KR20110044694A

KR20110044694A - 브레이크 장치 및 브레이크 방법

Info

Publication number: KR20110044694A
Application number: KR1020100088233A
Authority: KR
Inventors: 카즈야 마에카와
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2009-10-23
Filing date: 2010-09-09
Publication date: 2011-04-29
Also published as: TW201114702A; KR101212951B1; EP2314548A3; CN102040330A; US20110095062A1; EP2314548A2; JP2011088382A; TWI434812B

Abstract

(과제) 지금까지보다 작은 브레이크 하중으로 분단할 수 있는 브레이크 장치를 제공한다.
(해결 수단) 취성 재료 기판을 올려놓는 테이블(12)과, 기판에 면 접촉시키는 롤러(32)를 회전이 자유롭게 지지함과 함께, 롤러를 상기 기판에 압접시킨 상태에서 압접 방향으로 진동을 부여하는 진동 액츄에이터(38)를 구비한 롤러 헤드(40)와, 롤러 헤드를 기판면을 따라서 상대적으로 이동시키는 이동 기구(22)를 구비하고, 제1 면에 스크라이브 라인(S)이 형성된 취성 재료 기판에 대하여, 제1 면의 뒤쪽이 되는 제2 면의 스크라이브 라인의 바로 뒤에 위치하는 압접 예정 라인을 따라서 롤러를 압접 상태로 하여 압접 방향으로 진동을 부여하면서 상대 이동한다.

Description

브레이크 장치 및 브레이크 방법{BREAKING APPARATUS AND BREAKING METHOD}

본 발명은 스크라이브 라인(scribe line)이 형성된 취성 재료 기판(brittle material substrate)의 분단(dividing)을 행하기 위한 브레이크 장치, 브레이크 방법에 관한 것이다. 여기에서 말하는 취성 재료 기판에는, 유리, 세라믹(저온 소성 세라믹 및 고온 소성 세라믹), 실리콘 등의 반도체 재료, 사파이어 등이 포함된다. 또한, 분단되는 기판의 형태는 단판(單板)뿐만 아니라, 2매의 기판이 접합된 접합 기판도 포함된다.

도 10은, 종래부터 행해지고 있는 유리 기판의 분단 방법의 일 예를 나타내는 도면이다. 우선, 기판을 스크라이브 장치의 테이블 상에 올려놓고, 커터 휠을 이용하여 제1 면의 분단 예정 라인을 따라서 스크라이브 라인(S)을 형성한다(도 10(a)). 계속해서, 기판을 브레이크 장치인 고무제 테이블 상에 올려놓고, 제1 면과는 반대측인 제2 면으로부터 스크라이브 라인(S)의 바로 뒤를 따라서 브레이크 바(break bar)를 대어 브레이크 하중을 인가함으로써 충격 또는 굽힘 모멘트를 가하여 브레이크를 행한다(도 10(b)).

제1 공정인 스크라이브에서는, 커터 휠을 전동(rolling)함으로써 스크라이브 라인을 형성하는 메커니컬 스크라이브, 혹은, 레이저 조사에 의한 가열과 그 후의 냉각에 의한 응력차를 이용하여 스크라이브 라인을 형성하는 레이저 스크라이브의 어느 쪽인가가 행해지는 것이 일반적이다.

한편, 제2 공정인 브레이크에서는, 형성된 스크라이브 라인을 따라서, 브레이크 바를 꽉 누르거나, 롤러를 전동시키거나 함으로써 충격 또는 굽힘 모멘트를 부여하여 브레이크가 행해진다.

최근, 플랫 패널(flat panel)용의 유리 기판에서는 기판의 경량화를 도모하기 위해, 기판 재료의 박판화, 경질화가 진행되고 있다. 그 때문에, 스크라이브 라인 형성 후에 기판을 브레이크할 때에, 기판의 박판화의 영향으로 분단면이 파괴되기 쉬워져, 치핑(chipping)이 발생하기 쉬워지고 있다. 또한, 보통의 유리 기판이라도, 그 판두께가 두꺼운 경우(예를 들면 1㎜ 이상)에는, 브레이크시에 큰 하중으로 브레이크 바로 꽉 누를 필요가 있어, 마찬가지로 치핑이 발생하기 쉬워지고 있다.

