KR20110072155A - 오토클레이브 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판디스플레이, 솔라셀 등을 포함하는 적층구조패널의 제조공정에 있어서 필름의 라미네이팅 공정 중 내부에 생성되는 기포를 제거하기 위하여 사용되는 것으로서 충분한 강도를 갖는 상,하,좌,우 프레임에 의하여 내부에 마련된 내압설치공간에 복수의 오토클레이브세트를 동시에 적층 설치하여 장비 전체 크기를 축소하여 공간의 효율적인 활용이 가능한 오토클레이브 장치에 관한 것이다.
본 발명에 의하면, 내부에 충분한 내압설치공간을 갖도록 고강도의 상부프레임, 고강도의 하부프레임, 고강도의 좌측프레임 및 고강도의 우측프레임을 서로 고정 설치하고, 고강도 프레임에 의하여 마련되는 상기 내압설치공간엔 상부의 마감부재와 하부의 오토클레이브유니트가 서로 한 쌍을 이룬 오토클레이브세트를 복수로 적층하여 구성하고 상기 오토클레이브세트의 내측엔 처리공간을 마련하고 서로 마주하여 접하게 되는 가장자리부위엔 시일부재를 설치하여 이루어지되, 상기 마감부재의 내측엔 가열기구 및 가압기구를 각각 마련하고 상기 오토클레이브유니트엔 가열기구 및 컨베이어를 마련하면서 입구부 및 출구부엔 진공게이트밸브를 각각 설치하여 이루어지는 오토클레이브 장치를 제공한다.
평판디스플레이, 적층구조패널, 기포제거, 오토클레이브

Description

오토클레이브 장치{Autoclave Apparatus}
본 발명은 평판디스플레이, 솔라셀 등을 포함하는 적층구조패널의 제조공정에 있어서 필름의 라미네이팅 공정 중 내부에 생성되는 기포를 제거하기 위하여 사용되는 것으로서 충분한 강도를 갖는 상,하,좌,우 프레임에 의하여 내부에 마련된 내압설치공간에 복수의 오토클레이브세트를 동시에 적층 설치하여 장비 전체 크기를 축소하여 공간의 효율적인 활용이 가능한 오토클레이브 장치에 관한 것이다.
일반적으로 종래의 오토클레이브는 다수의 패널제품을 동시에 적층한 형태로 배치하고 내부를 밀폐시킨 상태로 가열 및 가압하여 각각의 패널제품에 내장되어 있는 기포를 제거하기 위한 목적으로 활용되고 있는데 이러한 종래의 오토클레이브는 처리하고자 하는 기판제품은 기판과 시트 등이 적층된 형태로서 처리하고자 하는 기판제품의 외부로부터 가열이 이루어지기 때문에 기판제품의 전체 부위에 걸쳐 원하는 가열온도에 이르기까지도 많은 시간이 소요되고, 내부압력 또한 원하는 압력에 이르기까지 많은 시간이 소요되게 되므로 생산성이 크게 낮은 단점이 있다.
또한, 이러한 문제를 해소하기 위한 차원에서 기판제품 낱개 하나 하나를 처리하기 위한 매엽식 오토클레이브가 개발되어 사용되고 있으나, 이러한 종래의 매 엽식 오토클레이브의 경우엔 단일 가열 및 가압처리가 이루어져 생산성이 높다는 장점이 있는 반면에, 대량을 동시에 처리하여 생산성을 높이기 위해서는 다수의 오토클레이브를 동시에 설치하여 활용하여야 하므로, 전체적인 설비 투자비용이 많이 소요되며, 특히 이들 동일한 설비를 동시에 설치하기 위해서는 겹쳐서 설치하더라도 설치공간이 많이 소요되므로 생산단가의 상승 등 비경제적인 문제가 발생하고 있다.
특히, 상,하부 부재의 사이 위치에 처리부가 위치하게 되고 이들 상,하부 부재엔 가열 및 가압부재가 각각 내장 설치되는 구조를 갖게 되는 경우 전체 설비의 높이를 줄이는 데엔 한계가 있으므로, 매엽식 오토클레이브 설비 자체의 전체적인 높이를 줄이는 데에도 어려움이 있다.
