JP2001183308A - Apparatus for inspecting large-sized substrate - Google Patents

Apparatus for inspecting large-sized substrate

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JP2001183308A
JP2001183308A JP36665999A JP36665999A JP2001183308A JP 2001183308 A JP2001183308 A JP 2001183308A JP 36665999 A JP36665999 A JP 36665999A JP 36665999 A JP36665999 A JP 36665999A JP 2001183308 A JP2001183308 A JP 2001183308A
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Japan
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substrate
inspection
inspecting
substrates
jig
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Application number
JP36665999A
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Japanese (ja)
Inventor
Takahiro Noura
崇太 能浦
Original Assignee
Toray Ind Inc
東レ株式会社
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspection apparatus capable of coping with substrates having any size, capable of being easily incorporated in a manufacturing line, capable of tilling the substrate and capable of reducing the load on an inspector to perform safe inspection. SOLUTION: In an inspection apparatus for inspecting the irregularity and/or flaw of the pattern formed on a large-sized substrate, a jig for feeding the substrate to a substrate inspection area and a jig for supporting the substrate are provided and an illumination means for illuminating the substrate is provided.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイ等の平面ディスプレイの欠陥を目視検査するための
検査装置に関するものであり、特に大型で重いガラス基
板を検査するのに適した検査装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection apparatus for visually inspecting a flat display such as a plasma display for defects, and more particularly to an inspection apparatus suitable for inspecting a large and heavy glass substrate. is there.
【0002】[0002]
【従来の技術】プラズマディスプレイは、液晶ディスプ
レイに比べて高速の表示が可能であり、かつ大型化が容
易であることから、OA機器および広報表示装置などの
分野に浸透している。また、高品位テレビジョンの分野
などでの進展が非常に期待されている。
2. Description of the Related Art Plasma displays are capable of displaying images at a higher speed than liquid crystal displays and are easy to increase in size. Further, progress in the field of high-definition television is highly expected.
【0003】このような用途の拡大に伴って、精細で多
数の表示セルを有するカラープラズマディスプレイが注
目されている。プラズマディスプレイは、前面板と背面
板との間に設けられた放電空間内で電極間にプラズマ放
電を生じさせ、該放電空間内に封入されているガスから
発生した紫外線を、放電空間内の蛍光体にあてることに
より表示を行うものである。この場合、放電の広がりを
一定領域に抑え、表示を規定のセル内で行わせると同時
に、かつ均一な放電空間を確保するために隔壁(障壁、
リブともいう)が設けられている。
[0003] With the expansion of such uses, a color plasma display having a large number of fine display cells has attracted attention. In a plasma display, a plasma discharge is generated between electrodes in a discharge space provided between a front plate and a back plate, and ultraviolet light generated from a gas sealed in the discharge space is converted into fluorescent light in the discharge space. The display is performed by hitting the body. In this case, in order to suppress the spread of the discharge to a certain area and perform the display in the specified cell, and at the same time, to secure a uniform discharge space, the partition (barrier,
Ribs).
【0004】プラズマディスプレイは上記のように、前
面板と背面板とを張り合わせて構成される。前面板に
は、ガラス基板の内側にITOや酸化錫からなる透明電
極(表示電極)が形成されている。透明電極は帯状に複
数本形成される。この隣り合う透明電極間に通常10k
Hz〜数10kHzのパルス状AC電圧を印加し表示用
の放電を得るが、透明電極のシート抵抗は数10Ω/c
m2と高いため、印加電圧パルスが十分に立ち上がら
ず、駆動が困難になる。そこで通常は、透明電極上に金
属製のバス電極を形成して抵抗値を下げる。次に、これ
ら電極を透明誘電体層によって被覆する。透明誘電体層
は低融点ガラスを用いる。その後、保護層として酸化マ
グネシウム層を電子ビーム蒸着法により形成する。前面
ガラス基板に形成される誘電体層は、放電のための電荷
を蓄積するためのコンデンサーとしての役割を有してい
る。
[0004] As described above, a plasma display is constructed by laminating a front plate and a back plate. On the front plate, a transparent electrode (display electrode) made of ITO or tin oxide is formed inside a glass substrate. A plurality of transparent electrodes are formed in a strip shape. Normally 10k between adjacent transparent electrodes
A discharge for display is obtained by applying a pulsed AC voltage of Hz to several tens kHz, but the sheet resistance of the transparent electrode is several tens Ω / c.
