JP5432804B2 - Repair device - Google Patents

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Description

本発明は、液晶パネル等のリペアを行うリペア装置に関する。   The present invention relates to a repair device for repairing a liquid crystal panel or the like.

液晶パネルは、一般に、電極に配線を介して個々に接続された複数の薄膜トランジスタの側の基板と、カラーフィルタのような光フィルタの側の基板との間に、液晶層を配置して構成されている。このような表示用パネルは、製造過程で点灯検査が行われる。点灯検査の結果、不良品となったパネルのうち、修正可能なものはリペア処理が施される。このような修正を行う装置としては、例えば特許文献１の表示用パネルの処理装置がある。   A liquid crystal panel is generally configured by disposing a liquid crystal layer between a substrate on the side of a plurality of thin film transistors individually connected to electrodes via wiring and a substrate on the side of an optical filter such as a color filter. ing. Such a display panel is subjected to lighting inspection during the manufacturing process. Of the panels that have become defective as a result of the lighting inspection, those that can be corrected are subjected to repair processing. As an apparatus for performing such correction, there is, for example, a display panel processing apparatus disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-228561.

この表示用パネルの処理装置は、表示用パネルをこれの薄膜トランジスタ及び配線が光フィルタより下側となる状態に共同して受ける複数のパネル受けと、少なくとも２つのパネル受けに個々に対応して備えられた少なくとも２つのプローブブロックであって表示用パネルの電極の上方側に接触子を押圧可能のプローブブロックと、表示用パネルの被処理箇所に照明用光線を上方から照射するバックライトと、表示用パネルの下方側に配置された処理ユニットとを含んで構成されている。処理ユニットは、被処理箇所に処理用のレーザ光線を下方側から照射するレーザ発生器と、被処理箇所を下方側から撮影するビデオカメラとを含んで構成されている。これにより、表示用パネルの上下を逆にすることなく、修正を行うことが可能になる。   The display panel processing apparatus includes a plurality of panel receivers that receive the display panel in a state where the thin film transistor and the wiring thereof are below the optical filter, and at least two panel receivers. A probe block capable of pressing a contactor on the upper side of the electrode of the display panel, a backlight for irradiating a processing beam of the display panel with an illumination beam from above, and a display And a processing unit disposed on the lower side of the panel. The processing unit is configured to include a laser generator that irradiates a processing laser beam to the processing site from below and a video camera that captures the processing site from below. This makes it possible to make corrections without turning the display panel upside down.

特開２００５−２２７６５２号公報JP-A-2005-227652

上述した処理装置では、外部から搬入された表示用パネルをパネル受けで受けて処理を施し、処理が終了した表示用パネルを外部に搬出し、新たな表示用パネルを搬入して上述の処理を繰り返し、複数の表示用パネルの修正が行われる。   In the processing apparatus described above, the display panel carried in from the outside is received by the panel receiver, the processing is performed, the display panel after the processing is carried out, the new display panel is carried in, and the above processing is performed. Repeatedly, a plurality of display panels are corrected.

この処理装置により、表示用パネルをその下側から効率的に修正することができるが、表示用パネルの枚数が多くなると、表示用パネルの搬入、位置決め、修正処理、搬出の一連の動作に時間がかかり、枚数の多い表示用パネルを連続的に処理するのには適さない。   With this processing device, the display panel can be efficiently corrected from the lower side. However, when the number of display panels increases, it takes time for a series of operations of loading, positioning, correcting, and unloading the display panel. Therefore, it is not suitable for continuously processing a large number of display panels.

本発明は、パネルを連続的にかつ効率的にリペアすることができるリペア装置を提供することを目的とする。   An object of this invention is to provide the repair apparatus which can repair a panel continuously and efficiently.

上記課題を解決するための本発明は、処理対象パネルのリペア処理を行うリペア装置であって、処理対象パネルを搬送してリペア処理を行う処理コンベアを備え、当該処理コンベアが、前記処理対象パネルをスライド可能に支持するローラコンベア部と、当該ローラコンベア部の上流側に設けられて処理対象パネルを外部から搬入する搬入部と、前記ローラコンベア部の中央部に設けられて前記搬入部から受け取った前記パネルにリペア処理を施すリペア部と、前記ローラコンベア部の下流側に設けられて前記リペア部でリペア処理が施された前記パネルを外部に搬出する搬出部と、Ｙ軸パネルクランプ機構及びＸ軸搬送機構を備え、上記Ｙ軸パネルクランプ機構を用いて前記搬入部に搬入された前記パネルの搬送方向に直交する方向の位置決めをし、上記Ｘ軸搬送機構を用いて当該パネルを搬送方向の前記リペア部及び前記搬出部に搬送すると共に搬送方向の位置決めをするパネル搬送ステージとを備え、前記ローラコンベア部が、駆動源を持たず前記パネルをスライド可能に支持するフリーローラを備えて構成されて、前記パネル搬送ステージによる前記パネルの搬送を、前記フリーローラが回動することによって搬送が円滑になるように補助し、前記リペア部が、前記ローラコンベア部の下側から前記パネルの欠陥部にレーザ光を照射してリペアを施すレーザ装置と、当該レーザ装置を搬送方向とそれに直交する方向とに移動させてレーザ光の照射位置と前記パネルの欠陥位置とを合わせるＸＹ軸ステージとを備え、当該ＸＹ軸ステージが、前記レーザ装置の搬送方向と直交する方向の位置調整を行うＹ軸移動機構と、前記パネル搬送ステージで前記パネルの位置決めがされた後に前記レーザ装置を搬送方向に移動させて補助的にレーザ光の照射位置と欠陥位置との微調整を行うＸ軸移動機構とを備えたことを特徴とする。 This invention for solving the said subject is a repair apparatus which performs the repair process of a process target panel, Comprising: The process conveyor which conveys a process target panel and performs a repair process is provided, The said process conveyor is the said process target panel. A roller conveyor unit that slidably supports, a loading unit that is provided on the upstream side of the roller conveyor unit, and that carries in the panel to be processed from the outside, and that is provided in the center of the roller conveyor unit and is received from the loading unit. A repair unit that performs a repair process on the panel, a carry-out unit that is provided on the downstream side of the roller conveyor unit and carries out the repair process in the repair unit, a Y-axis panel clamp mechanism, A position in a direction perpendicular to the transport direction of the panel that is provided with the X-axis transport mechanism and is carried into the carry-in portion using the Y-axis panel clamp mechanism. And a panel transport stage for transporting the panel to the repair unit and the unloading unit in the transport direction and positioning in the transport direction using the X-axis transport mechanism, and the roller conveyor unit includes a drive source the said panel is configured to include a free roller which slidably supported without the transport of the panel by the panel transfer stage, the free rollers assist so conveyed can smoothly by rotating, The repair unit irradiates a defective portion of the panel with a laser beam from below the roller conveyor unit to repair the laser device, and moves the laser device in a transport direction and a direction orthogonal to the laser beam. with an irradiation position of the defect position of the panel and the XY-axis stage to adjust the, the XY axis stage, perpendicular to the transport direction of the laser device A Y-axis moving mechanism that adjusts the position in the direction of movement, and after the panel is positioned on the panel transfer stage, the laser device is moved in the transfer direction to assist the fine adjustment of the laser light irradiation position and the defect position. And an X-axis moving mechanism for performing adjustment.

処理対象パネルにその下側からレーザ光を照射して効率的にリペア処理を行うことができる。   Repair processing can be efficiently performed by irradiating the processing target panel with laser light from below.

本発明の実施形態に係るリペア装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the repair apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るリペア装置の処理コンベアを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the processing conveyor of the repair apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るリペア装置の処理コンベアを示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the processing conveyor of the repair apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るリペア装置のリフター部及びＸ軸アライメント機構を示す平面図である。It is a top view which shows the lifter part and X-axis alignment mechanism of the repair apparatus which concern on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るリペア装置のリフター部及びＸ軸アライメント機構を示す側面図である。It is a side view which shows the lifter part and X-axis alignment mechanism of the repair apparatus which concern on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るリペア装置の搬入部を示す平面図である。It is a top view which shows the carrying-in part of the repair apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るリペア装置の搬入部を示す側面図である。It is a side view which shows the carrying-in part of the repair apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るリペア装置のレーザ装置を示す正面図である。It is a front view which shows the laser apparatus of the repair apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るリペア装置のレーザ装置を示す側面図である。It is a side view which shows the laser apparatus of the repair apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るリペア装置の搬送コンベアのローラコンベア部を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the roller conveyor part of the conveyance conveyor of the repair apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るリペア装置を示す側面図である。It is a side view which shows the repair apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るリペア装置を示す平面図である。It is a top view which shows the repair apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るリペア装置の制御部での処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process in the control part of the repair apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の変形例を示す側面図である。It is a side view which shows the modification of this invention.

以下、本発明の実施形態に係るリペア装置について添付図面を参照して説明する。   Hereinafter, a repair device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

本実施形態のリペア装置は、ローラコンベアの下側で、各ローラの間にレーザ照射口を設け、ローラコンベア上のパネルにその下側からレーザを照射して欠陥等をリペアする装置である。このリペア装置で処理する対象物は、レーザ光で欠陥を除去できる液晶パネルのセル基板等である。   The repair device of the present embodiment is a device that repairs defects and the like by providing laser irradiation ports between the rollers below the roller conveyor and irradiating the panel on the roller conveyor with laser from below. An object to be processed by the repair apparatus is a cell substrate of a liquid crystal panel that can remove defects with a laser beam.

図１に示すリペア装置１は、ローラコンベアを二段に重ねて構成されている。具体的にはリペア装置１は、下段の処理コンベア２と、上段の搬送コンベア３とから構成されている。下段の処理コンベア２は、処理対象のパネル４（図６参照）のリペア処理を行う装置であり、上段の搬送コンベア３は、リペア処理後のパネル４を受け取って外部へ搬送するための装置である。   The repair apparatus 1 shown in FIG. 1 is configured by stacking roller conveyors in two stages. Specifically, the repair device 1 includes a lower processing conveyor 2 and an upper transport conveyor 3. The lower processing conveyor 2 is a device that performs repair processing on the panel 4 to be processed (see FIG. 6), and the upper transport conveyor 3 is a device that receives the panel 4 after repair processing and transports it to the outside. is there.

処理コンベア２は、図１、２に示すように、筺体６と、ローラコンベア部７と、搬入部８と、リペア部９と、搬出部１０と、パネル搬送ステージ１１とから構成されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the processing conveyor 2 includes a housing 6, a roller conveyor unit 7, a carry-in unit 8, a repair unit 9, a carry-out unit 10, and a panel conveyance stage 11.

筺体６は、フレーム１３と、外側板（図示せず）とから構成されている。フレーム１３は、ローラコンベア部７等を収納して支持するための骨組みである。フレーム１３は、製管溶接構造によって構成されている。外側板は、フレーム１３を覆う板材である。外側板は、ステンレス板等で構成される。筺体６の上流側端部（図１中の左側端部）には、パネル４を搬入するためのパネル搬入口（図示せず）が搬入部８に面して設けられる。パネル搬入口にはシャッタ（図示せず）が設けられている。レーザ照射中は、シャッタが閉じられて、レーザ光が外部に漏れるのを防止している。シャッタの開閉扉（図示せず）にはインターロックスイッチが設けられている。   The housing 6 is composed of a frame 13 and an outer plate (not shown). The frame 13 is a framework for storing and supporting the roller conveyor unit 7 and the like. The frame 13 is configured by a pipe making welded structure. The outer plate is a plate material that covers the frame 13. The outer plate is composed of a stainless plate or the like. At the upstream end portion (left end portion in FIG. 1) of the housing 6, a panel carry-in port (not shown) for carrying the panel 4 is provided facing the carry-in portion 8. A shutter (not shown) is provided at the panel carry-in port. During laser irradiation, the shutter is closed to prevent the laser light from leaking outside. An interlock switch is provided on the shutter door (not shown).

