KR20110077682A - 기판 이송장치 및 이를 이용한 이송 방법 - Google Patents

기판 이송장치 및 이를 이용한 이송 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판 이송장치 및 이를 이용한 이송 방법에 관한 것으로서, 특히 이송 스테이지에 로더 암이 유입되도록 이송 스테이지를 복수의 단위 이송 유니트를 배열하여 구성하고, 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트 사이에 승하강이 가능한 보조 공기 분사 유니트를 설치하여 로더 암에서 기판의 로딩후 후퇴시 보조 공기 분사 유니트를 상승시켜 기판을 부양함으로써 로딩 시간을 단축시켜 검사 시간을 상대적으로 단축시키고, 기판 로딩/언로딩 장치의 제거로 인해 제조 원가를 상대적으로 낮출 수 있다.
Figure P1020090134324
기판, 로딩, 언로딩, 검사, 이송, 에어, 플로팅, 부상

Description

기판 이송장치 및 이를 이용한 이송 방법{APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE AND METHOD USING THEREOF}
본 발명은 기판을 이송하는 장치 및 방법에 관한 것으로서, 상세하게는 이송 스테이지에 로더 암이 유입되도록 이송 스테이지를 복수의 단위 이송 유니트를 배열하여 구성하고, 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트 사이에 승하강이 가능한 보조 공기 분사 유니트를 설치하여 로더 암에서 기판의 로딩후 후퇴시 보조 공기 분사 유니트를 상승시켜 기판을 부양하도록 하는 기판 이송장치 및 이를 이용한 이송 방법에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이(FPD, Flat Panel Display)는 전자기기와 사람과의 인터페이스로서, 각종 전자기기로부터 출력되는 전기적 정보신호를 광정보 신호로 변환하여, 인간이 시각을 통해 인식할 수 있는 숫자, 문자, 도형, 화상 등의 패턴화된 정보로 표시하는 장치이다. 특히, 두께가 수 cm, 작게는 수 mm에 불과하여 경량, 박형 설계가 용이하고 고화질, 저소비 전력 등의 장점을 가지고 있어 LCD(Liquid Crystal Display)나 PDP(Plasma Display Panel)와 같이 다양한 표시장치로 출시된다.
이러한 표시장치는 제조공정에서 기판 상에 스크래치나 각종 얼룩이 형성될 수 있는데, 스크래치나 각종 얼룩 등을 검사하여 불량률을 감소하기 위한 목적으로 디스플레이 기판 검사장치가 사용된다. 예컨대, 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 TFT LCD 기판이나, PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 기판 등을 안내하면서 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 비전 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장비이다. 이러한 검사장비는 검사시스템으로서의 역할을 다하기 위해서 검출한 결함의 위치와 크기를 정확하게 알아내어 검출된 결함으로 찾아가 복원시키는 리페어(repair) 공정을 진행할 수 있다.
도 1은 일반적인 디스플레이 기판 이송장치를 나타낸 도면이다.
상기 디스플레이 기판 이송장치는 에어 슬라이드(air slide) 방식을 사용하여 이송하는 장치로서, 로더 암에 의해 상기 이송장치의 로딩/언로딩 위치에 기판(1)이 이송 스테이지(40)에 로딩이 되면, 기판은 상기 카메라 설치 프레임(20)에 설치된 여러 대의 비전카메라(10)에 의해 스캔되어 패턴 결함을 검사 받게 된다. 이때, 이송 스테이지(40)는 에어 플로팅 방식으로 에어를 분사하여 기판(1)을 부양시키며, 이송 스테이지(40)의 중앙부에 길이 방향으로 그리퍼(gripper)(41)가 마련되는 데, 그리퍼(41)는 이송 스테이지(40)의 중앙부에 설치된 이송 가이드(41a)와, 이송 가이드(41a)를 따라 이동 가능하도록 설치되고, 진공발생부(미도시)와 연결되어 부양된 기판(1)을 진공 흡착하는 진공 패드(41b)와, 진공 패드(41b)를 이동시키는 구동모듈(41c)로 이루어진다.
상기 기판의 패턴을 검사하기 위한 여러 대의 비전카메라(10)가 카메라 설치 프레임(20)에 설치되고, 상기 카메라 설치 프레임(20)은 기판(1)을 이송하는 이송장치 위에 형성된 프레임 지지대(30)에 설치된다.