더욱이, 매엽식 오토클레이브에 있어서 기밀유지부재로 채택 활용되고 있는 가변형 패킹 형태인 가압시일의 경우, 오토클레이브의 내부에서 기판제품의 처리가 이루어지게 되는 내부작업조건으로서 지속적인 가압유지상태와 가압해제상태의 반복작동과 가열온도유지상태와 냉각상태의 반복적인 작동이 이루어지는 가혹한 작업환경 조건 하에서 가압시일의 팽창 및 수축작동이 반복적으로 이루어지는 경우 가압시일이 가지고 있는 기본적인 물성의 특성상 사용수명이 단축되게 되어 사용하고 있는 가압시일을 자주 교체하여 주어야만 하는 사용상 불편한 문제점과 함께 이와같이 가압시일을 자주교체하는 경우 전체 장비의 가동시간이 단축되는 바람직하지 아니한 현상을 초래하고 결국 생산성의 저하를 가져오게 되는 중대한 문제가 발생하고 있다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위하여 연구 개발이 이루어졌다.
본 발명의 목적은 설치되는 구성요소로서 오토클레이브유니트의 구조를 단순화하면서 컴팩트하게 구성한 다량의 오토클레이브세트를 복층 형태로 구성하여 장비 전체의 크기를 기존에 비하여 크게 축소시켜 적은 공간에 보다 많은 오토클레이브세트를 수용할 수 있도록 구성함으로써 공간의 효율적인 활용이 가능하도록 하고자 함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 종래의 매엽식 오토클레이브에 있어서 기밀유지부재로 채택 활용되고 있는 가변형 패킹 형태인 내부가 비어 있는 가압시일을 채택하지 않고 사용수명이나 내구성이 우수한 시일을 시일부재로 사용하되, 오토클레이브세트 내부에서 기판제품의 처리작업 모든 공정 중에 마감부재와 오토클레이브유니트 상호간 개폐하는 작동을 수행하지 않고도 작업이 가능하여 시일부재의 내구성에 나쁜 영향을 끼치지 않고 작동이 원활하며 사용이 편리하여 자동화라인에 인라인화가 가능하여 생산성도 향상시킬 수 있도록 하고자 함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 매엽식 처리가 가능하여 처리하고자 하는 패널제품의 가열 가압조건에 신속하게 이르도록 하면서 처리시간을 단축시키고 기판제품의 사이즈가 대형화되더라도 이를 수용하기가 용이하며 생산성을 향상시키고자 함에 있다.
본 발명은 위와 같은 목적들을 달성하기 위하여, 내부에 충분한 내압설치공간을 갖도록 고강도 상부프레임, 고강도 하부프레임, 고강도 좌측프레임 및 고강도 우측프레임을 서로 고정 설치하고, 상기 고강도 프레임에 의하여 마련되는 상기 내압설치공간엔 상부의 마감부재와 하부의 오토클레이브유니트가 서로 한 쌍을 이룬 오토클레이브세트를 복수로 동시에 적층하여 구성하고 상기 오토클레이브세트의 내측엔 처리공간을 마련하고 서로 마주하여 접하게 되는 가장자리부위엔 시일부재를 설치하여 이루어지되, 상기 마감부재의 내측엔 가열기구 및 가압기구를 각각 마련하고 상기 오토클레이브유니트엔 가열기구 및 컨베이어를 마련하면서 입구부 및 출구부엔 진공게이트밸브를 각각 설치하여 이루어지는 오토클레이브 장치를 제공한다.
본 발명에 의하면, 설치되는 구성요소로서 오토클레이브세트의 구조를 단순화하면서 컴팩트하게 구성한 다량의 오토클레이브세트를 복층 형태로 구성하여 장비 전체의 크기가 상대적으로 작게 이루어지게 되어 다량의 설비를 한 장소에 동시에 행하더라도 많은 공간을 차지하지 않게 되어 공간의 효율적인 활용이 가능하게 된다.