일반적으로, 치핑이 발생하고 있지 않은 가공 품질이 높은 분단 가공을 행하려면, 브레이크시에, 스크라이브 라인을 따르게 하는 브레이크 바 등에 가하는 브레이크 하중을 가능한 한 작게 하여 분단하는 것이 바람직하다. 그러기 위해서는, 스크라이브 공정에 있어서, 미리 스크라이브 라인을 형성하는 수직 크랙을 깊게 신전(extension)시켜 두는 것이 필요하게 된다.

지금까지, 스크라이브 라인을 깊게 신전시키기 위한 스크라이브 방법이 몇 가지인가 제안되어 있다.

하나는, 메커니컬 스크라이브에서 사용하는 커터 휠을, 그 원주 능선을 따라서 홈과 돌기가 교대로 형성되어, 수직 크랙을 깊게 신전시킬 수 있는 고(高)침투성의 홈이 있는 커터 휠을 이용함으로써, 돌기를 기판에 파고들게 하여, 깊은 크랙이 형성되도록 하는 방법이다(특허문헌 1 참조).

또한, 전술한 홈이 있는 커터 휠을 부착한 스크라이브 헤드에 대하여 진동 액츄에이터로 상하 방향으로 진동을 부여하면서 커터 휠을 전동시킴으로써, 크랙을 더욱 깊게 침투시키는 방법도 개시되어 있다(특허문헌 2 참조).

또한, 다른 방법으로서, 스크라이브 가공시에 크랙을 깊게 침투시키는 것이 아니라, 스크라이브 라인(크랙)을 형성한 후의 브레이크 공정시에, 스크라이브 라인을 형성한 측과는 반대측의 유리 면으로부터 스크라이브 라인을 따라서 초음파 에너지를 인가함으로써, 스크라이브 라인을 따라서 크랙을 전파시키는 것이 개시되어 있다(특허문헌 3 참조). 또한, 이 방법의 경우, 스크라이브 라인의 깊이가 충분하지 않을 때(기판 판두께의 5％ 정도)는, 크랙 전파가 되지 않는 것이 개시되어 있다.

일본국특허 제3074143호 국제공개 WO2008/129943호 일본특허공표공보 2008-540169호

유리 기판 등에서는, 앞으로 더욱 더 가공 품질이 높은 분단 가공을 행하는 것이 요구되고 있다. 특허문헌 1에 기재된 홈이 있는 커터 휠로 스크라이브하는 방법이나, 특허문헌 2에 기재된 홈이 있는 커터 휠에 진동을 부여하면서 스크라이브하는 방법은, 통상의 커터 휠로 스크라이브하는 것보다 깊은 크랙을 형성할 수 있기 때문에, 그 후의 브레이크시에 가해지는 하중을 줄이기 위해서는 유효하지만, 브레이크 공정에 있어서도, 더욱 브레이크 하중을 줄일 수 있다면, 보다 바람직하다.

특허문헌 3에 기재된 초음파 에너지를 인가하는 브레이크 방법에서는, 크랙이 충분히 깊게 형성되어 있지 않으면 크랙 전파를 할 수 없어, 브레이크할 수 없다.

그래서, 본 발명은, 브레이크 공정을 궁리함으로써, 지금까지 보다도 작은 브레이크 하중으로 보다 깊은 크랙을 형성할 수 있는 브레이크 장치, 브레이크 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에서는 다음과 같은 기술적 수단을 강구했다. 즉, 본 발명의 브레이크 장치는, 취성 재료 기판을 올려놓는 테이블과, 기판에 면 접촉시키는 롤러를 회전이 자유롭게 지지함과 함께, 롤러를 기판에 압접시킨 상태에서 압접 방향으로 진동을 부여하는 진동 액츄에이터를 구비한 롤러 헤드와, 롤러 헤드를 기판면을 따라서 상대적으로 이동시키는 이동 기구를 구비한다.

또한, 본 발명의 브레이크 방법은, 제1 면에 스크라이브 라인이 형성된 취성 재료 기판에 대하여, 제1 면의 뒤쪽이 되는 제2 면의 스크라이브 라인의 바로 뒤에 위치하는 압접 예정 라인을 따라서 롤러를 압접 상태로 하여 상대 이동함으로써, 제1 면의 스크라이브 라인을 따라서 상기 기판을 분단하는 브레이크 방법으로서, 롤러는, 압접 방향으로 진동을 부여하면서 압접 이동시키도록 하고 있다.

