KR20110057886A - 필름 제진 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 필름의 말림 현상을 방지하면서 필름의 이물질을 제거하는 필름 제진 장치에 관한 것으로, 필름 제진 장치는 다수의 제 1 단차부를 가지는 제 1 제진 롤러; 상기 제 1 제진 롤러와 인접하고 상기 다수의 제 1 단차부와 교번적으로 배열되는 다수의 제 2 단차부를 가지는 제 2 제진 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
필름 제진 장치, 제진롤러, 전사롤러, 안내판

Description

필름 제진 장치{Apparatus for cleaning film}
본 발명은 필름의 말림 현상을 방지하면서 필름의 이물질을 제거하는 필름 제진 장치에 관한 것이다.
액정표시장치와 유기발광표시장치 등을 포함한 평판표시장치 및 반도체소자 등을 제조하는 과정에서, 여러가지 기능을 가지는 필름을 부착하는 공정을 진행한다. 필름을 부착하는 공정에서 필름이 이물질에 의해 오염이 되면, 평판표시소자 및 반도체소자의 수율에 지대한 영향을 주게 된다. 따라서, 이물질이 최소화된 청정실(clean room)에서 필름에 부착되어 있는 이물질을 제거하는 제진공정을 진행하면서 필름 부착 공정을 진행한다.
필름의 제진공정은 이물질을 용이하게 제거할 수 있도록 점착성질을 가진 제진 롤러(clean roller)을 사용한다. 이러한 제진 롤러는 제조공정 라인에 설치되어 필름이 제진 롤러 사이를 통과한 후에, 반도체소자 및 평판표시장치에 부착한다.
이하에서는 도면을 참조하여 종래기술에 대하여 설명하기로 한다.
도 1은 종래기술에 따른 필름 제진장치의 개략도이고, 도 2는 도 1의 A-A'로 절단한 제진 및 전사 롤러의 단면도이고, 도 3a 및 도 3b는 종래기술에 따른 필름의 말림 현상을 도시한 모식도이다.
도 1과 같이, 종래기술에 따른 필름의 이물질을 제거하는 제진장치(10)는, 도 2의 필름(12)에 부착되어 있는 이물질(40)을 제거하는 제진 롤러(14), 제진 롤러(14)의 이물질이 전사되는 전사 롤러(16), 제진 롤러(14) 및 전사 롤러(16)를 지지하는 지지대(18), 지지대(18)를 고정시키는 고정판(20), 및 제진 롤러(14)를 구동시키는 구동장치(22)를 포함하여 구성된다. 제진 롤러(14)는 상부 제진 롤러(24) 및 하부 제진 롤러(26)를 포함하고, 전사 롤러(14)는 상부 전사 롤러(14a) 및 하부 전사 롤러(14b)를 포함한다. 지지대(18)는 제 1 및 제 2 지지대(18a, 18b)를 포함한다.
도 2와 같이, 상부 제진 롤러(24)는 동일한 수평면에 위치하고 서로 이격된 제 1 상부 제진 롤러(24a) 및 제 2 상부 제진 롤러(24b)를 포함한다. 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(24a, 24b)는 서로 접촉을 방지하기 위하여 제 1 공간(42a)을 두고 이격된다. 하부 제진 롤러(26)는 동일한 수평면에 위치하고 일정간격으로 서로 이격된 제 1 하부 제진 롤러(26a) 및 제 2 하부 제진 롤러(26b)를 포함한다. 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(26a, 26b)는 서로 접촉을 방지하기 위하여 제 2 공간(42b)을 두고 이격된다.
도 1과 같이, 상부 제진 롤러(24)와 하부 제진 롤러(26) 각각은 양단부에 설치되는 제 1 및 제 2 구동축(28a, 28b)을 포함한다. 상부 제진 롤러(24)와 하부 제진 롤러(26) 각각은 제 1 및 제 2 지지대(18a, 18b) 사이에 위치하고, 상부 제진 롤러(24)와 하부 제진 롤러(26) 각각의 제 1 및 제 2 구동축(28a, 28b)은 제 1 및 제 2 지지대(18a, 18b)에 의해 회전 가능하도록 지지된다. 상부 제진 롤러(24)와 하부 제진 롤러(26) 각각의 제 1 구동축(28a)은 제 1 지지대(18a)를 관통하여 구동장치(22)와 연결된다.
도 2와 같이, 상부 전사 롤러(14a)는 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(24a, 24b) 사이의 상부에 위치하고, 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(24a, 24b)와 접촉하면서 회전한다. 하부 전사 롤러(14a)는 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(26a, 26b) 사이의 하부에 위치하고, 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(26a, 26b)와 접촉하면서 회전한다.
도 2와 같이, 상부 및 하부 제진 롤러(24, 26) 사이에 필름(12)이 투입되고, 상부 및 하부 제진 롤러(24, 26)가 회전하면서 필름(12)의 상부 및 하부에 부착되어 있는 이물질(40)이 상부 및 하부 제진 롤러(24, 26)에 점착된다. 그리고, 상부 및 하부 제진 롤러(24, 26)에 부착된 이물질(40)은 상부 및 하부 전사 롤러(14a, 14b)로 전사되어, 필름(12) 상에 부착되어 있던 이물질(40)은 최종적으로 상부 및 하부 전사 롤러(14a, 14b)에 점착된다. 상부 및 하부 전사 롤러(14a, 14b)는 주기적으로 교체한다.
종래기술의 제진장치(10)는 다음과 같은 문제가 있다. 도 3a와 같이, 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(24a, 24b) 사이의 제 1 공간(42a)이 설정되어 있고, 도 3b와 같이, 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(26a, 26b) 사이에 제 2 공간(42b)이 설정되어 있다.