도 2는 로더 암과 로딩/언로딩 장치의 측면도를 도시한 것이다.
에어 슬라이드 방식을 사용하는 상기 이송장치로의 기판(1)을 이송 및 외부로의 반송을 담당하는 로더 암(50)이 상기 이송장치의 로딩/언로딩 위치에 놓인 상태이며, 기판 로딩/언로딩 장치(60)가 이송장치의 로딩/언로딩 위치에서 기판(1)을 지지하고 있는 형태이다.
상기 로더 암(50)은 기판 이송장치의 로딩/언로딩 위치에 기판(1)을 이송하고 외부로 반송하기 위하여 도면상 좌/우 수평운동을 하고, 상기 기판 이송장치의 로딩/언로딩 위치에 설치되어 있는 기판 로딩/언로딩 장치(60)는 리프트 핀(61)에 의한 상/하 수직운동을 한다.
상기 기판이 로딩되는 과정은 로더 암(50)에 의해 운반되는 기판(1)이 상기 로딩/언로딩 위치로 이동하게 되면, 상기 기판 로딩/언로딩 장치(60)가 상승되어 이에 기판(1)이 안착된다. 이때, 상기 기판 로딩/언로딩 장치(60)의 리프트 핀(61)에는 상기 기판(1)의 하부표면 접촉에 의한 기판의 하부 표면 스크래치를 방지하기 위하여 소정의 물질을 도포하거나, 에어를 분사하여 부양시킨다.
그러면, 상기 기판 로딩/언로딩 장치(60)가 하강되어 이송 스테이지(40)에 기판(1)을 부유시키는 데, 이때 진공 패드(41b)가 기판(1)을 진공흡착한 후, 이송 가이드(41a)를 따라 이동하여 비전카메라(10) 측으로 이송된다.
그러나, 이러한 종래의 이송장치는 기판의 안착시 리프트 핀이 승하강하여 기판을 이송 스테이지에 로딩시키기 때문에 리프트 핀의 승하강에 따른 사이클 타임이 증가되고, 리프트 핀이 승강시 비전카메라와의 간섭이 발생하여 비전카메라가 설치된 프레임을 승강시켜야만 하기 때문에 검사 시간이 증가되고, 기판 로딩/언로딩 장치의 설치에 따른 제조 원가가 상승되는 문제점이 있다.
또한, 이러한 종래의 이송장치는 기판의 중앙부가 이송 스테이지에서 배출되는 에어에 의해 부양되어 있기 때문에 크기가 커질수록 중앙부에 쳐짐이 발생하고, 이로 인하여 비전카메라를 통해 정확한 스캔이 어려워 패턴 결함 검사가 불가능한 다른 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 이송 스테이지에 로더 암이 유입되도록 이송 스테이지를 복수의 단위 이송 유니트를 배열하여 구성하고, 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트 사이에 승하강이 가능한 보조 공기 분사 유니트를 설치하여 로더 암에서 기판의 로딩후 후퇴시 보조 공기 분사 유니트를 상승시켜 기판을 부양함으로써 로딩 시간을 단축시켜 검사 시간을 상대적으로 단축시키고, 기판 로딩/언로딩 장치의 제거로 인해 제조 원가를 상대적으로 낮출 수 있도록 하는 기판 이송장치 및 이를 이용한 이송 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 보조 공기 분사 유니트를 비전카메라와 대응되는 위치인 보 조 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트 사이에 각각 설치하여 비전카메라를 통해 기판을 스캔시 보조 공기 분사 유니트로 부양력을 증대시켜 기판을 부양함으로써 기판의 쳐짐 또는 떨림을 방지하여 정밀한 이송을 수행할 수 있도록 하는 기판 이송장치 및 이를 이용한 이송 방법을 제공하는데 다른 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은,
기판을 이송 및 외부로의 반송을 담당하는 로더 암과; 복수의 단위 이송 유니트에 의해 형성되고, 상방향으로 에어를 분사하여 상기 로더 암으로부터 반입된 상기 기판을 부양시키는 이송 스테이지와; 상기 이송 스테이지의 중앙부에 길이 방향으로 설치되어 상기 이송 스테이지에서 부양된 상기 기판을 진공압을 이용하여 흡착한 후 상기 이송 스테이지를 따라 이동하는 그리퍼와; 상기 이송 스테이지 상의 상기 기판의 이동 경로 상에 설치되어 상기 기판의 패턴을 검사하기 위한 복수의 비전카메라; 및 상기 이송 스테이지의 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트 사이에 설치되어 상기 로더 암에 의한 상기 기판의 반입/반송 및 상기 기판이 상기 비전카메라를 통과시 상승되어 에어를 분사시켜 상기 기판의 부양력을 증대시키는 보조 공기 분사 유니트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 이송 스테이지의 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트의 상호 이격 거리는 상기 로더 암이 내측으로 유입되어 상기 기판을 안착시키도록 상기 로더 암의 폭보다 넓게 형성된다.
