KR20110090594A - Vacuum isolation apparatus and manufacturing equipment for display device having the same - Google Patents

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KR20110090594A
KR20110090594A KR1020100010469A KR20100010469A KR20110090594A KR 20110090594 A KR20110090594 A KR 20110090594A KR 1020100010469 A KR1020100010469 A KR 1020100010469A KR 20100010469 A KR20100010469 A KR 20100010469A KR 20110090594 A KR20110090594 A KR 20110090594A
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박영남
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    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Abstract

PURPOSE: A vacuum circuit breaker and image display device manufacturing facility including the same are provided to improve vacuum circuit breaker performance by driving a valve plate using pneumatic or fluid pressure. CONSTITUTION: A first inlet(12) is formed in a housing(100). A second inlet(14) is formed in the housing. A first valve board(20) opens and closes the first inlet. A supporting panel(60) is arranged inside the housing. A first cylinder unit is installed in one side of the backer panel and horizontally moves the first valve board.

Description

진공 차단장치 및 이를 포함하는 영상표시장치 제조설비{Vacuum isolation apparatus and manufacturing equipment for display device having the same}Vacuum isolation apparatus and manufacturing equipment for display device including the same

본 발명은 진공 차단장치 및 이를 포함하는 영상표시장치 제조설비에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum interrupter and an image display device manufacturing facility including the same.

일반적으로 영상표시장치는 화상을 표시하는 액정패널과, 액정패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 액정패널은 상호 결합되는 상부기판 및 하부기판과, 상부기판과 하부기판 사이에 형성된 액정층으로 구성된다.In general, an image display apparatus may be broadly classified into a liquid crystal panel displaying an image and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal panel. It consists of a liquid crystal layer formed in.

근래 들어, 영상표시장치 기판이 대구경, 대형화되면서 영상표시장치를 제조하는 설비의 크기가 커지고 있다. In recent years, as the image display apparatus substrate is large in diameter and large in size, the size of equipment for manufacturing the image display apparatus is increasing.

상기와 같은 영상표시장치를 제조하려면, 전용의 영상표시장치 제조설비와 같이 저진공으로부터 초고진공에 이르는 넓은 진공 영역에서 작업이 가능한 진공차단 슬롯밸브 등과 같은 진공 차단장치를 필요로 한다.In order to manufacture the image display apparatus as described above, a vacuum cut-off apparatus such as a vacuum blocking slot valve capable of working in a wide vacuum area from low vacuum to ultra-high vacuum, such as a dedicated image display apparatus manufacturing facility, is required.

그러나, 종래 기술의 진공 차단장치는 영상표시장치 기판을 제조설비에 공급한 상태에서 밸브를 폐쇄하도록 작동시키면, 밸브판이 하우징 입구의 테두리 둘레를 따라 균일하게 접촉되기 어렵기 때문에, 작동 부분에 과도한 압력을 가하여 밀착되도록 구성하게 되는데, 이때 밸브판과 하우징 입구 사이의 과도한 밀착으로 인하여, 이들 부품이 파손 및 변형되어 고장이 발생하는 문제점이 있었다.However, the vacuum interrupter of the prior art has excessive pressure on the operating part because the valve plate is difficult to be uniformly contacted along the rim of the housing inlet when the valve is operated to close the valve while the image display device substrate is supplied to the manufacturing facility. It is configured to be in close contact with, by the excessive contact between the valve plate and the housing inlet, there was a problem that these parts are broken and deformed to cause a failure.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 공압 또는 유압을 이용하여 밸브판을 구동시킴으로써, 진공 차단성능을 향상시킬 수 있는 진공 차단장치를 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to provide a vacuum interrupter which can improve the vacuum interruption performance by driving the valve plate using pneumatic or hydraulic pressure.

다른 과제는 제1진공실을 차단하는 밸브판과 제2진공실을 차단하는 밸브판을 각각 구동시킬 수 있는 진공 차단장치를 제공하는 것이다.Another object is to provide a vacuum interruption device capable of driving the valve plate for blocking the first vacuum chamber and the valve plate for blocking the second vacuum chamber, respectively.

본 발명의 한 실시예에 따른 진공 차단장치는 일측에 제1입구가 형성되고, 타측에 제2입구가 형성되는 하우징, 상기 하우징 내부에 배치되어, 상기 제1입구를 개폐하는 제1밸브판 및 상기 제2입구를 개폐하는 제2밸브판, 상기 하우징 내부에 배치되는 지지패널, 상기 지지패널의 일측면에 설치되어 제1밸브판을 수평 이동시키는 제1실린더 유닛, 상기 지지패널의 타측에 설치되어 제2밸브판을 수평 이동시키는 제2실린더 유닛, 그리고 상기 지지패널에 연결되어 제1밸브판과 제2밸브판을 승강시키는 구동유닛을 포함한다.According to an embodiment of the present invention, a vacuum shutoff device includes a housing having a first inlet formed at one side and a second inlet formed at the other side, a first valve plate disposed inside the housing, and opening and closing the first inlet. A second valve plate for opening and closing the second inlet, a support panel disposed inside the housing, a first cylinder unit installed at one side of the support panel to horizontally move the first valve plate, and installed at the other side of the support panel And a second cylinder unit for horizontally moving the second valve plate, and a driving unit connected to the support panel to lift the first valve plate and the second valve plate.

상기 구동유닛은 상기 제1실린더 유닛에 공압 또는 유입이 제공하는 제1구동유닛, 그리고 상기 제2실린더 유닛에 공압 또는 유압이 제공하는 제2구동유닛을 포함할 수 있다.The driving unit may include a first driving unit provided by pneumatic or inflow to the first cylinder unit, and a second driving unit provided by pneumatic or hydraulic pressure to the second cylinder unit.

상기 하우징은 그 내부에 상기 제1밸브판과 상기 제2밸브판이 상하 이동될 수 있는 수납공간이 구비되고, 상기 제1입구는 제1진공실의 입구이고, 상기 제2입구는 제2진공실의 입구로 구성될 수 있다.The housing has an accommodation space in which the first valve plate and the second valve plate can be moved up and down, the first inlet is an inlet of the first vacuum chamber, and the second inlet is an inlet of the second vacuum chamber. It can be configured as.

상기 제1밸브판과 제2밸브판에는 제1입구와 제2입구에 밀착되는 실링부재가 장착될 수 있다.The first valve plate and the second valve plate may be equipped with a sealing member in close contact with the first inlet and the second inlet.

상기 제1실린더 유닛은 상기 지지패널의 일측면에 고정되는 제1실린더 바디, 상기 제1실린더 바디의 내부에 직선 이동 가능하게 배치되어 상기 제1실린더 내부를 제1공간부와 제2공간부로 구획하고, 제1밸브판과 연결되는 제1이동부재를 포함할 수 있다.The first cylinder unit is arranged to be linearly movable inside the first cylinder body fixed to one side of the support panel, the first cylinder body partitions the inside of the first cylinder into a first space portion and a second space portion. And, it may include a first moving member connected to the first valve plate.

