KR20110073013A - 러빙포 검사장치 및 러빙장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 러빙포가 설치된 러빙부재를 지지하기 위한 지지부재를 포함하는 본체; 러빙포에 레이저 빔을 조사하는 레이저발진기, 및 러빙포에 조사된 레이저 빔에 의해 형성된 스패클 패턴을 수신하여 러빙포를 검사하기 위한 제1검사영상을 획득하는 제1영상처리부를 포함하는 제1검사유닛; 및 상기 레이저발진기와 상기 제1영상처리부가 결합되고, 상기 본체에 결합되는 설치기구를 포함하는 러빙포 검사장치 및 러빙장치에 관한 것으로,
본 발명에 따르면, 러빙포의 정상적인 영역과 손상된 영역이 명확하게 구분될 수 있는 스패클 패턴을 이용함으로써, 검사 결과의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
스패클 패턴, 레이저 빔, 레이저발진기, 러빙포, 러빙

Description

러빙포 검사장치 및 러빙장치{Inspecting Apparatus for Rubbing Cloth and Rubbing Apparatus}
본 발명은 배향막을 형성하기 위한 러빙포를 검사하는 러빙포 검사장치 및 러빙장치에 관한 것이다.
액정표시장치는 박막트렌지스터 어레이가 형성된 제1기판, 컬러필터 어레이가 형성된 제2기판, 및 상기 제1기판과 상기 제2기판 사이에 형성된 액정을 포함한다.
상기 액정표시장치는 여러 가지 공정을 거쳐 제조되는데, 이러한 공정에는 상기 액정을 특정 방향으로 배향시키기 위한 배향막을 형성하는 러빙공정이 포함된다. 상기 러빙공정은 러빙포를 상기 배향막에 접촉시켜 상기 배향막의 표면과 마찰시킴으로써 배향홈(micro-grooves)을 형성시키는 공정이다.
상기 러빙포는 레이온(rayon), 면사(cotton) 등으로 이루지는데, 상기 러빙공정을 수행하는 과정에서 상기 러빙포에 이물질이 부착되거나 러빙포의 삐침이 발생되는 등 상기 러빙포가 손상될 수 있다. 상기 러빙포가 손상되었음에도 상기 러빙공정을 수행하게 되면, 상기 배향막에 정상 러빙 부 대비 러빙 이상 긁 힘(scratch)과 같은 배향홈이 정상적으로 형성되지 못하는 문제가 있다.
이를 방지하기 위해, 상기 러빙포에 대한 손상 여부를 검사하는 공정이 필요한데, 종래에는 검사자가 상기 러빙포를 육안으로 검사하였기 때문에 상기 러빙포에 부착된 이물질이나 삐침 등이 매우 미세하여 검사 결과가 정확하지 못한 문제가 있다. 또한, 검사자의 주관적인 판단에 따라 상기 러빙포에 대한 손상 여부가 판단되므로, 판단 기준이 명확하지 않고 검사자의 경험, 경력 등에 따라 검사 결과가 달라지는 등 검사 결과의 신뢰도가 낮은 문제가 있다.
검사 결과의 신뢰도를 높일 수 있는 검사 방법으로, 상기 러빙공정이 완료된 액정표시패널을 구동시키고, 구동 결과에 따라 상기 러빙포에 대한 손상 여부를 간접적으로 확인하는 AP(Auto Probe) 검사법이 제안되었다. 그러나, 이는 러빙공정, 합착공정, 절단공정 등을 거쳐 액정표시패널로 제조된 후에야 검사가 가능하기 때문에, 패널의 구동 상태에서 불량이 확인될 때까지 러빙 단계에서 생성된 불량이 누적된다. 따라서, 상기 러빙포 불량에 의해 배향홈이 정상적으로 형성되지 않은 액정표시패널들이 제조되게 되고, 이로 인해 재료비 손실, 불량 누적, 불량 수리의 어려움 등과 같은 문제점이 발생된다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 러빙포(Rubbing Cloth)에 대한 검사 결과의 신뢰도를 향상시킬 수 있으면서도, 액정표시패널로 제조되기 전에 러빙포에 대한 손상 여부를 검사할 수 있는 러빙포 검사장치 및 러빙장치를 제공하는 것이다.
상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 러빙포 검사장치는 러빙포가 설치된 러빙부재를 지지하기 위한 지지부재를 포함하는 본체; 러빙포에 레이저 빔을 조사하는 레이저발진기, 및 러빙포에 조사된 레이저 빔에 의해 형성된 스패클(Speckle) 패턴을 수신하여 러빙포를 검사하기 위한 제1검사영상을 획득하는 제1영상처리부를 포함하는 제1검사유닛(unit); 및 상기 레이저발진기와 상기 제1영상처리부가 결합되고, 상기 본체에 결합되는 설치기구를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 러빙장치는 기판을 지지하는 스테이지(stage); 러빙포가 설치된 러빙부재; 상기 스테이지에 결합되고, 상기 러빙부재가 회전 가능하게 결합되는 결합부재; 상기 스테이지에 지지된 기판에 배향홈이 형성되도록 상기 결합부재 또는 상기 스테이지를 이동시키는 이동유닛; 상기 러빙포에 레이저 빔을 조사하는 레이저발진기 및 상기 러빙포에 조사된 레이저 빔에 의해 형성된 스패클 패턴을 수 신하여 상기 러빙포를 검사하기 위한 제1검사영상을 획득하는 제1영상처리부를 포함하는 제1검사유닛; 및 상기 레이저발진기와 상기 제1영상처리부가 결합되고, 상기 결합부재에 결합되는 설치기구를 포함할 수 있다.
본 발명은 다음과 같은 효과를 이룰 수 있다.
본 발명은 러빙포의 정상적인 영역과 손상된 영역이 명확하게 구분될 수 있는 스패클 패턴을 이용함으로써, 검사 결과의 신뢰도를 향상시킬 수 있고 액정표시패널로 제조되기 전에 러빙포에 대한 손상 여부를 검사할 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 러빙포 검사장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 러빙포 검사장치의 개략적인 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 제1검사유닛의 작동상태도, 도 3 및 도 4는 스패클 패턴에 대한 영상의 일례를 나타낸 도면, 도 5는 본 발명에 따른 제1검사유닛의 개략적인 블럭도, 도 6은 본 발명에 따른 제2검사유닛에 의해 획득된 제2검사영상의 일례를 나타낸 도면, 도 7은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 러빙포 검사장치의 개략적인 평면도, 도 8은 본 발명의 변형된 다른 실시예에 따른 러빙포 검사장치의 개략적인 평면도이다.
