 41.

제2 패널 클램프(39)는, 패널(4)의 X축 방향 다른쪽 가장자리에 접하여 지지하기 위한 부재이다. 제2 패널 클램프(39)는, 접촉부(46), 지주(47), 슬라이더(48)로 구성되어 있다. 접촉부(46)는, 패널(4)의 가장자리에 직접 접하는 부재이다. 접촉부(46)는 탄성 부재로 구성되고, 2개 설치되어 있다. 지주(47)는, 접촉부(46)를 일체로 지지하여 패널(4)의 가장자리에 접촉시키기 위한 부재이다. 슬라이더(48)는, 지주(47)를 통하여 접촉부(46)를 X축 방향으로 슬라이드시키기 위한 부재이다. 슬라이더(48)는, 지주(47)에 일체로 연결되어, 가이드 레일(41)에 슬라이드 가능하게 끼워져(결합되어) 있다. The second panel clamp 39 is a member for contacting and supporting the other edge in the X-axis direction of the panel 4. The 2nd panel clamp 39 is comprised from the contact part 46, the support | pillar 47, and the slider 48. As shown in FIG. The contact portion 46 is a member directly in contact with the edge of the panel 4. The contact part 46 is comprised from the elastic member, and is provided in two. The strut 47 is a member for supporting the contact portion 46 integrally and contacting the edge of the panel 4. The slider 48 is a member for sliding the contact portion 46 in the X-axis direction through the strut 47. The slider 48 is integrally connected to the strut 47, and is slidably fitted (coupled) to the guide rail 41.

가이드 레일(41)과 슬라이더(44, 48) 사이에는 직동(直動) 기구 등의 구동원(도시하지 않음)이 설치되고, 제어부(111)로 제어되고 있다. 이에 의해, 슬라이더(44, 48)를 X축 방향으로, 연동(連動)하여 서로 근접 이간시키거나, 개별로 옮겨, 패널(4)의 X축 방향의 위치 결정을 하도록 되어 있다. A drive source (not shown) such as a linear motion mechanism is provided between the guide rail 41 and the sliders 44 and 48, and is controlled by the control unit 111. As a result, the sliders 44 and 48 are interlocked in the X-axis direction so as to be spaced apart from each other, or individually moved to position the panel 4 in the X-axis direction.

ID 리더(18)는, 패널(4)의 ID를 읽어 들이기 위한 장치이다. 상기 ID 리더(18)는 카메라(18A)를 갖고, 그 카메라(18A)로 읽어들인 ID를 근거로, 제어부(111)에서 패널(4)의 결함 정보를 CIM으로부터 입수하도록 되어 있다. 이 결함 정보에 근거하여 패널 반송 스테이지(11) 등이 제어되도록 되어 있다.The ID reader 18 is a device for reading the ID of the panel 4. The ID reader 18 has a camera 18A, and the control unit 111 obtains defect information of the panel 4 from the CIM based on the ID read into the camera 18A. The panel conveyance stage 11 etc. are controlled based on this defect information.

ID 리더(18)는, XYZ축 스테이지(50)에 지지되어 있다. XYZ축 스테이지(50)는, ID 리더(18)를 XYZ축 방향으로 이동 가능하게 지지하고 있다. 구체적으로 XYZ축 스테이지(50)는, 패널(4)의 Y축 방향으로 전체 영역과 X축 방향의 반 정도를 커버할 수 있는 스트로크로, ID 리더(18)를 이동 가능하게 지지하고 있다. 또한, Z축 방향은, ID 리더(18)의 높이를 미세조정하는 범위에서, ID 리더(18)를 이동 가능하게 지지하고 있다. The ID reader 18 is supported by the XYZ axis stage 50. The XYZ axis stage 50 supports the ID reader 18 to be movable in the XYZ axis direction. Specifically, the XYZ axis stage 50 supports the ID reader 18 so as to be movable by a stroke capable of covering the entire area and about half of the X axis direction in the Y axis direction of the panel 4. In the Z-axis direction, the ID reader 18 is movably supported in a range in which the height of the ID reader 18 is finely adjusted.

XYZ축 스테이지(50)는, 도2, 3에 나타나 있듯이, Y축 이동기구(51), X축 이동기구(52), Z축 이동기구(도시하지 않음)로 구성되어 있다. Y축 이동기구(51)는, ID 리더(18)를 Y축 방향으로 이동 가능하게 지지하는 장치이다. Y축 이동기구(51)는, 레일봉(53)과 슬라이더(54)로 구성되어 있다. 레일봉(53)은, 가이드 레일(53A)을 일체로 갖춘 부재이다. 슬라이더(54)는, ID 리더(18)를 지지하여, Y축 방향으로 이동시키기 위한 부재이다. 슬라이더(54)는, ID 리더(18)를 고정 지지한 상태로, 레일봉(53)의 가이드 레일(53A)에 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. As shown in Figs. 2 and 3, the XYZ axis stage 50 is composed of a Y axis moving mechanism 51, an X axis moving mechanism 52, and a Z axis moving mechanism (not shown). The Y-axis moving mechanism 51 is a device that supports the ID reader 18 to be movable in the Y-axis direction. The Y-axis moving mechanism 51 is composed of a rail rod 53 and a slider 54. The rail rod 53 is a member provided with 53 A of guide rails integrally. The slider 54 is a member for supporting the ID reader 18 and moving it in the Y-axis direction. The slider 54 is slidably supported by the guide rail 53A of the rail rod 53 in a state where the ID reader 18 is fixedly supported.

가이드 레일(53A)과 슬라이더(54) 사이에는 직동 기구 등의 구동원(도시하지 않음)이 설치되어, 제어부(111)로 제어되고 있다. 이에 의해, ID 리더(18)의 Y축 방향의 위치 결정을 하도록 되어 있다.A drive source (not shown) such as a linear motion mechanism is provided between the guide rail 53A and the slider 54 and controlled by the control unit 111. As a result, the positioning of the ID reader 18 in the Y-axis direction is performed.

X축 이동기구(52)는, Y축 이동기구(51)를 넣어 ID 리더(18)를 X축 방향으로 이동 가능하게 지지하는 장치이다. X축 이동기구(52)는, 가이드 레일(55)과 슬라이더(56)로 구성되어 있다. 가이드 레일(55)은, X축 방향으로 배설되어 있다. 구체적으로 가이드 레일(55)은, X축 방향으로 배설된 지지봉(57)에 일체로 설치됨으로써, X축 방향으로 배설되어 있다. 지지봉(57)은, X축 방향으로 향한 상태로, 하우징(6)의 프레임(13)에 고정되어 있다.The X-axis moving mechanism 52 is a device which puts the Y-axis moving mechanism 51 and supports the ID reader 18 so that a movement to an X-axis direction is possible. The X axis moving mechanism 52 is composed of a guide rail 55 and a slider 56. The guide rail 55 is arrange | positioned in the X-axis direction. Specifically, the guide rail 55 is provided in the X-axis direction by being integrally provided with the supporting rod 57 arranged in the X-axis direction. The supporting rod 57 is fixed to the frame 13 of the housing 6 in a state facing the X axis direction.

슬라이더(56)는, Y축 이동기구(51)의 레일봉(53)을 일체로 지지하여 X축 방향으로 이동시키기 위한 부재이다. 슬라이더(56)는, 레일봉(53)을 고정 지지한 상태로, 가이드 레일(55)에 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. The slider 56 is a member for integrally supporting the rail rod 53 of the Y-axis moving mechanism 51 to move in the X-axis direction. The slider 56 is slidably supported by the guide rail 55 in the state which fixedly supported the rail rod 53.

가이드 레일(55)과 슬라이더(56) 사이에는 직동 기구 등의 구동원(도시하지 않음)이 설치되어, 제어부(111)로 제어되고 있다. 이에 의해, ID 리더(18)의 X축 방향의 위치 결정을 행하도록 되어 있다.A driving source (not shown) such as a linear motion mechanism is provided between the guide rail 55 and the slider 56 and controlled by the control unit 111. Thereby, positioning of the ID reader 18 in the X-axis direction is performed.

Z축 이동기구는, 상술한 Y축 이동기구(51) 및 X축 이동기구(52)와 동일한 가이드 레일(도시하지 않음)과 슬라이더(도시하지 않음)로 구성되어 있다. 이들이 Z축 방향으로 설치되어, 제어부(111)로 제어되고, ID 리더(18)의 Z축 방향의 위치를 조정하도록 되어 있다. The Z-axis moving mechanism is composed of the same guide rails (not shown) and sliders (not shown) similar to the above-described Y-axis moving mechanism 51 and the X-axis moving mechanism 52. These are provided in the Z-axis direction, controlled by the control unit 111, so as to adjust the position of the ID reader 18 in the Z-axis direction.

리페어부(9)는, 반입부(8)에서 받은 패널(4)에 리페어 처리를 실시하기 위한 장치이다. The repair section 9 is a device for performing a repair process on the panel 4 received from the carrying section 8.

즉, 리페어부(9)는, 롤러 컨베이어부(7)의 아래쪽에 위치하여 이 롤러 컨베이어의 위쪽에 놓인 패널(4)의 결함부에 레이저광을 조사하여 리페어를 실시하는 장치이다. 리페어부(9)는, 롤러 컨베이어부(7)의 중앙부에 설치되어 있다. 리페어부(9)는, 레이저 장치(60), XY축 스테이지(61), 조명 먼지 제거장치(62)로 구성되어 있다. That is, the repair part 9 is an apparatus which performs repair by irradiating a laser beam to the defect part of the panel 4 which is located below the roller conveyor part 7, and is located above the roller conveyor. The repair part 9 is provided in the center part of the roller conveyor part 7. The repair unit 9 is composed of a laser device 60, an XY axis stage 61, and an illumination dust removing device 62.