또한, 상기 보조 공기 분사 유니트는 내부가 빈 직육면체로 형성되고, 상면 에 에어 분사를 위한 복수의 에어 분사공이 형성되는 에어 플레이트와; 상기 에어 플레이트로 에어를 공급하기 위한 에어 공급통로가 구비되고, 상기 에어 플레이트를 승하강시키는 복수의 로드 바; 및 상기 로드 바의 하단을 지지하고, 상기 로드 바를 승하강시키는 승하강 수단으로 이루어진다.
여기에서, 상기 보조 공기 분사 유니트의 에어 플레이트는 기준 위치가 상기 이송 스테이지의 상면 높이보다 낮은 위치이고, 상승위치가 상기 이송 스테이지의 상면과 동일 높이이다.
바람직하게, 상기 승하강 수단은 에어 실린더이다.
그리고, 상기 보조 공기 분사 유니트는 상기 로더 암과 대응되는 위치 및 상기 비전카메라와 대응되는 위치에 각각 설치된다.
본 발명의 다른 특징은,
상기 기판 이송장치를 이용한 이송 방법에 있어서, 상기 로더 암이 상기 이송 스테이지의 단위 이송 유니트 사이로 유입되어 기판이 반입되면, 상기 이송 스테이지에 에어를 공급하는 단계와; 상기 로더 암이 상기 이송 스테이지의 단위 이송 유니트 사이에서 후퇴시 상기 보조 공기 분사 유니트를 상승시키는 단계와; 상기 보조 공기 분사 유니트에 에어를 공급하여 상기 기판을 부상시키는 단계와; 부상된 상기 기판을 상기 그리퍼가 진공압을 이용하여 흡착하는 단계; 및 상기 그리퍼가 상기 이송스테이지를 따라 이동하여 상기 비전 카메라를 통과하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기와 같이 구성되는 본 발명인 기판 이송장치 및 이를 이용한 기판의 이송 방법에 따르면, 이송 스테이지에 로더 암이 유입되도록 이송 스테이지를 복수의 단위 이송 유니트를 배열하여 구성하고, 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트 사이에 승하강이 가능한 보조 공기 분사 유니트를 설치하여 로더 암에서 기판의 로딩후 후퇴시 보조 공기 분사 유니트를 상승시켜 기판을 부양함으로써 로딩 시간을 단축시켜 검사 시간을 상대적으로 단축시키고, 기판 로딩/언로딩 장치의 제거로 인해 제조 원가를 상대적으로 낮출 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따르면 보조 공기 분사 유니트를 비전카메라와 대응되는 위치인 보조 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트 사이에 각각 설치하여 비전카메라를 통해 기판을 스캔시 보조 공기 분사 유니트를 상승시켜 기판을 부양함으로써 기판의 쳐짐 또는 떨림을 방지하여 정밀한 이송을 수행할 수 있는 다른 이점이 있다.
이하, 본 발명에 따른 기판 이송장치의 구성을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라 질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 구성을 나타낸 부분 사시도이며, 도 5는 본 발명에 따른 기판 이송장치중 이송 스테이지중 보조 공기 분사 유니트의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 6은 본 발명에 따른 기판 이송장치중 보조 공기 분사 유니트의 구성을 나타낸 단면도이다.
도 3 내지 도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 로더 암(110)과, 이송 스테이지(120)와, 그리퍼(130)와, 비전카메라(140)와, 보조 공기 분사 유니트(150)로 이루어진다.
먼저, 로더 암(110)은 기판(1)을 이송 스테이지(120)로 로딩하고, 이송 스테이지(120)의 기판(1)을 언로딩하여 외부로의 반송을 하도록 이송 스테이지(120)의 양측에 각각 설치된다.