필름(12)이 상부 및 하부 제진 롤러(24, 26) 사이를 이동할 때, 필름(12) 이 상부 방향으로 말려 있는 경우에, 도 3a와 같이, 제 1 상부 제진 롤러(24a)와 제 1 하부 제진 롤러(26a)를 통과한 필름(12)이 제 1 공간(42a)으로 말려 들어가는 현상이 발생할 수 있다. 또한, 필름(12)이 상부 및 하부 제진 롤러(24, 26) 사이를 이동할 때, 필름(12) 이 하부 방향으로 말려 있는 경우에, 도 3b와 같이, 제 1 상부 제진 롤러(24a)와 제 1 하부 제진 롤러(26a)를 통과한 필름(12)이 제 2 공간(42b)으로 말려 들어가는 현상이 발생할 수 있다.
필름(12)의 이물질을 제거하는 과정에서, 제진 롤러(14) 사이로 필름(12)이 말려들어가는 현상이 발생하면, 제진 롤러(14) 사이의 필름(12)을 제거하는 시간이 소요되어 제진장치(10)의 가동시간을 단축시키고, 또한, 제진 롤러(14) 사이로 말려들어간 필름(12)을 폐기처분해야 하므로, 필름(12)의 손실이 발생한다.
상기와 같은 문제를 해결하기 위해, 본 발명은 2 개의 제진 롤러 사이에 안내판을 설치하여 필름이 2 개의 제진 롤러 사이로 말려 들어가는 현상을 방지하는 필름 제진 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 2 개의 제진 롤러 사이에 안내판을 설치하여 필름의 2 개의 제진 롤러 사이로 말려 들어가는 현상을 방지함과 동시에 필름 전면에 걸쳐 제진 롤러와 접촉하여 필름에 부착되어 있는 이물질을 제진할 수 있는 필름 제진 장치를 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 필름 제진 장치는, 필름의 이물질을 점착하기 위해 필름 제진 장치에 있어서, 다수의 제 1 단차부를 가지는 제 1 제진 롤러; 및 상기 제 1 제진 롤러와 인접하고 상기 다수의 제 1 단차부와 교번적으로 배열되는 다수의 제 2 단차부를 가지는 제 2 제진 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 필름 제진 장치에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 제진 롤러에 점착된 이물질이 전사되는 전사롤러를 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 필름 제진 장치에 있어서, 상기 제 1 제진 롤러와 상기 제 2 제진 롤러 사이의 공간에 위치하고, 상기 필름의 말림을 방지하는 안내판을 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 필름 제진 장치에 있어서, 상기 제 1 제진 롤러는, 다수의 제 1 상부 접촉부와 다수의 제 1 상부 단차부를 가지는 제 1 상부 제진 롤러; 및 상기 제 1 상부 제진 롤러의 하부에 위치하고, 상기 다수의 제 1 하부 접촉부와 다수의 제 1 하부 단차부를 가지는 제 1 하부 제진 롤러;를 포함하고, 상기 제 2 제진 롤러는, 상기 다수의 제 1 상부 접촉부와 교번적으로 배열되는 다수의 제 2 상부 접촉부와 상기 다수의 제 1 상부 단차부와 교번적으로 배열되는 다수의 제 2 상부 단차부를 가지는 제 2 상부 제진 롤러; 및 상기 제 2 상부 제진 롤러의 하부에 위치하고, 상기 다수의 제 1 하부 접촉부와 교번적으로 배열되는 다수의 제 2 하부 접촉부와 상기 다수의 제 1 하부 단차부와 교번적으로 배열되는 다수의 제 2 하부 단차부를 가지는 제 2 하부 제진 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 필름 제진 장치에 있어서, 상기 필름은 상기 제 1 상부 및 하부 제진 롤러 사이와 상기 제 2 상부 및 하부 제진 롤러 사이를 통과하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 필름 제진 장치에 있어서, 상기 안내판은, 상기 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러 사이의 위치한 상부 안내판; 및 상기 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러 사이에 위치한 하부 안내판;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 필름 제진 장치에 있어서, 상기 상부 안내판은, 상기 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러 사이에 위치한 제 1 플레이트; 상기 제 1 플레이트의 일변에서 돌출되고 상기 제 1 상부 제진 롤러의 상기 다수의 제 1 상부 단차부에 수용되는 다수의 제 1 상부 돌출부; 및 상기 제 1 플레이트의 일변과 대향하는 타변에서 돌출되고 상기 제 2 상부 제진 롤러의 상기 다수의 제 2 상부 단차부에 수용되는 다수의 제 2 상부 돌출부;를 포함하고, 상기 하부 안내판은, 상기 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러 사이에 위치한 제 2 플레이트; 상기 제 2 플레이트의 일변에서 돌출되고 상기 제 1 하부 제진 롤러의 상기 다수의 제 1 하부 단차부에 수용되는 다수의 제 1 하부 돌출부; 및 상기 제 2 플레이트의 일변과 대향하는 타변에서 돌출되고 상기 제 2 하부 제진 롤러의 상기 다수의 제 2 하부 단차부에 수용되는 다수의 제 2 하부 돌출부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 필름 제진 장치에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 플레이트는 다수의 개구가 형성되는 격자형태인 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 필름 제진 장치에 있어서, 상기 다수의 제 1 상부 돌출부는 상기 다수의 제 2 상부 돌출부와 교번적으로 배열되고, 상기 다수의 제 1 하부 돌출 부는 상기 다수의 제 2 하부 돌출부와 교번적으로 배열되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 필름 제진 장치에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러와 접촉하면서 상기 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러의 이물질이 전사되는 상부 전사 롤러; 및 상기 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러와 접촉하면서 상기 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러의 이물질이 전사되는 하부 전사 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 필름 제진 장치에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러 및 상기 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러는 각각 합성 고분자 실리콘 재질로 형성하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 2 개의 제진 롤러 사이에 안내판을 설치하여, 필름이 2 개의 제진 롤러 사이로 말려 들어가는 현상을 방지한다. 따라서, 2 개의 제진 롤러 사이에 말려 들어간 필름을 제거하기 위하여 가동을 중단할 필요가 없다. 따라서 필름 제진 장치의 가동효율을 개선할 수 있고, 또한, 2 개의 제진 롤러에 말려 들어가는 필름이 발생하지 않기 때문에 필름의 손실을 방지할 수 있다.