도 1을 참고하면, 본 발명에 따른 러빙포 검사장치(1)는 본체(2), 제1검사유닛(3), 및 설치기구(4)를 포함한다.
상기 본체(2)에는 검사될 러빙부재(100)가 위치된다. 상기 러빙부재(100)에 는 기판(미도시)에 배향홈을 형성하기 위한 러빙포(101)가 설치된다. 상기 본체(2)는 지지부재(21)를 포함한다.
상기 지지부재(21)는 상기 러빙부재(100)를 지지한다. 상기 지지부재(21)는 상기 러빙부재(100)의 양단을 지지할 수 있고, 이에 따라 상기 제1검사유닛(3)이 상기 러빙포(101)를 검사하는데 방해되지 않도록 한다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 상기 제1검사유닛(3)은 상기 러빙포(101)에 대한 손상 여부를 검사할 수 있다. 상기 제1검사유닛(3)은 레이저발진기(31) 및 제1영상처리부(32)를 포함한다.
상기 레이저발진기(31)는 상기 러빙포(101)에 레이저 빔을 조사할 수 있다. 상기 레이저 빔과 같은 간섭성이 우수한 빛이 상기 러빙포(101)에 조사되면, 상기 러빙포(101) 표면의 거칠기에 의해 산란과 간섭이 일어나 스패클 패턴이 형성되게 된다. 상기 스패클 패턴은 상기 러빙포(101) 표면에 대한 상태정보를 갖는다.
이에 관해 도 3을 참고하여 설명하면, 도 3은 스패클 패턴에 대한 영상의 일례를 나타낸 것으로, 러빙포(101) 표면 일부를 예리한 칼로 스크래치(Scratch) 처리한 후, 이러한 러빙포(101)에 레이저 빔을 조사함으로써 획득된 스패클 패턴을 촬영한 정지영상이다. 상기 러빙포(101)에는 633nm 파장의 He-Ne 레이저 빔을 조사한 것이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 획득된 스패클 패턴은 정상적인 러빙포(101) 표면에 해당하는 제1영역이 적색으로 표시되었고, 스크래치 처리에 의해 손상된 표면에 해당하는 제2영역(A)은 흰색으로 표시되었다. 도 4는 도 3에 의한 스패클 패턴의 색채를 변경한 정지영상으로, 색채 변경에 의해 제1영역과 제2영 역(A)이 더 명확하게 구분됨을 알 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 러빙포 검사장치(1)는 상기 러빙포(101) 표면의 정상적인 영역과 손상된 영역이 명확하게 구분될 수 있는 스패클 패턴을 이용함으로써, 판단 기준이 명확하고 검사자의 육안 검사에 의해서도 검사 결과의 신뢰도를 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 러빙포(101) 표면을 직접 검사하여 손상 여부를 확인하는 방식이므로, 액정표시패널로 제조되기 전에 러빙포에 대한 손상 여부를 검사할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 러빙포 검사장치(1)는 패널이 구동된 상태에서 실시되는 종래 AP 검사법에 비교하여 재료비 손실 감소, 불량 누적 방지 및 불량 수리 가능 등의 이점을 가진다.
도시되지는 않았지만, 상기 레이저발진기(31)는 레이저 소스(source)와 광학계를 포함할 수 있다. 상기 레이저 소스는 간섭성이 우수한 레이저 빔을 발진할 수 있고, 상기 광학계는 상기 레이저 소스로부터 발진된 레이저 빔의 세기, 균일성, 진행 방향 등을 조절할 수 있다. 상기 광학계는 반파장판(Half Wave Plate), 편광빔분리기(Polarized Beam Splitter), 볼록렌즈 등을 포함할 수 있다. 상기 광학계는 상기 레이저 소스로부터 발진된 레이저 빔의 세기, 크기 등을 조절할 수 있고, 이에 따라 상기 러빙포(101) 표면에 대한 검사 영역을 확대시킬 수도 있다. 상기 광학계는 검사 가능한 스패클 패턴을 얻을 수 있도록 상기 레이저 빔의 세기, 크기 등 상기 레이저 빔의 특성을 조절할 수 있다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 상기 제1영상처리부(32)는 상기 스패클 패턴을 수신하여 상기 러빙포(101) 표면을 검사하기 위한 제1검사영상을 획득할 수 있다. 상 기 스패클 패턴은 상기 러빙포(101)에 조사된 레이저 빔에 의해 형성된다. 상기 제1영상처리부(32)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같은 제1검사영상을 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 러빙포 검사장치(1)는 검사자의 육안 검사에 의해서도 검사 결과의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 검사영상을 제공할 수 있고, 액정표시패널로 제조되기 전에 러빙포에 대한 손상 여부를 검사할 수 있는 검사영상을 제공할 수 있다. 상기 제1영상처리부(32)는 CCD 카메라일 수 있고, 상기 제1검사영상은 러빙포(101) 표면의 스패클 패턴에 대한 정지영상 또는 동영상일 수 있다.
상기 제1영상처리부(32)는 스패클 패턴을 수신하여 이를 레이저 빔의 세기에 관한 제1검사영상으로 변환하여 제공할 수 있다. 상기 러빙포(101) 표면에서 손상된 영역에 레이저 빔이 조사되면, 레이저 빔에 의한 산란과 간섭이 정상적인 영역과 다르게 일어나게 되며, 이는 스패클 패턴에도 반영되어 나타난다. 상기 제1영상처리부(32)는 이러한 스패클 패턴을 수신하여 아래 그림 1과 같은 제1검사영상으로 변환하여 제공할 수 있다.
[그림 1]
Figure 112009079886674-PAT00001
그림 1에 도시된 바와 같이, 상기 러빙포(101) 표면에서 손상된 영역은 상기 레이저 빔의 세기가 약하게 표시된다. 따라서, 본 발명에 따른 러빙포 검사장치(1)는 검사자의 육안 검사에 의해서도 검사 결과의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 검사영상을 제공할 수 있고, 액정표시패널로 제조되기 전에 러빙포에 대한 손상 여부를 검사할 수 있는 검사영상을 제공할 수 있다.
또한, 그림 1은 상기 러빙포(101) 또는 상기 제1영상처리부(32)를 이동시키면서 상기 러빙포(101) 표면의 검사영역을 변경시킴으로써 도출된 것으로, 가로 축은 시간에 관한 변수이다. 이에 따라, 상기 제1검사영상으로부터 상기 러빙포(101) 표면에서 손상된 영역의 위치를 검사하는 것이 가능하다. 따라서, 본 발명에 따른 러빙포 검사장치(1)는 상기 러빙포(101)에서 손상된 영역의 위치를 확인할 수 있는 제1검사영상을 제공할 수 있고, 이에 따라 손상된 러빙포(101)에 대한 수리 또는 보수작업의 용이성을 향상시킬 수 있다.