상기 제1실린더 바디에는 제1공간부로 공기가 출입되는 제1라인과, 제2공간부로 공기가 출입되는 제2라인이 형성될 수 있다.The first cylinder body may include a first line through which air enters and exits from a first space portion, and a second line through which air enters and exits through a second space portion.

상기 제2실린더 유닛은 상기 지지패널의 타측면에 고정되는 제2실린더 바디, 상기 제2실린더 바디의 내부에 직선 이동 가능하게 배치되어 상기 제2실린더 내부를 제1공간부와 제2공간부로 구획하고, 제2밸브판과 연결되는 제2이동부재를 포함할 수 있다.The second cylinder unit is disposed in the second cylinder body fixed to the other side of the support panel, the linear movement inside the second cylinder body to partition the inside of the second cylinder into a first space portion and a second space portion And, it may include a second moving member connected to the second valve plate.

상기 제2실린더 바디에는 제1공간부로 공기가 출입되는 제3라인과, 제2공간부로 공기가 출입되는 제4라인이 형성될 수 있다.The second cylinder body may have a third line through which air enters and exits the first space portion, and a fourth line through which air enters and exits the second space portion.

상기 구동유닛은 내부에 공압이 제공되는 공간을 갖는 바디, 상기 바디 내부의 공간에 이동 가능하게 배치되고, 상기 공간을 제1챔버와 제2챔버로 구획하는 피스톤, 상기 피스톤과 연결되고 상기 바디에서 인출되어 상기 지지패널에 고정되고, 그 내부에 제1공간부와 연통되는 제1통로와, 제2공간부와 연통되는 제2통로가 형성되는 피스톤 로드, 그리고 상기 피스톤 로드의 내부에 직선 이동 가능하게 배치되며 상기 제1통로와 연통되는 제3통로와, 상기 제2통로와 연통되는 제4통로가 형성되는 파이프를 포함할 수 있다.The drive unit is a body having a space provided with pneumatic pressure therein, a piston movably disposed in the space inside the body, partitioning the space into a first chamber and a second chamber, connected to the piston and in the body A piston rod drawn out and fixed to the support panel and having a first passage communicating with the first space portion, a second passage communicating with the second space portion, and linearly movable inside the piston rod; The first passage may include a third passage communicating with the first passage and a fourth passage communicating with the second passage.

상기 바디는 그 일측에 상부캡이 형성되고, 타측에 하부캡이 형성되며, 상기 상부캡에는 상기 제2챔버로 공기가 출입하는 제1공기 출입구가 형성되고, 상기 하부캡에는 상기 제1챔버로 공기가 출입하는 제2공기 출입구가 형성될 수 있다.The body has an upper cap formed on one side thereof, a lower cap formed on the other side thereof, and a first air inlet through which air enters the second chamber is formed on the upper cap, and the first cap has the first chamber. A second air entrance through which air may enter may be formed.

상기 피스톤 로드는 그 내부에 상기 제1통로를 형성하는 제1로드, 그리고 상기 제1로드의 외면에 일정 간격을 두고 배치되어 제2통로를 형성하는 제2로드를 포함할 수 있다.The piston rod may include a first rod forming the first passage therein, and a second rod arranged at an interval on an outer surface of the first rod to form a second passage.

상기 파이프는 그 내부에 제3통로를 형성하는 제1파이프와, 그리고 상기 제1파이프의 외주면에 일정 간격을 두고 배치되어 제4통로를 형성하는 제2파이프를 포함할 수 있다.The pipe may include a first pipe forming a third passage therein, and a second pipe disposed at a predetermined interval on an outer circumferential surface of the first pipe to form a fourth passage.

상기 제1로드의 하단에는 제2구멍이 형성되고, 상기 제2파이프의 상단에는 제3구멍이 형성되며, 상기 피스톤 로드가 상기 바디에서 인출되면 상기 제2구멍과 제3구멍이 서로 연통될 수 있다.A second hole is formed at a lower end of the first rod, and a third hole is formed at an upper end of the second pipe. When the piston rod is drawn out of the body, the second hole and the third hole may communicate with each other. have.

상기 제1밸브판과 상기 하우징의 내면 중 어느 하나에는 제1밸브판이 제1입구에 밀착될 때 압력을 측정하는 제1압력센서가 설치되고, 상기 제2밸브판과 상기 하우징의 내면 중 어느 하나에는 제2밸브판이 제2입구에 밀착될 때 압력을 측정하는 제2압력센서가 설치될 수 있다.One of the first valve plate and the inner surface of the housing is provided with a first pressure sensor for measuring the pressure when the first valve plate is in close contact with the first inlet, any one of the inner surface of the second valve plate and the housing The second pressure sensor for measuring the pressure when the second valve plate is in close contact with the second inlet may be installed.

상기 진공 차단장치는 상기 지지패널의 길이 방향을 따라 배치되어 있는 유체 라인을 더 포함할 수 있고, 상기 제1 실린더 유닛과 상기 제2 실린더 유닛은 각각 상기 유체 라인에 연결되어 있으며, 상기 제1밸브판 및 상기 제2밸브판은 상기 유체 라인에서 공급되는 유체 압력에 의해 움직일 수 있다.The vacuum interrupter may further include a fluid line disposed along a length direction of the support panel, wherein the first cylinder unit and the second cylinder unit are connected to the fluid line, respectively, and the first valve The plate and the second valve plate may be moved by the fluid pressure supplied from the fluid line.

본 발명의 실시예에 따른 영상표시장치 제조설비는 위에서 설명한 진공 차단장치를 포함할 수 있다.The image display apparatus manufacturing apparatus according to the embodiment of the present invention may include the vacuum interrupter described above.

본 발명의 실시예에 따르면, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 실린더 유닛이 구비되어 공압 또는 유압을 이용하여 밸브판을 구동시킴으로써, 진공 차단성능을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.According to an embodiment of the present invention, the problem to be solved by the present invention, there is an advantage that can improve the vacuum breaking performance by providing a cylinder unit to drive the valve plate using pneumatic or hydraulic pressure.

