KR20100031284A - 평면 노즐의 세정 장치, 세정 시스템 및 세정 방법 - Google Patents

평면 노즐의 세정 장치, 세정 시스템 및 세정 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평면 노즐의 세정 장치, 세정 시스템 및 세정 방법을 개시한다.
본 발명에 따른 복수의 토출구가 형성된 노즐부재를 구비한 평면 노즐의 세정 장치는 상기 노즐부재를 분사 방식으로 세정하기 위한 제 1 세정 장치; 및 상기 제 1 세정 장치에 의한 상기 노즐부재의 세정이 완료된 후, 상기 노즐부재에 잔류하는 잔류 세정액을 접촉 방식으로 제거하기 위한 제 2 세정 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
평면 노즐, 세정 장치, 세정 시스템

Description

평면 노즐의 세정 장치, 세정 시스템 및 세정 방법{A Cleaning Device, A Cleaning System and A Cleaning Method for Cleaning A Flat-Type Nozzle}
본 발명은 평면 노즐의 세정 장치, 세정 시스템 및 세정 방법에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 잉크젯 헤드에 사용되는 평면 노즐의 노즐부재 상에 형성된 잔류 잉크와 미세 이물을 세정 블록(cleaning block)을 이용하여 1차로 세정하고, 1차 세정된 노즐 부재를 세정 바(cleaning bar)를 이용하여 평면 노즐의 노즐부재에 잔류하는 잔류 세정액을 2차로 제거함으로써, 평면 노즐의 잔류 잉크와 미세 이물 및 세정액을 완전히 제거할 수 있는 평면 노즐의 세정 장치, 세정 시스템 및 세정 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 전자회로부품, 또는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 또는 액정 디스플레이 패널(LCD)과 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display: FPD)를 제조하기 위해서는, 예를 들어, 포토레지스트(photoresist: PR)액 또는 구리(Cu), 은(Ag), 알루미늄(Al) 등과 같은 금속 페이스트(paste)를 사용하여 글래스 표면 또는 인쇄회로기판(printed circuit board: PCB) 상에 전극(electrodes) 또는 도트(dots) 등과 같은 일정한 패턴(patterns)을 형성하여야 한다.
상술한 일정한 패턴을 형성하기 위한 방법으로는 예를 들어, 2개의 롤을 이용하여 오프셋 인쇄방식으로 일정한 패턴을 직접 패턴닝하는 방식 또는 잉크 액적을 분출하는 잉크젯 프린터를 구비한 노즐을 사용하여 일정한 패턴을 직접 패턴닝하는 방식이 사용되고 있다.
도 1a는 종래 기술에 따른 잉크젯 프린팅 장치의 사시도가 도시되어 있다.
도 1a를 참조하면, 종래 기술에 따른 잉크젯 프린팅 장치(100)는 예를 들어, 프린팅 대상물(110) 상에 복수의 패턴(114)을 형성하도록 잉크를 공급하기 위한 복수의 잉크젯 헤드(120); 상기 복수의 잉크젯 헤드(120)가 장착되며, 상기 프린팅 대상물(110) 상에서 이동 가능한 갠트리(130); 상기 갠트리(130)의 후방에 장착되며, 상기 프린팅 대상물(110) 상에 형성된 복수의 패턴(114)의 상태를 검사하기 위한 복수의 검사 장치(140); 및 상기 복수의 잉크젯 헤드(120)에 각각 연결되며, 잉크를 제공하기 위한 잉크 저장 장치(150)로 구성되어 있다. 이러한 종래 기술에 따른 잉크젯 프린팅 장치(100)의 구제척인 구성 및 동작은 본 출원인에 의해 "롤을 이용한 잉크젯 프린팅 장치, 시스템 및 방법"이라는 발명의 명칭으로 2008년 3월 24자로 출원된 대한민국 특허출원 제 10-2008-0027005호에 상세히 개시되어 있다. 이러한 대한민국 특허출원 제 10-2008-0027005호의 개시 내용은 본 명세서에 참조되어 본 발명의 일부를 이룬다.
상술한 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 잉크젯 프린팅 장치(100)의 복수의 잉크젯 헤드(120)는 각각 복수의 토출구를 구비한 노즐 형태로 구현될 수 있다. 특히, 각각의 잉크젯 헤드(120)로서 복수의 토출구를 구비한 노즐 부재가 평면 타 입인 평면 노즐이 현재 개발되어 시험적으로 사용되고 있다.
도 1b는 종래 기술에 따른 평면 노즐의 사시도가 개략적으로 도시되어 있다.
도 1b를 참조하면, 종래 기술에 따른 평면 노즐(120)은 몸체부(122), 및 복수의 토출구(126)를 구비한 노즐부재(124)로 구성된다. 평면 노즐(120)은 갠트리(130)에 장착되어 사용된다. 도 1b에 도시된 종래 기술에서는, 평면 노즐(120)이 갠트리(130)의 하부에 장착되는 것으로 예시적으로 도시되어 있지만, 당업자라면 평면 노즐(120)이 도 1a에 도시된 바와 같이 갠트리(130)의 측면에 장착되어 사용될 수도 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 또한, 도 1b에서는 복수의 토출구(126)가 하나만 도시되어 있지만, 당업자라면 이러한 토출구(126)가 노즐부재(124)의 길이 방향을 따라 복수개 형성되어 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.
