KR20100119223A - 원장 검사 장치 및 그 검사 방법 - Google Patents

원장 검사 장치 및 그 검사 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 원장 검사 장치 및 그 검사 방법에 관한 것으로, 원장 검사시 불량 패널을 검출한 후, 불량 패널을 제외한 정상 패널들의 전류를 측정함으로써 불량 패널에 의한 전류 특성 변화를 방지할 수 있는 기술을 개시한다. 이를 위해, 본 발명은 원장 기판 상에 형성되는 복수의 패널과, 복수의 패널 사이에 제1 방향으로 배열되어 복수의 패널과 각각 접속되는 복수의 제1 배선과, 복수의 패널 사이에 제1 방향과 제2 방향으로 배열되어 복수의 패널과 각각 접속되는 복수의 제2 배선과, 복수의 제1 및 제2 배선과 각각 접속되어 대응하는 배선에 제1 전압 및 제2 전압 중 선택된 어느 하나를 인가하는 복수의 전압 인가부 및 복수의 전압 인가부를 제어하여 복수의 패널 각각의 온 전류 및 오프 전류를 측정하는 검사부를 포함한다.
원장 검사, 패널

Description

원장 검사 장치 및 그 검사 방법{ONE SHEET TEST DEVICE AND TEST METHOD}
본 발명은 원장 검사 장치 및 그 검사 방법에 관한 기술이다.
일반적으로, 다수의 유기 발광표시장치(Organic Light Emitting Display)의 패널들은 하나의 기판(이하, 원장 기판) 상에서 형성된 후 스크라이빙(scribing)되어 개개의 패널들로 분리된다. 이러한 패널들은 원장기판에서 절단, 분리되기 전에, 원장기판 상태에서 패널 단위의 점등이나 패널 단위의 검사공정 또는 에이징(aging) 공정 등을 진행한다. 위와 같은 공정에서 각각의 패널을 구동시키기 위하여 원장기판의 측면에서 공통배선을 사용하여 원장기판으로 신호를 공급한다. 이때, 복수의 패널들 중 어느 하나의 패널에 점등 불량이 발생한 경우 해당 패널과 배선을 공유하고 있는 패널들의 전류 특성에 영향을 주어 정확한 검사가 이루어지지 않는 문제점이 있다. 또한, 공통배선에 쇼트(short)가 발생한 경우 해당 배선과 연결된 패널들의 전류가 검사 장치로 흐르지 않아 패널들에 대한 검사가 제대로 수행되지 않는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 원장 검사 시 각 패널에 대한 검사가 정확하게 이루어질 수 있는 원장 검사 장치 및 그 검사 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명에 따른 원장 검사 장치는 원장 기판 상에 형성되는 복수의 패널; 상기 복수의 패널 사이에 제1 방향으로 배열되어 상기 복수의 패널과 각각 접속되는 복수의 제1 배선; 상기 복수의 패널 사이에 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 배열되어 상기 복수의 패널과 각각 접속되는 복수의 제2 배선; 상기 복수의 제1 및 제2 배선과 각각 접속되어 대응하는 배선에 제1 전압 및 제2 전압 중 선택된 어느 하나를 인가하는 복수의 전압 인가부; 및 상기 복수의 전압 인가부를 제어하여 상기 복수의 패널 각각의 온 전류 및 오프 전류를 측정하는 검사부를 포함한다.