레이저 장치(60)는, 패널(4)의 결함부에, 롤러 컨베이어부(7)의 아래쪽에서 레이저광을 조사하기 위한 장치이다. 상기 레이저 장치(60)의 원리적 구성을, 도8, 9에 나타낸다. 레이저 장치(60)는, 리페어용 레이저광을 조사하는 레이저 유닛(65)과 화상 처리에 의해 레이저광의 조사 위치를 특정하는 광학계(66)로 구성되어 있다. 레이저 유닛(65)은, 레이저 발진기(67), 결상 렌즈(68), 전(全)반사 거울(69), 하프 거울(70), 대물 렌즈(71), 가이드 광원(72)으로 구성되어 있다.The laser apparatus 60 is an apparatus for irradiating a laser beam from the lower part of the roller conveyor part 7 to the defect part of the panel 4. 8 and 9 show the principle configuration of the laser device 60. The laser device 60 is comprised from the laser unit 65 which irradiates a repair laser beam, and the optical system 66 which specifies the irradiation position of a laser beam by image processing. The laser unit 65 is composed of a laser oscillator 67, an imaging lens 68, a total reflection mirror 69, a half mirror 70, an objective lens 71, and a guide light source 72. .

레이저 발진기(67)는, 패널(4)의 결함을 제거하는 리페어용 레이저광을 발생시키기 위한 장치이다. 결상 렌즈(68)는, 대물 렌즈(71)와 협동하여, 레이저 발진기(67)에서 발생한 레이저광을 패널(4)의 결함에 결상(結像)시키기 위한 렌즈이다. 전반사 거울(69)은, 레이저 발진기(67)로부터의 레이저광을 패널(4) 측으로 향하게 하기 위한 거울이다. 하프 거울(70)은, 전반사 거울(69)로부터의 레이저광을 통과시킴과 동시에 패널(4) 측으로부터의 빛을 반사시키기 위한 거울이다. 대물 렌즈(71)는, 결상 렌즈(68)와 협동하여, 레이저 발진기(67)에서 발생한 레이저광을 패널(4)의 결함에 결상시키기 위한 렌즈이다. 대물 렌즈(71)는, 레이저광을, 결함의 크기 등에 맞춰 복수개 설치되어 있다. 여기에서는, 5개의 대물 렌즈(71)가 병렬로 그리고 일체로 설치되어 있다. 대물 렌즈(71)는, 렌즈 전환 스테이지(73A)에서 최적의 대물 렌즈(71)로 전환되어, 포커스용 스테이지(73B)에서 초점이 맞추어지도록 되어 있다. 렌즈 전환 스테이지(73A) 및 포커스용 스테이지(73B)는, 스테핑 모터 등의 구동원(도시하지 않음)을 갖추고, 그 구동원이 제어부(111)로 제어되고, 결함 정보 등에 근거하여 최적의 대물 렌즈(71)로 전환되어, 초점이 맞추어지도록 되어 있다. 또한, 대물 렌즈(71)에는, 필요에 따라 먼지의 부착을 방지하는 셔터가 설치된다. The laser oscillator 67 is an apparatus for generating a repair laser light for removing defects of the panel 4. The imaging lens 68 cooperates with the objective lens 71 and is a lens for imaging the laser light generated by the laser oscillator 67 to a defect of the panel 4. The total reflection mirror 69 is a mirror for directing the laser light from the laser oscillator 67 toward the panel 4 side. The half mirror 70 is a mirror for passing the laser light from the total reflection mirror 69 and reflecting light from the panel 4 side. The objective lens 71 cooperates with the imaging lens 68 and is a lens for imaging the laser light generated by the laser oscillator 67 to a defect of the panel 4. The objective lens 71 is provided with a plurality of laser beams in accordance with the size of the defect or the like. Here, five objective lenses 71 are provided in parallel and integrally. The objective lens 71 is switched to the optimum objective lens 71 at the lens switching stage 73A, so that the focus is achieved at the focusing stage 73B. The lens switching stage 73A and the focusing stage 73B include a drive source (not shown) such as a stepping motor, the drive source of which is controlled by the control unit 111, and the optimum objective lens 71 based on defect information or the like. ), So that the focus is achieved. In addition, the objective lens 71 is provided with a shutter which prevents adhesion of dust as needed.

가이드 광원(72)은, 레이저광의 조사 위치를 정확하게 특정하기 위한 가이드 광을 발생시키는 장치이다. 가이드 광원(72)으로부터의 가이드 광은, 레이저광과 같은 경로를 따라 패널(4)의 결함에 조사되고, 그 가이드 광으로 조사 위치가 특정되어, 레이저광이 조사되도록 되어 있다.The guide light source 72 is a device that generates guide light for accurately specifying the irradiation position of the laser light. The guide light from the guide light source 72 is irradiated to a defect of the panel 4 along the same path as the laser light, the irradiation position is specified by the guide light, and the laser light is irradiated.

광학계(66)는, CCD 카메라(74), 결상 렌즈(75), 하프 거울(76), 동축 조명 광원(77), 전반사 거울(78)로 구성되어 있다. The optical system 66 is composed of a CCD camera 74, an imaging lens 75, a half mirror 76, a coaxial illumination light source 77, and a total reflection mirror 78.

CCD 카메라(74)는, 패널(4)의 결함을 촬영하기 위한 카메라이다. CCD 카메라(74)는, 제어부(111)에 접속되어, CCD 카메라(74)로부터의 화상 정보가 제어부(111)에서 처리되도록 되어 있다. 결상 렌즈(75)는, 대물 렌즈(71)와 협동하여, 패널(4)의 결함에 초점을 맞추기 위한 렌즈이다. 하프 거울(76)은, 패널(4)로부터의 빛을 통과시키고, 동축 조명 광원(77)으로부터의 빛을 반사시키기 위한 거울이다. 동축 조명 광원(77)은, 패널(4)의 결함 부분을 조명하기 위한 광원이다. 전반사 거울(78)은, 동축 조명 광원(77)으로부터의 빛을 하프 거울(76)에 반사시키기 위한 거울이다.The CCD camera 74 is a camera for photographing the defect of the panel 4. The CCD camera 74 is connected to the control unit 111 so that the image information from the CCD camera 74 is processed by the control unit 111. The imaging lens 75 is a lens for cooperating with the objective lens 71 to focus on defects of the panel 4. The half mirror 76 is a mirror for passing the light from the panel 4 and reflecting the light from the coaxial illumination light source 77. The coaxial illumination light source 77 is a light source for illuminating a defective portion of the panel 4. The total reflection mirror 78 is a mirror for reflecting light from the coaxial illumination light source 77 to the half mirror 76.

XY축 스테이지(61)는, 도3에 나타나 있듯이, 레이저 장치(60)를 X축 방향과 Y축 방향으로 이동시켜, 레이저광의 조사 위치와 패널(4)의 결함 위치를 맞추기 위한 장치이다. XY축 스테이지(61)는, Y축 이동기구(80)와, X축 이동기구(81)로 구성되어 있다. Y축 이동기구(80)는, 레이저 장치(60)의 Y축 방향의 위치 조정을 행하는 장치이다. Y축 이동기구(80)는, 가이드 레일(83)과 슬라이더(84)로 구성되어 있다. 가이드 레일(83)은 Y축 방향으로 배설되어 있다. 가이드 레일(83)은, 하우징(6)의 프레임(13) 측에 고정되어, 슬라이더(84)를 Y축 방향으로 슬라이드 가능하게 지지하고 있다. 가이드 레일(83)과 슬라이더(84) 사이에는, 직동 기구 등의 구동원(도시하지 않음)이 설치되어 있다. 상기 구동원은, 제어부(111)로 제어되고, 슬라이더(84)를 Y축 방향으로 정확하게 이동시켜 위치 결정을 하도록 되어 있다. Y축 이동기구(80)는, 패널(4)의 Y축 방향의 폭 전체 영역을 커버할 수 있는 스트로크로 슬라이더(84)를 이동시키도록 되어 있다. As shown in Fig. 3, the XY axis stage 61 is a device for moving the laser device 60 in the X axis direction and the Y axis direction to match the irradiation position of the laser light with the defect position of the panel 4. The XY axis stage 61 is comprised from the Y axis moving mechanism 80 and the X axis moving mechanism 81. The Y-axis moving mechanism 80 is a device for adjusting the position of the laser device 60 in the Y-axis direction. The Y-axis moving mechanism 80 is composed of a guide rail 83 and a slider 84. The guide rail 83 is arrange | positioned in the Y-axis direction. The guide rail 83 is fixed to the frame 13 side of the housing 6, and supports the slider 84 so that it can slide to a Y-axis direction. Between the guide rail 83 and the slider 84, the drive source (not shown), such as a linear motion mechanism, is provided. The said drive source is controlled by the control part 111, and it is made to position by moving the slider 84 correctly to a Y-axis direction. The Y-axis moving mechanism 80 is configured to move the slider 84 in a stroke capable of covering the entire width region in the Y-axis direction of the panel 4.

X축 이동기구(81)는, 레이저 장치(60)의 X축 방향의 위치 조정을 행하는 장치이다. X축 이동기구(81)는, 가이드 레일(85)과 슬라이더(도시하지 않음)로 구성되어 있다. 가이드 레일(85)은, Y축 이동기구(80)의 슬라이더(84)에 지지된 상태로, X축 방향으로 2개 배설되어 있다. 각 가이드 레일(85)은, 슬라이더를 X축 방향으로 슬라이드 가능하게 지지하고 있다. 가이드 레일(85)과 슬라이더 사이에는, 직동 기구 등의 구동원(도시하지 않음) 이 설치되어 있다. 상기 구동원은, 제어부(111)로 제어되고, 슬라이더를 X축 방향으로 정확하게 이동시켜 위치 결정을 하도록 되어 있다. X축 이동기구(81)는, 슬라이더를, 1 픽셀 내에서 조금 이동시킬 뿐이다. 즉, X축 이동기구(81)는, 미세조정에 이용되는 장치로서, 패널 반송 스테이지(11)에서 패널(4)의 위치 결정을 한 후에, 레이저 장치(60)를 이동시켜, 보조적으로 레이저광의 조사 위치와 결함 위치의 미세조정을 행한다. The X-axis moving mechanism 81 is a device for adjusting the position of the laser device 60 in the X-axis direction. The X axis moving mechanism 81 is composed of a guide rail 85 and a slider (not shown). Two guide rails 85 are arranged in the X-axis direction while being supported by the slider 84 of the Y-axis moving mechanism 80. Each guide rail 85 supports the slider so that it can slide to an X-axis direction. A drive source (not shown), such as a linear motion mechanism, is provided between the guide rail 85 and the slider. The said drive source is controlled by the control part 111, and is made to position by moving a slider correctly to an X-axis direction. The X-axis moving mechanism 81 only moves the slider slightly within 1 pixel. That is, the X-axis moving mechanism 81 is a device used for fine adjustment. After positioning the panel 4 in the panel conveyance stage 11, the X-axis moving mechanism 81 moves the laser device 60 to assist the laser light. Fine adjustment of the irradiation position and the defect position is performed.