ローラコンベア部７は、パネル４をスライド可能に支持すると共に、パネル搬送ステージ１１でのパネル４の搬送を補助するためのコンベアである。ローラコンベア部７は、図２，３に示すように、駆動源を持たないフリーローラ７Ａを備えて構成され、パネル４を水平に保った状態でスライド可能に支持する。これにより、ローラコンベア部７は、パネル搬送ステージ１１がパネル４を支持して移動させるときに、パネル４を水平に保って落下を防止した状態で、パネル搬送ステージ１１によるパネル４の正確な移動を補助するようになっている。即ち、ローラコンベア部７がパネル搬送ステージ１１を補助することで、パネル搬送ステージ１１が、パネル４を、撓むことなく軽い力で正確に移動させることができるようになっている。   The roller conveyor unit 7 is a conveyor for supporting the panel 4 so as to be slidable and assisting the conveyance of the panel 4 on the panel conveyance stage 11. As shown in FIGS. 2 and 3, the roller conveyor unit 7 includes a free roller 7A having no drive source, and supports the panel 4 so as to be slidable while being kept horizontal. As a result, when the panel conveyor stage 11 supports and moves the panel 4, the roller conveyor unit 7 accurately moves the panel 4 by the panel conveyor stage 11 while keeping the panel 4 horizontal to prevent the panel conveyor stage 11 from falling. To help. In other words, the roller conveyor unit 7 assists the panel transport stage 11 so that the panel transport stage 11 can accurately move the panel 4 with a light force without bending.

搬入部８は、パネル４を外部から搬入する部分である。搬入部８は、ローラコンベア部７の上流側部分（図１中の左側であって、全長の３分の１程度を占める部分）に設けられている。搬入部８は、搬入ローラ部１５と、リフター部１６と、Ｘ軸アライメント機構１７と、ＩＤリーダ１８とから構成されている。   The carrying-in part 8 is a part which carries in the panel 4 from the outside. The carrying-in part 8 is provided in the upstream part (the part which is the left side in FIG. 1, and occupies about 1/3 of the full length) of the roller conveyor part 7. FIG. The carry-in unit 8 includes a carry-in roller unit 15, a lifter unit 16, an X-axis alignment mechanism 17, and an ID reader 18.

搬入ローラ部１５は、外部から搬入されるパネル４を受け取って位置決め調整する部分である。搬入ローラ部１５は、ローラコンベア部７の上流側部分に、ローラコンベア部７の一部として構成されている。搬入ローラ部１５は具体的には、ほぼＣの字型のステー１９によってフリーローラ７Ａを二つに分割して構成されている。これにより、中央に調整用スリット２０が形成されている。この調整用スリット２０は、Ｘ軸アライメント機構１７が装着されるスリットである。   The carry-in roller unit 15 is a part that receives and adjusts the position of the panel 4 carried in from the outside. The carry-in roller unit 15 is configured as a part of the roller conveyor unit 7 in the upstream portion of the roller conveyor unit 7. Specifically, the carry-in roller portion 15 is configured by dividing the free roller 7A into two by a substantially C-shaped stay 19. Thereby, the adjustment slit 20 is formed in the center. The adjustment slit 20 is a slit to which the X-axis alignment mechanism 17 is attached.

リフター部１６は、外部から搬入されるパネル４を受け取って搬入ローラ部１５に載置するための装置である。リフター部１６は、図３〜７に示すように、支持ピン部２２と、昇降板２３と、昇降機２４とから構成されている。   The lifter unit 16 is a device for receiving the panel 4 carried in from the outside and placing it on the carry-in roller unit 15. As shown in FIGS. 3 to 7, the lifter unit 16 includes a support pin unit 22, an elevating plate 23, and an elevator 24.

支持ピン部２２は、支持ピン２５と、連結板２６と、スライダ２７とから構成されている。支持ピン２５は、垂直に３本並列に配設されている。連結板２６は、３本の支持ピン２５を一体的に支持するための板材である。連結板２６は、３本の支持ピン２５を一体的に支持して、昇降されるようになっている。スライダ２７は、３本の支持ピン２５をＹ軸方向（ローラコンベア部７の長手方向と直交する方向、パネル４の搬送方向に直交する方向）に移動させるための部材である。スライダ２７は、連結板２６の下側面に設けられ、Ｙ軸方向に配設された後述するガイドレール２９にスライド可能に支持されている。支持ピン部２２は、Ｙ軸方向に２つ設けられ、６本の支持ピン２５でパネル４を支持するようになっている。支持ピン２５の上端部には、パネル４を受け取って支持するパネル受け２８が設けられている。パネル受け２８は、弾性部材で構成され、パネル４を傷付けずに支持するようになっている。スライダ２７は、任意の位置で固定できるようになっている。
これにより、各スライダ２７は、パネル４の大きさに合わせてスライドされて固定されている。 The support pin portion 22 includes a support pin 25, a connecting plate 26, and a slider 27. Three support pins 25 are vertically arranged in parallel. The connecting plate 26 is a plate material for integrally supporting the three support pins 25. The connecting plate 26 is integrally lifted and lowered by integrally supporting the three support pins 25. The slider 27 is a member for moving the three support pins 25 (direction perpendicular to the longitudinal direction of the roller conveyor 7, a direction perpendicular to the conveying direction of the panel 4) Y-axis direction. The slider 27 is provided on the lower surface of the connecting plate 26 and is slidably supported by a guide rail 29 described later disposed in the Y-axis direction. Two support pin portions 22 are provided in the Y-axis direction, and the panel 4 is supported by six support pins 25. A panel receiver 28 that receives and supports the panel 4 is provided at the upper end of the support pin 25. The panel receiver 28 is made of an elastic member and supports the panel 4 without damaging it. The slider 27 can be fixed at an arbitrary position.
Thereby, each slider 27 is slid and fixed according to the size of the panel 4.

昇降板２３は、支持ピン部２２を支持して昇降するための板材である。昇降板２３の上側面にはガイドレール２９が設けられている。このガイドレール２９は、Ｙ軸方向に４本配設されている。各ガイドレール２９に支持ピン部２２のスライダ２７がスライド可能に嵌合して、支持ピン部２２をＹ軸方向にスライド可能に支持している。昇降板２３は、Ｙ軸方向に長い長方形板状に形成されている。   The elevating plate 23 is a plate material for supporting the support pin portion 22 to move up and down. A guide rail 29 is provided on the upper side surface of the elevating plate 23. Four guide rails 29 are arranged in the Y-axis direction. A slider 27 of the support pin portion 22 is slidably fitted to each guide rail 29 to support the support pin portion 22 so as to be slidable in the Y-axis direction. The elevating plate 23 is formed in a rectangular plate shape that is long in the Y-axis direction.

昇降機２４は、昇降板２３を支持して、この昇降板２３を介して支持ピン部２２を昇降させるための装置である。具体的には昇降機２４は、外部からパネル４が搬入されるときに支持ピン部２２を、ローラコンベア部７のフリーローラ７Ａの間から上昇させてパネル４を受け取り、下降させてパネル４を搬入ローラ部１５に載置させるための装置である。昇降機２４は、支持板３１と、ガイド棒３２と、昇降シリンダ３３と、昇降支持板３４と、支柱３５とから構成されている。   The elevator 24 is a device that supports the lifting plate 23 and lifts the support pin portion 22 through the lifting plate 23. Specifically, the elevator 24 raises the support pin portion 22 from between the free rollers 7A of the roller conveyor portion 7 when the panel 4 is carried in from the outside, receives the panel 4, and lowers it to carry in the panel 4. It is a device for mounting on the roller unit 15. The elevator 24 includes a support plate 31, a guide bar 32, a lift cylinder 33, a lift support plate 34, and a support column 35.

支持板３１は、昇降板２３を直接支持するための板材である。支持板３１は昇降板２３に一体的に固定されている。ガイド棒３２は、支持板３１の昇降を案内するための棒材である。ガイド棒３２は、支持板３１の下側に一体的に設けられ、垂直方向に配設されている。ガイド棒３２は、支持板３１の下側の少なくとも４カ所に設けられ、支持板３１を安定して昇降させるように案内する。昇降シリンダ３３は、ガイド棒３２で支持された支持板３１及び昇降板２３を介して支持ピン部２２を昇降させるための装置である。昇降シリンダ３３の昇降軸３３Ａが支持板３１に固定されている。昇降シリンダ３３は、落下防止ブレーキ付エアシリンダで構成され、後述する制御部１１１で制御されている。昇降支持板３４は、昇降シリンダ３３を固定して支持すると共に、ガイド棒３２を昇降可能に支持するための板材である。昇降支持板３４は、支柱３５で支持されて、フレーム１３に固定されている。   The support plate 31 is a plate material for directly supporting the elevating plate 23. The support plate 31 is integrally fixed to the lift plate 23. The guide bar 32 is a bar material for guiding the lifting and lowering of the support plate 31. The guide bar 32 is integrally provided on the lower side of the support plate 31 and is arranged in the vertical direction. The guide rods 32 are provided at at least four places on the lower side of the support plate 31 and guide the support plate 31 so as to move up and down stably. The elevating cylinder 33 is a device for elevating the support pin portion 22 via the support plate 31 and the elevating plate 23 supported by the guide rod 32. A lifting shaft 33 </ b> A of the lifting cylinder 33 is fixed to the support plate 31. The raising / lowering cylinder 33 is comprised with the air cylinder with a fall prevention brake, and is controlled by the control part 111 mentioned later. The elevating support plate 34 is a plate material for fixing and supporting the elevating cylinder 33 and supporting the guide bar 32 so as to be movable up and down. The elevating support plate 34 is supported by a column 35 and is fixed to the frame 13.

Ｘ軸アライメント機構１７は、搬入ローラ部１５に搬入されたパネル４のＸ軸方向（搬送方向）の位置を調整するための機構である。Ｘ軸アライメント機構１７は、支持板３７と、第１パネルクランプ３８と、第２パネルクランプ３９とから構成されている。支持板３７は、第１パネルクランプ３８及び第２パネルクランプ３９を支持するための板材である。支持板３７は、Ｘ軸方向（ローラコンベア部７の長手方向）に長い長方形板状に形成されている。支持板３７の上側面には、Ｘ軸方向に直列に２つのガイドレール４１が設けられている。   The X-axis alignment mechanism 17 is a mechanism for adjusting the position in the X-axis direction (conveyance direction) of the panel 4 carried into the carry-in roller unit 15. The X axis alignment mechanism 17 includes a support plate 37, a first panel clamp 38, and a second panel clamp 39. The support plate 37 is a plate material for supporting the first panel clamp 38 and the second panel clamp 39. The support plate 37 is formed in a rectangular plate shape that is long in the X-axis direction (longitudinal direction of the roller conveyor unit 7). On the upper side surface of the support plate 37, two guide rails 41 are provided in series in the X-axis direction.

第１パネルクランプ３８は、パネル４のＸ軸方向一方（図４中の左方）の縁部に当接して支持するための部材である。第１パネルクランプ３８は、当接部４２と、支柱４３と、スライダ４４とから構成されている。当接部４２は、パネル４の縁部に直接当接する部材である。当接部４２は、弾性部材で構成されている。支柱４３は、当接部４２を一体的に支持してパネル４の縁部に当接させるための部材である。スライダ４４は、支柱４３を介して当接部４２をＸ軸方向にスライドさせるための部材である。スライダ４４は、支柱４３に一体的に連結されて、ガイドレール４１にスライド可能に嵌合している。   The first panel clamp 38 is a member for abutting and supporting one edge (left side in FIG. 4) of the panel 4 in the X-axis direction. The first panel clamp 38 includes a contact portion 42, a support column 43, and a slider 44. The contact portion 42 is a member that directly contacts the edge of the panel 4. The contact part 42 is configured by an elastic member. The support column 43 is a member for integrally supporting the contact portion 42 and contacting the edge portion of the panel 4. The slider 44 is a member for sliding the contact portion 42 in the X-axis direction via the support column 43. The slider 44 is integrally connected to the support 43 and is slidably fitted to the guide rail 41.