Since it is as high as m2, the applied voltage pulse does not rise sufficiently and driving becomes difficult. Therefore, usually, a metal bus electrode is formed on the transparent electrode to reduce the resistance value. Next, these electrodes are covered with a transparent dielectric layer. The transparent dielectric layer uses low melting point glass. After that, a magnesium oxide layer is formed as a protective layer by an electron beam evaporation method. The dielectric layer formed on the front glass substrate has a role as a capacitor for storing electric charges for discharge.
【0005】一方、背面板には、表示データを書き込む
データ電極(アドレス電極)が銀ペーストを用いて形成
されていて、その上に誘電体層を設置して被覆し、隔壁
がその上に形成されるという構成になっている。隔壁の
側面および隔壁で囲まれた底面には赤、緑、青に発光す
る蛍光体を塗布・乾燥、焼成して蛍光体層が形成され
る。
On the other hand, a data electrode (address electrode) for writing display data is formed on the back plate using silver paste, and a dielectric layer is provided thereon to cover the electrode, and a partition wall is formed thereon. It is configured to be done. A phosphor layer that emits red, green, and blue light is applied, dried, and fired to form a phosphor layer on the side surface of the partition and the bottom surrounded by the partition.
【0006】現在実用化が進められているプラズマディ
スプレイの多くは大型であり、加工段階で使用される基
板は大型のものだと厚みが3mm程度で、長手方向の長
さは1000mmを越え、重さは10キロを超える。
[0006] Most of the plasma displays which are currently being put into practical use are large in size, and a large substrate used in the processing stage has a thickness of about 3 mm, a length in the longitudinal direction exceeding 1000 mm, and is heavy. It is over 10 kilometers.
【0007】ガラス基板上に形成されたパターンの検査
については専用の検査装置を用いて行われるが、全ての
欠陥を完全に検査できる装置はなく、また製品となった
際には人間の目に触れるものであるから、人の目による
検査を行うことが必須となってくる。
[0007] The inspection of the pattern formed on the glass substrate is carried out using a dedicated inspection device, but there is no device capable of completely inspecting all the defects, and when a product is manufactured, it is detected by human eyes. Since it is touching, it is essential to perform an inspection with human eyes.
【0008】目視での基板の検査は通常、基板に照明光
を照射し、透過光や反射光を利用して検査を行う。例え
ば透過光による検査では、蛍光灯を拡散板で覆い、その
上に被検査物を乗せて検査できるような台箱が市販され
ている。また蛍光体など、紫外線により発光するものが
パターン形成されているものについては、それらを発光
させるような紫外線を照射することで検査を行う。寸法
の小さい基板であれば、人が手に運んで台箱に乗せ、様
々な角度から検査することが容易である。しかし、基板
寸法が大きく、重量があると手で持つことは危険が伴
い、また向きを変えることも容易ではなくなる。さらに
生産量が増大すればこれらを手作業で行うことは事実上
不可能となる。
Inspection of a board visually is usually performed by irradiating the board with illumination light and using transmitted light or reflected light. For example, in a test using transmitted light, a box is commercially available that can cover a fluorescent lamp with a diffuser plate and mount an object to be tested on the fluorescent lamp. In addition, a fluorescent substance or the like that emits light by ultraviolet rays is pattern-formed, and the inspection is performed by irradiating ultraviolet rays to emit the light. If the substrate is small in size, it is easy for a person to carry it and put it on a base box and inspect it from various angles. However, when the substrate is large and heavy, it is dangerous to hold it by hand, and it is not easy to change the direction. Further increases in production make it virtually impossible to do these manually.
