KR20100135195A - 유리판 단면(端面) 측정 장치에 대한 유리판 세팅 방법 및 측정 치구(治具) - Google Patents

Abstract

샘플 조각을 준비할 때, 측정변만을 남기고 대변을 특히 측정변과 평행으로 가공하지 않아도, 유리판의 단면(端面)을 측정 장치에 대해 용이하게 적정한 세팅을 할 수 있게 한다.
서로 평행한 평면으로 구성된 밑면 및 상면과, 이들에 수직인 지지면 및 협지면을 가지는 측정 치구를 이용하고, 지지면과 협지면과의 사이에 유리판을 삽입해, 유리판의 단면(端面)을 가지는 직선상의 측정변을, 측정 치구의 상면에 면 접촉시킨 위치 결정 평면에 대해 선 접촉시킨 상태로, 지지면과 협지면과의 사이에 유리판을 협지 고정해, 그 상태로, 측정 치구의 밑면을 측정 장치의 테이블 상면에 면 접촉시키는 것으로, 테이블 상에 측정 치구를 올려 놓고, 그것에 의해, 테이블 상면에 대해 유리판을 수직인 자세로 보지(保持)하면서, 측정변을 테이블 상면에 대해 평행으로 세팅한다.

Description

유리판 단면(端面) 측정 장치에 대한 유리판 세팅 방법 및 측정 치구(治具){METHOD FOR SETTING GLASS PLATE TO CLASS PLATE EDGE MEASUREMENT APPARATUS AND MEASUREMENT JIG}

본 발명은, 플랫 패널 디스플레이(flat panel display) 등의 제조에 사용되는 유리판의 단면(端面) 검사를 시행할 때의 기술에 관한 것으로, 특히, 단면(端面)의 표면 거칠기 등을 검사하기 위한 측정 장치(표면 거칠기 측정 장치 등)에 대한 유리판 세팅 방법 및 그 세팅 방법에 사용하는 측정 치구에 관한 것이다.

액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이(이하, 간략히 「FPD」라고 한다)에는, 매우 얇은 유리판이 사용된다. 일반적으로, 이 종의 유리판은 다음 일련의 공정 즉, 유리 용해로에서의 용해 공정, 용해 유리를 띠 모양의 유리 리본으로 성형하는 성형 공정, 유리 리본을 목적 사이즈의 유리판으로 절단하는 절단 공정, 절단한 유리판의 단면(端面)이나 각부를 절삭 및 모따기 가공하는 마무리 공정, 그 후의 세정 공정의 순으로 제품화되고 있다.

상술의 절단 공정 후의 마무리 공정에서는, 도 28에 나타내듯이, 유리판(G)의 절단 단면(端面)(GA)을 연삭·연마하는 것으로 단면반원상의 단면(端面)(GA)으로 가공하고, 모서리의 조각·깨짐 등을 방지하고 있다. 그러나, 이러한 유리판(G)의 단면(端面)(GA)을 연삭·연마한 경우에도, 단면(端面)의 표면이 결점이 있는 상태이면, 조각·깨짐의 원인이 되기 쉽다. 또, 표면이 결점이 있는 상태이면, 작인 유리 파편인 컬리트(cullet) 조각 등이 비산하기 쉬워져, 그것들이 유리 표면(사용면)에 부착됨으로써, 최종 제품에 품질 불량의 원인이 되기 쉽다.

거기서, 유리판의 제조 공정의 거의 최종 단계에, 단면(端面)의 표면 거칠기를 검사하는 공정을 마련해, 같은 공정으로 단면(端面) 거칠기를 측정하는 것으로, 조각·깨짐의 방지나 제품 품질의 유지를 도모하고 있다. 이 표면 거칠기의 측정은, 일반적으로 제품의 표본 조사로 시행하고 있어, 표본이 된 유리판으로부터, 도 29에 도시되듯이, 1변에 측정 대상이 되는 단면(端面)(GA)을 포함한 직선모양의 측정변(G1)을 가진 작은 샘플 조각을 잘라내, 그 샘플 조각(이하, 이 샘플 조각을 「유리판(G)」이라 한다)을 측정 장치에 세팅하여 검사를 시행하고 있다.

도 30은, 상기의 표면 검사에 사용하는 촉침식의 표면 거칠기 측정계(측정 장치)(500)의 일례를 도시하고 있다. 이 표면 거칠기 측정계(500)는, 정반으로서의 역할을 가진 테이블(501)의 상방에 촉침(510)을 가지고, 이 촉침(510)을 테이블(501) 상면(기준 평면)(501A)을 따라 평행으로 주사하는 것으로, 테이블(501) 상에 세팅한 측정 대상물의 표면 거칠기를 계측하는 것이다. 이런 종류의 표면 거칠기 측정계는, 특허 문헌 1에서 예시한 봐와 같이 넓게 사용되고 있다.

이 표면 거칠기 측정계(500)로, 샘플 조각인 유리판(G)의 측정변(G1) 단면(端面)(GA)의 표면 거칠기를 측정하는 경우는, 도 31에 나타내듯이, 측정 대상 표면인 단면(端面)(GA)을 포함한 측정변(G1)이 테이블(501)의 상면(501A)과 평행이 되도록, 유리판(G)을 데이블(501) 상에 세팅해, 그 상태로 촉침(510)의 선단을 유리판(G)의 단면(端面)(천정면)(GA)에 접촉시키면서, 촉침(510)을 테이블(501)의 상면(501A)에 대해 상대적으로 평행이동 시킨다. 그렇게 함으로써, 촉침(510)의 이동 위치에 응한 유리판(G)의 단면(端面)(GA) 요철(상하)의 변동을 표면 거칠기로 수치화하여 얻어낼 수 있다.

그런데, 이런 종류의 표면 거칠기 측정계(500)에는, 도 32에 나타내듯이, 측정을 적정하게 시행하기 위한 유효 측정 범위(H)가 정해져 있어, 유리판(G)을 테이블(501) 상에 세팅할 때에, 측정변(G1)이 유효 측정 범위(H) 내에 들어가도록 세팅하지 않으면 안된다. 예를 들면, 촉침(510)이 유리판(G)의 측정변(G1)을 따라 이동할 때에, 측정변(G1)이 유효 측정 범위(H) 내에 들어가도록 세팅되어 있지 않으면, 촉침(510)이 이동하는 범위(측정 길이)의 규정 범위(측정 길이)에 도달하지 않는 경우가 있어, 유효한 데이터를 얻지 못하기 때문이다. 덧붙여, 도 32(a)는, 측정변(G1)이 유효 측정 범위(H) 내에 들어갔을 경우, (b) 및 (c)는 측정변(G1)이 유효 측정 범위(H) 내에 들어가지 않았을 경우를 도시하고 있다.

이 유효 측정 범위(H)는, 10~100㎛ 차수의 매우 좁은 범위이기 때문에, 유리판(G)의 측정변(G1)을 유효 측정 범위(H) 내로 세팅하는 것은, 매우 어렵고, 많은 시간이 걸렸었다.

일반적으로는, 도 33에 나타내듯이, 제품 유리판(G1)에서 표면 거칠기 측정을 위한 샘플 조각을 잘라낼 때에 먼저 표면 거칠기를 측정하는 측정변(G1)을 1변으로 하도록 샘플 조각을 잘라낸다. 다음에, 여분의 부분(SC)을 잘라내, 샘플 조각의 측정변(G1)과 대향하는 위치에 있는 대변(G2)을, 측정변(G1)과 평행이 되도록 정밀 가공한다. 그리고, 유리판(샘플 조각)(G)을, 도 31(a)에 도시되듯이, 표면 거칠기 측정계(500)의 테이블(501)의 상면(501A)에 올릴 때에, 측정변(G1)과 평행으로 가공한 대변(G2)을 테이블(501)의 상면(501A)에 밀착시켜, 유리판(G)을 테이블(501) 상에 수직으로 세운다. 이와 같이 하는 것으로, 유리판(G)의 측정변(G1)을 테이블(501)의 상면(501A)과 평행으로 세팅할 수 있어, 유효 측정 범위(H) 내에 측정변(G1)을 용이하게 들어가게 할 수 있게 된다.

일본 특허공보 5-71952 (特開平 5-71952)

그런데, 이러 같이 측정변(G1)의 대변(G2)을 측정변(G1)과 평행으로 정밀하게 가공한 다음에, 대변(G2)을 표면 거칠기 측정계(500) 테이블(501)의 상면(501A)에 밀착 상태로 올리는 세팅 방법은 수작업에 의한 샘플 조각(유리판(G))의 가공 작업이 힘들고, 작업자의 숙련도에 더해, 가공 작업에 걸리는 시간이 길다는 문제점이 있다. 이 때문에, 제품인 유리판의 대형화 등에 수반하여, 사용하는 샘플 조각(유리판(G)) 수가 늘어나는 경우, 샘플 조각(유리판(G)) 준비에 상당한 부담이 들어, 제품 검사나 품질 관리에 지장을 끼칠 우려가 생긴다. 특히 FPD용 유리판의 경우, 두께가 0.5~0.7mm로 매우 얇기 때문에, 취급에 충분한 주의가 필요하여, 샘플 조각의 준비에 따른 부담이 매우 커진다는 문제점이 있다.

또한, 또 한가지 문제점으로, 유리판(G) 단면(端面)(GA)의 표면 거칠기를 측정하는 경우는, 도 34(a)에 나타내듯이, 측정해야 할 단면(端面)(GA)에 촉침(510)의 선단이 가능한 수직으로 닿도록 유리판을 세팅할 필요가 있지만, 이와 같이 세팅하는 것도, 여분의 시간이 걸리거나 작업 숙련도가 필요하다는 문제점이 있었다. 예를 들면, 표면 거칠기 측정계의 테이블의 상면에 대해 유리판(G)이 수직으로 세팅되어 있는 경우는, (b-1)과 같이 촉침(510)과 단면(端面)(GA)의 관계를 적정하게 설정하는 것이 용이하게 할 수 있지만, 유리판(G)이 기울어져 있는 경우는, (b-2)나 (b-3)과 같이 촉침(510)과 단면(端面)(GA)과의 관계를 적정하게 세팅하는 것이 어려워진다.

본 발명의 목적은 상기 사정에 비추어 측정 대상의 측정변 만큼만 남기면서 샘플 조각을 준비하기만 하면, 측정변에 대향하는 대변을 특히 측정변과 평행으로 가공하지 않아도, 유리판의 단면(端面)을 측정 장치에 대해 용이하게 적정하게 세팅할 수 있어, 그에 따라 측정변의 대변의 여분의 가공을 없애, 샘플 조각의 준비를 쉽게 할 수 있도록 해, 샘플 조각의 매수가 늘어나도 부담이 늘어나지 않도록 한 유리판 단면(端面) 측정 장치에 대한 유리판 세팅 방법 및 그 방법의 실시에 사용하는 측정 치구를 제공하는 것이다.

상술의 과제를 해결하기 위한 구성은 이하에 나타낸다.

