KR20110069025A - 제어할 수 있는 넓은 크기 분포와 최소 입자 크기를 지니는 실리카졸의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

제어할 수 있는 넓은 크기 분포와 제어할 수 있는 최소 입자 크기를 지니는 콜로이드성 실리카를 개시하고 청구한다. 미리 설정한 크기 미만의 입자들은 본 발명의 콜로이드성 실리카 생성물에서 제외된다. 이러한 바람직한 콜로이드성 조성물을 연속적으로 제조하는 방법도 개시하는데, 이 방법은 상기 콜로이드성 실리카 생성물의 입자 크기를 제어하는 표면적을 지니는, 사전에 형성된 실리카 입자를 제공하는 단계와 알칼리성 용액과 규산염을 함유하는 실리카 투입물을 핵 형성 속도보다 느린 속도로 부가하는 단계를 포함한다.

Description

제어할 수 있는 넓은 크기 분포와 최소 입자 크기를 지니는 실리카졸의 제조 방법{Method of Producing Silica Sols with Controllable Broad Size Distribution and Minimum Particle Size}

본 발명은 연속 공정으로 제조하는, 입자 크기 분포가 넓은 콜로이드성 실리카졸에 관한 것이다. 더 구체적으로 본 발명은 미리 설정한 최소 입자 크기와 바람직한 입자 크기 분포 곡선을 가지며 여러 개의 반응기를 사용하지 않고 제조한 실리카졸에 관한 것이다.

본 발명은 현재 출원 계속 중인 2005년 8월 10일자 미국 특허 출원 제11/200,998호 "Silica Sols with Controlled Minimum Particle Size and Preparation Thereof"의 일부 계속 출원(continuation-in-part)이며, 이 출원의 전문은 인용으로써 본 출원에 포함된다.

응집되지 않은(non-agregated) 구형 입자를 지니는 실리카졸을 제조하는 것은 잘 알려져 있다. 이러한 실리카졸을 제조하는 방법은 규산염(silicate, 때로는 규산(silicic acid)으로 일컫기도 함)의 산성 활성 용액을 사용하고 고온의 알칼리수계 매질 속에서 입자를 성장시키는 것을 포함한다. 이렇게 하여 얻는 용액은 농도가 낮고 판매 전에 보통 추가 농축을 거치는 것이 전형적인 경우이다. 한 가지 대안적인 방법은 실리카 입자들이 성장 중(즉 반응 도중)일 때 증발로써 농축하는 것이다.

입자를 성장시키는 전형적인 수단은 뱃치 기반 방식 또는 연속 시스템을 통한 방법이다. 뱃치 기반 기법은 보통 분포가 좁은 입자를 만든다. 연속 시스템은 전형적으로 분포가 넓은 입자를 만든다. 양호하게 입자 크기를 제어하려면 연속 시스템이 복잡해지고 여러 개의 일류(溢流 overflow) 반응기를 사용한다. 이러한 연속 반응기는 자본 집약적일 뿐 아니라 입자 크기 분포의 제어가 양호하지 못하고 평균 입자 크기가 제한적이다(예를 들어 미국 특허 제5,964,693호는 다섯 개의 일류 반응기를 이용하고 입자 크기가 27 내지 72 nm라고 개시한다). 이러한 연속 시스템의 또 다른 단점은 매우 작은 입자들을 줄일 수는 있지만 이를 완전히 제거하지 못한다는 점이다.

따라서 해당 업계에서는 연속 반응 시스템의 전술할 단점을 없앨 필요성이 존재한다. 특히 제어된 최소 입자 크기와 넓은 분포 곡선을 지니는 실리카 입자를 경제적으로 제조할 필요성이 있다.

본 발명의 방법으로 제조하는 콜로이드성 입자에는 광범위한 산업상 이용 가능성이 있다. 일례로, 콜로이드성 실리카는 오랫동안 규소, 비소화갈륨, 인화인듐(indium phosphide)과 티타늄과 같은 여러 종류의 물질을 연마하여 극히 매끄럽고 긁힘이 없는 표면 마감을 하는데 성공적으로 쓰여 왔다. 화학 기계 연마(CMP)에 쓰이는 콜로이드성 실리카 슬러리에는 수성 콜로이드성 실리카와 연마 촉진제로서 식각제(산화제)가 포함되는 것이 전형적인 경우이다. 서로 다른 연마 용도의 콜로이드성 실리카 슬러리에는 다양한 종류의 화학 물질이 쓰여서 높은 수준의 물질 제거율을 달성하거나 연마 흠결이 적고 연마가 더 우수한 표면 마감을 달성한다.