2 개의 상부 제진 롤러와 2 개의 하부 제진 롤러로 구성되는 본 발명의 필름 제진 장치에 있어서, 필름의 전면과 접촉하는 상부 접촉부를 2 개의 상부 제진 롤 러 각각에 서로 교번적으로 배열하고, 필름의 배면과 접촉하는 하부 접촉부를 2 개의 하부 제진 롤러 각각에 서로 교번적으로 배열함으로써, 필름의 전면 및 배면 전체가 상부 및 하부 제진 롤러에 의해서 필름에 부착되어 있는 이물질을 제진할 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
제 1 실시예
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 필름 제진장치의 개략도이고, 도 5는 도 4의 B-B'을 절단한 제진 및 전사 롤러의 단면도이고, 도 6은 도 4의 C-C'를 절단하여 위에서 바라본 평면도이고, 도 7은 도 4의 D-D'를 절단하여 아래에서 바라본 평면도이고, 도 8a 및 도 8b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 안내판에 의해 필름의 말림 현상이 방지되는 모식도이다.
도 4와 본 발명의 제 1 실시예에 따른 필름의 이물질을 제거하는 제진장치(110)는, 도 5의 필름(112)에 부착되어 있는 이물질(140)을 제거하는 제진 롤러(114), 제진 롤러(114)의 이물질(140)이 전사되는 전사 롤러(116), 제진 롤러(114) 및 전사 롤러(116)를 지지하는 지지대(118), 지지대(118)를 고정시키는 고 정판(120), 및 제진 롤러(114)를 구동시키는 구동장치(122)를 포함하여 구성된다. 제진 롤러(114)는 상부 제진 롤러(124) 및 하부 제진 롤러(126)를 포함하고, 전사 롤러(114)는 상부 전사 롤러(114a) 및 하부 전사 롤러(114b)를 포함한다. 지지대(118)는 제 1 및 제 2 지지대(118a, 118b)를 포함한다.
도 4와 같이, 상부 제진 롤러(124)와 하부 제진 롤러(126) 각각은 양단부에 설치되는 제 1 및 제 2 구동축(128a, 128b)을 포함한다. 상부 제진 롤러(124)와 하부 제진 롤러(126) 각각은 제 1 및 제 2 지지대(118a, 118b) 사이에 위치하고, 상부 제진 롤러(124)와 하부 제진 롤러(126) 각각의 제 1 및 제 2 구동축(128a, 128b)은 제 1 및 제 2 지지대(118a, 118b)에 의해 회전 가능하도록 지지된다. 상부 제진 롤러(124)와 하부 제진 롤러(126) 각각의 제 1 구동축(128a)은 제 1 지지대(118a)를 관통하여 구동장치(122)와 연결된다.
도 5와 같이, 상부 제진 롤러(124)는 동일한 수평면에 위치하고 서로 이격된 제 1 상부 제진 롤러(124a) 및 제 2 상부 제진 롤러(124b)를 포함한다. 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(124a, 124b)는 서로 접촉을 방지하기 위하여 제 1 공간(142a)을 두고 이격된다. 하부 제진 롤러(126)는 동일한 수평면에 위치하고 일정간격으로 서로 이격된 제 1 하부 제진 롤러(126a) 및 제 2 하부 제진 롤러(126b)를 포함한다. 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(126a, 126b)는 서로 접촉을 방지하기 위하여 제 2 공간(142b)을 두고 이격된다.
상부 전사 롤러(114a)는 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(124a, 124b) 사이의 상부에 위치하고, 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(124a, 124b)와 접촉하면서 회전한다. 하부 전사 롤러(114a)는 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(126a, 126b) 사이의 하부에 위치하고, 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(126a, 126b)와 접촉하면서 회전한다.
제진 장치(110)는 필름(112)의 말림을 방지하기 위한 안내판(150)을 더욱 포함한다. 안내판(150)은 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(124a, 124b) 사이의 제 1 공간(142a)에 위치하는 상부 안내판(150a)과 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(126a, 126b) 사이의 제 2 공간(142b)에 위치하는 하부 안내판(150b)을 포함한다. 상부 및 하부 안내판(150a, 150b)은 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(124a, 124b)와 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(126a, 126b)와 접촉하지 않는다. 따라서, 상부 및 하부 안내판(150a, 150b)이 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(124a, 124b)와 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(126a, 126b)의 회전을 방해하지 않는다.
도 6과 같이, 상부 안내판(150a)은 도 5의 제 1 공간(142a)에 위치하는 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(124a, 124b)와 평행한 제 1 플레이트(160a), 제 1 플레이트(160a)의 일변에서 돌출된 다수의 제 1 상부 돌출부(162a), 및 제 1 플레이트(160a)의 일변과 대향하는 타변에서 돌출된 다수의 제 2 상부 돌출부(162b)를 포함한다. 다수의 제 1 및 제 2 상부 돌출부(162a, 162b)는 제진 공정 시에, 상부 안 내판(150a)과 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(124a, 124b) 사이로 필름(114)이 말려 들어가는 현상을 방지하는 기능을 한다.
제 1 상부 제진 롤러(124a)는 필름(112)의 전면과 접촉하는 다수의 제 1 상부 접촉부(170a)와 상부 안내판(150a)의 다수의 제 1 상부 돌출부(162a)를 수용하는 다수의 제 1 상부 단차부(152a)를 포함한다. 다수의 제 1 상부 접촉부(170a)와 대응하는 제 1 상부 제진 롤러(124a)의 직경은 다수의 제 1 상부 단차부(152a)와 대응하는 제 1 상부 제진 롤러(124a)의 직경보다 크다.
