JPH1099978A - Laser beam machine - Google Patents

Laser beam machine

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Publication number
JPH1099978A
JPH1099978A JP8256951A JP25695196A JPH1099978A JP H1099978 A JPH1099978 A JP H1099978A JP 8256951 A JP8256951 A JP 8256951A JP 25695196 A JP25695196 A JP 25695196A JP H1099978 A JPH1099978 A JP H1099978A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
processing
substrate
marking
serial
Prior art date
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Pending
Application number
JP8256951A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenjirou Toujiyou
兼治郎 藤乗
Original Assignee
Hitachi Ltd
株式会社日立製作所
Hitachi Device Eng Co Ltd
日立デバイスエンジニアリング株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd, 株式会社日立製作所, Hitachi Device Eng Co Ltd, 日立デバイスエンジニアリング株式会社 filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP8256951A priority Critical patent/JPH1099978A/en
Publication of JPH1099978A publication Critical patent/JPH1099978A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To completely avoid adhesion of foreign matters generated during the working to a surface of a base plate. SOLUTION: In a laser beam machine in which the manufacture number is engraved on a base plate installed in a part of the manufacturing process to manufacture a prescribed product by performing various kinds of film formation and patterning on the base plate through a series of working processes by a plurality of machines, the laser beam machine is provided with a machining table 7 which is moved in two directions parallel to the plane of a base plate 4 loaded thereon, and positions the engraving region where the manufacture number is engraved laser beam irradiation equipment 2 to engrave the manufacture number corresponding to the kind of the loaded substrate 4 in an engraving region 8, a fluid feed device 11 having a blow nozzle 12 to spray the fluid over the engraving region 8 of the base plate 4 loaded on the machining table 7, and an exhaust device 10 having a suction duct 9 to suck te fluid in the engraving region 8. The foreign matters generated in the engraving region 8 during the machining by the laser beam irradiation equipment 2 are removed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザー加工装置
に係り、特に液晶表示パネルを構成するガラス板等の絶
縁基板に製造番号等を刻印するためのレーザー加工装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser processing apparatus, and more particularly to a laser processing apparatus for imprinting a serial number or the like on an insulating substrate such as a glass plate constituting a liquid crystal display panel.
【0002】[0002]
【従来の技術】各種の画像を表示する所謂パネル型ディ
スプレイ装置として、近年は液晶表示装置が用いられて
いる。特に、フルカラーの画像表示を可能としたカラー
液晶表示装置が広く普及している。
2. Description of the Related Art In recent years, a liquid crystal display device has been used as a so-called panel type display device for displaying various images. In particular, a color liquid crystal display device capable of displaying a full-color image has been widely used.
【0003】このカラー液晶表示装置は、少なくとも一
方が透明な2枚の絶縁基板の間に液晶を挟持して2枚の
絶縁基板のそれぞれに互いに交差する複数の透明な電極
を形成し、それら透明電極の交点で画素を形成する単純
マトリクス型と、カラーフィルタを形成した一方の絶縁
基板(カラーフィルタ基板:CF基板)と薄膜トランジ
スタ等の多数のスイッチング素子を形成した他方の絶縁
基板(TFT基板)の間に液晶を挟持して、上記スイッ
チング素子で画素を構成するアクティブ・マトリクス型
液晶表示装置とが知られている。
[0003] In this color liquid crystal display device, a liquid crystal is sandwiched between two insulating substrates, at least one of which is transparent, and a plurality of intersecting transparent electrodes are formed on each of the two insulating substrates. A simple matrix type in which pixels are formed at the intersections of the electrodes, an insulating substrate (color filter substrate: CF substrate) on which a color filter is formed, and another insulating substrate (TFT substrate) on which a number of switching elements such as thin film transistors are formed. There is known an active matrix type liquid crystal display device in which liquid crystal is sandwiched between the switching elements to form a pixel with the switching element.
【0004】液晶表示装置の従来技術を開示したものと
しては、例えば、特公昭51−13666号公報、特開
昭63−309921号公報を挙げることができる。
[0004] The prior art of the liquid crystal display device is disclosed in, for example, Japanese Patent Publication No. 51-13666 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-309921.
【0005】なお、上記絶縁基板としては、ガラス基板
を用いるのが一般的であるので、以下、絶縁基板をガラ
ス基板として説明するが、ガラス基板以外の絶縁基板で
も同様である。
[0005] Since a glass substrate is generally used as the insulating substrate, the following description will be made on the assumption that the insulating substrate is a glass substrate, but the same applies to insulating substrates other than glass substrates.
【0006】この種の液晶表示装置の製造工程において
は、製造する装置の品種に応じた製造番号をガラス基板
に刻印することで、多品種生産を共通製造ラインで効率
よく製造することができる。
[0006] In the manufacturing process of this type of liquid crystal display device, by engraving a serial number corresponding to the type of the device to be manufactured on the glass substrate, multi-type production can be efficiently performed on a common manufacturing line.
