KR20100107105A - 프로브 블록, 이를 갖는 프로브 어셈블리 및 이의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

프로브 블록은 다수의 제1 및 제2 프로브와 가이드 부재를 구비한다. 가이드 부재는 제1 프로브들이 삽입되는 다수의 제1 가이드 홈 및 제2 프로브들이 삽입되는 다수의 제2 가이드 홈을 제공한다. 제1 가이드 홈과 제2 가이드 홈은 서로 수직 방향으로 이격되어 서로 다른 층에 형성되며, 수평 방향으로 서로 어긋나게 배치된다. 이에 따라, 프로브 블록은 프로브의 위치를 안정적으로 가이드할 수 있으므로, 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있고, 인접 프로브들 간의 간격을 최소화할 수 있다.

Description

프로브 블록, 이를 갖는 프로브 어셈블리 및 이의 제조 방법{PROBE BLOCK, PROBE ASSEMBLY HAVING THE SAME AND METHOD FOR MANUFACTURING OF THE SAME}

본 발명은 평판표시패널을 검사하는 프로브 블록에 관한 것으로서, 보다 상세히는 프로브 블록, 이를 갖는 프로브 어셈블리 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 평판표시장치는 평판표시패널에 영상 신호를 인가하여 소정의 영상을 표시하는 표시장치이다. 액정표시패널은 평판표시패널의 일종으로, 액정의 전기 광학적 성질을 이용하여 영상을 표시한다.

이러한 액정표시패널의 제조 공정이 완료되면, 외관 검사 및 화질 검사를 통해 액정표시패널의 불량을 검사하여 제품의 출하 여부를 결정한다. 외관 검사는 액정표시패널에 광을 조사하여 액정표시패널의 외관 상태, 예컨대, 편광판의 정렬 상태, 액정표시패널 표면의 오염 정도, 액정표시패널의 표면 깨짐 및 블랙 매트릭스 불량을 검사한다.

화질 검사는 액정표시패널을 전기적인 신호를 인가하여 액정표시패널에 표시된 영상을 통해 화소 불량, 예컨대, 신호 라인의 단절 및 공정상의 오류를 검출 한다. 이러한 액정표시패널의 화질 검사는 검사 결과의 신뢰도를 향상시키기 위해 각 신호 라인에 개별적인 신호를 순차적으로 인가하는 방법과 전체 신호 라인 또는 일정 개수 단위의 신호 라인에 일괄적으로 신호를 인가하는 방법을 이용하여 화질을 검사한다.

프로브 어셈블리는 액정표시패널의 화질을 검사하는 장치로서, 액정표시패널의 각 신호 라인에 개별적으로 신호를 인가하여 액정표시패널의 화질을 검사하고, 컨택바 검사장치는 신호를 다수의 신호 라인에 일괄적으로 제공하여 액정표시패널의 화질을 검사한다. 구체적으로, 프로브 어셈블리는 액정표시패널에 검사 신호를 인가하는 프로브 블록 및 프로브 블록과 결합하여 프로브 블록을 특정 위치에 고정시키는 고정 몸체를 포함한다. 프로브 블록은 다수의 프로브가 구비되며, 다수의 프로브는 액정표시패널에 검사 신호를 인가한다. 이때, 다수의 프로브와 액정표시패널의 신호라인들간의 정렬이 정확하게 이루어져야 한다. 그러나, 각 프로브의 위치를 안정적으로 가이드하기 어렵고, 이로 인해 검사 신뢰성이 저하될 수 있다.

본 발명의 목적은 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있는 프로브 블록을 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 목적은 상기한 프로브 블록 구비하는 프로브 어셈블리를 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 목적은 상기한 프로브 블록을 제조하는 방법을 제공하는 것이다.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 프로브 블록은 다수의 제1 및 제2 프로브 및 가이드 부재로 이루어진다.

다수의 제1 및 제2 프로브는 테스터의 전기적 신호를 평판표시패널에 인가한다. 가이드 부재는 상기 다수의 제1 프로브가 삽입되는 다수의 제1 가이드 홈 및 상기 다수의 제2 프로브가 삽입되는 다수의 제2 가이드 홈을 제공한다. 여기서, 상기 다수의 제1 가이드 홈과 상기 다수의 제2 가이드 홈은 서로 수직 방향으로 이격되어 서로 다른 층에 형성되며 수평 방향으로 서로 어긋나게 배치된다.