그리고, 이송 스테이지(120)는 직사각형태의 복수의 단위 이송 유니트(121)의 배열에 의해 형성되고, 상방향으로 에어를 분사하여 로더 암(110)으로부터 로딩된 기판(1)을 부양시킨다. 여기에서, 단위 이송 유니트(121)는 복수개가 기판(1)의 이동 방향으로 열을 이루어 이송 스테이지(120)의 길이 만큼 형성되고, 복수의 열이 기판(1)의 폭방향으로 상호 이격되어 배치된다. 이때, 이송 스테이지(120)의 단위 이송 유니트(121)와 이웃하는 단위 이송 유니트(121)의 상호 이격 거리(D1)는 로더 암(110)이 내측으로 유입되어 기판(1)을 로딩시키도록 로더 암(110)의 폭(W1) 보다 넓게 형성되는 것이 바람직하다. 여기에서 또한, 각각의 단위 이송 유니트(121)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 상측에 기판(1)이 놓이는 바, 놓이는 기판(1)을 일정한 높이로 부양시키도록 상측에 부양 플레이트(123)를 구비한다. 부양 플레이트(123)는 이송 스테이지(120)의 윗면 전반에 걸쳐 일정한 형식으로 배열된 다수 개의 노즐(nozzle)(125)을 포함하는 바, 이 다수 개의 노즐(125)을 통하여 에어를 상측으로 일정한 세기로 분사한다.
또한, 그리퍼(gripper)(130)는 이송 스테이지(120)의 중앙면에 길이 방향으로 설치되어 이송 스테이지(120)에서 부양된 기판(1)을 진공압을 이용하여 흡착한 후 이송 스테이지(120)를 따라 길이 방향으로 전후로 이동한다. 이때, 그리퍼(130)는 이송 스테이지(120)의 중앙부에 설치된 이송 가이드(131)와, 이송 가이드(131)를 따라 이동 가능하도록 설치되고, 진공발생부(미도시)와 연결되어 부양된 기판(1)을 진공 흡착하는 진공 패드(133)와, 진공 패드(133)를 이동시키는 구동모듈(135)로 이루어진다.
또, 비전카메라(140)는 이송 스테이지(120) 상의 기판(1)의 이동 경로 상에 카메라 설치 프레임(141)에 설치된다. 여기에서, 비전카메라(140)는 기판(1)의 미세한 부분까지 검사하기 위한 방편의 일환으로 회전이 가능할 수도 있다.
한편, 보조 공기 분사 유니트(150)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 내부가 빈 직육면체로 형성되고, 상면에 에어 분사를 위한 복수의 에어 분사공(151)이 형성되는 에어 플레이트(152)와, 에어 플레이트(152)로 에어를 공급하기 위한 에어 공급통로(153)가 구비되고, 에어 플레이트(152)를 승하강시키는 복수의 로드 바(154)와, 각각의 로드 바(154)의 하단을 지지하고, 로드 바(154)를 승하강시키는 승하강 수단(155)으로 이루어진다. 여기에서, 보조 공기 분사 유니트(150)의 에어 플레이트(152)는 기준 위치(L1), 즉 상승 위치가 이송 스테이지(120)의 상면 높이(L2)와 동일 높이이고, 하강 위치(L3)가 이송 스테이지(120)의 상면 높이(L2)보다 낮은 높이인 것이 바람직하며, 그 설치 위치는 로더 암(110)과 대응되는 위치 및 비전카메라(140)와 대응되는 위치에 각각 설치된다. 이때, 승하강 수단(155)은 에어 실린더인 것이 바람직한 데, 선택에 따라 모터, 캠, 유압 실린더 등을 적용할 수 있고, 로드 바(154)를 승하강시키는 어떠한 구성의 적용도 무방하다.
이하, 본 발명에 따른 기판 이송장치를 이용한 기판의 이송방법을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명에 따른 기판 이송장치에 기판의 반입시 보조 공기 분사 유니트의 동작 상태를 나타낸 설명도이고, 도 8a 및 도 8b는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 비전카메라를 기판이 통과시 보조 공기 분사 유니트의 동작 상태를 나타낸 설명도이며, 도 9a 내지 도 9d는 본 발명에 따른 기판 이송장치에 기판의 반송시 보조 공기 분사 유니트의 동작 상태를 나타낸 설명도이다.