第２パネルクランプ３９は、パネル４のＸ軸方向他方の縁部に当接して支持するための部材である。第２パネルクランプ３９は、当接部４６と、支柱４７と、スライダ４８とから構成されている。当接部４６は、パネル４の縁部に直接当接する部材である。当接部４６は弾性部材で構成されて、２つ設けられている。支柱４７は、当接部４６を一体的に支持してパネル４の縁部に当接させるための部材である。スライダ４８は、支柱４７を介して当接部４６をＸ軸方向にスライドさせるための部材である。スライダ４８は、支柱４７に一体的に連結されて、ガイドレール４１にスライド可能に嵌合している。   The second panel clamp 39 is a member for contacting and supporting the other edge of the panel 4 in the X-axis direction. The second panel clamp 39 includes an abutting portion 46, a support column 47, and a slider 48. The contact portion 46 is a member that directly contacts the edge of the panel 4. The contact portion 46 is formed of an elastic member, and two contact portions 46 are provided. The support column 47 is a member for integrally supporting the contact portion 46 and contacting the edge portion of the panel 4. The slider 48 is a member for sliding the contact portion 46 in the X-axis direction via the support column 47. The slider 48 is integrally connected to the support 47 and is slidably fitted to the guide rail 41.

ガイドレール４１とスライダ４４，４８との間には直動機構等の駆動源（図示せず）が組み込まれ、制御部１１１で制御されている。これにより、スライダ４４，４８をＸ軸方向に、連動して互いに近接離間させたり、個別にずらしたりして、パネル４のＸ軸方向の位置決めを行うようになっている。   A drive source (not shown) such as a linear motion mechanism is incorporated between the guide rail 41 and the sliders 44 and 48 and is controlled by the control unit 111. As a result, the sliders 44 and 48 are moved closer to and away from each other in the X-axis direction, or are individually shifted to position the panel 4 in the X-axis direction.

ＩＤリーダ１８は、パネル４のＩＤを読み取るための装置である。このＩＤリーダ１８はカメラ１８Ａを有し、このカメラ１８Ａで読み取ったＩＤを基に、制御部１１１でパネル４の欠陥情報をＣＩＭから入手するようになっている。この欠陥情報に基づいてパネル搬送ステージ１１等が制御されるようになっている。   The ID reader 18 is a device for reading the ID of the panel 4. The ID reader 18 has a camera 18A, and the defect information of the panel 4 is obtained from the CIM by the control unit 111 based on the ID read by the camera 18A. The panel transport stage 11 and the like are controlled based on this defect information.

ＩＤリーダ１８は、ＸＹＺ軸ステージ５０に支持されている。ＸＹＺ軸ステージ５０は、ＩＤリーダ１８をＸＹＺ軸方向に移動可能に支持している。具体的にはＸＹＺ軸ステージ５０は、パネル４のＹ軸方向に全域とＸ軸方向の半分程度をカバーできるストロークで、ＩＤリーダ１８を移動可能に支持している。また、Ｚ軸方向は、ＩＤリーダ１８の高さを微調整する範囲で、ＩＤリーダ１８を移動可能に支持している。   The ID reader 18 is supported on the XYZ axis stage 50. The XYZ axis stage 50 supports the ID reader 18 so as to be movable in the XYZ axis directions. Specifically, the XYZ-axis stage 50 supports the ID reader 18 movably with a stroke that can cover the entire area in the Y-axis direction of the panel 4 and about half of the X-axis direction. In the Z-axis direction, the ID reader 18 is movably supported within a range in which the height of the ID reader 18 is finely adjusted.

ＸＹＺ軸ステージ５０は、図２，３に示すように、Ｙ軸移動機構５１と、Ｘ軸移動機構５２と、Ｚ軸移動機構（図示せず）とから構成されている。Ｙ軸移動機構５１は、ＩＤリーダ１８をＹ軸方向に移動可能に支持する装置である。Ｙ軸移動機構５１は、レール棒５３とスライダ５４とから構成されている。レール棒５３は、ガイドレール５３Ａを一体的に備えた部材である。スライダ５４は、ＩＤリーダ１８を支持して、Ｙ軸方向に移動させるための部材である。スライダ５４は、ＩＤリーダ１８を固定支持した状態で、レール棒５３のガイドレール５３Ａにスライド可能に支持されている。   2 and 3, the XYZ axis stage 50 includes a Y axis movement mechanism 51, an X axis movement mechanism 52, and a Z axis movement mechanism (not shown). The Y-axis moving mechanism 51 is a device that supports the ID reader 18 so as to be movable in the Y-axis direction. The Y-axis moving mechanism 51 includes a rail bar 53 and a slider 54. The rail bar 53 is a member integrally provided with a guide rail 53A. The slider 54 is a member for supporting the ID reader 18 and moving it in the Y-axis direction. The slider 54 is slidably supported on the guide rail 53A of the rail bar 53 with the ID reader 18 fixedly supported.

ガイドレール５３Ａとスライダ５４との間には直動機構等の駆動源（図示せず）が組み込まれ、制御部１１１で制御されている。これにより、ＩＤリーダ１８のＹ軸方向の位置決めを行うようになっている。   A drive source (not shown) such as a linear motion mechanism is incorporated between the guide rail 53A and the slider 54 and is controlled by the control unit 111. Thereby, the ID reader 18 is positioned in the Y-axis direction.

Ｘ軸移動機構５２は、Ｙ軸移動機構５１を介してＩＤリーダ１８をＸ軸方向に移動可能に支持する装置である。Ｘ軸移動機構５２は、ガイドレール５５とスライダ５６とから構成されている。ガイドレール５５は、Ｘ軸方向に配設されている。具体的にはガイドレール５５は、Ｘ軸方向に配設された支持棒５７に一体的に取り付けられることで、Ｘ軸方向に配設されている。支持棒５７は、Ｘ軸方向に向けた状態で、筺体６のフレーム１３に固定されている。   The X-axis moving mechanism 52 is a device that supports the ID reader 18 so as to be movable in the X-axis direction via the Y-axis moving mechanism 51. The X-axis moving mechanism 52 includes a guide rail 55 and a slider 56. The guide rail 55 is disposed in the X-axis direction. Specifically, the guide rail 55 is disposed in the X-axis direction by being integrally attached to a support bar 57 disposed in the X-axis direction. The support bar 57 is fixed to the frame 13 of the housing 6 in a state of being directed in the X-axis direction.

スライダ５６は、Ｙ軸移動機構５１のレール棒５３を一体的に支持してＸ軸方向に移動させるための部材である。スライダ５６は、レール棒５３を固定支持した状態で、ガイドレール５５にスライド可能に支持されている。   The slider 56 is a member for integrally supporting the rail bar 53 of the Y-axis moving mechanism 51 and moving it in the X-axis direction. The slider 56 is slidably supported by the guide rail 55 in a state where the rail bar 53 is fixedly supported.

ガイドレール５５とスライダ５６との間には直動機構等の駆動源（図示せず）が組み込まれ、制御部１１１で制御されている。これにより、ＩＤリーダ１８のＸ軸方向の位置決めを行うようになっている。   A drive source (not shown) such as a linear motion mechanism is incorporated between the guide rail 55 and the slider 56 and controlled by the control unit 111. Thereby, the ID reader 18 is positioned in the X-axis direction.

Ｚ軸移動機構は、上述したＹ軸移動機構５１及びＸ軸移動機構５２と同様のガイドレール（図示せず）とスライダ（図示せず）とから構成されている。これらがＺ軸方向に設けられ、制御部１１１で制御されて、ＩＤリーダ１８のＺ軸方向の位置を調整するようになっている。   The Z-axis moving mechanism includes a guide rail (not shown) and a slider (not shown) similar to the Y-axis moving mechanism 51 and the X-axis moving mechanism 52 described above. These are provided in the Z-axis direction, and are controlled by the control unit 111 to adjust the position of the ID reader 18 in the Z-axis direction.

リペア部９は、搬入部８で受け取ったパネル４にリペア処理を施すための装置である。即ち、リペア部９は、ローラコンベア部７の下側に位置してこのローラコンベアの上側に載置されたパネル４の欠陥部にレーザ光を照射してリペアを施す装置である。リペア部９は、ローラコンベア部７の中央部に設けられている。リペア部９は、レーザ装置６０と、ＸＹ軸ステージ６１と、照明ごみ除去装置６２とから構成されている。   The repair unit 9 is a device for performing a repair process on the panel 4 received by the carry-in unit 8. In other words, the repair unit 9 is a device that performs repair by irradiating a defective portion of the panel 4 positioned below the roller conveyor unit 7 and placed on the roller conveyor with laser light. The repair unit 9 is provided at the center of the roller conveyor unit 7. The repair unit 9 includes a laser device 60, an XY axis stage 61, and an illumination dust removal device 62.

レーザ装置６０は、パネル４の欠陥部に、ローラコンベア部７の下側からレーザ光を照射するための装置である。このレーザ装置６０の原理的構成を、図８，９に示す。レーザ装置６０は、リペア用のレーザ光を照射するレーザユニット６５と、画像処理によりレーザ光の照射位置を特定する光学系６６とから構成されている。レーザユニット６５は、レーザ発振器６７と、結像レンズ６８と、全反射ミラー６９と、ハーフミラー７０と、対物レンズ７１と、ガイド光源７２とから構成されている。   The laser device 60 is a device for irradiating the defective portion of the panel 4 with laser light from the lower side of the roller conveyor unit 7. The principle configuration of the laser device 60 is shown in FIGS. The laser device 60 includes a laser unit 65 that irradiates a repairing laser beam, and an optical system 66 that specifies an irradiation position of the laser beam by image processing. The laser unit 65 includes a laser oscillator 67, an imaging lens 68, a total reflection mirror 69, a half mirror 70, an objective lens 71, and a guide light source 72.

レーザ発振器６７は、パネル４の欠陥を除去するリペア用のレーザ光を発生させるための装置である。結像レンズ６８は、対物レンズ７１と協働して、レーザ発振器６７から発生したレーザ光をパネル４の欠陥に結像させるためのレンズである。全反射ミラー６９は、レーザ発振器６７からのレーザ光をパネル４側に向けるためのミラーである。ハーフミラー７０は、全反射ミラー６９からのレーザ光を透すと共にパネル４側からの光を反射させるためのミラーである。対物レンズ７１は、結像レンズ６８と協働して、レーザ発振器６７から発生したレーザ光をパネル４の欠陥に結像させるためのレンズである。対物レンズ７１は、レーザ光を、欠陥の大きさ等に合わせて複数設けられている。ここでは、５つの対物レンズ７１が並列にかつ一体的に設置されている。対物レンズ７１は、レンズ切換ステージ７３Ａで最適な対物レンズ７１に切り換えられ、フォーカス用ステージ７３Ｂで焦点が合わせられるようになっている。レンズ切換ステージ７３Ａ及びフォーカス用ステージ７３Ｂは、ステッピングモータ等の駆動源（図示せず）を備え、この駆動源が制御部１１１で制御され、欠陥情報等に基づいて最適な対物レンズ７１に切り換えられて、焦点が合わせられるようになっている。なお、対物レンズ７１には、必要に応じてゴミの付着を防止するシャッタが設けられる。   The laser oscillator 67 is a device for generating a repair laser beam that removes a defect in the panel 4. The imaging lens 68 is a lens for imaging the laser beam generated from the laser oscillator 67 on the defect of the panel 4 in cooperation with the objective lens 71. The total reflection mirror 69 is a mirror for directing the laser beam from the laser oscillator 67 to the panel 4 side. The half mirror 70 is a mirror that transmits the laser light from the total reflection mirror 69 and reflects the light from the panel 4 side. The objective lens 71 is a lens for forming an image of the laser beam generated from the laser oscillator 67 on the defect of the panel 4 in cooperation with the imaging lens 68. The objective lens 71 is provided with a plurality of laser beams in accordance with the size of the defect. Here, five objective lenses 71 are installed in parallel and integrally. The objective lens 71 is switched to the optimum objective lens 71 by the lens switching stage 73A, and is focused on the focusing stage 73B. The lens switching stage 73A and the focusing stage 73B include a driving source (not shown) such as a stepping motor, and this driving source is controlled by the control unit 111 and switched to the optimum objective lens 71 based on defect information and the like. In focus. The objective lens 71 is provided with a shutter that prevents dust from adhering as necessary.