(1) 서로 평행한 평면으로 구성된 밑면 및 상면과 이것들 밑면 및 상면의 사이에 배치되어, 그 밑면 및 상면에 대해 수직인 평면으로 구성된 지지면과 그 지지면에 측정 대상 유리판의 한 쪽의 판면을 면 접촉시킨 상태로 상기 지지면과의 사이에 상기 유리판을 협지하는 협지면을 가지는 측정 치구를 이용하고,

상기 지지면과 협지면과의 사이에 상기 유리판을 삽입해, 그 유리판의 측정해야할 단면(端面)을 가지는 직선상의 측정변을, 상기 측정 치구의 상면에 면 접촉시킨 위치 결정 평면에 대해 선 접촉시킨 상태로, 상기 지지면과 협지면과의 사이에 상기 유리판을 협지 고정하고,

그 상태로, 상기 측정 치구의 밑면을 측정용 정반의 기준 평면에 면 접촉시키는 것으로, 그 정반 상에 상기 측정 치구를 재치하고, 그에 따라, 상기 정반의 기준 평면에 대해 상기 유리판을 수직인 자세로 보지(保持)하면서, 상기 유리판의 측정변을 상기 정반의 기준 평면에 대해 평행으로 세팅하는 것을 특징으로 하는 유리판 단면(端面) 측정 장치에 대한 유리판 세팅 방법.

(2) 상기 (1) 구성의 유리판 세팅 방법에 있어서,

상기 위치 결정 평면이 상방향 평면이며, 상기 측정 치구를 상하 반대로 돌려, 아래를 향한 상기 측정 치구의 상면을 상기 위치 결정 평면에 면 접촉시키고,

그 상태로, 상기 지지면과 협지면과의 사이에, 상기 측정변이 아래를 향하는 자세로 상기 유리판을 삽입하여, 삽입한 유리판의 자체 중량에 의해, 상기 유리판의 측정변을 상기 위치 결정 평면에 선 접촉시키고,

그 선 접촉시킨 상태로, 상기 지지면과 협지면과의 사이에 상기 유리판을 협지 고정하고,

협지 고정 후에, 측정 치구의 상하를 원래의 자세로 되돌려, 상기 측정 치구의 밑면을 측정용의 정반 기준 평면에 면 접촉시키는 것으로, 상기 정반 상에 상기 측정 치구를 올려 놓고, 그에 따라 상기 정반 기준 평면에 대해 상기 유리판을 수직인 자세로 보지(保持)하면서, 상기 유리판의 측정변을 상기 정반의 기준 평면에 대해 평행으로 세팅하는 것을 특징으로 하는 유리판 단면(端面) 측정 장치에 대한 유리판 세팅 방법.

(3) 상기(1) 또는 (2) 구성의 유리판 세팅 방법에 사용하는 측정 치구에 있어서,

서로 평행한 평면으로 구성된 밑면 및 상면과 이것들 밑면 및 상면의 사이에 배치되고, 상기 밑면 및 상면에 대해 수직인 평면으로 구성된 지지면과 상기 지지면에 측정 대상의 유리판의 한 쪽 판면을 면 접촉시킨 상태로 상기 지지면과의 사이에 상기 유리판을 협지하는 협지면을 가지고,

상기 밑면과 상면에 상기 유리판을 상기 지지면과 협지면과의 사이에 삽입하기 위한 개구가 마련되고,

상기 지지면이 유리판 지지벽의 벽면에 형성되고,

상기 유리판 지지벽에 대향하여 압압판 지지벽이 설치됨과 동시에, 유리판 지지벽과 압압판 지지벽과의 사이에 상기 유리판 지지벽의 지지면에 대해 접근 이간 자재이며 상기 압압판 지지벽에 의해 슬라이드 자재로 지지된 압압판이 설치되고,

상기 압압판의 상기 지지면과 대향하는 면에 상기 협지면이 형성되고,

상기 압압판 지지벽과 압압판과의 사이에 상기 압압판을 상기 지지면에 대해 접근 이간하는 방향으로 이동시키는 압압판 구동 기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 유리판 단면(端面) 측정 장치에 대한 유리판을 세팅하기 위한 측정 치구.

(4) 측정용의 정반의 기준 평면에 대해 면 접촉하는 밑면과,

상기 밑면에 대해 수직인 평면으로 구성된 지지면과,

상기 지지면에 측정 대상의 유리판의 한 쪽의 판면을 면 접촉시킨 상태로 상기 지지면과의 사이에 상기 유리판을 협지하는 협지면과,

상기 지지면과 협지면과의 사이에 삽입된 상기 유리판을, 상기 지지면과 협지면으로 협지 고정하기 전에, 상승시킬 수 있어 그에 따라 상기 유리판의 상단의 측정해야 할 단면(端面)을 가지는 직선상의 측정변의 높이를 상기 측정변의 기울기와 함께 조정하는 상승 수단과,

상기 지지면과 협지면과의 사이에 상기 유리판이 삽입했을 때, 상기 유리판의 측정변의 상방의 상기 밑면으로부터 같은 높이의 위치에 2개의 서로 떨어진 기준점을 각각 설정하고, 각 기준점에 상기 상승 수단으로 상승시킨 유리판의 측정변이 도달했을 때에 각각 신호를 출력하는 2개의 위치 검출 수단과,

상기 위치 검출 수단이 상기 신호를 출력했을 때, 상기 상승 수단에 의한 유리판의 상승을 정지시키는 제어 수단,

을 가지는 측정 치구를 이용하고,

상기 측정 치구의 지지면과 협지면과의 사이에 상기 유리판을 삽입하고,

그 유리판을 상기 상승 수단으로 상승시켜, 상기 위치 검출 수단이 상기 신호를 출력하는 것으로 상기 제어 수단이 상기 상승 수단에 의한 유리판의 상승을 정지시켰을 때, 그 상태로 상기 지지면과 협지면과의 사이에 상기 유리판을 협지 고정하고,

그 상태로, 상기 측정 치구의 밑면을 측정용의 정반의 기준 평면에 면 접촉시키는 것으로, 상기 정반 상에 상기 측정 치구를 재치하고, 그에 따라, 상기 정반의 기준 평면에 대해 상기 유리판을 수직인 자세로 보지(保持)하면서, 상기 유리판의 측정변을 상기 정반의 기준 평면에 대해 평행으로 세팅하는 것을 특징으로 하는 유리판 단면(端面) 측정 장치에 대한 유리판 세팅 방법.

(5) 평면으로 되는 상면에, 속 밑면이 상기 상면과 평행을 이루는 홈이 형성된 위치 결정용 판체와,

서로 평행인 평면으로 되는 밑면 및 상면과 그들 밑면 및 상면과 수직인 평면으로 되는 지지면을 가지는 한 쌍의 블록 및 이 한 쌍의 블록들을 측정 대상의 유리판을 사이에 둔 상태로 체결하는 것으로써, 양 블록의 지지면 사이에 상기 유리판을 협지시키는 체결 수단을 가지는 측정 치구와, 를 이용하고,

상기 위치 결정용 판체의 홈의 내부에, 해당 홈의 속 밑면에 상기 유리판의 측정해야 할 단면(端面)을 가지는 직선상의 측정변을 선 접촉시킨 상태로, 상기 유리판의 측정변을 삽입하는 것으로써, 상기 유리판을 상기 위치 결정용 판체의 상면에 기대세우고,

그 상태로, 상기 측정 치구의 2 개의 블록을, 상기 블록 각 상면을 상기 위치 결정용 판체의 상면에 면 접촉시킨 상태로 상기 위치 결정용 판체의 상면에 올려, 양 블록의 지지면으로 상기 유리판을 사이에 두는 위치에 배치하고,

상기 블록을 상기 판체의 상면에 있어서 슬라이드 시키면서, 상기 홈에 측정변을 삽입한 유리판을 2개의 블록의 지지면으로 사이에 두어, 그 상태로 양 블록을 상기 체결 수단으로 체결하는 것으로써, 상기 유리판을 상기 2개의 블록의 지지면에 의해 협지 고정하고,

협지 고정한 후, 상기 측정 치구를 상기 위치 결정용 판체로부터 떼어내고,

그 측정 치구의 밑면을 측정용의 정반의 측정 평면에 면 접촉시키는 것으로, 그 정반 상에 상기 측정 치구를 재치하고, 그에 따라, 상기 정반의 기준 평면에 대해 상기 유리판을 수직인 자세로 보지(保持)하면서, 상기 유리판의 측정변을 상기 정반의 기준 평면에 대해 평행으로 세팅하는 것을 특징으로 하는 유리판 단면(端面) 측정 장치에 대한 유리판 세팅 방법.

(6) 상기 (1), (2) 및 (4), (5) 중 어느 하나 기재의 상기 측정 치구의 하나의 외측면을, 상기 측정 치구의 밑면에 수직으로 한편 상기 지지면에 평행한 평면으로 되는 기준 외측면으로 구성하고,

그 측정 치구와는 별도로,

제 2의 치구로서, 서로 평행인 평면으로 되는 밑면 및 상면과, 상기 밑면 및 상면과 수직인 평면으로 되는 1개의 기준 외측면을 가지는 평판 모양의 치구를 준비하는 것과 함께,

제 3의 치구로서, 상기 제 2의 치구의 상면에 하면이 면 접촉상태로 올려, 올려진 상태로 그 제 2의 치구의 상면을 따라 슬라이드 가능하며, 전단면(前端面)이 상기 하면과 수직인 평면으로 구성된 평면판과 상기 평면판의 후단에 수하된 수직판을 가지는 측면이 L형인 치구를 용이하고,

상기 제 2의 치구를, 측정용의 정반의 기준 평면에 밑면을 면 접촉시킨 상태로 재치하고,

그 제 2의 치구의 상면에, 상기 유리판을 보지(保持)한 측정 치구의 밑면을 면 접촉시킨 상태로 올림과 함께, 같은 제 2의 치구의 상면에, 상기 제 3의 치구의 평면판의 하면을 면 접촉시킨 상태로 올려,

상기 측정 치구의 기준 외측면을 상기 제 3의 치구의 평면판의 전단면(前端面)에 면 접촉시키면서, 상기 제 3의 치구의 수직판의 나사공에 나합 관통하고 나사 선단을 상기 제 2의 치구의 상기 기준 외측면에 꽂은 2개의 조정 나사를 회전 조작하여, 상기 제 3의 치구의 평면판의 전단면(前端面)의 위치와 각도를 조절하는 것으로서, 상기 측정 치구에 보지(保持)된 유리판의 측정변의 위치를 소정 위치로 위치 결정하는 것을 특징으로 하는 유리판 단면(端面) 측정 장치에 대한 유리판 세팅 방법.

(7) 상기 (6) 구성의 유리판 세팅 방법에 있어서,

상기 측정 치구, 제 2의 치구, 제 3의 치구가, 모든 직방체의 블록의 단위체 또는 그 조합에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리판 단면(端面) 측정 장치에 대한 유리판 세팅 방법.

