KR20100133170A - 2개의 포토 마스크를 이용한 박막 트랜지스터의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (18)
- 기판 위에 제1 금속막을 증착한 후에 제1 포토 마스크를 이용하여 게이트 전극을 패턴하는 제1 공정; 및상기 게이트 전극이 패턴된 기판 상 절연막, 활성층 및 제2 금속막을 차례로 증착한 후에 제2 포토 마스크를 이용하여 소오스 전극 및 드레인 전극을 패턴하는 제2 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법.
- 제1항에 있어서,상기 소오스 전극 및 상기 드레인 전극은 상기 절연막 위에 형성된 상기 활성층 및 상기 제2 금속막의 적층 구조인 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법.
- 제2항에 있어서,상기 드레인 전극은 상기 활성층 및 상기 제2 금속막의 적층 구조가 LCD 패널의 화소 전극을 위하여 일정 투과율을 갖는 투명 전도막인 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법.
- 제1항에 있어서,상기 활성층은 ZnO, IZO, 또는 IGZO 중 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법.
- 제1항에 있어서,상기 제2 금속막은 ITO 또는 IZO 중 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제2 포토 마스크는,상기 소오스 전극 및 상기 드레인 전극의 영역에 대한 광투과율이 제로이고,상기 게이트 전극 위의 상기 활성층의 채널 영역에 대한 광투과율이,상기 활성층의 채널, 상기 소오스 전극 및 상기 드레인 전극의 영역 이외의 나머지 부분에 대한 광투과율 보다 작은 GTM 패턴을 갖는 마스크인 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법.
- 제6항에 있어서, 상기 제2 공정은,상기 패턴된 게이트 전극 위에 상기 절연막, 상기 활성층 및 상기 제2 금속막을 차례로 증착하고 포토 레지스트를 도포한 후에, 상기 제2 포토 마스크를 이용하여 노광하여 포토 레지스트 패턴을 형성하는 제2-1 공정;상기 포토 레지스트 패턴이 남아있는 부분 이외의 부분에 대한 상기 제2 금속막, 상기 활성층 및 상기 절연막의 순차 식각을 위한 제2-2 공정;상기 채널 영역에 대한 상기 포토 레지스트 패턴을 제거하기 위한 제2-3 공정; 및상기 채널 영역 위의 상기 제2 금속막의 식각을 위한 제2-4 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법.
- 제7항에 있어서,상기 제2-2 공정 및 상기 제2-4 공정은 습식 또는 건식 식각 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법.
- 기판 위에 제1 금속막을 증착한 후에 제1 포토 마스크를 이용하여 게이트 전극을 패턴하는 제1 공정; 및상기 게이트 전극이 패턴된 기판 상에 절연막, 활성층, 제2 금속막 및 제3 금속막을 차례로 증착한 후에 제2 포토 마스크를 이용하여 소오스 전극 및 드레인 전극을 패턴하는 제2 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법.
- 제9항에 있어서,상기 소오스 전극은 상기 절연막 위에 형성된 상기 활성층, 상기 제2 금속막 및 상기 제3 금속막의 적층 구조이고,상기 드레인 전극은 상기 절연막 위에 형성된 상기 활성층 및 상기 제2 금속 막의 적층 구조인 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법.
- 제10항에 있어서,상기 소오스 전극을 이루는 상기 제3 금속막은 Cr, Mo, Al, 또는 Cu 중 적어도 하나의 물질을 포함하고,상기 드레인 전극은 상기 활성층 및 상기 제2 금속막의 적층 구조가 LCD 패널의 화소 전극을 위하여 일정 투과율을 갖는 투명 전도막인 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법.
- 제9항에 있어서,상기 활성층은 ZnO, IZO, 또는 IGZO 중 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법.
- 제9항에 있어서,상기 제2 금속막은 ITO 또는 IZO 중 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법.
- 제9항에 있어서, 상기 제2 포토 마스크는,상기 소오스 전극의 영역에 대하여 광투과율이 제로이고,상기 게이트 전극 위의 상기 활성층의 채널 영역에 대한 광투과율이,상기 활성층의 채널, 상기 소오스 전극 및 상기 드레인 전극의 영역 이외의 나머지 부분에 대한 광투과율 보다 작지만, 상기 드레인 전극의 영역에 대한 광투과율 보다 높은 GTM 패턴을 갖는 마스크인 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법.
- 제14항에 있어서, 상기 제2 공정은,상기 패턴된 게이트 전극 위에 상기 절연막, 상기 활성층, 상기 제2 금속막 및 상기 제3 금속막을 차례로 증착하고 포토 레지스트를 도포한 후에, 상기 제2 포토 마스크를 이용하여 노광하여 포토 레지스트 패턴을 형성하는 제2-1 공정;상기 포토 레지스트 패턴이 남아있는 부분 이외의 부분에 대한 상기 제3 금속막, 상기 제2 금속막 및 상기 활성층의 순차 식각을 위한 제2-2 공정;상기 채널 영역에 대한 상기 포토 레지스트 패턴을 제거하기 위한 제2-3 공정;상기 채널 영역 위의 상기 제3 금속막의 식각을 위한 제2-4 공정;상기 활성층의 채널, 상기 소오스 전극 및 상기 드레인 전극의 영역 이외의 나머지 부분에 대한 상기 절연막의 식각을 위한 제2-5 공정;상기 채널 영역 위의 상기 제2 금속막의 식각을 위한 제2-6 공정;상기 드레인 전극의 영역에 대한 상기 포토 레지스트 패턴을 제거하기 위한 제2-7 공정; 및상기 드레인 전극의 영역 위의 상기 제3 금속막의 식각을 위한 제2-8 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법.
- 제15항에 있어서,상기 제2-2 공정, 상기 제2-4 공정, 상기 제2-5 공정, 상기 제2-6 공정, 및 상기 제2-8 공정은 습식 또는 건식 식각 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법.
- 제1항 또는 제9항의 박막 트랜지스터의 제조 방법에 의하여 제조된 반도체 소자.
- 제1항 또는 제9항의 박막 트랜지스터의 제조 방법에 의하여 제조된 트랜지스터 어레이 패널을 포함하는 LCD 패널.
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