KR20110070168A - 개선된 평면 노즐의 세정 장치 및 세정 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 개선된 평면 노즐의 세정 장치 및 세정 방법을 개시한다.
본 발명에 따른 평면 노즐의 세정 장치는 진입부에서 단차부를 구비하고, 상기 평면 노즐의 토출구 상의 잔류 잉크 중 큰 사이즈의 잔류 잉크가 낙하되는 전방 드레인부; 중앙 부분에 제공되며, 각각이 상기 토출구 상의 상기 잔류 잉크를 흡입 방식으로 제거하기 위한 복수의 슬릿(slit)을 구비하는 중앙 드레인부; 상기 중앙 드레인부에서 제거된 이후에도 잔류하는 상기 토출구 상의 후속 잔류 잉크가 낙하되는 후방 드레인부; 상기 전방 드레인부, 상기 중앙 드레인부, 및 상기 후방 드레인부를 구획하는 드레인 커튼벽; 상기 전방 드레인부, 상기 중앙 드레인부, 및 상기 후방 드레인부의 하부에 제공되며, 흡입력을 공급하는 흡입 영역; 상기 흡입 영역의 하부에 제공되는 적어도 하나 이상의 잉크 배출부; 및 상기 적어도 하나 이상의 잉크 배출부와 연결되는 흡입 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
평면 노즐, 세정 장치, 세정 방법

Description

개선된 평면 노즐의 세정 장치 및 세정 방법{An Improved Cleaning Apparatus and Method for Cleaning a Flat-Type Nozzle}
본 발명은 잉크젯 헤드에 사용되는 개선된 평면 노즐의 세정 장치 및 세정 방법에 관한 것이다.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 평면 노즐의 토출구 상의 잔류 잉크를 흡입 방식(suction method)으로 제거하는 세정 장치의 전방부에 단차형 드레인부(step-type drain)를 형성하고, 양측면에 드레인 커튼벽을 형성하며, 또한 세정 블록 상의 흡입 구조를 슬릿 형상으로 제공함으로써, 평면 노즐의 세정시 사이즈가 큰 잔류 잉크가 진입단에서 비접촉 상태를 유지하여 세정 장치 및 기타 장비의 오염이 방지되고, 흡입력의 증가에 따른 잔류 잉크의 세정력 또는 제거 효율이 높아지며, 세정시 잔류 잉크의 오버플로우(Overflow) 현상이 방지될 수 있는 개선된 평면 노즐의 세정 장치 및 세정 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 전자회로부품, 또는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 또는 액정 디스플레이 패널(LCD)과 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display: FPD)를 제조하기 위해서는, 예를 들어, 포토레지스트(photoresist: PR)액 또는 구리(Cu), 은(Ag), 알루미늄(Al) 등과 같은 금속 페이스트(paste)를 사용하여 글래스 표면 또는 인쇄회로기판(printed circuit board: PCB) 상에 전극(electrodes) 또는 도트(dots) 등과 같은 일정한 패턴(patterns)을 형성하여야 한다.
상술한 일정한 패턴을 형성하기 위한 방법으로는 예를 들어, 2개의 롤을 이용하여 오프셋 인쇄방식으로 일정한 패턴을 직접 패턴닝하는 방식 또는 잉크 액적을 분출하는 잉크젯 프린터를 구비한 노즐을 사용하여 일정한 패턴을 직접 패턴닝하는 방식이 사용되고 있다.
도 1a는 종래 기술에 따른 잉크젯 프린팅 장치의 사시도가 도시되어 있다.
도 1a를 참조하면, 종래 기술에 따른 잉크젯 프린팅 장치(100)는 예를 들어, 프린팅 대상물(110) 상에 복수의 패턴(114)을 형성하도록 잉크를 공급하기 위한 복수의 잉크젯 헤드(120); 상기 복수의 잉크젯 헤드(120)가 장착되며, 상기 프린팅 대상물(110) 상에서 이동 가능한 갠트리(130); 상기 갠트리(130)의 후방에 장착되며, 상기 프린팅 대상물(110) 상에 형성된 복수의 패턴(114)의 상태를 검사하기 위한 복수의 검사 장치(140); 및 상기 복수의 잉크젯 헤드(120)에 각각 연결되며, 잉크를 제공하기 위한 잉크 저장 장치(150)로 구성되어 있다. 이러한 종래 기술에 따른 잉크젯 프린팅 장치(100)의 구제척인 구성 및 동작은 본 출원인에 의해 "롤을 이용한 잉크젯 프린팅 장치, 시스템 및 방법"이라는 발명의 명칭으로 2008년 3월 24자로 출원된 대한민국 특허출원 제 10-2008-0027005호에 상세히 개시되어 있다. 이러한 대한민국 특허출원 제 10-2008-0027005호의 개시 내용은 본 명세서에 참조되어 본 발명의 일부를 이룬다.
상술한 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 잉크젯 프린팅 장치(100)의 복수의 잉크젯 헤드(120)는 각각 복수의 토출구를 구비한 노즐 형태로 구현될 수 있다. 특히, 각각의 잉크젯 헤드(120)로서 복수의 토출구를 구비한 노즐 부재가 평면 타입인 평면 노즐이 개발되어 사용되고 있다.
도 1b는 종래 기술에 따른 평면 노즐의 사시도가 개략적으로 도시되어 있다.
도 1b를 참조하면, 종래 기술에 따른 평면 노즐(120)은 몸체부(122), 및 복수의 토출구(126)를 구비한 노즐부재(124)로 구성된다. 평면 노즐(120)은 갠트리(130)에 장착되어 사용된다. 도 1b에 도시된 종래 기술에서는, 평면 노즐(120)이 갠트리(130)의 하부에 장착되는 것으로 예시적으로 도시되어 있지만, 당업자라면 평면 노즐(120)이 도 1a에 도시된 바와 같이 갠트리(130)의 측면에 장착되어 사용될 수도 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 또한, 도 1b에서는 복수의 토출구(126)가 하나만 도시되어 있지만, 당업자라면 이러한 토출구(126)가 노즐부재(124)의 길이 방향을 따라 복수개 형성되어 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.