ガイド光源７２は、レーザ光の照射位置を正確に特定するためのガイド光を発生させる装置である。ガイド光源７２からのガイド光は、レーザ光と同じ経路を辿ってパネル４の欠陥に照射され、このガイド光で照射位置が特定されて、レーザ光が照射されるようになっている。   The guide light source 72 is a device that generates guide light for accurately specifying the irradiation position of the laser light. The guide light from the guide light source 72 is irradiated on the defect of the panel 4 along the same path as the laser light, the irradiation position is specified by this guide light, and the laser light is irradiated.

光学系６６は、ＣＣＤカメラ７４と、結像レンズ７５と、ハーフミラー７６と、同軸照明光源７７と、全反射ミラー７８とから構成されている。   The optical system 66 includes a CCD camera 74, an imaging lens 75, a half mirror 76, a coaxial illumination light source 77, and a total reflection mirror 78.

ＣＣＤカメラ７４は、パネル４の欠陥を撮影するためのカメラである。ＣＣＤカメラ７４は、制御部１１１に接続され、ＣＣＤカメラ７４からの画像情報が制御部１１１で処理されるようになっている。結像レンズ７５は、対物レンズ７１と協働して、パネル４の欠陥に焦点を合わせるためのレンズである。ハーフミラー７６は、パネル４からの光を透し、同軸照明光源７７からの光を反射させるためのミラーである。同軸照明光源７７は、パネル４の欠陥部分を照明するための光源である。全反射ミラー７８は、同軸照明光源７７からの光をハーフミラー７６に反射させるためのミラーである。   The CCD camera 74 is a camera for photographing a defect of the panel 4. The CCD camera 74 is connected to the control unit 111, and image information from the CCD camera 74 is processed by the control unit 111. The imaging lens 75 is a lens for focusing on the defect of the panel 4 in cooperation with the objective lens 71. The half mirror 76 is a mirror that transmits light from the panel 4 and reflects light from the coaxial illumination light source 77. The coaxial illumination light source 77 is a light source for illuminating a defective portion of the panel 4. The total reflection mirror 78 is a mirror for reflecting the light from the coaxial illumination light source 77 to the half mirror 76.

ＸＹ軸ステージ６１は、図３に示すように、レーザ装置６０をＸ軸方向とＹ軸方向に移動させて、レーザ光の照射位置とパネル４の欠陥位置とを合わせるための装置である。ＸＹ軸ステージ６１は、Ｙ軸移動機構８０と、Ｘ軸移動機構８１とから構成されている。Ｙ軸移動機構８０は、レーザ装置６０のＹ軸方向の位置調整を行う装置である。Ｙ軸移動機構８０は、ガイドレール８３と、スライダ８４とから構成されている。ガイドレール８３はＹ軸方向に配設されている。ガイドレール８３は、筺体６のフレーム１３側に固定されて、スライダ８４をＹ軸方向にスライド可能に支持している。ガイドレール８３とスライダ８４との間には、直動機構等の駆動源（図示せず）が組み込まれている。この駆動源は、制御部１１１で制御されて、スライダ８４をＹ軸方向に正確に移動させて位置決めするようになっている。Ｙ軸移動機構８０は、パネル４のＹ軸方向の幅全域をカバーできるストロークでスライダ８４を移動させるようになっている。   As shown in FIG. 3, the XY axis stage 61 is an apparatus for moving the laser device 60 in the X axis direction and the Y axis direction so as to match the irradiation position of the laser beam with the defect position of the panel 4. The XY axis stage 61 includes a Y axis moving mechanism 80 and an X axis moving mechanism 81. The Y-axis moving mechanism 80 is a device that adjusts the position of the laser device 60 in the Y-axis direction. The Y-axis moving mechanism 80 includes a guide rail 83 and a slider 84. The guide rail 83 is disposed in the Y axis direction. The guide rail 83 is fixed to the frame 13 side of the housing 6 and supports the slider 84 so as to be slidable in the Y-axis direction. A drive source (not shown) such as a linear motion mechanism is incorporated between the guide rail 83 and the slider 84. This drive source is controlled by the control unit 111 to position the slider 84 by accurately moving the slider 84 in the Y-axis direction. The Y-axis moving mechanism 80 moves the slider 84 with a stroke that can cover the entire width of the panel 4 in the Y-axis direction.

Ｘ軸移動機構８１は、レーザ装置６０のＸ軸方向の位置調整を行う装置である。Ｘ軸移動機構８１は、ガイドレール８５と、スライダ（図示せず）とから構成されている。ガイドレール８５は、Ｙ軸移動機構８０のスライダ８４に支持された状態で、Ｘ軸方向に２本配設されている。各ガイドレール８５は、スライダをＸ軸方向にスライド可能に支持している。ガイドレール８５とスライダとの間には、直動機構等の駆動源（図示せず）が組み込まれている。この駆動源は、制御部１１１で制御されて、スライダをＸ軸方向に正確に移動させて位置決めするようになっている。Ｘ軸移動機構８１は、スライダを、１ピクセル内で僅かに移動させるだけである。即ち、Ｘ軸移動機構８１は、微調整に用いられる装置であって、パネル搬送ステージ１１でパネル４の位置決めをした後に、レーザ装置６０を移動させて、補助的にレーザ光の照射位置と欠陥位置との微調整を行う。   The X-axis moving mechanism 81 is a device that adjusts the position of the laser device 60 in the X-axis direction. The X-axis moving mechanism 81 includes a guide rail 85 and a slider (not shown). Two guide rails 85 are arranged in the X-axis direction while being supported by the slider 84 of the Y-axis moving mechanism 80. Each guide rail 85 supports the slider so as to be slidable in the X-axis direction. A drive source (not shown) such as a linear motion mechanism is incorporated between the guide rail 85 and the slider. This drive source is controlled by the control unit 111, and is positioned by accurately moving the slider in the X-axis direction. The X-axis moving mechanism 81 only moves the slider slightly within one pixel. In other words, the X-axis moving mechanism 81 is an apparatus used for fine adjustment, and after positioning the panel 4 with the panel transport stage 11, the laser device 60 is moved to assist the laser beam irradiation position and defect. Make fine adjustments to the position.

照明ごみ除去装置６２は、パネル４の欠陥部を照明すると共に、レーザ装置６０のレンズのゴミを除去するための装置である。照明ごみ除去装置６２は、照明部８８と、ごみ除去部８９と、支持板９０とから構成されている。照明部８８は、ＣＣＤカメラ７４の透過照明を行う照明部であり、パネル４の欠陥部を上側から照明する。照明部８８は、ＬＥＤ（図示せず）や集光レンズ（図示せず）等を備えて構成されている。ごみ除去部８９は、レーザ装置６０の対物レンズ７１についたゴミを除去するためのもので、エアによりゴミを吹き飛ばすようになっている。圧縮エアは、図示しないコンプレッサによって供給されている。支持板９０は、照明部８８とごみ除去部８９とを支持するための板材である。 The illumination dust removal device 62 is a device for illuminating a defective portion of the panel 4 and removing dust from the lens of the laser device 60. The illumination dust removal device 62 includes an illumination unit 88, a dust removal unit 89, and a support plate 90. The illumination unit 88 is an illumination unit that performs transmission illumination of the CCD camera 74 and illuminates a defective portion of the panel 4 from above. The illumination unit 88 includes an LED (not shown), a condenser lens (not shown), and the like. The dust removal unit 89 is for removing dust attached to the objective lens 71 of the laser device 60, and blows away dust by air. The compressed air is supplied by a compressor (not shown). The support plate 90 is a plate material for supporting the illumination unit 88 and the dust removal unit 89.

照明ごみ除去装置６２はＸＹＺ軸ステージ９２に支持されている。ＸＹＺ軸ステージ９２は、照明ごみ除去装置６２をＸＹＺ軸方向に移動可能に支持している。ＸＹＺ軸ステージ９２は、Ｙ軸移動機構９３と、Ｘ軸移動機構９４と、Ｚ軸移動機構（図示せず）とから構成されている。Ｙ軸移動機構９３は、照明ごみ除去装置６２をＹ軸方向に移動可能に支持する装置である。Ｙ軸移動機構９３は、レール棒９６とスライダ９７とから構成されている。レール棒９６は、ガイドレール９６Ａを一体的に備えた部材である。スライダ９７は、照明ごみ除去装置６２を支持して、Ｙ軸方向に移動させるための部材である。スライダ９７は、照明ごみ除去装置６２を固定支持した状態で、レール棒９６のガイドレール９６Ａにスライド可能に支持されている。ガイドレール９６Ａとスライダ９７との間には、直動機構等の駆動源（図示せず）が設けられ、照明ごみ除去装置６２をＹ軸方向に正確に移動させることができるようになっている。これにより、ＸＹＺ軸ステージ９２で照明部８８が、その透過照明の光軸と、レーザ装置６０からのレーザ光の光軸とを同一軸上に合わされるように、レーザ装置６０の移動と同期して追従、移動され、常時照明状態を確保している。   The illumination dust removing device 62 is supported by the XYZ axis stage 92. The XYZ axis stage 92 supports the illumination dust removal device 62 so as to be movable in the XYZ axis directions. The XYZ axis stage 92 includes a Y axis movement mechanism 93, an X axis movement mechanism 94, and a Z axis movement mechanism (not shown). The Y-axis moving mechanism 93 is a device that supports the illumination dust removing device 62 so as to be movable in the Y-axis direction. The Y-axis moving mechanism 93 is composed of a rail bar 96 and a slider 97. The rail rod 96 is a member integrally provided with a guide rail 96A. The slider 97 is a member for supporting the illumination dust removing device 62 and moving it in the Y-axis direction. The slider 97 is slidably supported on the guide rail 96 </ b> A of the rail rod 96 with the illumination dust removing device 62 fixedly supported. A drive source (not shown) such as a linear motion mechanism is provided between the guide rail 96A and the slider 97 so that the illumination dust removing device 62 can be accurately moved in the Y-axis direction. . As a result, the illumination unit 88 in the XYZ axis stage 92 is synchronized with the movement of the laser device 60 so that the optical axis of the transmitted illumination and the optical axis of the laser light from the laser device 60 are aligned on the same axis. Are always followed and moved to ensure that the lighting is always on.

Ｘ軸移動機構９４は、Ｙ軸移動機構９３を介して照明ごみ除去装置６２をＸ軸方向に移動可能に支持する装置である。Ｘ軸移動機構９４は、ガイドレール９８とスライダ９９とから構成されている。ガイドレール９８は、Ｘ軸方向に配設されている。具体的にはガイドレール９８は、Ｘ軸方向に配設された支持棒５７に一体的に取り付けられることで、Ｘ軸方向に配設されている。   The X-axis moving mechanism 94 is a device that supports the illumination dust removal device 62 via the Y-axis moving mechanism 93 so as to be movable in the X-axis direction. The X-axis moving mechanism 94 includes a guide rail 98 and a slider 99. The guide rail 98 is disposed in the X-axis direction. Specifically, the guide rail 98 is disposed in the X-axis direction by being integrally attached to the support rod 57 disposed in the X-axis direction.

スライダ９９は、Ｙ軸移動機構９３のレール棒９６を一体的に支持してＸ軸方向に移動させるための部材である。スライダ９９は、レール棒９６を固定支持した状態で、ガイドレール９８にスライド可能に支持されている。   The slider 99 is a member for integrally supporting the rail rod 96 of the Y-axis moving mechanism 93 and moving it in the X-axis direction. The slider 99 is slidably supported on the guide rail 98 with the rail rod 96 fixedly supported.

ガイドレール９８とスライダ９９との間には直動機構等の駆動源（図示せず）が組み込まれ、制御部１１１で制御されている。これにより、照明ごみ除去装置６２のＸ軸方向の位置決めを行うようになっている。   A drive source (not shown) such as a linear motion mechanism is incorporated between the guide rail 98 and the slider 99 and is controlled by the control unit 111. Thereby, the illumination dust removal apparatus 62 is positioned in the X-axis direction.

Ｚ軸移動機構は、上述したＹ軸移動機構９３及びＸ軸移動機構９４と同様のガイドレール（図示せず）とスライダ（図示せず）とから構成されている。これらがＺ軸方向に設けられ、制御部１１１で制御されて照明ごみ除去装置６２のＺ軸方向の位置を調整するようになっている。   The Z-axis moving mechanism includes a guide rail (not shown) and a slider (not shown) similar to the Y-axis moving mechanism 93 and the X-axis moving mechanism 94 described above. These are provided in the Z-axis direction, and are controlled by the control unit 111 to adjust the position of the illumination dust removal device 62 in the Z-axis direction.