또한, 제1밸브판을 구동시키는 제1실린더 유닛과 제2밸브판을 구동시키는 제2실린더 유닛으로 제공되는 공압 또는 유압라인을 다르게 하여 제1밸브판과 제2밸브판을 별도로 구동시킬 수 있는 장점이 있다.The first valve plate and the second valve plate may be separately driven by different pneumatic or hydraulic lines provided to the first cylinder unit for driving the first valve plate and the second cylinder unit for driving the second valve plate. There is an advantage.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 영상표시장치의 제조설비를 나타낸 구성도이다.
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 차단장치의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 차단장치의 일측 단면도이다.
도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 차단장치의 타측 단면도이다.
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 밸브판을 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 작동유닛의 단면도이다.
도 7은 도 6 A부의 확대도이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 차단장치의 작동 상태도이다. 1 is a configuration diagram illustrating a manufacturing facility of an image display apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention.
2 is a front view of a vacuum interrupter according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional side view of a vacuum interrupter according to an exemplary embodiment of the present invention.
4 is another side cross-sectional view of a vacuum interrupter according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing a valve plate according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view of an operating unit according to an embodiment of the present invention.
7 is an enlarged view of a portion A of FIG. 6.
8 and 9 are operating state diagrams of the vacuum interrupter according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록, 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. Like parts are designated by like reference numerals throughout the specification.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 영상표시장치 제조설비를 나타낸 구성도이다. 1 is a block diagram showing an image display device manufacturing equipment according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 영상표시장치 제조설비는, 로드락 챔버(load lock chamber)(200), 트랜스퍼 챔버(transfer chamber)(300), 복수의 프로세스 챔버(process chamber)(400) 및 트랜스퍼 챔버(300)와 각 프로세스 챔버(400) 사이에 설치되는 진공 차단장치(100)를 포함한다. Referring to FIG. 1, an apparatus for manufacturing an image display apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention may include a load lock chamber 200, a transfer chamber 300, and a plurality of process chambers. 400 and a vacuum interrupter 100 installed between the transfer chamber 300 and each process chamber 400.

로드락 챔버(load lock chamber)(200)는 유리기판 등과 같은 소재가 로딩(loading)되거나 언로딩(unloading)되는 곳으로, 일측에는 도어 밸브(210)가 설치되고, 타측에는 게이트 밸브(220)가 설치되어 소재가 로딩 및 언로딩될 때 챔버(200)를 개폐한다. The load lock chamber 200 is a place where a material such as a glass substrate is loaded or unloaded. A door valve 210 is installed at one side and a gate valve 220 at the other side. Is installed to open and close the chamber 200 when the material is loaded and unloaded.

트랜스퍼 챔버(transfer chamber)(300)는 고진공(high vacuum : 10 -6 T orr)상태를 유지하는 제1진공실이며, 내부에 로봇(robot) 주축 및 감지기 등을 구비하고, 로봇의 주축을 중심으로 하는 로봇 암에 의해 상기 로드락 챔버 또는 증착, 식각 등의 여러 공정이 수행되는 프로세스 챔버(process chamber)(400)들 간에 기판 등의 이동을 담당한다.The transfer chamber 300 is a first vacuum chamber that maintains a high vacuum (10 -6 Torr) state, and includes a robot spindle and a sensor therein, and focuses on the robot's spindle. The robot arm is responsible for the movement of the substrate between the load lock chamber or process chambers 400 in which various processes such as deposition and etching are performed.

복수의 프로세스 챔버(400)는 그 내부가 진공상태를 유지하는 제2진공실이며, 진공상태에서 소재를 가공하는 챔버이다. The plurality of process chambers 400 are second vacuum chambers in which the insides of the plurality of process chambers are maintained in a vacuum state, and the chambers process materials in a vacuum state.

진공 차단장치(100)는 트랜스퍼 챔버(300)와 복수의 프로세스 챔버(400) 사이에 설치되어 두 챔버(300,400)의 진공 차단작용을 수행한다. The vacuum interrupter 100 is installed between the transfer chamber 300 and the plurality of process chambers 400 to perform a vacuum interruption operation of the two chambers 300 and 400.

도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 차단장치의 정면도이고, 도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 차단장치의 일측 단면도이고, 도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 차단장치의 타측 단면도이다. 2 is a front view of a vacuum interrupter according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a cross-sectional side view of a vacuum interrupter according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a vacuum interrupter according to an embodiment of the present invention. Another section of the device.

본 발명의 한 실시예에 따른 진공 차단장치(100)는 트랜스퍼 챔버(300)와 상기 프로세스 챔버(400) 사이에 설치되고 제1입구(12)와 제2입구(14)가 구비되는 하우징(10)과, 하우징(30) 내부에 배치되어 제1입구(12)를 개폐하는 제1밸브판(20) 및 제2입구(14)를 개폐하는 제2밸브판(30)과, 제1밸브판(20)과 제2밸브판(30)이 입구(12,14)에 밀착되도록 수평 이동시키는 실린더 유닛(70,80)과, 제1밸브판(20)과 제2밸브판(30)을 승강시키는 구동유닛(40,50)을 포함한다. The vacuum interrupter 100 according to an embodiment of the present invention is installed between the transfer chamber 300 and the process chamber 400, the housing 10 is provided with a first inlet 12 and the second inlet 14 ), A first valve plate 20 for opening and closing the first inlet 12, a second valve plate 30 for opening and closing the second inlet 14, and a first valve plate disposed in the housing 30. Lifting the cylinder units 70 and 80 for horizontally moving the 20 and the second valve plate 30 to be in close contact with the inlets 12 and 14, and elevating the first valve plate 20 and the second valve plate 30. It includes a drive unit (40, 50).

하우징(10)은 그 내부에 제1밸브판(20)과 제2밸브판(30)이 상하방향으로 이동 가능하게 수납되는 수납공간(16)이 형성되고, 그 일측에는 트랜스퍼 챔버(300)와 연통되는 제1입구(12)가 형성되고, 그 타측에는 프로세스 챔버(400)와 연통되는 제2입구(14)가 형성된다. The housing 10 has an accommodating space 16 in which the first valve plate 20 and the second valve plate 30 are movable so as to be movable in the vertical direction, and the transfer chamber 300 is formed at one side thereof. The first inlet 12 communicates with each other, and a second inlet 14 communicating with the process chamber 400 is formed at the other side thereof.

제1입구(12)와 제2입구(14)는 서로 마주보게 배치되어 소재가 인입 및 인출된다. The first inlet 12 and the second inlet 14 are disposed to face each other so that the material is drawn in and out.

하우징(10)의 일측면에는 트랜스퍼 챔버(300)와 제1입구(12) 사이를 밀봉시키는 실링부재(22)가 장착되고, 하우징(10)의 타측면에는 프로세스 챔버(400)와 제2입구(14) 사이를 밀봉시키는 실링부재(24)가 장착된다. A sealing member 22 for sealing between the transfer chamber 300 and the first inlet 12 is mounted on one side of the housing 10, and the process chamber 400 and the second inlet on the other side of the housing 10. The sealing member 24 which seals between 14 is mounted.

하우징(10)의 수납공간(16)에는 지지패널(60)이 배치되고, 이 지지패널(60)의 일측면에는 제1밸브판(20)이 연결되고, 지지패널(60)의 타측면에는 제2밸브판(30)이 연결된다. A support panel 60 is disposed in the storage space 16 of the housing 10, and a first valve plate 20 is connected to one side of the support panel 60, and on the other side of the support panel 60. The second valve plate 30 is connected.