상술한 평면 노즐(120)에 사용되는 잉크는 통상적으로 다양한 종류의 포토레지스트(PR)액 또는 금속 페이스트(paste)(이하에서는 통칭하여 "잉크"라 합니다)이다. 또한, 평면 노즐(120)의 복수의 토출구(126)는 각각 대략 50 내지 100㎛의 좁은 직경을 구비한다. 따라서, 평면 노즐(120) 내에서 잉크가 지속적으로 공급되어 사용되는 경우 또는 휴지시간으로 인하여 간헐적으로 사용되는 경우, 잉크 내에 함유된 솔벤트(solvent)가 휘발되어 잔류 잉크(128)가 토출구(126)의 단부(edge)에서 고화(solidify) 또는 경화(cure)되어 토출구(126)의 사이즈가 변형될 수 있다. 또한, 토출구(126)에 먼지 등과 같은 미세 이물(fine foreign materials)(128)이 달라붙는 경우에도 토출구(126)의 사이즈가 변형될 수 있다. 이 경우, 토출구(126)로부터 균일한 사이즈의 잉크 액적이 형성되기 어렵거나, 일정한 점도를 유지하기 어렵다는 문제가 발생한다. 특히, 평면 노즐(120)에서는 잉크의 사용 중단 후에 다시 사용을 재개하는 경우, 잉크가 완전히 고화 또는 경화되어 잔류 잉크 및 미세 이물(128)이 토출구(126)를 완전히 막아서 잉크의 배출이 불가능해져 평면 노즐(120)이 고장나거나 수리하여야 하는 문제가 발생한다.
상술한 바와 같이 토출구(126)가 막히거나, 사이즈가 변형되는 경우에 발생하는 문제점을 해결하기 위해, 평면 노즐(120)의 토출구(126)의 세정이 요구된다.
종래 기술에서는, 도 1b에 도시된 평면 노즐(120)의 토출구(126)를 세정하기 위해 다음과 같은 클리닝 방식이 사용된다.
첫 번째 세정 방식은 평면 노즐(120)의 토출구(126)를 사용자가 수동방식으로(manually) 세정하는 방식이다. 이러한 수동 세정 방식을 사용하면, 미세한 사이즈를 구비한 토출구(126)가 충분히 세정되지 못한다는 단점이 있다.
두 번째 세정 방식은 평면 노즐(120)의 토출구(126)를 천(cloth)과 롤러를 이용한 점접촉 방식으로 세정하는 방식이다. 이러한 점접촉 방식을 이용한 세정 장치는 회전롤과 천을 사용하므로, 평면 노즐의 복수의 토출구가 충분히 세정되지 못하거나 또는 토출구(126) 내로 잔류 잉크 및 미세 이물 등이 유입되는 문제점이 발생한다.
세 번째 세정 방식은 평면 노즐(120)의 토출구(126)를 흡입 방식으로 세정하는 방식이다.
좀 더 구체적으로, 도 1c는 종래 기술의 흡입 방식에 따른 세정 장치의 평면도 및 측단면도를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 1d는 종래 기술의 흡입 방식에 따른 세정 장치의 분해 사시도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1c 및 도 1d를 참조하면, 종래 기술의 흡입 방식에 따른 세정 장치(160)는 상부 세정 블록(160a) 및 하부 세정 블록(160b)으로 구성된다. 상부 세정 블록(160a)과 하부 세정 블록(160b)은 상부 세정 블록(160a)에 형성된 복수의 상부 체결홀(180) 및 하부 세정 블록(160b)에 형성된 복수의 하부 체결홀(182)에 예를 들어 나사 등과 같은 체결 부재(미도시)에 의해 결합된다.
다시 도 1c 및 도 1d를 참조하면, 상부 세정 블록(160a)은 평면 노즐(120)이 진입하여 토출구(126) 상의 잔류 잉크 중 큰 사이즈의 잔류 잉크가 낙하되며, 상기 낙하된 잔류 잉크를 배출하기 위한 전방 드레인 홀(162b)을 구비한 전방 드레인부(drain: 162); 중앙 부분에서 제 1 및 제 2 그루브(groove: 174)에 의해 서로 이격되어 제공되며, 각각이 상기 토출구(126) 상의 잔류 잉크를 흡입 방식으로 제거하기 위한 복수의 제 1 내지 제 3 흡입홀(suction holes: 172a,172b,172c)을 구비하는 제 1 내지 제 3 세정 헤드(170a,170b,170c); 상기 제 1 내지 제 3 세정 헤드(170a,170b,170c)에 의해 제거된 이후에도 잔류하는 상기 토출구(126) 상의 후속 잔류 잉크가 낙하되며, 상기 낙하된 후속 잔류 잉크를 배출하기 위한 후방 드레인 홀(164b)을 구비한 후방 드레인부(164)를 구비한다. 또한, 상부 세정 블록(160a)은 전방 드레인부(162), 제 1 내지 제 3 세정 헤드(170a,170b,170c), 및 후방 드레인부(164)의 양쪽 측면에 경사 단차부(166)를 구비한다.
한편, 하부 세정 블록(160b)은 상기 전방 드레인 홀(162b), 상기 제 1 내지 제 3 세정 헤드(170a,170b,170c), 및 상기 후방 드레인 홀(164b)의 하부에 제공되며, 흡입력을 공급하는 흡입 영역(186); 상기 흡입 영역(186)의 하부에 제공되는 적어도 하나 이상의 잉크 배출부(184a,184b,184c); 및 상기 적어도 하나 이상의 잉크 배출부(184a,184b,184c)와 배출 통로(191)를 통해 연결되며, 상기 제 1 내지 제 3 세정 헤드(170a,170b,170c)에 흡입력을 제공하는 흡입 부재(190)를 포함한다. 상술한 하부 세정 블록(160b)은 흡입 부재(190)에 연결되는 별도의 잉크 회수부(192)를 추가로 포함할 수 있다. 여기서, 흡입 영역 (186)은 빈 공간(vacant space) 형태로 구현된다. 또한, 흡입 부재(190)는 예를 들어 주사기 방식의 흡입 장치 또는 진공 펌프로 구현될 수 있다.
상술한 종래 기술의 흡입 방식에 따른 세정 장치(160)에서는, 세정시 평면 노즐(120)과 세정 장치(160)는 상대적으로 이동한다. 구체적으로, 세정 장치(160)가 정지한 상태에서 평면 노즐(120)이 세정 장치(160) 상부에서 이동하거나(도 1c의 A 방향) 또는 평면 노즐(120)이 세정 장치(160)가 정지한 상태에서 세정 장치(160)가 평면 노즐(120)의 하부에서 이동한다(도 1c의 B 방향).