상기 (1) 구성의 유리판 세팅 방법에 따르면, 서로 평행한 밑면과 상면을 가지는 측정 치구를 이용해, 그 측정 치구의 상면을 기준으로 유리판의 측정 대상인 단면(端面)을 가지는 측정변을 측정 치구에 대해 위치 결정하고, 그 상태로 측정 치구의 지지면과 협지면에 의해 유리판을 협지한 다음에, 측정 치구의 밑면을 측정 장치의 테이블(정반)의 상면(기준 평면)에 올리도록 하고 있으므로, 간단하고 한편 확실히, 유리판을 테이블의 상면에 대해 수직인 자세로 보지(保持)하면서, 유리판의 측정변을 테이블의 상면에 대해 평행이 되도록 세팅할 수 있다. 따라서, 샘플 조각에는, 1변에 측정변만 확보해 두면 충분하며, 측정변의 대변을 측정변과 평행으로 가공까지 할 필요가 없다. 그 때문에, 샘플 조각을 준비할 때의 부담을 크게 줄일 수 있어, 다수의 샘플 조각을 취급할 필요가 생겼을 경우에도, 효율적으로 단면(端面) 검사를 시행할 수 있어, 제품의 품질 관리의 합리화를 도모할 수 있다. 또, 측정 치구를 이용하는 것으로, 유리판의 단면(端面)을 측정 장치에 정확히 세팅할 수 있기 때문에, 세팅 불량에 따른 잘못된 측정을 줄일 수 있는 것과 함께 측정 정밀도의 향상도 도모된다.

상기 (2) 구성의 유리판 세팅 방법에 따르면, 유리판을 측정 치구로 협지할 때에, 측정 치구를 상하 역으로 해, 측정 치구의 상면을 테이블 등의 위치 결정 평면 상에 올려, 그 상태로 중력을 이용해, 아래로 향한 유리판의 측정변을 위치 결정 평면에 닿는 것에 의해, 측정변을 측정 치구에 대해 위치 결정하므로, 유리판의 측정 치구에 대한 위치 결정 작업을 간단하게 할 수 있다.

상기 (3) 구성의 측정 치구에 따르면, 밑면과 상면에, 유리판을 지지면과 협지면과의 사이에 삽입하기 위한 개구를 마련하고 있으므로, 기준이 되는 밑면과 상면을 각각의 개구의 양측에 확보할 수 있어, 밸런스가 좋은 치구 구조로 할 수 있다. 또, 대향 배치된 유리판 지지벽과 압압판에 지지면과 협지면을 형성하고 있어, 압압판 지지벽에 의해서 지지된 압압판을, 압압판 구동 기구에 의해서 지지면에 접근하는 방향으로 슬라이드 시키는 것으로, 지지면과 협지면의 사이에 삽입된 유리판을 지지면과 협지면으로 협지할 수 있으므로, 간단한 조작으로 확실히 유리판을 협지 고정할 수 있다.

상기 (4) 구성의 유리판 세팅 방법에 따르면, 측정 치구의 지지면과 협지면과의 사이에 유리판을 삽입하고, 그 유리판을 상승 수단으로 상승시켜, 유리판의 측정변이 위치 검출 수단이 설정한 기준점에 도달한 시점에서, 유리판의 상승을 정지시켜 유리판을 협지 고정하고, 그 상태로, 측정 치구의 밑면을 측정 장치의 테이블(정반)의 상면(측정 치구)에 올리도록 하고 있으므로, 간단하고 한편 확실히, 유리판을 테이블의 상면에 대해 수직인 자세로 보지(保持)하면서, 유리판의 측정변을 테이블의 상면에 대해 평행이 되도록 세팅할 수 있다. 따라서, 샘플 조각에는, 1변에 측정변만 확보해 두면 충분하며, 측정변의 대변을 측정변과 평행으로 가공까지 할 필요가 없다. 그 때문에, 샘플 조각을 준비할 때의 부담을 크게 줄일 수 있어, 다수의 샘플 조각을 취급할 필요가 생겼을 경우에도, 효율적으로 단면(端面) 검사를 시행할 수 있어, 제품의 품질 관리의 합리화를 도모할 수 있다. 또, 측정 치구를 이용하는 것으로, 유리판의 단면(端面)을 측정 장치에 정확히 세팅할 수 있기 때문에, 세팅 불량에 따른 잘못된 측정을 줄일 수 있는 것과 함께 측정 정밀도의 향상도 도모된다. 또, 이 유리판 세팅 방법으로는, 상승 수단과 위치 검출 수단의 움직임에 의해, 자동적으로 유리판의 측정변의 위치를 측정 치구에 대해 위치 결정 하도록 하고 있으므로, 수작업에 따른 작업의 수고를 줄이는 장점을 얻을 수 있다.

상기 (5) 구성의 유리판 세팅 방법에 따르면, 홈이 있는 위치 결정용 판체와, 2개의 블록 및 체결 수단으로 되는 측정 치구를 이용하는 것으로, 2개의 블록에 의해 측정변을 위치 결정하면서 측정 치구에 의해 유리판을 협지 고정하고, 그 상태로, 측정 치구의 밑면을 측정 장치의 테이블(정반)의 상면(기준 평면)에 올리도록 하고 있으므로, 간단하고 한편 확실하게, 유리판을 테이블의 상면에 대해 수직인 자세로 보지(保持)하면서, 유리판의 측정변을 테이블(정반)의 상면(기준 평면)에 대해 평행이 되도록 세팅할 수 있다. 따라서, 샘플 조각에는, 1변에 측정변만 확보해 두면 충분하며, 측정변의 대변을 측정변과 평행으로 가공까지 할 필요가 없다. 그 때문에, 샘플 조각을 준비할 때의 부담을 크게 줄일 수 있어, 다수의 샘플 조각을 취급할 필요가 생겼을 경우에도, 효율적으로 단면(端面) 검사를 시행할 수 있어, 제품의 품질 관리의 합리화를 도모할 수 있다. 또, 측정 치구를 이용하는 것으로, 유리판의 단면(端面)을 측정 장치에 정확이 세팅 할 수 있기 때문에, 세팅 불량에 따른 잘못된 측정을 줄일 수 있는 것과 함께 측정 정밀도의 향상도 도모된다. 또, 이 유리판 세팅 방법으로는, 2개의 블록의 밑면과 상면을 기준으로 유리판의 위치 결정을 시행하므로, 측정 치구의 구조의 단순화를 도모할 수 있다.

상기 (6) 구성의 유리판 세팅 방법에 따르면, 테이블(정반)의 상편(기준 평면)에 밑면을 올린 제 2의 치구의 상면에, 유리판을 보지(保持) 고정한 측정 치구의 밑면을 올림과 동시에 제 3의 치구의 평면판을 올려, 측정 치구의 위치를, 제 3의 치구의 수직판에 나합시킨 조정 나사의 조작에 의해 조정할 수 있도록 했으므로, 유리판의 측정변의 위치를, 예를 들면 표면 거칠기 측정계의 촉침의 주사 방향으로 합치하듯이 용이하게 조정할 수가 있다.