본 발명의 브레이크 장치에 의하면, 테이블 상에 취성 재료 기판이 올려놓여진다. 이때, 스크라이브 라인이 형성되어 있는 기판의 제1 면이 테이블 면에 접하도록 올려놓는다. 그리고, 기판의 제1 면의 뒤쪽인 제2 면에 대하여, 스크라이브 라인의 바로 뒤에 위치하는 압접 예정 라인을 따라서 롤러를 소망하는 브레이크 하중으로 압접하면서 상대 이동한다. 그때에, 압접 방향(즉 기판의 두께 방향)으로 진동을 가하면서 롤러를 이동시킨다. 그에 따라, 롤러에 진동을 부여하지 않고 이동시켰을 때에 비하면, 브레이크 하중이 작아도 진동의 영향으로 크랙이 깊게 신전되게 되어, 브레이크가 용이해진다. 기판의 판두께가 두꺼운 경우에는 큰 하중을 부여하지 않으면 브레이크할 수 없었던 경우라도, 진동을 부여함으로써, 지금까지 보다도 작은 하중으로 브레이크를 할 수 있게 된다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태인 브레이크 장치의 전체 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 X스테이지의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 롤러 헤드의 단면도이다.
도 4는 롤러 헤드의 다른 실시 형태의 단면도이다.
도 5는 진동 액츄에이터의 단면도이다.
도 6은 롤러의 정면도이다.
도 7은 롤러의 측면도이다.
도 8은 접합 기판의 브레이크시에 사용하는 롤러를 나타내는 도면이다.
도 9는 접합 기판용의 롤러의 정면도이다.
도 10은 종래부터 행해지고 있는 일반적인 유리 기판의 분단 방법을 나타내는 도면이다.

(발명을 실시하기 위한 형태)

이하, 본 발명에 따른 브레이크 장치 및 본 발명의 브레이크 방법의 상세를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 브레이크 장치(10)의 전체 구성을 나타내는 도면이다. 베이스(11) 상에는, 기판(G)을 올려놓는 테이블(12)이 형성되어 있다. 테이블(12)은, Y방향으로 이동하는 Y축 구동 기구(13)와, 테이블(12)의 하방에 부착되어 테이블(12)을 회전하는 테이블 회전 기구(14)를 구비하고 있다. 테이블(12)의 상면에는 고무(12a)가 깔려 있어, 기판(G)에 위로부터 하중이 인가되었을 때에 기판이 휘어지기 쉽게 되어 있다.

Y축 구동 기구(13)는, 테이블 회전 기구(14)를 통하여 테이블(12)을 지지하는 Y스테이지(15)와, Y스테이지(15)를 Y방향으로 구동시키는 리니어 모터(16)와, Y방향의 운동을 안내하는 리니어 가이드(17)로 이루어진다.

테이블 회전 기구(14)는, Y스테이지(15) 상에 부착되어 있고, 모터(도시하지 않음)로부터 수평면 내에서 테이블(12)이 회전할 수 있도록 되어 있다.

또한, 베이스(11)의 위에는 X스테이지(21) 및 이것을 X방향으로 이동시키기 위한 X축 구동 기구(22)가 형성되어 있다. X축 구동 기구(22)는, 테이블(12)에 걸치도록 배치되는 브리지 가이드(24)와 이것을 지지하는 지주(column; 23)로 이루어진다. 브리지 가이드(24)는, X스테이지(21)를 X방향으로 구동하는 리니어 모터(도시하지 않음)와, X방향의 운동을 안내하는 리니어 가이드(25)를 구비하고 있다.

다음으로, X스테이지(21)에 대해서 설명한다. 도 2는 X스테이지(21)의 구성을 나타내는 도면이다. 또한, 도 1에서는 X스테이지(21)의 외측을 덮는 커버를 부착한 상태를 나타내고 있지만, 도 2에서는 커버를 떼어내어 내부 기구가 보이도록 나타내고 있다.

X스테이지(21)에는, 리니어 가이드(25)에 의해 안내되는 베이스 플레이트(31)가 형성되어 있고, 베이스 플레이트(31) 상에는 롤러(32)를 Z방향으로 이동시키기 위한 Z축 구동 기구(33)가 형성되어 있다.

Z축 구동 기구(33)는, Z스테이지(34)와, Z스테이지(34)를 Z방향으로 구동시키는 볼나사 기구(35)와, Z스테이지(34)의 Z방향의 운동을 안내하는 리니어 가이드(36)로 이루어진다.