제1밸브판(20)은 제1입구(12)를 막을 수 있도록 제1입구(12)에 비해 면적이 넓은 평판으로 형성되고, 그 일측면 가장자리에는 실링부재(26)가 설치되어 제1입구(12)를 밀폐시킨다. The first valve plate 20 is formed of a flat plate having a larger area than the first inlet 12 so as to block the first inlet 12, and a sealing member 26 is installed at one side edge thereof so that the first inlet 12 is closed. (12) is sealed.

그리고, 제2밸브판(30)은 제2입구(14)를 막을 수 있도록 제2입구(14)에 비해 면적이 넓은 평판으로 형성되고, 그 일측면 가장자리에는 실링부재(28)가 설치되어 제2입구(14)를 밀폐시킨다. The second valve plate 30 is formed of a flat plate having a larger area than the second inlet 14 so as to block the second inlet 14, and a sealing member 28 is installed at one side edge thereof. The inlet 14 is sealed.

실린더 유닛(70,80)은 지지패널(60)의 일측면에 고정되어 제1밸브판(20)을 수평 이동시키는 제1실린더 유닛(70)과, 지지패널(60) 타측면에 고정되어 제2밸브판(30)을 수평 이동시키는 제2실린더 유닛(80)으로 구성된다. The cylinder units 70 and 80 are fixed to one side of the support panel 60 to fix the first cylinder unit 70 to horizontally move the first valve plate 20, and to the other side of the support panel 60. It consists of the 2nd cylinder unit 80 which moves a 2 valve board 30 horizontally.

제1실린더 유닛(70)은 도 3에 도시된 바와 같이, 지지패널(60)의 일측면에 고정되고 내부에 공기압이 제공되는 공간부(74,76)가 형성되는 제1실린더 바디(72)와, 이 제1실린더 바디(72)의 공간부(74,76)에 직선 이동 가능하게 배치되고 공간부를 제1공간부(74)와 제2공간부(76)로 구획하고 제1밸브판(20)에 고정되는 제1이동부재(75)를 포함한다. As shown in FIG. 3, the first cylinder unit 70 is fixed to one side of the support panel 60 and has a first cylinder body 72 in which space portions 74 and 76 are provided to provide air pressure therein. And spaced linearly in the spaces 74 and 76 of the first cylinder body 72, and partitions the space into a first space 74 and a second space 76, and the first valve plate ( And a first moving member 75 fixed to 20.

제1실린더 바디(72)에는 제1이동부재(75)가 인출되는 인출홀(73)이 형성되고, 제1공간부(74)와 연결되는 제1라인(92)과, 제2공간부(76)와 연결되는 제2라인(94)이 형성된다. 그리고, 지지패널(60)에는 제1라인(92)과 연통되는 제3라인(96)이 형성된다. 그러나, 제1공간부(74)는 제2라인(94)과 연결되고, 제2 공간부(76)는 제1라인(92) 및 제3라인(96)과 연결되도록 구성될 수 있다.The first cylinder body 72 has a drawing hole 73 through which the first moving member 75 is drawn out, a first line 92 connected to the first space portion 74, and a second space portion ( A second line 94 is formed in connection with 76. In addition, the support panel 60 is formed with a third line 96 in communication with the first line 92. However, the first space portion 74 may be connected to the second line 94, and the second space portion 76 may be configured to be connected to the first line 92 and the third line 96.

제1이동부재(75)의 외주면에는 공간부(74,76)의 내면에 밀착되어 기밀을 유지하는 실링부재(77)가 장착되고, 인출홀(73)의 내면에는 제1이동부재(75)의 외주면에 밀착되어 공간부 내부의 기밀을 유지하는 실링부재(78)가 장착된다. The outer circumferential surface of the first moving member 75 is mounted with a sealing member 77 which is in close contact with the inner surfaces of the spaces 74 and 76 to maintain airtightness, and the first moving member 75 is disposed on the inner surface of the withdrawal hole 73. In close contact with the outer circumferential surface of the sealing member 78 is mounted to maintain the airtight inside the space.

이와 같은 제1실린더 유닛(70)은 도 5에 도시된 바와 같이, 지지패널(60)의 길이방향을 따라 하나 또는 하나 이상으로 설치될 수 있고, 복수일 경우 복수의 제1이동부재(75)가 제1밸브판(20)에 일정 간격을 두고 고정된다.As shown in FIG. 5, one or more first cylinder units 70 may be installed along the longitudinal direction of the support panel 60, and, in the case of a plurality of first cylinder units 70, a plurality of first moving members 75. Is fixed to the first valve plate 20 at regular intervals.

그리고, 제1밸브판(20) 또는 하우징(10)의 내면에는 제1밸브판(20)이 하우징의 내면에 밀착되는 압력을 감지하는 제1압력센서(210)가 설치된다. In addition, a first pressure sensor 210 is installed on an inner surface of the first valve plate 20 or the housing 10 to sense a pressure in which the first valve plate 20 is in close contact with the inner surface of the housing.

이와 같은 제1실린더 유닛(70)의 작용을 살펴보면, 제1구동유닛(40)으로부터 제1공간부(74)로 공기압이 제공되면 제1이동부재(75)가 전진되면서 제1밸브판(20)을 전진시킨다. 그러면 제1밸브판(20)은 제1입구(12)에 밀착되어 제1입구(12)를 밀폐시킨다. 그리고, 제1구동유닛(40)으로부터 제2공간부(76)로 공기압이 제공되면 제1이동부재(75)가 후퇴되면서 제1밸브판(20)을 후퇴시킨다. 그러면 제1밸브판(20)이 제1입구(12)에서 떨어져 제1입구(12)를 개방한다. Looking at the operation of the first cylinder unit 70 as described above, when the air pressure is provided from the first driving unit 40 to the first space portion 74, the first moving member 75 is advanced, the first valve plate 20 Advance) Then, the first valve plate 20 is in close contact with the first inlet 12 to seal the first inlet 12. When the air pressure is provided from the first driving unit 40 to the second space portion 76, the first moving member 75 is retracted and the first valve plate 20 is retracted. Then, the first valve plate 20 is separated from the first inlet 12 to open the first inlet 12.

그리고, 제1압력센서(210)가 제1입구(12)에 제1밸브판(20)이 밀착될 때 압력을 측정하여 그 신호를 컨트롤러로 인가하면 컨트롤러는 제1압력센서(210)로부터 인가되는 신호와 기준값을 비교하여 제1실린더 유닛(70)에 공기의 압력을 조절한다.In addition, when the first pressure sensor 210 measures the pressure when the first valve plate 20 is in close contact with the first inlet 12 and applies the signal to the controller, the controller is applied from the first pressure sensor 210. The pressure of the air is adjusted to the first cylinder unit 70 by comparing the signal and the reference value.