搬出部１０は、リペア部９でリペア処理を施したパネル４を外部に搬出する部分である。搬出部１０は、ローラコンベア部７の下流側部分に設けられている。具体的には、搬出部１０は、上述したリフター部１６を、ローラコンベア部７の下流側部分の下側に備えて構成されている。即ち、Ｘ軸アライメント機構１７を除いたリフター部１６だけをローラコンベア部７の下流側部分の下側に備えて構成されている。このリフター部１６が、パネル４を持ち上げて、後述する搬送ロボット１１３に渡すようになっている。   The carry-out unit 10 is a part for carrying out the panel 4 subjected to the repair process by the repair unit 9 to the outside. The carry-out unit 10 is provided in a downstream portion of the roller conveyor unit 7. Specifically, the carry-out unit 10 is configured to include the above-described lifter unit 16 below the downstream portion of the roller conveyor unit 7. That is, only the lifter portion 16 excluding the X-axis alignment mechanism 17 is provided below the downstream portion of the roller conveyor portion 7. The lifter unit 16 lifts the panel 4 and passes it to a transfer robot 113 described later.

パネル搬送ステージ１１は、パネル４のＹ軸方向の位置決めをして、パネル４をＸ軸方向に搬送すると共にＸ軸方向の位置決めをするための装置である。パネル搬送ステージ１１は、図２，３，６，７に示すように、Ｙ軸パネルクランプ機構１００と、Ｘ軸搬送機構１０１とから構成されている。   The panel transport stage 11 is a device for positioning the panel 4 in the Y-axis direction, transporting the panel 4 in the X-axis direction, and positioning in the X-axis direction. As shown in FIGS. 2, 3, 6, and 7, the panel transport stage 11 includes a Y-axis panel clamp mechanism 100 and an X-axis transport mechanism 101.

Ｙ軸パネルクランプ機構１００は、パネル４をクランプすると共にパネル４のＹ軸方向の位置決めをする装置である。Ｙ軸パネルクランプ機構１００は、連結板１０３と、ガイドレール１０４と、スライダ１０５と、支持アーム１０６とから構成されている。   The Y-axis panel clamp mechanism 100 is a device that clamps the panel 4 and positions the panel 4 in the Y-axis direction. The Y-axis panel clamp mechanism 100 includes a connecting plate 103, a guide rail 104, a slider 105, and a support arm 106.

連結板１０３は、ローラコンベア部７の両側に配設された後述するＸ軸搬送機構１０１の２つのガイドレール１０９の間に架け渡して設けられる平板状の板材である。連結板１０３の上側面にガイドレール１０４が設けられている。スライダ１０５は、ガイドレール１０４にスライド可能に嵌合されている。このスライダ１０５は、支持アーム１０６を支持してＹ軸方向に移動させる。スライダ１０５は、ガイドレール１０４に２つ設けられている。ガイドレール１０４と２つのスライダ１０５との間には、直動機構等の駆動源（図示せず）が設けられ、制御部１１１で制御されて２つのスライダ１０５をそれぞれＹ軸方向に正確に移動させることができるようになっている。支持アーム１０６は、パネル４をクランプするための部材である。支持アーム１０６は、スライダ１０５に固定され、ローラコンベア部７に載置されるパネル４に向けて延出されている。支持アーム１０６の先端には、３つのクランプ部１０７が設けられている。   The connecting plate 103 is a flat plate material provided between two guide rails 109 of an X-axis transport mechanism 101 (described later) disposed on both sides of the roller conveyor unit 7. A guide rail 104 is provided on the upper side surface of the connecting plate 103. The slider 105 is slidably fitted to the guide rail 104. The slider 105 supports the support arm 106 and moves it in the Y-axis direction. Two sliders 105 are provided on the guide rail 104. A drive source (not shown) such as a linear motion mechanism is provided between the guide rail 104 and the two sliders 105, and each of the two sliders 105 is accurately moved in the Y-axis direction under the control of the control unit 111. It can be made to. The support arm 106 is a member for clamping the panel 4. The support arm 106 is fixed to the slider 105 and extends toward the panel 4 placed on the roller conveyor unit 7. Three clamp portions 107 are provided at the tip of the support arm 106.

Ｘ軸搬送機構１０１は、Ｙ軸パネルクランプ機構１００でクランプされたパネル４を、駆動源なしのローラコンベア部７のフリーローラ７Ａ上を搬送する装置である。Ｘ軸搬送機構１０１は、ガイドレール１０９と、スライダ１１０とから構成されている。ガイドレール１０９は、ローラコンベア部７の両側に２つ設けられている。各ガイドレール１０９は、ローラコンベア部７の長手方向である、Ｘ軸方向に配設されている。これにより、スライダ１１０をＸ軸方向にスライド可能に支持している。スライダ１１０は、各ガイドレール１０９にそれぞれ支持されて、Ｘ軸方向に移動する部材である。各スライダ１１０は、Ｙ軸パネルクランプ機構１００の連結板１０３の両端部に取り付けられて、Ｙ軸パネルクランプ機構１００をＸ軸方向に移動させるようになっている。ガイドレール１０９と２つのスライダ１１０との間には、直動機構等の駆動源（図示せず）が設けられている。この駆動源が制御部１１１で制御されて、２つのスライダ１１０を互いに同期させてＸ軸方向に正確に移動させることができるようになっている。   The X-axis transport mechanism 101 is a device that transports the panel 4 clamped by the Y-axis panel clamp mechanism 100 onto the free rollers 7A of the roller conveyor unit 7 without a drive source. The X-axis transport mechanism 101 includes a guide rail 109 and a slider 110. Two guide rails 109 are provided on both sides of the roller conveyor unit 7. Each guide rail 109 is disposed in the X-axis direction, which is the longitudinal direction of the roller conveyor unit 7. Thus, the slider 110 is supported so as to be slidable in the X-axis direction. The slider 110 is a member that is supported by each guide rail 109 and moves in the X-axis direction. Each slider 110 is attached to both ends of the connecting plate 103 of the Y-axis panel clamp mechanism 100 so as to move the Y-axis panel clamp mechanism 100 in the X-axis direction. A drive source (not shown) such as a linear motion mechanism is provided between the guide rail 109 and the two sliders 110. This drive source is controlled by the control unit 111 so that the two sliders 110 can be accurately moved in the X-axis direction in synchronization with each other.

制御部１１１は、リペア装置１全体を制御するための装置である。制御部１１１は、レーザの設定や、レシピなどを設定するコンピュータを内蔵して構成され、処理コンベア２及び搬送コンベア３の近傍に設置されている。制御部１１１の具体的な制御は後述する。   The control unit 111 is a device for controlling the entire repair device 1. The control unit 111 is configured to include a computer for setting a laser, a recipe, and the like, and is installed in the vicinity of the processing conveyor 2 and the transfer conveyor 3. Specific control of the control unit 111 will be described later.

搬送ロボット１１３は、処理コンベア２のパネル４を搬送コンベア３へ移載するための装置である。搬送ロボット１１３は、図１２に示すように、処理コンベア２の搬出部１０及び後述する搬送コンベア３の搬入部１１８に面した位置に設けられて、下段の処理コンベア２と上段の搬送コンベア３とを連接している。これにより、搬送ロボット１１３の支持アーム（図示せず）が、処理コンベア２の搬出部１０と搬送コンベア３の搬入部１１８との間で移動して、下段の処理コンベア２のパネル４を上段の搬送コンベア３へ搬送するようになっている。搬送ロボット１１３としては、パネル４を支持して搬送できる既存の装置を用いることができる。搬送ロボット１１３は、制御部１１１で制御されている。   The transfer robot 113 is a device for transferring the panel 4 of the processing conveyor 2 to the transfer conveyor 3. As shown in FIG. 12, the transfer robot 113 is provided at a position facing the unloading unit 10 of the processing conveyor 2 and a loading unit 118 of the transfer conveyor 3 described later, and the lower transfer conveyor 2, the upper transfer conveyor 3, and the like. Are connected. As a result, the support arm (not shown) of the transfer robot 113 moves between the carry-out unit 10 of the processing conveyor 2 and the carry-in unit 118 of the transfer conveyor 3, and the panel 4 of the lower process conveyor 2 is moved to the upper stage. It is conveyed to the conveyor 3. As the transfer robot 113, an existing apparatus that can support and transfer the panel 4 can be used. The transfer robot 113 is controlled by the control unit 111.

出し入れ用ロボット１１４は、下段の処理コンベア２のパネル搬入口へ外部からのパネル４を受け渡すと共に、上段の搬送コンベア３のパネル搬出口からのパネル４を受け取って外部へ搬送するための装置である。出し入れ用ロボット１１４は、図１１に示すように、処理コンベア２の搬入部８のパネル搬入口と搬送コンベア３のパネル搬出口とに面した位置に設けられている。出し入れ用ロボット１１４としては、パネル４を支持して出し入れできる既存の装置を用いることができる。出し入れ用ロボット１１４は、制御部１１１で制御されている。   The loading / unloading robot 114 is a device for delivering the panel 4 from the outside to the panel carry-in port of the lower processing conveyor 2 and receiving the panel 4 from the panel carry-out port of the upper carrying conveyor 3 and carrying it to the outside. is there. As shown in FIG. 11, the loading / unloading robot 114 is provided at a position facing the panel carry-in port of the carry-in section 8 of the processing conveyor 2 and the panel carry-out port of the transfer conveyor 3. As the loading / unloading robot 114, an existing device that can support and unload the panel 4 can be used. The loading / unloading robot 114 is controlled by the control unit 111.

搬送コンベア３は、処理コンベア２から受け取った処理済みのパネル４を外部へ搬送するための装置である。搬送コンベア３は、図１、１０に示すように、筺体１１６と、ローラコンベア部１１７と、搬入部１１８と、搬出部１１９とから構成されている。   The transport conveyor 3 is a device for transporting the processed panel 4 received from the processing conveyor 2 to the outside. As shown in FIGS. 1 and 10, the transport conveyor 3 includes a housing 116, a roller conveyor unit 117, a carry-in unit 118, and a carry-out unit 119.

筺体１１６は、処理コンベア２の筺体６と同様に、フレーム１２１と、外側板（図示せず）とから構成されている。フレーム１２１は、ローラコンベア部１１７等を収納して支持するための骨組みである。フレーム１２１は、製管溶接構造によって構成されている。外側板は、フレーム１２１を覆う板材である。外側板は、ステンレス板等で構成される。筺体１１６の上流側端部（図１中の右側端部）の側面には、パネル４を搬入するためのパネル搬入口（図示せず）が搬入部１１８に面して設けられる。   The housing 116 is comprised from the flame | frame 121 and the outer side board (not shown) similarly to the housing 6 of the processing conveyor 2. FIG. The frame 121 is a framework for storing and supporting the roller conveyor unit 117 and the like. The frame 121 is configured by a pipe welding structure. The outer plate is a plate material that covers the frame 121. The outer plate is composed of a stainless plate or the like. On the side surface of the upstream end portion (right end portion in FIG. 1) of the housing 116, a panel carry-in port (not shown) for carrying the panel 4 is provided so as to face the carry-in portion 118.