상술한 평면 노즐(120)에 사용되는 잉크는 통상적으로 다양한 종류의 포토레지스트(PR)액 또는 금속 페이스트(paste)(이하에서는 통칭하여 "잉크"라 합니다)이다. 또한, 평면 노즐(120)의 복수의 토출구(126)는 각각 대략 50 내지 100㎛의 좁은 직경을 구비한다. 따라서, 평면 노즐(120) 내에서 잉크가 지속적으로 공급되어 사용되는 경우 또는 휴지시간으로 인하여 간헐적으로 사용되는 경우, 잉크 내에 함유된 솔벤트(solvent)가 휘발되어 잔류 잉크(128)가 토출구(126)의 단부(edge)에서 고화(solidify) 또는 경화(cure)되어 토출구(126)의 사이즈가 변형될 수 있다. 또한, 토출구(126)에 먼지 등과 같은 미세 이물(fine foreign materials)(128)이 달라붙는 경우에도 토출구(126)의 사이즈가 변형될 수 있다. 이 경우, 토출구(126)로 부터 균일한 사이즈의 잉크 액적이 형성되기 어렵거나, 일정한 점도를 유지하기 어렵다는 문제가 발생한다. 특히, 평면 노즐(120)에서는 잉크의 사용 중단 후에 다시 사용을 재개하는 경우, 잉크가 완전히 고화 또는 경화되어 잔류 잉크 및 미세 이물(128)이 토출구(126)를 완전히 막아서 잉크의 배출이 불가능해져 평면 노즐(120)이 고장나거나 수리하여야 하는 문제가 발생한다.
상술한 바와 같이 토출구(126)가 막히거나, 사이즈가 변형되는 경우에 발생하는 문제점을 해결하기 위해, 평면 노즐(120)의 토출구(126)의 세정이 요구된다.
종래 기술에서는, 도 1b에 도시된 평면 노즐(120)의 토출구(126)를 세정하기 위해 다음과 같은 2가지 클리닝 방식이 사용된다.
첫 번째 세정 방식은 평면 노즐(120)의 토출구(126)를 사용자가 수동방식으로(manually) 세정하는 방식이다. 이러한 수동 세정 방식을 사용하면, 미세한 사이즈를 구비한 토출구(126)가 충분히 세정되지 못한다는 단점이 있다.
두 번째 세정 방식은 평면 노즐(120)의 토출구(126)를 천(cloth)과 롤러를 이용한 점접촉 방식으로 세정하는 방식이다. 이러한 점접촉 방식을 이용한 세정 장치가 도 1c에 도시되어 있다.
도 1c를 참조하면, 종래 기술에 따른 점접촉 방식의 세정 장치(160)는 적어도 3개의 회전롤(162a,162b,162c); 평면 노즐(120)의 복수의 토출구(126)를 세정하기 위한 천(164); 상기 천(164)이 감겨 있으며, 상기 적어도 3개의 회전롤(162a,162b,162c)의 회전 동작에 따라 상기 천(164)을 공급하는 공급롤(166a); 및 상기 공급된 천(164)을 회수하는 회수롤(166b)로 구성된다. 이하에서, 종래 기 술에 따른 점접촉 방식의 세정 장치(260)의 구성 및 동작을 상세히 기술한다.
다시 도 1c를 참조하면, 종래 기술에 따른 세정 장치(160)의 적어도 3개의 회전롤(162a,162b,162c) 중 제 1 회전롤(162a)은 토출구(126)의 하부에 제공된다. 제 1 회전롤(162a)은 별도의 모터 또는 액추에이터(미도시)에 의해 천(164)이 토출구(126)에 접촉되거나 또는 이격되도록 상하로 이동할 수 있다. 즉, 모터 또는 액추에이터(미도시)에 의해 제 1 회전롤(162a)이 토출구(126) 쪽으로 상승하면 천(164)이 토출구(126)에 접촉되어 세정 동작을 수행하고, 토출구(126)의 세정이 완료되면 모터 또는 액추에이터(미도시)에 의해 제 1 회전롤(162a)이 토출구(126)로부터 멀어지도록 하강하여 이격된다. 적어도 3개의 회전롤(162a,162b,162c) 중 제 2 회전롤(162b) 및 제 3 회전롤(162c)은 각각 천(164)이 공급롤(166a)로부터 공급되어 회수롤(166b)로 회수되는 동안, 천(164)이 늘어지지 않도록 장력을 유지하기 위해 사용된다. 본 명세서에서는 천(164)의 장력 유지용 회전롤로서 2개의 제 2 회전롤(162b) 및 제 3 회전롤(162c)만을 예시적으로 도시 및 개시하고 있지만, 당업자라면 천(164)의 장력 유지용 회전롤로서 3개 이상의 회전롤이 사용될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.
그러나, 상술한 바와 같은 점접촉 방식의 세정 장치(160)는 회전롤(162a)과 천(164)을 사용하므로, 평면 노즐(120)의 복수의 토출구(126)가 충분히 세정되지 못하거나 또는 토출구(126) 내로 잔류 잉크 및 미세 이물(128)의 일부가 유입되는 문제점이 발생한다.
좀 더 구체적으로, 도 1d는 도 1c에 도시된 점접촉 방식의 세정 장치(160) 에 의해 평면 노즐(120)의 복수의 토출구(126)를 세정하는 것을 도시한 확대 단면도를 도시한 도면이다.
도 1d를 참조하면, 회전롤(162a)이 천(164)을 평면 노즐(120)의 복수의 토출구(126)에 점접촉시키면, 천(164)이 잔류 잉크 및 미세 이물(128) 중 점선으로 표시된 부분(128a)만을 세정한다. 따라서, 실선으로 표시된 부분(128b)의 잔류 잉크 및 미세 이물(128)은 완전히 세정되지 못하는 문제가 발생한다.