본 발명의 한 실시 형태에는 입자 크기의 균일성을 더 잘 제어할 수 있고 입자 크기 분포가 좁거나 넓은, 산업적으로 바람직한 콜로이드성 실리카 입자 조성물이 포함된다. 이러한 콜로이드성 입자들은 제어된 최소 입자 크기를 지니는데, 미리 설정한 최소 입자 크기를 지니는, 사전에 형성된 실리카졸 입자를 가열 및 교반 중인 하나의 반응기에 부가하는 방법으로 상기 입자들을 제조한다. 상기 반응기에 새로운 콜로이드성 실리카 입자의 핵 형성(nucleation) 속도보다 느린 속도로 알칼리제(alkaline agent)와 규산을 비롯한 나머지 성분들을 동시에 가하는 것이 바람직하다. 이렇게 하여 얻는 콜로이드성 실리카의 최소 입자 크기는 상기 사전에 형성된 실리카졸의 입자 크기에 의하여 제어된다.

한 실시 형태에서는 본 발명이 넓은 입자 크기 분포를 지니는 콜로이드성 실리카 입자를 제조하는 방법을 포함한다. 이 방법은 미리 설정한 최소 입자 크기를 지니는, 사전에 형성된 실리카졸 입자를 함유하는 제1 성분을 적어도 하나의, 가열 및 교반 중인 반응기에 투입하는 단계를 포함한다. 규산을 함유하는 제2 성분은 새로운 실리카 입자의 핵 형성 속도보다 느린 속도로 상기 반응기에 투입한다. 알칼리제를 함유하는 제3 성분 또한 상기 반응기에 투입하는데, 이 때 상기 알칼리제는 상기 반응기에서 pH를 약 8.0 내지 약 12.5로 유지하는 것이 바람직하다.

본 발명의 방법은 하나의 일류 반응기(overflow reactor)를 갖추고 있는 것이 바람직하다. 대안적인 실시 형태에서는 여러 개의 반응기를 사용할 수도 있다. 평균 입자 크기는 지름 약 10 nm에서부터 150 nm 넘게까지 제어할 수 있다. 게다가 본 발명에서는 동반 투입(cofeed)되는, 사전에 제조된(pre-manufactured) 콜로이드성 졸 공투입물(cofeed)을 이용하고, 새로운 입자의 형성이 없기 때문에 얻게 되는 생성물에서 매우 작은 입자들을 없앨 수 있다. 본 발명이 일반적으로 입자 형성 단계에 관련되며 규산의 제조 단계나 농축 단계에 관련된 것이 아니라는 점은 당업자가 이해할 것이다.

도 1은 투입물의 투입물의 수치 %와 실시예 1에 따라 얻는 생성물을 나타낸다.
도 2는 실시예 2와 3에 설명한 방법에 따라 형성된 입자들의 입자 크기 분포를 보여 준다.
도 3은 실시예 4와 5에 설명한 방법에 따라 형성된 입자들의 입자 크기 분포를 보여 준다.

본 명세서에서는 전술한 내용에 더하여 특징과 이점을 이하에서 더 설명하며, 이는 이하의 상세한 설명, 실시예와 도면을 통하여 더 분명히 알 수 있다.

"콜로이드성 실리카 조성물(colloidal silica composition)"과 "콜로이드성", "졸(sol)" 및 그 밖의 유사한 용어는 분산상과 연속상을 지니는 수성 2상계(aqueous two-phase system)를 가리킨다. 본 발명의 콜로이드는 연속적인 액체상이거나 실질적으로 연속적인 액체상 속, 전형적으로는 수용액 속에 분산되거나 현탁된 고체상을 지닌다. 즉 "콜로이드"란 용어는 상기 고체와 액체상을 망라하지만 "콜로이드 입자(들)"이나 "입자(들)"은 분산상이나 현탁된 고체상을 가리킨다.

"안정적(stable)"이란 상기 콜로이드의 고체상이 존재하여 그 매질 속에 분산되어 있고, 전체 pH 범위에 걸쳐 안정적이어서 실질적으로는 침전이 일어나지 않는 것을 의미한다.