ローラコンベア部１１７は、パネル４を搬送するためのコンベアである。ローラコンベア部１１７は、マグネットドライブ式搬送コンベアで構成され、電動定量送り方式でパネル４を搬送するようになっている。ローラコンベア部１１７は具体的には、複数並列に配設された回転ローラ１２３と、各回転ローラ１２３の一端部にそれぞれ取り付けられた磁気従動ローラ１２４と、この磁気従動ローラ１２４を回転させる磁気駆動ローラ１２５と、この磁気駆動ローラ１２５を回転駆動する駆動モータ１２６とから構成されている。磁気駆動ローラ１２５は、各磁気従動ローラ１２４に一対一で対向してそれぞれ設けられている。各磁気駆動ローラ１２５は、各磁気従動ローラ１２４に直交する方向に配設された駆動モータ１２６の回転軸１２７にそれぞれ取り付けられ、駆動モータ１２６による回転によって、磁気従動ローラ１２４を介して回転ローラ１２３を回転させるようになっている。駆動モータ１２６は、制御部１１１で制御されている。これにより、搬送コンベア３に搬入されたパネル４は、駆動モータ１２６で回転駆動された回転ローラ１２３で搬出部１１９のパネル搬出口まで搬送されるようになっている。 The roller conveyor unit 117 is a conveyor for conveying the panel 4. The roller conveyor unit 117 is configured by a magnet drive type transfer conveyor, and is configured to transfer the panel 4 by an electric fixed feed method. Specifically, the roller conveyor unit 117 includes a plurality of rotating rollers 123 arranged in parallel, a magnetic driven roller 124 attached to one end of each rotating roller 123, and a magnetic drive for rotating the magnetic driven roller 124. The roller 125 and a drive motor 126 that rotationally drives the magnetic drive roller 125 are configured. The magnetic driving roller 125 is provided to face each magnetic driven roller 124 on a one-to-one basis. Each magnetic drive roller 125 is attached to a rotating shaft 127 of a drive motor 126 disposed in a direction orthogonal to each magnetic driven roller 124, and is rotated by the drive motor 126 via the magnetic driven roller 124. Is supposed to rotate. The drive motor 126 is controlled by the control unit 111. Thereby, the panel 4 carried into the conveyance conveyor 3 is conveyed to the panel carry-out port of the carry-out unit 119 by the rotation roller 123 rotated by the drive motor 126.

搬入部１１８は、パネル４を外部から搬入する部分である。搬入部１１８は、ローラコンベア部１１７の上流側部分（図１中の右側部分）に設けられている。搬入部１１８は、処理コンベア２の搬入部８や搬出部１０に備えたリフター部１６と同じリフター部１６が回転ローラ１２３の下側に設けられている。このリフター部１６は、昇降機２４で支持ピン部２２が上昇されて、支持ピン２５が各回転ローラ１２３の間から上方へ延出して、搬送ロボット１１３からのパネル４を受け取り、支持ピン２５が各回転ローラ１２３の下側へ下降して、パネル４を回転ローラ１２３に載置させるようになっている。   The carrying-in part 118 is a part which carries in the panel 4 from the outside. The carrying-in part 118 is provided in the upstream part (right side part in FIG. 1) of the roller conveyor part 117. As shown in FIG. In the carry-in unit 118, the same lifter unit 16 as the lifter unit 16 provided in the carry-in unit 8 and the carry-out unit 10 of the processing conveyor 2 is provided below the rotating roller 123. In the lifter unit 16, the support pin unit 22 is raised by the elevator 24, the support pin 25 extends upward from between the rotating rollers 123, receives the panel 4 from the transport robot 113, and the support pin 25 is The panel 4 is placed on the rotating roller 123 by being lowered to the lower side of the rotating roller 123.

搬出部１１９は、搬入部１１８からローラコンベア部１１７で搬送されたパネル４を外部に搬出する部分である。搬出部１１９は、ローラコンベア部１１７の下流側部分に設けられている。具体的には、搬出部１１９は、上述した搬入部１１８のリフター部１６と同様のリフター部１６を、ローラコンベア部１１７の下流側部分の下側に備えて構成されている。搬出部１１９の下流側端部には、出し入れ用ロボット１１４に面してパネル搬出口（図示せず）が設けられている。リフター部１６は、搬入部１１８から搬送されたパネル４を持ち上げて、パネル搬出口を介して出し入れ用ロボット１１４に渡すようになっている。パネル搬出口にはシャッタ（図示せず）が設けられている。レーザ照射中は、シャッタが閉じられて、レーザ光が外部に漏れるのを防止している。シャッタの開閉扉（図示せず）にはインターロックスイッチが設けられている。   The carry-out unit 119 is a part for carrying out the panel 4 conveyed from the carry-in unit 118 by the roller conveyor unit 117 to the outside. The carry-out unit 119 is provided in the downstream portion of the roller conveyor unit 117. Specifically, the carry-out unit 119 includes a lifter unit 16 similar to the lifter unit 16 of the carry-in unit 118 described above, below the downstream portion of the roller conveyor unit 117. A panel unloading port (not shown) is provided at the downstream end of the unloading unit 119 so as to face the loading / unloading robot 114. The lifter unit 16 lifts the panel 4 conveyed from the carry-in unit 118 and passes it to the loading / unloading robot 114 via the panel carry-out port. A shutter (not shown) is provided at the panel exit. During laser irradiation, the shutter is closed to prevent the laser light from leaking outside. An interlock switch is provided on the shutter door (not shown).

以上のように構成されたリペア装置１では、制御部１１１によって次のようにパネル４のリペア処理が行われる。図１３のフローチャートに基づいて説明する。   In the repair apparatus 1 configured as described above, the repair process of the panel 4 is performed by the control unit 111 as follows. This will be described based on the flowchart of FIG.

まず、出し入れ用ロボット１１４で、外部からのパネル４が、処理コンベア２のパネル搬入口から搬入部８に搬入される(ステップＳ１)。   First, the panel 4 from the outside is carried into the carry-in section 8 from the panel carry-in port of the processing conveyor 2 by the loading / unloading robot 114 (step S1).

搬入部８では、リフター部１６の昇降機２４の昇降シリンダ３３が昇降軸３３Ａを上昇させて支持ピン部２２の支持ピン２５を、搬入ローラ部１５の各フリーローラ７Ａの間から上昇させる。出し入れ用ロボット１１４は、パネル４を支持ピン２５のパネル受け２８上に載置して、待機状態になる。   In the carry-in unit 8, the lift cylinder 33 of the lift 24 of the lifter unit 16 raises the lift shaft 33 </ b> A to raise the support pin 25 of the support pin unit 22 from between the free rollers 7 </ b> A of the carry-in roller unit 15. The loading / unloading robot 114 places the panel 4 on the panel receiver 28 of the support pin 25 and enters a standby state.

次いで、リフター部１６では、昇降シリンダ３３が昇降軸３３Ａを下降させて支持ピン部２２の支持ピン２５を、搬入ローラ部１５の各フリーローラ７Ａの間に下降させる。これにより、パネル４は、搬入ローラ部１５のフリーローラ７Ａに載置される。   Next, in the lifter unit 16, the elevating cylinder 33 lowers the elevating shaft 33 </ b> A to lower the support pin 25 of the support pin unit 22 between the free rollers 7 </ b> A of the carry-in roller unit 15. Accordingly, the panel 4 is placed on the free roller 7A of the carry-in roller unit 15.

このとき、支持ピン２５は、そのパネル受け２８がパネル４の裏面から僅かに離れる程度で下降が停止され、Ｘ軸アライメント機構１７の第１パネルクランプ３８の当接部４２及び第２パネルクランプ３９の当接部４６の位置が、パネル４の周縁部に当接する位置に調整される。   At this time, the lowering of the support pin 25 is stopped to the extent that the panel receiver 28 is slightly separated from the back surface of the panel 4, and the contact portion 42 of the first panel clamp 38 and the second panel clamp 39 of the X-axis alignment mechanism 17. The position of the abutting portion 46 is adjusted to a position where it abuts on the peripheral edge of the panel 4.

次いで、第１パネルクランプ３８のスライダ４４と第２パネルクランプ３９のスライダ４８が、互いに近接するように設定位置にずらされて、当接部４２，４６でパネル４が押されて、パネル４のＸ軸方向の位置決めがなされる(ステップＳ２)。   Next, the slider 44 of the first panel clamp 38 and the slider 48 of the second panel clamp 39 are shifted to the set position so as to be close to each other, and the panel 4 is pushed by the contact portions 42 and 46, so that the panel 4 Positioning in the X-axis direction is performed (step S2).

さらに、パネル搬送ステージ１１の２つのスライダ１０５が互いに近接するように設定位置にずらされ、支持アーム１０６のクランプ部１０７でパネル４が押されて、パネル４のＹ軸方向の位置決めがなされると共に、クランプ部１０７でパネル４が支持される(ステップＳ３)。   Further, the two sliders 105 of the panel transport stage 11 are shifted to a set position so as to be close to each other, the panel 4 is pushed by the clamp portion 107 of the support arm 106, and the panel 4 is positioned in the Y-axis direction. The panel 4 is supported by the clamp portion 107 (step S3).

Ｘ軸アライメント機構１７とパネル搬送ステージ１１の位置決め動作は、同時に行わせてもよく、いずれか一方を先に行わせてもよい。これにより、パネル４は，ＸＹ軸方向に位置決めがなされる。次いで、Ｘ軸アライメント機構１７は、クランプ解除されて、ローラコンベア部７の下方へ降下される。   The positioning operation of the X-axis alignment mechanism 17 and the panel transport stage 11 may be performed simultaneously, or one of them may be performed first. Accordingly, the panel 4 is positioned in the XY axis direction. Next, the X-axis alignment mechanism 17 is released from the clamp and is lowered below the roller conveyor unit 7.

次いで、ＩＤリーダ１８がＸＹＺ軸ステージ５０で、パネル４のＩＤの上方に移動されて、そのＩＤを読み取られて、移動距離が演算される(ステップＳ４)。即ち、制御部１１１は、このＩＤリーダ１８で読み取ったＩＤを基に、パネル４の欠陥情報をＣＩＭから入手し、この欠陥情報に基づいて制御する。パネル４のアライメントマークが読み取られ、このアライメントマークから欠陥部位までの移動距離が特定される。   Next, the ID reader 18 is moved above the ID of the panel 4 by the XYZ axis stage 50, the ID is read, and the movement distance is calculated (step S4). That is, the control unit 111 obtains defect information of the panel 4 from the CIM based on the ID read by the ID reader 18 and controls based on the defect information. The alignment mark on the panel 4 is read, and the moving distance from the alignment mark to the defective part is specified.

この欠陥情報に基づいて、パネル搬送ステージ１１によってパネル４が設定位置に移動される(ステップＳ５)。具体的には、ローラコンベア部７のフリーローラ７Ａで補助的に支持された状態で、パネル搬送ステージ１１の支持アーム１０６がパネル４を支持し、スライダ１１０がガイドレール１０９に案内されて、パネル４をＸ軸方向に軽い力で、リペア部９の設定位置まで移動される。即ち、パネル４の欠陥のＸ軸方向の位置が、レーザ装置６０の対物レンズ７１の光軸のＸ軸方向の位置と一致する位置に移動される。   Based on this defect information, the panel 4 is moved to the set position by the panel transport stage 11 (step S5). Specifically, the support arm 106 of the panel transport stage 11 supports the panel 4 in a state of being supplementarily supported by the free rollers 7A of the roller conveyor unit 7, and the slider 110 is guided by the guide rail 109, so that the panel 4 is moved to the set position of the repair unit 9 with a light force in the X-axis direction. That is, the position of the defect of the panel 4 in the X-axis direction is moved to a position that coincides with the position of the optical axis of the objective lens 71 of the laser device 60 in the X-axis direction.

次いで、ＸＹ軸ステージ６１のＹ軸移動機構８０でレーザ装置６０がＹ軸方向に移動されて位置合わせされる(ステップＳ６)。即ち、レーザ装置６０の対物レンズ７１の光軸のＹ軸方向の位置と、パネル４の欠陥のＹ軸方向の位置とが一致する位置にレーザ装置６０が移動され、正確に位置合わせされる。   Next, the laser device 60 is moved and aligned in the Y-axis direction by the Y-axis moving mechanism 80 of the XY-axis stage 61 (step S6). That is, the laser apparatus 60 is moved to a position where the position of the optical axis of the objective lens 71 of the laser apparatus 60 in the Y-axis direction and the position of the defect of the panel 4 in the Y-axis direction coincide with each other, and the alignment is accurately performed.