　상기(7) 구성의 유리판 세팅 방법에 따르면, 측정 치구, 제 2의 치구, 제 3의 치구를 모두 직방체의 블록의 단위체 또는 조합으로 구성하고 있으므로, 밑면(하면)과 상면의 평행도나, 그에 대한 지지면, 전단면(前端面), 기준 외측면 등의 수직도를 용이하게 정확히 얻을 수 있다. 따라서, 처음에 직방체를 정확하게 작성해 두는 것으로, 측정 치구나 제 2의 치구, 제 3의 치구를 간단하게 준비할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시 형태의 유리판 세팅 방법을 실시할 때에 사용하는 측정 치구(10)의 사시도이다.
도 2는 도 1의 II에서 본 도이다.
도 3은 도 2의 III에서 본 단면도이다.
도 4는 제품 유리판(G0)에서 샘플 조각(S)(유리판(G))을 잘라내는 방법의 설명도이다.
도 5는 상기 측정 치구(10)의 지지면(10C)과 협지면(10D)의 사이에 유리판(G)을 삽입한 상태를 나타내는 측단면도이다.
도 6은 유리판(G)의 측정변(G1)을 위치 결정판(100)의 위치 결정 평면(101)에 선 접촉시킨 상태로, 측정 치구(10)의 지지면(10C)과 협지면(10D)과의 사이에 유리판(G)을 협지 고정한 상태를 나타내는 측단면도 및 그 부분 확대도이다.
도 7은 유리판(G)을 위치 결정하여 보지(保持)한 상태의 측정 치구(10)의 사시도이다.
도 8은 유리판(G)을 위치 결정하여 보지(保持)한 상태의 측정 치구(10)의 정면도이다.
도 9는 유리판(G)의 측정변(G1)과 측정 치구(10)의 상면(10B)과의 관계를 나타내는 측면도이다.
도 10은 측정 치구(10)에 의하여 보지(保持)된 유리판(G)의 측정변(G1)의 단면(端面)(GA)에 표면 거칠기 측정계의 촉침(510)을 접촉시킨 상태를 나타내는 측단면도 및 그 부분 확대도이다.
도 11은 본 발명의 제 2 실시 형태의 유리판 세팅 방법의 설명도이며, 측정 치구(10)를 상하 반대로 돌린 상태를 나타내는 사시도이다.
도 12는 상하 반대로 돌린 측정 치구(10)의 지지면(10C)과 협지면(10D)의 사이에 유리판(G)을 삽입한 상태를 나타내는 측단면이다.
도 13은 유리판(G)의 측정변(G1)을 테이블(위치 결정판)(120)의 상면(위치 결정 평면)(121)에 선 접촉시킨 상태로, 측정 치구(10)의 지지면(10C)과 협지면(10D)과의 사이에 유리판(G)을 협지 고정한 상태를 나타내는 측단면도이다.
도 14는 유리판(G)을 협지 고정한 후, 측정 치구(10)의 상하를 원래의 자세로 되돌린 상태를 나타내는 사시도이다.
도 15에서 (a)는 표면 거칠기 측정계의 유효 측정 범위에 유리판의 측정변이 적정하게 들어갔을 때의 측정 차트를 나타내는 도이고, (b)는 표면 거칠기 측정계의 유효 측정 범위에 유리판의 측정변이 적정하게 들어가지 않았을 때의 측정 차트를 나타내는 도이다.
도 16은 본발명의 방법의 실시에 의해, 유리판(G)의 샘플 조각의 가공 형상에 자유도가 생긴 것을 나타내는 설명도로, (a)는 참고를 위해 종래의 샘플 조각의 형상을 나타내는 도, (b) ~ (d)는 본 발명으로 가능하게 된 샘플 조각의 형상예를 나타내는 도이다.
도 17은 본 발명의 제 3 실시 형태의 유리판 세팅 방법을 실시할 때에 사용하는 측정 치구의 사시도이다.
도 18은 같은 측정 치구(60)에 의해 유리판의 측정변이 위치 결정될 때의 자동적인 동작을 설명하기 위한 도로, (a)는 유리판(G)을 측정 치구에 삽입한 단계에서 2개의 기준점(65)이 유리판(G)의 측정변(G1)의 상방에 있는 상태를 나타내는 도, (b)는 한 쪽의 기준점(65)에 유리판(G)의 측정변(G1)이 도달한 상태를 나타내는 도, (c)는 양 쪽 모두의 기준점(65)에 유리판(G)의 측정변(G1)이 도달하고, 이 시점에서 유리판(G)의 상승이 멈춘 것을 나타내는 도이다.
도 19는 본 발명의 제 4 실시 형태의 유리판 세팅 방법의 설명도로, (a)는 위치 결정 평판(200)의 표면의 홈(201)에 유리판(G)의 측정변(G1)을 삽입하려고 하는 상태를 나타내는 사시도, (b)는 그 홈(201)에 유리판(G)의 측정변(G1)을 삽입하는 것으로 유리판(G)을 기대세운 상태를 나타내는 사시도, (c)는 홈(201)과 유리판(G)의 관계를 홈(201)의 단부(端部)측에서 본 것을 나타내는 도이다.
도 20은 도 19의 다음에 시행하는 제 4 실시 형태의 유리판 세팅 방법의 조작 설명도로, (a)는 위치 결정 평판(200)의 상면에 측정 치구(240)의 2개의 블록(250)을 올리려하는 상태를 나타내는 사시도, (b)는 위치 결정 평판(200) 상에서 2개의 블록(250)에 의해 유리판(G)을 협지 고정한 상태를 나타내는 사시도, (c)는 유리판(G)을 보지(保持)한 측정 치구(240)를 위치 결정 평판(200) 상에서 꺼내, 상하 반대로 돌려 본래의 상하 자세로 되돌린 상태를 나타내는 사시도, (d)는 2개의 블록(250)으로 유리판(G)을 협지 고정한 부분을 확대하여 나타내는 도이다.
도 21은 도 19 및 도 20에서 나타내는 조작을 하여 유리판(G)을 협지 고정한 측정 치구(240)를, 표면 거칠기 측정계(500)의 테이블(501)의 상면(501A)에 재치한 제 2의 치구(300)의 상면(300B)에 올려, 같은 제 2의 치구(300)에 올린 제 3의 치구(400)에 의해 위치 결정하는 것으로, 유리판(G)의 측정변의 방향을 촉침(510)의 주사 방향(X)에 일치시킨 상태를 나타내는 사시도이다.
도 22는 도 21에서의 제 2의 치구(300)와 측정 치구(240) 및 제3의 치구(400)와의 관계를 확대해 나타내는 사시도이다.
도 23은 도 22에서 나타내는 부분을 위에서 본 평면도이며, 조정 나사의 나합 부분만을 단면으로 나타낸 도이다.
도 24는 2개의 조정 나사(420)의 조작에 의해, 유리판(G)의 측정변의 방향을 촉침 주사 라인(510X)에 일치하듯이 조정하는 요령 설명도로, (a)는 조정 전 상태를 나타내는 평면도, (b)는 조정 후 상태를 나타내는 평면도이다.
도 25는 유리판(G)의 측정변(G1)의 단면(GA)에서의 유리판 두께 방향의 측정 대상 영역(M)을 나타내는 도이다.
도 26은 표면 거칠기 측정계의 촉침 주사 라인(510X)에 대해 유리판(G)의 단면(端面)(GA)의 위치가 적정하게 조정되고 있는지를 판단하기 위한 판단 기준인 측정 차트(CA)를 나타내는 도로, (a)는 적정하게 조정되고 있을 때의 상태를 나타내는 도, (b) 및(c)은 적정하게 조정되어 있지 않을 때의 상태를 나타내는 도이다.
도 27은 상기 제 2의 치구를 제3의 치구에 대해서 위치 결정 한 후에, 그 위치 관계를 고정해 두기 위해 더블 너트를 사용해 조정 나사를 고정하는 경우의 예를 나타내는 측면도이다.
도 28은 유리판의 단면(단面)의 형상을 나타내는 도로, (a)는 자른낸 후의 형상을 나타내는 단면도, (b)는 연삭·연마 후의 형상을 나타내는 단면도이다.
도 29는 제품 유리판으로부터 잘라낸 샘플 조각(유리판(G))에서의 측정변(G1)과 단면(GA)을 나타내는 사시도이다.
도 30은 일반적인 촉침식의 표면 거칠기 측정계의 개략 구성을 나타내는 사시도이다.
도 31에서 (a)는 도 30에 나타낸 표면 거칠기 측정계의 촉침(510)에 의해 유리판(G)의 측정변(G1)의 단면(端面)의 표면 거칠기를 조사하고 있는 상태를 나타내는 도, (b)는 그 부분 확대도이다.
도 32는 표면 거칠기 측정계의 유효 측정 범위와 유리판의 측정변과의 위치 관계를 나타내는 도로, (a)는 유효 측정 범위에 유리판의 측정변이 적정하게 들어가고 있을 때 상태를 나타내는 도, (b) 및 (c)는 유효 측정 범위에 유리판의 측정변이 적정하게 들어가지 않을 때 상태를 나타내는 도이다.
도 33은 제품 유리판으로부터 잘라내 샘플 조각(유리판(G))을 준비할 때의 가공 순서를 나타내는 도이다.
도 34는 유리판(G)의 측정변(G1)의 단면(GA)에 대한 촉침(510)에 닿는 각도의 차이를 나타내는 도로, (a)는 촉침(510)에 대해 유리판(G)이 적정한 각도로 위치 결정되고 있는 상태를 나타내는 도, (b) 및 (c)는 촉침(510)에 대해 유리판(G)이 적정이 아닌 각도로 위치 결정되고 있는 상태를 나타내는 도이다.

이하, 본 발명의 각 실시 형태를 도면을 참조하면서 설명한다.

(제 1 실시 형태)

본 발명의 제 1 실시 형태의 유리판 세팅 방법을 도 1 ~ 도 10을 참조하여 설명한다. 도 1은 제 1 실시 형태의 유리판 세팅 방법을 실시할 때에 사용하는 측정 치구의 사시도, 도 2는 도 1의 II에서 본 도, 도 3은 도 2의 III에서 본 단면도이다. 또, 도 4는 제품 유리판에서 샘플 조각으로 유리판을 잘라내는 방법의 설명도, 도 5는 상기 측정 치구의 지지면과 협지면의 사이에 유리판을 삽입한 상태를 나타내는 측단면도, 도 6은 유리판의 측정변을 위치 결정판의 위치 결정 평면에 선 접촉시킨 상태로, 측정 치구의 지지면과 협지면과의 사이에 유리판을 협지 고정한 상태를 나타내는 측단면도 및 그 부분 확대도, 도 7, 도 8은 유리판을 위치 결정하여 보지(保持)한 상태의 측정 치구의 사시도, 정면도, 도 9는 유리판의 측정변과 측정 치구의 상면과의 관계를 나타내는 측면도, 도 10은 측정 치구에 의하여 보지(保持)된 유리판의 측정변의 단면(端面)에 표면 거칠기 측정계의 촉침을 접촉시킨 상태를 나타내는 측단면도 및 그 부분 확대도이다.

우선, 실시 형태의 유리판 세팅 방법을 실시할 때에 사용하는 측정 치구의 구성에 대하여 설명한다.

도 1 ~ 도 5에 도시한 바와 같이, 측정 치구(10)는, 서로 평행한 평면으로 구성된 밑면(10A) 및 상면(10B)과, 이것들 밑면(10A) 및 상면(10B)의 사이에 배치되어 밑면(10A) 및 상면(10B)에 대해 수직인 평면으로 구성된 지지면(10C)과, 지지면(10C)에 측정 대상 유리판(G)의 한 쪽 판면(G3)(사용면)을 면 접촉시킨 상태로 지지면(10C)과의 사이에 유리판(G)을 협지하는 협지면(10D)를 가지고 있다.

이 측정 치구(10)는 유리판 지지벽(11)과, 그것에 대향해 간격을 두어 배치된 압압판 지지벽(12)과, 이것들 유리판 지지벽(11) 및 압압판 지지벽(12)을 결합하는 한 쌍의 측벽(13)과, 유리판 지지벽(11) 및 압압판 지지벽(12)의 사이에 배치된 압압판(16)을 구비하고 있어, 제 1의 기준면인 밑면(10A)은 측벽(13)의 최하단의 각부(14)의 하면에 형성되고, 제 2의 기준면인 상면(10B)은 측벽(13)의 최상단에 형성되고, 제 3의 기준면인 지지면(10C)은 유리판 지지벽(11)의 압압판(16)에 대향하는 벽면에 형성되고, 제 4의 기준면인 협지면(10D)은 압압판(16)의 유리판 지지벽(11)에 대향하는 벽면에 형성되고 있다. 또, 좌우 측벽(13)의 상단과 각부(14)의 하단에 설치된 상면(10B)과 밑면(10A) 각각의 사이에, 유리판(G)을 지지면(10C)과 협지면(10D)과의 사이에 삽입하기 위한 개구(15)가 확보되고 있다.

압압판(16)은, 유리판 지지벽(11)의 지지면(10C)에 대해 접근 이간 자재인 것이며, 압압판 지지벽(12)에 의하여 슬라이드 자재로 지지되어 있다. 이 경우, 압압판(16)의 배면에 2개의 슬라이드 로드(17)가 돌설되고 있어, 이 2개의 슬라이드 로드(17)들이 압압판 지지벽(12)에 형성된 가이드공(18)에 슬라이드 자재로 삽통되고 있는 것으로, 압압판(16)이 안정되고 지지면(10C)에 대해 접근 이간하는 방향으로 평행 이동할 수 있게 되어 있다. 또, 압압판 지지벽(12)과 압압판(16)과의 사이에는 압압판(16)을 지지면(10C)에 대하여 이동시키기 위한 나사(20)(압압판 구동 기구)가 설치되고 있다. 이 나사(20)는 나사 축(21)이 압압판 지지벽(12)의 나사공(22)에 나합되어 머리 부분이 압압판 지지벽(12)보다 외부로 돌출되고, 나사 축(21)의 선단이 압압판(16)의 배면에 닿아 있거나 회전 가능하게 연결되고 있어, 이것에 의해, 나사(20)를 돌리는 것에 의해서, 압압판(16)을 전방으로 이동시키거나 후방으로 이동시킬 수 있도록 되어 있다.

다음에, 이 측정 치구(10)를 이용해 시행하는 유리판 세팅 방법에 대해 설명한다.

유리판 단면(端面) 검사에서 예를 들면, 유리판의 단면(端面)의 표면 거칠기를 측정하는 경우, 우선 도 4에 나타내듯이, 표면 거칠기 측정계로 측정할 수 있는 크기의 샘플 조각(S)을 제품 유리판(G0)에서 잘라 낸다. 이 때, 후술과 같이, 측정변(G1)의 대변(G2)은, 특히 측정변(G1)과 평행으로 가공해 둘 필요는 없다.