여기서, 상기 제1 전압은 전원전압이고, 상기 제2 전압은 접지전압이다. 상기 복수의 전압 인가부 각각은 상기 제1 전압을 생성하는 전원부; 상기 복수의 제1 및 제2 배선 중 대응하는 배선과 상기 전원부 사이에 연결된 제1 스위치; 및 상기 복수의 제1 및 제2 배선 중 대응하는 배선과 상기 제2 전압의 인가단 사이에 연결된 제2 스위치를 포함한다. 상기 검사부는 상기 복수의 패널에 역 바이어스 전압을 인가한 상태에서 상기 복수의 패널 각각의 상기 오프 전류를 측정한다. 상기 검사부는 상기 복수의 패널에 정 바이어스 전압을 인가한 상태에서 상기 복수의 패널 각각의 상기 온 전류를 측정한다. 상기 검사부는 상기 복수의 패널 중 상기 오프 전류가 기준값 이상인 패널을 검출하고, 상기 온 전류 측정시 상기 제1 및 제2 전 압 중 어느 하나를 검출된 패널과 대응하는 제1 및 제2 배선에 인가한다. 상기 검사부는 상기 온 전류가 흐르기 시작한 시점으로부터 소정의 안정화 시간이 지난 후에 상기 온 전류를 측정한다. 상기 검사부는 상기 복수의 제2 배선과 상기 복수의 전압 인가부 사이에 각각 연결된 복수의 저항; 상기 복수의 저항 각각에 걸리는 전류를 증폭하여 출력하는 복수의 증폭기; 상기 복수의 증폭기 각각의 출력단에 연결된 복수의 스위치; 상기 복수의 스위치와 연결되어 상기 복수의 증폭기의 출력을 디지털 신호로 변환하는 A/D 컨버터; 상기 A/D 컨버터의 출력을 판독하는 전류 판독부; 및 상기 복수의 스위치 및 상기 복수의 전압 인가부를 제어하는 스위칭 제어신호를 생성하는 스위칭 제어부를 포함한다.
그리고, 본 발명에 따른 원장 기판 상에 형성되는 복수의 패널, 상기 복수의 패널 사이에 제1 방향으로 배열되어 상기 복수의 패널과 각각 접속되는 복수의 제1 배선 및 상기 복수의 패널 사이에 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 배열되어 상기 복수의 패널과 각각 접속되는 복수의 제2 배선을 포함하는 원장 검사 장치의 검사 방법에 있어서, 상기 복수의 패널에 역 바이어스 전압을 인가한 상태에서 상기 복수의 패널 각각의 오프 전류를 측정하는 단계; 및 상기 복수의 패널에 정 바이어스 전압을 인가한 상태에서 상기 복수의 패널 각각의 온 전류를 측정하는 단계를 포함한다. 여기서, 상기 온 전류를 측정하는 단계는 상기 복수의 패널 중 상기 오프 전류가 소정의 기준값 이상인 패널을 검출하는 단계; 및 상기 검출된 패널에 대응하는 제1 배선과 제2 배선에 상기 제1 및 제2 전압 중 어느 하나를 인가하는 단계를 포함한다. 상기 온 전류를 측정하는 단계는 상기 온 전류가 흐르기 시작한 시 점으로부터 소정의 안정화 시간이 지난 후에 수행한다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 특징에 따르면, 원장 검사시 불량 패널을 검출한 후, 불량 패널을 제외한 정상 패널들의 전류를 측정함으로써 불량 패널에 의한 전류 특성 변화를 방지할 수 있는 효과를 제공한다.
그리고, 원장 검사시 전류 안정화 시간을 이용하여 정확한 전류를 측정할 수 있는 효과를 제공한다. 또한, 원장 상태에서 각 패널을 독립적으로 검사할 수 있는 효과를 제공한다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 원장 검사 장치를 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 원장 검사 장치는 원장기판(100), 제1 내지 제6전압 인가부(200_1~200_6) 및 검사부(300)를 포함한다. 원장기판(100) 상에는 제1 내지 제9 패널(110_1~110_9) 및 제1 내지 제6 배선(120_1~120_6)이 형성되어 있다. 제1 내지 제9 패널(110_1~110_9)은 매트릭스 형태로 배치되어 있으며, 제1 내지 제6 배선(120_1~120_6)은 제1 내지 제9 패널(110_1~110_9) 사이의 공간에 배치되어 있다. 여기서, 제1 내지 제3 배선(120_1~120_3)은 행 방향으로 배치되며, 제4 내지 제6 배선(120_4~120_6)은 열 방향으로 배치된다.