조명 먼지 제거장치(62)는, 패널(4)의 결함부를 조명함과 동시에, 레이저 장치(60)의 렌즈의 먼지를 제거하기 위한 장치이다. 조명 먼지 제거장치(62)는, 조명부(88), 먼지 제거부(89), 지지판(90)으로 구성되어 있다. 조명부(88)는, CCD 카메라(74)의 투과 조명이며, 패널(4)의 결함부를 위쪽에서 조명한다. 조명부(88)는, LED(도시하지 않음)나 집광 렌즈(도시하지 않음) 등을 갖추어 구성되어 있다. 먼지 제거부(89)는, 레이저 장치(60)의 대물 렌즈(71)에 붙은 먼지를 제거하기 위한 것으로, 공기에 의해 먼지를 불어서 날려 버리도록 되어 있다. 압축 공기는, 도시하지 않은 컴프레서(압축기)에 의해 공급되고 있다. 지지판(90)은, 조명부(88)와 먼지 제거부(89)를 지지하기 위한 판재이다. The illumination dust removal apparatus 62 is an apparatus for illuminating the defect part of the panel 4, and removing the dust of the lens of the laser apparatus 60. As shown in FIG. The illumination dust removal device 62 is comprised from the illumination part 88, the dust removal part 89, and the support plate 90. As shown in FIG. The illumination part 88 is the transmission illumination of the CCD camera 74, and illuminates the defect part of the panel 4 from above. The illumination part 88 is equipped with LED (not shown), a condenser lens (not shown), etc., and is comprised. The dust removal part 89 is for removing the dust which stuck to the objective lens 71 of the laser apparatus 60, and blows dust with air and blows it off. Compressed air is supplied by the compressor (compressor) which is not shown in figure. The support plate 90 is a plate material for supporting the lighting unit 88 and the dust removing unit 89.

조명 먼지 제거장치(62)는 XYZ축 스테이지(92)에 지지되어 있다. XYZ축 스테이지(92)는, 조명 먼지 제거장치(62)를 XYZ축 방향으로 이동 가능하게 지지하고 있다. XYZ축 스테이지(92)는, Y축 이동기구(93), X축 이동기구(94), Z축 이동기구(도시하지 않음)로 구성되어 있다. Y축 이동기구(93)는, 조명 먼지 제거장치(62)를 Y축 방향으로 이동 가능하게 지지하는 장치이다. Y축 이동기구(93)는, 레일봉(96)과 슬라이더(97)로 구성되어 있다. 레일봉(96)은, 가이드 레일(96A)을 일체로 갖춘 부재이다. 슬라이더(97)는, 조명 먼지 제거장치(62)를 지지하여, Y축 방향으로 이동시키기 위한 부재이다. 슬라이더(97)는, 조명 먼지 제거장치(62)를 고정 지지한 상태로, 레일봉(96)의 가이드 레일(96A)에 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 가이드 레일(96A)과 슬라이더(97) 사이에는, 직동 기구 등의 구동원(도시하지 않음)이 설치되어, 조명 먼지 제거장치(62)를 Y축 방향으로 정확하게 이동시킬 수 있도록 되어 있다. 이에 의해, XYZ축 스테이지(92)에서 조명부(88)가, 그 투과 조명의 광축과 레이저 장치(60)로부터의 레이저광의 광축을 동일축 상에 맞춰지도록, 레이저 장치(60)의 이동과 함께 추종, 이동되어, 상시 조명 상태를 확보하고 있다.The illumination dust removal device 62 is supported by the XYZ axis stage 92. The XYZ axis stage 92 supports the illumination dust removing device 62 to be movable in the XYZ axis direction. The XYZ axis stage 92 is comprised with the Y-axis movement mechanism 93, the X-axis movement mechanism 94, and a Z-axis movement mechanism (not shown). The Y-axis moving mechanism 93 is an apparatus for supporting the illumination dust removing device 62 to be movable in the Y-axis direction. The Y-axis moving mechanism 93 is composed of a rail rod 96 and a slider 97. The rail rod 96 is a member provided with the guide rail 96A integrally. The slider 97 is a member for supporting the illumination dust removing device 62 and moving it in the Y-axis direction. The slider 97 is slidably supported by the guide rail 96A of the rail rod 96 in a state where the illumination dust removing device 62 is fixedly supported. A drive source (not shown), such as a linear motion mechanism, is provided between the guide rail 96A and the slider 97 so that the illumination dust removal device 62 can be moved correctly to a Y-axis direction. Thereby, in the XYZ axis stage 92, the illumination unit 88 follows the movement of the laser device 60 so that the optical axis of the transmitted illumination and the optical axis of the laser beam from the laser device 60 are aligned on the same axis. It is moved and ensures a constant lighting state.

X축 이동기구(94)는, Y축 이동기구(93)를 통하여 조명 먼지 제거장치(62)를 X축 방향으로 이동 가능하게 지지하는 장치이다. X축 이동기구(94)는, 가이드 레일(98)과 슬라이더(99)로 구성되어 있다. 가이드 레일(98)은, X축 방향으로 배설되어 있다. 구체적으로 가이드 레일(98)은, X축 방향으로 배설된 지지봉(57)에 일체로 설치됨으로써, X축 방향으로 배설되어 있다. The X-axis moving mechanism 94 is a device that supports the illumination dust removing device 62 to be movable in the X-axis direction through the Y-axis moving mechanism 93. The X axis moving mechanism 94 is composed of a guide rail 98 and a slider 99. The guide rail 98 is arrange | positioned in the X-axis direction. Specifically, the guide rail 98 is disposed in the X-axis direction by being integrally provided with the supporting rods 57 arranged in the X-axis direction.

슬라이더(99)는, Y축 이동기구(93)의 레일봉(96)을 일체로 지지하여 X축 방향으로 이동시키기 위한 부재이다. 슬라이더(99)는, 레일봉(96)을 고정 지지한 상태로, 가이드 레일(98)에 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. The slider 99 is a member for integrally supporting the rail rod 96 of the Y-axis moving mechanism 93 to move in the X-axis direction. The slider 99 is slidably supported by the guide rail 98 in a state in which the rail rod 96 is fixedly supported.

가이드 레일(98)과 슬라이더(99) 사이에는 직동 기구 등의 구동원(도시하지 않음)이 설치되어, 제어부(111)로 제어되고 있다. 이에 의해, 조명 먼지 제거장치(62)의 X축 방향의 위치 결정을 행하도록 되어 있다.A drive source (not shown) such as a linear motion mechanism is provided between the guide rail 98 and the slider 99 and is controlled by the control unit 111. Thereby, positioning of the illumination dust removal apparatus 62 in the X-axis direction is performed.

Z축 이동기구는, 상술한 Y축 이동기구(93) 및 X축 이동기구(94)와 같은 가이드 레일(도시하지 않음)과 슬라이더(도시하지 않음)로 구성되어 있다. 이들이 Z축 방향으로 설치되고, 제어부(111)로 제어되어 조명 먼지 제거장치(62)의 Z축 방향의 위치를 조정하도록 되어 있다.The Z-axis moving mechanism is composed of a guide rail (not shown) and a slider (not shown) such as the Y-axis moving mechanism 93 and the X-axis moving mechanism 94 described above. These are provided in the Z-axis direction and are controlled by the control unit 111 to adjust the position of the illumination dust removing device 62 in the Z-axis direction.

반출부(10)는, 리페어부(9)로 리페어 처리를 실시한 패널(4)을 외부로 반출하는 부분이다. 반출부(10)는, 롤러 컨베이어부(7)의 하류쪽 부분에 설치되어 있다. 구체적으로, 반출부(10)는, 상술한 리프터부(16)를, 롤러 컨베이어부(7)의 하류쪽 부분의 아래쪽에 갖추어 구성되어 있다. 즉, X축 얼라인먼트 기구(17)를 제외한 리프터부(16)만을 롤러 컨베이어부(7)의 하류쪽 부분의 아래쪽에 갖추어 구성되어 있다. 상기 리프터부(16)가, 패널(4)을 들어올려, 후술하는 반송 로봇(113)에 건네도록 되어 있다.The carrying out part 10 is a part which carries out the panel 4 which performed the repair process to the repair part 9 to the outside. The carrying out part 10 is provided in the downstream part of the roller conveyor part 7. Specifically, the carry-out part 10 is equipped with the above-mentioned lifter part 16 below the downstream part of the roller conveyor part 7, and is comprised. That is, only the lifter part 16 except the X-axis alignment mechanism 17 is comprised below the downstream part of the roller conveyor part 7, and is comprised. The lifter portion 16 lifts the panel 4 and passes it to the transfer robot 113 described later.

패널 반송 스테이지(11)는, 패널(4)의 Y축 방향의 위치 결정을 하여, 패널(4)을 X축 방향으로 반송함과 동시에, X축 방향의 위치 결정을 하기 위한 장치이다. 패널 반송 스테이지(11)는, 도2, 3, 6, 7에 나타나 있듯이, Y축 패널 클램프 기구(100)와 X축 반송기구(101)로 구성되어 있다. The panel conveyance stage 11 is an apparatus for positioning in the Y-axis direction of the panel 4, conveying the panel 4 in the X-axis direction, and positioning in the X-axis direction. The panel conveyance stage 11 is comprised from the Y-axis panel clamp mechanism 100 and the X-axis conveyance mechanism 101, as shown to FIG. 2, 3, 6, 7. FIG.

Y축 패널 클램프 기구(100)는, 패널(4)을 클램프함과 동시에 패널(4)의 Y축 방향의 위치 결정을 하는 장치이다. Y축 패널 클램프 기구(100)는, 연결판(103), 가이드 레일(104), 슬라이더(105), 지지 암(arm)(106)으로 구성되어 있다.The Y-axis panel clamp mechanism 100 is a device for clamping the panel 4 and positioning the panel 4 in the Y-axis direction. The Y-axis panel clamp mechanism 100 is composed of a connecting plate 103, a guide rail 104, a slider 105, and a support arm 106.