さらに、パネル搬送ステージ１１のＸ軸方向の精度を補うために、Ｘ軸移動機構８１でレーザ装置６０のＸ軸方向が１ピクセル内で僅かに移動されて微調整され、精密に欠陥部を捕捉する(ステップＳ７)。即ち、レーザ装置６０と欠陥部とを精密に整合させる。このとき、カメラで映した欠陥部位の映像をモニタ（図示せず）で表示させて、オペレータに確認させるようにしてもよい。   Further, in order to compensate for the accuracy of the panel transport stage 11 in the X-axis direction, the X-axis moving mechanism 81 slightly moves the X-axis direction of the laser device 60 within one pixel and finely adjusts it to accurately capture the defective portion. (Step S7). That is, the laser device 60 and the defective portion are precisely aligned. At this time, an image of the defective part projected by the camera may be displayed on a monitor (not shown) so as to be confirmed by the operator.

さらに、上述の欠陥情報に基づいてＸＹＺ軸ステージ９２が、照明ごみ除去装置６２の照明部８８をパネル４の欠陥部の上方位置に移動させる(ステップＳ８)。これにより、照明部８８による透過照明の光軸と、ＣＣＤカメラ７４の光軸とが一致するように調整する。さらに、同軸照明光源７７の光軸とＣＣＤカメラ７４の光軸とが一致した状態で、パネル４の欠陥をＣＣＤカメラ７４で映して、レーザ発振器６７のレーザ光の光軸と、パネル４の欠陥位置とを整合させる。   Further, based on the defect information described above, the XYZ axis stage 92 moves the illumination unit 88 of the illumination dust removal device 62 to a position above the defect unit of the panel 4 (step S8). Thus, the optical axis of the transmitted illumination by the illumination unit 88 and the optical axis of the CCD camera 74 are adjusted so as to coincide with each other. Further, in a state where the optical axis of the coaxial illumination light source 77 and the optical axis of the CCD camera 74 coincide, the defect of the panel 4 is projected by the CCD camera 74, and the optical axis of the laser beam of the laser oscillator 67 and the defect of the panel 4 are displayed. Align with the position.

次いで、ガイド光源７２から可視光を出して、レーザ発振器６７のレーザ光の光軸とパネル４の欠陥位置との整合を最終的に確認して、ローラコンベア部７のフリーローラ７Ａの間からレーザ光を照射し、欠陥部分をリペアする(ステップＳ９)。   Next, visible light is emitted from the guide light source 72 to finally confirm the alignment between the optical axis of the laser beam of the laser oscillator 67 and the defect position of the panel 4, and the laser is emitted from between the free rollers 7 A of the roller conveyor unit 7. Irradiate light to repair the defective part (step S9).

リペアが終了すると、パネル搬送ステージ１１でパネル４を搬出部１０に移動させて、搬送ロボット１１３に渡して搬送コンベア３へ移送する(ステップＳ１０)。即ち、パネル搬送ステージ１１でパネル４を搬出部１０に移動させた後、パネル搬送ステージ１１は搬入部８に戻り、リフター部１６はパネル４を持ち上げて、搬送ロボット１１３の支持アームに渡す。搬送ロボット１１３の支持アームは、パネル４を支持して、搬送コンベア３へ搬送する。支持アームは、パネル４を搬送コンベア３の搬入部１１８に搬入し、搬入部１１８のリフター部１６に渡す。   When the repair is completed, the panel 4 is moved to the carry-out unit 10 on the panel transfer stage 11, and is transferred to the transfer robot 113 and transferred to the transfer conveyor 3 (step S10). That is, after the panel 4 is moved to the carry-out unit 10 by the panel transfer stage 11, the panel transfer stage 11 returns to the carry-in unit 8, and the lifter unit 16 lifts the panel 4 and passes it to the support arm of the transfer robot 113. The support arm of the transfer robot 113 supports the panel 4 and transfers it to the transfer conveyor 3. The support arm carries the panel 4 into the carry-in unit 118 of the conveyor 3 and passes it to the lifter unit 16 of the carry-in unit 118.

リフター部１６は、パネル４を受け取って搬送コンベア３のローラコンベア部１１７に載置して、ローラコンベア部１１７はパネル４を搬出部１１９に移動させる(ステップＳ１１)。ローラコンベア部１１７では、駆動モータ１２６が、磁気駆動ローラ１２５と磁気従動ローラ１２４とを介して回転ローラ１２３を回転駆動して、パネル４を搬出部１１９に移動させる。搬出部１１９に設けられたセンサ（図示せず）がパネル４を検知すると、駆動モータ１２６が停止される。   The lifter unit 16 receives the panel 4 and places it on the roller conveyor unit 117 of the transport conveyor 3, and the roller conveyor unit 117 moves the panel 4 to the carry-out unit 119 (step S11). In the roller conveyor unit 117, the drive motor 126 rotates the rotation roller 123 via the magnetic drive roller 125 and the magnetic driven roller 124 to move the panel 4 to the carry-out unit 119. When a sensor (not shown) provided in the carry-out unit 119 detects the panel 4, the drive motor 126 is stopped.

次いで、リフター部１６がパネル４を持ち上げて、出し入れ用ロボット１１４に渡して、外部に搬出する(ステップＳ１２)。出し入れ用ロボット１１４の支持アームは、パネル搬出口から搬出部１１９に挿入されて、リフター部１６で支持されたパネル４を受け取って外部に搬出する。   Next, the lifter unit 16 lifts the panel 4, passes it to the loading / unloading robot 114, and carries it out (step S 12). The support arm of the loading / unloading robot 114 is inserted into the unloading unit 119 from the panel unloading port, receives the panel 4 supported by the lifter unit 16 and unloads it to the outside.

この一連の処理において、リペア部９でのリペア処理に時間がかかるため、このリペア部９での処理に合わせて、搬入部８に次のパネル４を前もって搬入し、リペア処理が終了したら、リペア処理終了後のパネル４を搬出部１０に速やかに移動させて、すぐに次のパネル４を搬入部８で受け取ってリペア部９に移動させる。これにより、パネル４を連続的にリペア部９に搬入してリペア処理を行わせる。   In this series of processes, the repair process in the repair unit 9 takes time. Therefore, in accordance with the process in the repair unit 9, the next panel 4 is loaded into the loading unit 8 in advance and the repair process is completed. The panel 4 after the process is immediately moved to the carry-out unit 10, and the next panel 4 is immediately received by the carry-in unit 8 and moved to the repair unit 9. Thereby, the panel 4 is continuously carried in the repair part 9, and a repair process is performed.

以上のように、パネル４をローラコンベア部７の各フリーローラ７Ａ上に載置して、各フリーローラ７Ａ間からレーザ装置６０のレーザ光を欠陥部分に照射するため、パネル４の上下を逆にすることなく、欠陥のリペアをすることができる。   As described above, the panel 4 is placed on each free roller 7A of the roller conveyor unit 7, and the defective portion is irradiated with the laser beam of the laser device 60 from between the free rollers 7A. The defect can be repaired without making it.

パネル４をローラコンベア部７のフリーローラ７Ａで補助的に支持して、パネル搬送ステージ１１の支持アーム１０６で支持するようにしたので、パネル４の落下や撓みを防止して、確実に支持することができる。即ち、パネル搬送ステージ１１とローラコンベア部７とが協働して、パネル４を確実に支持することができる。これにより、大型のパネル４に対しても、パネル搬送ステージ１１で容易に支持して搬送することができる。   Since the panel 4 is supplementarily supported by the free rollers 7A of the roller conveyor unit 7 and supported by the support arm 106 of the panel transport stage 11, the panel 4 is prevented from falling and bending and is supported reliably. be able to. That is, the panel transport stage 11 and the roller conveyor unit 7 cooperate to reliably support the panel 4. As a result, the large panel 4 can be easily supported and transported by the panel transport stage 11.

さらに、パネル搬送ステージ１１のＸ軸搬送機構１０１での精度を、ＸＹ軸ステージ６１のＸ軸移動機構８１で補うようにしたため、Ｘ軸搬送機構１０１とＸ軸移動機構８１とが協働して、レーザ装置６０のＸ軸方向の位置決めを、短時間でかつ高い精度で行うことができる。この結果、協働するＸ軸搬送機構１０１及びＸ軸移動機構８１と、Ｙ軸移動機構８０とが相まって、速やかにかつ高精度で、レーザ装置６０を欠陥部位に位置合わせすることができる。これにより、大型のパネル４でも、効率的にリペア処理を行うことができる。さらに、複数のパネル４を、連続的にリペア処理することができる。即ち、本実施形態の構成にすることで、最も効率的にリペア処理を行うことができるようになる。   Furthermore, since the accuracy of the X-axis transport mechanism 101 of the panel transport stage 11 is supplemented by the X-axis movement mechanism 81 of the XY-axis stage 61, the X-axis transport mechanism 101 and the X-axis movement mechanism 81 cooperate. The positioning of the laser device 60 in the X-axis direction can be performed in a short time and with high accuracy. As a result, the cooperating X-axis transport mechanism 101 and X-axis moving mechanism 81 and the Y-axis moving mechanism 80 are combined, so that the laser device 60 can be quickly and accurately aligned with the defect site. Thereby, even with the large panel 4, the repair process can be performed efficiently. Further, the plurality of panels 4 can be repaired continuously. That is, with the configuration of the present embodiment, the repair process can be performed most efficiently.

[変形例]
前記実施形態では、処理コンベア２と搬送コンベア３とを、別部材として構成したが、図１４に示すように、一体的に構成してもよい。図１４のリペア装置１３０の全体的構成は、前記実施形態のリペア装置１とほぼ同様であるため、ここでは、同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。 [Modification]
In the said embodiment, although the process conveyor 2 and the conveyance conveyor 3 were comprised as a separate member, as shown in FIG. 14, you may comprise integrally. The overall configuration of the repair device 130 of FIG. 14 is substantially the same as that of the repair device 1 of the above-described embodiment, and therefore, the same members are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

図１４のリペア装置１３０では、１つの筺体１３１内に、処理コンベア２と搬送コンベア３とを組み込んでいる。   In the repair device 130 of FIG. 14, the processing conveyor 2 and the transfer conveyor 3 are incorporated in one casing 131.

筺体１３１は、メインフレーム１３２と、フローティングフレーム１３３と、除振機１３４と、外側板１３５とから構成されている。メインフレーム１３２は、処理コンベア２と搬送コンベア３とを上下二段に重ねてこれらを同時に支持する大きさに構成される。搬送コンベア３は、メインフレーム１３２に設けられたステー部１３６で支持される。   The casing 131 includes a main frame 132, a floating frame 133, a vibration isolator 134, and an outer plate 135. The main frame 132 is configured in such a size that the processing conveyor 2 and the transport conveyor 3 are stacked in two upper and lower stages and are supported simultaneously. The conveyor 3 is supported by a stay portion 136 provided on the main frame 132.

フローティングフレーム１３３は、処理コンベア２を支持するフレームである。フローティングフレーム１３３は、処理コンベア２でのリペア処理に支障をきたす振動を防止するために、メインフレーム１３２内に除振機１３４を介して装着されている。   The floating frame 133 is a frame that supports the processing conveyor 2. The floating frame 133 is mounted in the main frame 132 via a vibration isolator 134 in order to prevent vibrations that hinder repair processing on the processing conveyor 2.

除振機１３４は、空気圧を利用したエアスプリング機構等を用いて構成されている。さらに、除振機１３４には、レベル調整機構が設けられている。この除振機１３４によって、処理コンベア２が安全に支持されている。これにより、地震等によって処理コンベア２が揺れることがなく、安全にリペア処理を施すことができる。   The vibration isolator 134 is configured using an air spring mechanism or the like using air pressure. Further, the vibration isolator 134 is provided with a level adjustment mechanism. The processing conveyor 2 is safely supported by the vibration isolator 134. Thereby, the processing conveyor 2 is not shaken by an earthquake etc., and a repair process can be performed safely.

筺体１３１のパネル搬入口（図１４の処理コンベア２に面する筺体１３１の左側面）にはシャッタ１３７が設けられている。パネル搬出口（図１４の搬送コンベア３に面する筺体１３１の左側面）にはシャッタ１３８が設けられている。これらのシャッタ１３７，１３８には、インターロックスイッチが設けられている。これらのシャッタ１３７，１３８は、レーザ照射中は閉じられて、レーザ光が外部に漏れるのを防止している。   A shutter 137 is provided at the panel carry-in port of the housing 131 (the left side surface of the housing 131 facing the processing conveyor 2 in FIG. 14). A shutter 138 is provided at the panel exit (the left side surface of the housing 131 facing the conveyor 3 in FIG. 14). These shutters 137 and 138 are provided with interlock switches. These shutters 137 and 138 are closed during laser irradiation to prevent the laser light from leaking outside.