제1 패널(110_1)은 제1 배선(120_1) 및 제4 배선(120_4)과 연결되어 있고, 제2 패널(110_2)은 제1 배선(120_1) 및 제5 배선(120_5)과 연결되어 있다. 제3 패널(110_3)은 제1 배선(120_1) 및 제6 배선(120_6)과 연결되어 있고, 제4 패널(110_4)은 제2 배선(120_2) 및 제4 배선(120_4)과 연결되어 있다. 제5 패널(110_5)은 제2 배선(120_2) 및 제5 배선(120_5)과 연결되어 있고, 제6 패널(110_6)은 제2 배선(120_2) 및 제6 배선(120_6)과 연결되어 있다.
제7 패널(110_7)은 제3 배선(120_3) 및 제4 배선(120_4)과 연결되어 있고, 제8 패널(110_8)은 제3 배선(120_3) 및 제5 배선(120_5)과 연결되어 있다. 제9 패널(110_9)은 제3 배선(120_3) 및 제6 배선(120_6)과 연결되어 있다. 도 1에서는 설명상의 편의를 위해 수평 방향으로 3개의 패널이 배치되고, 수직 방향으로 3개의 패널이 배치되는 것으로 도시하였으나, 본 발명은 이에 한정되지는 않으며 패널의 수는 조절 가능하다.
그리고, 제1 내지 제6 전압 인가부(200_1~200_6)는 제1 내지 제6 배선(120_1~120_6)과 각각 연결되어 있다. 본 발명의 실시 예에 따른 원장 검사 장치는 제1 내지 제9 패널(110_1~110_9)의 양측에서 전원전압을 인가할 수 있는 더블 소스 메시(double source mesh) 구조를 갖는다. 이를 위해, 전압 인가부의 수는 배선의 수와 동일하게 구비된다. 제1 내지 제6 전압 인가부(200_1~200_6) 각각은 검사부(300)의 제어에 따라 제1 전압 및 제2 전압 중 어느 하나를 대응하는 제1 내지 제6 배선(120_1~120_6)으로 인가한다. 여기서, 본 발명의 실시 예에 따른 제1 전압은 소정 레벨의 직류 전원전압이고, 제2 전압은 접지전압이다. 제1 전압 인가부(200_1)는 제1 및 제2 스위치(SW1, SW2) 및 제1 전원부(DC1)를 포함한다. 제1 스위치(SW1)는 제1 전원부(DC1)와 제1 배선(120_1) 사이에 연결되어 있고, 제2 스위치(SW2)는 접지전압(VSS) 인가단과 제1 배선(120_1) 사이에 연결되어 있다. 제2 전압 인가부(200_2)는 제3 및 제4 스위치(SW3, SW4) 및 제2 전원부(DC2)를 포함한다. 제3 스위치(SW3)는 제2 전원부(DC2)와 제2 배선(120_2) 사이에 연결되어 있고, 제4 스위치(SW4)는 접지전압(VSS) 인가단과 제2 배선(120_2) 사이에 연결되어 있다. 제3 전압 인가부(200_3)는 제5 및 제6 스위치(SW5, SW6) 및 제3 전원부(DC3)를 포함한다. 제5 스위치(SW5)는 제3 전원부(DC3)와 제3 배선(120_3) 사이에 연결되어 있고, 제6 스위치(SW6)는 접지전압(VSS) 인가단과 제3 배선(120_3) 사이에 연결되어 있다.