도 2 및 도 5를 참고하면, 상기 제1검사유닛(3)은 저장부(33) 및 검출부(34)를 포함할 수 있다.
상기 저장부(33)에는 정상적인 러빙포(101) 표면에 대한 기준영상이 저장된다. 상기 기준영상은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 러빙포(101) 표면의 스패클 패턴에 대한 정지영상 또는 동영상일 수 있다. 상기 기준영상은 그림 1과 같이 스패클 패턴을 레이저 빔의 세기로 변환한 정지영상 또는 동영상일 수 있다. 상기 저장부(33)에는 상기 제1영상처리부(32)에 의해 획득되는 제1검사영상들이 저장될 수도 있다.
상기 검출부(34)는 상기 기준영상과 상기 제1검사영상을 비교하여 상기 러빙포(101) 표면에 대한 변형정보를 추출한다. 상기 기준영상은 상기 저장부(33)로부터 제공될 수 있고, 상기 제1검사영상은 상기 제1영상처리부(32)로부터 제공될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 러빙포 검사장치(1)는 상기 검출부(34)에 의해 검사자의 주관적인 판단에 의하지 않고 자동으로 상기 러빙포(101) 표면에 대한 변형정보를 도출할 수 있으므로, 검사 결과의 신뢰도를 향상시킬 수 있다. 본 발명에 따른 러빙포 검사장치(1)는 제어부(미도시)를 포함할 수 있고, 상기 검출부(34)는 상기 변형정보를 상기 제어부에 제공할 수 있다. 상기 러빙포(101)가 손상된 것으로 확인되면, 상기 제어부는 상기 러빙포(101)에 대한 검사 작업을 중지시킬 수 있고, 작업자를 호출하기 위한 신호를 송출할 수 있다.
도 2 및 도 5를 참고하면, 상기 제1검사유닛(3)은 제1영상출력부(35)를 포함할 수 있다.
상기 제1영상출력부(35)는 상기 제1검사영상을 작업자가 확인할 수 있도록 화면(미도시)에 상기 제1검사영상을 출력할 수 있다. 상기 제1검사영상은 상기 제1영상처리부(32)로부터 제공될 수 있다. 상기 제1영상출력부(35)는 상기 제1검사영상을 확대시키고, 확대된 영상을 상기 화면에 출력할 수 있다. 상기 제1영상출력부(35)는 상기 기준영상 및 상기 제1검사영상을 상기 화면에 출력할 수도 있다. 상기 기준영상은 상기 저장부(33)로부터 제공될 수 있다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 상기 설치기구(4)에는 상기 레이저발진기(31)와 상기 제1영상처리부(32)가 결합된다. 상기 설치기구(4)는 상기 본체(2)에 결합되고, 상기 레이저발진기(31)와 상기 제1영상처리부(32)가 상기 러빙포(101)를 검사할 수 있는 위치에 있도록 상기 본체(2)에 결합된다. 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 설치기구(4)는 상기 레이저발진기(31)와 상기 제1영상처리부(32)가 상기 러빙포(101) 상측에 있도록 상기 본체(2)에 결합될 수 있다. 상기 설치기구(4)는 제1설치부재(41)를 포함할 수 있다.
상기 제1설치부재(41)에는 일측에 상기 레이저발진기(31)가 결합되고, 타측에 상기 제1영상처리부(32)가 결합될 수 있다. 상기 레이저발진기(31)는 상기 러빙포(101) 일측 방향에 있도록 상기 제1설치부재(41)에 결합되고, 상기 제1영상처리부(32)는 상기 러빙포(101) 타측 방향에 위치하도록 상기 제1설치부재(41)에 결합될 수 있다. 상술한 바와 같이, 상기 레이저발진기(31)는 광학계를 포함할 수 있고, 상기 광학계는 상기 레이저 빔을 상기 러빙포(101)의 길이에 대응되는 크기의 라인 빔으로 변환시켜 상기 러빙포(101)에 입사시킬 수 있다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 러빙포 검사장치(1)는 제1이동기구(5) 및 회전기구(6)를 더 포함할 수 있다.
상기 제1이동기구(5)는 상기 제1설치부재(41)를 제1축방향(X축 방향)으로 이동시킬 수 있다. 상기 제1축방향(X축 방향)은 상기 러빙포(101)의 길이 방향일 수 있다. 상기 제1이동기구(5)가 상기 제1설치부재(41)를 이동시킴으로써, 상기 제1검사유닛(3)이 상기 러빙포(101)를 검사하는 위치가 변경될 수 있다. 상기 레이저발진기(31)로부터 방출되는 레이저 빔이 상기 러빙포(101)의 길이보다 작은 크기인 경우, 상기 제1이동기구(5)가 상기 제1설치부재(41)를 이동시킴으로써, 상기 제1검사유닛(3)이 상기 러빙포(101) 전체를 검사하도록 할 수 있다.
상기 제1이동기구(5)는 모터 및 상기 모터의 회전력을 직선운동으로 변환하는 제1연결기구를 포함할 수 있다. 상기 제1연결기구는 일측이 상기 모터에 결합되고 타측이 상기 제1설치부재(41)에 결합될 수 있다. 상기 제1연결기구는 볼스크류(ball screw), 풀리(pulley) 및 벨트(belt), 랙피니언기어(rack and pinion gear) 등일 수 있다.
상기 회전기구(6)는 상기 러빙부재(100)를 회전시킬 수 있다. 상기 회전기구(6)는 상기 지지부재(21)에 결합될 수 있고, 상기 러빙부재(100)를 회전축을 중심으로 회전시킴으로써 상기 러빙포(101)를 회전시킬 수 있다. 상기 회전기구(6)는 상기 러빙포(101)를 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킬 수 있다. 상기 회전기구(6)가 상기 러빙부재(100)를 회전시킴으로써, 상기 제1검사유닛(3)이 상기 러빙포(101)를 검사하는 위치가 변경될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1검사유닛(3)은 상 기 러빙포(101) 전체를 검사할 수 있다.