또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 프로브 어셈블리는 고정 몸체 및 프로브 유닛으로 이루어진다.

프로브 유닛은 상기 고정 몸체에 결합되는 유닛 몸체 및 테스터의 전기적 신호를 평판표시패널에 인가하는 프로브 블록을 구비한다. 프로브 블록은 다수의 제1 및 제2 프로브 및 가이드 부재를 구비한다. 다수의 제1 및 제2 프로브는 상기 테스터의 전기적 신호를 상기 평판표시패널에 인가한다. 가이드 부재는 상기 다수의 제1 프로브가 삽입되는 다수의 제1 가이드 홈 및 상기 다수의 제2 프로브가 삽입되는 다수의 제2 가이드 홈을 제공한다. 여기서, 상기 다수의 제1 가이드 홈과 상기 다수의 제2 가이드 홈은 서로 수직 방향으로 이격되어 서로 다른 층에 형성되며 수평 방향으로 서로 어긋나게 배치된다.

또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 프로브 블록 제조 방법은 다음과 같다. 먼저, 다수의 제1 및 제2 가이드 홈을 제공하는 가이드 부재를 형성한다. 상기 다수의 제1 가이드 홈에 다수의 제1 프로브를 삽입하고, 상기 다수의 제2 가이드 홈에 다수의 제2 프로브를 삽입한다. 가이드 부재 형성 시, 상기 다수의 제1 가이드 홈과 상기 다수의 제2 가이드 홈은 서로 수직 방향으로 이격되어 서로 다른 층에 형성되며 수평 방향으로 서로 어긋나게 배치되도록 형성된다.

상술한 본 발명에 따르면, 가이드 부재는 프로브들을 삽입할 수 있는 다수의 제1 및 제2 가이드 홈을 제공하고, 제1 및 제2 가이드 홈이 서로 어긋나게 배치된다. 이에 따라, 프로브 블록은 프로브의 위치를 안정적으로 가이드할 수 있으므로, 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있고, 인접 프로브들 간의 간격을 최소화할 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 어셈블리를 나타낸 사시도이다.

도 1을 참조하면, 프로브 어셈블리(1000)는 검사 대상물인 평판표시패널(10)의 신호 라인들, 예컨대, 데이터 라인들 및 게이트 라인들 각각의 단선 검사를 실시하기 위한 장치이다. 여기서, 평판표시패널(10)은 액정표시장치(LCD)나 전계발광표시장치(EL) 또는 플라즈마표시장치(PDP) 등에 적용될 수 있는 영상을 표시하는 패널이다.

프로브 어셈블리(1000)는 고정 몸체(100) 및 프로브 유닛(400)을 포함할 수 있다.

고정 몸체(100)는 평판표시패널(10) 검사시 베이스 플레이트(미도시)에 고정 설치되어 프로브 어셈블리(1000)를 베이스 플레이트에 고정시킨다. 고정 몸체(100)의 선단(110) 하면에는 프로브 유닛(400)이 설치된다.

프로브 유닛(400)은 유닛 몸체(200)와 프로브 블록(300)을 포함할 수 있다. 유닛 몸체(200)는 고정 몸체(100)에 탈착 가능하게 결합되어 프로브 유닛(400)을 고정 몸체(100)에 결합시킨다. 프로브 블록(300)은 유닛 몸체(200)에 탈착 가능하 게 설치되고, 테스터(미도시)로부터 평판표시패널(10)을 검사하기 위한 테스트 신호를 인가받아 평판표시패널(10)의 각 신호 라인(11)에 출력한다.

이하, 도면을 참조하여 프로브 블록(300)의 구성에 대해 구체적으로 설명한다.

도 2는 도 1에 도시된 프로브 블록을 나타낸 분해 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 프로브 블록을 개략적으로 도시한 단면도이다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 프로브 블록(300)은 다수의 제1 및 제2 프로브(310, 320) 및 가이드 부재(330)를 포함할 수 있다.

다수의 제1 및 제2 프로브(310, 320)는 테스터(미도시)로부터 테스트 신호를 인가받는다. 평판표시패널(10) 검사시 다수의 제1 및 제2 프로브(310, 320)의 출력단들은 평판표시패널(10)의 상부에 배치되며, 각 프로브(310, 320)의 출력단은 평판표시패널(10)의 신호 라인(11)과 접촉되어 테스트 신호를 신호 라인(11)에 인가한다.