평면 노즐(120)이 전방 드레인부(162)로 진입하여 이동하면, 토출구(126) 상의 큰 사이즈의 잔류 잉크가 전방 드레인부(162) 내로 낙하한다. 그 후, 평면 노즐(120)이 전방 드레인부(162)를 거쳐 중앙 부분에 위치된 제 1 내지 제 3 세정 헤드(170a,170b,170c) 상을 지나면서 토출구(126) 상의 잔류 잉크가 흡입 방식으로 제거된다. 좀 더 구체적으로, 토출구(126) 상의 잔류 잉크는 하부 세정 블록(160b)의 흡입 부재(190)는 흡입 영역 (186)을 통해 전달된 흡입력에 의해 제 1 내지 제 3 세정 헤드(170a,170b,170c)에 형성된 복수의 제 1 내지 제 3 흡입홀(172a,172b,172c) 내로 흡입되어 제거된다. 그 후, 평면 노즐(120)이 후방 드레인부(162)로 진입하여 이동하면서 제 1 내지 제 3 세정 헤드(170a,170b,170c)에 의해 제거된 이후에 토출구(126) 상의 후속 잔류 잉크가 잔류하는 경우, 후속 잔류 잉크는 후방 드레인부(164) 내로 낙하한다.
상술한 바와 같이, 전방 드레인부(162) 내로 낙하된 큰 사이즈의 잔류 잉크와 복수의 제 1 내지 제 3 흡입홀(172a,172b,172c) 내로 흡입되어 제거된 잔류 잉크, 또는 후방 드레인부(164) 내로 낙하된 후속 잔류 잉크(이하 통칭하여 "제거된 잉크"라 합니다)는 각각 전방 드레인 홀(162b), 복수의 제 1 내지 제 3 흡입홀(172a,172b,172c), 및 후방 드레인홀(164n)을 통해 흡입 영역 (186) 내로 낙하된다. 그 후, 제거된 잉크는 적어도 하나 이상의 잉크 배출부(184a,184b,184c)와 배출 통로(191)를 거쳐 흡입 부재(190) 내에 직접 저장되거나 별도의 잉크 회수부(192) 내로 저장될 수 있다.
그러나, 상술한 종래 기술의 흡입 방식에 따른 세정 장치(160)에서는 다음과 같은 문제가 발생한다.
1. 평면 노즐(120)이 세정 장치(160)의 상부 세정 블록(160a)에 형성된 전방 드레인부(162)로 진입할 때의 높이는 대략 100 내지 300㎛이다. 반면에, 평면 노 즐(120)의 토출구(126) 상의 잔류 잉크 중 큰 사이즈의 잔류 잉크의 직경은 대략 0.1mm 또는 100㎛이다. 따라서, 평면 노즐(120)이 전방 드레인부(162)로 진입할 때, 토출구(126) 상의 큰 사이즈의 잔류 잉크가 전방 드레인부(162)의 진입단(162a)에 접촉할 수 있다. 이 경우, 큰 사이즈의 잔류 잉크는 전방 드레인부(162) 내로 낙하되지 못하고, 진입단(162a)에서 상부 세정 블록(160a)을 타고 흘러내려, 세정 장치(160) 또는 세정 장치(160) 주변에 위치된 기타 다른 장치(예를 들어, 도 1a에 도시된 코팅 장치 등)를 오염시키는 문제가 발생한다.
2. 토출구(126) 상의 잔류 잉크가 제 1 내지 제 3 세정 헤드(170a,170b,170c)에 의해 제거될 때, 복수의 제 1 내지 제 3 흡입홀(172a,172b,172c) 내로 흡입되지 못한 제거된 잉크는 제 1 내지 제 3 세정 헤드(170a,170b,170c) 사이에 형성된 제 1 및 제 2 그루브(174)를 통해 경사 단차부(166)로 흘러내려 제거된 잉크의 오버플로우가 발생할 수 있다.
3. 상부 세정 블록(160a)에 구비된 경사 단차부(166)로 인하여 상부 세정 블록(160a)의 양쪽 측면이 개방 상태를 유지하므로, 흡입 부재(190)에 의한 흡입력의 세기가 낮아진다. 그 결과, 토출구(126) 상의 잔류 잉크의 세정력 또는 제거 효율이 낮아진다.
4. 제 1 내지 제 3 세정 헤드(170a,170b,170c)가 복수의 제 1 내지 제 3 흡입홀(172a,172b,172c)을 구비하는 구성을 가지므로, 미세한 사이즈의 복수의 제 1 내지 제 3 흡입홀(172a,172b,172c)의 가공이 어려우며 그에 따라 세정 장치(160)의 제조 비용 및 시간이 증가한다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 흡입 방식에 따른 세정 장치의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 평면 노즐의 토출구 상의 잔류 잉크를 흡입 방식(suction method)으로 제거하는 세정 장치의 전방부에 단차형 드레인부(step-type drain)를 형성하고, 양측면에 드레인 커튼벽을 형성하며, 또한 세정 블록 상의 흡입 구조를 슬릿 형상으로 제공함으로써, 평면 노즐의 세정시 사이즈가 큰 잔류 잉크가 진입단에서 비접촉 상태를 유지하여 세정 장치 및 기타 장비의 오염이 방지되고, 흡입력의 증가에 따른 잔류 잉크의 세정력 또는 제거 효율이 높아지며, 세정시 잔류 잉크의 오버플로우(Overflow) 현상이 방지될 수 있는 개선된 평면 노즐의 세정 장치 및 세정 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 1 특징에 따른 평면 노즐의 세정 장치는 진입부에서 단차부를 구비하고, 상기 평면 노즐의 토출구 상의 잔류 잉크 중 큰 사이즈의 잔류 잉크가 낙하되는 전방 드레인부; 중앙 부분에 제공되며, 각각이 상기 토출구 상의 상기 잔류 잉크를 흡입 방식으로 제거하기 위한 복수의 슬릿(slit)을 구비하는 중앙 드레인부; 상기 중앙 드레인부에서 제거된 이후에도 잔류하는 상기 토출구 상의 후속 잔류 잉크가 낙하되는 후방 드레인부; 상기 전방 드레인부, 상기 중앙 드레인부, 및 상기 후방 드레인부를 구획하는 드레인 커튼벽; 상기 전방 드레인부, 상기 중앙 드레인부, 및 상기 후방 드레인부의 하부에 제공되며, 흡입력을 공급하는 흡입 영 역; 상기 흡입 영역의 하부에 제공되는 적어도 하나 이상의 잉크 배출부; 및 상기 적어도 하나 이상의 잉크 배출부와 연결되는 흡입 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 특징에 따른 평면 노즐의 세정 장치는 진입부에서 단차부를 구비하고, 상기 평면 노즐의 토출구 상의 잔류 잉크 중 큰 사이즈의 잔류 잉크가 낙하되는 전방 드레인부; 중앙 부분에 제공되며, 각각이 상기 토출구 상의 상기 잔류 잉크를 흡입 