제4 전압 인가부(200_4)는 제7 및 제8 스위치(SW7, SW8) 및 제4 전원부(DC4)를 포함한다. 제7 스위치(SW7)는 제4 전원부(DC4)와 제4 배선(120_4) 사이에 연결 되어 있고, 제8 스위치(SW8)는 접지전압(VSS) 인가단과 제4 배선(120_4) 사이에 연결되어 있다. 제5 전압 인가부(200_5)는 제9 및 제10 스위치(SW9, SW10) 및 제5 전원부(DC5)를 포함한다. 제9 스위치(SW9)는 제5 전원부(DC5)와 제5 배선(120_5) 사이에 연결되어 있고, 제10 스위치(SW10)는 접지전압(VSS) 인가단과 제5 배선(120_5) 사이에 연결되어 있다. 제6 전압 인가부(200_6)는 제11 및 제12 스위치(SW11, SW12) 및 제6 전원부(DC6)를 포함한다. 제11 스위치(SW11)는 제6 전원부(DC6)와 제6 배선(120_6) 사이에 연결되어 있고, 제11 스위치(SW11)는 접지전압(VSS) 인가단과 제6 배선(120_6) 사이에 연결되어 있다.
검사부(300)는 제1 내지 제6 전압 인가부(200_6)를 제어하여 제1 내지 제9 패널(110_1~110_9) 각각의 온(on) 전류 및 오프(off) 전류를 측정한다. 검사부(300)는 제1 내지 제9 패널(110_1~110_9)에 정 바이어스를 전압을 인가하여 제1 내지 제9 패널(110_1~110_9)의 온(on) 전류를 측정하고, 제1 내지 제9 패널(110_1~110_9)에 역 바이어스 전압을 인가하여 제1 내지 제9 패널(110_1~110_9)의 오프(off) 전류를 측정한다. 본 발명의 실시 예에서는 정 바이어스 전압이 인가된 상태를 제4 내지 제6 배선(120_4~120_6)에 전원전압이 인가되고, 제1 내지 제3 배선(120_1~120_3)에는 접지전압이 인가된 것으로 정의한다. 그리고, 역 바이어스 전압이 인가된 상태를 제1 내지 제3 배선(120_1~120_3)에 전원전압이 인가되고, 제4 내지 제6 배선(120_4~120_6)에 접지전압이 인가된 것으로 정의한다. 예컨대, 제1 패널(110_1)의 온(on) 전류를 측정할 경우 검사부(300)는 제2 스위치(SW2) 및 제7 스위치(SW7)에 대응하는 스위칭 제어 신호(SC)를 인가한다. 반대로, 제1 패 널(110_1)의 오프(off) 전류를 측정할 경우 검사부(300)는 제1 스위치(SW1) 및 제8 스위치(SW8)에 대응하는 스위칭 제어신호(SC)를 인가한다. 이와 같이, 양방향으로 전원전압을 공급하여 온(on)/오프(off) 전류를 측정할 수 있다.
본 발명은 이에 한정되지 않으며, 제1 내지 제9 패널(110_1~110_9) 내의 화소의 연결 방향에 따라 정 바이어스 전압과 역 바이어스 전압을 정의할 수 있다. 여기서, 본 발명의 실시 예에 따른 검사부(300)는 온(on) 전류 측정을 온(on) 전류가 흐르기 시작한 시점으로부터 소정의 안정화 시간이 지난 후에 한다. 이는 오프(off) 전류와 온(on) 전류 측정이 순차적으로 이루어지기 때문에 오프 전류(off)가 흐르던 상태에서 온(on) 전류를 바로 측정하면 오프(off) 전류가 온(on) 전류에 영향을 미칠 수 있다. 따라서, 본 발명은 오프(off) 전류가 온(on) 전류에 의해 순간적으로 상쇄되어 온(on) 전류가 안정화된 이후에 온(on) 전류를 측정한다. 온(on) 전류가 안정화되는 시점은 도 2에 도시된 바와 같이, 온(on) 전류가 생성된 시점부터 10초 전후인 것을 볼 수 있다. 즉, 온(on) 전류 측정을 온(on) 전류가 생성된 시점으로부터 약 10초가 지난 후에 하면 정확한 검사 결과를 얻을 수 있다.