제 2 상부 제진 롤러(124b)는 필름(112)과 전면과 접촉하는 다수의 제 2 상부 접촉부(170b)와 상부 안내판(150a)의 다수의 제 2 상부 돌출부(162b)를 수용하는 다수의 제 2 상부 단차부(152b)를 포함한다. 다수의 제 2 상부 접촉부(170b)와 대응하는 제 2 상부 제진 롤러(124b)의 직경은 다수의 제 1 상부 단차부(152b)와 대응하는 제 2 상부 제진 롤러(124b)의 직경보다 크다.
다수의 제 1 상부 접촉부(170a) 각각과 대응되는 위치에 다수의 제 2 상부 접촉부(170b)가 배열되고, 다수의 제 1 상부 단차부(152a) 각각과 대응되는 위치에 다수의 제 2 하부 단차부(152b)가 배열된다. 따라서, 필름(112)의 전면이 제 1 상부 제진 롤러(124a)와 접촉할 때, 다수의 제 1 상부 단차부(152a)와 대응되어 제진되지 않는 영역은, 필름(112)의 전면이 제 2 상부 제진 롤러(124b)와 접촉할 때, 다수의 제 2 상부 단차부(152b)와 대응되어 여전히 제진되지 않은 영역으로 남는다.
도 7과 같이, 하부 안내판(150b)는 도 5의 제 2 공간(142b)에 위치하는 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(126a, 126b)와 평행한 제 2 플레이트(160b), 제 2 플레이트(160b)의 일변에서 돌출된 다수의 제 1 하부 돌출부(164a), 및 제 1 플레이트(160b)의 일변과 대향하는 타변에서 돌출된 다수의 제 2 하부 돌출부(164b)를 포함한다. 다수의 제 1 및 제 2 하부 돌출부(164a, 164b)는 제진 공정 시에, 하부 안내판(150b)과 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(126a, 126b) 사이로 필름(114)이 말려 들어가는 현상을 방지하는 기능을 한다.
제 1 하부 제진 롤러(126a)는 필름(112)과 접촉하는 다수의 제 1 하부 접촉부(172a)와 하부 안내판(150b)의 다수의 제 1 하부 돌출부(164a)를 수용하는 다수의 제 2 하부 단차부(154a)를 포함한다. 다수의 제 1 하부 접촉부(172a)와 대응하는 제 1 하부 제진 롤러(126a)의 직경은 다수의 제 2 하부 단차부(154b)와 대응하는 제 1 하부 제진 롤러(126a)의 직경보다 크다.
제 2 하부 제진 롤러(126b)는 필름(112)과 접촉하는 다수의 제 1 하부 접촉부(172b)와 하부 안내판(150b)의 다수의 제 2 하부 돌출부(164b)를 수용하는 다수의 제 2 하부 단차부(154b)를 포함한다. 다수의 제 1 하부 접촉부(172a)와 대응하 는 제 2 하부 제진 롤러(126b)의 직경은 다수의 제 2 하부 단차부(154b)와 대응하는 제 2 하부 제진 롤러(126b)의 직경보다 크다.
다수의 제 1 하부 접촉부(172a) 각각과 대응되는 위치에 다수의 제 2 하부 접촉부(172b)가 배열되고, 다수의 제 1 하부 단차부(154a) 각각과 대응되는 위치에 다수의 제 2 하부 단차부(154b)가 배열된다. 따라서, 따라서, 필름(112)의 배면이 제 1 하부 제진 롤러(126a)와 접촉할 때, 다수의 제 1 하부 단차부(154a)와 대응되어 제진되지 않는 영역은, 필름(112)의 배면이 제 2 하부 제진 롤러(126b)와 접촉할 때, 다수의 제 2 하부 단차부(154b)와 대응되어 여전히 제진되지 않은 영역으로 남는다
도 5와 같이, 상부 및 하부 제진 롤러(124, 126) 사이에 필름(112)이 투입되고, 상부 및 하부 제진 롤러(124, 126)가 회전하면서 필름(112)의 상부 및 하부에 부착되어 있는 이물질(140)이 상부 및 하부 제진 롤러(124, 126)에 점착된다. 그리고, 상부 및 하부 제진 롤러(124, 126)에 부착된 이물질(140)은 상부 및 하부 전사 롤러(114a, 114b)로 전사되어, 필름(112) 상에 부착되어 있던 이물질(140)은 최종적으로 상부 및 하부 전사 롤러(114a, 114b)에 점착된다. 상부 및 하부 전사 롤러(114a, 114b)는 주기적으로 교체한다.
도 5에서, 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(124a, 124b)와 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(126a, 126b)는 각각 필름에 부착되어 있는 이물질(140)을 점착할 수 있는 합성 고분자 실리콘 재질로 형성한다. 제진 대상이 되는 필름(114)은, 편광판(polarization film)을 포함한 다양한 기능의 필름일 수 있다.
본 발명의 제 1 실시예에 따른 제진장치(110)은, 상부 및 하부 안내판(150a, 150b)에 의해서 필름(112)의 말림 현상이 방지된다. 도 8a와 같이, 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(124a, 124b) 사이의 제 1 공간(142a)이 설정되어 있고, 제 1 공간(142a)에는 상부 안내판(150a)이 설치된다. 도 8a에서 도시되지 않았지만, 도 6과 같이, 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(124a, 124b) 각각은 필름(110)의 상면과 접촉하는 다수의 제 1 및 제 2 상부 점촉부(170a, 170b)와 다수의 제 1 및 제 2 상부 단차부(152a, 152b)를 포함한다.