【0007】図4は液晶表示装置の製造を説明するため
のカラーフィルタ基板側の概略製造工程の説明図であ
る。
FIG. 4 is an explanatory view of a schematic manufacturing process on the color filter substrate side for explaining the manufacturing of the liquid crystal display device.
【0008】まず、カラーフィルタ基板用のガラス基板
がラインに搬入され、これを洗浄して当該ガラス基板の
表面を清浄化する(工程A)。このガラス基板にカラー
フィルタの遮光膜であるブラックマトリクス(BM)膜
材料と感光材料との混合材料を塗布し、乾燥して(工程
B)、ブラックマトリクスのパターンを有する露光マス
クを介して露光を行う(工程C)。このとき、露光マス
クの有効領域外の一部に品種情報のパターンも有してい
る。
First, a glass substrate for a color filter substrate is carried into a line, and is washed to clean the surface of the glass substrate (step A). A mixed material of a black matrix (BM) film material, which is a light-shielding film of a color filter, and a photosensitive material is applied to the glass substrate, dried (step B), and exposed through an exposure mask having a black matrix pattern. (Step C). At this time, a pattern of the type information is also provided in a part outside the effective area of the exposure mask.
【0009】マスク露光後、これを現像し、乾燥してブ
ラックマトリクスが形成される(工程D)。このとき、
露光時にブラックマトリクス膜に品種情報が同時に形成
される。上記品種情報は、液晶パネルの種類(単純マト
リクス型、TFT型)、サイズ等である。
After the mask is exposed, it is developed and dried to form a black matrix (Step D). At this time,
At the time of exposure, type information is simultaneously formed on the black matrix film. The type information includes the type (simple matrix type, TFT type) and size of the liquid crystal panel.
【0010】その後、ガラス基板の有効領域外の所定の
位置に上記品種情報に従った製造番号がレーザー光等で
刻印される(工程E)。
[0010] Thereafter, a production number in accordance with the above-mentioned type information is stamped at a predetermined position outside the effective area of the glass substrate with a laser beam or the like (step E).
【0011】製造番号が刻印されたガラス基板は、各色
のカラーフィルタを順次形成するカラーフィルタ形成プ
ロセスに渡され、ブラックマトリクスで区画された複数
色(一般には赤、緑、青の3色)のカラーフィルタが形
成される(工程F)。
The glass substrate on which the manufacturing number is imprinted is passed to a color filter forming process for sequentially forming color filters of each color, and is made of a plurality of colors (generally three colors of red, green and blue) partitioned by a black matrix. A color filter is formed (Step F).
【0012】このカラーフィルタ基板は別途製造された
TFT基板と貼り合わされ(工程G)、両者の間隙に液
晶を注入し、封止して液晶パネルが構成される(工程
H)。この液晶パネルに偏光板やプリズム板等の光学部
材、駆動回路基板、バックライト、その他の所要の構成
部材を組合せて一体化したモジュールを得る(工程
I)。モジュールは最終出荷検査(工程J)を経て、出
荷される。
The color filter substrate is bonded to a separately manufactured TFT substrate (step G), and liquid crystal is injected into a gap between the two and sealed to form a liquid crystal panel (step H). A module is obtained by combining the liquid crystal panel with optical members such as a polarizing plate and a prism plate, a drive circuit board, a backlight, and other necessary components (Step I). The module is shipped after the final shipping inspection (process J).
【0013】なお、上記の工程は一例に過ぎず、その各
工程での製造内容は様々である。
The above-described steps are merely examples, and the contents of each step vary.
【0014】上記した製造番号刻印工程では、レーザー
光の照射による刻印を行うレーザー加工装置は前工程か
ら移載されたガラス基板を所定の位置に保持して刻印を
行う加工テーブルを有している。
In the above-mentioned serial number engraving step, the laser processing apparatus for performing engraving by irradiating a laser beam has a processing table for performing engraving while holding the glass substrate transferred from the previous step at a predetermined position. .
【0015】この加工テーブルは、植立された複数の支
持棒で水平に搬入されるガラス基板を下面で支えるごと
く植立された複数の支持棒と、基板の周縁に当接して当
該周縁を前記加工テーブルと平行に進退して前記基板を
所定の位置に位置決めする複数の位置決めピンとからな
る位置決め装置を備えている。
This processing table is composed of a plurality of support rods erected so that the glass substrate carried horizontally by the plurality of erected support rods is supported on the lower surface thereof, and the peripheral edge of the substrate is brought into contact with the peripheral edge of the substrate. And a positioning device including a plurality of positioning pins for moving back and forth in parallel with the processing table to position the substrate at a predetermined position.
【0016】製造番号の刻印は、ガラス基板上に形成さ
れたブラックマトリクスの周辺の一部に設けた刻印領域
にレーザー光を照射して当該部分のブラックマトリクス
層を削り抜いて所要の文字数字を形成する。
The marking of the serial number is performed by irradiating a laser beam onto a marking area provided in a part of the periphery of the black matrix formed on the glass substrate, cutting out the black matrix layer in the part, and forming a required character and numeral. Form.