여기서, 검사부(300)의 구체적인 구성을 살펴보면, 검사부(300)는 제1 내지 제3 저항(R1~R3), 제1 내지 제3 증폭기(302, 304, 306), 제 12 내지 제14 스위치(SW12~SW14), A/D 컨버터(308), 전류 판독부(310) 및 스위칭 제어부(312)를 포함한다. 제1 저항(R1)은 제4 배선(120_4)과 제4 전압 인가부(200_4) 사이에 연결되어 있고, 제2 저항(R2)는 제5 배선(120_5)과 제5 전압 인가부(200_5) 사이에 연결되어 있다. 제3 저항(R3)는 제6 배선(120_6)과 제6 전압 인가부(200_6) 사이에 연결되어 있다. 제1 내지 제3 증폭기(302, 304, 306)는 제1 내지 제3 저항(R1~R3) 각각에 흐르는 전류를 인가받아 증폭하여 출력한다. 제12 내지 제14 스위치(SW12~SW14)는 제1 내지 제3 증폭기(302, 304, 306)의 출력단과 A/D 컨버터(308)의 입력단 사이에 연결되어 있다.
A/D 컨버터(308)는 제1 내지 제3 증폭기(302, 304, 306)의 출력을 디지털 신호로 변환하여 출력한다. 전류 판독부(310)는 A/D 컨버터(308)의 출력을 판독한다. 스위칭 제어부(312)는 제1 내지 제14 스위치(SW1~SW14)의 온/오프를 제어하는 스위칭 제어신호(SC)를 생성한다. 여기서, 스위칭 제어신호(SC)는 스위치의 개수에 대응하는 복수의 신호를 포함한다. 스위칭 제어부(312)는 제1 내지 제9 패널(110_1~110_9) 중 오프(off) 전류가 소정의 기준값 이상으로 검출되면 해당 패널에 전류가 흐르지 않도록 한다. 예컨대, 불량 패널이 제1 패널(110_1)인 경우 스위칭 제어부(312)는 제2 스위치(SW2) 및 제8 스위치(SW8)에 대응하는 스위칭 제어신호(SC)를 인가하거나, 제1 스위치(SW1) 및 제7 스위치(SW7)에 대응하는 스위칭 제어신호(SC)를 인가한다. 그러면, 제1 패널(110_1)의 양방향에 동일한 전위가 형성되어 제1 패널(110_1)에 전류가 흐르지 않게 된다. 따라서, 인접한 패널의 온(on) 전류에 영향을 미치지 않아 인접한 패널에 대한 정상적인 검사가 이루어질 수 있다. 한편, 본 발명의 실시 예에서는 검사부(300)가 제4 내지 제6 배선(120_4~120_6)과 연결된 것을 도시하였으나, 이에 한정되지 않고 제1 내지 제3 배선(120_1~120_3)과 연결될 수도 있다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 원장 검사 장치를 이용하여 원장 검사를 수행하여 얻은 복수의 패널들의 전류 특성을 나타낸 그래프이다. 도 3에서 가로축은 복수의 패널들의 번호이며, 세로축은 각 패널의 온 전류에서 오프 전류를 뺀 전류값을 나타낸다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 원장 검사 장치를 이용한 경우 불량이 발생한 패널(A)을 제외한 나머지 패널들의 전류 변화가 거의 없는 것을 볼 수 있다. 즉, 불량이 발생한 패널을 미리 검출하고, 검출된 패널에 전류가 흐르지 않도록 한 상태에서 나머지 패널들의 온 전류를 측정함으로써 불량이 발생한 패널에 의해 나머지 인접한 패널들의 전류 특성이 영향을 받는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 원장 기판 상태에서 복수의 패널 각각의 전류 특성을 정밀하게 검사할 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 원장 검사 장치를 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 안정화 시간을 설명하기 위해 도시한 그래프.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 원장 검사 장치를 이용하여 원장 검사를 수행하여 얻은 복수의 패널들의 전류 특성을 나타낸 그래프.