상기 회전기구(6)는 모터를 포함할 수 있다. 상기 모터는 상기 러빙부재(100)의 회전축에 직접 결합되어서 상기 러빙부재(100)를 회전시킬 수 있다. 상기 모터와 상기 러빙부재(100)의 회전축이 소정 거리로 이격된 경우, 상기 회전기구(6)는 상기 모터와 상기 러빙부재(100)의 회전축을 이어주는 연결수단을 더 포함할 수 있다. 상기 연결수단은 상기 러빙부재(100)의 회전축에 결합되는 샤프트(shaft), 상기 샤프트와 상기 모터를 연결하는 풀리 및 벨트를 포함할 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 러빙포 검사장치(1)는 상기 제1검사유닛(3)이 상기 러빙포(101) 전체 표면에 대한 제1검사영상을 획득하도록 할 수 있고, 상기 러빙포(101) 전체 표면에 대한 제1검사영상을 제공할 수 있다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 상기 설치기구(4)는 상기 제1설치부재(41)가 결합되는 제2설치부재(42)를 포함할 수 있다. 상기 제2설치부재(42)는 상기 제1설치부재(41)가 상기 러빙포(101) 상측에 있도록 상기 본체(2)에 결합될 수 있다. 상기 제1설치부재(41)는 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동 가능하도록 상기 제2설치부재(42)에 결합될 수 있다. 상기 제1이동기구(5)는 상기 제2설치부재(42)에 결합될 수 있다.
상기 제2설치부재(42)는 상기 제1축방향(X축 방향)으로 길게 형성될 수 있고, 상기 제1설치부재(41)는 상기 제1축방향(X축 방향)에 대해 수직한 제2축방향(Y축 방향)으로 길게 형성될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 제2설치부재(42)가 상기 제2축방향(Y축 방향)으로 길게 형성될 수 있고, 상기 제1설치부재(41)는 상기 제1축방향(X축 방향)으로 길게 형성될 수도 있다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 러빙포 검사장치(1)는 제2이동기구(7)를 더 포함할 수 있다.
상기 제2이동기구(7)는 상기 제2설치부재(42)를 상기 제2축방향(Y축 방향)으로 이동시킬 수 있다. 상기 제2축방향(X축 방향)은 상기 러빙포(101)의 길이 방향에 대해 수직한 방향일 수 있다. 상기 제2설치부재(42)는 상기 제2축방향(Y축 방향)으로 이동 가능하도록 상기 본체(2)에 결합될 수 있다. 상기 제2이동기구(7)가 상기 제2설치부재(42)를 이동시킴으로써, 상기 제1검사유닛(3)이 상기 러빙포(101)를 검사하는 위치는 변경될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 러빙포 검사장치(1)는 상기 러빙포(101)가 정지된 상태에서도 상기 제1검사유닛(3)이 상기 러빙포(101)를 검사할 수 있는 영역을 확대시킬 수 있다.
상기 제2이동기구(7)는 모터 및 상기 모터의 회전력을 직선운동으로 변환하는 제2연결기구를 포함할 수 있다. 상기 제2연결기구는 일측이 상기 모터에 결합되고 타측이 상기 제2설치부재(42)에 결합될 수 있다. 상기 제2연결기구는 볼스크류, 풀리 및 벨트, 랙피니언기어 등일 수 있다. 상기 제2이동기구(7)는 상기 본체(2)에 결합될 수 있다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 러빙포 검사장치(1)는 제2검사유닛을 포함할 수 있다.
상기 제2검사유닛은 상기 제1검사유닛(3)이 상기 러빙포(101)를 검사하는 것에 더하여, 추가로 상기 러빙포(101)를 검사할 수 있다. 즉, 상기 제2검사유닛은 상기 러빙포(101)에 대한 검사 결과의 신뢰도를 더 향상시키기 위해 구비된다. 상기 제2검사유닛은 제2영상처리부(8)를 포함한다.
상기 제2영상처리부(8)는 상기 러빙포(101)를 검사하기 위한 제2검사영상을 획득한다. 상기 제2영상처리부(8)는 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 러빙포(101) 표면을 확대시킨 제2검사영상을 획득할 수 있다. 도 6은 제2검사영상의 일례를 나타낸 것으로, 상술한 도 3 및 도 4에 도시된 스패클 패턴을 얻기 위한 실험에서 손상된 제2영역(A)을 촬영한 정지영상이다. 상기 제2영상처리부(8)는 도 6에 도시된 바와 같이 상기 러빙포(101) 표면에 발생된 손상의 종류, 정도, 상태 등이 명확하게 확인될 수 있는 제2검사영상이 제공되도록 할 수 있다. 상기 제2영상처리부(8)는 편광현미경, 간섭현미경 등과 같은 광학현미경이 될 수 있다.
상기 제2영상처리부(8)는 상기 레이저발진기(31)와 상기 제1영상처리부(32) 사이에 위치하도록 상기 제1설치부재(41)에 결합될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 러빙포 검사장치(1)는 상기 레이저발진기(31)와 상기 제1영상처리부(32) 사이 공간을 활용하여 상기 제2영상처리부(8)가 설치될 수 있다.
도시되지는 않았지만, 상기 제2검사유닛은 제2영상출력부를 포함할 수 있다. 상기 제2영상출력부는 상기 제2검사영상을 작업자가 확인할 수 있도록 화면(미도시)에 상기 제2검사영상을 출력할 수 있다. 상기 제2검사영상은 상기 제2영상처리부(8)로부터 제공될 수 있다.
도 7을 참고하면, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 러빙포 검사장치(1)는 다음과 같은 제1설치부재(41)를 포함할 수 있다.
상기 제1설치부재(41)에는 일측에 상기 레이저발진기(31)가 결합되고, 타측에 상기 제1영상처리부(32)가 결합된다. 상기 제1설치부재(41)에는 상기 레이저발진기(31)와 상기 제1영상처리부(32) 사이에 상기 제2영상처리부(8)가 결합될 수도 있다. 상기 레이저발진기(31), 상기 제1영상처리부(32), 및 상기 제2영상처리부(8)는 상기 제1설치부재(41)의 상면에 결합될 수 있다.
상기 제1설치부재(41)는 상기 레이저발진기(31) 및 상기 제1영상처리부(32)가 상기 러빙포(101) 측면에 위치하도록 상기 본체(2)에 결합될 수 있다. 상기 제1설치부재(41)는 상기 러빙부재(100)의 일측면 또는 타측면에 위치하도록 상기 본체(2)에 결합될 수 있다. 상기 제1설치부재(41)는 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동 가능하도록 상기 본체(2)에 결합될 수 있다.