【0017】図5は製造番号の刻印領域の一例を説明す
るガラス基板の平面図であって、4はガラス基板、4a
は液晶パネル(カラーフィルタ基板)となる4枚(A,
B,C,D)のパネル領域、8は製造番号刻印領域、8
aは品種コードや処理条件のデータが表示される品種等
表示領域である。
FIG. 5 is a plan view of a glass substrate for explaining an example of an engraved area of a serial number.
Are four liquid crystal panels (color filter substrates) (A,
B, C, D) panel area, 8 is a serial number engraved area, 8
Reference numeral a denotes a product type display area in which product code and processing condition data are displayed.
【0018】製造番号の刻印は、前工程から搬送された
ガラス基板4に表示された品種等表示領域8aの品種に
応じてレーザー照射装置を制御することで製造番号刻印
領域8に対応する製造番号が刻印される。
The production number is stamped by controlling the laser irradiation apparatus according to the type of the display area 8a such as the type displayed on the glass substrate 4 conveyed from the previous process. Is engraved.
【0019】図6は製造番号刻印を行う従来のレーザー
加工装置の構成を説明する模式図であって、1はレーザ
ー制御装置、2はレーザー照射装置、2aは対物レン
ズ、3はレーザー光、4はガラス基板、5はブラックマ
トリクス、6は加工テーブルに植立された支持棒、7は
加工テーブル、8は製造番号刻印領域である。なお、加
工テーブルはガラス基板4をその平面と平行な2方向に
移動させてレーザー光3によるレーザー刻印位置と製造
番号刻印領域8の位置調整を行うX−Yテーブルであ
る。
FIG. 6 is a schematic diagram for explaining the configuration of a conventional laser processing apparatus for marking a serial number, wherein 1 is a laser control device, 2 is a laser irradiation device, 2a is an objective lens, 3 is a laser beam, Is a glass substrate, 5 is a black matrix, 6 is a support rod planted on a processing table, 7 is a processing table, and 8 is a serial number marking area. The processing table is an XY table that moves the glass substrate 4 in two directions parallel to the plane and adjusts the position of the laser engraving by the laser beam 3 and the position of the serial number engraving area 8.
【0020】同図において、ガラス基板4は前工程から
水平に搬入されて加工テーブル7に植立した複数の支持
棒6上に載置される。しかる後、側面に配置された図示
しない位置決めピンがガラス基板4に向かって移動し、
ガラス基板4の4つの周縁に当接して押し進め、予め定
められた位置にガラス基板4を位置決めする。
In FIG. 1, a glass substrate 4 is carried in horizontally from a previous process and is placed on a plurality of support rods 6 set on a processing table 7. Thereafter, the positioning pins (not shown) arranged on the side face move toward the glass substrate 4,
The glass substrate 4 is brought into contact with the four peripheral edges of the glass substrate 4 and pushed to position the glass substrate 4 at a predetermined position.
【0021】この状態で、レーザー制御装置1はレーザ
ー照射装置2を制御してガラス基板4のブラックマトリ
クスの一部に表示された品種等のデータに応じた製造番
号をブラックマトリクス5の製造番号刻印領域8に刻印
する。
In this state, the laser control device 1 controls the laser irradiating device 2 to imprint a production number corresponding to the data such as the kind displayed on a part of the black matrix of the glass substrate 4 with the production number of the black matrix 5. Mark area 8.
【0022】この刻印加工は、レーザー光によるブラッ
クマトリクス5を刻み込んでガラス基板面を露呈させる
ことで所要の文字数字を形成するが、この際に加工屑と
してブラックマトリクス材料の焼き煙や粉塵(以下、粉
塵等と言う)等が発生する。この粉塵等を放置すると、
ガラス基板4の表面に異物となって残留し、液晶表示装
置の特性を劣化させる原因となる。
In the engraving process, required characters and numbers are formed by exposing the glass substrate surface by engraving the black matrix 5 with a laser beam. , Dust, etc.). If you leave this dust etc.
It remains as a foreign substance on the surface of the glass substrate 4 and causes deterioration of the characteristics of the liquid crystal display device.
【0023】従来のレーザー加工装置では、ガラス基板
4の加工面(刻印領域)の近傍に吸引ダクト9を設置し
て発生した粉塵等を吸い出し、これを排気装置10で装
置外に排出し、必要な除害処理を施している。
In the conventional laser processing apparatus, a suction duct 9 is installed near a processing surface (engraved area) of the glass substrate 4 to suck out dust and the like generated, and the dust is discharged to the outside of the apparatus by an exhaust device 10 to be used. Harmless treatment.
【0024】[0024]
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、基
板(ガラス基板)の加工面の近傍に吸引ダクトを設置
し、刻印作業で発生する粉塵等を吸い取って排出するの
みであるため、加工で舞い上がった粉塵等が完全に取り
除かれず、一部がガラス基板の表面に異物として付着す
ることがあり、これが製品となった液晶表示装置の性能
を劣化させる原因となるという問題があった。
In the above prior art, a suction duct is installed near the processing surface of a substrate (glass substrate), and only dust and the like generated in the engraving work are sucked and discharged. The soared dust or the like is not completely removed, and a part of the dust may adhere to the surface of the glass substrate as a foreign substance, which causes a problem that the performance of the liquid crystal display device as a product is deteriorated.