먼저, 기판(1)이 안착된 로더 암(110)을 이송 스테이지(120)의 단위 이송 유니트(121)와 단위 이송 유니트(121) 사이로 하강시킨다. 이때, 기판(1)의 하강 높이는 이송 스테이지(120)의 상면과 면접되지 않은 높이이다.
이와 동시에, 이송 스테이지(120)에 별도의 컴프레셔와 같은 에어 공급 수단(미도시)에서 에어가 공급되어 각각의 단위 이송 유니트(121)의 부양 플레이 트(123)에 형성된 노즐(125)을 통해 에어가 상부로 분사되고, 이로 인해 기판(1)이 부상된다.
또한, 도 7a에 도시된 바와 같이 로더 암(110)의 하강시 보조 공기 분사 유니트(150)의 승하강 수단(155)을 동작시켜 로드 바(154)를 하강시키므로 에어 플레이트(152)를 로더 암(110)과 간섭이 없는 높이까지 하강시킨다. 이때, 보조 공기 분사 유니트(150)는 로드 바(154)의 에어 공급통로(153)로 별도의 컴프레셔와 같은 에어 공급 수단(미도시)에서 에어가 공급된다.
그리고, 도 7b에 도시된 바와 같이 로더 암(110)이 이송 스테이지(120)의 단위 이송 유니트(121) 사이에서 후퇴시 보조 공기 분사 유니트(150)의 승하강 수단(155)을 동작시켜 로드 바(154)를 상승시키므로 에어 플레이트(152)를 단위 이송 유니트(121)의 부양 플레이트(123)의 높이까지 상승시킨다. 이때, 보조 공기 분사 유니트(150)의 상승 시점은 후퇴하는 로더 암(110)과 서로 간섭이 되지 않는 시점이다.
또한, 보조 공기 분사 유니트(150)의 상승이 완료되면 로드 바(154)의 에어 공급통로(153)로 별도의 컴프레셔와 같은 에어 공급 수단에서 에어가 공급되고, 다시 에어가 에어 플레이트(152)의 에어 분사공(151)을 통해 기판(1) 측으로 분사되어 기판(1)의 부상력을 증대시켜 기판(1)의 로딩을 완료한다.
로딩이 완료되면 기판(1)을 그리퍼(130)가 진공 흡착하고, 진공 흡착이 완료되면 도 7b에 도시된 바와 같이 보조 공기 분사 유니트(150)를 현위치로 유지시키고, 에어를 계속해서 공급한다.
그런 다음, 그리퍼(130)가 이송 스테이지(120)를 따라 이동되어 비전카메라(140)를 통과시키는 데, 도 8에 도시된 바와 같이 상승된 상태를 유지하고 있는 보조 공기 분사 유니트(150)로 인해 부양력이 배가된다. 그러면, 비전카메라(140)가 기판(1)을 스캔시 기판(1)의 쳐짐 또는 떨림이 방지된다.
이후, 비전카메라(140)에 의한 패턴 결함 검사가 종료되면, 검사가 끝난 기판(1)은 언로딩하게 되는데 그 방법은 다음과 같이 실시된다.
먼저, 기판(1)이 언로딩 위치로 그리퍼(130)에 의해 이송되면, 도 9a에 도시된 바와 같이 보조 공기 분사 유니트(150)가 기준 위치를 유지한다.
그리고, 로더 암(110)을 이송 스테이지(120)의 단위 이송 유니트(121) 사이에서 전진시 도 9b에 도시된 바와 같이 보조 공기 분사 유니트(150)를 하강시킨다. 이때, 보조 공기 분사 유니트(150)의 하강 시점은 전진하는 로더 암(110)과 서로 간섭이 되지 않는 시점이다.
그러면, 로더 암(110)이 상승되면서 기판(1)을 언로딩하고, 이와 동시에 보조 공기 분사 유니트(150)가 기준 위치로 상승된다.
이후, 도 9d에 도시된 바와 같이 로더 암(110)이 기판(1)을 외부로 이송하여 언로딩 과정을 종료한다.
본 발명은 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있으며 상기 발명의 상세한 설명에서는 그에 따른 특별한 실시 예에 대해서만 기술하였다. 하지만 본 발명은 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명은 FPD 제조 장치에 적용되는 각종 기판의 이송을 설명하였으나 반도체 설비 등에도 이용 가능하다.