전술한 콜로이드성 실리카 입자를 제조하는 본 발명의 방법은 미리 설정한(predetermined) 입자 크기 또는 입자 크기 분포를 지니는, 사전에 형성된(preformed) 실리카 입자를 제공하는 단계, 알칼리제를 제공하는 단계와 규산을 제공하는 단계를 포함한다. 이들 성분은 전형적인 경우에 반응 용기 속에 새로운 핵 형성이 일어나는 것을 예방하는, 통제된 속도로 상기 반응기 속에 투입된다. 연속 반응기에서는 정상 상태(定常狀態 steady state) 조건에 이른 뒤에 입자 크기와 분포가 일반적으로 일정하게 유지된다. 본 발명에서는 상기 콜로이드성 실리카 조성물의 입자 크기 분포를 단일 반응기 연속 공정에서 종래까지는 비실용적이라고 여겨 왔던 방식을 써서 정밀하게 제어할 수 있다는 것을 발견하였다. 오로지 사전에 형성된 콜로이드성 입자 상에서만 성장이 일어나도록 보장하기 위하여 규산의 투입 속도는 새로운 입자의 형성을 위한 핵 형성 속도보다 느린 속도로 유지한다.

이 투입 속도는 90℃에서 시간 당 표면적 1000 제곱미터마다 (SiO₂ 형태) 실리카 10.0 그램이어서 새로운 핵 형성(new nucleation)을 완전히 방지하는 것이 바람직하다. 이 투입 속도는 온도에 의존하기에 고온에서는 더 높은 투입 속도도 가능하다. 이 방식으로 원하는 입자 크기 분포를 유지하고 새로운 입자의 핵 형성을 피하면서 콜로이드성 실리카를 원하는 어떠한 입자 크기로라도 "성장시킬" 수 있다. 각 성분의 투입 속도를 감시함으로써 생성되는 콜로이드성 실리카의 축적을 최대화할 수 있고 따라서 실리카의 제조를 최대화할 수 있다.

본 발명의 다른 투입물 성분은 사전에 형성된(preformed) 콜로이드성 입자를 포함한다. 크기 분포가 넓은 입자를 사용할 수도 있지만 그렇게 하면 본 발명의 장점 중 일부를 얻을 수 없다. 상기 성분은 크기 분포가 좁은 콜로이드성 입자를 함유하는 것이 전형적인 경우이다. 이러한 입자들은 바로 입자 크기 분포가 넓은 본 발명의 실리카의 형성 과정에서 규산이 퇴적하는 지점이다. 따라서 본 발명에 사용되는 사전에 형성된 입자의 크기는 생성되는 넓은 분포를 지니는 생성물의 원하는 최소 입자 크기이며, 실질적으로 제조된 모든 콜로이드성 실리카 입자의 크기는 상기 사전에 형성된 실리카졸 입자보다 더 크다. 생성된 실리카졸 입자의 원하는 평균 입자 크기와 입자 크기 분포를 확인하고 그에 따라서 상기 사전에 형성된 실리카와 상기 사전 형성된 실리카와 규산의 비율을 사용하는 것이 전형적이다. 상기 사전에 형성된 실리카졸의 입자 크기를 키우면 생성되는 콜로이드성 실리카의 최소와 평균 입자 크기가 늘어난다.

한 실시 형태에서는 본 발명에서 제조하는 콜로이드성 실리카의 평균 입자 크기가 상기 사전에 형성된 콜로이드성 실리카에 대한 규산의 비율과 상기 사전에 형성된 콜로이드성 실리카의 평균 입자 크기에 달려 있다. 예를 들어 상기 사전에 형성된 콜로이드성 실리카에 대한 규산의 비율이 늘어나면 반응기에 투입되는 각 입자의 표면에 규산이 더 많이 퇴적되고 따라서 평균 입자 크기가 커진다. 만약 비율을 같게 하더라도 사전에 형성된 콜로이드성 실리카의 입자 크기를 크게 하면 평균 크기가 더 큰 입자가 나온다. 평균 입자 크기를 같게 하면서 분포 곡선을 좁히려면 사전에 형성된 입자를 더 큰 것으로 사용하고 사전에 형성된 콜로이드성 실리카에 대한 규산의 비율도 더 크게 할 수 있다.