필름(112)이 상부 및 하부 제진 롤러(124, 126) 사이를 이동할 때, 필름(112) 이 상부 방향으로 말려 있는 경우에, 도 8a와 같이, 제 1 상부 제진 롤러(124a)와 제 1 하부 제진 롤러(126a)를 통과한 필름(112)이 제 1 공간(142a)으로 말려 들어가는 현상이 발행할 수 있지만, 상부 안내판(150a)에 의해서 제 1 및 제 2 상부 제진롤러(124a, 124b) 사이로 인입되지 않고 제 2 상부 제진 롤러(124b)와 제 2 하부 제진롤러(126b)사이로 반출된다.
필름(112)이 상부 및 하부 제진 롤러(124, 126) 사이를 이동할 때, 필 름(112) 이 하부 방향으로 말려 있는 경우에, 도 8b와 같이, 제 1 상부 제진 롤러(124a)와 제 1 하부 제진 롤러(126a)를 통과한 필름(112)이 제 2 공간(142b)으로 말려 들어가는 현상이 발행할 수 있지만, 하부 안내판(150b)에 의해서 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(126a, 126b)사이로 인입되지 않고 제 2 상부 제진 롤러(124b)와 제 2 하부 제진롤러(126b)사이로 반출된다.
상부 및 하부 안내판(150a, 150b)에 의해서, 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(124a, 124b) 사이 또는 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(126a, 126b) 사이로 필름(112)이 말려 들어가는 현상을 방지할 수 있다. 따라서, 제진장치(110)의 가동시간 및 필름(112)의 손실을 방지할 수 있다.
본 발명의 제 1 실시예에서, 도 6을 참조하면, 제 1 상부 제진 롤러(124a)의 다수의 제 1 상부 단차부(152a) 각각은 제 2 상부 제진 롤러(124b)의 다수의 제 2 상부 단차부(152b)와 대응되어 위치되고, 도 7을 참조하면, 제 1 하부 제진 롤러(126a)의 다수의 제 2 하부 단차부(154a) 각각은 제 2 하부 제진 롤러(126b)의 다수의 제 2 하부 단차부(154b)와 대응되어 위치된다. 또한, 다수의 제 1 상부 단차부(152a) 각각은 다수의 제 1 하부 단차부(154a)와 대응되어 위치하고, 다수의 제 2 상부 단차부(152b) 각각은 다수의 제 2 하부 단차부(154b)와 대응되어 위치한다.
따라서, 필름(112)이 상부 및 하부 제진롤러(124, 126) 사이를 통과하면서, 다수의 제 1 및 제 2 상부 접촉부(170a, 170b) 및 다수의 제 1 및 제 2 하부 접촉부(172a, 172b)와 접촉하는 필름(114) 전면 및 배면의 이물질(140)은 제거되지만, 다수의 제 1 및 제 2 상부 단차부(152a, 152b)와 다수의 제 1 및 제 2 하부 단차부(154a, 154b)와 대응되는 부분에서는 필름(114)과 접촉하지 않기 때문에, 필름(114) 상에 부착되어 있는 이물질(140)이 점착하지 못하는 문제가 발생한다.
제 2 실시예
본 발명의 제 2 실시예에서는 상부 및 하부 안내판에 의해 필름의 말림 현상이 방지함과 동시에, 본 발명의 제 1 실시예에서 발생할 수 있는, 예를 들면 필름의 전면 및 배면이 상부 및 하부의 제진 롤러와 접촉하지 않는 문제를 개선하기 위하여, 필름의 전면 및 배면 전체에 걸쳐 상부 및 하부 제진 롤러와 접촉하여 이물질을 점착시킬 수 있는 제진장치를 제안한다.
도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 필름 제진장치의 개략도이고, 도 10은 도 9의 E-E'을 절단한 제진 및 전사 롤러의 단면도이고, 도 11은 도 9의 F-F'를 절단하여 위에서 바라본 평면도이고, 도 12는 도 9의 G-G'를 절단하여 아래에서 바라본 평면도이고, 도 13은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제진공정의 진행도이고, 도 14a 및 도 14b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 필름의 제진영역을 도시한 평면도이다.
도 9와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 필름의 이물질을 제거하는 제진장치(210)는, 도 5의 필름(212)에 부착되어 있는 이물질(240)을 제거하는 제진 롤러(214), 제진 롤러(214)의 이물질(240)이 전사되는 전사 롤러(216), 제진 롤러(214) 및 전사 롤러(216)를 지지하는 지지대(218), 지지대(218)를 고정시키는 고정판(220), 및 제진 롤러(214)를 구동시키는 구동장치(222)를 포함하여 구성된다. 제진 롤러(214)는 상부 제진 롤러(224) 및 하부 제진 롤러(226)를 포함하고, 전사 롤러(214)는 상부 전사 롤러(214a) 및 하부 전사 롤러(214b)를 포함한다. 지지대(218)는 제 1 및 제 2 지지대(218a, 218b)를 포함한다.
상부 제진 롤러(224)와 하부 제진 롤러(226) 각각은 양단부에 설치되는 제 1 및 제 2 구동축(228a, 228b)을 포함한다. 상부 제진 롤러(224)와 하부 제진 롤러(226) 각각은 제 1 및 제 2 지지대(218a, 218b) 사이에 위치하고, 상부 제진 롤러(224)와 하부 제진 롤러(226) 각각의 제 1 및 제 2 구동축(228a, 228b)은 제 1 및 제 2 지지대(218a, 218b)에 의해 회전 가능하도록 지지된다. 상부 제진 롤러(224)와 하부 제진 롤러(226) 각각의 제 1 구동축(228a)은 제 1 지지대(218a)를 관통하여 구동장치(222)와 연결된다.