다음에, 도 5에 나타내듯이, 샘플 조각(S)으로서 잘라낸 유리판(G)을 측정 치구(10)의 지지면(10C)과 협지면(10D)과의 사이에 삽입한다. 그리고, 도 6과 같이, 그 유리판(G)의 측정해야 할 단면(端面)(GA)을 가지는 직선 모양의 측정변(G1)을 측정 치구(10)의 상면(10B)에 미리 면 접촉시킨 위치 결정판(100)의 위치 결정 평면(101)에 대해, 화살표(YA)와 같이 밀어 눌러 선 접촉시켜, 그 상태로, 나사(20)를 돌려 압압판(16)을 화살표(YB) 방향으로 전진시키는 것으로, 지지면(10C)과 협지면(10D)과의 사이에 유리판(G)을 협지 고정한다. 이 때, 유리판(G)의 한 쪽의 판면(G3)은 지지면(10C)에 면 접촉하고, 다른 쪽의 판면(G4)은 협지면(10D)에 면 접촉하고 있다.

이 상태에서 위치 결정판(100)을 떼어내면, 도 7 ~ 도 9에 나타낸 것과 같이 된다. 즉, 유리판(G)의 측정변(G1)이, 측정 치구(10)의 상면(10B)과 동일한 평면(TB) 내에 위치한다. 이 경우, 측정 치구(10)의 상면(10B) 및 유리판(G)의 측정변(G1)은 동한일 평면(TB) 내에 위치하고, 밑면(10A)은 평면(TA) 내에 위치한다. 평면(TA)과 평면(TB)은 서로 평행이며, 유리판(G)의 측정변(G1)이 평면(TB)에 대해 가상적으로 선 접촉상태이므로, 밑면(10A)과 유리판(G)의 측정변(G1)은 서로 평행인 관계가 된다. 또, 지지면(10C) 및 협지면(10D)에 유리판(G)의 양 판면(G3, G4)이 면 접촉하고 있기 때문에, 유리판(G)은 측정 치구(10)의 밑면(10A)에 대해서 수직으로 보지(保持)되고 있게 된다.

따라서, 도 10에 나타내듯이, 유리판(G)을 보지(保持)한 측정 치구(10)의 밑면(10A)을, 측정용 정반인 표면 거칠기 측정계(500)(도 30 참조)의 테이블(501)의 상면(501A)(기준 평면)에 면 접촉시켜, 테이블(501) 상에 측정 치구(10)를 올려 놓는 것으로, 테이블(501)의 상면(501A)(기준 평면)에 대해 유리판(G)을 수직 자세로 보지(保持)하면서, 유리판(G)의 측정변(G1)을 테이블 상면(501A)(기준 평면)에 대해 평행으로 세팅할 수 있다. 이 때문에, 촉침(501)의 선단을 유효 측정 범위로 용이하게 들어가게 할 수 있다.

(제 2 실시 형태)

다음으로 본 발명의 제 2 실시 형태의 유리판 세팅 방법을 도 11 ~ 도 14를 이용해 설명한다. 이 제 2 실시 형태의 유리판 세팅 방법에서는, 상술한 제 1 실시 형태에서 사용한 측정 치구(10)를 그대로 이용한다. 도 11은 측정 치구를 상하 반대로 돌린 상태를 나타내는 사시도, 도 12는 상하 반대로 돌린 측정 치구의 지지면과 협지면 사이에 유리판을 삽입한 상태를 나타내는 측단면도, 도 13은 유리판의 측정변을 테이블(위치 결정판)의 상면(위치 결정 평면)에 선 접촉시킨 상태로 측정 치구의 지지면과 협지면과의 사이에 유리판을 협지 고정한 상태를 나타내는 측단면도, 도 14는 유리판을 협지 고정한 후, 측정 치구의 상하를 원래의 자세로 되돌린 상태를 나타내는 사시도이다.

이 제 2 실시 형태의 유리판 세팅 방법에서는 우선 도 11 ~ 도 13에 나타내듯이, 상술의 측정 치구(10)를 상하 반대로 돌려, 아래를 향한 측정 치구(10)의 상면(10B)을 테이블(위치 결정판)(120)의 상면(위치 결정 평면)(121)에 면 접촉시켜 측정 치구(10)를 상하 반대로 돌린 자세로 테이블(120) 상에 올린다. 다음에 그 상태로, 지지면(10C)과 협지면(10D)과의 사이에 측정변(G1)이 아래를 향한 자세로 유리판(G)을 삽입하고, 삽입한 유리판(G) 자체의 중량에 의해 유리판(G)의 측정변(G1)을 테이블 상면(121)에 선 접촉시킨다. 그리고 그 선 접촉시킨 상태로 지지면(10C)과 협지면(10D)과의 사이에 유리판(G)을 협지 고정한다. 협지 고정의 방법은 제 1 실시 형태와 같은 방식으로 한다.

협지 고정한 후에는, 도 14에 나타내듯이 측정 치구(10)의 상하를 원래의 자세로 되돌린다. 이렇게 하는 것으로 유리판(G)의 측정변(G1)이 측정 치구(10)의 상면(10B)과 동일 평면 내에 위치하고 측정 치구(10)의 밑면(10A)과 평행인 관계로 보지(保持)된다. 또 지지면(10C) 및 협지면(10D)에 유리판(G)의 판 면(G3, G4)가 면 접촉하고 있기 때문에, 유리판(G)은 측정 치구(10)의 밑면(10A)에 대해 수직으로 보지(保持)한다.

따라서, 제 1 실시 형태와 마찬가지로 도 10에 나타내듯이, 측정 치구(10)의 밑면(10A)을 측정용 정반인 표면 거칠기 측정계(500)의 테이블 상면(501A)(기준 평면)에 면 접촉시켜, 테이블(501)(도 30 참조) 상에 측정 치구(10)를 올려 놓는 것으로써, 테이블 상면(501A)(기준 평면)에 대해서 유리판(G)을 수직인 자세로 보지(保持)하면서, 유리판(G)의 측정변(G1)을 테이블 상면(501A)(기준 평면)에 대해 평행으로 세팅할 수 있다. 이 때문에, 촉침(510)의 선단을 유효 측정 범위에 용이하게 들어가게 할 수 있다.

도 15는, 제 1 실시 형태 및 제 2 실시 형태의 방법에 의해, 유리판(G)을 표면 거칠기 측정계(500)의 테이블(501) 상으로 세팅해, 촉침(510)을 주사시켰을 경우의 측정 차트(CA)를 나타내고 있다. (a)는 표면 거칠기 측정계(500)의 유효 측정 범위에 유리판(G)의 측정변(G1)이 적정하게 들어갈 때의 측정 차트(CA)를 나타내고, (b)는 표면 거칠기 측정계(500)의 유효 측정 범위에 유리판(G)의 측정변(G1)이 적정하게 들어가지 못할 때의 측정 차트(CA)를 나타내고 있다. 상술과 같이 측정 치구(10)를 이용해 유리판(G)을 세팅하는 것으로, 도 15(a)와 같은 측정 차트(CA)를 얻을 수 있고 그것에 의해 표면 거칠기 측정계(500)의 유효 측정 범위에 유리판(G)의 측정변(G1)이 적정하게 들어간 것을 확인할 수 있다. 따라서 이러한 측정 차트(CA)가 얻어지는 경우에 거칠기 측정을 계속해서 실시하는 것으로 신뢰할 수 있는 측정 데이터를 얻을 수 있다. 반대로, 도 15(b)에 나타내듯이 측정 차트(CA)가 도중에 유효 범위 밖으로 나올 때에는 표면 거칠기 측정계(500)의 유효 측정 범위에 유리판(G)의 측정변(G1)이 적정하게 들어가지 못한 것을 확인할 수 있다.

이상에서 상술한 제 1 실시 형태 및 제 2 실시 형태의 유리판 세팅 방법에 의하면 서로 평행인 밑면(10A)과 상면(10B)을 가지는 측정 치구(10)를 이용해, 그 측정 치구(10)의 상면(10B)을 기준으로 유리판(G)의 측정 대상인 단면(端面)(GA)을 가지는 측정변(G1)을 측정 치구(10)에 대해 위치 결정하고, 그 상태로 측정 치구(10)의 지지면(10C)과 협지면(10D)에 의해 유리판(G)을 협지한 다음에 측정 치구(10)의 밑면(10A)을 측정 장치의 테이블(정반)(501) 상면(기준 평면)(501A)에 올리도록 하고 있으므로 간단하고 한편 확실히 유리판(G)을 테이블(501) 상면(501A)에 대해 수직 자세로 보지(保持)하면서, 유리판(G)의 측정변(G1)을 테이블(501) 상면(501A)에 대해 평행이 되도록 세팅할 수 있다. 따라서, 도 16(b)~(d)의 예와 같이 샘플 조각(유리판(G))에는 1변에 측정변(G1)만 확보해 두면 충분하며, 측정변(G1)의 대변(G2)을, 도 16(a)와 같이 측정변(G1)과 평행으로 가공할 필요가 없다. 그 때문에 샘플 조각을 준비할 때의 부담을 크게 줄일 수 있어, 다수의 샘플 조각을 취급할 필요가 생겼을 경우에도 효율적으로 단면(端面) 검사를 시행할 수 있어 제품의 품질관리의 합리화를 도모할 수 있다. 또, 측정 치구(10)를 이용하는 것으로, 유리판(G)의 단면(端面)(GA)을 측정 장치(표면 거칠기 측정계(500))에 정확하게 세팅할 수 있기 때문에, 세팅 불량에 따른 측정 오류를 줄일 수 있음과 동시에 측정 정밀도의 향상도 도모된다.

또, 측정 치구(10)의 밑면(10A)과 상면(10B)에 유리판(G)을 지지면(10C)과 협지면(10D)과의 사이에 삽입하기 위한 개구(15)를 마련하고 있으므로 기준이 되는 밑면(10A)과 상면(10B)을 각각의 개구(15)의 양측에 확보할 수 있어, 좋은 밸런스를 가진 치구 구조가 될 수 있다. 또, 대향 배치된 유리판 지지벽(11)과 압압판(16)에 지지면(10C)과 협지면(10D)을 형성하고 있어, 압압판 지지벽(12)에 의해서 지지된 압압판(16)을 압압판 구동 기구인 나사(20)에 의해서 지지면(10C)에 접근하는 방향으로 슬라이드 시키는 것에 의해, 지지면(10C)과 협지면(10D)의 사이에 삽입된 유리판(G)을 지지면(10C)과 협지면(10D)으로 협지할 수 있어, 간단한 조작으로 확실하게 유리판(G)을 협지 고정할 수 있다.

(제 3 실시 형태)

다음에 본 발명의 제 3 실시 형태의 유리판 세팅 방법을 도 17, 도 18을 이용해 설명한다.

도 17은 제 3 실시 형태의 유리판 세팅 방법을 실시할 때에 사용하는 측정 치구의 사시도, 도 18은 같은 상태의 측정 치구에 의해 유리판의 측정변이 위치 결정될 때의 자동적인 동작을 설명하기 위한 도로 (a)는 유리판을 측정 치구에 삽입한 단계에서 2개의 기준점이 유리판 측정변의 상방에 있는 상태를 나타내는 도, (b)는 한 쪽의 기준점에 유리판의 측정변이 도달한 상태를 나타내는 도, (c)는 양 쪽의 기준점에 유리판의 측정변이 도달하여 이 시점에서 유리판의 상승이 멈춘 것을 나타내는 도이다.