제2실린더 유닛(80)은 도 4에 도시된 바와 같이, 지지패널(60)의 타측면에 고정되고 내부에 공기압이 제공되는 공간부(84,86)가 형성되는 제2실린더 바디(82)와, 이 제2실린더 바디(82)의 공간부에 직선 이동 가능하게 배치되고 공간부를 제3공간부(84)와 제4공간부(86)로 구획하고 제1밸브판(30)에 고정되는 제2이동부재(85)를 포함한다. As shown in FIG. 4, the second cylinder unit 80 is fixed to the other side of the support panel 60 and has a second cylinder body 82 having spaces 84 and 86 provided with air pressure therein. And the space portion of the second cylinder body 82 is disposed to be linearly movable, and the space portion is divided into the third space portion 84 and the fourth space portion 86 and fixed to the first valve plate 30. The second moving member 85 is included.

제2실린더 바디(82)에는 제2이동부재(85)가 인출되는 인출홀(83)이 형성되고, 제1공간부(84)와 연결되는 제4라인(32)과, 제2공간부(86)와 연결되는 제5라인(34)이 형성된다. 그리고, 지지패널(60)에는 제4라인(32)과 연통되는 제6라인(36)이 형성된다. 그러나, 제1공간부(84)는 제5라인(34)과 연결되고, 제2공간부(86)는 제4라인(32) 및 제6라인(36)과 연결되도록 구성될 수 있다.A drawing hole 83 through which the second moving member 85 is drawn out is formed in the second cylinder body 82, a fourth line 32 connected to the first space part 84, and a second space part ( A fifth line 34 is formed in connection with 86. In addition, a sixth line 36 communicating with the fourth line 32 is formed in the support panel 60. However, the first space portion 84 may be connected to the fifth line 34, and the second space portion 86 may be configured to be connected to the fourth line 32 and the sixth line 36.

이러한 제2실린더 유닛(80)은 지지패널(60)에 하나 또는 하나 이상으로 설치되고, 복수로 설치될 경우 복수의 제2이동부재(85)가 제2밸브판(30)에 일정 간격을 두고 고정된다. One or more second cylinder units 80 are installed on the support panel 60, and when the plurality of second cylinder units 80 are installed, the plurality of second moving members 85 may be spaced apart from the second valve plate 30 at a predetermined interval. It is fixed.

그리고, 제2밸브판(30)과 하우징(10)의 내면 중 어느 하나에는 제2압력센서(220)가 설치되어 제2밸브판(30)이 밀착되는 압력을 측정한다.In addition, a second pressure sensor 220 is installed on any one of the inner surface of the second valve plate 30 and the housing 10 to measure the pressure in which the second valve plate 30 is in close contact.

이와 같은 제2실린더 유닛(80)은 제2구동유닛(80)에 의하여 동작한다. 그러나 제2구동유닛(80)은 생략될 수 있으며, 이 경우 제1구동유닛(40)에 의해 동작될 수 있다. 제2실린더 유닛(80)의 나머지 동작은 위에서 설명한 제1실린더 유닛(70)의 작용과 실질적으로 동일하므로 그 설명을 생략한다. The second cylinder unit 80 is operated by the second driving unit 80. However, the second driving unit 80 may be omitted, in this case it can be operated by the first driving unit 40. Since the remaining operations of the second cylinder unit 80 are substantially the same as the operation of the first cylinder unit 70 described above, a description thereof will be omitted.

구동유닛(40,50)은 지지패널(60)의 일측에 연결되어 지지패널(60)을 승강시킴과 아울러 제1실린더 유닛(70)에 공압을 제공하는 제1구동유닛(40)과, 지지패널(60)의 타측에 연결되어 지지패널(60)을 승강시킴과 아울러 제2실린더 유닛(80)에 공압을 제공하는 제2구동유닛(50)을 포함한다.The drive units 40 and 50 are connected to one side of the support panel 60 to elevate the support panel 60 and to provide air pressure to the first cylinder unit 70 and the support unit 40. It is connected to the other side of the panel 60 includes a second drive unit 50 for raising and lowering the support panel 60 and providing air pressure to the second cylinder unit 80.

제1구동유닛(40)은 도 6에 도시된 바와 같이, 내부에 공압이 제공되는 바디(110)와, 이 바디(110) 내에서 이동 가능하게 배치되어 바디 내부를 제1챔버(112)와 제2챔버(114)로 구획하는 피스톤(120)과, 이 피스톤(120)과 연결되고 바디(110)에서 인출되어 지지패널(60)에 고정되고 그 내부에 제1라인(92)과 연결되는 제1통로(132)와 제2라인(94)과 연결되는 제2통로(134)가 형성되는 피스톤 로드(130)와, 이 피스톤 로드(130)의 내부에 직선 이동 가능하게 배치되며 제1통로(132)와 연통되는 제3통로(142)와, 제2통로(134)와 연통되는 제4통로(144)가 형성되는 파이프(140)를 포함한다. As shown in FIG. 6, the first driving unit 40 has a body 110 provided with pneumatic pressure therein, and is movable in the body 110 so as to move the inside of the body with the first chamber 112. A piston 120 partitioned into the second chamber 114, connected to the piston 120, drawn from the body 110, fixed to the support panel 60, and connected to the first line 92 therein. A piston rod 130 having a second passage 134 connected to the first passage 132 and the second line 94, and a first passage disposed in the piston rod 130 so as to be linearly movable. And a pipe 140 having a third passage 142 communicating with 132 and a fourth passage 144 communicating with the second passage 134.

바디(110)는 일측에 상부캡(112)이 형성되고, 타측에 하부캡(114)이 형성된다. 상부캡(112)에는 피스톤 로드(130)가 직선 이동 가능하게 인출되는 인출홀(116)이 형성되고, 상부캡(112)의 일측에는 제2챔버(114)로 공기를 공급하거나 제2챔버(114) 내의 공기가 배출되는 제1공기 출입구(150)가 형성된다. Body 110 has an upper cap 112 is formed on one side, the lower cap 114 is formed on the other side. The upper cap 112 has a withdrawal hole 116 through which the piston rod 130 is drawn to be linearly movable, and one side of the upper cap 112 supplies air to the second chamber 114 or the second chamber ( A first air entrance 150 through which air in 114 is discharged is formed.

그리고, 하부캡(114)에는 파이프(140)가 외부로 인출되게 고정되고, 제1챔버(112)로 공기를 공급하거나 제2챔버(112) 내의 공기가 배출되는 제2공기 출입구(152)가 형성된다. In addition, the lower cap 114 is fixed to the pipe 140 to be drawn out, the second air inlet 152 for supplying air to the first chamber 112 or the air in the second chamber 112 is discharged Is formed.

제1공기 출입구(150)와 제2공기 출입구(152)는 공기압을 발생시키는 컴프레셔 등과 제1호스(154)와 제2호스(156)로 각각 연결된다. The first air inlet 150 and the second air inlet 152 are connected to the first hose 154 and the second hose 156 by a compressor or the like for generating air pressure, respectively.