또한, 매엽식 처리가 가능하여 처리하고자 하는 패널제품의 가열 가압조건에 신속하게 이르도록 하면서 처리시간을 단축시키고 기판제품의 사이즈가 대형화되더라도 이를 수용하기가 용이하며, 사용수명이나 내구성이 우수한 시일부재를 기밀유 지부재로 사용하되, 오토클레이브세트 내부에서 기판제품의 처리작업 모든 공정 중에 마감부재와 오토클레이브유니트 상호간 개폐하는 작동을 수행하지 않고도 작업이 가능하도록 하여 시일부재의 내구성에 나쁜 영향을 끼치지 않고 작동이 원활하여 사용이 편리하고, 자동화라인의 인라인화가 가능하여 생산성도 향상시킬 수 있게 된다.
이하, 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 바람직한 예를 중심으로 보다 상세하게 살펴보기로 한다.
도시한 바와 같이 본 발명은 공통적으로, 내부에 내압설치공간(1)을 갖도록 고강도 상부프레임(10), 고강도 하부프레임(12), 고강도 좌측프레임(14) 및 고강도 우측프레임(16)을 서로 고정 설치하고, 고강도 프레임(10,12,14,16)에 의하여 마련되는 상기 내압설치공간(1)엔 상부의 마감부재(2)와 하부의 오토클레이브유니트(3)가 서로 한 쌍을 이룬 오토클레이브세트(4)를 복수로 동시에 적층하여 구성하고 상기 오토클레이브세트(4)의 내측엔 처리공간(5)을 마련하고 서로 마주하여 접하게 되는 가장자리부위엔 시일부재(6)를 설치하여 이루어지되, 상기 마감부재(2)의 내측엔 가열기구(20) 및 가압기구(22)를 각각 마련하고 상기 오토클레이브유니트(3)엔 가열기구(30) 및 컨베이어(32)를 마련하면서 입구부(7) 및 출구부(8)엔 진공게이트밸브(34,36)를 각각 설치하여 이루어지게 된다.
이때, 상기 마감부재(2)엔 가열기구(20) 및 가압기구(22)를 각각 내장 설치하고, 상기 오토클레이브유니트(3)에도 가열기구(30)를 내장 설치하여 구성이 이루 어지는데 이들 가열기구(20,30)는 전기히터를 마감부재(2)와 오토클레이브유니트(3)의 내측에 내장 설치하여 그 구성이 이루어지게 되고, 상기 마감부재(2)에 설치되는 가압기구(22)는 외부에 설치된 컴프레서와 연결 설치되는 가압유체 공급라인의 형태로 내장 설치되어 구성이 이루어지게 된다.
또한, 상기 오토클레이브유니트(3)의 컨베이어(32)는 처리공간(5)의 내부에 설치되어지되, 제자리에서 급송방향으로 회전 구동되는 다수의 롤러 형태로서 일정 간격마다 복수개가 동시에 설치되어 처리하고자 하는 기판제품(100)을 처리공간(5)의 내부로 급송하거나 처리된 기판제품(100)을 처리공간(5)으로부터 외부로 급송 배출시키는 작동을 수행하게 된다.
또한, 상기 오토클레이브유니트(3)의 진공게이트밸브(34,36)는 오토클레이브유니트(3)의 전후부에 각각 마련한 입구부(7) 및 출구부(8)에 각각 설치되어 상기 입구부(7) 및 출구부(8)를 개폐할 수 있도록 이루어지며, 처리하고자 하는 기판제품(100)을 외부로부터 내부로 급송하는 경우엔 입구부(7)에 위치한 게이트밸브(34)를 열고 외부의 기판제품(100)을 컨베이어(32)를 구동시켜 내부로 급송하고 다시 게이트밸브(34)를 닫아 처리공간(5) 내부를 밀폐상태로 유지한 다음 처리작업을 수행한 후 처리작업이 완료되면 출구부(8)에 위치한 진공게이트밸브(36)를 열고 처리된 기판제품(100)을 컨베이어(32)를 구동시켜 내부로부터 외부로 배출시킬 수 있도록 이루어지게 된다.