도 17, 도 18에 나타내듯이, 이 측정 치구(60)는 제 1 실시 형태에서 사용한 측정 치구(10)의 일부에 추가 수단을 설치하는 것으로 샘플 조각으로서의 유리판(G)의 측정변(G1)을 밑면(10A)에서 일정 높이위 위치에 자동으로 평행이 되게 세팅할 수 있는 것으로, 상부에 유리판(G)의 측정변(G1)을 위치 결정하기 위한 2개의 위치 검출 수단(발광기(61)와 수광기(62)의 조합)을 가짐과 동시에, 유리판(G)을 상승시키는 2개의 서보 모터(상승 수단)(63), 위치 검출 수단의 신호에 의해 유리판(G)의 상승 동작을 정지시키는 도시하지 않은 제어 수단을 가지고 있다. 여기에서는 제 1 실시 형태의 측정 치구(10)와 동일 구성 요소에는 동일 부호를 붙여 설명을 생략한다.

2개의 서보 모터(63)는 도 18에 나타내듯이 유리판(G)의 하변의 2개소를 각각 지지 브래킷(64)을 개재하여 상승시킬 수 있도록 설치되고 있어, 지지면(10C)과 협지면(10D)과의 사이에 삽입된 유리판(G)을 지지면(10C)과 협지면(10D)으로 협지 고정하기 전에 상승시키도록 되어 있다. 이 경우 유리판(G) 2개소의 상승량을 각각 독립적으로 결정할 수 있어, 유리판(G)의 상단의 측정변(G1)의 높이와 측정변(G1)의 기울기를 동시에 조정할 수 있다.

위치 검출 수단인 발광기(61)와 수광기(62)는 지지면(10C)과 협지면(10D)과의 사이에 유리판(G)이 삽입될 때, 유리판(G)의 측정변(G1) 상방의 밑면(10A)에서 동일한 높이 위치에 서로 떨어진 2개의 기준점(65)들을 각각 설정하고 각 기준점(65)들에 상승시킨 유리판(G)의 측정변(G1)이 도달했을 때, 각각의 수광기(62)가 각각 신호를 출력한다. 제어 수단은 위치 검출 수단인 수광기(62)의 신호에 응답해 각 서보 모터(63)의 동작을 정지시켜, 유리판(G)의 상승을 정지시킨다. 그것에 의해 유리판(G)의 측정변(G1)을 측정 치구(60)의 밑면(10A)과 평행으로 위치 결정할 수 있다.

이 측정 치구(60)를 이용하는 경우는, 우선, 측정 치구(60)의 지지면(10C)과 협지면(10D)(도 5 등을 참조)과의 사이에 유리판(G)을 삽입해, 그 유리판(G)을 도 18(a)에 나타내듯이 상승 수단인 서보 모터(63)에 의해 상승시킨다. 이 단계에서 발광기(61)와 수광기(62)는 기준점(65)에 유리판(G) 상단의 측정변(G1)이 도달하는 것을 기다린다. 도 18(b)에 나타내듯이, 측정변(G1)의 한 쪽 측(도에서 좌측)이 한 쪽의 기준점(65)에 도달하면, 그 기준점(65)에 대응한 수광기(62)가 도달한 것을 알리는 신호를 보내, 그 신호에 응답해 제어 수단이 해당하는 서보 모터(63)의 동작을 정지시킨다. 이어 측정변(G1)의 다른 쪽 측(도에서 우측)이 한 쪽의 기준점(65)에 도달하면 그 기준점(65)에 대응한 수광기(62)가 도달한 것을 알리는 신호를 보내고 그 신호에 응답해 제어 수단이 해당하는 서보 모터(63)의 동작을 정지시킨다. 이것에 의해 유리판(G)의 측정변(G1)이 측정 치구(60)의 밑면(10A)으로부터 거리가 같은 2개의 기준점(65)의 높이에 보지(保持)되어 밑면(10A)과 평행으로 유지된다.

따라서, 이 상태에서 지지면(10C)과 협지면(10D)(도 6 참조)과의 사이에 유리판(G)을 협지 고정해, 그대로 측정 치구(60)의 밑면(10A)을 표면 거칠기 측정계(500)의 테이블(501) 상면(기준 평면)에 면 접촉시켜, 측정 치구(60)를 테이블(501) 상에 올려 놓는다. 그렇게 함으로써, 테이블(501)의 상면에 대해서 유리판(G)을 수직 자세로 보지(保持)하면서, 유리판(G)의 측정변(G1)을 테이블(501)의 상면(501A)에 대해 평행이 되도록 간단히 세팅할 수 있다.

이 때문에 제 1 실시 형태 및 제 2 실시 형태와 마찬가지로, 샘플 조각에는 1변에 측정변(G1)만 확보해 두면 충분하며, 측정변(G1)의 대변을 측정변(G1)과 평행으로 가공할 필요가 없어져 샘플 조각을 준비할 때의 부담을 크게 줄일 수 있어 다수의 샘플 조각을 취급할 필요가 생겼을 경우에도 효율적으로 단면(端面) 검사를 시행할 수 있어 제품의 품질관리의 합리화를 도모할 수 있다. 또, 측정 치구(60)를 이용하는 것으로 유리판(G) 단면(端面)을 표면 거칠기 측정계 등의 측정 창치로 정확하게 세팅할 수 있기 때문에 세팅 불량에 의한 측정 오류를 줄일 수 있는 것과 동시에 측정 정밀도의 향상도 도모된다. 또, 이 유리판(G) 세팅 방법에서는 서보 모터(63)와 위치 검출 수단(발광기(61)와 수광기(62)의 조합)의 기능에 의해 자동으로 유리판(G)의 측정변(G1) 위치를 측정 치구(60)에 대해 위치 결정하고 있기 때문에 수작업에 따른 작업의 수고를 줄일 수 있다.

(제 4 실시 형태)

다음에 본 발명의 제 4 실시 형태의 유리판 세팅 방법을 도 19 및 도 20을 이용해 설명한다.

도 19는 제 4 실시 형태의 유리판 세팅 방법의 설명도로 (a)는 위치 결정 평판의 상면의 홈에 유리판의 측정변을 삽입하려는 상태를 나타내는 사시도, (b)는 그 홈에 유리판의 측정변을 삽입하는 것으로, 유리판을 기대세운 상태를 나타내는 사시도, (c)는 홈과 유리판의 관계를 홈의 단부측에서 바라본 도이다. 또, 도 20은 도 19의 다음에 시행하는 조작의 설명도로, (a)는 위치 결정 평판의 상면에 측정 치구의 2개의 블록을 올리려는 상태를 나타내는 사시도, (b)는 위치 결정 평판 상에서 2개의 블록에 의해 유리판을 협지 고정한 상태를 나타내는 사시도, (c)는 유리판을 보지(保持)한 측정 치구를 위치 결정 평판 상에서 떼어내, 상하 반대로 돌려 본래의 상하 자세로 되돌린 상태를 나타내는 사시도, (d)는 2개의 블록으로 유리판을 협지 고정한 부분 확대도이다.

제 4 실시 형태의 유리판 세팅 방법을 실시하는 경우에는, 도 19에 나타내는 위치 결정용 판체(200)와 도 20에 나타내는 측정 치구(240)를 이용한다.

도 19에 나타내는 위치 결정용 판체(200)는, 서로 평행한 평면으로 되는 밑면(200A) 및 상면(200B)을 가지는 구형(矩形)평판의 상면(200B)의 대략 중앙에, 속 밑면(201A)이 상면(200B)과 평행을 이루는 홈(201)을 형성한 것이다. 또, 도 20에 나타내는 측정 치구(240)는 한 쌍의 직방체 형상의 블록(250)과 그 2개의 블록(250)을 서로 결합하는 2개의 나사 부재(체결 수단)(280)로 이루어진 것이다.

각 블록(250)은 서로 평행인 평면으로 이루어진 밑면(표면 거칠기 측정계의 테이블 상에 세팅할 때에 하측이 되는 면)(250A) 및 상면(표면 거칠기 측정계의 테이블 상에 세팅할 때에 상측이 되는 면)(250B)과, 그것들 밑면(250A) 및 상면(250B)에 대해 수직인 평면으로 되는 지지면(250C)과, 지지면(250C)의 반대측에 위치하고 지지면(250C)과 평행인 평면으로 되는 기준 외측면(250D)를 가지는 것으로, 지지면(250C) 사이에 유리판(G)을 둔 상태로 나사 부재(280)에 의해 양 블록(250)을 결합함으로써, 양 블록(250)의 지지면(250C) 사이에 유리판(G)을 협지 고정할 수 있게 되어 있다.

이 제 4 실시 형태의 방법을 실시하는 경우에는 우선, 도 19(a), (b)에 나타내듯이 상면(200B)을 위로 한 위치 결정용 판체(200)의 홈(201)의 내부에 홈(201)의 속 밑면(201A)에 유리판(G)의 직전상의 측정변(G1)을 선 접촉시킨 상태에서 유리판(G)의 측정변(G1)을 삽입하는 것에 따라, (c)에 나타내듯이 유리판(G)을 위치 결정용 판체(200)의 상면(200B)에 기대 세운다.

다음에 그 상태로 도 20(a)에 나타내듯이 측정 치구(240)의 2개의 블록(250)을 블록(250)의 각 상면(250B)을 위치 결정용 판체의 상면(200B)에 면 접촉시킨 상태로 위치 결정용 판체(200)의 상면(200B)에 올려, 양 블록(250)의 지지면(250C) 사이에 유리판(G)을 두는 위치로 배치한다. 그리고, 양 블록(250)을 위치 결정용 판체(200)의 상면(200B)에서 슬라이드 하면서, 도 20(b)에 나타내듯이 홈(201)에 측정변(G1)을 삽입한 유리판(G)을 2개의 블록(250) 지지면(250C) 사이에 두어, 그 상태로 양 블록(250)을 나사 부재(280)에 의해 체결하는 것으로 유리판(G)을 2 개의 블록(250) 지지면(250C)으로 협지 고정한다.

협지 고정하면, 측정 치구(240)를 위치 결정용 판체(200)로부터 떼어내, 도 20(c)에 나타내듯이 상하 반대로 돌린다. 그렇게 하면, 홈(201)에 삽입되어 있는 부분이 위로 돌출한 형태로, 유리판(G)이 보지된 상태의 측정 치구(240)를 얻을 수 있다. 따라서, 이 측정 치구(240)의 밑면(블록(250)의 밑면(250A))을 표면 거칠기 측정계(500)(도 30 참조) 테이블(501)의 상면(501A)에 면 접촉시킨 상태로 테이블(501) 상에 측정 치구(240)을 재치하는 것으로써, 테이블(501)의 상면(501A)에 대해 유리판(G)을 수직인 자세로 보지(保持)하면서 유리판(G)의 측정변(G1)을 테이블(501)의 상면(501A)에 대해 평행이 되도록 용이하게 세팅할 수 있다.