【0025】なお、このような問題は、液晶表示パネル
用のガラス基板に限らず加工の際に発生する異物の付着
を嫌う同様の基板等でも生じる。
Note that such a problem occurs not only in a glass substrate for a liquid crystal display panel, but also in a similar substrate or the like which refuses to adhere foreign substances generated during processing.
【0026】本発明の目的は、上記従来技術の問題点を
解消し、加工対象であるガラス基板等の各種基板の表面
に加工時に発生する異物が付着するのを完全に回避する
ようにしたレーザー加工装置を提供することにある。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and to completely prevent foreign matter generated during processing from adhering to the surface of various substrates such as a glass substrate to be processed. An object of the present invention is to provide a processing device.
【0027】[0027]
【課題を解決するための手段】上記目的は、加工対象の
ガラス基板等の絶縁基板の加工領域近郷の表面に空気等
の流体を噴射する流体送出装置を設けると共に、当該加
工領域に関して前記流体送出装置とは反対側に流体を吸
引する吸引ダクトを設置して加工で発生する粉塵等を加
工領域から吹き去ると同時にこれを吸引して除去する構
成としたことにより達成される。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a fluid delivery device for injecting a fluid such as air onto a surface near a processing region of an insulating substrate such as a glass substrate to be processed, and the fluid delivery device with respect to the processing region. This is achieved by providing a suction duct for sucking a fluid on the opposite side of the apparatus to blow off dust and the like generated in the processing from the processing area and at the same time suck and remove the dust and the like.
【0028】すなわち、請求項1に記載の第1の発明
は、複数の加工機による一連の加工工程を経ることで基
板に各種の成膜処理とパターニングを施して所定の製品
を製造する製造工程の一部に設置した基板に製造番号を
刻印するレーザー加工装置において、載置された基板の
平面に平行な2方向に移動して製造番号を刻印する刻印
領域の位置決めを行う加工テーブルと、載置した基板の
品種に対応した製造番号を上記刻印領域に刻印するレー
ザー照射装置と、加工テーブルに載置した基板の上記刻
印領域に流体を噴射するブローノズルを有する流体送出
装置と、上記刻印領域の流体を吸引する吸引ダクトとを
有する排気装置とを備え、上記レーザー照射装置の加工
により上記刻印領域に発生する異物を除去することを特
徴とする。
That is, according to the first aspect of the present invention, a manufacturing process of manufacturing a predetermined product by performing various film forming processes and patterning on a substrate through a series of processing steps by a plurality of processing machines. A laser processing apparatus for engraving a serial number on a substrate installed on a part of a substrate, a processing table for positioning an engraved area for engraving the serial number by moving in two directions parallel to the plane of the mounted substrate; A laser irradiation device for imprinting a production number corresponding to the type of the substrate placed on the marking region, a fluid delivery device having a blow nozzle for ejecting a fluid to the marking region on the substrate placed on the processing table, and the marking region An exhaust device having a suction duct for sucking the fluid, and removing foreign matter generated in the marking area by processing of the laser irradiation device.
【0029】この構成により、レーザー加工領域への流
体の噴出とその吸引とを同時に行うことで、加工で発生
する粉塵等が基板の表面に異物として付着するのが防止
される。
With this configuration, by simultaneously ejecting the fluid to the laser processing area and sucking the fluid, it is possible to prevent dust and the like generated by the processing from adhering to the surface of the substrate as foreign matter.
【0030】また、請求項2に記載の第2の発明は、複
数の加工機による一連の加工工程を経ることで基板に各
種の成膜処理とパターニングを施して所定の製品を製造
する製造工程の一部に設置した基板に製造番号を刻印す
るレーザー加工装置において、載置された基板の平面に
平行な2方向に移動して製造番号を刻印する刻印領域の
位置決めを行う加工テーブルと、載置した基板の品種に
対応した製造番号を上記刻印領域に刻印するレーザー照
射装置と、前記レーザー照射装置と前記基板との間に設
置して前記レーザー照射装置からのレーザー光を前記刻
印領域に通過させる窓を有すると共に前記刻印領域に流
体送出装置からの流体を噴射するブローノズルと排気装
置により前記刻印領域の流体を吸引する吸引ダクトとを
備えた防塵カバーを設け、上記レーザー照射装置の加工
により上記刻印領域に発生する異物を除去することを特
徴とする。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a manufacturing process in which a predetermined product is manufactured by performing various film forming processes and patterning on a substrate through a series of processing steps by a plurality of processing machines. A laser processing apparatus for engraving a serial number on a substrate installed on a part of a substrate, a processing table for positioning an engraved area for engraving a serial number by moving in two directions parallel to the plane of the mounted substrate; A laser irradiator for engraving the serial number corresponding to the type of substrate placed on the engraved area, and a laser beam from the laser irradiator installed between the laser irradiator and the substrate and passing through the engraved area A dustproof cover having a window that allows the fluid to be sent from the fluid delivery device to the marking area, and a suction duct that sucks the fluid in the marking area by an exhaust device. Provided, and removing the foreign materials generated in the marking area by the processing of the laser irradiation apparatus.