도 8을 참고하면, 본 발명의 변형된 다른 실시예에 따른 러빙포 검사장치(1)는 상기 제2설치부재(42)에 상기 제1설치부재(41)가 복수개 결합될 수 있다. 상기 제1설치부재(41)들에는 각각 상기 레이저발진기(31) 및 상기 제1영상처리부(32)가 결합될 수 있다. 상기 제1설치부재(41)들에는 각각 상기 레이저발진기(31), 상기 제1영상처리부(32), 및 상기 제2영상처리부(8)가 결합될 수도 있다. 따라서, 본 발명에 따른 러빙포 검사장치(1)는 상기 러빙포(101)가 정지된 상태에서도 상기 제1검사유닛(3)이 상기 러빙포(101)를 검사할 수 있는 영역을 확대시킬 수 있다.
상기 제1설치부재(41)들은 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동 가능하도록 상기 제2설치부재(42)에 결합될 수 있다. 상기 제1설치부재(41)들은 상기 제1이동기구(5)에 의해 동시에 이동될 수 있다. 본 발명에 따른 러빙포 검사장치(1)는 상 기 제1이동기구(5)를 복수개 포함할 수 있고, 상기 제1이동기구(5)들은 상기 제1설치부재(41)들을 개별적으로 이동시킬 수도 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 러빙장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 9는 본 발명에 따른 러빙장치의 개략적인 사시도, 도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 러빙장치의 작동관계에 대한 개략적인 평면도, 도 12는 본 발명에 따른 제1검사유닛의 작동상태도, 도 13은 본 발명에 따른 제1검사유닛의 개략적인 블럭도, 도 14는 본 발명의 변형된 실시예에 따른 러빙장치의 개략적인 평면도이다.
도 9를 참고하면, 본 발명에 따른 러빙장치(10)는 러빙부재(11), 스테이지(12), 결합부재(13), 이동유닛(14), 제1검사유닛(15), 및 설치기구(16)를 포함한다.
상기 러빙부재(11)에는 기판(200)에 배향홈을 형성시키기 위한 러빙포(111)가 설치된다. 상기 러빙포(111)가 상기 기판(200)에 접촉된 상태에서 상기 러빙부재(11) 또는 상기 기판(200)이 이동됨으로써, 상기 기판(200)에 배향홈이 형성될 수 있다.
상기 스테이지(12)는 상기 기판(200)을 지지한다. 상기 기판(200)은 상기 스테이지(12) 상면에 지지될 수 있다. 상기 스테이지(12)에는 상기 결합부재(13) 및 상기 설치기구(16)가 결합될 수 있다.
상기 결합부재(13)에는 상기 러빙부재(11)가 회전 가능하게 결합된다. 상기 결합부재(13)는 상기 스테이지(12)에 결합될 수 있다. 상기 러빙부재(11)는 상기 러빙포(111)가 상기 기판(200)에 접촉되게 상기 결합부재(13)에 결합될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 러빙장치(10)는 상기 결합부재(13)를 승하강시키는 승하강기구를 포함할 수 있다. 상기 승하강기구는 상기 기판(200)이 상기 스테이지(12)로 반입되거나 상기 스테이지(12)로부터 반출될 때 상기 결합부재(13)를 상승시킬 수 있다. 상기 승하강기구는 상기 스테이지(12)에 배향홈을 형성할 기판(200)이 반입되면, 상기 결합부재(13)를 하강시킬 수 있다.
도 9 내지 도 11을 참고하면, 상기 이동유닛(14)은 상기 스테이지(12)에 지지된 기판(200)에 배향홈이 형성되도록 상기 결합부재(13)를 이동시킬 수 있다. 상기 결합부재(13)는 상기 스테이지(12)에 이동 가능하도록 결합될 수 있고, 상기 이동유닛(14)은 상기 스테이지(12)에 결합될 수 있다. 상기 이동유닛(14)은 상기 기판(200)에 형성될 배향홈의 방향에 대응되는 방향으로 상기 결합부재(13)를 이동시킬 수 있다. 상기 이동유닛(14)이 상기 결합부재(13)를 이동시킴에 따라, 상기 러빙포(111)가 상기 기판(200)에 접촉된 상태에서 상기 러빙부재(11)가 회전됨으로써 상기 기판(200)에 배향홈이 형성될 수 있다. 상기 이동유닛(14)은 상기 결합부재(13)를 제2축방향(Y축 방향)으로 이동시킬 수 있다.
도시되지는 않았지만, 상기 이동유닛(14)은 상기 스테이지(12)에 지지된 기판(200)에 배향홈이 형성되도록 상기 스테이지(12)를 이동시킬 수도 있다. 상기 이동유닛(14)은 상기 기판(200)에 형성될 배향홈의 방향에 대응되는 방향으로 상기 스테이지(12)를 이동시킬 수 있다. 상기 이동유닛(14)이 상기 스테이지(12)를 이동시킴에 따라, 상기 러빙포(111)가 상기 기판(200)에 접촉된 상태에서 상기 러빙부 재(11)가 회전됨으로써 상기 기판(200)에 배향홈이 형성될 수 있다.
도 9 및 도 12를 참고하면, 상기 제1검사유닛(15)은 상기 러빙포(111)에 대한 손상 여부를 검사할 수 있다. 상기 제1검사유닛(15)은 레이저발진기(151) 및 제1영상처리부(152)를 포함한다.
상기 레이저발진기(151) 및 상기 제1영상처리부(152)는 상기 설치기구(16)에 결합될 수 있다. 상기 설치기구(16)는 상기 레이저발진기(151) 및 상기 제1영상처리부(152)가 상기 러빙포(111) 상측에 위치하도록 상기 결합부재(13)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 기판(200)에 배향홈을 형성시키기 위해 상기 결합부재(13) 또는 상기 스테이지(12)가 이동될 때, 상기 레이저발진기(151) 및 상기 제1영상처리부(152)는 상기 러빙포(111)에 대한 손상 여부를 실시간으로 검사할 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 러빙장치(10)는 상기 기판(200)에 배향홈을 형성시키는 공정을 수행함과 동시에 상기 러빙포(111)에 대한 손상 여부를 실시간으로 검사할 수 있다.
도 9 및 도 12를 참고하면, 상기 레이저발진기(151)는 상기 러빙포(111)에 레이저 빔을 조사할 수 있다. 상기 레이저 빔과 같은 간섭성이 우수한 빛이 상기 러빙포(111)에 조사되면, 상기 러빙포(111) 표면의 거칠기에 의해 산란과 간섭이 일어나 스패클 패턴이 형성되게 된다. 상기 스패클 패턴은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 상기 러빙포(111) 표면에 대한 상태정보를 갖는다.