Z스테이지(34)에는 롤러(32)를 기판(G)에 꽉 누를 때의 가압 기구인 하중 인가 실린더(37)가 부착되어 있고, 하중 인가 실린더(37)의 로드(rod;37a)에는 진동 액츄에이터(38)를 통하여 롤러 헤드(40)가 부착되어 있다. 하중 인가 실린더(37)는 구체적으로는, 에어 실린더, 서보 모터, 보이스 코일 모터 등을 이용할 수 있다.

하중 인가 실린더(37)는, Z축 구동 기구(33)에 의해 롤러(32)의 높이를 조정한 후에, 롤러(32)가 기판(G)을 가압하는 하중을 조정할 수 있도록 되어 있다.

진동 액츄에이터(38)는, 미리 설정하는 진폭, 진동수로, 롤러(32)를 상하로 진동한다.

도 3은, 롤러(32)를 지지함과 함께 진동 액츄에이터(38)의 진동을 롤러(32)에 전달하는 롤러 헤드(40)의 단면도이다. 롤러 헤드(40)는, 진동 액츄에이터(38)가 고정되는 본체부(41)와, 롤러(32)를 회전이 자유롭게 지지하는 홀더(42)와, 진동 액츄에이터(38)로부터의 진동을 홀더(42)에 전달하는 샤프트(43)와, 샤프트(43)의 운동을 안내하는 가이드(44)를 갖는다. 가이드(44)와 샤프트(43)와의 사이에는, 볼(도시하지 않음)이 들어가, 샤프트(43)가 가이드(44)에 대하여 순조롭게 운동할 수 있도록 되어 있다. 진동 액츄에이터(38)의 로드(38a)는, 연결부(45)로 샤프트(43)와 나사 결합된다. 샤프트(43)의 하단은 본체부(41)로부터 튀어나와 홀더에 나사 결합되어 있다.

홀더(42)의 하단은 두 갈래로 갈라져, 롤러(32)의 회전축을 지지함으로써, 롤러(32)가 회전이 자유롭게 지지된다.

도 4는 롤러 헤드(40)의 다른 실시 형태를 나타내는 단면도이다. 도 3과 동일한 부분은 동일 부호를 붙임으로써 설명을 생략한다. 이 실시 형태에서는, 진동 액츄에이터(38)의 로드(38a)와 샤프트(43)와는 분리되어, 접시 스프링(46)으로 샤프트(43)가 로드(38a)에 접하도록 탄성 지지되어있다. 이와 같이 분리함으로써, 진동 액츄에이터(38)의 가로 변위가 샤프트(43)에 전달되는 일 없이, 세로 변위만이 샤프트(43)에 전달되도록 되어 있다.

도 5는 진동 액츄에이터(38)의 단면도이다. 진동 액츄에이터(38)는, 주로, 동심원 형상으로 배치되는 초자왜(supermagnetostrain) 소자(51), 코일(52), 바이어스 자석(53)과, 접시 스프링(54)과, 이들을 내장하는 케이스(55)로 이루어진다. 초자왜 소자(51)는 바이어스 자석(53)과 코일 전류에 의한 자계에 따라서 치수가 변화한다. 그 때문에, 코일 전류를 변화시킴으로써, 그 진폭, 진동수에 따른 진폭, 진동수로 초자왜 소자(51)가 진동한다. 로드(38a)가 초자왜 소자(51)에 접하도록 접시 스프링(54)에 의해 탄성 지지되어 있기 때문에, 초자왜 소자(51)의 진동이 로드(38a)에 전달된다. 진동 액츄에이터(38)는, 구체적으로는 진동수 1kHz∼10kHz, 변위량 1㎛∼20㎛의 조정 가능 범위에서 진동이 형성되도록 되어 있다. 로드(38a)의 진동은, 가이드(56)에 의해 안내되고, 샤프트(43)(도 3)를 통하여 롤러(32)에 진동이 전해지도록 되어 있다.

또한, 진동 액츄에이터(38)에 사용하는 진동 소자로서는, 초자왜 소자(51)를 대신하여 피에조(Piezo) 소자를 이용해도 좋다.

도 6은 롤러(32)의 정면도이고, 도 7은 측면도이다. 롤러(32)는, 원주 형상을 이루고 있고, 지지축을 통과시키기 위한 구멍(61)이 회전 중심에 형성되어 있다. 롤러(32)의 구체적 치수는 외경 2㎜∼50㎜, 두께 0.5㎜∼10㎜의 범위에서 선택 가능하고, 재질로서는, 기판과의 접촉면에 흠이 나기 어렵게 하기 위해, 폴리아세탈, 폴리우레탄 고무 등의 고무 경도(Hs)가 20°∼90°인 재료가 사용되고 있다.