【0009】これらを解決する手段として、例えば特開
平10−332600号公報では、基板を保持する基板
保持台と、保持台を傾斜させる傾斜手段と、保持台を昇
降可能にする架台とを設けた大型基板用検査台が提案さ
れている。検査台に傾斜、昇降させる機能を設けること
で、検査者があまり移動することなく様々な角度から検
査できるというものである。しかしながら、このような
構成にすると基板を固定するための部位は検査ができな
くなる。パターン形状は品種により異なるので、固定す
る治具を品種毎に移動、変更する必要が生じる。パター
ンが基板の最端部まで形成されているような品種の場
合、保持そのものができなくなる可能性もある。また品
種の大きさに応じても固定治具あるいは保持台そのもの
を変更する必要が生じる。また、保持台への投入につい
ては、保持台の高さ、角度を調整した後、基板留め具を
利用して被検査基板を装着するとのみ書かれており、こ
の装置を使用する場合、この装着作業を手作業で行うこ
とは危険で困難な作業になると予想される。さらに、検
査前後における基板の搬送については全く言及されてい
ない。従って、製造ラインにおいてこのような構成の装
置を使用するのは困難である。
As means for solving these problems, for example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-332600, a substrate holding table for holding a substrate, an inclining means for inclining the holding table, and a frame for allowing the holding table to move up and down are provided. Inspection tables for large substrates have been proposed. By providing the function of tilting and raising and lowering the inspection table, the inspector can inspect from various angles without moving much. However, with such a configuration, a portion for fixing the substrate cannot be inspected. Since the pattern shape differs depending on the type, it is necessary to move and change the jig to be fixed for each type. In the case of a type in which the pattern is formed up to the end of the substrate, there is a possibility that the pattern itself cannot be held. Also, depending on the size of the type, it is necessary to change the fixing jig or the holding table itself. In addition, when loading into the holding table, it is only described that after adjusting the height and angle of the holding table, the board to be inspected is mounted using the board fasteners. Performing the work manually is expected to be a dangerous and difficult task. Furthermore, there is no mention of transporting the substrate before and after the inspection. Therefore, it is difficult to use such an apparatus in a production line.
【0010】このような基板の目視検査と搬送手段を合
わせたものとして、特開平11−83674号公報にお
いて、透過光による検査ボックスと、その上部に多数の
空気吹出孔を有する空気吹出板を設け、カラーフィルタ
ー基板をその上に乗せて検査を行うカラーフィルター基
板の検査装置が提案されている。空気圧により基板をた
わむことなく水平に保持して検査することができ、また
空気吹出孔の向きにより基板を搬送させることができる
というものである。
As a combination of such a visual inspection of a substrate and a transport means, Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-83674 discloses an inspection box using transmitted light and an air blowing plate having a large number of air blowing holes provided thereon. There has been proposed a color filter substrate inspection apparatus in which a color filter substrate is placed thereon to perform inspection. Inspection can be performed by holding the substrate horizontally without bending by air pressure, and the substrate can be transported depending on the direction of the air blowing hole.
【0011】[0011]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな装置の空気圧の制御は難しく、また品種、大きさに
より変更しなければならず、多大なコストがかかること
が考えられる。また、大型で重いプラズマディスプレイ
用基板などにこの機構を設けることは非常に困難であ
る。また、このような構成では基板面を水平に保持する
ことが必要となり、基板を傾けて検査することが難しく
なる。
However, it is difficult to control the air pressure of such a device, and it must be changed depending on the type and size of the device. It is very difficult to provide this mechanism on a large and heavy plasma display substrate or the like. In addition, in such a configuration, it is necessary to hold the substrate surface horizontally, and it is difficult to perform inspection while tilting the substrate.
【0012】本発明は上記従来の問題を解決するもので
あって、様々な大きさの基板に対応ができ、生産ライン
に組み込むことが容易であり、基板を傾けることも可能
で、、検査者の負担が少なく安全に検査を行うことので
きる検査装置を提供することを目的とするものである。
The present invention solves the above-mentioned conventional problems. The present invention can cope with substrates of various sizes, can be easily incorporated into a production line, can tilt a substrate, and can inspect It is an object of the present invention to provide an inspection apparatus that can perform an inspection safely with less burden on the user.