방식으로 제거하기 위한 복수의 슬릿(slit)을 구비하는 중앙 드레인부; 상기 중앙 드레인부에서 제거된 이후에도 잔류하는 상기 토출구 상의 후속 잔류 잉크가 낙하되는 후방 드레인부; 상기 전방 드레인부, 상기 중앙 드레인부, 및 상기 후방 드레인부를 구획하는 드레인 커튼벽; 상기 전방 드레인부, 상기 중앙 드레인부, 및 상기 후방 드레인부의 하부에 각각 제공되며, 복수의 흡입력을 공급하는 복수의 흡입 영역; 상기 복수의 흡입 영역의 하부에 제공되는 복수의 잉크 배출부; 및 상기 복수의 잉크 배출부와 연결되는 복수의 흡입 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 3 특징에 따른 평면 노즐의 세정 방법은 a) 상기 평면 노즐을 전방 드레인부 내로 진입시킨 후, 상기 평면 노즐의 토출구 상의 잔류 잉크 중 큰 사이즈의 잔류 잉크를 상기 전방 드레인부 내에서 낙하시키거나 상기 전방 드레인부와 중앙 드레인부를 구획하는 제 1 내측 드레인 커튼벽에 접촉시켜 상기 전방 드레인부 내로 흘러내리도록 하는 단계; b) 상기 평면 노즐을 상기 중앙 드레인부 상으로 이동시켜 상기 토출구 상의 상기 잔류 잉크를 복수의 슬릿에 의해 흡입 방식 으로 제거하는 단계; 및 c) 상기 평면 노즐을 후방 드레인부 상으로 이동시켜 상기 토출구 상의 후속 잔류 잉크가 잔류하는 경우, 상기 후속 잔류 잉크를 상기 후방 드레인부 내로 낙하시키는 단계를 포함하고, 상기 잔류 잉크 및 상기 후속 잔류 잉크는 상기 전방 드레인부 내에 구비되는 전방 슬릿, 상기 복수의 슬릿, 및 상기 후방 드레인부 내에 구비되는 후방 슬릿을 통해 각각 동시에 제공되는 흡입력에 의해 낙하 또는 흡입되는 것을 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 4 특징에 따른 a) 상기 평면 노즐을 전방 드레인부 내로 진입시킨 후, 상기 평면 노즐의 토출구 상의 잔류 잉크 중 큰 사이즈의 잔류 잉크를 상기 전방 드레인부 내에서 낙하시키거나 상기 전방 드레인부와 중앙 드레인부를 구획하는 제 1 내측 드레인 커튼벽에 접촉시켜 상기 전방 드레인부 내로 흘러내리도록 하는 단계; b) 상기 평면 노즐을 상기 중앙 드레인부 상으로 이동시켜 상기 토출구 상의 상기 잔류 잉크를 복수의 슬릿에 의해 흡입 방식으로 제거하는 단계; 및 c) 상기 평면 노즐을 후방 드레인부 상으로 이동시켜 상기 토출구 상의 후속 잔류 잉크가 잔류하는 경우, 상기 후속 잔류 잉크를 상기 후방 드레인부 내로 낙하시키는 단계를 포함하고, 상기 잔류 잉크 및 상기 후속 잔류 잉크는 상기 전방 드레인부 내에 구비되는 전방 슬릿, 상기 복수의 슬릿, 및 상기 후방 드레인부 내에 구비되는 후방 슬릿을 통해 각각 개별적으로 제공되는 복수의 흡입력에 의해 낙하 또는 흡입되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 개선된 평면 노즐의 세정 장치 및 세정 방법을 사용하면 다음과 같은 효과가 달성된다.
1. 전방 드레인부의 진입부에 형성된 단차부에 의해 큰 사이즈의 잔류 잉크를 진입부와 접촉함이 없이 전방 드레인부 내로 안정적으로 회수하는 것이 가능하다.
2. 종래 기술이 비해 평면 노즐의 세정 장치를 훨씬 더 용이하게 가공할 수 있다. 또한, 가공의 용이성으로 인하여 평면 노즐의 세정 장치가 테플론 또는 MC 나일론과 같은 수지 재질, 스테인리스 또는 스틸과 같은 금속 재질 등과 같은 다양한 재질로 구현될 수 있다.
3. 평면 노즐의 세정 장치에서 사용되는 드레인 커튼벽에 의해, 제거된 잉크가 오버플로우될 가능성이 최소화되거나 실질적으로 제거된다.
4. 평면 노즐의 세정 장치에서 사용되는 드레인 커튼벽에 의해, 종래 기술에 비해 상대적으로 흡입 부재에 의한 흡입력의 세기가 높아지게 되어 토출구 상의 잔류 잉크의 세정력 또는 제거 효율이 높아진다.
5. 복수의 개별 흡입 부재를 사용하여 전방 드레인부에 구비되는 전방 슬릿, 중앙 드레인부에 구비되는 복수의 슬릿(slit), 및 후방 드레인부에 구비되는 후방 슬릿에 인가되는 흡입력을 개별적으로 조절하는 것이 가능하다.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 장치의 평면도를 도시한 도면이고, 도 2b는 도 2a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 장치의 단면도를 도시한 도면이다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 장치(260)는 진입부에서 단차부(262a)를 구비하고, 평면 노즐(220)의 토출구(226) 상의 잔류 잉크(I) 중 큰 사이즈의 잔류 잉크(Ink1)가 낙하되는 전방 드레인부(262); 중앙 부분에 제공되며, 각각이 상기 토출구(226) 상의 잔류 잉크(I)를 흡입 방식으로 제거하기 위한 복수의 슬릿(slit: 272a,272b,272c)을 구비하는 중앙 드레인부(270); 상기 중앙 드레인부에서 제거된 이후에도 잔류하는 상기 토출구(226) 상의 후속 잔류 잉크가 낙하되는 후방 드레인부(264); 상기 전방 드레인부(262), 상기 중앙 드레인부, 및 상기 후방 드레인부(264)를 구획하는 드레인 커튼벽(267); 상기 전방 드레인부(262), 상기 중앙 드레인부, 및 상기 후방 드레인부(264)의 하부에 제공되며, 흡입력을 공급하는 흡입 영역(286); 상기 흡입 영역(286)의 하부에 제공되는 적어도 하나 이상의 잉크 배출부(284); 및 상기 적어도 하나 이상의 잉크 배출부(284)와 연결되는 흡입 부재(290)를 포함한다. 상술한 본 발명의 평면 노즐의 세정 장치(260)는 흡입 부재(190)에 연결되는 별도의 잉크 회수부(292)를 추가로 포함할 수 있다. 여기서, 흡입 영역(286)은 빈 공간(vacant space) 형태로 구현된다. 또한, 흡입 부재(290)는 예를 들어 주사기 방식의 흡입 장치 또는 진공 펌프로 구현될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 세정 장치(260)의 구성 요소 및 동 작에 대해 상세히 기술한다.