또한, 회전롤(162a)이 천(164)을 복수의 토출구(126)에 점접촉시키면, 잔류 잉크 및 미세 이물(128) 중 점선으로 표시된 부분(128a)의 일부가 복수의 토출구(126) 내로 유입될 수 있다. 그 결과, 상술한 바와 같이 토출구(126)의 사이즈가 변형되는 경우, 균일한 사이즈의 잉크 액적 형성 또는 일정한 점도를 유지하기 어렵다는 문제가 발생한다. 만일 토출구(126)가 막히는 경우에는, 잉크의 배출이 불가능해져 평면 노즐(120) 자체가 고장나거나 수리하여야 하는 문제가 발생한다.
아울러, 상술한 점접촉 방식의 세정 장치(160)를 사용하는 경우에 발생하는 세정에 따른 문제점으로 인하여 현재까지 평면 노즐(120)은 테스트 단계에 머무르고 있어서, 양산이 이루어지지 못하고 있다.
따라서, 상술한 수동 세정 방식의 세정 방법 또는 점접촉 방식의 세정 장치(160)의 문제점을 해결할 수 있는 새로운 평면 노즐의 세정 장치, 세정 시스템 및 세정 방법이 요구된다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 잉크젯 헤드에 사용되는 평면 노즐의 노즐부재 상에 형성된 잔류 잉크와 미세 이물을 세정 블록(cleaning block)을 이용하여 1차로 세정하고, 1차 세정된 노즐 부재를 세정 바(cleaning bar)를 이용하여 평면 노즐의 노즐부재에 잔류하는 잔류 세정액을 2차로 제거함으로써, 평면 노즐의 잔류 잉크와 미세 이물 및 세정액을 완전히 제거할 수 있는 평면 노즐의 세정 장치, 세정 시스템 및 세정 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 1 특징에 따르면, 복수의 토출구가 형성된 노즐부재를 구비한 평면 노즐의 세정 장치에 있어서, 상기 노즐부재를 분사 방식으로 세정하기 위한 제 1 세정 장치; 및 상기 제 1 세정 장치에 의한 상기 노즐부재의 세정이 완료된 후, 상기 노즐부재에 잔류하는 잔류 세정액을 접촉 방식으로 제거하기 위한 제 2 세정 장치를 포함하는 평면 노즐의 세정 장치를 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 특징에 따르면, 평면 노즐의 세정 시스템에 있어서, 복수의 토출구가 형성된 노즐부재를 구비한 평면 노즐에 세정액을 공급하여 상기 노즐부재를 분사방식으로 세정하기 위한 제 1 세정 장치, 및 상기 제 1 세정 장치에 의한 상기 노즐부재의 세정이 완료된 후, 상기 노즐부재에 잔류하는 잔류 세정액을 접촉 방식으로 제거하기 위한 제 2 세정 장치를 포함하는 세정 장치; 상기 제 1 세정 장치의 일부 및 상기 제 2 세정 장치의 일부를 수용하며, 하부면에 상기 제 1 세정 장치로부터 배출되는 폐액을 배출하기 위한 제 2 폐액 배출구를 구비하는 드레인 부재; 및 폐액 회수관을 통해 상기 제 2 폐액 배출구와 연결되며, 상기 폐액을 회수하는 폐액 회수부재를 포함하는 평면 노즐의 세정 시스템을 특징으로 한다.
본 발명의 제 3 특징에 따르면, 평면 노즐의 세정 방법에 있어서, a) 상기 평면 노즐의 노즐 부재를 세정액을 분사하기 위한 분사노즐을 구비하며, 상기 노즐 부재를 수용할 수 있는 수용부를 구비한 세정 블록 상으로 하강시켜 밀착 접촉시키는 단계; b) 세정액 공급장치로부터 상기 세정액을 상기 노즐 부재로 공급 및 분사하여 상기 노즐 부재를 세정하는 단계; c) 상기 세정액의 공급을 중단하고, CDA 또는 질소 공급장치로부터 CDA 또는 질소를 상기 노즐 부재로 공급 및 분사하여 상기 노즐 부재 상에 존재하는 세정액을 건조 및 제거하는 단계; d) 상기 평면 노즐을 상승시킨 후 수평방향으로 이동하는 단계; 및 e) 상기 노즐 부재를 제 2 세정 부재 상에 제공되는 세정바와 슬라이딩 방식으로 접촉시켜서 상기 노즐 부재의 잔류 세정액을 제거하는 단계를 포함하는 평면 노즐의 세정 방법을 특징으로 한다.
본 발명의 제 4 특징에 따르면, 평면 노즐의 세정 방법에 있어서, a) 상기 평면 노즐의 노즐 부재를 세정액을 분사하기 위한 분사노즐을 구비하며, 상기 노즐 부재를 수용할 수 있는 수용부를 구비한 세정 블록 상으로 하강시켜 밀착 접촉시키는 단계; b) 세정액 공급장치로부터 상기 세정액을 상기 노즐 부재로 공급 및 분사하여 상기 노즐 부재를 세정하는 단계; c) 상기 세정액의 공급을 중단하고, CDA 또는 질소 공급장치로부터 CDA 또는 질소를 상기 노즐 부재로 공급 및 분사하여 상기 노즐 부재 상에 존재하는 세정액을 건조 및 제거하는 단계; d) 상기 평면 노즐을 상승시킨 후 수평방향으로 이동하는 단계; 및 e) 상기 노즐 부재와 제 2 세정 부재 상에 제공되는 세정바를 상대적인 상하 이동을 통해 접촉시켜서 상기 노즐 부재의 잔류 세정액을 제거하는 단계를 포함하는 평면 노즐의 세정 방법을 특징으로 한다.
본 발명에서는 다음과 같은 효과가 달성된다.
1. 평면 노즐의 노즐 부재(복수의 토출구 포함)에 형성된 잔류 잉크 및 미세 이물이 충분히 세정된다.
