JP5283756B2 - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents

Description

本発明は、塗布装置および塗布方法に関し、特に、基板に溶液をインクジェット方式によって塗布する塗布装置および塗布方法に関する。さらには、本発明は、液晶パネルの配向膜などをインクジェット方式によって形成する塗布装置および塗布方法に関する。
なお、本出願は２００９年９月１７日に出願された日本国特許出願２００９−２１５６８３号に基づく優先権を主張しており、その出願の全内容は本明細書中に参照として組み入れられている。

液晶表示装置の構成部品である液晶パネルは、一対の基板を所定のギャップを確保した状態で対向させた構造を有している。この基板間のギャップには、液晶分子を含む液晶層が封入されている。また、両基板の液晶層側の表面には、液晶分子を配向させる配向膜が形成されている。

この配向膜は、ポリイミドを含んだ溶液を基板の表面に塗布することによって形成される。ポリイミド溶液を基板に塗布する方法としては、スピンコート法およびスプレー法の他に、インクジェット法が提案されている（例えば、特許文献１、２など）。

特開２００７−２６４５９７号公報 特開２００６−２４８１０２号公報

インクジェット法によって配向膜を形成する場合、インクジェットヘッド塗布装置から塗布液（例えば、ポリイミド溶液）を基板の表面に吐出することによって配向膜の塗布が行われる。ここで、インクジェットヘッド塗布装置の吐出に異常が生じる状態で塗布工程を実行すると、配向膜が形成されない部分、または、不均一に塗布される部分が発生する。

そのような不具合が生じないように、本願発明者らは、インクジェットヘッド塗布装置による塗布工程を実行する前に、吐出確認工程を実行している。そして、吐出確認工程で吐出が正常であると認められた後に、塗布工程を行うことによって配向膜の形成を実行している。

図１（ａ）および（ｂ）は、本願発明者が検討した吐出確認工程を説明するための図である。図１（ａ）は、インクジェットヘッド１０００を側面から見た工程図（模式図）であり、一方、図１（ｂ）は、インクジェットヘッド１０００を上面から見た工程図（模式図）である。

図１（ａ）に示すように、吐出確認工程では、インクジェットヘッド１０００のノズル１１００から、液滴１２００（例えば、ポリイミド溶液）が吐出される。図１（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド１０００は、テーブル１５００の上に載置された基板１９００の上方からは外れた場所に配置されており、吐出確認工程で吐出された液滴１２００は、基板１９００の上には塗布されずに、図１（ａ）に示すように、液滴受け部１３００で受け止められる。

吐出確認工程では、吐出された液滴１２００が液滴受け部１３００で飛散して、飛沫１２１０になる場合がある。この飛沫１２１０が、矢印１２５０のように移動して基板１９００の上に付着すると、付着物１２２０になる。このような付着物１２２０が存在すると、配向膜の厚さが不均一になるので好ましくない。また、飛沫１２１０が液体のまますぐに基板１９００の上に付着した場合には問題が少ないが、一度乾燥してから、基板１９００の上に付着すると、その付着物（異物）１２２０は画素不良の原因に成り得るので、さらに好ましくない。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、吐出確認工程に発生し得る飛沫を抑制することができる塗布装置および塗布方法を提供することにある。