다음, 오토클레이브세트(2)의 내부로서 마감부재(2)와 오토클레이브유니트(3)의 사이에 위치하게 되는 시일부재(6)는 내부가 비어 있지 아니하고 내열 및 내구성이 우수한 시일 형태로 이루어져 오토클레이브세트(2)의 처리공간(5) 내부를 밀폐상태로 유지하기 위하여 설치되는데, 도 1에 도시한 바와 같이 마감부재(2)의 저부 위치에 끼워 결합하는 형태가 바람직하나 그 이외에도 도 5에 예시한 바와 같이 전술한 위치와 대향되는 위치로서 오토클레이브유니트(3)의 상부 가장자리에 끼워 결합하는 형태도 바람직하다.
또한, 상기 내압설치공간(1)의 높이를 더 크게 마련하고 상기 내압설치공간(1)의 내부로서 상기 시일가압기구(7)의 상부 위치엔 마감부재(2)와 오토클레이브유니트(3)가 한 쌍을 이루는 오토클레이브세트(4)를 다수 적층된 형태로 내장 설치하여 구성이 이루어지도록 하여 각각의 오토클레이브세트(4) 내부에서 기판의 처리공정이 동시에 이루어지도록 하여 생산성을 향상시킬 수 있다.
미설명부호로서 38은 컨베이어(32)를 구동시키는 모터를 나타낸다.
다음은 전술한 바와 같이 이루어지게 되는 본 발명인 장치에 대하여 그 작동이 이루어지는 과정을 각 단계별로 나누어 상세하게 살펴보기로 한다.
기판제품의 로딩단계
우선, 오토클레이브세트(4)의 내부에 마련한 처리공간(5)에 처리하고자 하는 기판제품(100)을 로딩하는 단계로서, 마감부재(2)와 오토클레이브유니트(3)로 구성되는 오토클레이브세트(4)가 시일부재(6)에 의하여 처리공간(5)의 내부가 밀폐상태를 유지하는 상태에서 입구부(7)에 위치한 진공게이트밸브(34)를 열고 외부로부터 처리하고자 하는 기판제품(100)을 컨베이어(32)를 구동시켜 입구부(7)를 통하여 처리공간(5)의 내부로 급송하여 제자리에 자리잡게 되면 컨베이어(32)의 작동을 중지 시키고 진공게이트밸브(34)를 닫아 입구부(7)를 밀폐시키고 기판제품(100)에 대한 로딩과정을 수행완료하여 기판제품(100)에 대한 처리를 위한 준비작업을 행한다.
기판제품의 처리단계
다음, 처리하고자 하는 기판제품(100) 각각에 대하여 처리작업을 수행하기 위하여 마감부재(2)에 내장 설치한 가열기구(20)와 오토클레이브유니트(3)에 내장한 가열기구(30)를 가동시켜 처리공간(5) 및 기판제품(100)에 대한 처리온도에 이르기까지 가열작업을 수행하고, 또한 마감부재(2)에 마련한 가압기구(22)를 가동시키되 외부에 설치된 컴프레서로부터 공급되는 공압에 의하여 처리공간(5) 내부의 압력이 소정의 가압력에 이르도록 하여 사양에 따라 처리를 요하는 조건에 맞게 가열 및 가압 작동이 이루어지도록 하여 오토클레이브에 의한 기판제품(100)의 처리작업을 수행한다.
기판제품의 언로딩단계
위와 같이 처리작업이 완료되면, 가열기구(20,30) 및 가압기구(22)의 작동을 중단시키고 처리공간(5) 내부의 압력이 대기압이 유지되도록 한 다음, 출구부(8)에 위치한 진공게이트밸브(36)를 열고 출구부(8)가 개방된 상태에서 컨베이어(32)를 가동시켜 처리공간(5)의 내부에서 처리된 기판제품(100)을 출구부(8)를 통하여 외부로 배출시키는 언로딩작업을 수행한다.