2. 잔류 잉크와 미세 이물은 물론 잔류 세정액까지 충분히 제거되므로, 잔류 잉크와 미세 이물 및 잔류 세정액이 복수의 토출구 내로 유입될 가능성이 실질적으로 없어 균일한 사이즈의 잉크 액적 형성 또는 일정한 점도의 유지가 가능해진다.
3. 평면 노즐의 토출구가 막힐 가능성이 실질적으로 없으므로 평면 노즐의 고장 또는 수리 발생 가능성이 현저하게 줄어들어, 평면 노즐의 교체 또는 수리에 따른 비용이 절감된다. 또한, 평면 노즐의 교체 또는 수리에 따른 공정 시간의 지연이 현저하게 줄어든다.
4. 안정적이고 충분한 세정력이 확보됨으로써, 평면 노즐의 양산이 가능해진다.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 장치 및 세정 시스템 을 도시한 단면도이고, 도 2b는 도 2a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 장치 중 세정 블록이 노즐부재와 접촉된 상태를 도시한 단면도이다.
도 2a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 복수의 토출구(미도시)가 형성된 노즐부재(224)를 구비한 평면 노즐(220)의 세정 장치(270)는 상기 노즐부재(224)를 분사 방식으로 세정하기 위한 제 1 세정 장치(270a); 및 상기 제 1 세정 장치(270a)에 의한 상기 노즐부재(224)의 세정이 완료된 후, 상기 노즐부재(224)에 잔류하는 잔류 세정액을 접촉 방식으로 제거하기 위한 제 2 세정 장치(270b)를 포함한다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 장치의 구성요소 및 이들의 동작을 상세히 기술한다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 세정 장치(270)를 구성하는 제 1 세정 장치(270a)는 평면 노즐(220)의 노즐부재(224)에 세정액을 분사하기 위한 분사노즐(274)을 구비한 세정 블록(272)을 포함한다. 세정 블록(272)은 내부가 비어있으며(hollow), 하부면에 제거된 잔류 잉크 및 미세 이물과 사용된 세정액(이하 “폐액”이라 합니다)을 배출하기 위한 제 1 폐액 배출구(292)를 구비하고 있다. 또한, 세정 블록(272)은 상부면(271a)에 평면 노즐(220)의 세정시 노즐부재(224)를 수용할 수 있는 수용부(271b)를 구비한다. 이러한 세정 블록(272)은 상부면(271a)은 세정시 노즐부재(224)의 하부에 밀착 접촉되어 폐액이 외부로 유출되지 않도록 패킹(packing) 기능을 구비하는 것이 바람직하다. 이를 위해, 상부면(271a)의 재질은 예를 들어 고무 재질로 구현될 수 있다.
다시 도 2a 및 도 2b를 참조하면, 평면 노즐(220)의 노즐부재(224)를 세정하기 위해서는, 도 2b에 도시된 바와 같이 평면 노즐(220)이 장착되는 갠트리(230)가 별도로 제공되는 이송장치(예를 들어, 로봇암 또는 액추에이터)(미도시)에 의해 세정 블록(272)의 상부면(271a)과 밀착하여 접촉되어야 한다.
한편, 세정 블록(272) 내에 제공되는 분사노즐(274)은 공급관(279)과 연결된다. 세정액, 또는 청정공기(clean dry air: 이하 “CDA”라 합니다) 또는 질소(N2)가 공급관(279)을 통해 분사노즐(274)에 공급되어 노즐부재(224)로 분사된다. 참조부호 273은 세정액, 또는 CDA 또는 질소(N2)가 분사될 때의 분사 형상을 나타낸다. 세정액, 또는 CDA 또는 질소(N2)는 각각 제 1 밸브(275) 및 제 2 밸브(277)에 의해 배타적으로 공급된다. 여기서 '배타적'이라는 용어는 세정액이 공급되는 경우 CDA 또는 질소(N2)는 공급되지 않으며, CDA 또는 질소(N2)가 공급되는 경우 세정액이 공급되지 않는 것을 의미한다. 좀 더 구체적으로, 세정액 공급장치(276)는 제 1 밸브(275)를 통해 공급관(279)과 선택적으로 연결된다. 또한, CDA 또는 질소 공급장치(278)도 제 2 밸브(277)를 통해 공급관(279)과 선택적으로 연결된다. 제 1 밸브(275)가 개방되면, 세정액 공급장치(276)는 공급관(279)을 통해 세정액을 분사노즐(274)에 공급된다. 그 후, 세정액은 분사노즐(274)을 통해 노즐부재(224)에 분사된다. 이 경우, CDA 또는 질소 공급장치(278)로부터 CDA 또는 질소가 공급관(279)을 통해 분사노즐(274)로 공급되지 않도록 제 2 밸브(277)는 폐쇄되어야 한다. 한편, 노즐부재(224)의 세정이 완료되면, 제 1 밸브(275)가 폐쇄되어 세정액 공급장치(276)로부터 세정액의 공급이 차단된다. 그 후, 제 2 밸브(277)가 개방되어, CDA 또는 질소 공급장치(278)는 공급관(279)을 통해 CDA 또는 질소를 분사노즐(274)에 공급한다. 그 후, CDA 또는 질소는 분사노즐(274)을 통해 노즐부재(224)로 분사된다. 그 결과, 노즐부재(224) 상에 존재하는 세정액이 분사된 CDA 또는 질소에 의해 건조되어 제거된다. 이러한 방식으로 노즐부재(224)에 대한 1차 세정이 완료된다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 세정 장치(270)를 구성하는 제 2 세정 장치(270b)는 노즐부재(224) 상에 존재하는 세정액이 분사된 CDA 또는 질소에 의해 건조되어 제거된 후, 노즐부재(224)에 잔류하는 잔류 세정액을 2차로 제거하기 위한 장치이다. 좀 더 구체적으로, 제 2 세정 장치(270b)는 평면 노즐(220)의 노즐부재(224)와 접촉하여 잔류 세정액을 제거하기 위한 세정바(cleaning bar)(282); 상기 세정바(282)가 고정 장착되며, 상기 세정바(282)의 조임 상태를 조정하는 조정부재(284)를 구비한 고정 블록(286)으로 구성되는 제 2 세정 부재(280); 상기 제 2 세정 부재(280)를 상하로 이동하도록 구동하는 구동유닛(288); 및 상기 고정 블록(286)을 지지하며, 상기 고정 블록(286)과 상기 구동유닛(288)을 연결하는 지지부재(283)를 포함한다. 여기서, 구동유닛(288)은 예를 들어 모터(구체적으로는, 서보 모터, 인덕션 모터, 또는 스텝핑 모터) 또는 액추에이터로 구현될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 세정 장치(270)를 구성하는 제 2 세정 장치(270b)의 동작을 상세히 기술한다.