(제 5 실시 형태)

다음에 본 발명의 제 5 실시 형태의 유리판 세팅 방법을 도 21 ~ 도 27을 이용하여 설명한다.

도 21은 도 19 및 도 20에서 나타내는 조작을 해 유리판을 협지 고정한 측정 치구(제 1의 치구에 상당)를 표면 거칠기 측정계 테이블의 상면에 올려 놓은 제 2의 치구의 상면에 올려, 같은 제 2의 치구 상면에 올린 제 3의 치구에 의해 위치 결정하는 것으로, 유리판의 측정변 방향을 촉침(510)의 주사 방향으로 일치시킨 상태를 나타내는 사시도, 도 22는 도 21에서의 제 2의 치구와 측정 치구 및 제 3의 치구와의 관계를 확대해 나타내는 사시도이다. 또, 도 23은 도 22에서 나타낸 부분을 위에서 본 평면도이며, 조정 나사의 나합 부분만을 단면으로 나타낸 도, 도 24는 2개의 조정 나사의 조작으로 유리판의 측정변의 방향을 촉침 주사 라인에 일치하도록 조정하는 요령 설명도이며, (a)는 조정 전의 상태를 나타내는 평면도, (b)는 조정 후의 상태를 나타내는 평면도이다. 도 25는 유리판의 측정변의 단면에서 유리판 두께 방향에서 측정 대상 영역을 나타내는 도, 도 26은 표면 거칠기 측정계의 촉침 주사 라인에 대해 유리판의 단면(端面)의 위치가 적정하게 조정되고 있는지를 판단하기 위한 판단 기준인 측정 차트(CA)를 나타내는 도로, (a)는 적정하게 조정되고 있을 때의 상태를 나타내는 도, (b) 및 (c)는 적정하게 조정되고 있지 않을 때의 상태를 나타내는 도, 도 27은 제 2의 치구를 제 3의 치구에 대해서 위치 결정한 후에, 그 위치 관계를 고정해 두기 위해서 더블 너트를 사용해 조정 나사를 고정하는 경우의 예를 나타내는 측면도이다.

도시하는 예에서는, 제 4 실시 형태의 측정 치구(240)로 유리판(G)을 보지(保持)하는 경우의 예를 나타내지만, 제 1 ~ 제 3 실시 형태의 측정 치구(10, 60)로 유리판(G)을 보지(保持)하는 경우에도 응용할 수 있다. 또, 유리판(G)을 측정 치구(240)로 보지(保持)하기 까지의 순서는, 제 4 실시 형태에서 설명한 대로이다.

우선, 전제로서 측정 치구(240)의 하나의 외측면(250D)은 측정 치구(240)의 밑면(240A)에 수직으로 한편 지지면(250C)에 평행한 평면으로 이루어진 기준 외측면으로서 구성되어 있다. 또, 그 측정 치구(240)와는 별도로 도 21 및 도 22에 나타내듯이 제 2의 치구(300)로서 서로 평행한 평면으로 이루어진 밑면(300A) 및 상면(300B)과 밑면(300A) 및 상면(300B)과 수직인 평면으로 되는 하나의 기준 외측면(300C)을 가지는 평판상의 치구를 준비한다. 또, 제 3의 치구(400)로서 제 2의 치구(300)의 상면(300B)에 서로 평행한 하면(401A) 및 상면(401B) 가운데 하면(401A)이 면 접촉상태로 올려, 올린 상태로 제 2의 치구(300)의 상면(300B)을 따라 슬라이드 가능하며, 전단면(前端面)(401C)이 하면(401A) 및 상면(401B)과 수직인 평면으로 구성된 평면판(401)과, 평면판(401)의 후단에 수하된 수직판(402)을 가지는 측면이 L형의 치구를 준비한다. 수직판(402)의 내측면(402A)은 평면판(401)의 하면과 수직인 면으로 구성되어, 수직판(402)에 관통 형성된 2개의 나사공(403)에는 각각 조정 나사(420)의 나사 선단측이 나합되고 있다.

이러한 치구를 이용하는 경우는 우선, 제 2의 치구(300)를 표면 거칠기 측정계(500) 테이블(501)의 상면(기준 평면)(501A)에 밑면(300A)을 면 접촉시킨 상태로 올려 놓고, 그 제 2의 치구(300)의 상면(300B)에 유리판(G)을 보지(保持)한 상태의 측정 치구(240)의 밑면(240A)(도 20 참조)을 면 접촉시킨 상태로 올림과 동시에 같은 제 2의 치구(300)의 상면(300B)에 제 3의 치구(400)의 평면판(401)의 하면(401A)을 면 접촉시킨 상태로 올린다. 그리고, 수직판(402)과 제 2의 치구(300)의 기준 외측면(300C)를 대향시켜, 측정 치구(240)의 기준 외측면(250D)를 제 3의 치구(400)의 평면판(401)의 전단면(前端面)(401C)에 면 접촉시키면서 도 23, 도 24에 나타내듯이 제 3의 치구(400)의 수직판(402)의 나사공(403)에 나합 관통한 조정 나사(420)의 선단을 제 2의 치구(300)의 기준 외측면(300C)에 꽂아, 그 상태로 그 2개의 조정 나사(420)들을 회전 조작해 제 3의 치구(400)의 평면판(401)의 전단면(前端面)(401C)의 위치와 각도를 조절하는 것으로 측정 치구(240)에 보지(保持)된 유리판(G)의 측정변(G1)의 위치를 표면 거칠기 측정계(500)의 촉침(510)의 주사 방향(510X)으로 맞춘다.

예를 들면, 도 25에 나타내듯이 유리판(G)의 단면(端面)(GA) 가운데 유효하게 거칠기 측정이 가능한 영역은 유리판(G)의 두께 방향의 중앙의 소정폭 영역(M)으로 한정되어 있기 때문에 이 영역(M)에 촉침(510)의 선단이 닿도록 유리판(G)의 위치를 조절한다. 또, 촉침(510)의 조사방향(510X)에 대한 유리판(G)의 평행도도 조정한다. 이렇게 하는 것으로 적정한 측정이 시행 가능하다.

또한, 유리판(G)의 단면(端面)(GA)과 촉침(510)의 위치 관계나 평행도가 적정한지는 시험으로 촉침(510)을 실제로 주사해, 얻어진 측정 차트(CA)를 보는 것으로 용이하게 판별할 수 있다. 예를 들면, 도 26(a)에 나타내듯이 위치도 평행도도 적정한 경우는 측정 차트(CA)도 직선을 그리고, 측정 유효 범위를 벗어나지 않는다. 한편, (b), (c)에 나타내듯이 위치나 평행도가 적정하지 않은 경우는 측정 차트(CA)가 측정 유효 범위를 벗어나거나 곡선이 되므로, 이 측정 차트를 보면서 유리판(G)의 위치나 평행도를 미세 조정할 수 있다.

이와 같이, 제 5 실시 형태의 방법에 의하면 테이블(정반)(501)의 상면(기준 평면)(501A)에 밑면(300A)을 올린 제 2의 치구(300)의 상면(300B)에 유리판(G)을 보지(保持) 고정한 측정 치구(240)의 밑면(250A)을 올림과 동시에 제 3의 치구(400)의 평면판(401)을 올려, 측정 치구(240)의 위치를 제 3의 치구(400)의 수직판(402)에 나합시킨 조정 나사(420)의 조작으로 조정할 수 있도록 했기 때문에, 예를들면 유리판(G)의 측정변(G1)의 위치를 표면 거칠기 측정계의 촉침(510)의 주사 방향(510X)에 합치하도록 용이하게 조정할 수 있어 높은 정밀도의 측정이 가능하다.

또한, 일단 제 2의 치구(300)나 제 3의 치구(400)의 위치를 결정해버리면 다음과 같은 조건(두께)의 샘플 조각의 측정할 때, 그 세팅 내용을 그대로 이용할 수 있다. 즉, 다음의 샘플 조각(유리판(G))을 보지(保持)한 측정 치구(240)의 기준 외측면(250D)을 제 2의 치구(300)의 상면(300B) 상에서 제 3의 치구(400)의 평면판(401)의 전단면(前端面)(400C)에 면 접촉시킨다. 그렇게 하는 것으로써, 다음의 유리판(G)을 정확하게 위치 결정할 수 있다. 이후는 이것을 반복 시행하기만 하면 되므로, 측정 작업의 합리화가 도모된다. 또, 제 4의 치구(400)의 위치 결정 설정 내용을 정확하게 유지해 두기 위해, 도 27에 나타내듯이 조정 나사(420)에 더블 너트(405)를 나합하면 조정 나사(420)가 느슨해지는 것을 방지할 수 있다.

또, 제 2의 치구(300)나 제 3의 치구(400)를 이용하지 않고 테이블(501)의 상면(501A)에 대해서 수직으로 접촉 된 벽을 가지는 위치 결정 블록을 테이블(501) 상에 위치 결정하여 고정해 두고, 그 위치 결정 벽에 유리판(G)을 보지(保持)한 측정 치구(240)의 기준 외측면(250D)을 당접시켜도 유리판(G)의 반복 위치 결정을 용이하게 시행할 수 있다.

또, 이상에 있어서 설명한 측정 치구(10, 60), 제 2의 치구(300) 및 제 3의 치구(400)를 모두 직방체의 블록의 단위체 또는 조립으로 구성하도록 하면, 밑면(하면)과 상면의 평행도나 그에 대한 지지면, 전단면(前端面), 기준 외측면 등의 수직도를 용이하게 정확히 낼 수 있다. 따라서, 처음에 직방체를 정확히 작성해두는 것만으로 측정 치구(10, 60), 제 2의 치구(300) 및 제 3의 치구(400)를 간단하게 준비할 수 있다.

또, 상기 각 실시 형태에서는 본 발명을 단면(端面)의 표면 거칠기를 측정하는 장치에 세팅하는 경우의 예를 나타냈지만, 그 이외의 단면(端面) 측정 장치(단면(端面)의 화상 취득 장치 등)의 유리판 세팅 시에도 물론 응용할 수 있다.