연결판(103)은, 롤러 컨베이어부(7)의 양측에 배설된 후술하는 X축 반송기구(101)의 2개의 가이드 레일(109) 사이에 걸쳐서 설치되는 평판상의 판재이다. 연결판(103)의 위쪽 면에 가이드 레일(104)이 설치되어 있다. 슬라이더(105)는, 가이드 레일(104)에 슬라이드 가능하게 끼워져(결합되어) 있다. 상기 슬라이더(105)는, 지지 암(106)을 지지하여 Y축 방향으로 이동시킨다. 슬라이더(105)는, 가이드 레일(104)에 2개 설치되어 있다. 가이드 레일(104)과 2개의 슬라이더(105) 사이에는, 직동 기구 등의 구동원(도시하지 않음)이 설치되고, 제어부(111)로 제어되어 2개의 슬라이더(105)를 각각 Y축 방향으로 정확하게 이동시킬 수 있도록 되어 있다. 지지 암(106)은, 패널(4)을 클램프하기 위한 부재이다. 지지 암(106)은, 슬라이더(105)에 고정되어, 롤러 컨베이어부(7)에 놓이는 패널(4)을 향해 연장되어 있다. 지지 암(106)의 선단에는, 3개의 클램프부(107)가 설치되어 있다.The connecting plate 103 is a flat plate provided between two guide rails 109 of the X-axis conveyance mechanism 101 to be described later disposed on both sides of the roller conveyor unit 7. The guide rail 104 is provided in the upper surface of the connecting plate 103. The slider 105 is slidably fitted (coupled) to the guide rail 104. The slider 105 supports the support arm 106 and moves in the Y-axis direction. Two sliders 105 are provided on the guide rails 104. Between the guide rail 104 and the two sliders 105, a drive source (not shown), such as a linear motion mechanism, is provided and controlled by the control unit 111 to accurately move the two sliders 105 in the Y-axis directions, respectively. It is supposed to be possible. The support arm 106 is a member for clamping the panel 4. The support arm 106 is fixed to the slider 105 and extends toward the panel 4 placed on the roller conveyor 7. At the distal end of the support arm 106, three clamp portions 107 are provided.

X축 반송기구(101)는, Y축 패널 클램프 기구(100)로 클램프된 패널(4)을, 구동원이 없는 롤러 컨베이어부(7)의 프리 롤러(7A) 위를 반송하는 장치이다. X축 반송기구(101)는, 가이드 레일(109)과 슬라이더(110)로 구성되어 있다. 가이드 레일(109)은, 롤러 컨베이어부(7)의 양측에 2개 설치되어 있다. 각 가이드 레일(109)은, 롤러 컨베이어부(7)의 길이방향인 X축 방향으로 배설되어 있다. 이에 의해, 슬라이더(110)를 X축 방향으로 슬라이드 가능하게 지지하고 있다. 슬라이더(110)는, 각 가이드 레일(109)에 각각 지지되어, X축 방향으로 이동하는 부재이다. 각 슬라이더(110)는, Y축 패널 클램프 기구(100)의 연결판(103)의 양 단부에 설치되어, Y축 패널 클램프 기구(100)를 X축 방향으로 이동시키도록 되어 있다. 가이드 레일(109)과 2개의 슬라이더(110)와의 사이에는, 직동 기구 등의 구동원(도시하지 않음)이 설치되어 있다. 이 구동원이 제어부(111)로 제어되어, 2개의 슬라이더(110)를 서로 함께 X축 방향으로 정확하게 이동시킬 수 있도록 되어 있다. The X-axis conveyance mechanism 101 is an apparatus which conveys the panel 4 clamped by the Y-axis panel clamp mechanism 100 on the free roller 7A of the roller conveyor part 7 without a drive source. The X-axis conveyance mechanism 101 is comprised from the guide rail 109 and the slider 110. Two guide rails 109 are provided on both sides of the roller conveyor 7. Each guide rail 109 is arrange | positioned at the X-axis direction which is the longitudinal direction of the roller conveyor part 7. As a result, the slider 110 is slidably supported in the X-axis direction. The slider 110 is a member supported by each guide rail 109, respectively, and moving in the X-axis direction. Each slider 110 is provided in the both ends of the connecting plate 103 of the Y-axis panel clamp mechanism 100, and moves the Y-axis panel clamp mechanism 100 to an X-axis direction. A drive source (not shown), such as a linear motion mechanism, is provided between the guide rail 109 and the two sliders 110. This drive source is controlled by the control part 111 so that the two sliders 110 can be moved together exactly in an X-axis direction.

제어부(111)는, 리페어 장치(1) 전체를 제어하기 위한 장치이다. 제어부(111)는, 레이저의 설정이나 레시피 등을 설정하는 컴퓨터를 내장하여 구성되고, 처리 컨베이어(2) 및 반송 컨베이어(3)의 근방에 설치되어 있다. 제어부(111)의 구체적인 제어는 후술한다.The control unit 111 is a device for controlling the entire repair apparatus 1. The control part 111 is comprised incorporating the computer which sets a laser setting, a recipe, etc., and is provided in the vicinity of the processing conveyor 2 and the conveyance conveyor 3. As shown in FIG. Specific control of the control unit 111 will be described later.

반송 로봇(113)은, 처리 컨베이어(2)의 패널(4)을 반송 컨베이어(3)로 옮겨놓기 위한 장치이다. 반송 로봇(113)은, 도12에 나타나 있듯이, 처리 컨베이어(2)의 반출부(10) 및 후술하는 반송 컨베이어(3)의 반입부(118)에 면한 위치에 설치되어, 하단의 처리 컨베이어(2)와 상단의 반송 컨베이어(3)를 연접(連接)하고 있다. 이에 의해, 반송 로봇(113)의 지지 암(도시하지 않음)이, 처리 컨베이어(2)의 반출부(10)와 반송 컨베이어(3)의 반입부(118) 사이에서 이동하여, 하단의 처리 컨베이어(2)의 패널(4)을 상단의 반송 컨베이어(3)로 반송하도록 되어 있다. 반송 로봇(113)으로는, 패널(4)을 지지하여 반송할 수 있는 기존의 장치를 이용할 수 있다. 반송 로봇(113)은, 제어부(111)로 제어되고 있다. The transfer robot 113 is an apparatus for moving the panel 4 of the processing conveyor 2 to the transfer conveyor 3. As shown in Fig. 12, the transfer robot 113 is provided at a position facing the carry-out portion 10 of the processing conveyor 2 and the carry-in portion 118 of the transfer conveyor 3, which will be described later. 2) and the conveyance conveyor 3 of the upper end are connected. Thereby, the support arm (not shown) of the conveyance robot 113 moves between the carrying out part 10 of the processing conveyor 2 and the carrying in part 118 of the conveying conveyor 3, and has a lower process conveyor. The panel 4 of (2) is conveyed by the conveyance conveyor 3 of an upper end. As the transfer robot 113, the existing apparatus which can carry and support the panel 4 can be used. The transfer robot 113 is controlled by the control unit 111.

출입용 로봇(114)은, 하단의 처리 컨베이어(2)의 패널 반입구로 외부로부터의 패널(4)을 주고 받음과 동시에, 상단의 반송 컨베이어(3)의 패널 반출구로부터의 패널(4)을 받아 외부로 반송하기 위한 장치이다. 출입용 로봇(114)은, 도11에 나타나 있듯이, 처리 컨베이어(2)의 반입부(8)의 패널 반입구와 반송 컨베이어(3)의 패널 반출구에 면한 위치에 설치되어 있다. 출입용 로봇(114)으로는, 패널(4)을 지지하여 출입할 수 있는 기존의 장치를 이용할 수 있다. 출입용 로봇(114)은, 제어부(111)로 제어되고 있다.The robot 114 for entrance / exit exchanges the panel 4 from the outside to the panel entrance of the processing conveyor 2 of the lower end, and simultaneously receives the panel 4 from the panel exit of the upper conveyer 3. It is a device for receiving and conveying to the outside. As shown in FIG. 11, the robot 114 for entrance and exit is provided at a position facing the panel inlet and outlet of the carry-in part 8 of the processing conveyor 2 and the panel outlet of the transport conveyor 3. As the robot 114 for entrance and exit, the existing apparatus which can support the panel 4, and can go in and out can be used. The entrance and exit robot 114 is controlled by the control unit 111.

반송 컨베이어(3)는, 처리 컨베이어(2)로부터 받은 처리 완료 패널(4)을 외부로 반송하기 위한 장치이다. 반송 컨베이어(3)는, 도1, 10에 나타나 있듯이, 하우징(116), 롤러 컨베이어부(117), 반입부(118), 반출부(119)로 구성되어 있다.The conveyer 3 is an apparatus for conveying the processed panel 4 received from the process conveyor 2 to the outside. The conveyer 3 is comprised by the housing 116, the roller conveyor 117, the loading part 118, and the carrying out part 119, as shown to FIG.

하우징(116)은, 처리 컨베이어(2)의 하우징(6)과 같이, 프레임(121)과 외측 판(도시하지 않음)으로 구성되어 있다. 프레임(121)은, 롤러 컨베이어부(117) 등을 수납하여 지지하기 위한 골조이다. 프레임(121)은, 제관 용접 구조에 의해 구성되어 있다. The housing 116 is composed of a frame 121 and an outer plate (not shown), like the housing 6 of the processing conveyor 2. The frame 121 is a frame for accommodating and supporting the roller conveyor 117 or the like. The frame 121 is comprised by the steel pipe welding structure.

외측 판은, 프레임(121)을 덮는 판재이다. 외측 판은, 스테인리스 판 등으로 구성된다. The outer plate is a plate that covers the frame 121. The outer plate is made of a stainless steel plate or the like.

하우징(116)의 상류쪽 단부(도1 중의 우측 단부)의 측면에는, 패널(4)을 반입하기 위한 패널 반입구(도시하지 않음)가 반입부(118)에 면하여 설치된다.On a side of an upstream end (right end in FIG. 1) of the housing 116, a panel inlet (not shown) for carrying in the panel 4 is provided facing the carry-in portion 118.