本発明に係る塗布装置は、基板に溶液をインクジェット方式によって塗布する塗布装置であり、前記基板に前記溶液を吐出するノズルを含むインクジェットヘッドと、前記ノズルから吐出される溶液を受け止める溶液受け部とを備え、前記溶液受け部は、前記溶液を通過させる開口部を上面に有する容器部と、前記容器部の開口部を狭める開口縮小部とから構成されている。
ある好適な実施形態において、前記開口縮小部の開口端部と前記ノズルとを結ぶ線と、垂線とが成す角度が、１５°以上４５°以下である。
ある好適な実施形態において、前記容器部は、上面が開口した直方体形状を有しており、前記開口縮小部は、前記直方体形状の上端に設けられた傾斜面である。
ある好適な実施形態において、前記容器部の内部には、多孔質部材が配置されている。
ある好適な実施形態では、さらに、前記基板を保持するステージユニットを備え、前記基板は、液晶パネル用のガラス基板であり、前記溶液は、ポリイミド液である。
本発明に係る塗布方法は、基板に溶液をインクジェット方式によって塗布する塗布方法であり、ノズルを用いて前記基板に対して溶液を吐出する工程と、前記基板に対して溶液を吐出する前に、前記ノズルから吐出される溶液を受け止める溶液受け部に向けて前記溶液を吐出する吐出確認工程とを含み、前記溶液受け部には、前記溶液受け部の外に前記溶液が飛散することを防止する飛散防止部材を設けられていることを特徴とする。
ある好適な実施形態において、前記溶液受け部は、前記溶液を通過させる開口部を上面に有する容器部であり、前記飛散防止部材は、前記容器部の開口部の開口を狭める開口縮小部から構成されている。
ある好適な実施形態において、前記基板は、液晶パネル用のガラス基板であり、前記基板に対して吐出する工程において、配向膜が形成される。

本発明によれば、インクジェットヘッドのノズルから吐出される溶液を受け止める溶液受け部が、開口部を上面に有する容器部と、開口部を狭める開口縮小部とから構成されているので、溶液を溶液受け部に向けて吐出する際に、溶液の飛沫が溶液受け部から外に飛び散るのを抑制することができる。その結果、薄膜（例えば、配向膜）を良好に形成することが可能となる。

（ａ）は、吐出確認工程におけるインクジェットヘッド１０００を側面から見た工程図であり、（ｂ）は、インクジェットヘッド１０００を上面から見た工程図である。 本発明の実施形態に係る塗布装置１００の構成を説明するための側面図である。 本発明の実施形態に係る塗布装置１００の改変例を模式的に示した図である。 本発明の実施形態に係るヘッドユニット１０の一例を示す側面図である。 本発明の実施形態に係る塗布装置１００の構成の一例を模式的に示す図である。 本発明の実施形態に係る溶液受け部２０の一例を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る溶液受け部２０の一例を示す斜視図である。 ノズル１２と溶液受け部２０Ａとの関係を説明するための図である。 本発明の実施形態に係る溶液受け部２０の一例を示す斜視図である。 ノズル１２と溶液受け部２０との関係を説明するための図である。 ノズル１２と溶液受け部２０Ｂとの関係を説明するための図である。 ノズル１２と溶液受け部２０Ｃとの関係を説明するための図である。 本発明の実施形態に係る溶液受け部２０の改変例を示す断面図である。 （ａ）から（ｃ）は、本発明の実施形態に係る塗布方法について説明する工程図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。以下の図面においては、説明の簡潔化のために、実質的に同一の機能を有する構成要素を同一の参照符号で示す。なお、本発明は以下の実施形態に限定されない。

図２は、本実施形態の塗布装置１００の構成を模式的に示している。本実施形態の塗布装置１００は、基板に溶液をインクジェット方式によって塗布する装置（インクジェット塗布装置）である。

本実施形態の塗布装置１００は、基板に溶液（液滴）１６を吐出するノズル１２を含むインクジェットヘッド１１と、ノズル１２から吐出される溶液１６を受け止める溶液受け部２０とから構成されている。溶液受け部２０は、溶液１６を通過させる開口部２５を上面に有する容器部２１と、容器部２１の開口部２５を狭める開口縮小部２２とから構成されている。溶液受け部２０は、例えば、樹脂材料または金属材料から構成されている。

本実施形態の塗布装置１００を用いて薄膜（例えば、配向膜）を形成する場合、ノズル１２から吐出される溶液１６は、基板（例えば、ガラス基板）の表面に塗布される。そして、本実施形態では、基板の表面に塗布する前に、ノズル１２からの溶液１６の吐出が正常か否かを確認する。そのため、吐出確認の際に、ノズル１２から吐出される溶液１６を受けるために溶液受け部２０が用いられる。