도 10과 같이, 상부 제진 롤러(224)는 동일한 수평면에 위치하고 서로 이격된 제 1 상부 제진 롤러(224a) 및 제 2 상부 제진 롤러(224b)를 포함한다. 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(224a, 224b)는 서로 접촉을 방지하기 위하여 제 1 공간(242a)을 두고 이격된다. 하부 제진 롤러(226)는 동일한 수평면에 위치하고 일정간격으로 서로 이격된 제 1 하부 제진 롤러(226a) 및 제 2 하부 제진 롤러(226b)를 포함한다. 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(226a, 226b)는 서로 접촉을 방지하기 위하여 제 2 공간(242b)을 두고 이격된다.
상부 전사 롤러(214a)는 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(224a, 224b) 사이의 상부에 위치하고, 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(224a, 224b)와 접촉하면서 회전한다. 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(224a, 224b) 각각의 직경이 40mm일 때, 최근접 거리가 약 4mm정도로 설정된다. 하부 전사 롤러(214a)는 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(226a, 226b) 사이의 하부에 위치하고, 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(226a, 226b)와 접촉하면서 회전한다. 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(226a, 226b) 각각의 직경이 40mm일 때, 최근접 거리가 약 4mm정도로 설정된다.
제진 장치(210)는 필름(212)의 말림을 방지하기 위한 안내판(250)을 더욱 포함한다. 안내판(250)은 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(224a, 224b) 사이의 제 1 공간(242a)에 위치하는 상부 안내판(250a)과 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(226a, 226b) 사이의 제 2 공간(242b)에 위치하는 하부 안내판(250b)을 포함한다. 상부 및 하부 안내판(250a, 250b) 각각은 스테인레스강으로 제작할 수 있다.
상부 및 하부 안내판(250a, 250b)은 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(224a, 224b)와 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(226a, 226b)와 접촉하지 않는다. 따라서, 상부 및 하부 안내판(250a, 250b)이 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(224a, 224b)와 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(226a, 226b)의 회전을 방해하지 않는다.
도 11과 같이, 상부 안내판(250a)은 도 10의 제 1 공간(242a)에 위치하고 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(224a, 224b)와 평행한 제 1 플레이트(260a)와 제 1 플레이트(260a)의 일변으로 돌출된 다수의 제 1 상부 돌출부(262a)와, 일변과 대향하는 타변으로 돌출된 다수의 제 2 상부 돌출부(262b)를 포함한다. 제 1 및 제 2 상부 돌출부(262a, 262b)는 제 1 플레이트(260a)를 기준으로 지그재그(zigzag) 형태로 배열된다.
다수의 제 1 및 제 2 상부 돌출부(262a, 262b)는 서로 교번적으로 배열된다. 다시 말하면, 제 1 상부 돌출부(262a)는 2 개의 제 2 상부 돌출부(262b) 사이와 대응되는 일변에 위치하고, 제 2 상부 돌출부(262b)는 2 개의 제 1 상부 돌출부(262a) 사이와 대응되는 타변에 위치한다. 제 1 플레이트(260a)는 다양한 형태, 예를 들면 다수의 개구가 형성되는 격자형태일 수 있다.
제 1 상부 제진 롤러(224a)는 필름(212)과 접촉하는 다수의 제 1 상부 접촉부(270a)와 상부 안내판(250a)의 일변에 설치된 다수의 제 1 상부 돌출부(262a)를 수용하는 다수의 제 1 상부 단차부(252a)를 포함한다. 제 2 상부 제진 롤러(224b)는 필름(212)과 접촉하는 다수의 제 2 상부 접촉부(270b)와 상부 안내판(250a)의 타변에 설치된 다수의 제 2 상부 돌출부(262b)를 수용하는 다수의 제 2 상부 단차부(252b)를 포함한다. 제 1 상부 제진 롤러(224a)의 다수의 제 1 상부 접촉부(270a) 각각은 제 2 상부 제진 롤러(224b)의 다수의 제 2 상부 단차부(252b)와 대응하고, 제 1 상부 제진 롤러(224a)의 다수의 제 1 상부 단차부(252a)는 제 2 상부 제진 롤러(224b)의 다수의 제 2 상부 접촉부(270b)와 대응된다.
제 1 및 제 2 상부 제진 롤러(224a, 224b) 각각의 직경이 40mm일 때, 다수의 제 1 및 제 2 상부 단차부(252a, 252b) 각각은 5mm 정도의 너비 및 깊이을 가진다. 그리고, 다수의 제 1 및 제 2 상부 단차부(252a, 252b) 각각 사이의 간격은 45mm정도이다.
제 1 상부 제진 롤러(224a)에서, 다수의 제 1 상부 접촉부(270a)의 직경은 다수의 제 1 상부 단차부(252a)의 직경보다 크다. 제 2 상부 제진 롤러(224b)에서, 다수의 제 2 상부 접촉부(270b)의 직경은 다수의 제 2 상부 단차부(252b)의 직경보다 크다.
도 12와 같이, 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(226a, 226b) 사이의 도 10의 제 2 공간(242b)에 위치하는 하부 안내판(250b)은, 제 2 플레이트(260b)와 제 2 플레 이트(260b)의 일변으로 돌출된 다수의 제 1 하부 돌출부(264a)와, 일변과 대향하는 타변으로 돌출된 다수의 제 2 하부 돌출부(264b)를 포함한다. 제 1 및 제 2 하부 돌출부(264a, 264b)는 제 2 플레이트(260b)를 기준으로 지그재그(zigzag) 형태로 배열된다.
제 2 플레이트(260b)는 다양한 형태, 예를 들면 다수의 개구가 형성되는 격자형태일 수 있다. 다수의 제 1 및 제 2 하부 돌출부(264a, 264b)는 서로 교번적으로 배열된다. 다시 말하면, 제 1 하부 돌출부(264a)는 2 개의 제 2 하부 돌출부(264b) 사이와 대응되는 일변에 위치하고, 제 2 하부 돌출부(264b)는 2 개의 제 1 하부 돌출부(264a) 사이와 대응되는 타변에 위치한다.