このリペア装置１３０によっても、前記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。   This repair device 130 can also provide the same operations and effects as the above embodiment.

さらに、除振機１３４で支持されたフローティングフレーム１３３によって処理コンベア２を支持したため、リペア装置１３０が何らかの原因で振動しても、リペア部９でのリペア処理を安全に行うことができる。   Furthermore, since the processing conveyor 2 is supported by the floating frame 133 supported by the vibration isolator 134, the repair process in the repair unit 9 can be performed safely even if the repair device 130 vibrates for some reason.

また、前記実施形態では、処理コンベア２と搬送コンベア３とを縦に重ねて構成したが、横に並べて構成してもよい。処理コンベア２のパネル搬入口にパネル４を戻す必要がない場合は、搬送コンベア３を設けず、処理コンベア２だけでリペア装置１を構成してもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the process conveyor 2 and the conveyance conveyor 3 were piled up vertically, you may arrange side by side. When it is not necessary to return the panel 4 to the panel carry-in port of the processing conveyor 2, the repairing apparatus 1 may be configured only by the processing conveyor 2 without providing the transfer conveyor 3.

前記実施形態及び変形例に係るリペア装置は、レーザ光で欠陥部をリペアすることができる回路等を備えたパネル全般に用いることができる。   The repair device according to the embodiment and the modification can be used for all panels having a circuit or the like that can repair a defective portion with a laser beam.

１：リペア装置、２：処理コンベア、３：搬送コンベア、４：パネル、６：筺体、７：ローラコンベア部、７Ａ：フリーローラ、８：搬入部、９：リペア部、１０：搬出部、１１：パネル搬送ステージ、１３：フレーム、１５：搬入ローラ部、１６：リフター部、１７：Ｘ軸アライメント機構、１８：ＩＤリーダ、１８Ａ：カメラ、１９：ステー、２０：調整用スリット、２２：支持ピン部、２４：昇降機、２５：支持ピン、２７：スライダ、２８：パネル受け、２９：ガイドレール、３１：支持板、３２：ガイド棒、３３：昇降シリンダ、３４：昇降支持板、３５：支柱、３７：支持板、３８：第１パネルクランプ、３９：第２パネルクランプ、４２：当接部、４３：支柱、４４：スライダ、４６：当接部、４７：支柱、４８：スライダ、５０：ＸＹＺ軸ステージ、５１：Ｙ軸移動機構、５２：Ｘ軸移動機構、５３：レール棒、５４：スライダ、５５：ガイドレール、５６：スライダ、５７：支持棒、６０：レーザ装置、６１：ＸＹ軸ステージ、６２：照明ごみ除去装置、６５：レーザユニット、６６：光学系、６７：レーザ発振器、６８：結像レンズ、６９：全反射ミラー、７０：ハーフミラー、７１：対物レンズ、７２：ガイド光源、７４：ＣＣＤカメラ、７５：結像レンズ、７６：ハーフミラー、７７：同軸照明光源、７８：全反射ミラー、８０：Ｙ軸移動機構、８１：Ｘ軸移動機構、８３：ガイドレール、８４：スライダ、８５：ガイドレール、８８：照明部、８９：ごみ除去部、９０：支持板、９２：ＸＹＺ軸ステージ、９３：Ｙ軸移動機構、９４：Ｘ軸移動機構、９６：レール棒、９７：スライダ、９８：ガイドレール、９９：スライダ、１００：Ｙ軸パネルクランプ機構、１０１：Ｘ軸搬送機構、１０３：連結板、１０４：ガイドレール、１０５：スライダ、１０６：支持アーム、１０７：クランプ部、１０９：ガイドレール、１１０：スライダ、１１１：制御部、１１３：搬送ロボット、１１４：出し入れ用ロボット、１１６：筺体、１１７：ローラコンベア部、１１８：搬入部、１１９：搬出部、１２１：フレーム、１２３：回転ローラ、１２４：磁気従動ローラ、１２５：磁気駆動ローラ、１２６：駆動モータ、１３０：リペア装置、１３１：筺体、１３２：メインフレーム、１３３：フローティングフレーム、１３４：除振機、１３５：外側板、１３６：ステー部、１３７：シャッタ、１３８：シャッタ。 1: Repair device, 2: Processing conveyor, 3: Transport conveyor, 4: Panel, 6: Housing, 7: Roller conveyor section, 7A: Free roller, 8: Loading section, 9: Repair section, 10: Unloading section, 11 : Panel transport stage, 13: Frame, 15: Loading roller section, 16: Lifter section, 17: X-axis alignment mechanism, 18: ID reader, 18A: Camera, 19: Stay, 20: Adjustment slit, 22: Support pin 24: Elevator, 25: Support pin, 27: Slider, 28: Panel receiver, 29: Guide rail, 31: Support plate, 32: Guide bar, 33: Lift cylinder, 34: Lift support plate, 35: Support, 37: support plate, 38: first panel clamp, 39: second panel clamp, 42: contact portion, 43: support, 44: slider, 46: contact portion, 47: support, 48: slider, 0: XYZ axis stage, 51: Y axis movement mechanism, 52: X axis movement mechanism, 53: rail bar, 54: slider, 55: guide rail, 56: slider, 57: support bar, 60: laser device, 61: XY axis stage, 62: illumination dust removal device, 65: laser unit, 66: optical system, 67: laser oscillator, 68: imaging lens, 69: total reflection mirror, 70: half mirror, 71: objective lens, 72: Guide light source, 74: CCD camera, 75: Imaging lens, 76: Half mirror, 77: Coaxial illumination light source, 78: Total reflection mirror, 80: Y axis movement mechanism, 81: X axis movement mechanism, 83: Guide rail, 84: Slider, 85: Guide rail, 88: Illumination unit, 89: Dust removal unit, 90: Support plate, 92: XYZ axis stage, 93: Y axis movement mechanism, 94: X axis movement mechanism, 9 : Rail bar, 97: Slider, 98: Guide rail, 99: Slider, 100: Y axis panel clamp mechanism, 101: X axis transport mechanism, 103: Connecting plate, 104: Guide rail, 105: Slider, 106: Support arm 107: Clamping part, 109: Guide rail, 110: Slider, 111: Control part, 113: Transfer robot, 114: Robot for loading / unloading, 116: Housing, 117: Roller conveyor part, 118: Loading part, 119: Unloading part 121: Frame, 123: Rotating roller, 124: Magnetic driven roller , 125: Magnetic drive roller , 126: Drive motor, 130: Repair device, 131: Housing, 132: Main frame, 133: Floating frame, 134: Vibration isolation 135: Outer plate 136: Stay part 137: Shutter 138: Jatta.

Claims (4)

処理対象パネルのリペア処理を行うリペア装置であって、
処理対象パネルを搬送してリペア処理を行う処理コンベアを備え、
当該処理コンベアが、
前記処理対象パネルをスライド可能に支持するローラコンベア部と、
当該ローラコンベア部の上流側に設けられて処理対象パネルを外部から搬入する搬入部と、
前記ローラコンベア部の中央部に設けられて前記搬入部から受け取った前記パネルにリペア処理を施すリペア部と、
前記ローラコンベア部の下流側に設けられて前記リペア部でリペア処理が施された前記パネルを外部に搬出する搬出部と、
Ｙ軸パネルクランプ機構及びＸ軸搬送機構を備え、上記Ｙ軸パネルクランプ機構を用いて前記搬入部に搬入された前記パネルの搬送方向に直交する方向の位置決めをし、上記Ｘ軸搬送機構を用いて当該パネルを搬送方向の前記リペア部及び前記搬出部に搬送すると共に搬送方向の位置決めをするパネル搬送ステージとを備え、
前記ローラコンベア部が、駆動源を持たず前記パネルをスライド可能に支持するフリーローラを備えて構成されて、前記パネル搬送ステージによる前記パネルの搬送を、前記フリーローラが回動することによって搬送が円滑になるように補助し、
前記リペア部が、前記ローラコンベア部の下側から前記パネルの欠陥部にレーザ光を照射してリペアを施すレーザ装置と、当該レーザ装置を搬送方向とそれに直交する方向とに移動させてレーザ光の照射位置と前記パネルの欠陥位置とを合わせるＸＹ軸ステージとを備え、
当該ＸＹ軸ステージが、前記レーザ装置の搬送方向と直交する方向の位置調整を行うＹ軸移動機構と、前記パネル搬送ステージで前記パネルの位置決めがされた後に前記レーザ装置を搬送方向に移動させて補助的にレーザ光の照射位置と欠陥位置との微調整を行うＸ軸移動機構とを備えたことを特徴とするリペア装置。 A repair device that performs repair processing on a processing target panel,
It is equipped with a processing conveyor that transports the panel to be processed and performs repair processing.
The processing conveyor
A roller conveyor unit that slidably supports the processing target panel;
A carry-in unit that is provided on the upstream side of the roller conveyor unit and carries the processing target panel from the outside;
A repair unit that is provided at the center of the roller conveyor unit and performs a repair process on the panel received from the carry-in unit;
An unloading unit for unloading the panel provided on the downstream side of the roller conveyor unit and subjected to the repair process at the repair unit;
A Y-axis panel clamp mechanism and an X-axis transport mechanism are provided, and the Y-axis panel clamp mechanism is used for positioning in a direction perpendicular to the transport direction of the panel carried into the carry-in portion, and the X-axis transport mechanism is used. a panel transfer stage to position the conveying direction while conveying the panels to the repair section and the unloading of the conveying direction Te,
The roller conveyor section, is configured with a free roller which supports the panel slidably no driving source, the conveying of the panel by the panel transfer stage, the free roller is conveyed by rotating Help to be smooth ,
The repair unit irradiates a defective portion of the panel with a laser beam from below the roller conveyor unit to repair the laser device, and moves the laser device in a transport direction and a direction orthogonal to the laser beam. An XY axis stage that matches the irradiation position of the panel and the defect position of the panel,
The XY axis stage adjusts the position in a direction perpendicular to the laser device transport direction, and the panel transport stage moves the laser device in the transport direction after the panel is positioned. A repair apparatus comprising an X-axis moving mechanism that finely adjusts a laser beam irradiation position and a defect position. 請求項１に記載のリペア装置において、
前記処理コンベアで処理が済んだ前記パネルを受け取って外部へ搬送する搬送コンベアを、前記処理コンベアと縦又は横に並べて配設されたことを特徴とするリペア装置。 The repair device according to claim 1,
A repair device, wherein a transport conveyor that receives the panel processed by the processing conveyor and conveys the panel to the outside is arranged side by side with the processing conveyor. 請求項１又は２に記載のリペア装置において、
レーザ装置が前記パネルにその下側から向けた対物レンズを備え、当該対物レンズにゴミの付着を防止するシャッタを備えたことを特徴とするリペア装置。 The repair device according to claim 1 or 2,
A repair device, wherein the laser device includes an objective lens directed to the panel from below, and a shutter that prevents dust from adhering to the objective lens. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載のリペア装置において、
前記パネルの欠陥部を照明する照明部と、前記レーザ装置のレンズのゴミを除去するごみ除去部とを有する照明ごみ除去装置を備え、
当該照明ごみ除去装置を支持して前記照明部が、当該照明部が行う透過照明の光軸と、前記レーザ装置からのレーザ光の光軸とが同一軸上に合わされるように、当該レーザ装置の移動と同期して追従、移動されて、常時照明状態を確保するＸＹＺ軸ステージを備えたことを特徴とするリペア装置。 The repair device according to any one of claims 1 to 3,
An illumination dust removing device having an illumination unit that illuminates a defective portion of the panel and a dust removal unit that removes dust from the lens of the laser device;
The laser device supports the illumination dust removing device so that the illumination unit is aligned with the optical axis of transmitted illumination performed by the illumination unit and the optical axis of the laser light from the laser device. A repair apparatus comprising an XYZ-axis stage that follows and is moved in synchronization with the movement of the motor to ensure a constant illumination state.
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