吐出確認の工程において、ノズル１２から吐出された溶液（液滴）１６は、溶液受け部２０の容器部２１の底面２１ｂで弾かれた後、溶液１６の一部は飛沫１８となる。その飛沫１８の大半は、側面（側壁）２１ａおよび底面２１ｂからなる容器部２１の内部に留まることになるが、飛沫１８の一部は、側面２１ａの上端で囲まれた開口部２５から、矢印１９に示すように出ようとする。本実施形態の構成においては、容器部２１には開口部２５を狭める開口縮小部２２が設けられているので、その開口縮小部２２が飛散防止部材として機能し、飛沫１８が、溶液受け部２０の外に飛散することを抑制することができる。

また、本実施形態の塗布装置１００における溶液受け部２０は、図３に示すように改変することが可能である。図３に示した溶液受け部２０は、容器部２１の内部に、多孔質部材（スポンジ）２９が配置されている。この多孔質部材（スポンジ）２９によって、溶液１６から飛沫１８が発生することを抑制している。

また、この例では、溶液受け部２０の開口縮小部２２の上端によって規定された開口部２５ｂを狭める延長部２３が、開口縮小部２２の一部（上端）に設けられている。この延長部２３によって、飛沫１８が、溶液受け部２０の外に飛散することを更に抑制することができる。

次に、図４および図５を参照しながら、本実施形態の塗布装置１００の構成の一例をさらに説明する。図４は、本実施形態のヘッドユニット１０の一例を示す側面図であり、そして、図５は、本実施形態のインクジェット塗布装置１００の構成の一例を模式的に示す図である。

図４に示したヘッドユニット１０は、基板に溶液を吐出するノズル１２が形成されたヘッド（インクジェットヘッド）１１を備えている。ヘッド１１は、ノズル１２から溶液（液滴）１６が吐出される面（吐出面）１２ａを有している。１個のヘッド１１には、１つ又は複数のノズル１２が形成されており、図４に示した例では、２個のヘッド１１がヘッドカバー１３に収納された構造を示している。

そして、図５に示したインクジェット塗布装置１００は、インクジェットヘッド１１を含むヘッドユニット１０と、溶液受け部２０とから構成されている。また、ノズル１２から吐出された溶液（塗布液）によって塗布が実行される基板９０は、ステージユニット３０にて保持される。

この例では、溶液受け部２０は、ヘッド１１のノズル１２をワイピングするワイピングユニット５０に隣接して配置されている。ワイピングユニット５０は、ヘッド１１のノズル１２をワイピングする拭取り部（例えば、弾性体ブレード）５２を備えている。拭取り部５２は、インクジェットヘッドの吐出面に残存する塗布液（例えば、ポリイミド溶液）をワイピングすることによって取り除くものである。さらに説明すると、インクジェットヘッド１１のノズル１２の吐出面１２ａに、溶液（塗布液）が残留していると、ノズル１２の吐出口（オリフィス）の液面が不均一になり、その結果、ノズル１２から吐出される液滴が安定しなくなる。それゆえ、前回の塗布工程が終了したら、次の塗布工程を実行する前に、ノズル１２のワイピングが実行される。なお、拭取り部５２は、弾性体ブレードに限らず、塗布液を吸収可能な吸水シートを用いることも可能である。

また、本実施形態では、ヘッドユニット１０と溶液受け部２０（及びワイピングユニット５０）とステージユニット３０とは、フィルタ付きのクリーンルーム（不図示）内に設置されている。ヘッドユニット１０は、溶液（塗布液）を貯蔵するタンクユニット（不図示）と接続されており、タンクユニットからヘッドユニット１０に溶液（塗布液）が供給される。また、インクジェット塗布装置１００の塗布工程および吐出確認工程は、クリーンルームの外に配置されたコンピュータ（例えば、パーソナルコンピュータ）によって制御することができる。

ヘッドユニット１０におけるインクジェットヘッド１１は、ノズル１２から溶液（塗布液）を吐出することができる。基板９０の上に配向膜を形成する場合、使用する溶液（塗布液）は、例えば、ポリイミド液である。なお、基板９０の上に形成する膜（機能膜）によって、使用する溶液は変更される。基板９０上に形成される膜（機能膜）としては、例えば、レジスト膜、導電膜、絶縁膜などが挙げられ、その膜に対して必要な溶液が使用されることになる。