다시 도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 장치(260)는 전방 드레인부(262)를 구비한다. 전방 드레인부(262)는 진입부에서 단차부(262a)를 구비하고, 또한 제 1 내측 드레인 커튼벽(267a) 및 외측 커튼벽(267c)에 의해 중앙 드레인부(270)와 구획된다. 단차부(262a)의 폭(W)은 평면 노즐(220)의 길이에 대응되는 대략 15mm이고, 높이(H)는 대략 4mm이다. 따라서, 평면 노즐(220)이 전방 드레인부(262)로 진입하여 이동하더라도 대략 0.1mm인 큰 사이즈의 잔류 잉크(Ink1)는 4mm 높이의 단차부(262a)에 의해 전방 드레인부(262)의 진입부와 접촉하지 않고 전방 드레인부(262) 내로 진입할 수 있다. 그 후, 큰 사이즈의 잔류 잉크(Ink1)는 전방 드레인부(262) 상을 진행하는 도중에 전방 드레인부(262) 내로 낙하되거나 또는 제 1 내측 드레인 커튼벽(267a)에 접촉하여 전방 드레인부(262) 내로 흘러내린다. 그 후, 큰 사이즈의 잔류 잉크(Ink1)는 전방 슬릿(262b)을 통해 흡입 영역(286) 내로 흡입된다.
한편, 큰 사이즈의 잔류 잉크(Ink1)가 전방 드레인부(262) 내에서 안정적으로 제거된 후, 평면 노즐(220)은 제 1 내측 드레인 커튼벽(267a)을 지나 중앙 부분에 위치된 중앙 드레인부(270) 상으로 이동한다. 중앙 드레인부(270)는 오목면(270a) 형상으로 구현되며, 오목면(270a) 상에는 복수의 슬릿(272a,272b,272c)이 형성되어 있다. 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 복수의 슬릿(272a,272b,272c)은 제 1 내지 제 3 슬릿(slit: 272a,272b,272c)으로 구현되는 것으로 예시적으로 기술되어 있지만, 당업자라면 필요에 따라 복수의 슬릿(272a,272b,272c)의 수를 증 가 또는 감소시킬 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 토출구(226) 상의 잔류 잉크(I) 중 통상 사이즈의 잔류 잉크(Ink2)는 복수의 슬릿(272a,272b,272c)을 통해 인가되는 흡입력에 의해 중앙 드레인부(270) 상으로 낙하한 후 복수의 슬릿(272a,272b,272c)과 연결된 흡입 영역(286) 내로 흡입된다.
그 후, 평면 노즐(220)은 제 2 내측 드레인 커튼벽(267b)을 지나 후방 드레인부(264) 상으로 이동한다. 후방 드레인부(264)의 진출부에는 외측 드레인 커튼벽(267c)이 형성된다. 중앙 드레인부(270) 상의 복수의 슬릿(272a,272b,272c)을 통해 제거된 이후에 토출구(226) 상의 후속 잔류 잉크가 잔류하는 경우, 후속 잔류 잉크는 후방 드레인부(264) 내로 낙하할 수 있다. 낙하된 후속 잔류 잉크는 후방 슬릿(264b)을 통해 흡입 영역(286) 내로 흡입된다.
상술한 방식으로 제거된 잉크는 적어도 하나 이상의 잉크 배출부(284)와 배출 통로(291)를 거쳐 흡입 부재(290) 내에 직접 저장되거나 별도의 잉크 회수부(292) 내로 저장될 수 있다.
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 장치(260)는 도 1a 내지 도 1c에 도시된 종래 기술의 평면 노즐의 세정 장치(160)와 마찬가지로 2 피스(two-piece)로 구성될 수 있으며, 복수의 상부 체결홀(280) 및 복수의 하부 체결홀(282)에 예를 들어 나사 등과 같은 체결 부재(미도시)에 의해 결합될 수 있다.
도 2c는 본 발명의 대안적인 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 장치의 단면도를 도시한 도면이다.
도 2c를 도 2a와 함께 참조하면, 본 발명의 대안적인 실시예에 따른 평면 노 즐의 세정 장치(260)는 흡입 영역(286)이 3개의 개별 흡입 공간인 제 1 내지 제 3 흡입 영역(286a,286b,286c)으로 나누어져 있다. 또한, 제 1 내지 제 3 흡입 영역(286a,286b,286c)에는 각각 그 하부에 제 1 내지 제 3 잉크 배출부(284a,284b,284c)가 제공되고, 상기 제 1 내지 제 3 잉크 배출부(284a,284b,284c)에는 각각 제 1 내지 제 3 배출 통로(291a,291b,291c)를 통해 제 1 내지 제 3 흡입 부재(290a,290b,290c)가 연결된다.
도 2c의 대안적인 실시예에서는, 예를 들어 전방 슬릿(262b) 및 복수의 슬릿(272a,272b,272c) 중 제 1 슬릿(272a)은 제 1 흡입 영역(286a), 제 1 잉크 배출부(284a), 및 제 1 배출 통로(291a)를 통해 제 1 흡입 부재(290a)로부터 제 1 흡입력이 제공되고, 복수의 슬릿(slit: 272a,272b,272c) 중 제 2 슬릿(272b)은 제 2 흡입 영역(286b), 제 2 잉크 배출부(284b), 및 제 2 배출 통로(291b)를 통해 제 2 흡입 부재(290b)로부터 제 2 흡입력이 제공되며, 복수의 슬릿(slit: 272a,272b,272c) 중 제 3 슬릿(272a) 및 후방 슬릿(264b)은 제 3 흡입 영역(286c), 제 3 잉크 배출부(284c), 및 제 3 배출 통로(291c)를 통해 제 3 흡입 부재(290c)로부터 제 3 흡입력이 제공된다.