【0031】この構成により、刻印領域は防塵カバーで
周囲雰囲気と遮断され、かつ吸引ダクトの吸引が防塵カ
バーで区画された限定空間で行われるため、加工により
生じた粉塵等は効果的に排気され、基板の表面に異物と
して付着することがない。
With this configuration, the engraved area is isolated from the surrounding atmosphere by the dustproof cover, and the suction of the suction duct is performed in the limited space defined by the dustproof cover, so that dust and the like generated by the processing are effectively exhausted. Also, it does not adhere to the surface of the substrate as a foreign substance.
【0032】なお、上記各発明におけるブローノズルお
よび吸引ダクトは1個に限らず、2個あるいはそれ以上
とすることができ、また第1の発明における吸引ダクト
を第2の防塵カバーに兼用することもできる。
The number of blow nozzles and suction ducts in each of the above inventions is not limited to one, and may be two or more, and the suction ducts in the first invention may also be used as the second dustproof cover. Can also.
【0033】[0033]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を実施
例を参照して詳細に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to embodiments.
【0034】図1は本発明によるレーザー加工装置の一
実施例の構成を説明する要部模式図であって、前記図6
と同様に、1はレーザー制御装置、2はレーザー照射装
置、2aは対物レンズ、3はレーザー光、4はガラス基
板、5はブラックマトリクス、6は加工テーブルに植立
された支持棒、7は加工テーブル、8は製造番号刻印領
域、9は吸引ダクト、10は排気装置である。また、1
1は流体送出装置、12はブローノズルである。
FIG. 1 is a schematic view of a main part of a laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
Similarly, 1 is a laser control device, 2 is a laser irradiation device, 2a is an objective lens, 3 is a laser beam, 4 is a glass substrate, 5 is a black matrix, 6 is a support rod erected on a processing table, 7 is A processing table, 8 is a serial number marking area, 9 is a suction duct, and 10 is an exhaust device. Also, 1
1 is a fluid delivery device, and 12 is a blow nozzle.
【0035】同図において、加工対象であるガラス基板
4の平面と平行な2方向に移動可能とされたX−Yテー
ブルである加工テーブル7のガラス基板載置領域には複
数の支持棒6が植立されている。
In the figure, a plurality of support rods 6 are provided in a glass substrate mounting area of a processing table 7 which is an XY table movable in two directions parallel to the plane of the glass substrate 4 to be processed. It is planted.
【0036】ガラス基板4は、前工程において表面にブ
ラックマトリクス5が形成されており、このブラックマ
トリクス形成面を上方にしてガラス基板4が加工テーブ
ル7上に搬入される。
The black matrix 5 is formed on the surface of the glass substrate 4 in the previous step, and the glass substrate 4 is loaded onto the processing table 7 with the black matrix forming surface facing upward.
【0037】ガラス基板4は支持棒6上に載置され、図
示しない位置決め装置で加工テーブルを微調整して製造
番号刻印領域8がレーザー光の照射位置に一致させる。
The glass substrate 4 is placed on the support rod 6, and the processing table is finely adjusted by a positioning device (not shown) so that the manufacturing number engraved area 8 coincides with the irradiation position of the laser beam.
【0038】レーザー光3の照射位置と製造番号刻印領
域8との位置決めがなされた状態でレーザー制御装置1
は当該ガラス基板の品種等に基づいて製造番号情報をレ
ーザー照射装置2に与え、レーザー光3を刻印領域に照
射して製造番号の刻印を実行する。
The laser controller 1 is positioned in a state where the irradiation position of the laser beam 3 and the serial number marking area 8 are positioned.
Supplies the production number information to the laser irradiation device 2 based on the type of the glass substrate or the like, and irradiates the laser light 3 to the engraved area to execute engraving of the production number.
【0039】このとき、流体送出装置11は圧力空気を
ブローノズル12に送出して刻印領域の近傍に圧力空気
を噴出させると共に、排気装置10が吸引ダクト9で当
該刻印領域の近傍の空気を吸引する。
At this time, the fluid delivery device 11 sends out the pressurized air to the blow nozzle 12 to eject the pressurized air near the marking region, and the exhaust device 10 suctions the air near the marking region by the suction duct 9. I do.
【0040】これにより、刻印作業で発生する粉塵等は
基板4の表面に付着することなく排気装置10により除
去され、さにに図示しない除害装置に至り、除害化処理
される。
As a result, dust and the like generated during the engraving operation are removed by the exhaust device 10 without adhering to the surface of the substrate 4, and reach a harm removal device (not shown), where the harm is removed.
【0041】この実施例により、製造番号の刻印に伴う
粉塵がガラス基板に付着するのが防止され、高品質の液
晶パネルを製造することができる。
According to this embodiment, it is possible to prevent dust accompanying the engraving of the serial number from adhering to the glass substrate, and to manufacture a high quality liquid crystal panel.