피스톤(120)은 도 7에 도시된 바와 같이, 바디(110) 내부에 직선 이동가능하게 배치되고, 그 외주면에는 실링부재(122)가 장착되어 바디(110)의 내면에 밀착된다. 그리고, 피스톤(120)의 중앙에는 관통홀(124)이 형성되어 파이프(140)가 통과한다. 이때, 관통홀(124)의 내면에는 실링부재(126)가 장착되어 파이프(140)의 외주면에 밀착된다. As illustrated in FIG. 7, the piston 120 is disposed to be linearly movable within the body 110, and a sealing member 122 is mounted on an outer circumferential surface thereof to closely contact an inner surface of the body 110. In addition, a through hole 124 is formed in the center of the piston 120 so that the pipe 140 passes. At this time, the sealing member 126 is mounted on the inner surface of the through hole 124 to be in close contact with the outer circumferential surface of the pipe 140.

피스톤 로드(130)는 제1통로(132)를 형성하는 제1로드(136)와, 이 제1로드(136)의 외면에 일정 간격을 두고 배치되어 제2통로(134)를 형성하는 제2로드(138)으로 구성된다. 여기에서, 제1로드(136)와 제2로드(138) 사이의 공간이 제2통로(134)가 되고, 제1로드(136)의 내부가 제1통로(132)가 된다. The piston rod 130 includes a first rod 136 forming a first passage 132 and a second rod 134 disposed at an outer surface of the first rod 136 to form a second passage 134. Rod 138. Here, the space between the first rod 136 and the second rod 138 becomes the second passage 134, and the inside of the first rod 136 becomes the first passage 132.

제1로드(136)와 제2로드(138) 사이에는 제2통로(134)의 밀봉을 위한 실링부재(160)가 설치된다. 제2로드(138)의 상측에는 제2라인(94)과 제2통로(134) 사이를 연통시키는 제1구멍(162)이 형성되고, 제1통로(132)는 그 상측이 제3라인(96)과 연통된다.A sealing member 160 for sealing the second passage 134 is installed between the first rod 136 and the second rod 138. A first hole 162 is formed at the upper side of the second rod 138 to communicate between the second line 94 and the second passage 134, and the upper side of the first passage 132 has a third line ( 96).

파이프(140)는 그 내부에 제3통로(142)를 형성하는 제1파이프(146)와, 이 제1파이프(146)의 외주면에 일정 간격을 두고 배치되어 제4통로(144)를 형성하는 제2파이프(148)로 구성된다. The pipe 140 has a first pipe 146 that forms a third passage 142 therein, and is disposed at regular intervals on an outer circumferential surface of the first pipe 146 to form a fourth passage 144. The second pipe 148 is formed.

제3통로(142)는 제1통로(132)와 연통된다. 그리고, 제2파이프(148)의 상측에는 제3구멍(166)이 형성되고 제1로드(136)의 하측에는 제2구멍(164)이 형성되며 제3구멍(166)과 제2구멍(164)은 선택적으로 연통된다. 즉, 피스톤 로드(130)가 최대로 인출된 상태로 되면 제2구멍(164)과 제3구멍(166)이 서로 연통된다. The third passage 142 communicates with the first passage 132. A third hole 166 is formed above the second pipe 148, and a second hole 164 is formed below the first rod 136, and the third hole 166 and the second hole 164 are formed. ) Is optionally communicated. That is, when the piston rod 130 is in the maximum drawn state, the second hole 164 and the third hole 166 communicate with each other.

제1파이프(146)는 제3호스(170)와 연결되어 외부로부터 공기가 공급되고, 제2파이프(148)는 제4호스(172)와 연결되어 외부로부터 공기가 공급된다. The first pipe 146 is connected to the third hose 170 to supply air from the outside, and the second pipe 148 is connected to the fourth hose 172 to supply air from the outside.

제2구동유닛(50)은 위에서 설명한 제1구동유닛(40)의 구성과 동일하고, 다만 제4라인(32)은 제1통로(132)와 연통되어 공기가 출입되고, 제5라인(34)은 제2통로(134)와 연통되어 공기가 출입된다. The second driving unit 50 is the same as the configuration of the first driving unit 40 described above, except that the fourth line 32 communicates with the first passage 132 to allow air to enter and exit the fifth line 34. ) Is in communication with the second passage 134, the air enters and exits.

이와 같이, 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 차단장치의 작용을 다음에서 설명한다. Thus, the operation of the vacuum interrupter according to an embodiment of the present invention configured will be described below.

먼저, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제1밸브판(20)과 제2밸브판(30)이 수납공간(16)의 하측에 위치되면 제1입구(12)와 제2입구(14)가 개방된다. First, as shown in FIGS. 3 and 4, when the first valve plate 20 and the second valve plate 30 are positioned below the storage space 16, the first inlet 12 and the second inlet ( 14) is opened.

이러한 상태에서, 제1입구(12)와 제2입구(14)를 닫고자 할 경우에는 도 8에 도시된 바와 같이, 제1구동유닛(40)과 제2구동유닛(50)이 작동되어 제1밸브판(20)과 제2밸브판(30)이 상측방향으로 이동되어 제1밸브판(20)은 제1입구(12)와 마주보게 배치되고 제2밸브판(30)은 제2입구(14)와 마주보게 배치된다. In this state, when the first inlet 12 and the second inlet 14 are to be closed, the first driving unit 40 and the second driving unit 50 are operated as shown in FIG. The first valve plate 20 and the second valve plate 30 are moved upwards so that the first valve plate 20 faces the first inlet 12 and the second valve plate 30 is the second inlet. It is arranged to face 14.

자세히 설명하면, 제1구동유닛(40)의 제1챔버(112)로 공기가 공급되면 피스톤(120)이 공기 압력에 의해 상승되고, 이에 따라 피스톤 로드(130)가 바디(110)에서 인출된다. 그러면 피스톤 로드(130)의 끝부분에 장착된 지지패널(60)이 직선 이동되고, 이 지지패널(60)의 양측면에 각각 고정된 제1밸브판(20)과 제2밸브판(30)이 상승되어 제1입구(12)와 제2입구(14)에 마주보게 배치된다. In detail, when air is supplied to the first chamber 112 of the first driving unit 40, the piston 120 is raised by the air pressure, and thus the piston rod 130 is drawn out of the body 110. . Then, the support panel 60 mounted at the end of the piston rod 130 is linearly moved, and the first valve plate 20 and the second valve plate 30 fixed to both sides of the support panel 60 are It is raised and disposed to face the first inlet 12 and the second inlet 14.

이러한 상태에서, 제1입구(12)와 제2입구(14)는 선택적으로 닫힐 수 있다. 즉, 제1구동유닛(40)으로 공기가 공급되면 제1실린더 유닛(70)이 구동되어 제1밸브판(20)이 제1입구(12)를 닫아주고, 제2구동유닛(50)으로 공기가 공급되면 제2실린더 유닛(80)이 구동되어 제2밸브판(30)이 제2입구(14)를 닫아준다. In this state, the first inlet 12 and the second inlet 14 can be selectively closed. That is, when air is supplied to the first driving unit 40, the first cylinder unit 70 is driven so that the first valve plate 20 closes the first inlet 12 and moves to the second driving unit 50. When air is supplied, the second cylinder unit 80 is driven to close the second inlet 14 by the second valve plate 30.