ノズル１２からの溶液で成膜される基板９０は、ステージユニット３０のステージ３２の上に載置される。ステージ３２には、基板９０のためのリフトピン３４が設けられており、リフトピン３４によって基板９０を移動することができる。また、ステージユニット３０は、基板９０をステージ３２に載置した状態で移動可能なステージ移動機構３５を備えている。ステージ移動機構３５によって、インクジェットヘッド１１のノズル１２の直下に基板９０を移動させることができる。

基板９０は、例えば、ガラス基板であり、本実施形態における基板９０は、液晶パネル用のガラス基板である。また、基板９０は、液晶パネルの寸法に切り出す前のマザーガラスであってもよいし、切り出した後の液晶パネルのサイズのガラスであってもよい。さらに、基板９０は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が作製されるアレイ基板（またはその作製途中のもの）であってもよいし、カラーフィルタ（ＣＦ）が形成されるＣＦ基板（またはその作製途中のもの）であってもよい。なお、基板９０は、ガラス基板の他、樹脂基板や、ウェハのような他の薄板であっても構わない。加えて、液晶パネル用の基板９０に限らず、ＰＤＰ、有機ＥＬパネル、その他フラットパネルディスプレイまたは電子デバイスを製作する上での薄型の基板であってもよい。

また、インクジェットヘッド１１のノズル１２からの溶液の吐出が正常であるか異常であるかは、作業者の目視による方法、カメラ等の撮像装置を用いた画像処理による方法などを用いて行うことができる。

図６は、本実施形態の溶液受け部２０の一例を示す斜視図である。図６に示した溶液受け部２０は、直方体形状の容器部２１と、傾斜面の開口縮小部２２とから構成されている。具体的には、容器部２１は、上面が開口した直方体形状を有しており、開口縮小部２２は、直方体形状の上端２１ｃに設けられた傾斜面で構成されている。したがって、容器部２１の開口部２５は、開口縮小部２２である傾斜面によって狭められる。そして、開口縮小部２２によって、溶液受け部２０の外に溶液が飛散することを防止することができる。

溶液受け部２０の長手方向長さＬは、ヘッド１１の長さに応じて決定される。例えば、基板９０がマザーガラスであり、ヘッド１１の長さ（長手方向長さ）がその基板９０の幅に対応している場合には、溶液受け部２０の長さＬは長いものにすることができる。なお、複数の溶液受け部２０を直列に並べて、ヘッド１１の長さに対応させることも可能である。

加えて、溶液受け部２０における開口縮小部２２の端部２２ｅ間の距離Ｗｔは、ヘッド１１との距離によって決定される。ヘッド１１と溶液受け部２０との距離（特に、ヘッド１１の吐出面１２ａと、開口縮小部２２の端部２２ｅが位置する面との間隔）が短い場合には、開口縮小部２２の端部２２ｅ間の距離Ｗｔは、狭くすることができるし、一方、ヘッド１１と溶液受け部２０との距離が長い場合には、開口縮小部２２の端部２２ｅ間の距離Ｗｔを広くすることが望ましい。これは、ヘッド１１および溶液受け部２０が存在する領域（例えば、クリーンルーム７０内）には気流が発生しており、その気流で、ヘッド１１から吐出された液体（液滴）１６は流され、ヘッド１１の直下に進まない場合があることが本願発明者によって知見されている。そのことを考慮すると、端部２２ｅ間の距離Ｗｔ（すなわち、溶液受け部２０の最上部の開口を規定する距離）は、ヘッド１１のノズル１２の位置に加えて、気流によって流されて生じる移動量も計算した上で決定されることが望ましい。この例では、開口縮小部２２によって規定された幅Ｗｔは６０ｍｍであり、また、容器部２１における幅Ｗｂは１５０ｍｍである。