【0042】図2は本発明によるレーザー加工装置の他
の実施例の構成を説明する要部模式図であって、13は
防塵カバー、13aは入射窓、13bは出射窓、図1と
同一符号は同一部分に対応する。
FIG. 2 is a schematic view of a principal part for explaining the configuration of another embodiment of the laser processing apparatus according to the present invention, wherein 13 is a dustproof cover, 13a is an entrance window, 13b is an exit window, and the same reference numerals as those in FIG. Correspond to the same part.
【0043】この実施例では、レーザー照射装置2とガ
ラス基板4との間に防塵カバー13を配置した点を除い
て図1と同様の構成である。
This embodiment has the same configuration as that of FIG. 1 except that a dust cover 13 is disposed between the laser irradiation device 2 and the glass substrate 4.
【0044】防塵カバー13は、レーザー照射装置2と
ガラス基板4との間に設置され、レーザー照射装置2か
らのレーザー光3を入力させる入射窓13aとレーザー
高3をガラス基板4に照射する出射窓13bを備えて当
該刻印領域の回りを被覆し、その一部に流体送出装置1
1からの空気流を噴射するブローノズル12と排気装置
に接続して刻印領域の空気を粉塵等と共に吸引する吸引
ダクト9とを備えている。
The dust cover 13 is provided between the laser irradiating device 2 and the glass substrate 4, and an entrance window 13 a for inputting the laser beam 3 from the laser irradiating device 2 and an emission window for irradiating the glass substrate 4 with the laser height 3. A window 13b is provided to cover the area around the marking area, and a part thereof is
1 is provided with a blow nozzle 12 for injecting the air flow from 1 and a suction duct 9 connected to an exhaust device for sucking air in the marking area together with dust and the like.
【0045】この実施例においても同様に、ガラス基板
4は支持棒6上に載置され、図示しない位置決め装置で
加工テーブルを微調整して製造番号刻印領域8がレーザ
ー光の照射位置に一致させる。
Similarly, in this embodiment, the glass substrate 4 is mounted on the support rod 6, and the processing table is finely adjusted by a positioning device (not shown) so that the serial number marking area 8 coincides with the irradiation position of the laser beam. .
【0046】レーザー光3の照射位置と製造番号刻印領
域8との位置決めがなされた状態でレーザー制御装置1
は当該ガラス基板の品種等に基づいて製造番号情報をレ
ーザー照射装置2に与え、レーザー光3を刻印領域に照
射して製造番号の刻印を実行する。
The laser controller 1 is positioned in a state where the irradiation position of the laser beam 3 and the serial number marking area 8 are positioned.
Supplies the production number information to the laser irradiation device 2 based on the type of the glass substrate or the like, and irradiates the laser light 3 to the engraved area to execute engraving of the production number.
【0047】このとき、流体送出装置11は圧力空気を
防塵カバー13に取り付けたブローノズル12に送出し
て当該防塵カバー13内の刻印領域の近傍に圧力空気を
噴出させると共に、排気装置10が吸引ダクト9で当該
刻印領域の近傍の空気を粉塵等と共に吸引する。
At this time, the fluid delivery device 11 sends out the pressurized air to the blow nozzle 12 attached to the dustproof cover 13 to eject the pressurized air near the marking area in the dustproof cover 13, and the exhaust device 10 sucks the air. The duct 9 sucks air near the marking area together with dust and the like.
【0048】これにより、刻印作業で発生する粉塵等は
基板4の表面に付着することなく排気装置10により除
去され、さにに図示しない除害装置に至り、除害化処理
される。
As a result, dust and the like generated during the engraving operation are removed by the exhaust device 10 without adhering to the surface of the substrate 4, and reach a harm removal device (not shown), where the harm is removed.
【0049】この実施例により、限定された空間におい
て空気流の噴出とその吸引が行われるため、製造番号の
刻印に伴う粉塵がガラス基板に付着するのがさらに効果
的に防止され、高品質の液晶パネルを製造することがで
きる。
According to this embodiment, since the jet of the air flow and the suction of the air flow are performed in the limited space, the dust accompanying the stamp of the serial number is more effectively prevented from adhering to the glass substrate, and the high quality is achieved. A liquid crystal panel can be manufactured.
【0050】なお、この製造番号の刻印は、レーザー制
御装置1に入力された品種データに対応して実行される
が、品種データは人手による入力でも、あるいはガラス
基板4のブラックマトリクス5の所定位置に同時に形成
された品種等表示領域のデータを自動読み取りしてその
読み取りデータをレーザー制御装置1に入力するように
構成できる。
The marking of the serial number is performed in accordance with the type data input to the laser control device 1. The type data may be input manually or at a predetermined position of the black matrix 5 of the glass substrate 4. In this case, the data in the display area for product type etc., which is formed simultaneously, is automatically read, and the read data is input to the laser control device 1.