【0013】[0013]
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、大型
基板上に形成されたパターンのむらおよび/または欠陥
を検査する検査装置であって、基板検査エリアに基板を
搬送する治具および基板を支持する治具を設け、かつ基
板面を照明するための照明手段を設けたことを特徴とす
る大型基板用検査装置である。
That is, the present invention relates to an inspection apparatus for inspecting unevenness and / or defects of a pattern formed on a large-sized substrate, and a jig for transporting the substrate to a substrate inspection area and supporting the substrate. An inspection apparatus for a large-sized substrate, comprising: a jig to be provided; and an illuminating means for illuminating a substrate surface.
【0014】[0014]
【発明の実施の形態】(検査装置の構成)本発明の実施
の形態を、実施例の図1および2に基づいて説明する。
まず、本発明の検査装置の概略構成について説明する。
図1は、本発明の大型基板用検査装置の台の一実施例を
示す概略斜視図である。図1において、1は、検査装置
のフレームである。フレームの幅、長さは製造にて使用
される基板の大きさに応じて決められる。またフレーム
の高さは作業姿勢に無理がないよう適切に選ばれる。一
例として、900〜1000mm程度が立ち作業で検査
する場合に適している。2は、基板破損防止柵である。
基板破損を防止するために設けられる。基板の側面に対
向した面に基板の破損を防止するゴムや樹脂などのクッ
ション材が設けられている。3は、搬送ローラーの軸で
ある。4は、搬送ローラーである。ローラー4は基板に
従動するフリーローラーでも良いが、自動若しくは手動
で回転する機能を備えた駆動ローラーを一部または全部
用いても良い。ローラー4の材質としては、樹脂や硬質
ゴム、エラストマーなど通常に使用できる材料が選ばれ
るが、基板を傷つけることが無く、摩擦によるゴミの発
生が少ない材料が適している。また、軸3及びローラー
4を光透過性の材質で作ると、検査時にローラー4の陰
が映りこみにくくなるので好ましい。複数のローラー4
が所定の間隔で軸3に設けられ、各軸は所定の間隔でフ
レーム1に設けられる。軸3の長さ、ピッチ、ローラー
4のピッチおよび幅は、想定される最小サイズの基板及
び最大サイズの基板が共にたわむことなく搬送できるよ
う製作時に適切に選ばれる。例えば、最小基板サイズが
500mmx850mmで、最大基板サイズが1440
mmx1100mmの場合、軸3の長さ1180mm、
軸3のピッチ250mm、ローラー4の幅30mm、ロ
ーラー4のピッチ200mmとすることにより、基板の
大きさの違いを気にすることなく搬送することができ
る。5,6は、おのおの蛍光灯および拡散板からなり、
透過照明ユニット8を形成している。透過検査ユニット
8は通常白色灯が用いられるが、必要に応じて着色光を
用いても良い。また透過検査ユニット8の長さは、その
光が想定される最大サイズの基板の幅方向を十分に照ら
すことができればよい。7は、被検査基板である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS (Configuration of Inspection Apparatus) An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
First, a schematic configuration of the inspection device of the present invention will be described.
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an embodiment of the base of the inspection apparatus for large substrates of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a frame of the inspection apparatus. The width and length of the frame are determined according to the size of the substrate used in manufacturing. In addition, the height of the frame is appropriately selected so that the working posture is not unreasonable. As an example, about 900 to 1000 mm is suitable for the case of inspecting by standing work. Reference numeral 2 denotes a substrate damage prevention fence.