図６に示した例では、直方体形状の容器部２１を含む溶液受け部２０を示したが、溶液受け部２０の形態はそれに限らず他のものを採用することができる。例えば、図７に示すように、円筒形の容器部２１を含む溶液受け部２０にすることも可能である。図７に示した溶液受け部２０では、円筒形の容器部２１の上端に、上部が開口した略円錐形の傾斜面（開口縮小部）２２が形成されている。なお、溶液受け部２０は、ノズル１２の直下に配置されていればよいので、ヘッド１１が長い場合であっても、そのヘッド１１に配列されたノズル１２の下に、図７に示したような溶液受け部２０を配列させることによって、特に問題なく、吐出確認工程において溶液１６を受けることができる。

図８は、ヘッド１１のノズル１２と、溶液受け部２０（２０Ａ）における開口縮小部２２の端部２２ｅとの関係（特に、角度φ）について説明する図である。

ノズル１２と溶液受け部２０Ａとを所定の距離Ｄ（例えば、５０ｍｍ以下）で、ヘッド１１と溶液受け部２０Ａとを配置した場合に、ノズル１２から直下に液滴１６が落ちる場合には、垂線（鉛直方向）２６に沿って矢印１６ａのように進む。しかしながら、本実施形態のような製造装置はクリーンルーム内に設置されており、クリーンルーム内には空気の流れ（気流）が発生している。この気流によって、ノズル１２から直下に吐出された液滴１６が流されたりする場合があり、矢印１６ｂのように進む。特に、吐出された液滴がミストの形態で拡散した場合には、さらに気流に流されやすく、広く拡散してしまう。また、溶液受け部２０Ａ内で跳ね返った液滴が、ミスト状態となり前記気流に流されたりする可能性がある。よって、吐出確認の際に、確実に、ノズル１２から吐出された液滴１６を溶液受け部２０で受け止めるには、矢印１６ｂの軌跡を予測して、開口縮小部（傾斜面）２２が位置する場所（または、開口縮小部２２が延びる長さや角度）を決定することが好ましい。

付言すると、溶液受け部２０の外に出た液滴１６の飛沫・ミストが、液体のまま、塗布したい基板９０の上に少量だけ付着するのであれば、塗布工程においてその影響は少ない。しかしながら、溶液受け部２０の外に出た液滴１６の飛沫・ミストが、乾燥して固形化した後、異物となって、基板９０の上に付着するとすれば、製造プロセスにおける歩留まりの低下の一要因となるので、好ましくない。それゆえに、ヘッド１１（またはノズル１２）と溶液受け部２０との適切な距離Ｄ、開口縮小部（傾斜面）２２が位置する場所を決定して、それを踏まえた溶液受け部２０を構築することが望ましい。

より具体的には、開口縮小部２２の端部２２ｅとノズル１２とを結ぶ線２７と、垂線２６とが成す角度φを好適なものにすることが望ましい。線２７と垂線２６とによる角度φは、例えば、１５°以上にすることが好ましい。これは、角度φが１５°未満であると、ノズル１２から直下に液滴１６（あるいは、ミストの形態になったもの）が矢印１６ｂのように進んだときに、溶液受け部２０Ａの外に出てしまう可能性が高くなるためである。また、角度φが４５°を越えた場合、液滴１６が矢印１６ｂのように進んだときも、溶液受け部２０Ａで受け止めることができるが、次のような問題が生じる可能性がある。すなわち、角度φが４５°を越えた場合、溶液受け部２０Ａの開口部２５が大きくなりすぎて、一旦、溶液受け部２０Ａ内に入った液滴１６が跳ね返って外に出てしまったり、ミスト状態のものが外に出てしまったりする可能性が出てくる。

また、開口縮小部２２が延びる方向は、角度φによって規定することができるので、開口縮小部２２は、傾斜面でなくても、図９に示すように、水平面であっても構わない。さらに図１０を参照して説明すると、開口縮小部２２の端部２２ｅが好適な位置になるように、例えば、角度φが１５°〜４５°になるように、溶液受け部２０または開口縮小部２２を構築すればよい。なお、図８に示すように開口縮小部２２を傾斜面にすると、開口縮小部２２が水平面である場合（図１０参照）と比較して、角部の清掃が容易となるという利点がある。