【0051】図3は本実施例によるレーザー加工装置を
用いて製造番号刻印等がなされて製作された液晶パネル
を使用して組み立てた液晶表示モジュールの構成例を説
明する展開斜視図であって、20は上フレーム、20a
は表示窓、21はカラー液晶パネル、22a,22b,
22cはプリント回路基板、23a,23bはスペー
サ、24は遮光シート、25は導光体、26はバックラ
イトランプ、27はランプカバー、28は中間モール
ド、29は下フレーム、30は切り起こし片、31は切
欠き穴である。
FIG. 3 is an exploded perspective view for explaining a configuration example of a liquid crystal display module assembled by using a liquid crystal panel manufactured and stamped with a serial number using the laser processing apparatus according to the present embodiment. 20 is the upper frame, 20a
Is a display window, 21 is a color liquid crystal panel, 22a, 22b,
22c is a printed circuit board, 23a and 23b are spacers, 24 is a light shielding sheet, 25 is a light guide, 26 is a backlight lamp, 27 is a lamp cover, 28 is an intermediate mold, 29 is a lower frame, 30 is a cut and raised piece, 31 is a notch hole.
【0052】カラー液晶パネル21の周辺には駆動用の
IC等を搭載したプリント回路基板22a,22b,2
2cが取り付けられている。
Around the color liquid crystal panel 21, printed circuit boards 22a, 22b, 2
2c is attached.
【0053】そして、裏面には導光体25が積層され、
その一辺にバックライトランプ26が設置され、ランプ
カバー27と遮光シート24とでバックライトランプ2
6の光がカラー液晶パネル21側に洩れ出すのを防止し
ている。
Then, a light guide 25 is laminated on the back surface,
A backlight lamp 26 is installed on one side thereof, and the backlight cover 2 and the light shielding sheet 24 are used to form the backlight lamp 2.
6 is prevented from leaking to the color liquid crystal panel 21 side.
【0054】カラー液晶パネル21と上フレーム20の
間にはスペーサ23a,23bが介挿され、導光体25
とバックライトランプ26およびカラー液晶パネル21
を中間フレーム28に取り付けて上フレーム20に形成
した切り起こし片30を下フレーム29に形成した切欠
き穴31に挿入し固定することで一体化したカラー液晶
表示モジュールを組み立てる。
Spacers 23a and 23b are interposed between the color liquid crystal panel 21 and the upper frame 20, and the light guide 25
And backlight lamp 26 and color liquid crystal panel 21
Is attached to the intermediate frame 28, and the cut-and-raised pieces 30 formed in the upper frame 20 are inserted and fixed in the cutout holes 31 formed in the lower frame 29 to assemble the integrated color liquid crystal display module.
【0055】こうして組み立てた液晶表示モジュール
は、パソコンやワープロ、その他の電子機器の画像表示
デバイスとして使用される。
The liquid crystal display module assembled in this manner is used as an image display device for personal computers, word processors, and other electronic devices.
【0056】なお、以上の実施例では、レーザー加工が
液晶パネルのカラーフィルタ基板に製造番号を刻印する
ものとして説明したが、本発明はこれに限るものではな
く、当該液晶パネルを構成するTFTガラス基板の各種
加工工程にも同様に適用でき、さらに液晶表示装置のみ
ならず、他のパネルディスプレイ素子、あるいは多品種
を共通製造ラインで製造する各種の電子デバイスの加工
における絶縁基板の位置決めに応用することができる。
In the above embodiments, the laser processing is described as engraving the serial number on the color filter substrate of the liquid crystal panel. However, the present invention is not limited to this, and the TFT glass forming the liquid crystal panel is not limited to this. It can be applied to various processing steps of substrates in the same way, and is applied not only to liquid crystal display devices, but also to the positioning of insulating substrates in the processing of various panel display elements or various electronic devices manufactured on a common manufacturing line. be able to.
【0057】[0057]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
加工対象であるガラス基板等の基板にレーザー加工で製
造番号を刻印する際に、当該刻印領域に流体を噴出さ
せ、同時にこれを吸引する構成としたことで、加工によ
り発生した粉塵等が異物として基板の表面に付着するの
を防止でき、異物の付着に起因する性能劣化を防止して
高品質の液晶表示装置を製作することができる。
As described above, according to the present invention,
When a production number is engraved on a substrate such as a glass substrate to be processed by laser processing, a fluid is spouted into the engraved area, and the fluid is simultaneously sucked, so that dust generated by the processing becomes foreign matter. It is possible to prevent the liquid crystal display device from adhering to the surface of the substrate, and to prevent deterioration in performance due to the adhesion of foreign matter, thereby manufacturing a high-quality liquid crystal display device.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図1】本発明によるレーザー加工装置の一実施例の構
成を説明する要部模式図である。
FIG. 1 is a schematic diagram of a main part illustrating a configuration of an embodiment of a laser processing apparatus according to the present invention.
【図2】本発明によるレーザー加工装置の他の実施例の
構成を説明する要部模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram of a main part for explaining the configuration of another embodiment of the laser processing apparatus according to the present invention.