다시 도 2a를 참조하면, 제 2 세정 장치(270b)를 사용하여 노즐부재(224)에 잔류하는 잔류 세정액을 2차로 제거하기 위해서는 노즐부재(224)에 대한 1차 세정이 완료되기 전에, 구동유닛(288)는 미리 제 2 세정 부재(280)를 2차 세정 위치로 상승시킨다. 그 후, 1차 세정이 완료된 노즐부재(224)를 구비한 평면 노즐(220)이 장착된 갠트리(230)는 별도의 이송장치(미도시)에 의해 2차 세정 위치까지 상승된다. 그 후, 이송장치(미도시)는 갠트리(230)에 장착된 평면 노즐(220)를 수평 방향으로 이동시킨다. 그 결과, 노즐부재(224)가 수평 방향으로 계속 이동하면 노즐부재(224)의 잔류 세정액이 제 2 세정 부재(280)의 세정바(282)와 슬라이딩 방식으로 접촉하면서 제거된다. 이를 위해, 세정바(282)는 예를 들어, 스펀지, 초산비닐, 연질 고무, 경질 고무, 실리콘, 에폭시 수지, 우레탄, 합성 수지, 또는 합성 고무 등과 같은 탄성 재질로 구현되는 것이 바람직하다. 또한, 세정바(282)는 상부가 볼록한(concave) 형상을 구비하는 것이 바람직하다. 상술한 바와 같이, 노즐부재(224)와 세정바(282) 간의 슬라이딩 접촉 방식을 통해 노즐부재(224)의 잔류 세정액이 2차적으로 제거된다.
상술한 본 발명의 실시예에서는, 구동유닛(288)이 제 2 세정 부재(280)를 미리 2차 세정 위치로 상승시킨 후, 노즐부재(224)를 수평 방향으로 이동시켜 잔류 세정액을 세정하는 것으로 예시적으로 기술하고 있다. 그러나, 당업자라면 노즐부재(224)가 제 2 세정 부재(280)가 정지한 상태에서 별도의 이송장치(미도시)가 1차 세정 완료 후에 노즐부재(224)를 상승 및 수평 방향으로 이동시키고, 세정바(282)와 접촉하도록 하강시킨 후, 노즐부재(224)와 세정바(282) 간의 슬라이딩 방식에 의한 접촉을 통해 노즐부재(224)의 잔류 세정액이 2차적으로 제거될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 또한, 당업자라면 노즐부재(224)와 세정바(282) 간의 슬라이딩 방식에 의한 접촉을 통해 노즐부재(224)의 잔류 세정액을 제거하는 대신, 노즐부재(224)와 세정바(282)의 상대적인 상하 이동에 따른 상하 접촉 방식을 통해 노즐부재(224)의 잔류 세정액을 제거하는 것도 가능하다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 이 경우, 노즐부재(224)와 세정바(282)의 상하 접촉 방식은 1) 노즐부재(224)를 정지시키고 세정바(282)를 구동유닛(288)을 사용하여 상승시켜 노즐부재(224)에 접촉시키는 방식, 2) 세정바(282)를 정지시키고 노즐부재(224)를 별도의 이송장치(미도시)를 사용하여 하강시켜 세정바(282)에 접촉시키는 방식, 및 3) 노즐부재(224)를 별도의 이송장치(미도시)를 사용하여 하강시키고 또한 세정바(282)를 구동유닛(288)을 사용하여 상승시켜 노즐부재(224)와 세정바(282)를 접촉시키는 방식을 포함한다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 시스템(260)은 복수의 토출구(미도시)가 형성된 노즐부재(224)를 구비한 평면 노즐(220)에 세정액을 공급하여 상기 노즐부재(224)를 분사 방식으로 세정하기 위한 제 1 세정 장치(270a), 및 상기 제 1 세정 장치(270a)에 의한 상기 노즐부재(224)의 세정이 완료된 후, 상기 노즐부재(224)에 잔류하는 잔류 세정액을 접촉 방식으로 제거하기 위한 제 2 세정 장치(270b)를 포함하는 세정 장치(270); 상기 제 1 세정 장치(270a)의 일부 및 상기 제 2 세정 장치(270b)의 일부를 수용하며, 하부면에 상기 제 1 세정 장치(270a)로부터 배출되는 폐액을 배출하기 위한 제 2 폐액 배출구(294)를 구비하는 드레인 부재(290); 및 폐액 회수관(295)을 통해 상기 제 2 폐액 배출구(294)와 연결되며, 상기 폐액을 회수하는 폐액 회수부재(296)를 포함한다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 시스템(260)의 구 성요소 및 이들의 동작을 상세히 기술한다. 그러나, 평면 노즐의 세정 시스템(260)을 구성하는 세정 장치(270)의 구성요소 및 동작은 앞에서 상세히 기술하였으므로, 이하에서는 세정 장치(270)에 대한 기술은 생략하기로 한다.