제1밸브판(20)이 제1입구(12)를 닫아주는 과정을 자세히 살펴보면, 도 9에 도시된 바와 같이, 외부의 공기가 제1파이프(146)의 제3통로(142)로 공기가 공급된다. 그러면 제3통로(142)와 연통된 제1피스톤 로드(136)의 제1통로(132)로 공기가 유입되고, 제1통로(132)와 연통된 제1실린더 바디(72)의 제1라인(92)을 통해 제1공간부(74)로 공기가 공급된다. 그러면 제1이동부재(75)가 전진되고, 제1이동부재(75)에 고정된 제1밸브판(20)이 전진되면서 제1입구(12)에 밀착된다. Looking at the process in which the first valve plate 20 closes the first inlet 12 in detail, as shown in FIG. 9, the outside air is supplied to the third passage 142 of the first pipe 146. Supplied. Then, air flows into the first passage 132 of the first piston rod 136 in communication with the third passage 142 and the first line of the first cylinder body 72 in communication with the first passage 132. Air is supplied to the first space portion 74 through the 92. Then, the first moving member 75 is advanced, and the first valve plate 20 fixed to the first moving member 75 is advanced to be in close contact with the first inlet 12.

이때, 제2공간부(76)에 채워져 있던 공기는 제1실린더 바디(75)의 제2라인(94), 제2로드(138)의 제2통로(134) 및 제2파이프(148)의 제4통로(144)를 통해 외부로 배출된다. At this time, the air filled in the second space portion 76 of the second line 94 of the first cylinder body 75, the second passage 134 of the second rod 138 and the second pipe 148 It is discharged to the outside through the fourth passage 144.

그리고, 제1밸브판(20)이 제1입구(12)에 밀착될 때 제1압력센서(210)가 제1밸브판(20)이 제1입구(12)에 밀착되는 압력을 측정하여 그 신호를 컨트롤러로 인가한다. 그러면 컨트롤러는 제1압력센서(210)로부터 인가되는 신호와 설정값을 비교하여 제2실린더 유닛(80)에 제공되는 공기의 압력을 제어한다. When the first valve plate 20 is in close contact with the first inlet 12, the first pressure sensor 210 measures the pressure that the first valve plate 20 is in close contact with the first inlet 12. Apply the signal to the controller. Then, the controller compares a signal applied from the first pressure sensor 210 with a set value to control the pressure of air provided to the second cylinder unit 80.

따라서, 제1밸브판(20)이 적정압력으로 제1입구(12)에 밀착되기 때문에 제1밸브판(20)의 파손 및 손상을 최소화할 수 있게 된다. Therefore, since the first valve plate 20 is in close contact with the first inlet 12 at an appropriate pressure, breakage and damage of the first valve plate 20 can be minimized.

그리고, 제2밸브판(30)은 제2실린더 유닛(80)으로 공압이 제공되면 제2입구(14)를 닫아준다. 여기에서, 제2실린더 유닛(80)의 작동과 제2실린더 유닛(80)으로 공압을 제공하는 제2구동유닛(50)의 작동이 위에서 설명한 제1밸브판(20)의 구동과 동일하므로 그 설명을 생략한다. The second valve plate 30 closes the second inlet 14 when pneumatic pressure is provided to the second cylinder unit 80. Here, since the operation of the second cylinder unit 80 and the operation of the second driving unit 50 for providing pneumatic pressure to the second cylinder unit 80 are the same as the driving of the first valve plate 20 described above. Omit the description.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concepts of the present invention defined in the following claims are also provided. It belongs to the scope of the present invention.

10: 하우징 12: 제1입구
14: 제2입구 16: 수납공간
20: 제1밸브판 30: 제2밸브판
40: 제1구동유닛 50: 제2구동유닛
60: 지지패널 70: 제1실린더 유닛
72: 제1실린더 바디 74: 제1공간부
75: 제1이동부재 76: 제2공간부
110: 바디 120: 피스톤
130: 피스톤 로드 140: 파이프
132: 제1통로 134: 제2통로
142: 제3통로 144: 제4통로 10: housing 12: first inlet
14: entry 2 16: storage space
20: first valve plate 30: second valve plate
40: first driving unit 50: second driving unit
60: support panel 70: first cylinder unit
72: first cylinder body 74: the first space portion
75: first moving member 76: second space portion
110: body 120: piston
130: piston rod 140: pipe
132: first passage 134: second passage
142: third passage 144: fourth passage

Claims (16)