롤러 컨베이어부(117)는, 패널(4)을 반송하기 위한 컨베이어이다. 롤러 컨베이어부(117)는, 마그넷 드라이브식 반송 컨베이어로 구성되어, 전동 정량 송부 방식으로 패널(4)을 반송하도록 되어 있다. 롤러 컨베이어부(117)는 구체적으로, 복수 병렬로 배설된 회전 롤러(123), 각 회전 롤러(123)의 일단부에 각각 설치된 자기 종동(從動) 롤러(124), 상기 자기 종동 롤러(124)를 회전시키는 자기 구동 롤러(125), 상기 자기 구동 롤러(125)를 회전 구동하는 구동 모터(126)로 구성되어 있다. 자기 구동 롤러(125)는, 각 자기 종동 롤러(124)에 일대일로 대향하여 각각 설치되어 있다. 각 자기 구동 롤러(125)는, 각 자기 종동 롤러(124)로 직행하는 방향에 배설된 구동 모터(126)의 회전축(127)에 각각 설치되어, 구동 모터(126)에 의한 회전에 의해, 자기 종동 롤러(124)를 통하여 회전 롤러(123)를 회전시키도록 되어 있다. 구동 모터(126)는, 제어부(111)로 제어되고 있다. 이에 의해, 반송 컨베이어(3)로 반입된 패널(4)은, 구동 모터(126)로 회전 구동된 회전 롤러(123)로 반출부(119)의 패널 반출구까지 반송되도록 되어 있다. The roller conveyor part 117 is a conveyor for conveying the panel 4. The roller conveyor part 117 is comprised by the magnet drive type conveyer, and conveys the panel 4 by the electric fixed quantity sending method. Specifically, the roller conveyor 117 includes a rotary roller 123 disposed in a plurality of parallel, a magnetic driven roller 124 provided at one end of each rotary roller 123, and the magnetic driven roller 124. ) And a drive motor 126 for rotationally driving the magnetic drive roller 125. The magnetic drive rollers 125 are provided to face each one of the magnetic driven rollers 124 in a one-to-one manner. Each of the magnetic drive rollers 125 is provided on the rotation shaft 127 of the drive motor 126 arranged in the direction that goes directly to the respective driven driven rollers 124, respectively. The rotary roller 123 is rotated through the driven roller 124. The drive motor 126 is controlled by the control part 111. Thereby, the panel 4 carried in to the conveyer 3 is conveyed to the panel outlet of the carrying out part 119 by the rotating roller 123 rotationally driven by the drive motor 126.

반입부(118)는, 패널(4)을 외부에서 반입하는 부분이다. 반입부(118)는, 롤러 컨베이어부(117)의 상류쪽 부분(도1 중의 우측 부분)에 설치되어 있다. 반입부(118)는, 처리 컨베이어(2)의 반입부(8)나 반출부(10)에 갖춘 리프터부(16)와 같은 리프터부(16)가 회전 롤러(123)의 아래쪽에 설치되어 있다. 상기 리프터부(16)는, 승강기(24)로 지지핀부(22)가 상승되어, 지지핀(25)이 각 회전 롤러(123) 사이에서 위쪽으로 연장하고, 반송 로봇(113)으로부터의 패널(4)을 받고, 지지핀(25)이 각 회전 롤러(123)의 아래쪽으로 하강하여, 패널(4)을 회전 롤러(123)에 놓도록 되어 있다. The carry-in part 118 is a part which carries in the panel 4 from the exterior. The carrying-in part 118 is provided in the upstream part (right part in FIG. 1) of the roller conveyor part 117. As shown in FIG. As for the carry-in part 118, the lifter part 16, such as the lifter part 16 provided in the carry-in part 8 of the process conveyor 2, or the carrying out part 10, is provided below the rotating roller 123. . As for the lifter part 16, the support pin part 22 is raised by the elevator 24, the support pin 25 extends upwards between each rotating roller 123, and the panel from the conveyance robot 113 ( 4), the support pin 25 descends below each rotary roller 123, and the panel 4 is set to the rotary roller 123. As shown in FIG.

반출부(119)는, 반입부(118)로부터 롤러 컨베이어부(117)로 반송된 패널(4)을 외부로 반출하는 부분이다. 반출부(119)는, 롤러 컨베이어부(117)의 하류쪽 부분에 설치되어 있다. 구체적으로, 반출부(119)는, 상술한 반입부(118)의 리프터부(16)와 같은 리프터부(16)를, 롤러 컨베이어부(117)의 하류쪽 부분의 아래쪽에 갖추어 구성되어 있다. 반출부(119)의 하류쪽 단부에는, 출입용 로봇(114)에 면하여 패널 반출구(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 리프터부(16)는, 반입부(118)에서 반송된 패널(4)을 들어올려, 패널 반출구를 통하여 출입용 로봇(114)에 건네도록 되어 있다. 패널 반출구에는 셔터(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 레이저 조사 중에는, 셔터가 닫혀져, 레이저광이 외부로 새는 것을 방지하고 있다. 셔터의 개폐문(도시하지 않음)에는 인터록 스위치가 설치되어 있다.The carrying out part 119 is a part which carries out the panel 4 conveyed to the roller conveyor part 117 from the carrying out part 118 to the outside. The carrying out part 119 is provided in the downstream part of the roller conveyor part 117. Specifically, the carry-out part 119 is comprised including the lifter part 16 like the lifter part 16 of the carry-in part 118 mentioned above under the downstream part of the roller conveyor part 117. As shown in FIG. At the downstream end of the carrying out portion 119, a panel carrying out port (not shown) is provided facing the robot 114 for entry and exit. The lifter portion 16 is configured to lift the panel 4 conveyed from the carry-in portion 118 and pass it to the robot for entry through the panel discharge port 114. Shutters (not shown) are provided at the panel outlets. During the laser irradiation, the shutter is closed to prevent the laser light from leaking to the outside. An interlock switch is provided in the opening / closing door (not shown) of the shutter.

이상과 같이 구성된 리페어 장치(1)에서는, 제어부(111)에 의해 다음과 같이 패널(4)의 리페어 처리가 행해진다. 도13의 플로우 차트를 근거로 하여 설명한다.In the repair apparatus 1 comprised as mentioned above, the repair process of the panel 4 is performed by the control part 111 as follows. A description will be given based on the flowchart shown in FIG.

먼저, 출입용 로봇(114)으로, 외부로부터의 패널(4)이, 처리 컨베이어(2)의 패널 반입구에서 반입부(8)로 반입된다(스텝 S1).First, the panel 4 from the outside is carried into the carrying-in part 8 by the panel entry port of the process conveyor 2 by the robot 114 for entrance and exit (step S1).

반입부(8)에서는, 리프터부(16)의 승강기(24)의 승강 실린더(33)가 승강축(33A)을 상승시켜 지지핀부(22)의 지지핀(25)을, 반입 롤러부(15)의 각 프리 롤러(7A) 사이에서 상승시킨다. 출입용 로봇(114)은, 패널(4)을 지지핀(25)의 패널 받침(28) 위에 놓고, 대기 상태가 된다. In the carrying-in part 8, the lifting cylinder 33 of the elevator 24 of the lifter part 16 raises the lifting shaft 33A, and carries the support pin 25 of the support pin part 22, and the carrying-in roller part 15 ) Is raised between the respective free rollers 7A. The robot 114 for entrance and exit puts the panel 4 on the panel support 28 of the support pin 25, and will be in a standby state.

다음으로, 리프터부(16)에서는, 승강 실린더(33)가 승강축(33A)을 하강시켜 지지핀부(22)의 지지핀(25)을, 반입 롤러부(15)의 각 프리 롤러(7A) 사이로 하강시킨다. 이에 의해, 패널(4)은, 반입 롤러부(15)의 프리 롤러(7A)에 놓인다.Next, in the lifter part 16, the lifting cylinder 33 lowers the lifting shaft 33A, and the support pins 25 of the support pin part 22 are moved to each free roller 7A of the loading roller part 15. Next, as shown in FIG. Descend between. As a result, the panel 4 is placed on the free roller 7A of the loading roller portion 15.

이때, 지지핀(25)은, 그 패널 받침(28)이 패널(4)의 뒷면에서 조금 떨어질 정도로 하강이 정지되어, X축 얼라인먼트 기구(17)의 제1 패널 클램프(38)의 접촉부(42) 및 제2 패널 클램프(39)의 접촉부(46)의 위치가, 패널(4)의 가장자리에 접하는 위치로 조정된다. At this time, the support pin 25 stops descending so that the panel support 28 falls slightly from the back of the panel 4, and the contact portion 42 of the first panel clamp 38 of the X-axis alignment mechanism 17 is stopped. ) And the position of the contact portion 46 of the second panel clamp 39 is adjusted to a position in contact with the edge of the panel 4.

계속해서, 제1 패널 클램프(38)의 슬라이더(44)와 제2 패널 클램프(39)의 슬라이더(48)가, 서로 근접하도록 설정 위치로 옮겨지고, 접촉부(42, 46)에서 패널(4)이 눌려, 패널(4)의 X축 방향의 위치 결정이 이루어진다(스텝 S2).Subsequently, the slider 44 of the first panel clamp 38 and the slider 48 of the second panel clamp 39 are moved to the set position so as to be close to each other, and the panel 4 is contacted at the contacts 42 and 46. This is pressed and positioning of the panel 4 in the X-axis direction is performed (step S2).

게다가, 패널 반송 스테이지(11)의 2개의 슬라이더(105)가 서로 근접하도록 설정 위치로 옮겨지고, 지지 암(106)의 클램프부(107)에서 패널(4)이 눌려, 패널(4)의 Y축 방향의 위치 결정이 이루어짐과 동시에, 클램프부(107)로 패널(4)이 지지된다(스텝 S3).In addition, the two sliders 105 of the panel conveying stage 11 are moved to the set position so as to be close to each other, the panel 4 is pressed by the clamp portion 107 of the support arm 106, and the Y of the panel 4 is moved. The positioning in the axial direction is performed, and the panel 4 is supported by the clamp portion 107 (step S3).