물론, 이때 다수의 오토클레이브세트(4)를 적층한 형태로 구성되는 경우엔 입구부(7) 및 출구부(8)와 인접한 위치에 각각의 오토클레이브세트(4)에서 공용으로 활용할 수 있는 급송엘리베이터를 설치하여 높낮이를 조절하면서 급송이 가능하 도록 하여 기판제품(100)에 대한 공급 또는 배출이 원활하게 이루어지도록 할 수 있다.
이상 살펴본 바와 같이, 본 발명에 의하면 설치되는 구성요소로서 고강도의 상,하부프레임(10,120, 고강도의 좌,우측프레임(14,16)에 의하여 마련되는 충분한 내압설치공간(1) 내부에, 마감부재(2)와 오토클레이브유니트(3)에 의한 오토클레이브세트(4)를 복수로 동시에 적층한 형태로 구성이 이루어지도록 하여 장비 전체의 크기가 상대적으로 작게 이루어지게 되며 이와 같이 다량의 설비를 한 장소에 동시에 행하더라도 많은 공간을 차지하지 않게 되어 공간의 효율적인 활용이 가능하게 된다.
또한, 본 발명에서 채택 활용되는 오토클레이브세트(4)의 경우 처리공간(5)의 내부에서 각각 매엽식으로 처리가 가능하여 처리하고자 하는 패널제품(100)의 가열 가압조건에 신속하게 이르도록 하면서 처리시간을 단축시키고 기판제품(100)의 사이즈가 대형화되더라도 이를 수용하기가 용이하며, 사용수명이나 내구성이 우수하고 내부가 비어 있지 아니한 형태의 시일부재(6)를 사용하되, 오토클레이브세트(4) 내부에서 기판제품(100)의 처리작업 모든 공정 중에 마감부재(2)와 오토클레이브유니트(3) 상호간 개폐하는 작동을 수행하지 않고도 입구부(7)와 출구부(8)에 각각 진공게이트밸브(34,36)를 마련하여 컨베이어(32)와 함께 연동이 가능하도록 하여 시일부재(6)의 내구성에 나쁜 영향을 끼치지 않고 작동이 원활하여 사용이 편리하고, 전체장치가 자동화라인에 의한 인라인화가 가능하여 생산성도 크게 향상시킬 수 있게 된다.
전술한 본 발명의 경우 오토클레이브 장치를 중심으로 하여 설명이 이루어졌으나, 그 이외에 진공프레스 장치나 아니면 내압챔버 분야에도 광범위하게 활용할 수 있음을 밝혀둔다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일례를 보여주는 개략 종단면도,
도 2는 도 1의 다른 방향에서 나타낸 개략 종단면도,
도 3은 도 1도에 있어서 오토클레이브유니트를 중심으로 나타낸 평면도,
도 4는 도 1의 요부 확대도,
도 5는 본 발명의 바람직한 다른 일례로서 도 1과 대응되게 나타낸 종단면도,
도 6은 본 발명인 장치를 응용하여 인라인화 형태로 예시한 측면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1: 내압설치공간, 2: 마감부재,
3: 오토클레이브유니트, 4: 오토클레이브세트,
5: 처리공간, 6: 시일부재,
7: 입구부, 8: 출구부,
10: 상부프레임, 12: 하부프레임,
14: 좌측프레임, 16: 우측프레임,
20, 30: 가열기구, 22: 가압기구,
32: 컨베이어, 34, 36: 진공게이트밸브,
38: 모터, 100: 기판제품

Claims (7)

  1. 내부에 충분한 내압설치공간(1)을 갖도록 고강도 상부프레임(10), 고강도 하부프레임(12), 고강도 좌측프레임(14) 및 고강도 우측프레임(16)을 서로 고정 설치하고,
    상기 고강도 프레임(10,12,14,16)에 의하여 마련되는 상기 내압설치공간(1)엔 상부의 마감부재(2)와 하부의 오토클레이브유니트(3)가 서로 한 쌍을 이룬 오토클레이브세트(4)를 복수로 적층하여 구성하고 상기 오토클레이브세트(4)의 내측엔 처리공간(5)을 마련하고 서로 마주하여 접하게 되는 가장자리부위엔 시일부재(6)를 설치하여 이루어지되,
    상기 마감부재(2)의 내측엔 가열기구(20) 및 가압기구(22)를 각각 마련하고 상기 오토클레이브유니트(3)엔 가열기구(30) 및 컨베이어(32)를 마련하면서 입구부(7) 및 출구부(8)엔 진공게이트밸브(34,36)를 각각 설치하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 오토클레이브 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 마감부재(2)엔 가열기구(20) 및 가압기구(22)를 각각 내장 설치하고, 상기 오토클레이브유니트(3)에도 가열기구(30)를 내장 설치하여 이루어지되,
    상기 가열기구(20,30)는 전기히터를 마감부재(2)와 오토클레이브유니트(3)의 내측에 내장 설치하여 그 구성이 이루어지는 것을 특징으로 하는 오토클레이브 장 치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 오토클레이브유니트(3)의 컨베이어(32)는 처리공간(5)의 내부에 설치되어지되,