도 1은 일반적인 기판 이송장치를 도시한 사시도,
도 2는 도 1의 기판 이송장치중 로더 암과 로딩/언로딩 장치의 측면도,
도 3은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 구성을 나타낸 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 구성을 나타낸 부분 사시도,
도 5는 본 발명에 따른 기판 이송장치중 이송 스테이지중 보조 공기 분사 유니트의 구성을 나타낸 사시도,
도 6은 본 발명에 따른 기판 이송장치중 보조 공기 분사 유니트의 구성을 나타낸 단면도,
도 7a 및 도 7b는 본 발명에 따른 기판 이송장치에 기판의 반입시 보조 공기 분사 유니트의 동작 상태를 나타낸 설명도,
도 8a 및 도 8b는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 비전카메라를 기판이 통과시 보조 공기 분사 유니트의 동작 상태를 나타낸 설명도,
도 9a 내지 도 9d는 본 발명에 따른 기판 이송장치에 기판의 반송시 보조 공기 분사 유니트의 동작 상태를 나타낸 설명도.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
1 : 기판 110 : 로더 암
120 : 이송 스테이지 121 : 단위 이송 유니트
123 : 부양 플레이트 125 : 노즐
130 : 그리퍼 140 : 비전카메라
150 : 보조 공기 분사 유니트 151 : 에어 분사공
152 : 에어 플레이트 153 : 에어 플레이트
154 : 로드 바 155 : 승하강 수단

Claims (7)

  1. 기판을 이송 및 외부로의 반송을 담당하는 로더 암과;
    복수의 단위 이송 유니트에 의해 형성되고, 상방향으로 에어를 분사하여 상기 로더 암으로부터 반입된 상기 기판을 부양시키는 이송 스테이지와;
    상기 이송 스테이지의 중앙부에 길이 방향으로 설치되어 상기 이송 스테이지에서 부양된 상기 기판을 진공압을 이용하여 흡착한 후 상기 이송 스테이지를 따라 이동하는 그리퍼와;
    상기 이송 스테이지 상의 상기 기판의 이동 경로 상에 설치되어 상기 기판의 패턴을 검사하기 위한 복수의 비전카메라; 및
    상기 이송 스테이지의 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트 사이에 설치되어 상기 로더 암에 의한 상기 기판의 반입/반송 및 상기 비전카메라를 통과시 상기 기판의 부양력을 증대시키는 보조 공기 분사 유니트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 이송 스테이지의 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트의 상호 이격 거리는,
    상기 로더 암이 내측으로 유입되어 상기 기판을 안착시키도록 상기 로더 암의 폭보다 넓게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 보조 공기 분사 유니트는,
    내부가 빈 직육면체로 형성되고, 상면에 에어 분사를 위한 복수의 에어 분사공이 형성되는 에어 플레이트와;
    상기 에어 플레이트로 에어를 공급하기 위한 에어 공급통로가 구비되고, 상기 에어 플레이트를 승하강시키는 복수의 로드 바; 및
    상기 로드 바의 하단을 지지하고, 상기 로드 바를 승하강시키는 승하강 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 보조 공기 분사 유니트의 에어 플레이트는,
    기준 위치가 상기 이송 스테이지의 상면 높이와 동일 높이이고, 하강 위치가 상기 이송 스테이지의 상면보다 낮은 높이인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 승하강 수단은,
    에어 실린더인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 보조 공기 분사 유니트는,
    상기 로더 암과 대응되는 위치 및 상기 비전카메라와 대응되는 위치에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  7. 제 1 항의 기판 이송장치를 이용한 이송 방법에 있어서,
    상기 로더 암이 상기 이송 스테이지의 단위 이송 유니트 사이로 유입되어 기판이 반입되면, 상기 이송 스테이지에 에어를 공급하는 단계와;
    상기 로더 암이 상기 이송 스테이지의 단위 이송 유니트 사이에서 후퇴시 상기 보조 공기 분사 유니트를 상승시키는 단계와;
    상기 보조 공기 분사 유니트에 에어를 공급하여 상기 기판을 부상시키는 단계와;
    부상된 상기 기판을 상기 그리퍼가 진공압을 이용하여 흡착하는 단계; 및
    상기 그리퍼가 상기 이송스테이지를 따라 이동하여 상기 비전 카메라를 통과하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치를 이용한 이송 방법.
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