제 1 하부 제진 롤러(226a)는 필름(212)과 접촉하는 다수의 제 1 상부 접촉부(272a)와 하부 안내판(250b)의 일변에 설치된 다수의 제 1 하부 돌출부(264a)를 수용하는 다수의 제 1 하부 단차부(254a)를 포함한다. 제 2 하부 제진 롤러(226b)는 필름(212)과 접촉하는 다수의 제 2 하부 접촉부(272b)와 하부 안내판(250b)의 타변에 설치된 다수의 제 2 하부 돌출부(262b)를 수용하는 다수의 제 2 하부 단차부(254b)를 포함한다. 제 1 하부 제진 롤러(226a)의 다수의 제 1 하부 접촉부(272a) 각각은 제 2 하부 제진 롤러(226b)의 다수의 제 2 하부 단차부(254b)와 대응하고, 제 1 하부 제진 롤러(226a)의 다수의 제 1 하부 단차부(254a)는 제 2 하부 제진 롤러(226b)의 다수의 제 2 하부 접촉부(272b)와 대응된다.
제 2 하부 제진 롤러(226a)에서, 다수의 제 1 하부 접촉부(272a)의 직경은 다수의 제 1 하부 단차부(254a)의 직경보다 크다. 제 2 상부 제진 롤러(226b)에서, 다수의 제 2 상부 접촉부(272b)의 직경은 다수의 제 2 상부 단차부(254b)의 직경보다 크다.
제 1 및 제 2 하부 제진 롤러(226a, 226b) 각각의 직경이 40mm일 때, 다수의 제 1 및 제 2 하부 단차부(254a, 254b) 각각은 5mm 정도의 너비 및 깊이을 가진다. 그리고, 다수의 제 1 및 제 2 하부 단차부(254a, 254b) 각각 사이의 간격은 45mm정도이다.
도 13과 같이, 상부 및 하부 제진 롤러(224, 226) 사이에 필름(212)이 투입되고, 상부 및 하부 제진 롤러(224, 226)가 회전하면서 필름(212)의 상부 및 하부에 부착되어 있는 이물질(240)이 상부 및 하부 제진 롤러(224, 226)에 점착된다. 그리고, 상부 및 하부 제진 롤러(224, 226)에 부착된 이물질(240)은 상부 및 하부 전사 롤러(214a, 214b)로 전사되어, 필름(212) 상에 부착되어 있던 이물질(240)은 최종적으로 상부 및 하부 전사 롤러(214a, 214b)에 점착된다. 상부 및 하부 전사 롤러(214a, 214b)는 주기적으로 교체한다.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 제진장치(210)은, 상부 및 하부 안내판(250a, 250b)에 의해서 필름(212)의 말림 현상이 방지된다. 그리고, 필름(214)이 제 1 상부 제진 롤러(224a) 및 제 2 하부 제진 롤러(226a) 사이를 통과하면서, 도 14a와 같이, 제 1 상부 및 하부 제진 롤러(224a, 226a) 각각의 다수의 제 1 상부 및 하부 접촉부(270a, 272a)와 접촉하는 필름(214)의 전면 및 배면에 위치하는 도 10의 다수의 제 1 제진영역(290a)의 이물질(240)이 제진된다.
이어서, 필름(214)이 제 2 상부 제진 롤러(224b) 및 제 2 하부 제진 롤러(226b) 사이를 통과하면, 제 2 상부 및 하부 제진 롤러(224b, 226b) 각각의 다수의 제 2 상부 및 하부 접촉부(270b, 272b)와 접촉하는 필름(214)의 전면 및 배면에 위치하는 도 10의 다수의 제 2 제진영역(290b)의 이물질(240)이 제진된다.
도 14a 및 도 14b는 상부 및 하부 제진 롤러(224, 226)에 의해서 제진되는 영역을 구분한 필름(214)의 평면도이다. 설명의 편의를 위하여, 도 14a 및 도 14b에서는 필름(214)의 전면 만을 도시하였다, 필름(214)의 배면에서 제진되는 영역은 필름(214)의 전면과 동일하다. 도 14a와 같이, 필름(214)이 제 1 상부 제진 롤러(224a) 및 제 2 하부 제진 롤러(226a) 사이를 통과하면, 필름(214)의 전면 및 배면에 위치하는 다수의 제 1 제진영역(290a) 각각은 다수의 제 1 상부 및 하부 접촉부(270a, 272a)에 의해서 제진된다. 그리고, 다수의 제 1 제진영역(290a) 사이에는 다수의 제 1 상부 및 하부 단차부(252a, 254a)에 의해서 제진되지 않는 다수의 제 1 비제진 영역(292a)이 설정된다.
도 14b와 같이, 필름(214)이 제 2 상부 제진 롤러(224b) 및 제 2 하부 제진 롤러(226b) 사이를 통과하면, 필름(214)의 전면 및 배면에 위치하는 다수의 제 2 제진영역(290b) 각각은 다수의 제 2 상부 및 하부 접촉부(270b, 272b)에 의해서 제진된다. 그리고, 다수의 제 2 제진영역(292b) 사이에는 다수의 제 2 상부 및 하부 단차부(252b, 254b)에 의해서 제진되지 않는 다수의 제 2 비제진 영역(292b)이 설정된다. 다수의 제 2 비제진 영역(292b)은 필름(214)의 전면 및 배면이 제 1 상부 제진 롤러(224a) 및 제 2 하부 제진 롤러(226a) 사이를 통과할 때, 이미 제진된 다수의 제 1 제진영역(290a)과 중첩된다. 설명의 편의를 위하여 다수의 제 2 제진영역(290b)과 다수의 제 1 비제진 영역(292b)은 빗금으로 표현한다.
도 14a와 같이, 필름(214)이 제 1 상부 제진 롤러(224a) 및 제 1 하부 제진 롤러(226a) 사이를 통과할 때, 제진되지 않은 다수의 제 1 비제진 영역(292a)은 필름(214)이 제 2 상부 제진 롤러(224b) 및 제 2 하부 제진 롤러(226b) 사이를 통과할 때, 다수의 제 1 비제진 영역(292a)을 중첩하여 커버하는 다수의 제 2 제진영역(290b)에 의해 제진된다.