It is provided to prevent substrate damage. A cushioning material such as rubber or resin is provided on a surface facing the side surface of the substrate to prevent damage to the substrate. 3 is a shaft of the transport roller. 4 is a conveyance roller. The roller 4 may be a free roller that follows the substrate, or a part or all of a driving roller having a function of rotating automatically or manually may be used. As the material of the roller 4, a material that can be used normally, such as a resin, a hard rubber, or an elastomer, is selected. However, a material that does not damage the substrate and generates less dust due to friction is suitable. In addition, it is preferable that the shaft 3 and the roller 4 are made of a light-transmitting material, because the shadow of the roller 4 is hardly reflected in the inspection. Multiple rollers 4
Are provided on the shaft 3 at predetermined intervals, and each axis is provided on the frame 1 at predetermined intervals. The length and pitch of the shaft 3 and the pitch and width of the roller 4 are appropriately selected at the time of manufacture so that both the supposed minimum size substrate and the maximum size substrate can be transported without bending. For example, the minimum substrate size is 500 mm x 850 mm and the maximum substrate size is 1440
mmx1100mm, the length of shaft 3 is 1180mm,
By setting the pitch of the shaft 3 to be 250 mm, the width of the roller 4 to be 30 mm, and the pitch of the roller 4 to be 200 mm, the substrate can be conveyed without regard to the difference in the size of the substrate. 5, 6 each consist of a fluorescent lamp and a diffuser,
The transmitted illumination unit 8 is formed. Normally, a white lamp is used for the transmission inspection unit 8, but colored light may be used as necessary. Further, the length of the transmission inspection unit 8 may be any length as long as the light can sufficiently illuminate the width direction of the assumed maximum size substrate. Reference numeral 7 denotes a substrate to be inspected.
【0015】図2は、本発明の検査装置の検査エリアお
よび検査方向の一実施態様を示す概略側面図である。図
中の数字は図1と同じである。検査エリアは、図1の
3,4および8で構成されたエリアである。ここで、軸
3及びローラー4により占有された空間を避けた位置に
透過検査ユニット8が設けられている。ここでは複数本
設けているが、一本でも良い。
FIG. 2 is a schematic side view showing an embodiment of an inspection area and an inspection direction of the inspection apparatus of the present invention. The numbers in the figure are the same as in FIG. The inspection area is an area composed of 3, 4, and 8 in FIG. Here, a transmission inspection unit 8 is provided at a position avoiding the space occupied by the shaft 3 and the rollers 4. Here, a plurality is provided, but one may be provided.
【0016】目視検査においては、基板を検査者側に傾
けるように配置する方が検査しやすいことがある。本発
明においては、フレーム1そのものを傾ける機構にして
も良く、検査エリア3,4および8を傾ける機構を設け
ても良い。この場合、傾けた状態での基板の移動をさら
に容易にするために飛び出し防止柵2のうち傾けた基板
の下側が当たる部分に補助のローラーを設けても良い。
In the visual inspection, it may be easier to arrange the substrate so as to be inclined toward the inspector. In the present invention, a mechanism for tilting the frame 1 itself or a mechanism for tilting the inspection areas 3, 4 and 8 may be provided. In this case, in order to further facilitate the movement of the substrate in the tilted state, an auxiliary roller may be provided in a portion of the pop-out prevention fence 2 where the lower side of the tilted substrate contacts.
【0017】上記構成からなる本発明の作用について説
明する。表面にパターン形成された被検査基板7が、裏
面がローラー4に当たるように搬送され、検査エリアに
入る。この際ローラー4は被検査基板7を保持する役割
も果たす。検査エリアでは、被検査基板7を一度に全部
照らして検査することはできないが、被検査基板7の幅
方向を全て照らすことができるので、検査者は被検査基
板7を移動させながら検査することにより、結果的に被
検査基板7の全面を検査することができる。検査手法と
しては、例えば発光部を一カ所に設け、検査者は被検査
基板7を移動させながら検査することで実質的に移動す
ることなく検査ができる。または複数箇所に設け、複数
の検査者が各発光部を同時に見ることにより、検査時間
を短縮することができる。
The operation of the present invention having the above configuration will be described. The substrate to be inspected 7 having a pattern formed on the front surface is conveyed so that the rear surface hits the roller 4 and enters the inspection area. At this time, the roller 4 also serves to hold the substrate 7 to be inspected. In the inspection area, it is not possible to illuminate the inspected substrate 7 all at once, but it is possible to illuminate the entire width of the inspected substrate 7. As a result, the entire surface of the inspection target substrate 7 can be inspected. As an inspection method, for example, a light emitting unit is provided at one place, and the inspector inspects while moving the substrate 7 to be inspected, whereby the inspection can be performed without substantially moving. Alternatively, the inspection time can be shortened by providing the light emitting units at a plurality of locations so that a plurality of inspectors simultaneously view each light emitting unit.