図１１では、溶液受け部２０Ｂの内部に、ヘッド１１の先端（ノズル１２）を挿入した場合について示している。この例でも、溶液受け部２０Ｂには開口縮小部２２が設けられているので、液滴１６が飛散することを抑制することができる。しかしながら、この場合、吐出確認の際に、吐出される液滴１６を目視あるいは撮像などすることができず、吐出が良好か否かを確認することができない。溶液受け部２０Ｂが透明な材料から構成されていたとしても、液滴１６の影響によって曇るため、吐出の確認を行うことは困難である。

また、図１２に示すように、溶液受け部２０Ｃとヘッド１１の先端（ノズル１２）との間に距離Ｄが近い場合、開口縮小部（傾斜面）２２が、吐出される液滴１６の目視や撮像などを阻害してしまうことがある。したがって、ノズル１２から吐出される液滴１６を目視や撮像などするためには、ノズル（吐出口）１２と溶液受け部２０の間隔Ｄは、少なくとも１０ｍｍ（一例として、５０ｍｍ）にすることが好ましい。なお、基板へ液滴を塗布する場合は、ノズル１２と基板９０の間隔は、数ｍｍでよく、例えば、２〜５ｍｍの間隔を空けて吐出塗布を行うことができる。

溶液受け部２０は、例えば、図１３に示すように改変することも可能である。図１３に示した溶液受け部２０では、容器部２１の内部に、液滴１６のドレイン用部材８０を設けた構造を有している。この構造では、ノズル１２から吐出された液滴１６は、ドレイン用部材（傾斜板）８０に当たり、そこで液滴８１となり、その後は、矢印８２のように進む。次いで、容器部２１の一部に取り付けられたドレイン用配管８３の中を進み、次いで、矢印８４に示すように回収容器８５で回収される。回収容器８５中の液体８６は、所定時間経過後に廃棄すればよい。なお、液滴１６からの飛沫の発生を抑制するために、ドレイン用部材（傾斜板）の上に、多孔質材料（スポンジ）を配置することも可能である。さらには、液滴１６からの飛沫が溶液受け部２０の外へ出ないようにするために、溶液受け部２０の底面２１ｂから吸引（矢印８８）する構成を採用してもよい。

次に、図１４（ａ）から（ｃ）を参照しながら、本実施形態の塗布方法について説明する。図１４（ａ）から（ｃ）は、本実施形態の塗布方法を説明するための工程図である。

まず、図１４（ａ）に示すように、これから塗布を実行する基板９０をステージ３２の上に配置する。この基板９０を準備した状態で、必要であれば、ワイピングユニット５０（図５参照）を用いてインクジェットヘッド１１のワイピングを行って、ノズル１２の吐出面１２ａに残留している溶液（塗布液）の拭き取りを行う。

次に、図１４（ｂ）に示すように、ノズル１２の下に溶液受け部２０を配置した後、インクジェットヘッド１１のノズル１２から溶液（塗布液）１６を吐出する。この吐出確認工程では、溶液１６の吐出が正常か異常であるかを、目視や撮像などによって確認する。

本実施形態では、溶液受け部２０に飛散防止部材（開口縮小部）２２が設けられているので、吐出確認の際にノズル１２から吐出された溶液１６が、溶液受け部２０の外に飛散することを抑制することができる。また、この例では、２つのノズル１２から吐出される溶液１６を１つの溶液受け部２０で受ける構成にしているので、飛散防止部材（開口縮小部）２２は、各ノズル１２の位置を基準にした角度φによって決定されている。

溶液１６の吐出が正常と判断された後は、図１４（ｃ）に示すように、インクジェットヘッド１１のノズル１２から溶液１６を吐出することによって、基板９０上に機能膜（例えば、ポリイミドからなる配向膜）を形成する。具体的には、ステージ３２上に配置された基板９０を移動させて（矢印５５参照）、所定領域に機能膜を形成していく。なお、基板９０を移動させる手法に限らず、インクジェットヘッド１１を移動させて、機能膜を形成しても構わない。また、インクジェットヘッド１１による機能膜の形成が完了した後に、次の成膜工程を実行する場合には、再び、図１４（ａ）に示した状態になり、ワイピング工程の後、図１４（ｂ）に示した吐出確認工程が実行される。