G 유리판
G1 측정변
GA 단면(端面)
10 측정 치구
10A 밑면
10B 상면
10C 지지면
10D 협지면
11 유리판 지지벽
12 압압판 지지벽
13 측면판
16 압압판
20 나사(압압판 구동 기구)
21 나사축
22 나사공
60 측정 치구
61 발광기(위치 결정 수단)
62 수광기(위치 결정 수단)
63 서보 모터(상승 수단)
65 기준점
100 위치 결정판
101 위치 결정 평면
120 위치 결정판
121 위치 결정 평면
200 위치 결정 평판
200B 상면
201 홈
201A 속 밑면
240 측정 치구
250 블록
250A 밑면
250B 상면
250C 지지면
250D 기준 외측면
280 나사(체결 수단)
300 제 2의 치구
300A 밑면
300B 상면
300C 기준 외측면
400 제 3의 치구
401 평면판
401A 하면
401B 상면
401C 전단면(前端面)
402 수직판
403 나사공
420 조정 나사
500 표면 거칠기 측정계
501 테이블(정반)
501A 상면(기준 평면)
510 촉침

Claims (7)

1. 서로 평행한 평면으로 구성된 밑면 및 상면과, 이것들 밑면 및 상면의 사이에 배치되고, 상기 밑면 및 상면에 대해 수직인 평면으로 구성된 지지면과, 상기 지지면에 측정 대상 유리판의 한 쪽의 판면을 면 접촉시킨 상태로 상기 지지면과의 사이에 상기 유리판을 협지하는 협지면을 가지는 측정 치구를 이용하고,
   상기 지지면과 협지면과의 사이에 상기 유리판을 삽입하고, 그 유리판의 측정해야 할 단면(端面)을 가지는 직선상의 측정변을, 상기 측정 치구의 상면에 면 접촉시킨 위치 결정 평면에 대해 선 접촉시킨 상태로, 상기 지지면과 협지면과의 사이에 상기 유리판을 협지 고정하고,
   그 상태로, 상기 측정 치구의 밑면을 측정용의 정반 기준 평면에 면 접촉시키는 것으로, 상기 정반 상에 상기 측정 치구를 재치하고, 그것에 의해, 상기 정반 기준 평면에 대해 상기 유리판을 수직인 자세로 보지(保持)하면서, 상기 유리판의 측정변을 상기 정반 기준 평면에 대해 평행으로 세팅하는 것을 특징으로 하는 유리판 단면(端面) 측정 장치에 대한 유리판 세팅 방법.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 위치 결정 평면이 위를 향한 평면이며, 상기 측정 치구를 상하 반대로 돌려, 아래를 향한 상기 측정 치구의 상면을 상기 위치 결정 평면에 면 접촉시키고,
   그 상태로, 상기 지지면과 협지면과의 사이에, 상기 측정변이 아래를 향한 자세로 상기 유리판을 삽입하여, 삽입한 유리판의 자체 중량에 의해, 상기 유리판의 측정변을 상기 위치 결정 평면에 선 접촉시키고,
   그 선 접촉시킨 상태로, 상기 지지면과 협지면과의 사이에 상기 유리판을 협지 고정하고,
   협지 고정 후에, 측정 치구의 상하를 원래의 자세로 되돌려, 상기 측정 치구의 밑면을 측정용의 정반 기준 평면에 면 접촉시키는 것으로, 상기 정반 상에 상기 측정 치구를 올려 놓고, 그것에 의해, 상기 정반의 기준 평면에 대해 상기 유리판을 수직인 자세로 보지(保持)하면서, 상기 유리판의 측정변을 상기 정반의 기준 평면에 대해 평행으로 세팅하는 것을 특징으로 하는 유리판 단면(端面) 측정 장치에 대한 유리판 세팅 방법.
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
   서로 평행한 평면으로 구성된 밑면 및 상면과, 이것들 밑면 및 상면의 사이에 배치되고, 상기 밑면 및 상면에 대해 수직인 평면으로 구성된 지지면과, 상기 지지면에 측정 대상의 유리판의 한 쪽 판면을 면 접촉시킨 상태로 상기 지지면과의 사이에 상기 유리판을 협지하는 협지면을 가지고,
   상기 밑면과 상면에, 상기 유리판을 상기 지지면과 협지면과의 사이에 삽입하기 위한 개구가 마련되고,
   상기 지지면이 유리판 지지벽의 벽면에 형성되고,
   상기 유리판 지지벽에 대향하여 압압판 지지벽이 설치됨과 동시에, 유리판 지지벽과 압압판 지지벽과의 사이에, 상기 유리판 지지벽의 지지면에 대해 접근 이간 자재이며, 상기 압압판 지지벽에 의해 슬라이드 자재로 지지된 압압판이 설치되고,
   상기 압압판의 상기 지지면과 대향하는 면에 상기 협지면이 형성되고,
   상기 압압판 지지벽과 압압판과의 사이에, 상기 압압판을 상기 지지면에 대해 접근 이간할 방향으로 이동시키는 압압판 구동 기구가 설치되고 있는 것을 특징으로 하는 유리판 단면(端面) 측정 장치에 대해 유리판을 세팅하기 위한 측정 치구.
4. 측정용 정반의 기준 평면에 대해 면 접촉하는 밑면과,
   상기 밑면에 대해 수직인 평면으로 구성된 지지면과,
   상기 지지면에 측정 대상의 유리판의 한 쪽의 판면을 면 접촉시킨 상태로 상기 지지면과의 사이에 상기 유리판을 협지하는 협지면과,
   상기 지지면과 협지면과의 사이에 삽입된 상기 유리판을, 상기 지지면과 협지면으로 협지 고정하기 전에 상승시키는 것으로, 상기 유리판의 상단의 측정해야 할 단면(端面)을 가지는 직선상의 측정변의 높이를 상기 측정변의 기울기와 함께 조정하는 상승 수단과,
   상기 지지면과 협지면과의 사이에 상기 유리판이 삽입되었을 때, 상기 유리판의 측정변 상방의 상기 밑면에서 동일한 높이의 위치에 2개의 서로 떨어진 기준점을 각각 설정해, 각 기준점으로 상기 상승 수단으로 상승시킨 유리판의 측정변이 도달했을 때에 각각 신호를 출력하는 2개의 위치 검출 수단과,
   상기 위치 검출 수단이 상기 신호를 출력했을 때, 상기 상승 수단에 의한 유리판의 상승을 정지시키는 제어 수단
   을 가지는 측정 치구를 이용하고,
   상기 측정 치구의 지지면과 협지면과의 사이에 상기 유리판을 삽입하고,
   그 유리판을 상기 상승 수단으로 상승시켜, 상기 위치 검출 수단이 상기 신호를 출력하는 것으로 상기 제어 수단이 상기 상승 수단에 의한 유리판의 상승을 정지시켰을 때, 그 상태로 상기 지지면과 협지면과의 사이에 상기 유리판을 협지 고정하고,
   그 상태로, 상기 측정 치구의 밑면을 측정용의 정반의 기준 평면에 면 접촉시키는 것으로, 상기 정반 상에 상기 측정 치구를 올려 놓고, 그것에 의해, 상기 정반의 기준 평면에 대해 상기 유리판을 수직인 자세로 보지(保持)하면서, 상기 유리판의 측정변을 상기 정반의 기준 평면에 대해 평행으로 세팅하는 것을 특징으로 하는 유리판 단면(端面) 측정 장치에 대한 유리판 세팅 방법.
5. 평면으로 되는 상면에, 속 밑면이 상기 상면과 평행을 이루는 홈이 형성된 위치 결정용 판체와,
   서로 평행인 평면으로 되는 밑면 및 상면과 그들 밑면 및 상면과 수직인 평면으로 되는 지지면을 가지는 한 쌍의 블록 및 이 한 쌍의 블록들을 측정 대상의 유리판을 사이에 둔 상태로 체결하는 것으로써, 양 블록의 지지면 사이에 상기 유리판을 협지시키는 체결 수단을 가지는 측정 치구를 이용하고,
   상기 위치 결정용 판체의 홈의 내부에, 상기 홈의 속 밑면에 상기 유리판의 측정해야 할 단면(端面)을 가지는 직선상의 측정변을 선 접촉시킨 상태로, 상기 유리판의 측정변을 삽입하는 것으로써, 상기 유리판을 상기 위치 결정용 판체의 상면에 기대세우고,
   그 상태로, 상기 측정 치구의 2개의 블록을 그 블록 각 상면을 상기 위치 결정용 판체의 상면에 면 접촉시킨 상태로 상기 위치 결정용 판체의 상면에 올려, 양 블록의 지지면으로 상기 유리판을 사이에 두는 위치에 배치하고,
   상기 블록을 상기 판체의 상면에 있어서 슬라이드 시키면서, 상기 홈에 측정변을 삽입한 유리판을 2개의 블록의 지지면으로 사이에 두어, 그 상태로 양 블록을 상기 체결 수단으로 체결하는 것으로써, 상기 유리판을 상기 2개의 블록의 지지면에 의해 협지 고정하고,
   협지 고정한 후, 상기 측정 치구를 상기 위치 결정용 판체로부터 떼어내고,
   그 측정 치구의 밑면을 측정용의 정반의 측정 평면에 면 접촉시키는 것으로, 상기 정반 상에 상기 측정 치구를 재치하고, 그것에 의해 상기 정반의 기준 평면에 대해 상기 유리판을 수직인 자세로 보지(保持)하면서, 상기 유리판의 측정변을 상기 정반의 기준 평면에 대해 평행으로 세팅하는 것을 특징으로 하는 유리판 단면(端面) 측정 장치에 대한 유리판 세팅 방법.
6. 제 1항, 제 2항 및 제 4항, 제 5항 어느 한 항에 있어서,
   상기 측정 치구의 하나의 외측면을 상기 측정 치구의 밑면에 수직으로 한편 상기 지지면에 평행한 평면으로 되는 기준 외측면으로 구성되고,
   그 측정 치구와는 별도로,
   제 2의 치구로서 서로 평행인 평면으로 되는 밑면 및 상면과, 상기 밑면 및 상면과 수직인 평면으로 되는 1개의 기준 외측면을 가지는 평판상의 치구를 준비하는 것과 함께,
   제 3의 치구로서, 상기 제 2의 치구의 상면에 하면이 면 접촉상태로 올리고, 올린 상태로 상기 제 2의 치구의 상면을 따라 슬라이드 가능하고, 전단면(前端面)이 상기 하면과 수직인 평면으로 구성된 평면판과 상기 평면판의 후단에 수하된 수직판을 가지는 측면이 L형의 치구를 준비하고,
   상기 제 2의 치구를 측정용의 정반의 기준 평면에 밑면을 면 접촉시킨 상태로 올려 놓고,
   그 제 2의 치구의 상면에 상기 유리판을 보지(保持)한 측정 치구의 밑면을 면 접촉시킨 상태로 올림과 동시에, 같은 제 2의 치구의 상면에 상기 제 3의 치구의 평면판의 하면을 면 접촉시킨 상태로 올리고,
   상기 측정 치구의 기준 외측면을 상기 제 3의 치구의 평면판의 전단면(前端面)에 면 접촉시키면서, 상기 제 3의 치구의 수직판의 나사공에 나합 관통하고 나사 선단을 상기 제 2의 치구의 상기 기준 외측면에 꽂은 2개의 조정 나사를 회전 조작하여, 상기 제 3의 치구의 평면판의 전단면(前端面)의 위치와 각도를 조절하는 것으로써, 상기 측정 치구에 보지(保持)된 유리판의 측정변의 위치를 소정 위치로 위치 결정하는 것을 특징으로 하는 유리판 단면(端面) 측정 장치에 대한 유리판 세팅 방법.
7. 제 6항에 있어서,
   상기 측정 치구, 제 2의 치구, 제 3의 치구가, 모든 직방체 블록의 단위체 또는 그 조합에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리판 단면(端面) 측정 장치에 대한 유리판 세팅 방법.

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