X축 얼라인먼트 기구(17)와 패널 반송 스테이지(11)의 위치 결정 동작은, 동시에 행하게 해도 좋고, 어느 한쪽을 먼저 행하게 해도 좋다. 이에 의해, 패널(4)은, XY축 방향으로 위치 결정이 이루어진다. 이어서, X축 얼라인먼트 기구(17)는, 클램프 해제되어, 롤러 컨베이어부(7)의 아래쪽으로 하강된다.The positioning operation of the X-axis alignment mechanism 17 and the panel conveyance stage 11 may be performed simultaneously, or may be performed either first. As a result, the panel 4 is positioned in the XY axis direction. Subsequently, the X-axis alignment mechanism 17 is released by clamping and lowered below the roller conveyor unit 7.

이어서, ID 리더(18)가 XYZ축 스테이지(50)에서, 패널(4)의 ID의 위쪽으로 이동되고, 그 ID를 읽어들여, 이동 거리가 연산된다(스텝 S4). 즉, 제어부(111)는, 상기 ID 리더(18)로 읽어들인 ID를 근거로, 패널(4)의 결함 정보를 CIM에서 입수하고, 그 결함 정보를 근거로 하여 제어한다. 패널(4)의 얼라인먼트 마크가 읽혀지고, 그 얼라인먼트 마크에서 결함 부위까지의 이동 거리가 특정된다. Next, the ID reader 18 is moved above the ID of the panel 4 in the XYZ axis stage 50, the ID is read, and the moving distance is calculated (step S4). That is, the control part 111 obtains the defect information of the panel 4 in CIM based on the ID read into the said ID reader 18, and controls it based on the defect information. The alignment mark of the panel 4 is read, and the moving distance from the alignment mark to the defect site is specified.

상기 결함 정보에 기초하여, 패널 반송 스테이지(11)에 의해 패널(4)이 설정 위치로 이동된다(스텝 S5). 구체적으로, 롤러 컨베이어부(7)의 프리 롤러(7A)로 보조적으로 지지된 상태로, 패널 반송 스테이지(11)의 지지 암(106)이 패널(4)을 지지하고, 슬라이더(110)가 가이드 레일(109)로 안내되어, 패널(4)을 X축 방향으로 가벼운 힘으로, 리페어부(9)의 설정 위치까지 이동된다. 즉, 패널(4)의 결함의 X축 방향의 위치가, 레이저 장치(60)의 대물 렌즈(71)의 광축의 X축 방향의 위치와 일치하는 위치로 이동된다. Based on the said defect information, the panel 4 moves to the setting position by the panel conveyance stage 11 (step S5). Specifically, the support arm 106 of the panel conveying stage 11 supports the panel 4, and the slider 110 guides in a state supported by the free roller 7A of the roller conveyor unit 7. Guided to the rail 109, the panel 4 is moved to a setting position of the repair portion 9 with a light force in the X-axis direction. That is, the position of the defect of the panel 4 in the X-axis direction is moved to the position which coincides with the position of the optical axis of the objective lens 71 of the laser device 60 in the X-axis direction.

계속해서, XY축 스테이지(61)의 Y축 이동기구(80)로 레이저 장치(60)가 Y축 방향으로 이동되어 위치가 맞추어진다(스텝 S6). 즉, 레이저 장치(60)의 대물 렌즈(71)의 광축의 Y축 방향의 위치와, 패널(4)의 결함의 Y축 방향의 위치가 일치하는 위치로 레이저 장치(60)가 이동되어, 정확하게 위치가 맞추어진다. Subsequently, the laser device 60 is moved to the Y-axis direction by the Y-axis moving mechanism 80 of the XY-axis stage 61, and the position is aligned (step S6). That is, the laser device 60 is moved to a position where the position in the Y-axis direction of the optical axis of the objective lens 71 of the laser device 60 coincides with the position in the Y-axis direction of the defect of the panel 4, thereby accurately Position is adjusted.

게다가, 패널 반송 스테이지(11)의 X축 방향의 정밀도를 보충하기 위해, X축 이동기구(81)로 레이저 장치(60)의 X축 방향이 1 픽셀 내에서 조금 이동되고 미세조정되어, 정밀하게 결함부를 포착한다(스텝 S7). 즉, 레이저 장치(60)와 결함부를 정밀하게 정합시킨다. 이때, 카메라로 비춘 결함 부위의 영상을 모니터(도시하지 않음)로 표시시켜, 오퍼레이터에게 확인시키도록 해도 좋다. In addition, in order to supplement the accuracy of the X-axis direction of the panel conveyance stage 11, the X-axis direction of the laser device 60 is slightly moved and fine-tuned within 1 pixel by the X-axis moving mechanism 81, and precisely, The defect part is captured (step S7). That is, the laser device 60 and the defect portion are precisely matched. At this time, an image of the defective portion projected by the camera may be displayed on a monitor (not shown), and the operator may be confirmed.

더욱이, 상술한 결함 정보에 근거하여 XYZ축 스테이지(92)가, 조명 먼지 제거장치(62)의 조명부(88)를 패널(4)의 결함부의 위쪽 위치로 이동시킨다(스텝 S8). 이에 의해, 조명부(88)에 의한 투과 조명의 광축과, CCD 카메라(74)의 광축이 일치하도록 조정한다. 게다가, 동축 조명 광원(77)의 광축과 CCD 카메라(74)의 광축이 일치한 상태에서, 패널(4)의 결함을 CCD 카메라(74)로 비추어, 레이저 발진기(67)의 레이저광의 광축과, 패널(4)의 결함 위치를 정합시킨다.Moreover, based on the defect information mentioned above, the XYZ axis stage 92 moves the illumination part 88 of the illumination dust removal apparatus 62 to the upper position of the defect part of the panel 4 (step S8). This adjusts so that the optical axis of the transmission illumination by the illumination part 88 and the optical axis of the CCD camera 74 may correspond. In addition, in the state where the optical axis of the coaxial illumination light source 77 coincides with the optical axis of the CCD camera 74, the defect of the panel 4 is illuminated by the CCD camera 74, and the optical axis of the laser beam of the laser oscillator 67, The defect position of the panel 4 is matched.

이어서, 가이드 광원(72)으로부터 가시광선을 내어, 레이저 발진기(67)의 레이저광의 광축과 패널(4)의 결함 위치와의 정합을 최종적으로 확인하고, 롤러 컨베이어부(7)의 프리 롤러(7A) 사이로부터 레이저광을 조사하여, 결함 부분을 리페어한다(스텝 S9).Subsequently, the visible light is emitted from the guide light source 72, and finally the matching between the optical axis of the laser beam of the laser oscillator 67 and the defect position of the panel 4 is finally confirmed, and the free roller 7A of the roller conveyor unit 7 is carried out. ), The laser beam is irradiated and the defective portion is repaired (step S9).

리페어가 종료하면, 패널 반송 스테이지(11)로 패널(4)을 반출부(10)로 이동시키고, 반송 로봇(113)에 건네어 반송 컨베이어(3)로 이송한다(스텝 S10). 즉, 패널 반송 스테이지(11)로 패널(4)을 반출부(10)로 이동시킨 후, 패널 반송 스테이지(11)는 반입부(8)로 되돌아가고, 리프터부(16)는 패널(4)을 들어올려, 반송 로봇(113)의 지지 암에 건넨다. 반송 로봇(113)의 지지 암은, 패널(4)을 지지하여, 반송 컨베이어(3)로 반송한다. 지지 암은, 패널(4)을 반송 컨베이어(3)의 반입부(118)로 반입하고, 반입부(118)의 리프터부(16)로 넘긴다.When repair is complete | finished, the panel 4 is moved to the carrying out part 10 by the panel conveyance stage 11, and it is handed to the conveyance robot 113, and it conveys to the conveyance conveyor 3 (step S10). That is, after moving the panel 4 to the carrying out part 10 by the panel conveying stage 11, the panel conveying stage 11 returns to the carrying-in part 8, and the lifter part 16 moves into the panel 4 Is raised and handed to the support arm of the transfer robot 113. The support arm of the conveyance robot 113 supports the panel 4, and conveys it to the conveyance conveyor 3. The support arm carries the panel 4 into the carry-in part 118 of the conveyance conveyor 3, and turns it over to the lifter part 16 of the carry-in part 118. As shown in FIG.

리프터부(16)는, 패널(4)을 받아 반송 컨베이어(3)의 롤러 컨베이어부(117)에 놓고, 롤러 컨베이어부(117)는 패널(4)을 반출부(119)로 이동시킨다(스텝 S11). 롤러 컨베이어부(117)에서는, 구동 모터(126)가, 자기 구동 롤러(125)와 자기 종동 롤러(124)를 통하여 회전 롤러(123)를 회전 구동하여, 패널(4)을 반출부(119)로 이동시킨다. 반출부(119)에 설치된 센서(도시하지 않음)가 패널(4)을 검지(檢知)하면, 구동 모터(126)가 정지된다.The lifter part 16 receives the panel 4, places it on the roller conveyor part 117 of the conveyer conveyor 3, and the roller conveyor part 117 moves the panel 4 to the carrying out part 119 (step) S11). In the roller conveyor 117, the drive motor 126 rotates the rotary roller 123 through the magnetic drive roller 125 and the magnetic driven roller 124, thereby discharging the panel 4 to the carrying out portion 119. Move to. When the sensor (not shown) provided in the carrying out part 119 detects the panel 4, the drive motor 126 is stopped.

계속해서, 리프터부(16)가 패널(4)을 들어올려, 출입용 로봇(114)에 넘기고, 외부로 반출한다(스텝 S12). 출입용 로봇(114)의 지지 암은, 패널 반출구에서 반출부(119)로 삽입되어, 리프터부(16)로 지지된 패널(4)을 받아 외부로 반출한다. Then, the lifter part 16 lifts the panel 4, turns it over to the robot 114 for entrance and exit, and carries it out (step S12). The support arm of the access robot 114 is inserted into the carrying out part 119 at the panel carrying out port, receives the panel 4 supported by the lifter part 16, and carries it out to the outside.