이러한 규산 용액을 제조하는 예시적 방법은 규산나트륨 용액을 H⁺-양이온 교환 수지상에 통과시키는 것이다. 이렇게 하여 얻는 탈이온화 규산 용액은 꽤 반응성이 높기 마련이고 전형적인 경우에 서늘한 곳에서 보관하여 중합을 늦춘다. 상기 알칼리성 용액에 이 규산 용액을 부가하여 "투입물 실리카(feed silica)" 또는 힐(heel)을 형성한다. 상기 힐 또는 투입물 실리카는 알칼리제를 포함하는데, 예를 들어 NaOH, KOH, NH₄OH 등과 이들의 혼합물이 있다.

전형적인 경우에 규산은 농도가 4 내지 8%이고 pH가 약 2 내지 4의 범위이다. 본 발명은 다른 실리카 입자 성장법에 사용할 수 있는 어떠한 규산이라도 사용하는 것을 고안하고 있다. 어떠한 적절한 형태의 규산 용액이라도 사용할 수 있으며 이 규산은 모든 적절한 방법을 통하여 제조할 수 있다는 점은 당업자가 잘 알 것이다.

규산의 투입 속도는 새로운 핵 형성이 일어나는 속도 아래로 유지하여야 한다. 최대 투입 속도는 반응기의 부피와 반응 온도에 달려 있다. 부피가 클수록 최대 투입 속도가 커진다. 온도가 높을수록 최대 투입 속도도 커진다. 사전에 형성된 콜로이드성 입자 투입물(feed)을 사용하지 않는 전형적인 연속 시스템에서는 반응기 속에서 새로운 입자들이 형성된다. 본 발명의 방법을 통하여 최소 입자 크기의 경계를 유지할 수 있다.

상기 반응기 시스템에 투입하는 알칼리제(alkaline agent) 성분은 알칼리성 시스템을 유지하기 위한 염기 물질인 것이 전형적인 경우이다. 보통 실리카졸 제조에 쓰이는 알칼리성 물질은 모두 사용할 수 있다. 전형적인 알칼리제는 약 8.0에서 약 12.5의 pH 범위(실리카졸 제조에 이상적)를 가진다. 겔 형성을 예방하기 위하여 보통 묽은 용액을 사용한다. 적절한 알칼리제의 예에는 수산화나트륨, 수산화칼륨, 수산화암모늄, 규산나트륨, 규산칼륨 등과 이들의 혼합물이 포함되지만 여기에 한정되지는 않는다.

생성되는 콜로이드성 실리카의 최소 입자 크기는 상기 사전에 형성된 실리카졸의 입자 크기로 제어할 수 있고, 이 때 전술한 넓은 입자 크기 분포는 사전에 형성된 실리카졸의 규산에 대한 비율에 달려 있다. 예를 들어 사전에 형성된 콜로이드성 실리카에 대한 규산의 비율을 늘리면 분포 곡선이 퍼지고 또한 평균 입자 크기도 늘어난다. 동일한 평균 입자 크기를 유지하면서 분포 곡선을 좁히려면 사전에 형성된 입자를 더 큰 것으로 사용하고 사전에 형성된 콜로이드성 실리카에 대한 규산의 비율을 더 높일 수 있다.

한 실시 형태에서는 본 발명에 사용되는 반응기가 하나의 일류 단위(overflow unit)이다. 반응 온도가 40℃ 이상인 전형적인 경우에는 열 입력이 필요하다. 최고 반응 온도는 보통 반응기 압력 등급(pressure rating)에 달려 있다. 온도의 상한값으로 150에서 200℃가 전형적인 경우이다. 그러나 반응기의 압력 등급이 더 높으면 더 고온을 채용할 수 있다.

다른 연속 시스템에서와 마찬가지로 본 발명의 시스템도 정상 상태 조건을 이루기에 충분할 정도로 긴 시간 동안 운전하는 것이 바람직하다. 첫번째 운전 후 기존에 제조한 생성물은 (동일한 생성물을 제조한다고 가정할 때) 반응기 초기 내용물(initial contents)로 사용할 수 있다. 이 실시 형태에서는 반응기에 기존 운전에서 제조한 콜로이드성 실리카 입자를 파종(seed)함으로써 반응기의 정상 상태 조건을 유지한다.

(실시예)

전술한 내용은 이하의 실시예를 참조하면 더 잘 이해할 수 있으며, 이 실시예는 예시 목적일 뿐 본 발명의 범위를 제한하려는 의도가 아니다.