Claims (11)

  1. 원장 기판 상에 형성되는 복수의 패널;
    상기 복수의 패널 사이에 제1 방향으로 배열되어 상기 복수의 패널과 각각 접속되는 복수의 제1 배선;
    상기 복수의 패널 사이에 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 배열되어 상기 복수의 패널과 각각 접속되는 복수의 제2 배선;
    상기 복수의 제1 및 제2 배선과 각각 접속되어 대응하는 배선에 제1 전압 및 제2 전압 중 선택된 어느 하나를 인가하는 복수의 전압 인가부; 및
    상기 복수의 전압 인가부를 제어하여 상기 복수의 패널 각각의 온 전류 및 오프 전류를 측정하는 검사부
    를 포함하는 원장 검사 장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 제1 전압은 전원전압이고, 상기 제2 전압은 접지전압인 원장 검사 장치.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 복수의 전압 인가부 각각은
    상기 제1 전압을 생성하는 전원부;
    상기 복수의 제1 및 제2 배선 중 대응하는 배선과 상기 전원부 사이에 연결된 제1 스위치; 및
    상기 복수의 제1 및 제2 배선 중 대응하는 배선과 상기 제2 전압의 인가단 사이에 연결된 제2 스위치
    를 포함하는 원장 검사 장치.
  4. 제1 항에 있어서, 상기 검사부는
    상기 복수의 패널에 역 바이어스 전압을 인가한 상태에서 상기 복수의 패널 각각의 상기 오프 전류를 측정하는 원장 검사 장치.
  5. 제1 항에 있어서, 상기 검사부는
    상기 복수의 패널에 정 바이어스 전압을 인가한 상태에서 상기 복수의 패널 각각의 상기 온 전류를 측정하는 원장 검사 장치.
  6. 제5 항에 있어서, 상기 검사부는
    상기 복수의 패널 중 상기 오프 전류가 기준값 이상인 패널을 검출하고, 상기 온 전류 측정시 상기 제1 및 제2 전압 중 어느 하나를 검출된 패널과 대응하는 제1 및 제2 배선에 인가하는 원장 검사 장치.
  7. 제1 항에 있어서, 상기 검사부는
    상기 온 전류가 흐르기 시작한 시점으로부터 소정의 안정화 시간이 지난 후에 상기 온 전류를 측정하는 원장 검사 장치.
  8. 제1 항에 있어서, 상기 검사부는
    상기 복수의 제2 배선과 상기 복수의 전압 인가부 사이에 각각 연결된 복수의 저항;
    상기 복수의 저항 각각에 걸리는 전류를 증폭하여 출력하는 복수의 증폭기;
    상기 복수의 증폭기 각각의 출력단에 연결된 복수의 스위치;
    상기 복수의 스위치와 연결되어 상기 복수의 증폭기의 출력을 디지털 신호로 변환하는 A/D 컨버터;
    상기 A/D 컨버터의 출력을 판독하는 전류 판독부; 및
    상기 복수의 스위치 및 상기 복수의 전압 인가부를 제어하는 스위칭 제어신호를 생성하는 스위칭 제어부
    를 포함하는 원장 검사 장치.
  9. 원장 기판 상에 형성되는 복수의 패널, 상기 복수의 패널 사이에 제1 방향으로 배열되어 상기 복수의 패널과 각각 접속되는 복수의 제1 배선 및 상기 복수의 패널 사이에 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 배열되어 상기 복수의 패널과 각각 접속되는 복수의 제2 배선을 포함하는 원장 검사 장치의 검사 방법에 있어서,
    상기 복수의 패널에 역 바이어스 전압을 인가한 상태에서 상기 복수의 패널 각각의 오프 전류를 측정하는 단계; 및
    상기 복수의 패널에 정 바이어스 전압을 인가한 상태에서 상기 복수의 패널 각각의 온 전류를 측정하는 단계
    를 포함하는 원장 검사 장치의 검사 방법.