또 다른 대안적인 실시예에서는, 예를 들어 전방 슬릿(262b)은 제 1 흡입 영역(286a), 제 1 잉크 배출부(284a), 및 제 1 배출 통로(291a)를 통해 제 1 흡입 부재(290a)로부터 제 1 흡입력이 제공되고, 제 1 내지 제 3 슬릿(272a,272b,272c))은 제 2 흡입 영역(286b), 제 2 잉크 배출부(284b), 및 제 2 배출 통로(291b)를 통해 제 2 흡입 부재(290b)로부터 제 2 흡입력이 제공되며, 후방 슬릿(264b)은 제 3 흡 입 영역(286c), 제 3 잉크 배출부(284c), 및 제 3 배출 통로(291c)를 통해 제 3 흡입 부재(290c)로부터 제 3 흡입력이 제공될 수도 있다.
상술한 바와 같은 도 2c에 도시된 본 발명의 대안적인 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 장치(260)에서는, 개별 흡입 부재(즉, 제 1 내지 제 3 흡입 부재(290a,290b,290c))가 개별 흡입 영역(즉, 제 1 내지 제 3 흡입 영역(286a,286b,286c))을 통해 흡입력(즉, 제 1 내지 제 3 흡입력)을 개별적으로 조절하는 것이 가능하다.
도 2a 내지 도 2c에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 장치(260)에서는, 전방 드레인부(262)의 진입부에 형성된 단차부(262a)에 의해 큰 사이즈의 잔류 잉크(Ink1)를 진입부와 접촉함이 없이 전방 드레인부(262) 내로 안정적으로 회수하는 것이 가능하다.
또한, 도 2a 내지 도 2c에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 장치(260)에서는, 중앙 드레인부(270)가 오목면(270a) 형상으로 구현되고 또한 오목면(270a) 상에는 복수의 슬릿(272a,272b,272c)이 형성되므로, 종래 기술의 복수의 제 1 내지 제 3 흡입홀(suction holes: 172a,172b,172c)을 구비하는 제 1 내지 제 3 세정 헤드(170a,170b,170c)에 비해 훨씬 더 용이하게 가공할 수 있다. 이러한 가공의 용이성으로 인하여 본 발명의 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 장치(260)의 재질도 테플론 또는 MC 나일론과 같은 수지 재질, 스테인리스 또는 스틸과 같은 금속 재질 등과 같은 다양한 재질로 구현될 수 있다.
또한, 도 2a 내지 도 2c에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 평면 노즐의 세 정 장치(260)에서는, 제 1 및 제 2 내측 드레인 커튼벽(267a,267b)과 외측 드레인 커튼벽(267c)으로 구성된 드레인 커튼벽(267)에 의해, 제거된 잉크가 전방 드레인부(262), 중앙 드레인부(270), 및 후방 드레인부(264)의 양쪽 측면에 제공되는 경사 단차부(266)로 오버플로우될 가능성이 최소화되거나 실질적으로 제거된다.
또한, 도 2a 내지 도 2c에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 장치(260)에서는, 제 1 및 제 2 내측 드레인 커튼벽(267a,267b)과 외측 드레인 커튼벽(267c)으로 구성된 드레인 커튼벽(267)을 사용함으로써 종래 기술에 비해 상대적으로 흡입 부재(290)에 의한 흡입력의 세기가 높아지게 되어 토출구(226) 상의 잔류 잉크의 세정력 또는 제거 효율이 높아진다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 방법을 도시한 플로우차트이다.
도 3a를 도 2a 내지 도 2b와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 방법(300)은 a) 상기 평면 노즐(220)을 전방 드레인부(262) 내로 진입시킨 후, 상기 평면 노즐(220)의 토출구(226) 상의 잔류 잉크(I) 중 큰 사이즈의 잔류 잉크(Ink1)를 상기 전방 드레인부(262) 내에서 낙하시키거나 상기 전방 드레인부(262)와 중앙 드레인부(270)를 구획하는 제 1 내측 드레인 커튼벽(267a)에 접촉시켜 상기 전방 드레인부(262) 내로 흘러내리도록 하는 단계(310); b) 상기 평면 노즐(220)을 상기 중앙 드레인부(270) 상으로 이동시켜 상기 토출구(226) 상의 상기 잔류 잉크를 복수의 슬릿(slit: 272a,272b,272c)에 의해 흡입 방식으로 제거하는 단계(320); 및 c) 상기 평면 노즐(220)을 후방 드레인부(264) 상으로 이동시 켜 상기 토출구(226) 상의 후속 잔류 잉크가 잔류하는 경우, 상기 후속 잔류 잉크를 상기 후방 드레인부(264) 내로 낙하시키는 단계(330)를 포함하고, 상기 잔류 잉크 및 상기 후속 잔류 잉크는 상기 전방 드레인부(262) 내에 구비되는 전방 슬릿(262b), 상기 복수의 슬릿(272a,272b,272c), 및 상기 전방 드레인부(262) 내에 구비되는 후방 슬릿(264b)을 통해 각각 동시에 제공되는 흡입력에 의해 낙하 또는 흡입되는 것을 특징으로 한다.
도 3b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 방법을 도시한 플로우차트이다.
도 3b를 도 2a 내지 도 2c와 함께 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 방법(300)은 a) 상기 평면 노즐(220)을 전방 드레인부(262) 내로 진입시킨 후, 상기 평면 노즐(220)의 토출구(226) 상의 잔류 잉크(I) 중 큰 사이즈의 잔류 잉크(Ink1)를 전방 드레인부(262) 내에서 낙하시키거나 상기 전방 드레인부(262)와 중앙 드레인부(270)를 구획하는 제 1 내측 드레인 커튼벽(267a)에 접촉시켜 상기 전방 드레인부(262) 내로 흘러내리도록 하는 단계(310); b) 상기 평면 노즐(220)을 상기 중앙 드레인부(270) 상으로 이동시켜 상기 토출구(226) 상의 상기 잔류 잉크를 복수의 슬릿(slit: 272a,272b,272c)에 의해 흡입 방식으로 제거하는 단계(320); 및 c) 상기 평면 노즐(220)을 후방 드레인부(264) 상으로 이동시켜 상기 토출구(226) 상의 후속 잔류 잉크가 잔류하는 경우, 상기 후속 잔류 잉크를 상기 후방 드레인부(264) 내로 낙하시키는 단계(330)를 포함하고, 상기 잔류 잉크 및 상기 후속 잔류 잉크는 상기 전방 드레인부(262) 내에 구비되는 전방 슬 릿(262b), 상기 복수의 슬릿(272a,272b,272c), 및 상기 후방 드레인부(264) 내에 구비되는 후방 슬릿(264b)을 통해 각각 개별적으로 제공되는 복수의 흡입력에 의해 낙하 또는 흡입되는 것을 특징으로 한다.