이 일련의 처리에 있어서, 리페어부(9)에서의 리페어 처리에 시간이 걸리기 때문에, 이 리페어부(9)에서의 처리에 맞춰, 반입부(8)에 다음 패널(4)을 미리 반입하여, 리페어 처리가 종료하면, 리페어 처리 종료 후의 패널(4)을 반출부(10)로 신속하게 이동시켜, 바로 다음 패널(4)을 반입부(8)에서 받아 리페어부(9)로 이동 시킨다. 이에 의해, 패널(4)을 연속적으로 리페어부(9)에 반입하여 리페어 처리를 행하게 한다.In this series of processes, since the repair process in the repair part 9 takes time, the next panel 4 is carried in to the carry-in part 8 beforehand according to the process by this repair part 9, When the repair process ends, the panel 4 after the repair process ends is quickly moved to the carry-out part 10, and the next panel 4 is immediately received by the carry-in part 8 and moved to the repair part 9. Thereby, the panel 4 is continuously carried in to the repair part 9 to perform a repair process.

이상과 같이, 패널(4)을 롤러 컨베이어부(7)의 각 프리 롤러(7A) 위에 놓고, 각 프리 롤러(7A) 사이에서 레이저 장치(60)의 레이저광을 결함 부분에 조사하기 때문에, 패널(4)의 상하를 반대로 하지 않고, 결함의 리페어를 할 수 있다.As described above, the panel 4 is placed on each free roller 7A of the roller conveyor unit 7, and the laser beam of the laser device 60 is irradiated to the defective portion between the free rollers 7A. The defect can be repaired without inverting the top and bottom of (4).

패널(4)을 롤러 컨베이어부(7)의 프리 롤러(7A)로 보조적으로 지지하고, 패널 반송 스테이지(11)의 지지 암(106)으로 지지하도록 했기 때문에, 패널(4)의 낙하나 휨을 방지하고, 확실히 지지할 수 있다. 즉, 패널 반송 스테이지(11)와 롤러 컨베이어부(7)가 협동하여, 패널(4)을 확실히 지지할 수 있다. 이에 의해, 대형 패널(4)에 대해서도, 패널 반송 스테이지(11)로 용이하게 지지하여 반송할 수 있다.Since the panel 4 is supported by the free roller 7A of the roller conveyor part 7 and is supported by the support arm 106 of the panel conveyance stage 11, the fall and the warpage of the panel 4 are prevented. We can support surely. That is, the panel conveyance stage 11 and the roller conveyor 7 cooperate with each other, and can firmly support the panel 4. Thereby, also about the large sized panel 4, it can be easily supported by the panel conveyance stage 11, and can be conveyed.

게다가, 패널 반송 스테이지(11)의 X축 반송 기구(101)에서의 정밀도를, XY축 스테이지(61)의 X축 이동기구(81)로 보충하도록 했기 때문에, X축 반송기구(101)와 X축 이동기구(81)가 협동하여, 레이저 장치(60)의 X축 방향의 위치 결정을, 단시간에 높은 정밀도로 할 수 있다. 그 결과, 협동하는 X축 반송기구(101) 및 X축 이동기구(81)와, Y축 이동기구(80)가 서로 작용하여, 신속하고 고정밀도로, 레이저 장치(60)를 결함 부위에 위치 맞춤할 수 있다. 이에 의해, 대형 패널(4)이라도, 효율적으로 리페어 처리를 할 수 있다. 게다가, 복수의 패널(4)을, 연속적으로 리페어 처리할 수 있다. 즉, 본 실시형태의 구성으로 함으로써, 가장 효율적으로 리페어 처리를 할 수 있게 된다.
In addition, since the precision in the X-axis conveyance mechanism 101 of the panel conveyance stage 11 was supplemented with the X-axis movement mechanism 81 of the XY-axis stage 61, the X-axis conveyance mechanism 101 and X The axis movement mechanism 81 cooperates, and the positioning of the laser apparatus 60 in the X-axis direction can be made high precision in a short time. As a result, the cooperating X-axis transport mechanism 101 and the X-axis movement mechanism 81 and the Y-axis movement mechanism 80 interact with each other to quickly and accurately position the laser device 60 at the defect site. can do. Thereby, even the large sized panel 4 can be repaired efficiently. In addition, the plurality of panels 4 can be repaired continuously. That is, by setting it as the structure of this embodiment, it becomes possible to perform a repair process most efficiently.

[변형예][Modification]

상기 실시형태에서는, 처리 컨베이어(2)와 반송 컨베이어(3)를, 별도의 부재로서 구성했지만, 도14에 나타나 있듯이, 일체로 구성해도 좋다. 도14의 리페어 장치(130)의 전체적 구성은, 상기 실시형태의 리페어 장치(1)와 거의 같기 때문에, 여기에서는, 동일 부재에는 동일 부호를 붙여, 그 설명을 생략한다.In the said embodiment, although the processing conveyor 2 and the conveyance conveyor 3 were comprised as another member, as shown in FIG. 14, you may comprise integrally. Since the whole structure of the repair apparatus 130 of FIG. 14 is almost the same as the repair apparatus 1 of the said embodiment, the same code | symbol is attached | subjected here and the description is abbreviate | omitted.

도14의 리페어 장치(130)에는, 하나의 하우징(131) 내에, 처리 컨베이어(2)와 반송 컨베이어(3)를 설치하고 있다.In the repair apparatus 130 of FIG. 14, a processing conveyor 2 and a conveying conveyor 3 are provided in one housing 131.

하우징(131)은, 메인 프레임(132), 플로팅 프레임(133), 제진기(134), 외측 판(135)으로 구성되어 있다. 메인 프레임(132)은, 처리 컨베이어(2)와 반송 컨베이어(3)를 상하 2단으로 겹쳐서 이들을 동시에 지지하는 크기로 구성된다. 반송 컨베이어(3)는, 메인 프레임(132)에 설치된 스테이(stay)부(136)로 지지된다.The housing 131 is composed of a main frame 132, a floating frame 133, a vibration damper 134, and an outer plate 135. The main frame 132 has a size that overlaps the processing conveyor 2 and the conveying conveyor 3 in two stages up and down and simultaneously supports them. The conveyer conveyor 3 is supported by a stay part 136 provided in the main frame 132.

플로팅 프레임(133)은, 처리 컨베이어(2)를 지지하는 프레임이다. 플로팅 프레임(133)은, 처리 컨베이어(2)에서의 리페어 처리에 지장을 초래하는 진동을 방지하기 위해, 메인 프레임(132) 내에 제진기(134)를 사이에 두고 장착되어 있다. The floating frame 133 is a frame that supports the processing conveyor 2. The floating frame 133 is mounted in the main frame 132 with the vibration damper 134 interposed therebetween in order to prevent the vibration which causes the repair process in the processing conveyor 2.

제진기(134)는, 공기압을 이용한 에어 스프링 기구 등을 이용하여 구성되어 있다. 게다가, 제진기(134)에는, 레벨 조정 기구가 설치되어 있다. 상기 제진기(134)에 의해, 처리 컨베이어(2)가 안전하게 지지되어 있다. 이에 의해, 지진 등에 의해 처리 컨베이어(2)가 흔들리지 않고, 안전하게 리페어 처리를 실시할 수 있다.The vibration damper 134 is comprised using the air spring mechanism etc. which used air pressure. In addition, the vibration damper 134 is provided with a level adjusting mechanism. By the vibration damper 134, the processing conveyor 2 is securely supported. As a result, the repairing process can be performed safely without causing the processing conveyor 2 to shake due to an earthquake or the like.

하우징(131)의 패널 반입구(도14의 처리 컨베이어(2)에 면하는 하우징(131)의 좌측면)에는 셔터(137)가 설치되어 있다. 패널 반출구(도14의 반송 컨베이어(3)에 면하는 하우징(131)의 좌측면)에는 셔터(138)가 설치되어 있다. 이들 셔터(137, 138)에는, 인터록 스위치가 설치되어 있다. 이들 셔터(137, 138)는, 레이저 조사 중에는 닫혀, 레이저광이 외부로 새는 것을 방지하고 있다.A shutter 137 is provided at the panel inlet opening of the housing 131 (the left side of the housing 131 facing the processing conveyor 2 in FIG. 14). A shutter 138 is provided at the panel discharge port (left side of the housing 131 facing the conveyer 3 of FIG. 14). These shutters 137 and 138 are provided with interlock switches. These shutters 137 and 138 are closed during laser irradiation to prevent the laser light from leaking outside.

상기 리페어 장치(130)에 의해서도, 상기 실시형태와 같은 작용, 효과를 가져 올 수 있다.Also with the said repair apparatus 130, the effect and effect similar to the said embodiment can be brought.

더욱이, 제진기(134)로 지지된 플로팅 프레임(133)에 의해 처리 컨베이어(2)를 지지했기 때문에, 리페어 장치(130)가 어떠한 원인으로 진동해도, 리페어부(9)에서의 리페어 처리를 안전하게 할 수 있다.Furthermore, since the processing conveyor 2 is supported by the floating frame 133 supported by the vibration damper 134, even if the repair apparatus 130 vibrates for any reason, the repair processing at the repair unit 9 can be safely performed. Can be.

또한, 상기 실시형태에서는, 처리 컨베이어(2)와 반송 컨베이어(3)를 세로로 겹쳐 구성했지만, 가로로 나열하여 구성해도 좋다. 처리 컨베이어(2)의 패널 반입구로 패널(4)을 되돌릴 필요가 없는 경우에는, 반송 컨베이어(3)를 설치하지 않고, 처리 컨베이어(2)만으로 리페어 장치(1)를 구성해도 좋다. In addition, in the said embodiment, although the processing conveyor 2 and the conveyance conveyor 3 were comprised vertically, you may comprise them horizontally. When it is not necessary to return the panel 4 to the panel delivery port of the processing conveyor 2, the repair apparatus 1 may be comprised only by the processing conveyor 2, without providing the conveyance conveyor 3. As shown in FIG.

상기 실시형태 및 변형예에 따른 리페어 장치는, 레이저광으로 결함부를 리페어할 수 있는 회로 등을 갖춘 패널 전반에 이용할 수 있다.
The repair apparatus which concerns on the said embodiment and a modification can be used for the whole panel provided with the circuit etc. which can repair a defective part with a laser beam.