또한, 분단 대상이 단판이 아니라, 도 8에 나타내는 바와 같이 2매의 기판(G1, G2)이 접합된 셀 기판으로서, 미리 스크라이브 라인(S1, S2)이 셀 기판의 양측의 외측면(제1 면 및 제2 면이 됨)의 대향 위치에 형성되어 있는 경우에는, 기판(G1, G2)에 롤러를 압접할 때에, 기판에 형성되어 있는 스크라이브 라인(S1, S2)에 롤러가 접촉해 버릴 우려가 있기 때문에, 도 9에 나타내는 바와 같이, 홈(63)이 형성된 롤러(64)를 이용하는 것이 바람직하다.

브레이크 장치(10)는, 컴퓨터 시스템(도시하지 않음)으로 제어되고, 컴퓨터 시스템에 의해 X축 구동 기구(22), Y축 구동 기구(13), Z축 구동 기구(33), 테이블 회전 기구(14)를 비롯하여, 장치 각부의 조작이 행해진다.

계속해서, 브레이크 장치(10)를 이용한 브레이크 방법의 일 실시 형태에 대해서 도 1, 도 2를 참조하면서 설명한다. 본 발명의 브레이크 방법에서는, 미리, 스크라이브 라인(S)이 형성되어 있어, 이 스크라이브 라인(S)의 바로 뒤가 압접 예정 라인이 되는 것을 전제로 하고 있다.

스크라이브 라인을 형성하는 방법은, 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 레이저 조사에 의한 국소 가열과 그 후의 국소 냉각을 행하여, 이때 발생하는 잔류 응력에 의해 스크라이브를 행하는 레이저 스크라이브 가공(예를 들면 일본국특허 3027768호 참조)이라도 좋고, 커터 휠을 전동시켜 스크라이브를 행하는 메커니컬 스크라이브 가공이라도 좋다.

후자의 메커니컬 스크라이브 가공에서는, 날끝을 형성하는 원주 능선을 따라서 홈이 형성되어 있지 않은 일반적인 날끝의 커터 휠이라도 좋고, 원주 능선을 따라서 홈과 돌기를 교대로 형성한 특허문헌 1에 기재된 고침투성의 홈이 있는 커터 휠이라도 좋다.

브레이크 장치(10)에서는, 앞으로 브레이크할 압접 예정 라인(즉 스크라이브 라인(S)의 바로 뒤의 위치)을 갖는 기판(G)을 테이블(12) 상에 올려놓지만, 그때에, 스크라이브 라인(S)을 테이블(12)(고무(12a))에 접하도록 한다. 그리고, 기판에 새겨져 형성된 얼라인먼트 마크(alignment mark)에 기초하여, X축 구동 기구(22), Y축 구동 기구(13), 테이블 회전 기구(14)를 작동시켜 위치 결정을 행하고, 앞으로 브레이크할 압접 예정 라인의 가장자리를, 롤러(32)의 바로 아래의 위치에 맞춘다.

계속해서, Z축 구동 기구(33)를 구동하여 롤러 헤드(40)를 하강하여, 롤러(32)를 기판(G)에 맞닿게 한다. 하중 인가 실린더(37)를 작동하여, 롤러(32)가 소망하는 브레이크 하중으로 기판(G)을 가압하도록 한다. 구체적으로는 브레이크 하중을 1N∼50N의 범위에서 조정한다.

계속해서, 진동 액츄에이터(38)를 동작시켜, 소망하는 진폭, 진동수로 롤러(32)에 진동을 부여한다. 구체적으로는, 진폭 1㎛∼20㎛의 범위, 진동수 1kHz∼10kHz의 범위에서 작동시킨다.

이 상태에서 X축 구동 기구(22)를 작동시켜, 롤러 헤드(40)를 소망하는 이동 속도로 이동시킨다. 구체적으로는 10㎜/초∼1000㎜/초(통상은 50㎜/초∼500㎜/초)의 범위에서 적절한 속도를 설정하여, 그 속도를 가지고 가압 상태인 채 롤러를 이동시킨다.

이상의 동작에 의해, 롤러(32)가 압접 예정 라인(스크라이브 라인(S)의 바로 뒤)을 따라서 진동하면서 가압하게 되어, 그 결과, 진동 하중의 영향으로 깊이 방향으로 크랙이 깊게 신전되어, 보다 작은 하중으로도 브레이크할 수 있게 된다.