【0018】上記構成は、図2に示すように被検査基板
7の下部から透過光を当て、上部から検査する方法を取
っているが、図3のように、被検査基板7の上部から透
過光を当て、下側から検査することも可能である。図3
は本発明の大型基板用検査装置の検査エリアおよび検査
方向の他の実施態様を示す概略側面図である。このよう
な構成にすることで、パターン形成された面を保護する
必要無しに、裏面の検査が可能となる。また、本実施例
では直接目視する構成を取っているが、必要に応じてル
ーペ、顕微鏡等を検査者と被検査基板7の間に備えるこ
とで拡大検査を行うこともでき、また一個または複数の
CCDカメラ等を検査面側に設けることで遠隔検査する
ことも可能である。
In the above configuration, as shown in FIG. 2, a method of irradiating transmitted light from the lower part of the substrate 7 to be inspected and inspecting from the upper part is employed. It is also possible to illuminate and inspect from below. FIG.
FIG. 4 is a schematic side view showing another embodiment of the inspection area and the inspection direction of the inspection apparatus for a large-sized substrate according to the present invention. With this configuration, the back surface can be inspected without having to protect the pattern-formed surface. Further, in this embodiment, a configuration in which direct observation is performed is adopted. However, if necessary, a magnifying inspection can be performed by providing a loupe, a microscope, and the like between the inspector and the substrate 7 to be inspected. It is also possible to perform a remote inspection by providing a CCD camera or the like on the inspection surface side.
【0019】また、本発明のもう一つの作用として、製
造ラインに容易に組み込むことが可能である。そのよう
な構成の実施例として、蛍光体を形成した基板を検査す
る検査ラインの配置図を図4に示す。図4は本発明の検
査装置を含んだ、蛍光体を形成した基板を検査する検査
ラインの一実施態様を示す配置図である。図4につい
て、10は、本発明の検査装置であり、図1の構成に準
じる。11は、カセットから基板を一枚ずつ取り出すロ
ーダーである。12は、紫外線を基板の上面に当て、発
光させて検査を行う発光検査装置である。13は、基板
をカセットに一枚ずつ戻していくアンローダーである。
14は、各装置をつなぐ搬送用ローラー部分である。基
板はローダー11から一枚ずつ搬送され、発光検査部分
12では基板の上面から紫外線を当て発光検査を行い、
本発明の目視検査部分10で透過光による目視検査を行
い、良否判定を行った上で基板をアンローダー13に投
入し所定の場所に保管する。このラインにおいて、各装
置はそれぞれ搬送ローラーを有しており、各装置内およ
び装置間14は全てローラーにより搬送される。本実施
例では全ての装置を直列に設けた。これが最も省スペー
スな構成と考えられるが、目視検査装置からアンローダ
ー部への搬送は必要に応じて、良品と不良品を分けるよ
う並列に2系統設けても良い。本発明の目視検査装置を
用いることで、一連の検査を全てラインで行うことがで
き、蛍光体を形成した基板の検査を連続的に短時間で行
うことが可能となる。
Another effect of the present invention is that it can be easily incorporated into a production line. As an example of such a configuration, FIG. 4 shows a layout of an inspection line for inspecting a substrate on which a phosphor is formed. FIG. 4 is a layout diagram showing one embodiment of an inspection line for inspecting a substrate on which a phosphor is formed, including the inspection device of the present invention. 4, reference numeral 10 denotes an inspection apparatus according to the present invention, which conforms to the configuration of FIG. Reference numeral 11 denotes a loader for taking out substrates one by one from a cassette. Reference numeral 12 denotes a light emission inspection device that performs inspection by applying ultraviolet light to the upper surface of the substrate to emit light. An unloader 13 returns substrates one by one to a cassette.