다시 도 2a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 시스템(260)은 하부면에 상기 제 1 세정 장치(270a)로부터 배출되는 폐액을 배출하기 위한 제 2 폐액 배출구(294)를 구비하는 드레인 부재(290)를 포함한다. 드레인 부재(290)는 제 1 세정 장치(270a)를 구성하는 분사노즐(274)을 구비한 세정 블록(272), 및 제 2 세정 장치(270b)를 구성하는 제 2 세정 부재(280)를 각각 수용한다. 또한, 제 1 세정 장치(270a)를 구성하는 세정액 공급장치(276) 및 CDA 또는 질소 공급장치(278)와 제 2 세정 장치(270b)를 구성하는 구동유닛(288)은 드레인 부재(290)의 외부에 제공된다.
한편, 제 1 세정 장치(270a)의 세정 블록(272) 내에 제공되는 분사노즐(274)에 의해 분사된 세정액에 의해 노즐부재(224) 상의 잔류 잉크 및 미세 이물(미도시)이 제거된다. 그 후 폐액은 세정 블록(272)의 하부면에 제공되는 제 1 폐액 배출구(292)를 통해 드레인 부재(290) 내로 배출된다. 그 후, 배출된 폐액은 드레인 부재(290)의 하부면에 제공되는 제 2 폐액 배출구(294) 및 제 2 폐액 배출구(294)에 연결된 폐액 회수관(295)을 통해 폐액 회수부재(296) 내로 회수된다.
당업자라면 상술한 본 발명에 기술된 세정액 공급유닛(276) 및 제 1 밸브(275)의 동작, CDA 또는 질소 공급장치(278) 및 제 2 밸브(277)의 동작, 평면 노즐(220)이 장착된 갠트리(230)를 상하 및 수평방향으로 이동하는 별도의 이송장치 (미도시)의 동작, 및 제 2 세정 부재(280)를 상승 및 하강시키는 구동유닛(288)의 동작은 하나의 중앙제어장치(예를 들어, 마이크로프로세서 또는 PC 등)에 의해 미리 정해진 프로그램에 따라 제어될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 방법을 도시한 플로우차트이다.
도 2 및 도 3a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐(220)의 세정 방법(300)은 a) 평면 노즐(220)의 노즐 부재(224)를 세정액을 분사하기 위한 분사노즐(274)을 구비하며, 노즐 부재(224)를 수용할 수 있는 수용부(271b)를 구비한 세정 블록(272) 상으로 하강시켜 밀착 접촉시키는 단계(310); b) 세정액 공급장치(276)로부터 세정액을 상기 노즐 부재(224)로 공급 및 분사하여 상기 노즐 부재(224)를 세정하는 단계(320); c) 상기 세정액의 공급을 중단하고, CDA 또는 질소 공급장치(278)로부터 CDA 또는 질소를 상기 노즐 부재(224)로 공급 및 분사하여 상기 노즐 부재(224) 상에 존재하는 세정액을 건조 및 제거하는 단계(330); d) 상기 평면 노즐(220)을 상승시킨 후 수평방향으로 이동하는 단계(340); 및 e) 상기 노즐 부재(224)를 제 2 세정 부재(280) 상에 제공되는 세정바(282)와 슬라이딩 방식으로 접촉시켜서 상기 노즐 부재(224)의 잔류 세정액을 제거하는 단계(350)를 포함한다.
도 3b는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 방법을 도시한 플로우차트이다.
도 2 및 도 3b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐(220)의 세정 방법(300)은 a) 평면 노즐(220)의 노즐 부재(224)를 세정액을 분사하기 위한 분사노즐(274)을 구비하며, 노즐 부재(224)를 수용할 수 있는 수용부(271b)를 구비한 세정 블록(272) 상으로 하강시켜 밀착 접촉시키는 단계(310); b) 세정액 공급장치(276)로부터 세정액을 상기 노즐 부재(224)로 공급 및 분사하여 상기 노즐 부재(224)를 세정하는 단계(320); c) 상기 세정액의 공급을 중단하고, CDA 또는 질소 공급장치(278)로부터 CDA 또는 질소를 상기 노즐 부재(224)로 공급 및 분사하여 상기 노즐 부재(224) 상에 존재하는 세정액을 건조 및 제거하는 단계(330); d) 상기 평면 노즐(220)을 상승시킨 후 수평방향으로 이동하는 단계(340); 및 e) 상기 노즐 부재(224)와 제 2 세정 부재(280) 상에 제공되는 세정바(282)를 상대적인 상하 이동을 통해 접촉시켜서 상기 노즐 부재(224)의 잔류 세정액을 제거하는 단계(350)를 포함한다.
상술한 도 3a 및 도 3b에 따른 본 발명의 실시예들에 따른 평면 노즐의 세정 방법들은 각각 상기 a) 단계 내지 상기 단계 d) 사이에 f) 상기 노즐부재(224)에 대한 1차 세정이 완료되기 전에, 상기 제 2 세정 부재(280)를 구동유닛(288)에 의해 미리 2차 세정 위치로 상승시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 평면 노즐의 세정 장치, 세정 시스템 및 세정 방법에서는, 안정적이고 충분한 세정력이 확보됨으로써 잔류 잉크와 미세 이물은 물론 잔류 세정액까지 충분히 제거될 수 있다.
또한, 평면 노즐의 고장 또는 수리 발생 가능성이 현저하게 줄어들어, 평면 노즐의 교체 또는 수리에 따른 비용이 절감된다.
아울러, 안정적이고 충분한 세정력을 갖춘 세정 장치 및 세정 시스템이 확보 되지 않아 현재까지 시험 제작 단계에 머물러 있던 평면 노즐의 양산이 가능하다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시 예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.