1 : 리페어 장치 2 : 처리 컨베이어
3 : 반송 컨베이어 4 : 패널
6 : 하우징 7 : 롤러 컨베이어부
7A : 프리 롤러 8 : 반입부
9 : 리페어부 10 : 반출부
11 : 패널 반송 스테이지 13 : 프레임
15 : 반입 롤러부 16 : 리프터부
17 : X축 얼라인먼트 기구 18 : ID 리더
18A : 카메라 19 : 스테이(stay)
20 : 조정용 슬릿 22 : 지지핀부
24 : 승강기 25 : 지지핀
27 : 슬라이더 28 : 패널 받침
29 : 가이드 레일 31 : 지지판
32 : 가이드 봉 33 : 승강 실린더
34 : 승강 지지판 35 : 지주
37 : 지지판 38 : 제1 패널 클램프
39 : 제2 패널 클램프 42 : 접촉부
43 : 지주 44 : 슬라이더
46 : 접촉부 47 : 지주
48 : 슬라이더 50 : XYZ축 스테이지
51 : Y축 이동기구 52 : X축 이동기구
53 : 레일 봉 54 : 슬라이더
55 : 가이드 레일 56 : 슬라이더
57 : 지지봉 60 : 레이저 장치
61 : XY축 스테이지 62 : 조명 먼지 제거장치
65 : 레이저 유닛 66 : 광학계
67 : 레이저 발진기 68 : 결상(結像) 렌즈
69 : 전(全)반사 거울 70 : 하프 거울
71 : 대물 렌즈 72 : 가이드 광원
74 : CCD 카메라 75 : 결상 렌즈
76 : 하프 거울 77 : 동축 조명 광원
78 : 전반사 거울 80 : Y축 이동기구
81 : X축 이동기구 83 : 가이드 레일
84 : 슬라이더 85 : 가이드 레일
88 : 조명부 89 : 먼지 제거부
90 : 지지판 92 : XYZ축 스테이지
93 : Y축 이동기구 94 : X축 이동기구
96 : 레일 봉 97 : 슬라이더
98 : 가이드 레일 99 : 슬라이더
100 : Y축 패널 클램프 기구 101 : X축 반송기구
103 : 연결판 104 : 가이드 레일
105 : 슬라이더 106 : 지지 암
107 : 클램프부 109 : 가이드 레일
110 : 슬라이더 111 : 제어부
113 : 반송 로봇 114 : 출입용 로봇
116 : 하우징 117 : 롤러 컨베이어부
118 : 반입부 119 : 반출부
121 : 프레임 123 : 회전 롤러
124 : 자기 종동 롤러 125 : 자기 구동 롤러
126 : 구동 모터 130 : 리페어 장치
131 : 하우징 132 : 메인 프레임
133 : 플로팅 프레임 134 : 제진기
135 : 외측 판 136 : 스테이(stay)부
137 : 셔터 138 : 셔터1: repair device 2: processing conveyor
3: conveying conveyor 4: panel
6 housing 7 roller conveyor
7A: free roller 8: carrying part
9: Repair unit 10: Carry out unit
11: panel conveyance stage 13: frame
15: carrying-in roller part 16: lifter part
17: X axis alignment mechanism 18: ID reader
18A: Camera 19: Stay
20: adjustment slit 22: support pin
24: elevator 25: support pin
27: Slider 28: Panel Stand
29: guide rail 31: support plate
32: guide rod 33: lifting cylinder
34: lifting support plate 35: prop
37 support plate 38 first panel clamp
39 second panel clamp 42 contact portion
43: holding 44: slider
46: contact portion 47: holding
48: slider 50: XYZ axis stage
51: Y axis moving mechanism 52: X axis moving mechanism
53: rail rod 54: slider
55: guide rail 56: slider
57: support rod 60: laser device
61: XY axis stage 62: light dust removal device
65 laser unit 66 optical system
67 laser oscillator 68 imaging lens
69: total reflection mirror 70: half mirror
71: objective lens 72: guide light source
74: CCD camera 75: imaging lens
76: half mirror 77: coaxial light source
78: total reflection mirror 80: Y-axis moving mechanism
81: X axis moving mechanism 83: Guide rail
84: slider 85: guide rail
88: lighting unit 89: dust removal unit
90: support plate 92: XYZ axis stage
93: Y axis moving mechanism 94: X axis moving mechanism
96: rail rod 97: slider
98: guide rail 99: slider
100: Y-axis panel clamp mechanism 101: X-axis conveyance mechanism
103: connecting plate 104: guide rail
105: slider 106: support arm
107: clamp portion 109: guide rail
110: slider 111: control unit
113: carrier robot 114: robot for entry
116 housing 117 roller conveyor portion
118: carrying in 119: carrying out
121: frame 123: rotating roller
124: magnetic driven roller 125: magnetic drive roller
126: drive motor 130: repair device
131 housing 132 main frame
133: floating frame 134: vibration damper
135: outer plate 136: stay part
137: shutter 138: shutter

Claims (4)

처리 대상 패널의 리페어 처리를 하는 리페어 장치로서,
처리 대상 패널을 반송하여 리페어 처리를 행하는 처리 컨베이어를 갖추고,
상기 처리 컨베이어가,
상기 처리 대상 패널을 슬라이드 가능하게 지지하는 롤러 컨베이어부;
상기 롤러 컨베이어부의 상류 쪽에 설치되고 처리 대상 패널을 외부에서 반입하는 반입부;
상기 롤러 컨베이어부의 중앙부에 설치되고 상기 반입부에서 받은 상기 패널에 리페어 처리를 실시하는 리페어부;
상기 롤러 컨베이어부의 하류 쪽에 설치되고 상기 리페어부에서 리페어 처리가 실시된 상기 패널을 외부로 반출하는 반출부; 및
상기 반입부에 반입된 상기 패널의 반송 방향으로 직행하는 방향의 위치 결정을 하여 그 패널을 반송 방향의 상기 리페어부 및 상기 반출부로 반송함과 동시에 반송 방향의 위치 결정을 하는 패널 반송 스테이지를 갖추고,
상기 롤러 컨베이어부가, 구동원을 갖지 않고 상기 패널을 슬라이드 가능하게 지지하는 프리 롤러를 갖추어 구성되고 상기 패널 반송 스테이지에 의한 상기 패널의 반송을 보조하고,
상기 리페어부가, 상기 롤러 컨베이어부의 아래쪽에서 상기 패널의 결함부에 레이저광을 조사하여 리페어를 실시하는 레이저 장치와, 상기 레이저 장치를 반송 방향과 그것에 직행하는 방향으로 이동시켜 레이저광의 조사 위치와 상기 패널의 결함 위치를 맞추는 XY축 스테이지를 갖추고,
상기 XY축 스테이지가, 상기 레이저 장치의 반송 방향과 직행하는 방향의 위치 조정을 행하는 Y축 이동기구와, 상기 패널 반송 스테이지로 상기 패널의 위치 결정이 된 후에 상기 레이저 장치를 반송 방향으로 이동시켜 보조적으로 레이저광의 조사 위치와 결함 위치와의 미세조정을 행하는 X축 이동기구를 갖춘 것을 특징으로 하는 리페어 장치.
A repair apparatus for repairing a panel to be processed,
It is equipped with the processing conveyor which conveys a process target panel and performs a repair process,
The processing conveyor,
A roller conveyor unit for slidably supporting the processing target panel;
An import unit installed upstream of the roller conveyor unit and carrying in a panel to be processed from the outside;
A repair unit installed at a central portion of the roller conveyor unit to perform a repair process on the panel received from the loading unit;
A carrying-out unit installed at a downstream side of the roller conveyor unit and carrying out the repaired panel at the repair unit to the outside; And
A panel conveying stage for positioning in the direction that goes straight to the conveying direction of the panel carried in the conveying part and conveying the panel to the repair part and the conveying part in the conveying direction and positioning in the conveying direction,
The roller conveyor unit is provided with a free roller for slidably supporting the panel without having a driving source, and assists the conveyance of the panel by the panel conveying stage,
A laser device for performing repair by irradiating a laser beam to a defective portion of the panel from below the roller conveyor, and repairing the laser device in a conveyance direction and a direction perpendicular to the laser beam irradiation position and the panel; XY axis stage to match defect location of
The Y-axis moving mechanism performs position adjustment in a direction that is directly parallel to the conveying direction of the laser device, and the laser device is moved in the conveying direction after positioning the panel by the panel conveying stage. And an X-axis moving mechanism for finely adjusting the laser beam irradiation position and the defect position.
제1항에 있어서, 상기 처리 컨베이어에서 처리가 끝난 상기 패널을 받아 외부로 반송하는 반송 컨베이어가, 상기 처리 컨베이어와 세로 또는 가로로 나열하여 배설된 것을 특징으로 하는 리페어 장치.
2. The repair apparatus according to claim 1, wherein a transport conveyor for receiving the processed panel from the processing conveyor and transporting the panel to the outside is arranged in a vertical or horizontal manner with the processing conveyor.
제1항에 있어서, 레이저 장치가 상기 패널에 그 아래쪽에서 향하게 한 대물 렌즈를 갖추고, 상기 대물 렌즈에 먼지의 부착을 방지하는 셔터를 갖춘 것을 특징으로 하는 리페어 장치.
2. The repair apparatus according to claim 1, wherein a laser apparatus is provided with an objective lens facing downward from the panel, and a shutter for preventing dust from adhering to the objective lens.
제1항에 있어서, 상기 패널의 결함부를 조명하는 조명부와, 상기 레이저 장치의 렌즈의 먼지를 제거하는 먼지 제거부를 갖는 조명 먼지 제거장치를 갖추고,
상기 조명 먼지 제거장치를 지지하고 상기 조명부가, 그 투과 조명의 광축과, 상기 레이저 장치로부터의 레이저광의 광축이 동일 축 상에 맞추어지도록, 상기 레이저 장치의 이동과 함께 추종, 이동되어, 상시 조명 상태를 확보하는 XYZ축 스테이지를 갖춘 것을 특징으로 하는 리페어 장치.The illumination dust removing apparatus according to claim 1, further comprising an illumination unit for illuminating a defective portion of the panel and a dust removal unit for removing dust from the lens of the laser device.
The illumination unit is supported and moved along with the movement of the laser device so that the illumination unit is aligned with the optical axis of the transmitted light and the optical axis of the laser light from the laser device on the same axis, thereby constantly lighting. Repair device characterized in that it has an XYZ axis stage to secure the.
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