本実施形態の塗布方法によれば、ノズル１２を用いて基板９０に溶液（塗布液）１６を吐出する工程と、基板９０に対して溶液１６を吐出する前に、溶液１６を溶液受け部２０に向けて吐出する吐出確認工程とを実行する。この吐出確認工程では、溶液受け部２０に、飛散防止部材（開口縮小部）２２を設けているので、吐出確認の際に、溶液１６の飛沫が溶液受け部２０から外に飛び散るのを抑制することができる。その結果、薄膜（例えば、配向膜）を良好に形成することが可能となる。具体的には、配向膜の歩留まりの低下を抑制することができ、ひいては、液晶パネルの製造コストの増大を抑制することができる。

以上、本発明を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、勿論、種々の改変が可能である。

本発明によれば、吐出確認工程に発生し得る飛沫を抑制することができる塗布装置および塗布方法を提供することができる。

１０ ヘッドユニット
１１ ヘッド（インクジェットヘッド）
１２ ノズル
１２ａ 吐出面
１３ ヘッドカバー
１６ 溶液（液滴）
１８ 飛沫
２０ 溶液受け部
２１ 容器部
２１ａ 側面
２１ｂ 底面
２１ｃ 上端
２２ 開口縮小部
２２ｅ 開口縮小部の端部
２３ 延長部
２５ 開口部
２９ 多孔質部材
３０ ステージユニット
３２ ステージ
３４ リフトピン
３５ ステージ移動機構
５０ ワイピングユニット
５２ 拭取り部
８０ ドレイン用部材
８１ 液滴
８３ ドレイン用配管
８５ 回収容器
８６ 液体
９０ 基板
１００ 塗布装置（インクジェット塗布装置）
１０００ インクジェットヘッド
１１００ ノズル
１２００ 液滴
１２１０ 飛沫
１２２０ 付着物
１３００ 液滴受け部
１５００ テーブル
１９００ 基板

Claims (8)

1. 基板に溶液をインクジェット方式によって塗布する塗布装置であって、
   前記基板に前記溶液を吐出するノズルを含むインクジェットヘッドと、
   前記ノズルから吐出される溶液を受け止める溶液受け部と
   を備え、
   前記溶液受け部は、
   前記溶液を通過させる開口部を上面に有する容器部と、
   前記容器部の開口部を狭める開口縮小部と
   から構成されている、塗布装置。
2. 前記開口縮小部の開口端部と前記ノズルとを結ぶ線と、垂線とが成す角度が、１５°以上４５°以下であることを特徴とする、塗布装置。
3. 前記容器部は、上面が開口した直方体形状を有しており、
   前記開口縮小部は、前記直方体形状の上端に設けられた傾斜面である、請求項１または２に記載の塗布装置。
4. 前記容器部の内部には、多孔質部材が配置されている、請求項１から３の何れか一つに記載の塗布装置。
5. さらに、前記基板を保持するステージユニットを備え、
   前記基板は、液晶パネル用のガラス基板であり、
   前記溶液は、ポリイミド液である、請求項１から４の何れか一つに記載の塗布装置。
6. 基板に溶液をインクジェット方式によって塗布する塗布方法であって、
   ノズルを用いて前記基板に対して溶液を吐出する工程と、
   前記基板に対して溶液を吐出する前に、前記ノズルから吐出される溶液を受け止める溶液受け部に向けて前記溶液を吐出する吐出確認工程と
   を含み、
   前記溶液受け部には、前記溶液受け部の外に前記溶液が飛散することを防止する飛散防止部材が設けられていることを特徴とする、塗布方法。
7. 前記溶液受け部は、前記溶液を通過させる開口部を上面に有する容器部であり、
   前記飛散防止部材は、前記容器部の開口部の開口を狭める開口縮小部から構成されている、請求項６に記載の塗布方法。
8. 前記基板は、液晶パネル用のガラス基板であり、
   前記基板に対して吐出する工程において、配向膜が形成される、請求項６または７に記載の塗布方法。

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