도 1a는 종래 기술에 따른 잉크젯 프린팅 장치의 사시도를 도시한 도면이다.
도 1b는 종래 기술에 따른 평면 노즐의 사시도가 개략적으로 도시되어 있다.
도 1c는 종래 기술에 따른 평면 노즐의 점접촉 방식에 따른 세정 장치의 개략적인 사시도를 도시한 도면이다.
도 1d는 도 1c에 도시된 점접촉 방식의 세정 장치에 의해 평면 노즐의 복수의 토출구를 세정하는 것을 도시한 확대 단면도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 장치 및 세정 시스템을 도시한 단면도이다.
도 2b는 도 2a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 장치 중 세정 블록이 노즐부재와 접촉된 상태를 도시한 단면도이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 방법을 도시한 플로우차트이다.
도 3b는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 평면 노즐의 세정 방법을 도시한 플로우차트이다.

Claims (17)

  1. 복수의 토출구가 형성된 노즐부재를 구비한 평면 노즐의 세정 장치에 있어서,
    상기 노즐부재를 분사 방식으로 세정하기 위한 제 1 세정 장치; 및
    상기 제 1 세정 장치에 의한 상기 노즐부재의 세정이 완료된 후, 상기 노즐부재에 잔류하는 잔류 세정액을 접촉 방식으로 제거하기 위한 제 2 세정 장치
    를 포함하는 평면 노즐의 세정 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 세정 장치는
    상기 노즐부재에 세정액을 분사하기 위한 분사노즐을 구비한 세정 블록;
    상기 분사노즐과 연결되며, 상기 분사노즐에 세정액, 또는 청정 공기(CDA) 또는 질소(N2)를 공급하는 공급관;
    제 1 밸브를 통해 상기 공급관과 선택적으로 연결되며, 상기 세정액을 상기 분사노즐에 공급하는 세정액 공급장치;
    제 2 밸브를 통해 상기 공급관과 선택적으로 연결되며, 상기 CDA 또는 질소(N2)를 상기 분사노즐에 공급하는 CDA 또는 질소 공급장치
    를 포함하고,
    상기 제 2 세정 장치는
    상기 노즐부재와 접촉하여 잔류 세정액을 제거하기 위한 세정바(cleaning bar);
    상기 세정바가 고정 장착되며, 상기 세정바의 조임 상태를 조정하는 조정부재를 구비한 고정 블록으로 구성되는 제 2 세정 부재;
    상기 제 2 세정 부재를 상하로 이동하도록 구동하는 구동유닛; 및
    상기 고정 블록을 지지하며, 상기 고정 블록과 상기 구동유닛을 연결하는 지지부재
    를 포함하는
    평면 노즐의 세정 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 세정 블록은 내부가 비어있으며(hollow), 하부면에 폐액을 배출하기 위한 제 1 폐액 배출구를 구비하고,
    상기 세정 블록은 상부면에 세정시 상기 폐액이 외부로 유출되지 않도록 상기 노즐부재를 수용할 수 있는 수용부를 구비하며,
    상기 세정바는 상부가 볼록한(concave) 형상을 구비하는
    평면 노즐의 세정 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 상부면은 고무 재질로 구현되고,
    상기 세정바는 탄성 재질로 구현되는
    평면 노즐의 세정 장치.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 제 1 세정 장치에 의해 상기 노즐부재에 대한 1차 세정이 완료되기 전에, 상기 제 2 세정 부재는 상기 구동유닛에 의해 미리 2차 세정 위치로 상승되는
    평면 노즐의 세정 장치.
  6. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 접촉 방식은 슬라이딩 접촉 방식이고,
    상기 평면 노즐은 이송장치에 의해 상승된 후, 수평 방향으로 이동하여 상기 노즐부재의 상기 잔류 세정액이 상기 세정바와 슬라이딩 방식으로 접촉하면서 제거되는
    평면 노즐의 세정 장치..
  7. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 접촉 방식은 상하 접촉 방식이고,
    상기 평면 노즐은 이송장치에 의해 상승 및 수평 방향으로 이동한 후, 상기 노즐부재와 상기 세정바가 상하 방향으로 상대적으로 이동하여 상기 잔류 세정액이 상기 세정바에 접촉하면서 제거되는
    평면 노즐의 세정 장치.