  10. 제9 항에 있어서, 상기 온 전류를 측정하는 단계는
    상기 복수의 패널 중 상기 오프 전류가 소정의 기준값 이상인 패널을 검출하는 단계; 및
    상기 검출된 패널에 대응하는 제1 배선과 제2 배선에 상기 제1 및 제2 전압 중 어느 하나를 인가하는 단계
    를 포함하는 원장 검사 장치의 검사 방법.
  11. 제9 항에 있어서, 상기 온 전류를 측정하는 단계는 상기 온 전류가 흐르기 시작한 시점으로부터 소정의 안정화 시간이 지난 후에 수행하는 원장 검사 장치의 검사 방법.
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TW098132424A TWI504908B (zh) 2009-04-30 2009-09-25 單薄片基材測試裝置及使用相同裝置進行測試之方法
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101854456B1 (ko) * 2011-12-12 2018-05-03 현대모비스 주식회사 배터리 센서 및 배터리 모니터링 시스템
US8529307B1 (en) * 2012-08-01 2013-09-10 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Detection circuit and manufacturing method for LCD panel
CN105788501B (zh) * 2016-05-20 2019-12-10 京东方科技集团股份有限公司 有机电致发光显示面板、老化测试装置、方法及显示装置

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1700273A (en) * 1928-05-12 1929-01-29 Braxton L Scott Toy race course
JPH01101646A (ja) * 1987-10-15 1989-04-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd アクティブマトリクス液晶表示装置の製造方法
KR100479525B1 (ko) * 2002-12-31 2005-03-31 엘지.필립스 엘시디 주식회사 다수의 어레이셀을 포함하는 액정표시장치용 기판 및 이의 제조방법
US6873175B2 (en) * 2003-03-04 2005-03-29 Shimadzu Corporation Apparatus and method for testing pixels arranged in a matrix array
KR100496468B1 (ko) * 2003-04-18 2005-06-20 지 . 텍 (주) 유기 전계 발광 소자의 검사 장치
JP2005069858A (ja) * 2003-08-25 2005-03-17 Shimadzu Corp Ｔｆｔアレイ検査装置
KR100705290B1 (ko) * 2004-05-19 2007-04-10 엘지전자 주식회사 플라즈마 표시 패널의 구동 장치
KR100551010B1 (ko) * 2004-05-25 2006-02-13 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 표시 패널의 구동 방법 및 플라즈마 표시 장치
KR101129438B1 (ko) * 2005-06-10 2012-03-27 삼성전자주식회사 표시 기판, 이를 구비한 표시 패널의 검사 장치 및 방법
KR100673749B1 (ko) * 2005-06-29 2007-01-24 삼성에스디아이 주식회사 원장단위 검사가 가능한 유기 발광표시장치의 어레이 기판및 그 검사 방법
JP4455430B2 (ja) * 2005-07-05 2010-04-21 キヤノン株式会社 シート給送装置
KR100721954B1 (ko) * 2005-09-16 2007-05-25 삼성에스디아이 주식회사 원장 단위 검사가 가능한 유기 이엘 어레이 기판
KR20070039433A (ko) * 2005-10-08 2007-04-12 삼성전자주식회사 표시장치
KR100759688B1 (ko) * 2006-04-07 2007-09-17 삼성에스디아이 주식회사 원장단위 검사가 가능한 유기전계발광 표시장치 및모기판과 그 검사방법
KR20080088728A (ko) * 2007-03-30 2008-10-06 삼성전자주식회사 액정 표시 장치 및 구동 방법
JP2008250069A (ja) * 2007-03-30 2008-10-16 Sanyo Electric Co Ltd エレクトロルミネッセンス表示装置
KR20090023941A (ko) * 2007-09-03 2009-03-06 삼성전자주식회사 테스트 비용을 절감할 수 있는 디스플레이 장치용 구동집적회로 및 그 테스트 방법
KR101064403B1 (ko) * 2009-10-07 2011-09-14 삼성모바일디스플레이주식회사 원장검사가 가능한 유기전계발광 표시장치의 모기판 및 그의 원장검사방법

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