Reference numeral 14 denotes a transport roller portion that connects the devices. The substrates are conveyed one by one from the loader 11, and the luminescence inspection part 12 performs luminescence inspection by applying ultraviolet rays from the upper surface of the substrate.
In the visual inspection part 10 of the present invention, a visual inspection using transmitted light is performed, and after a pass / fail judgment is made, the substrate is put into the unloader 13 and stored in a predetermined place. In this line, each device has a transport roller, and the inside and between the devices 14 are all transported by the roller. In this embodiment, all devices are provided in series. This is considered to be the most space-saving configuration. However, if necessary, two systems may be provided in parallel from the visual inspection device to the unloader unit so as to separate good and defective products. By using the visual inspection apparatus of the present invention, a series of inspections can all be performed on a line, and the inspection of the substrate on which the phosphor is formed can be continuously performed in a short time.
【0020】[0020]
【発明の効果】本発明の大型基板用検査装置により、様
々な大きさの基板に対応ができ、生産ラインに組み込む
ことが容易であり、基板を傾けることも可能で、検査者
の負担が少なく安全に検査を行うことのできる検査装置
を提供することができる。
According to the inspection apparatus for large substrates of the present invention, substrates of various sizes can be accommodated, it is easy to incorporate them into a production line, the substrates can be tilted, and the burden on the inspector is small. An inspection device capable of performing an inspection safely can be provided.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図1】本発明の大型基板用検査装置の台の一実施例を
示す概略斜視図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an embodiment of a base of the inspection apparatus for large substrates of the present invention.
【図2】本発明の大型基板用検査装置の検査エリアおよ
び検査方向の一実施態様を示す概略側面図である。
FIG. 2 is a schematic side view showing one embodiment of an inspection area and an inspection direction of the inspection apparatus for large substrates of the present invention.
【図3】本発明の大型基板用検査装置の検査エリアおよ
び検査方向の他の実施態様を示すの概略側面図である。
FIG. 3 is a schematic side view showing another embodiment of an inspection area and an inspection direction of the inspection apparatus for a large-sized substrate according to the present invention.
【図4】本発明の検査装置を含んだ、蛍光体を形成した
基板を検査する検査ラインの一実施態様を示す配置図で
ある。
FIG. 4 is a layout diagram showing one embodiment of an inspection line for inspecting a substrate on which a phosphor is formed, including the inspection device of the present invention.
【符号の説明】[Explanation of symbols]
1…フレーム 2…基板破損防止柵 3…軸 4…ローラー 5…蛍光灯 6…拡散板 7…被検査基板 8…透過照明ユニット 10…本発明の検査装置 11…ローダー 12…発光検査装置 13…アンローダー 14…搬送ローラー DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Frame 2 ... Substrate damage prevention fence 3 ... Axis 4 ... Roller 5 ... Fluorescent lamp 6 ... Diffusion plate 7 ... Inspection board 8 ... Transmission illumination unit 10 ... Inspection device of the present invention 11 ... Loader 12 ... Light emission inspection device 13 ... Unloader 14: Transport roller
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G09F 9/00 352 G09F 9/00 352 5G435 H01J 9/42 H01J 9/42 A 11/02 11/02 Z Fターム(参考) 2G051 AA90 AB02 CA04 CA11 CB02 DA01 EA20 2G086 EE12 2H088 FA12 FA30 MA20 5C012 BE03 5C040 FA01 GA09 GB03 GB14 JA26 MA22 MA23 5G435 AA19 BB06 KK10 LL04 LL06 LL12 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G09F 9/00 352 G09F 9/00 352 5G435 H01J 9/42 H01J 9/42 A 11/02 11/02 Z F term (reference) 2G051 AA90 AB02 CA04 CA11 CB02 DA01 EA20 2G086 EE12 2H088 FA12 FA30 MA20 5C012 BE03 5C040 FA01 GA09 GB03 GB14 JA26 MA22 MA23 5G435 AA19 BB06 KK10 LL04 LL06 LL12

Claims (10)

    【特許請求の範囲】[Claims]
  1. 【請求項1】大型基板上に形成されたパターンのむらお
    よび/または欠陥を検査する検査装置であって、基板検
    査エリアに基板を搬送する治具および基板を支持する治
    具を設け、かつ基板面を照明するための照明手段を設け
    たことを特徴とする大型基板用検査装置。
    An inspection apparatus for inspecting unevenness and / or defects of a pattern formed on a large-sized substrate, comprising: a jig for transporting the substrate and a jig for supporting the substrate in a substrate inspection area; An inspection device for a large-sized substrate, comprising an illumination means for illuminating the substrate.