    제자리에서 급송방향으로 회전 구동되는 다수의 롤러 형태로서 일정 간격마다 복수개가 동시에 설치되어 처리하고자 하는 기판제품(100)을 처리공간(5)의 내부로 급송하거나 처리된 기판제품(100)을 처리공간(5)으로부터 외부로 급송 배출시키도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 오토클레이브 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 오토클레이브유니트(3)의 진공게이트밸브(34,36)는 오토클레이브유니트(3)의 전후부에 각각 마련한 입구부(7) 및 출구부(8)에 각각 설치되어 상기 입구부(7) 및 출구부(8)를 개폐할 수 있도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 오토클레이브 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 오토클레이브세트(2)의 내부로서 마감부재(2)와 오토클레이브유니트(3)의 사이에 위치하게 되는 시일부재(6)는 오토클레이브세트(2)의 처리공간(5) 내부를 밀폐상태로 유지하기 위하여 설치되어지되,
    상기 시일부재(6)는 마감부재(2)의 저부 위치에 끼워 결합하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 오토클레이브 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 시일부재(6)가 오토클레이브유니트(3)의 상부 가장자리에 끼워 결합하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 오토클레이브 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 내압설치공간(1)의 높이를 더 크게 마련하고 상기 내압설치공간(1)의 내부로서 상기 시일가압기구(7)의 상부 위치엔 마감부재(2)와 오토클레이브유니트(3)가 한 쌍을 이루는 오토클레이브세트(4)를 다수 적층된 형태로 내장 설치하여 구성이 이루어지는 것을 특징으로 하는 오토클레이브 장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110376771A (zh) * 2015-07-03 2019-10-25 伊莱泰克自动化有限公司 能多段除泡的热压罐装置
KR20200106712A (ko) * 2019-03-05 2020-09-15 (주)다스 탈포용 오토클레이브 장치

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101795341B1 (ko) * 2017-06-08 2017-11-07 김재욱 다단으로 탈포가 가능한 오토클레이브 장치
KR102353120B1 (ko) 2020-06-09 2022-01-18 문경원 오토클레이브 장치
KR102353117B1 (ko) 2020-06-09 2022-01-18 문경원 오토클레이브 장치
KR102400988B1 (ko) 2022-03-10 2022-05-23 (주)파웰 코퍼레이션 정전척 본딩용 오토클레이브 장치

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2587273B1 (fr) 1985-09-19 1988-04-08 Darragon Sa Procede et presse-autoclave de stratification de circuits imprimes multicouches et/ou de plastification d'elements plats, et dispositif de transformation en presse-autoclave de ce type
GB8618944D0 (en) 1986-08-02 1986-09-10 Winsford Techn Ltd Autoclave sealing
KR100600413B1 (ko) 2004-09-24 2006-07-13 오성엘에스티(주) 오토클레이브 장치
KR100782119B1 (ko) 2006-09-27 2007-12-05 박웅기 오토클레이브 장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110376771A (zh) * 2015-07-03 2019-10-25 伊莱泰克自动化有限公司 能多段除泡的热压罐装置
KR20200106712A (ko) * 2019-03-05 2020-09-15 (주)다스 탈포용 오토클레이브 장치

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