(실시예 1)

바닥 쪽에 출구를 갖춘 3 리터 들이 교반 플라스크(agitated flask)를 사용하였다. 상기 바닥쪽 출구에 연결한 튜빙을 올려 이 플라스크가 넘쳐 흐르기 전에 플라스크 안에 내용물이 2 리터 포함되도록 하였다. 이 플라스크에 탈이온수 2 리터를 가하고 교반하면서 95℃로 가열해 주었다. 고형분 7.41%의 규산을 분당 9.57 그램의 목표 속도로 부가하였다. 고형분 농도가 43.7%이고 입도 측정한 크기(titrated particle size)가 20.5 nm인 나트륨계의 콜로이드성 실리카졸을 목표 속도 분당 0.7 그램으로 가하였다. pH를 9.3에서 9.6으로 유지하기 위하여 5%의 NaOH도 가하였다. 상기 반응기에 세 종류의 투입물 스트림을 가하자 전술한 2 리터 부피를 유지하기 위하여 반응기가 연속적으로 일류하였다. 9.6 리터를 수집할 때(반응기 전환수 4.8)까지 상기 성분들의 투입을 계속하였다. 이어서 이 시스템을 정상 상태 조건으로 간주하고 생성물을 수집하였다. 이 생성물의 입자 크기 분석 결과 52 nm에서 피크를 이루는 매우 넓은 분포가 나타났다. 가장 작은 입자 크기는 28 nm였다. 도 1은 이렇게 하여 얻은 생성물과 상기 투입물의 수치 %를 보여 준다.

(실시예 2)

실시예 1과 같은 설정에서 고형분 6.7%의 규산을 분당 24.78 g으로 가하였다. 입도 측정한 크기가 11.7 nm이고 고형분 29.8%의 칼륨계 콜로이드성 실리카를 분당 1.169 g으로 가하였다. pH를 9.3에서 9.6으로 유지하기 위하여 4.5%의 KOH를 사용하였다. 10 리터를 수집할 때(반응기 전환수 5)까지 상기 성분들의 투입을 계속하였다. 이어서 이 시스템을 정상 상태 조건으로 간주하고 생성물을 수집하였다. 이 생성물의 입자 크기 분석 결과 입자 크기의 중앙값이 22.5 nm인 매우 넓은 분포의 물질을 나타내었다. 규산의 상기 칼륨계 콜로이드성 실리카에 대한 비율은 4.78:1이었다.

(실시예 3)

이 실시예는 실시예 2와 비슷하지만 규산의 칼륨계 콜로이드성 실리카에 대한 비율을 달리하였다. 규산의 상기 칼륨계 콜로이드성 실리카에 대한 새로운 비율은 3.21:1이었다. 원하던 효과는 평균 입자 크기를 줄이고 입자 분포를 좁히는 것이었다. 이는 실현되었는데, 입자 크기의 중앙값이 18.3 nm로 줄어들었다. 도 2는 실시예 2와 3의 입자 크기 분포를 보여 준다.

(실시예 4)

흘러 넘쳤을 때 반응기 내용물이 315 갤런이 되도록 일류선(溢流線)을 정한 500 갤런 들이 (93℃의) 교반 반응기에 규산(농도 6.5%)을 분당 8.5 파운드, 22 nm의 칼륨계 콜로이드성 실리카(농도 30%)를 분당 0.32 파운드 그리고 4.5% KOH(pH를 9.3에서 9.6으로 유지하기 위하여 속도를 변화시킴)를 가하였다. 정상 상태 조건에 달하자 생성물을 수집하고 농축하였다. 이렇게 하여 얻은 생성물은 입도 측정한(titrated) 평균 입자 크기가 63.4 nm였다.

(실시예 5)

실시예 4와 동일한 반응기 시스템에 규산(농도 6.5%)을 분당 8.5 파운드, 35 nm의 칼륨계 콜로이드성 실리카(농도 30%)를 분당 0.50 파운드 그리고 4.5% KOH(pH를 9.3에서 9.6으로 유지하기 위하여 속도를 변화시킴)를 가하였다. 정상 상태 조건에 달하자 생성물을 수집하고 농축하였다. 이렇게 하여 얻은 생성물은 입도 측정한 평균 입자 크기가 61.4 nm였다. 그러나 이 입자 분포는 실시예 4보다 좁았다. 도 3은 실시예 4와 5에의 입자 분포를 보여 준다.