따라서, 본 발명에 따른 러빙장치(10)는 상기 러빙포(111) 표면의 정상적인 영역과 손상된 영역이 명확하게 구분될 수 있는 스패클 패턴을 이용함으로써, 판단 기준이 명확하고 검사자의 육안 검사에 의해서도 검사 결과의 신뢰도를 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 러빙포(111) 표면을 직접 검사하여 손상 여부를 확인하는 방식이므로, 상기 러빙공정이 진행되는 중에 러빙포에 대한 손상 여부를 검사할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 러빙장치(10)는 종래 AP 검사법과 비교하여 재료비 손실, 불량 상태 누적 등의 발생을 방지할 수 있다.
도시되지는 않았지만, 상기 레이저발진기(151)는 레이저 소스와 광학계를 포함할 수 있다. 상기 레이저 소스는 간섭성이 우수한 레이저 빔을 발진할 수 있고, 상기 광학계는 상기 레이저 소스로부터 발진된 레이저 빔의 세기, 균일성, 진행 방향 등을 조절할 수 있다. 상기 광학계는 반파장판(Half Wave Plate), 편광빔분리기(Polarized Beam Splitter), 볼록렌즈 등을 포함할 수 있다. 상기 광학계는 상기 레이저 소스로부터 발진된 레이저 빔의 세기, 크기 등을 조절할 수 있고, 이에 따라 상기 러빙포(111) 표면에 대한 검사 영역을 확대시킬 수도 있다. 상기 광학계는 검사 가능한 스패클 패턴을 얻을 수 있도록 상기 레이저 빔의 세기, 크기 등 상기 레이저 빔의 특성을 조절할 수 있다.
상기 제1영상처리부(152)는 상기 스패클 패턴을 수신하여 상기 러빙포(111) 표면을 검사하기 위한 제1검사영상을 획득할 수 있다. 상기 스패클 패턴은 상기 러빙포(111)에 조사된 레이저 빔에 의해 형성된다. 상기 제1영상처리부(152)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같은 제1검사영상을 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 러빙장치(10)는 검사자의 육안 검사에 의해서도 검사 결과의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 검사영상을 제공할 수 있고, 배향막 형성 단계에서 러빙포에 대한 손상 여 부를 검사할 수 있는 검사영상을 제공할 수 있다. 상기 제1영상처리부(152)는 CCD 카메라일 수 있고, 상기 제1검사영상은 러빙포(111) 표면의 스패클 패턴에 대한 정지영상 또는 동영상일 수 있다.
상기 제1영상처리부(152)는 스패클 패턴을 수신하여 이를 레이저 빔의 세기에 관한 제1검사영상으로 변환하여 제공할 수 있다. 상기 러빙포(111) 표면에서 손상된 영역에 레이저 빔이 조사되면, 레이저 빔에 의한 산란과 간섭이 정상적인 영역과 다르게 일어나게 되며, 이는 스패클 패턴에도 반영되어 나타난다. 상기 제1영상처리부(152)는 이러한 스패클 패턴을 수신하여 상기 그림 1과 같은 제1검사영상으로 변환하여 제공할 수 있다. 또한, 상기 제1검사영상으로부터 상기 러빙포(111) 표면에서 손상된 영역의 위치를 검출하는 것이 가능하다. 따라서, 본 발명에 따른 러빙장치(10)는 상기 러빙포(111)에서 손상된 영역의 위치를 확인할 수 있는 제1검사영상을 제공할 수 있고, 이에 따라 손상된 러빙포(111) 수리 또는 교환작업 등에서 용이성을 향상시킬 수 있다.
도 9, 도 12, 및 도 13을 참고하면, 상기 제1검사유닛(15)은 저장부(153) 및 검출부(154)를 포함할 수 있다.
상기 저장부(153)에는 정상적인 러빙포(111) 표면에 대한 기준영상이 저장된다. 상기 기준영상은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 러빙포(111) 표면의 스패클 패턴에 대한 정지영상 또는 동영상일 수 있다. 상기 기준영상은 그림 1과 같이 스패클 패턴을 레이저 빔의 세기로 변환한 정지영상 또는 동영상일 수 있다. 상기 저장부(153)에는 상기 제1영상처리부(152)에 의해 획득되는 제1검사영상들이 저장될 수도 있다.
상기 검출부(154)는 상기 기준영상과 상기 제1검사영상을 비교하여 상기 러빙포(111) 표면에 대한 변형정보를 추출한다. 상기 기준영상은 상기 저장부(153)로부터 제공될 수 있고, 상기 제1검사영상은 상기 제1영상처리부(152)로부터 제공될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 러빙장치(10)는 상기 검출부(154)에 의해 검사자의 주관적인 판단에 의존하는 대신에 상기 검출부(154)에 의해 자동으로 상기 러빙포(111) 표면에 대한 변형정보를 도출할 수 있으므로, 검사 결과의 신뢰도를 향상시킬 수 있다. 본 발명에 따른 러빙장치(10)는 제어부(미도시)를 포함할 수 있고, 상기 검출부(154)는 상기 변형정보를 상기 제어부에 제공할 수 있다. 상기 러빙포(111)가 손상된 것으로 확인되면, 상기 제어부는 상기 이동유닛(14)을 정지시킴으로써 상기 기판(200)에 배향홈을 형성키시는 공정을 중지시킬 수 있다. 그 후, 상기 제어부는 작업자를 호출하기 위한 신호를 송출할 수 있다.
도 9, 도 12, 및 도 13을 참고하면, 상기 제1검사유닛(15)은 제1영상출력부(155)를 포함할 수 있다.
상기 제1영상출력부(155)는 상기 제1검사영상을 작업자가 확인할 수 있도록 화면(미도시)에 상기 제1검사영상을 출력할 수 있다. 상기 제1검사영상은 상기 제1영상처리부(152)로부터 제공될 수 있다. 상기 제1영상출력부(155)는 상기 제1검사영상을 확대시키고, 확대된 영상을 상기 화면에 출력할 수 있다. 상기 제1영상출력부(155)는 상기 기준영상 및 상기 제1검사영상을 상기 화면에 출력할 수도 있다. 상기 기준영상은 상기 저장부(153)로부터 제공될 수 있다.
도 9 및 도 12를 참고하면, 상기 설치기구(16)에는 상기 레이저발진기(151)와 상기 제1영상처리부(152)가 결합된다. 상기 설치기구(16)는 상기 결합부재(13)에 결합되고, 상기 레이저발진기(151)와 상기 제1영상처리부(152)가 상기 러빙포(111)를 검사할 수 있는 위치에 위치하도록 상기 결합부재(13)에 결합된다. 도 9 및 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 설치기구(16)는 상기 레이저발진기(151)와 상기 제1영상처리부(152)가 상기 러빙포(111) 상측에 위치하도록 상기 결합부재(13)에 결합될 수 있다. 상기 설치기구(16)는 제1설치부재(161)를 포함할 수 있다.