이 실시예에 있어서, 제1 및 제2 프로브(310, 320)는 서로 동일한 구성 및 동일한 형상을 갖는다. 따라서, 이하, 제1 프로브(310)를 일례로 하여 각 프로브(310, 320)의 구성에 대해 구체적으로 설명하고, 제2 프로브(320)의 구성에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

도 4는 도 2에 도시된 제1 프로브를 나타낸 사시도이다.

도 4를 참조하면, 제1 프로브(310)는 프로브 몸체(311), 제1 신호단(312) 및 제2 신호단(313)을 포함할 수 있다. 프로브 몸체(311)는 일 방향으로 연장되고, 얇은 플레이트 형상을 가지며, 바(bar) 형상을 갖는다. 프로브 몸체(311)의 양 단부에는 제1 및 제2 신호단(312, 313)이 형성된다. 제1 신호단(312)은 프로브 몸체(311)의 제1 단부로부터 아래로 연장되어 형성되고, 제2 신호단(313)은 프로브 몸체(311)의 제2 단부로부터 위로 연장되어 형성된다. 이와 같이, 제1 및 제2 신호단(312, 313)은 프로브 몸체(311)로부터 서로 반대 방향으로 연장되어 형성된다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 제1 프로브(310)와 제2 프로브(320)는 가이드 부재(330)를 사이에 두고 서로 마주하게 배치되며, 제2 프로브(320)는 제1 프로브(310)를 상하 반전 및 좌우 반전시킨 형상으로 배치된다. 따라서, 제1 프로브(310)의 제1 신호단(312)과 제2 프로브(320)의 제2 신호단(323)이 서로 인접하게 배치되고, 제1 프로브(310)의 제2 신호단(313)과 제2 프로브(320)의 제1 신호단(322)이 서로 인접하게 배치된다. 또한, 제1 프로브(310)의 제1 신호단(312)과 제2 프로브(320)의 제2 신호단(323)은 연결된 프로브 몸체를 기준으로 아래로 구부러지게 배치된 반면, 제1 프로브(310)의 제2 신호단(313)과 제2 프로브(320)의 제1 신호단(322)은 연결된 프로브 몸체를 기준으로 위로 구부지게 배치된다.

이 실시예에 있어서, 제1 프로브(310)의 제1 신호단(312)과 제2 프로브(320)의 제2 신호단(323)은 각각 평판표시패널(10)(도 1 참조)에 접촉되어 테스트 신호를 접촉된 신호라인(11)에 출력하는 출력단이며, 제1 프로브(310)의 제2 신호단(313)과 제2 프로브(320)의 제1 신호단(322)은 각각 테스터에 연결되어 테스트 신호를 인가받는 입력단이다.

한편, 다수의 제1 프로브(310)와 다수의 제2 프로브(320)의 사이에는 가이 드 부재(330)가 개재된다. 가이드 부재(330)는 박스 형상을 갖고, 다수의 제1 및 제2 프로브(310, 320)의 위치를 가이드 한다.

구체적으로, 가이드 부재(330)의 상면(331)에는 다수의 제1 프로브(310)가 삽입되는 다수의 제1 가이드 홈(331a)이 형성되고, 하면(332)에는 다수의 제2 프로브(320)가 삽입되는 다수의 제2 가이드 홈(332a)이 형성된다. 각각의 제1 및 제2 가이드 홈(331a, 332a)은 제1 및 제2 프로브(310, 320)의 길이 방향으로 연장되어 형성된다. 제1 프로브(310)의 프로브 몸체(311)는 제1 가이드 홈(331a)에 삽입되고, 제1 신호단(312)은 가이드 부재(330)의 정면에 배치된다. 제2 프로브(320)의 프로브 몸체(321)는 제2 가이드 홈(332a)에 삽입되고, 제1 신호단(322)은 가이드 부재(330)의 후면에 배치된다. 즉, 제1 및 제2 프로브(310, 320)의 제1 및 제2 신호단들(312, 313, 322, 323)은 제1 및 제1 가이드 홈(331a, 332a)에 삽입되지 않고, 가이드 부재(330)의 외측으로 돌출된다. 이와 같이, 다수의 제1 및 제2 프로브(310, 320)가 다수의 제1 및 제2 가이드 홈(331a, 332a)에 삽입되므로, 각 프로브(310, 320)의 위치가 특정 위치에 고정되며, 프로브들(310, 320) 간의 간격을 일정하게 유지할 수 있다.