특히, 기판의 판두께가 두꺼운 경우(1㎜ 이상)에서는, 지금까지는 큰 하중을 부여하지 않으면 크랙이 신전될 수 없어 브레이크할 수 없었지만, 진동 하중으로 함으로써 작은 하중으로도 브레이크를 할 수 있게 된다.

그리고, 분단 후의 브레이크 면을 보면, 브레이크 하중을 작게 하여 브레이크했기 때문에, 파편의 발생이 거의 없어, 가공 품질이 뛰어나다.

또한, 지금까지는, 브레이크 대상의 두께나 재질에 따라서, 롤러에 의한 브레이크 하중의 크기와 롤러의 이동 속도를 조정하도록 하고 있었지만, 브레이크시에 가하는 진동의 진폭 및 진동수도 파라미터로서 설정할 수 있게 되어, 조정의 자유도를 늘릴 수 있게 되었다.

이상 본 발명의 대표적인 실시 형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 반드시 상기 실시 형태에 특정되는 것은 아니며, 그 목적을 달성하고, 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절히 수정, 변경하는 것이 가능하다.

또한, 롤러의 압접면은 회전축 방향을 따라서 평탄면으로 했지만, 롤러의 중앙이 롤러의 좌우단보다도 튀어나온 곡면(아래로 볼록한 곡면)으로 하도록 하여, 압접시에 기판이 휘어지기 쉬워지도록 해도 좋다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 브레이크 중은 진동의 진폭, 진동수를 일정하게 하고 있지만, 브레이크의 위치에 따라서 진폭을 변화하도록 해도 좋다. 예를 들면, 브레이크의 개시단(크랙의 개시단)의 위치에서 롤러 헤드가 이동 정지 중은 보다 깊게 크랙을 신전시켜 크랙이 확실히 관통하도록 진동의 진폭을 크게 하여 두고, 롤러 헤드가 이동을 개시하면 진동의 진폭을 조금 작게 하여(일단 관통한 크랙은 진폭을 작게 해도 관통을 계속함), 소프트한 브레이크가 행해지도록 해도 좋다.

본 발명의 분단 방법은 유리 등의 취성 재료로 이루어지는 기판을 스크라이브 라인을 따라서 브레이크할 때에 이용할 수 있다.

10 : 브레이크 장치
12 : 테이블
13 : Y축 구동 기구
14 : 테이블 회전 기구
22 : X축 구동 기구
32 : 롤러
33 : Z축 구동 기구
37 : 하중 인가 실린더
38 : 진동 액츄에이터
40 : 롤러 헤드
43 : 샤프트
44 : 가이드
51 : 초자왜 소자
S : 스크라이브 라인
G : 기판

Claims

취성 재료 기판을 올려놓는 테이블과,
상기 기판에 면 접촉시키는 롤러를 회전이 자유롭게 지지함과 함께, 상기 롤러를 상기 기판에 압접시킨 상태에서 압접 방향으로 진동을 부여하는 진동 액츄에이터를 구비한 롤러 헤드와,
상기 롤러 헤드를 기판면을 따라서 상대적으로 이동시키는 이동 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 브레이크 장치.
제1항에 있어서,
상기 진동 액츄에이터는 진동수 및 변위폭을 조정하는 진동 조정부를 구비한 브레이크 장치.
제2항에 있어서,
상기 진동 조정부는, 진동수를 1kHz∼10kHz의 범위에서 조정하고, 변위폭을 1㎛∼20㎛의 범위에서 조정하는 브레이크 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
롤러의 재질이 폴리아세탈, 폴리우레탄 고무 중 어느 하나로 이루어지는 브레이크 장치.
제1 면에 스크라이브 라인이 형성된 취성 재료 기판에 대하여, 제1 면의 뒤쪽이 되는 제2 면의 상기 스크라이브 라인의 바로 뒤에 위치하는 압접 예정 라인을 따라서 롤러를 압접 상태로 하여 상대 이동함으로써, 제1 면의 스크라이브 라인을 따라서 상기 기판을 분단하는 브레이크 방법으로서,
상기 롤러는, 압접 방향으로 진동을 부여하면서 압접 이동시키는 것을 특징으로 하는 브레이크 방법.
제5항에 있어서,
상기 롤러는, 진동수가 1kHz∼10kHz의 범위에서 조정되고, 변위폭이 1㎛∼20㎛의 범위에서 조정되는 브레이크 방법.