  8. 평면 노즐의 세정 시스템에 있어서,
    복수의 토출구가 형성된 노즐부재를 구비한 평면 노즐에 세정액을 공급하여 상기 노즐부재를 분사방식으로 세정하기 위한 제 1 세정 장치, 및 상기 제 1 세정 장치에 의한 상기 노즐부재의 세정이 완료된 후, 상기 노즐부재에 잔류하는 잔류 세정액을 접촉 방식으로 제거하기 위한 제 2 세정 장치를 포함하는 세정 장치;
    상기 제 1 세정 장치의 일부 및 상기 제 2 세정 장치의 일부를 수용하며, 하부면에 상기 제 1 세정 장치로부터 배출되는 폐액을 배출하기 위한 제 2 폐액 배출구를 구비하는 드레인 부재; 및
    폐액 회수관을 통해 상기 제 2 폐액 배출구와 연결되며, 상기 폐액을 회수하는 폐액 회수부재
    를 포함하는 평면 노즐의 세정 시스템.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 제 1 세정 장치는
    상기 노즐부재에 세정액을 분사하기 위한 분사노즐을 구비한 세정 블록;
    상기 분사노즐과 연결되며, 상기 분사노즐에 세정액, 또는 청정 공기(CDA) 또는 질소(N2)를 공급하는 공급관;
    제 1 밸브를 통해 상기 공급관과 선택적으로 연결되며, 상기 세정액을 상기 분사노즐에 공급하는 세정액 공급장치;
    제 2 밸브를 통해 상기 공급관과 선택적으로 연결되며, 상기 CDA 또는 질소(N2)를 상기 분사노즐에 공급하는 CDA 또는 질소 공급장치
    를 포함하고,
    상기 제 2 세정 장치는
    상기 노즐부재와 접촉하여 잔류 세정액을 제거하기 위한 세정바(cleaning bar);
    상기 세정바가 고정 장착되며, 상기 세정바의 조임 상태를 조정하는 조정부재를 구비한 고정 블록으로 구성되는 제 2 세정 부재;
    상기 제 2 세정 부재를 상하로 이동하도록 구동하는 구동유닛; 및
    상기 고정 블록을 지지하며, 상기 고정 블록과 상기 구동유닛을 연결하는 지지부재
    를 포함하며,
    상기 드레인 부재는 상기 세정 블록, 및 상기 제 2 세정 부재를 각각 수용하고,
    상기 세정액 공급장치 및 상기 CDA 또는 질소 공급장치와 상기 구동유닛은 상기 드레인 부재의 외부에 제공되는
    평면 노즐의 세정 시스템.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 세정 블록은 내부가 비어있으며(hollow), 하부면에 상기 폐액을 배출하기 위한 제 1 폐액 배출구를 구비하고,
    상기 세정 블록은 상부면에 세정시 상기 폐액이 외부로 유출되지 않도록 상기 노즐부재를 수용할 수 있는 수용부를 구비하며,
    상기 세정바는 상부가 볼록한(concave) 형상을 구비하고,
    상기 폐액은 상기 제 1 폐액 배출구, 상기 제 2 폐액 배출구, 및 상기 폐액 회수관을 통해 상기 폐액 회수부재 내로 회수되는
    평면 노즐의 세정 시스템.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 상부면은 고무 재질로 구현되고,
    상기 세정바는 탄성 재질로 구현되는
    평면 노즐의 세정 시스템.
  12. 제 19항에 있어서,
    상기 제 1 세정 장치에 의해 상기 노즐부재에 대한 1차 세정이 완료되기 전에, 상기 제 2 세정 부재는 상기 구동유닛에 의해 미리 2차 세정 위치로 상승되는
    평면 노즐의 세정 시스템.
  13. 제 8항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 접촉 방식은 슬라이딩 접촉 방식이고,
    상기 평면 노즐은 이송장치에 의해 상승된 후, 수평 방향으로 이동하여 상기 노즐부재의 상기 잔류 세정액이 상기 세정바와 슬라이딩 방식으로 접촉하면서 제거되는
    평면 노즐의 세정 시스템.
  14. 제 8항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 접촉 방식은 상하 접촉 방식이고,
    상기 평면 노즐은 이송장치에 의해 상승 및 수평 방향으로 이동한 후, 상기 노즐부재와 상기 세정바가 상하 방향으로 상대적으로 이동하여 상기 잔류 세정액이 상기 세정바에 접촉하면서 제거되는
    평면 노즐의 세정 시스템.
  15. 평면 노즐의 세정 방법에 있어서,
    a) 상기 평면 노즐의 노즐 부재를 세정액을 분사하기 위한 분사노즐을 구비하며, 상기 노즐 부재를 수용할 수 있는 수용부를 구비한 세정 블록 상으로 하강시켜 밀착 접촉시키는 단계;
    b) 세정액 공급장치로부터 상기 세정액을 상기 노즐 부재로 공급 및 분사하여 상기 노즐 부재를 세정하는 단계;
    c) 상기 세정액의 공급을 중단하고, CDA 또는 질소 공급장치로부터 CDA 또는 질소를 상기 노즐 부재로 공급 및 분사하여 상기 노즐 부재 상에 존재하는 세정액을 건조 및 제거하는 단계;
    d) 상기 평면 노즐을 상승시킨 후 수평방향으로 이동하는 단계; 및
    e) 상기 노즐 부재를 제 2 세정 부재 상에 제공되는 세정바와 슬라이딩 방식으로 접촉시켜서 상기 노즐 부재의 잔류 세정액을 제거하는 단계
    를 포함하는 평면 노즐의 세정 방법.
  16. 평면 노즐의 세정 방법에 있어서,
    a) 상기 평면 노즐의 노즐 부재를 세정액을 분사하기 위한 분사노즐을 구비하며, 상기 노즐 부재를 수용할 수 있는 수용부를 구비한 세정 블록 상으로 하강시켜 밀착 접촉시키는 단계;
    b) 세정액 공급장치로부터 상기 세정액을 상기 노즐 부재로 공급 및 분사하여 상기 노즐 부재를 세정하는 단계;
    c) 상기 세정액의 공급을 중단하고, CDA 또는 질소 공급장치로부터 CDA 또는 질소를 상기 노즐 부재로 공급 및 분사하여 상기 노즐 부재 상에 존재하는 세정액을 건조 및 제거하는 단계;
    d) 상기 평면 노즐을 상승시킨 후 수평방향으로 이동하는 단계; 및
    e) 상기 노즐 부재와 제 2 세정 부재 상에 제공되는 세정바를 상대적인 상하 이동을 통해 접촉시켜서 상기 노즐 부재의 잔류 세정액을 제거하는 단계
    를 포함하는 평면 노즐의 세정 방법.
  17. 제 15항 또는 제 16항에 있어서,
    상기 평면 노즐의 세정 방법은 상기 a) 단계 내지 상기 단계 d) 사이에 f) 상기 노즐부재에 대한 1차 세정이 완료되기 전에, 상기 제 2 세정 부재를 구동유닛에 의해 미리 2차 세정 위치로 상승시키는 단계를 추가로 포함하는 평면 노즐의 세정 방법.
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