본 명세서에서 기술하는 현재 바람직한 실시 형태에 대한 여러 가지 변경과 변형이 이 분야의 당업자에게 자명하리라는 점은 잘 알고 있을 것이다. 그러한 변경과 변형은 본 개시 내용의 사상과 범위에서 벗어나지 않고 그 의도한 효과를 감소시키지 않으면서 이루어질 수 있다. 따라서 그러한 변경과 변형 역시 이하 첨부하는 청구 범위에서 망라하고 있음을 밝혀 둔다.

Claims (16)

1. 입자 크기 분포가 넓은 콜로이드성 실리카 입자의 제조 방법으로서,
   (a) 미리 설정한 최소 입자 크기를 가지는, 사전에 형성된 실리카졸 입자를 함유하는 제1 성분을 적어도 하나의, 가열 및 교반 중인 반응기에 투입하는 단계;
   (b) 규산을 함유하는 제2 성분을 새로운 실리카 입자의 핵이 형성되는 속도(nucleation rate)보다 느린 속도로 상기 반응기에 투입하는 단계; 및
   (c) 알칼리제를 함유하는 제3 성분을 상기 반응기에 투입하는 단계를 포함하고, 이 단계들의 순서는 어떠한 순서라도 가능하며,
   (d) 이 때 전술한 방법으로 얻는 콜로이드성 실리카의 최소 입자 크기는 제1 성분의 입자 크기에 의하여 제어되고, 상기 넓은 입자 크기 분포는 제1 성분의 제2 성분에 대한 비율에 좌우되는 실리카 입자의 제조 방법.
2. 제1항에 있어서, 실질적으로 제조된 콜로이드성 실리카 입자의 전부가 상기 제1 성분 속의 사전에 형성된 실리카졸 입자보다 큰 것을 특징으로 하는 실리카 입자의 제조 방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 넓은 입자 크기 분포에서 평균 입자 크기는 제1 성분의 평균 입자 크기에 의하여 결정되는 것을 특징으로 하는 실리카 입자의 제조 방법.
4. 제1항에 있어서, 상기 넓은 입자 크기 분포에서 평균 입자 크기는 제2 성분의 제1 성분에 대한 비율에 의하여 결정되는 것을 특징으로 하는 실리카 입자의 제조 방법.
5. 제4항에 있어서, 상기 비율을 늘리면 상기 넓은 입자 크기 분포의 곡선이 더 넓어지는 것을 특징으로 하는 실리카 입자의 제조 방법.
6. 제4항에 있어서, 상기 넓은 입자 크기 분포 곡선의 평균 입자 크기를 증가시키는 것을 포함하는 실리카 입자의 제조 방법.
7. 제1항에 있어서, 제1 성분 속에 사전에 형성된 실리카졸 입자의 크기가 더 큰 것을 포함시키고 제2 성분의 제1 성분에 대한 비율을 늘려, 제조된 입자의 평균 크기의 변화 없이 입자 크기 분포 곡선을 더 좁게 하는 것을 포함하는 실리카 입자의 제조 방법.
8. 제1항에 있어서, 상기 반응기는 하나의 일류 반응기(overflow reactor)인 것을 특징으로 하는 실리카 입자의 제조 방법.
9. 제1항에 있어서, 상기 반응기는 여러 반응기의 계열(series)인 것을 특징으로 하는 실리카 입자의 제조 방법.
10. 제1항에 있어서, 상기 제조된 콜로이드성 실리카 입자를 농축하는 단계를 포함하는 실리카 입자의 제조 방법.
11. 제1항에 있어서, 상기 반응 도중 증발을 통하여 농축시키는 것을 포함하는 실리카 입자의 제조 방법.
12. 제1항에 있어서, 상기 반응기는 약 40℃에서 약 200℃의 온도 범위로 유지되는 것을 특징으로 하는 실리카 입자의 제조 방법.
13. 제1항에 있어서, 상기 알칼리제는 약 8.0에서 약 12.5의 pH를 유지하는 것을 특징으로 하는 실리카 입자의 제조 방법.
14. 제1항에 있어서, 상기 반응기는 제조된 콜로이드성 실리카를 상기 반응기로부터 연속적으로 제거함으로써 내용물의 부피를 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 실리카 입자의 제조 방법.
15. 제1항에 있어서, 상기 방법을 연속 공정으로 운전하는 것을 포함하는 실리카 입자의 제조 방법.
16. 제1항에 있어서, 상기 반응기의 이전 운전에서 제조한 콜로이드성 실리카 입자를 상기 반응기에 파종함으로써 상기 반응기의 정상 상태 조건을 유지하는 것을 포함하는 실리카 입자의 제조 방법.

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