  2. 【請求項2】照明手段が基板の裏面から可視光を照明
    し、透過光にて基板表面から検査を行うことを特徴とす
    る請求項1記載の大型基板用検査装置。
    2. The inspection apparatus for a large substrate according to claim 1, wherein the illuminating means illuminates visible light from the back surface of the substrate, and performs inspection from the surface of the substrate with transmitted light.
  3. 【請求項3】照明手段が基板の表面から可視光を照明
    し、透過光にて基板の裏面から検査を行うことを特徴と
    する請求項1記載の大型基板用検査装置。
    3. The inspection apparatus for a large substrate according to claim 1, wherein the illuminating means illuminates visible light from the front surface of the substrate and performs inspection from the back surface of the substrate with transmitted light.
  4. 【請求項4】照明手段を、基板を搬送する治具および基
    板を支持する治具を避けるように配置したことを特徴と
    する請求項2または3記載の大型基板用検査装置。
    4. The inspection apparatus for a large substrate according to claim 2, wherein the illuminating means is arranged so as to avoid a jig for transporting the substrate and a jig for supporting the substrate.
  5. 【請求項5】照明手段を、基板を搬送させた際に基板の
    全面を少なくとも一度は照射できるように配置したこと
    を特徴とする請求項2〜4いずれか記載の大型基板用検
    査装置。
    5. The inspection apparatus for a large substrate according to claim 2, wherein the illuminating means is arranged so as to irradiate the entire surface of the substrate at least once when the substrate is transported.
  6. 【請求項6】基板を搬送させ、基板の被照射部分を移動
    させながら順次検査していく機能を備えたことを特徴と
    する請求項5記載の大型基板用検査装置。
    6. The inspection apparatus for large substrates according to claim 5, further comprising a function of sequentially inspecting the substrate while transferring the substrate and moving an irradiated portion of the substrate.
  7. 【請求項7】基板の搬送、支持を複数のローラーにより
    行うことを特徴とする請求項1〜6いずれか記載の大型
    基板用検査装置。
    7. The inspection apparatus for large substrates according to claim 1, wherein the substrate is transported and supported by a plurality of rollers.
  8. 【請求項8】基板を傾斜させて検査する機構を備えたこ
    とを特徴とする請求項1〜7いずれか記載の大型基板用
    検査装置。
    8. The inspection apparatus for large substrates according to claim 1, further comprising a mechanism for inspecting the substrate while tilting the substrate.
  9. 【請求項9】請求項1〜8いずれか記載の大型基板用検
    査装置を用いて検査することを特徴とするプラズマディ
    スプレイ用背面板の検査方法。
    9. A method for inspecting a rear plate for a plasma display, wherein the inspection is performed using the inspection apparatus for a large substrate according to claim 1.
  10. 【請求項10】請求項1〜8いずれか記載の大型基板用
    検査装置を用いて検査した基板を用いることを特徴とす
    るプラズマディスプレイ。
    10. A plasma display using a substrate inspected using the inspection apparatus for a large substrate according to any one of claims 1 to 8.
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JP2006177742A (en) * 2004-12-22 2006-07-06 Gekkeikan Sake Co Ltd Surface inspection method and surface inspection device
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