본 발명의 제 2 실시예의 제진장치는, 상부 및 하부 안내판에 의해 필름의 말림 현상이 방지함과 동시에, 필름의 전체에 걸쳐 상부 및 하부 제진롤러와 접촉하므로, 필름의 제진율을 개선할 수 있다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 정신 및 사상을 벗어나지 않는 한도 내에서 다양하게 변형 및 변경할 수 있다는 것은 자명한 사실일 것이다.
도 1은 종래기술에 따른 필름 제진장치의 개략도
도 2는 도 1의 A-A'로 절단한 제진 및 전사 롤러의 단면도
도 3a 및 도 3b는 종래기술에 따른 필름의 말림 현상을 도시한 모식도
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 필름 제진장치의 개략도
도 5는 도 4의 B-B'을 절단한 제진 및 전사 롤러의 단면도
도 6은 도 4의 C-C'를 절단하여 위에서 바라본 평면도
도 7은 도 4의 D-D'를 절단하여 아래에서 바라본 평면도
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 안내판에 의해 필름의 말림 현상이 방지되는 모식도
도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 필름 제진장치의 개략도
도 10은 도 9의 E-E'을 절단한 제진 및 전사 롤러의 단면도이
도 11은 도 9의 F-F'를 절단하여 위에서 바라본 평면도
도 12는 도 9의 G-G'를 절단하여 아래에서 바라본 평면도
도 13은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제진공정의 진행도
도 14a 및 도 14b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 필름의 제진영역을 도시한 평면도

Claims (11)

  1. 필름의 이물질을 점착하기 위해 필름 제진 장치에 있어서,
    다수의 제 1 단차부를 가지는 제 1 제진 롤러; 및
    상기 제 1 제진 롤러와 인접하고 상기 다수의 제 1 단차부와 교번적으로 배열되는 다수의 제 2 단차부를 가지는 제 2 제진 롤러;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 제진 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 제진 롤러에 점착된 이물질이 전사되는 전사롤러를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 제진 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 제진 롤러와 상기 제 2 제진 롤러 사이의 공간에 위치하고, 상기 필름의 말림을 방지하는 안내판을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 제진 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 제진 롤러는,
    다수의 제 1 상부 접촉부와 다수의 제 1 상부 단차부를 가지는 제 1 상부 제진 롤러; 및
    상기 제 1 상부 제진 롤러의 하부에 위치하고, 상기 다수의 제 1 하부 접촉부와 다수의 제 1 하부 단차부를 가지는 제 1 하부 제진 롤러;
    를 포함하고,
    상기 제 2 제진 롤러는,
    상기 다수의 제 1 상부 접촉부와 교번적으로 배열되는 다수의 제 2 상부 접촉부와 상기 다수의 제 1 상부 단차부와 교번적으로 배열되는 다수의 제 2 상부 단차부를 가지는 제 2 상부 제진 롤러;
    상기 제 2 상부 제진 롤러의 하부에 위치하고, 상기 다수의 제 1 하부 접촉부와 교번적으로 배열되는 다수의 제 2 하부 접촉부와 상기 다수의 제 1 하부 단차부와 교번적으로 배열되는 다수의 제 2 하부 단차부를 가지는 제 2 하부 제진 롤러;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 제진 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 필름은 상기 제 1 상부 및 하부 제진 롤러 사이와 상기 제 2 상부 및 하부 제진 롤러 사이를 통과하는 것을 특징으로 하는 필름 제진 장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 안내판은,
    상기 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러 사이의 위치한 상부 안내판; 및
    상기 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러 사이에 위치한 하부 안내판;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 제진 장치
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 상부 안내판은,
    상기 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러 사이에 위치한 제 1 플레이트;
    상기 제 1 플레이트의 일변에서 돌출되고 상기 제 1 상부 제진 롤러의 상기 다수의 제 1 상부 단차부에 수용되는 다수의 제 1 상부 돌출부; 및
    상기 제 1 플레이트의 일변과 대향하는 타변에서 돌출되고 상기 제 2 상부 제진 롤러의 상기 다수의 제 2 상부 단차부에 수용되는 다수의 제 2 상부 돌출부;
    를 포함하고,
    상기 하부 안내판은,
    상기 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러 사이에 위치한 제 2 플레이트;
    상기 제 2 플레이트의 일변에서 돌출되고 상기 제 1 하부 제진 롤러의 상기 다수의 제 1 하부 단차부에 수용되는 다수의 제 1 하부 돌출부; 및
    상기 제 2 플레이트의 일변과 대향하는 타변에서 돌출되고 상기 제 2 하부 제진 롤러의 상기 다수의 제 2 하부 단차부에 수용되는 다수의 제 2 하부 돌출부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 제진 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 플레이트는 다수의 개구가 형성되는 격자형태인 것을 특징으로 하는 필름 제진 장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 다수의 제 1 상부 돌출부는 상기 다수의 제 2 상부 돌출부와 교번적으로 배열되고, 상기 다수의 제 1 하부 돌출부는 상기 다수의 제 2 하부 돌출부와 교번적으로 배열되는 것을 특징으로 하는 필름 제진 장치.
  10. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러와 접촉하면서 상기 제 1 및 제 2 상부 제 진 롤러의 이물질이 전사되는 상부 전사 롤러; 및
    상기 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러와 접촉하면서 상기 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러의 이물질이 전사되는 하부 전사 롤러;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 제진 장치.
  11. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 상부 제진 롤러 및 상기 제 1 및 제 2 하부 제진 롤러는 각각 합성 고분자 실리콘 재질로 형성하는 것을 특징으로 하는 필름 제진 장치.
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