상기 제1설치부재(161)에는 일측에 상기 레이저발진기(151)가 결합되고, 타측에 상기 제1영상처리부(152)가 결합될 수 있다. 상기 레이저발진기(151)는 상기 러빙포(111) 일측 방향에 위치하도록 상기 제1설치부재(161)에 결합되고, 상기 제1영상처리부(152)는 상기 러빙포(111) 타측 방향에 위치하도록 상기 제1설치부재(161)에 결합될 수 있다. 상술한 바와 같이, 상기 레이저발진기(151)는 광학계를 포함할 수 있고, 상기 광학계는 상기 레이저 빔을 상기 러빙포(111)의 길이에 대응되는 크기의 라인 빔으로 변환시켜 상기 러빙포(111)에 조사되도록 할 수도 있다.
도 9 및 도 12를 참고하면, 본 발명에 따른 러빙장치(10)는 제1이동기구(17)를 더 포함할 수 있다.
상기 제1이동기구(17)는 상기 제1설치부재(161)를 제1축방향(X축 방향)으로 이동시킬 수 있다. 상기 제1축방향(X축 방향)은 상기 러빙포(111)의 길이 방향일 수 있다. 상기 제1이동기구(17)가 상기 제1설치부재(161)를 이동시킴으로써, 상기 제1검사유닛(15)이 상기 러빙포(111)를 검사하는 위치가 변경될 수 있다. 상기 레 이저발진기(151)로부터 방출되는 레이저 빔이 상기 러빙포(111)의 길이보다 작은 크기인 경우, 상기 제1이동기구(17)가 상기 제1설치부재(161)를 이동시킴으로써, 상기 제1검사유닛(15)이 상기 러빙포(111) 전체를 검사하도록 할 수 있다.
상기 제1이동기구(17)는 모터 및 상기 모터의 회전력을 직선운동으로 변환하는 제1연결기구를 포함할 수 있다. 상기 제1연결기구는 일측이 상기 모터에 결합되고 타측이 상기 제1설치부재(161)에 결합될 수 있다. 상기 제1연결기구는 볼스크류, 풀리 및 벨트, 랙피니언기어 등일 수 있다.
도 9 및 도 12를 참고하면, 상기 설치기구(16)는 상기 제1설치부재(161)가 결합되는 제2설치부재(162)를 포함할 수 있다. 상기 제2설치부재(162)는 상기 제1설치부재(161)가 상기 러빙포(111) 상측에 위치하도록 상기 결합부재(13)에 결합될 수 있다. 상기 제1설치부재(161)는 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동 가능하도록 상기 제2설치부재(162)에 결합될 수 있다. 상기 제1이동기구(17)는 상기 제2설치부재(162)에 결합될 수 있다.
상기 제2설치부재(162)는 상기 제1축방향(X축 방향)으로 길게 형성될 수 있고, 상기 제1설치부재(161)는 상기 제1축방향(X축 방향)에 대해 수직한 제2축방향(Y축 방향)으로 길게 형성될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 제2설치부재(162)가 상기 제2축방향(Y축 방향)으로 길게 형성될 수 있고, 상기 제1설치부재(161)는 상기 제1축방향(X축 방향)으로 길게 형성될 수도 있다.
도 9 및 도 12를 참고하면, 본 발명에 따른 러빙장치(10)는 제2검사유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 제2검사유닛은 상기 제1검사유닛(15)이 상기 러빙포(111)를 검사하는 것에 더하여, 추가로 상기 러빙포(111)를 검사할 수 있다. 즉, 상기 제2검사유닛은 상기 러빙포(111)에 대한 검사 결과의 신뢰도를 더 향상시키기 위해 구비된다. 상기 제2검사유닛은 제2영상처리부(18)를 포함한다.
상기 제2영상처리부(18)는 상기 러빙포(111)를 검사하기 위한 제2검사영상을 획득한다. 상기 제2영상처리부(18)는 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 러빙포(111) 표면을 확대시킨 제2검사영상을 획득할 수 있다. 상기 제2영상처리부(18)는 도 6에 도시된 바와 같이 상기 러빙포(111) 표면에 발생된 손상의 종류, 정도, 상태 등이 명확하게 확인될 수 있는 제2검사영상이 제공되도록 할 수 있다. 상기 제2영상처리부(18)는 편광현미경, 간섭현미경 등과 같은 광학현미경이 될 수 있다.
상기 제2영상처리부(18)는 상기 레이저발진기(151)와 상기 제1영상처리부(152) 사이에 위치하도록 상기 제1설치부재(161)에 결합될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 러빙장치(10)는 상기 레이저발진기(151)와 상기 제1영상처리부(152) 사이 공간을 활용하여 상기 제2영상처리부(18)가 설치될 수 있다.
도시되지는 않았지만, 상기 제2검사유닛은 제2영상출력부를 포함할 수 있다. 상기 제2영상출력부는 상기 제2검사영상을 작업자가 확인할 수 있도록 화면(미도시)에 상기 제2검사영상을 출력할 수 있다. 상기 제2검사영상은 상기 제2영상처리부(18)로부터 제공될 수 있다.
도 9 및 도 14를 참고하면, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 러빙장치(10)는 다음과 같은 설치기구(16)를 포함할 수 있다.
상기 제1설치부재(161)에는 일측에 상기 레이저발진기(151)가 결합되고, 타측에 상기 제1영상처리부(152)가 결합된다. 상기 제1설치부재(161)에는 상기 레이저발진기(151)와 상기 제1영상처리부(152) 사이에 상기 제2영상처리부(18)가 결합될 수도 있다. 상기 레이저발진기(151), 상기 제1영상처리부(152), 및 상기 제2영상처리부(18)는 상기 제1설치부재(161)의 상면에 결합될 수 있다.
상기 제2설치부재(162)는 상기 레이저발진기(151) 및 상기 제1영상처리부(152)가 상기 러빙포(111) 측면에 위치하도록 상기 결합부재(13)에 결합될 수 있다. 상기 제2설치부재(162)는 상기 러빙부재(11)의 일측면 또는 타측면에 위치하도록 상기 결합부재(13)에 결합될 수 있고, 이에 따라 상기 제1설치부재(161)가 상기 러빙부재(11)의 일측면 또는 타측면에 위치될 수 있다. 상기 제1설치부재(161)는 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동 가능하도록 상기 제2설치부재(162)에 결합될 수 있다.