상술한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 방법(300)에 있어서, 상기 복수의 슬릿(272a,272b,272c)은 제 1 슬릿(272a), 제 2 슬릿(272b), 및 제 3 슬릿(272c)으로 구성되고, 상기 복수의 흡입력은 상기 전방 슬릿 및 상기 1 슬릿(272a)에 공급되는 제 1 흡입력, 상기 제 2 슬릿(272b)에 공급되는 제 2 흡입력, 및 상기 제 3 슬릿(272a) 및 상기 후방 슬릿(264b)에 공급되는 제 3 흡입력으로 이루어질 수 있다.
또한, 상술한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 방법(300)에 있어서, 상기 복수의 슬릿(272a,272b,272c)은 제 1 슬릿(272a), 제 2 슬릿(272b), 및 제 3 슬릿(272c)으로 구성되고, 상기 복수의 흡입력은 상기 전방 슬릿에 공급되는 제 1 흡입력, 상기 제 1 슬릿, 상기 제 2 슬릿(272b), 및 상기 제 3 슬릿(272c)에 공급되는 제 2 흡입력, 및 상기 후방 슬릿(264b)에 공급되는 제 3 흡입력으로 이루어질 수 있다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시 예에 의해 제한되지 않으 며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.
도 1a는 종래 기술에 따른 잉크젯 프린팅 장치의 사시도를 도시한 도면이다.
도 1b는 종래 기술에 따른 평면 노즐의 사시도가 개략적으로 도시되어 있다.
도 1c는 종래 기술의 흡입 방식에 따른 세정 장치의 평면도 및 측단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1d는 종래 기술의 흡입 방식에 따른 세정 장치의 분해 사시도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 장치의 평면도를 도시한 도면이다.
도 2b는 도 2a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 장치의 단면도를 도시한 도면이다.
도 2c는 본 발명의 대안적인 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 장치의 단면도를 도시한 도면이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 방법을 도시한 플로우차트이다.
도 3b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 방법을 도시한 플로우차트이다.

Claims (16)

  1. 평면 노즐의 세정 장치에 있어서,
    진입부에서 단차부를 구비하고, 상기 평면 노즐의 토출구 상의 잔류 잉크 중 큰 사이즈의 잔류 잉크가 낙하되는 전방 드레인부;
    중앙 부분에 제공되며, 각각이 상기 토출구 상의 상기 잔류 잉크를 흡입 방식으로 제거하기 위한 복수의 슬릿(slit)을 구비하는 중앙 드레인부;
    상기 중앙 드레인부에서 제거된 이후에도 잔류하는 상기 토출구 상의 후속 잔류 잉크가 낙하되는 후방 드레인부;
    상기 전방 드레인부, 상기 중앙 드레인부, 및 상기 후방 드레인부를 구획하는 드레인 커튼벽;
    상기 전방 드레인부, 상기 중앙 드레인부, 및 상기 후방 드레인부의 하부에 제공되며, 흡입력을 공급하는 흡입 영역;
    상기 흡입 영역의 하부에 제공되는 적어도 하나 이상의 잉크 배출부; 및
    상기 적어도 하나 이상의 잉크 배출부와 연결되는 흡입 부재
    를 포함하는 평면 노즐의 세정 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 낙하된 큰 사이즈의 잔류 잉크는 상기 전방 드레인부 내에 구비되는 전방 슬릿을 통해 상기 흡입 영역 내로 배출되고,
    상기 후속 잔류 잉크는 상기 후방 드레인부 내에 구비되는 후방 슬릿을 통해 상기 흡입 영역 내로 배출되며,
    상기 흡입 부재는 상기 흡입 영역을 통해 상기 전방 슬릿, 상기 복수의 슬릿, 및 상기 후방 슬릿에 각각 흡입력을 제공하는
    평면 노즐의 세정 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 평면 노즐의 세정 장치는 상기 흡입 부재에 연결되는 잉크 회수부를 추가로 포함하는 평면 노즐의 세정 장치.
  4. 제 1항 내지 제 3항에 있어서,
    상기 흡입 영역은 빈 공간(vacant space) 형태로 구현되고,
    상기 흡입 부재는 주사기 방식의 흡입 장치 또는 진공 펌프로 구현되는 평면 노즐의 세정 장치.
  5. 제 1항 내지 제 3항에 있어서,
    상기 노즐의 세정 장치는 수지 재질 또는 금속 재질로 구현되는 평면 노즐의 세정 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 수지 재질은 테플론 또는 MC 나일론이고, 상기 금속 재질은 스테인리스 또는 스틸인 평면 노즐의 세정 장치.
  7. 평면 노즐의 세정 장치에 있어서,
    진입부에서 단차부를 구비하고, 상기 평면 노즐의 토출구 상의 잔류 잉크 중 큰 사이즈의 잔류 잉크가 낙하되는 전방 드레인부;
    중앙 부분에 제공되며, 각각이 상기 토출구 상의 상기 잔류 잉크를 흡입 방식으로 제거하기 위한 복수의 슬릿(slit)을 구비하는 중앙 드레인부;
    상기 중앙 드레인부에서 제거된 이후에도 잔류하는 상기 토출구 상의 후속 잔류 잉크가 낙하되는 후방 드레인부;
    상기 전방 드레인부, 상기 중앙 드레인부, 및 상기 후방 드레인부를 구획하는 드레인 커튼벽;
    상기 전방 드레인부, 상기 중앙 드레인부, 및 상기 후방 드레인부의 하부에 각각 제공되며, 복수의 흡입력을 공급하는 복수의 흡입 영역;
    상기 복수의 흡입 영역의 하부에 제공되는 복수의 잉크 배출부; 및
    상기 복수의 잉크 배출부와 연결되는 복수의 흡입 부재
    를 포함하는 평면 노즐의 세정 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 복수의 슬릿은 제 1 슬릿, 제 2 슬릿, 및 제 3 슬릿으로 구성되고,
    상기 복수의 흡입력은 제 1 흡입력, 제 2 흡입력, 및 제 3 흡입력으로 구성되며,
    상기 복수의 흡입 영역은 제 1 흡입 영역, 제 2 흡입 영역, 및 제 3 흡입 영역으로 구성되고,
    상기 복수의 흡입 부재는 제 1 복수의 흡입 부재, 제 2 복수의 흡입 부재, 및 제 3 복수의 흡입 부재로 구성되며,
    상기 낙하된 큰 사이즈의 잔류 잉크는 상기 전방 드레인부 내에 구비되는 전방 슬릿을 통해 상기 제 1 흡입력에 의해 상기 제 1 흡입 영역 내로 배출되고,
    상기 후속 잔류 잉크는 상기 후방 드레인부 내에 구비되는 후방 슬릿을 통해 상기 제 3 흡입력에 의해 상기 제 3 흡입 영역 내로 배출되는
    평면 노즐의 세정 장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 전방 슬릿 및 상기 제 1 슬릿은 상기 제 1 흡입 영역 및 상기 제 1 잉크 배출부를 통해 상기 제 1 흡입 부재로부터 상기 제 1 흡입력이 제공되고,
    상기 제 2 슬릿은 상기 제 2 흡입 영역 및 상기 제 2 잉크 배출부를 통해 상기 제 2 흡입 부재로부터 상기 제 2 흡입력이 제공되며,
    상기 제 3 슬릿 및 상기 후방 슬릿은 상기 제 3 흡입 영역 및 상기 제 3 잉크 배출부를 통해 상기 제 3 흡입 부재로부터 상기 제 3 흡입력이 제공되는
    평면 노즐의 세정 장치.