일측에 제1입구가 형성되고, 타측에 제2입구가 형성되는 하우징,
상기 하우징 내부에 배치되어, 상기 제1입구를 개폐하는 제1밸브판 및 상기 제2입구를 개폐하는 제2밸브판,
상기 하우징 내부에 배치되는 지지패널,
상기 지지패널의 일측면에 설치되어 제1밸브판을 수평 이동시키는 제1실린더 유닛,
상기 지지패널의 타측에 설치되어 제2밸브판을 수평 이동시키는 제2실린더 유닛, 그리고
상기 지지패널에 연결되어 제1밸브판과 제2밸브판을 승강시키는 구동유닛
을 포함하는 진공 차단장치. A housing having a first inlet formed at one side and a second inlet formed at the other side;
A first valve plate disposed inside the housing to open and close the first inlet and a second valve plate to open and close the second inlet;
A support panel disposed inside the housing,
A first cylinder unit installed on one side of the support panel to horizontally move the first valve plate;
A second cylinder unit installed on the other side of the support panel to move the second valve plate horizontally;
A driving unit connected to the support panel to lift the first valve plate and the second valve plate;
Vacuum interrupter comprising a. 제1항에서,
상기 구동유닛은 상기 제1실린더 유닛에 공압 또는 유입이 제공하는 제1구동유닛, 그리고
상기 제2실린더 유닛에 공압 또는 유압이 제공하는 제2구동유닛을 포함하는 진공 차단장치.In claim 1,
The drive unit is a first drive unit provided by the pneumatic or inflow to the first cylinder unit, and
And a second driving unit provided with pneumatic or hydraulic pressure to the second cylinder unit. 제1항에서,
상기 하우징은 그 내부에 상기 제1밸브판과 상기 제2밸브판이 상하 이동될 수 있는 수납공간이 구비되고, 상기 제1입구는 제1진공실의 입구이고, 상기 제2입구는 제2진공실의 입구인 진공 차단장치. In claim 1,
The housing has an accommodation space in which the first valve plate and the second valve plate can be moved up and down, the first inlet is an inlet of the first vacuum chamber, and the second inlet is an inlet of the second vacuum chamber. Vacuum breaker. 제1항에서,
상기 제1밸브판과 제2밸브판에는 제1입구와 제2입구에 밀착되는 실링부재가 장착되는 진공 차단장치. In claim 1,
And a sealing member mounted to the first valve plate and the second valve plate in close contact with the first inlet and the second inlet. 제1항에서,
상기 제1실린더 유닛은 상기 지지패널의 일측면에 고정되는 제1실린더 바디,
상기 제1실린더 바디의 내부에 직선 이동 가능하게 배치되어 상기 제1실린더 내부를 제1공간부와 제2공간부로 구획하고 상기 제1밸브판과 연결되는 제1이동부재를 포함하는 진공 차단장치. In claim 1,
The first cylinder unit is a first cylinder body fixed to one side of the support panel,
And a first moving member arranged to be linearly movable in the first cylinder body to partition the inside of the first cylinder into a first space portion and a second space portion and to be connected to the first valve plate. 제5항에서,
상기 제1실린더 바디에는 제1공간부로 공기가 출입되는 제1라인과, 제2공간부로 공기가 출입되는 제2라인이 형성되는 진공 차단장치. In claim 5,
And a first line through which air enters and exits the first space, and a second line through which air enters and exits the second space. 제6항에서,
상기 제2실린더 유닛은 상기 지지패널의 타측면에 고정되는 제2실린더 바디, 상기 제2실린더 바디의 내부에 직선 이동 가능하게 배치되어 상기 제2실린더 내부를 제3공간부와 제4공간부로 구획하고 상기 제2밸브판과 연결되는 제2이동부재를 포함하는 진공 차단장치. In claim 6,
The second cylinder unit is disposed in the second cylinder body fixed to the other side of the support panel, the linear movement in the interior of the second cylinder body to partition the interior of the second cylinder into a third space portion and a fourth space portion And a second moving member connected to the second valve plate. 제7항에서,
상기 제2실린더 바디에는 제3공간부로 공기가 출입되는 제3라인과, 제4공간부로 공기가 출입되는 제4라인이 형성되는 진공 차단장치. In claim 7,
And a third line through which air enters and exits the third space portion, and a fourth line through which air enters and exits the fourth space portion. 제5항에서,
상기 구동유닛은
내부에 공압이 제공되는 공간을 갖는 바디,
상기 바디 내부의 공간에 이동 가능하게 배치되고, 상기 공간을 제1챔버와 제2챔버로 구획하는 피스톤,
상기 피스톤과 연결되고 상기 바디에서 인출되어 상기 지지패널에 고정되고, 그 내부에 제1공간부와 연통되는 제1통로와, 제2공간부와 연통되는 제2통로가 형성되는 피스톤 로드, 그리고
상기 피스톤 로드의 내부에 배치되며 상기 제1통로와 연통되는 제3통로와, 상기 제2통로와 연통될 수 있는 제4통로가 형성되는 파이프
를 포함하는
진공 차단장치. In claim 5,
The drive unit is
A body having a space provided with pneumatic pressure therein,
A piston movably disposed in a space inside the body and partitioning the space into a first chamber and a second chamber,
A piston rod connected to the piston and drawn out of the body and fixed to the support panel, and having a first passage communicating with the first space portion and a second passage communicating with the second space portion;
A pipe disposed inside the piston rod and having a third passage communicating with the first passage and a fourth passage communicating with the second passage are formed.
Containing
Vacuum interrupter. 제9항에서,
상기 바디는 그 일측에 상부캡이 형성되고, 타측에 하부캡이 형성되며, 상기 상부캡에는 상기 제2챔버로 공기가 출입하는 제1공기 출입구가 형성되고, 상기 하부캡에는 상기 제1챔버로 공기가 출입하는 제2공기 출입구가 형성되는 진공 차단장치.In claim 9,
The body has an upper cap formed on one side thereof, a lower cap formed on the other side thereof, and a first air inlet through which air enters the second chamber is formed on the upper cap, and the first cap has the first chamber. The vacuum interrupter is formed a second air entrance for entering air. 제9항에서,
상기 피스톤 로드는 그 내부에 상기 제1통로를 형성하는 제1로드, 그리고 상기 제1로드의 외면에 일정 간격을 두고 배치되어 제2통로를 형성하는 제2로드를 포함하는 진공 차단장치.In claim 9,
The piston rod includes a first rod forming the first passage therein, and a vacuum blocking device including a second rod disposed at regular intervals on an outer surface of the first rod to form a second passage. 제9항에서,
상기 파이프는, 그 내부에 제3통로를 형성하는 제1파이프와, 그리고 상기 제1파이프의 외주면에 일정 간격을 두고 배치되어 제4통로를 형성하는 제2파이프를 포함하는 진공 차단장치.In claim 9,
The pipe includes: a first pipe forming a third passage therein; and a second pipe forming a fourth passage disposed at regular intervals on an outer circumferential surface of the first pipe to form a fourth passage. 제12항에서,
상기 제1로드의 하단에는 제2구멍이 형성되고, 상기 제2파이프의 상단에는 제3구멍이 형성되며, 상기 피스톤 로드가 상기 바디에서 인출되면 상기 제2구멍과 제3구멍이 서로 연통되는 진공 차단장치.In claim 12,
A second hole is formed at a lower end of the first rod, and a third hole is formed at an upper end of the second pipe. When the piston rod is withdrawn from the body, the second hole and the third hole communicate with each other. Blocking device. 제1항에서,
상기 제1밸브판과 상기 하우징의 내면 중 어느 하나에는 제1밸브판이 제1입구에 밀착될 때 압력을 측정하는 제1압력센서가 설치되고, 상기 제2밸브판과 상기 하우징의 내면 중 어느 하나에는 제2밸브판이 제2입구에 밀착될 때 압력을 측정하는 제2압력센서가 설치되는 진공 차단장치.In claim 1,
One of the first valve plate and the inner surface of the housing is provided with a first pressure sensor for measuring the pressure when the first valve plate is in close contact with the first inlet, any one of the inner surface of the second valve plate and the housing And a second pressure sensor which measures a pressure when the second valve plate is in close contact with the second inlet. 제1항에서,
상기 지지패널의 길이 방향을 따라 배치되어 있는 유체 라인을 더 포함하고,
상기 제1 실린더 유닛과 상기 제2 실린더 유닛은 각각 상기 유체 라인에 연결되어 있으며, 상기 제1밸브판 및 상기 제2밸브판은 상기 유체 라인에서 공급되는 유체 압력에 의해 움직이는 진공 차단장치. In claim 1,
Further comprising a fluid line disposed along the longitudinal direction of the support panel,
And the first cylinder unit and the second cylinder unit are respectively connected to the fluid line, and the first valve plate and the second valve plate are moved by the fluid pressure supplied from the fluid line. 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 정의된 진공 차단장치를 포함하는 영상표시장치 제조설비.An image display device manufacturing facility comprising a vacuum interruption device as defined in any one of claims 1 to 15.
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