도시되지는 않았지만, 본 발명의 변형된 다른 실시예에 따른 러빙장치(10)는 도 8에 도시된 바와 같이 상기 제2설치부재(162)에 상기 제1설치부재(161)가 복수개 결합될 수도 있다. 상기 제1설치부재(161)들에는 각각 상기 레이저발진기(151) 및 상기 제1영상처리부(152)가 결합될 수 있다. 상기 제1설치부재(161)들에는 각각 상기 레이저발진기(151), 제1영상처리부(152), 및 상기 제2영상처리부(18)가 결합될 수도 있다. 따라서, 본 발명에 따른 러빙장치(10)는 상기 제1검사유닛(15)이 상기 러빙포(111)를 검사할 수 있는 영역을 확대시킬 수 있다.
상기 제1설치부재(161)들은 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동 가능하도록 상기 제2설치부재(162)에 결합될 수 있다. 상기 제1설치부재(161)들은 상기 제1이동기구(17)에 의해 동시에 이동될 수 있다. 본 발명에 따른 러빙장치(10)는 상기 제1이동기구(17)를 복수개 포함할 수 있고, 상기 제1이동기구(17)들은 상기 제1설치부재(161)들을 개별적으로 이동시킬 수도 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 러빙포 검사장치의 개략적인 사시도
도 2는 본 발명에 따른 제1검사유닛의 작동상태도
도 3 및 도 4는 스패클 패턴에 대한 영상의 일례를 나타낸 도면
도 5는 본 발명에 따른 제1검사유닛의 개략적인 블럭도
도 6은 본 발명에 따른 제2검사유닛에 의해 획득된 제2검사영상의 일례를 나타낸 도면
도 7은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 러빙포 검사장치의 개략적인 평면도
도 8은 본 발명의 변형된 다른 실시예에 따른 러빙포 검사장치의 개략적인 평면도
도 9는 본 발명에 따른 러빙장치의 개략적인 사시도
도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 러빙장치의 작동관계에 대한 개략적인 평면도
도 12는 본 발명에 따른 제1검사유닛의 작동상태도
도 13은 본 발명에 따른 제1검사유닛의 개략적인 블럭도
도 14는 본 발명의 변형된 실시예에 따른 러빙장치의 개략적인 평면도

Claims (10)

  1. 러빙포가 설치된 러빙부재를 지지하기 위한 지지부재를 포함하는 본체;
    러빙포에 레이저 빔을 조사하는 레이저발진기, 및 러빙포에 조사된 레이저 빔에 의해 형성된 스패클 패턴을 수신하여 러빙포를 검사하기 위한 제1검사영상을 획득하는 제1영상처리부를 포함하는 제1검사유닛; 및
    상기 레이저발진기와 상기 제1영상처리부가 결합되고, 상기 본체에 결합되는 설치기구를 포함하는 러빙포 검사장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1검사유닛은
    정상적인 러빙포에 대한 기준영상이 저장되는 저장부; 및
    상기 기준영상과 상기 제1검사영상을 비교하여 러빙포에 대한 변형정보를 추출하는 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 러빙포 검사장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 설치기구는 일측에 상기 레이저발진기가 결합되고 타측에 상기 제1영상처리부가 결합되는 제1설치부재를 포함하고;
    상기 러빙포 검사장치는 상기 제1설치부재를 제1축방향으로 이동시키는 제1이동기구, 및 상기 러빙부재를 회전시키는 회전기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 러빙포 검사장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 설치기구는 일측에 상기 레이저발진기가 결합되고 타측에 상기 제1영상처리부가 결합되는 제1설치부재, 및 상기 제1설치부재가 결합되는 제2설치부재를 포함하고;
    상기 러빙포 검사장치는 상기 제1설치부재를 상기 제1축방향으로 이동시키는 제1이동기구, 상기 제2설치부재를 상기 제1축방향에 대해 수직한 제2축방향으로 이동시키는 제2이동기구, 및 상기 러빙부재를 회전시키는 회전기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 러빙포 검사장치.
  5. 제1항에 있어서,
    러빙포를 검사하기 위한 제2검사영상을 획득하는 제2영상처리부를 더 포함하고,
    상기 설치기구는 일측에 상기 레이저발진기가 결합되고 타측에 상기 제1영상처리부가 결합되는 제1설치부재를 포함하며,
    상기 제2영상처리부는 상기 레이저발진기와 상기 제1영상처리부 사이에 위치되게 상기 제1설치부재에 결합되는 것을 특징으로 하는 러빙포 검사장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 설치기구는 일측에 상기 레이저발진기가 결합되고 타측에 상기 제1영상 처리부가 결합되는 제1설치부재, 및 상기 본체에 결합되는 제2설치부재를 포함하고;
    상기 제2설치부재에는 상기 제1설치부재가 복수개 결합되는 것을 특징으로 하는 러빙포 검사장치.
  7. 기판을 지지하는 스테이지;
    러빙포가 설치된 러빙부재;
    상기 스테이지에 결합되고, 상기 러빙부재가 회전 가능하게 결합되는 결합부재;
    상기 스테이지에 지지된 기판에 배향홈이 형성되도록 상기 결합부재 또는 상기 스테이지를 이동시키는 이동유닛;
    상기 러빙포에 레이저 빔을 조사하는 레이저발진기 및 상기 러빙포에 조사된 레이저 빔에 의해 형성된 스패클 패턴을 수신하여 상기 러빙포를 검사하기 위한 제1검사영상을 획득하는 제1영상처리부를 포함하는 제1검사유닛; 및
    상기 레이저발진기와 상기 제1영상처리부가 결합되고, 상기 결합부재에 결합되는 설치기구를 포함하는 러빙장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1검사유닛은
    정상적인 러빙포에 대한 기준영상이 저장되는 저장부; 및
    상기 기준영상과 상기 제1검사영상을 비교하여 러빙포에 대한 변형정보를 추 출하는 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 러빙장치.
  9. 제7항에 있어서,
    러빙포를 검사하기 위한 제2검사영상을 획득하는 제2영상처리부를 더 포함하고,
    상기 설치기구는 일측에 상기 레이저발진기가 결합되고 타측에 상기 제1영상처리부가 결합되는 제1설치부재를 포함하며,
    상기 제2영상처리부는 상기 레이저발진기와 상기 제1영상처리부 사이에 있도록 상기 제1설치부재에 결합되는 것을 특징으로 하는 러빙장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 설치기구는 일측에 상기 레이저발진기가 결합되고 타측에 상기 제1영상처리부가 결합되는 제1설치부재를 포함하고;
    상기 러빙장치는 상기 제1설치부재를 제1축방향으로 이동시키는 제1이동기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 러빙포 검사장치.
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