  10. 제 7항에 있어서,
    상기 평면 노즐의 세정 장치는 상기 복수의 흡입 부재에 연결되는 잉크 회수부를 추가로 포함하는 평면 노즐의 세정 장치.
  11. 제 7항 내지 제 10항에 있어서,
    상기 복수의 흡입 영역은 각각 빈 공간(vacant space) 형태로 구현되고,
    상기 복수의 흡입 부재는 각각 주사기 방식의 흡입 장치 또는 진공 펌프로 구현되는
    평면 노즐의 세정 장치.
  12. 제 7항 내지 제 10항에 있어서,
    상기 노즐의 세정 장치는 수지 재질 또는 금속 재질로 구현되는 평면 노즐의 세정 장치.
  13. 평면 노즐의 세정 방법에 있어서,
    a) 상기 평면 노즐을 전방 드레인부 내로 진입시킨 후, 상기 평면 노즐의 토출구 상의 잔류 잉크 중 큰 사이즈의 잔류 잉크를 상기 전방 드레인부 내에서 낙하시키거나 상기 전방 드레인부와 중앙 드레인부를 구획하는 제 1 내측 드레인 커튼벽에 접촉시켜 상기 전방 드레인부 내로 흘러내리도록 하는 단계;
    b) 상기 평면 노즐을 상기 중앙 드레인부 상으로 이동시켜 상기 토출구 상의 상기 잔류 잉크를 복수의 슬릿에 의해 흡입 방식으로 제거하는 단계; 및
    c) 상기 평면 노즐을 후방 드레인부 상으로 이동시켜 상기 토출구 상의 후속 잔류 잉크가 잔류하는 경우, 상기 후속 잔류 잉크를 상기 후방 드레인부 내로 낙하시키는 단계
    를 포함하고,
    상기 잔류 잉크 및 상기 후속 잔류 잉크는 상기 전방 드레인부 내에 구비되는 전방 슬릿, 상기 복수의 슬릿, 및 상기 후방 드레인부 내에 구비되는 후방 슬릿을 통해 각각 동시에 제공되는 흡입력에 의해 낙하 또는 흡입되는
    평면 노즐의 세정 방법.
  14. 평면 노즐의 세정 방법에 있어서,
    a) 상기 평면 노즐을 전방 드레인부 내로 진입시킨 후, 상기 평면 노즐의 토출구 상의 잔류 잉크 중 큰 사이즈의 잔류 잉크를 상기 전방 드레인부 내에서 낙하시키거나 상기 전방 드레인부와 중앙 드레인부를 구획하는 제 1 내측 드레인 커튼벽에 접촉시켜 상기 전방 드레인부 내로 흘러내리도록 하는 단계;
    b) 상기 평면 노즐을 상기 중앙 드레인부 상으로 이동시켜 상기 토출구 상의 상기 잔류 잉크를 복수의 슬릿에 의해 흡입 방식으로 제거하는 단계; 및
    c) 상기 평면 노즐을 후방 드레인부 상으로 이동시켜 상기 토출구 상의 후속 잔류 잉크가 잔류하는 경우, 상기 후속 잔류 잉크를 상기 후방 드레인부 내로 낙하시키는 단계
    를 포함하고,
    상기 잔류 잉크 및 상기 후속 잔류 잉크는 상기 전방 드레인부 내에 구비되는 전방 슬릿, 상기 복수의 슬릿, 및 상기 후방 드레인부 내에 구비되는 후방 슬릿을 통해 각각 개별적으로 제공되는 복수의 흡입력에 의해 낙하 또는 흡입되는
    평면 노즐의 세정 방법.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 복수의 슬릿은 제 1 슬릿, 제 2 슬릿, 및 제 3 슬릿으로 구성되고,
    상기 복수의 흡입력은 상기 전방 슬릿 및 상기 1 슬릿에 공급되는 제 1 흡입력, 상기 제 2 슬릿에 공급되는 제 2 흡입력, 및 상기 제 3 슬릿 및 상기 후방 슬릿에 공급되는 제 3 흡입력으로 이루어지는
    평면 노즐의 세정 방법.
  16. 제 14항에 있어서,
    상기 복수의 슬릿은 제 1 슬릿, 제 2 슬릿, 및 제 3 슬릿으로 구성되고,
    상기 복수의 흡입력은 상기 전방 슬릿에 공급되는 제 1 흡입력, 상기 제 1 슬릿, 상기 제 2 슬릿 및 상기 제 3 슬릿에 공급되는 제 2 흡입력, 및 상기 후방 슬릿에 공급되는 제 3 흡입력으로 이루어지는
    평면 노즐의 세정 방법.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20150076861A (ko) * 2013-12-27 2015-07-07 세메스 주식회사 헤드 세정 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR20170120020A (ko) * 2016-04-20 2017-10-30 토와 가부시기가이샤 수지 성형 장치 및 수지 성형 방법
KR20210023070A (ko) * 2019-08-22 2021-03-04 (주)에스티아이 퍼지 시스템이 구비된 잉크젯 프린팅 장치

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009163938A (ja) 2007-12-28 2009-07-23 Casio Comput Co Ltd 表示パネル製造装置及び表示パネルの製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150076861A (ko) * 2013-12-27 2015-07-07 세메스 주식회사 헤드 세정 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR20170120020A (ko) * 2016-04-20 2017-10-30 토와 가부시기가이샤 수지 성형 장치 및 수지 성형 방법
KR20210023070A (ko) * 2019-08-22 2021-03-04 (주)에스티아이 퍼지 시스템이 구비된 잉크젯 프린팅 장치

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