【図3】本実施例によるレーザー加工装置を用いて製造
番号刻印等がなされて製作された液晶パネルを使用して
組み立てた液晶表示モジュールの構成例を説明する展開
斜視図である。
FIG. 3 is an exploded perspective view illustrating a configuration example of a liquid crystal display module assembled using a liquid crystal panel manufactured by engraving a serial number or the like using the laser processing apparatus according to the present embodiment.
【図4】液晶表示装置の製造を説明するためのカラーフ
ィルタ基板側の概略製造工程の説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram of a schematic manufacturing process on the color filter substrate side for explaining the manufacturing of the liquid crystal display device.
【図5】製造番号の刻印領域の一例を説明するガラス基
板の平面図である。
FIG. 5 is a plan view of a glass substrate for explaining an example of an engraved area of a production number.
【図6】製造番号刻印を行う従来のレーザー加工装置の
構成を説明する模式図である。
FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a configuration of a conventional laser processing apparatus that performs production number stamping.
【符号の説明】[Explanation of symbols]
1 レーザー制御装置 2 レーザー照射装置 2a 対物レンズ 3 レーザー光 4 ガラス基板 5 ブラックマトリクス 6 加工テーブルに植立された支持棒 7 加工テーブル 8 製造番号刻印領域 9 吸引ダクト 10 排気装置 11 流体送出装置 12 ブローノズル 13 防塵カバー 13a 入射窓 13b 出射窓。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser control apparatus 2 Laser irradiation apparatus 2a Objective lens 3 Laser beam 4 Glass substrate 5 Black matrix 6 Support bar laid on a processing table 7 Processing table 8 Serial number marking area 9 Suction duct 10 Exhaust device 11 Fluid delivery device 12 Blow Nozzle 13 dust cover 13a entrance window 13b exit window.

Claims (2)

    【特許請求の範囲】[Claims]
  1. 【請求項1】複数の加工機による一連の加工工程を経る
    ことで基板に各種の成膜処理とパターニングを施して所
    定の製品を製造する製造工程の一部に設置した基板に製
    造番号を刻印するレーザー加工装置において、 載置された基板の平面に平行な2方向に移動して製造番
    号を刻印する刻印領域の位置決めを行う加工テーブル
    と、 載置した基板の品種に対応した製造番号を上記刻印領域
    に刻印するレーザー照射装置と、 加工テーブルに載置した基板の上記刻印領域に流体を噴
    射するブローノズルを有する流体送出装置と、 上記刻印領域の流体を吸引する吸引ダクトとを有する排
    気装置とを備え、 上記レーザー照射装置の加工により上記刻印領域に発生
    する異物を除去することを特徴とするレーザー加工装
    置。
    1. A serial number is imprinted on a substrate installed in a part of a manufacturing process of manufacturing a predetermined product by performing various film forming processes and patterning on the substrate through a series of processing steps by a plurality of processing machines. In the laser processing apparatus, a processing table that moves in two directions parallel to the plane of the mounted substrate and positions a marking area for marking a serial number, and a serial number corresponding to the type of the mounted substrate is described above. A laser irradiating device for marking the marking region, a fluid delivery device having a blow nozzle for ejecting a fluid to the marking region of the substrate placed on the processing table, and an exhaust device having a suction duct for sucking the fluid in the marking region And a foreign matter generated in the engraved region by processing of the laser irradiation device.
  2. 【請求項2】複数の加工機による一連の加工工程を経る
    ことで基板に各種の成膜処理とパターニングを施して所
    定の製品を製造する製造工程の一部に設置した基板に製
    造番号を刻印するレーザー加工装置において、 載置された基板の平面に平行な2方向に移動して製造番
    号を刻印する刻印領域の位置決めを行う加工テーブル
    と、 載置した基板の品種に対応した製造番号を上記刻印領域
    に刻印するレーザー照射装置と、 前記レーザー照射装置と前記基板との間に設置して前記
    レーザー照射装置からのレーザー光を前記刻印領域に通
    過させる窓を有すると共に前記刻印領域に流体送出装置
    からの流体を噴射するブローノズルと排気装置により前
    記刻印領域の流体を吸引する吸引ダクトとを備えた防塵
    カバーを設け、上記レーザー照射装置の加工により上記
    刻印領域に発生する異物を除去することを特徴とするレ
    ーザー加工装置。
    2. A serial number is imprinted on a substrate installed in a part of a manufacturing process of manufacturing a predetermined product by performing various film forming processes and patterning on the substrate through a series of processing steps by a plurality of processing machines. In the laser processing apparatus, a processing table that moves in two directions parallel to the plane of the mounted substrate and positions a marking area for marking a serial number, and a serial number corresponding to the type of the mounted substrate is described above. A laser irradiator for engraving an engraved area, a window provided between the laser irradiator and the substrate to allow a laser beam from the laser irradiator to pass through the engraved area, and a fluid delivery device for the engraved area A dustproof cover provided with a blow nozzle for injecting fluid from the nozzle and a suction duct for sucking the fluid in the marking area by an exhaust device, and processing the laser irradiation device. Laser processing apparatus characterized by removing foreign matter more generated in the marking area.
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