또한, 다수의 제1 가이드 홈(331a)과 다수의 제2 가이드 홈(332a)은 정면에서 볼 때 서로 어긋나게 형성된다. 즉, 서로 인접한 두 개의 제1 가이드 홈이 이격된 부분 아래에 제2 가이드 홈(332a)이 위치한다. 이에 따라, 다수의 제1 프로브(310)와 다수의 제2 프로브(320) 또한 서로 어긋나게 배치되므로, 가이드 부재(330)는 프로브들(310, 320)의 출력단들 간의 간격을 최소화시킬 수 있다. 따라 서, 프로브 블록(400)은 평판표시패널(10)(도 1 참조)의 신호라인들(11)이 미세 간격으로 배치되더라도 프로브들(310, 320)의 출력단들과 신호라인들(11)간의 일대일 접촉이 가능하다.

또한, 가이드 부재(330)는 다수의 제1 및 제2 가이드 홈(331a, 332a) 형성을 위한 기계 가공을 용이하게 하기 위해 적어도 하나의 제1 및 제2 더미 홈(334, 335)이 형성될 수 있다. 즉, 가이드 부재(330)는 세라믹 재질, 예컨대, 지르콘 세라믹 재질과 같은 단단한 재질로 이루어질 수 있으며, 가이드 홈들(331a, 332a)과 같이 미세 홈들은 다이싱 공정을 통해 형성될 수 있다. 그러나, 세라믹 재질과 같이 단단한 재질은 다이싱 공정이 용이하지 않아 이러한 미세 홈 가공이 어렵고, 미세 홈이 정상적으로 형성되지 않거나 다이싱 휠이 파손될 수도 있다.

이를 방지하기 위해, 가이드 부재(330)는 제1 및 제2 가이드 홈(331a, 332a)과 직교하는 방향으로 형성된 제1 및 제2 더미 홈(334, 335)을 제공한다. 제1 더미 홈(334)은 가이드 부재(330)의 상면(331)에 형성되어 다수의 제1 가이드 홈(331a) 형성을 용이하게 한다. 제2 더미 홈(335)은 가이드 부재(330)의 하면(332)에 형성되어 다수의 제2 가이드 홈(332a) 형성을 용이하게 한다. 각 더미 홈(334, 335)은 제1 및 제2 가이드 홈(331a, 332a)의 각각의 폭 보다 더 넓은 폭을 가지며, 기계 가공을 통해 형성될 수 있다. 제1 및 제2 가이드 홈(331a, 332a)을 형성하는 과정은 후술하는 도 5에서 구체적으로 설명한다.

다시, 도 2 및 도 3을 참조하면, 프로브 블록(300)은 제1 및 제2 프로브(310, 320)를 가이드 부재(330)에 고정시키는 제1 및 제2 고정 부재(340, 350)를 더 포함할 수 있다.

구체적으로, 제1 고정 부재(340)는 다수의 제1 프로브(310)가 결합된 가이드 부재(330)의 상부에 설치되고, 가이드 부재(330)와 결합하여 다수의 제1 프로브(310)를 가이드 부재(330)에 고정시킨다. 제1 고정 부재(340)는 가이드 부재(330)의 상면에 설치되는 상부 플레이트(341)와 가이드 부재(330)의 정면에 설치되는 정면 플레이트(342)를 포함할 수 있다. 정면 플레이트(342)는 상부 플레이트(341)의 일 단부로부터 수직하게 아래로 연장되고, 다수의 제1 프로브(310)의 제1 신호단(312)이 위치하는 가이드 부재(330)의 정면과 인접하게 위치한다.

정면 플레이트(342)에는 다수의 제1 프로브(310)의 제1 신호단(312)이 삽입되는 다수의 제1 고정홈(342a)이 형성된다. 각 제1 고정홈(342a)에는 한 개의 제1 프로브(310)의 제1 신호단(312)이 삽입되며, 제2 신호단(313)보다 상대적으로 길게 형성된 제1 신호단(312)의 위치를 가이드 한다. 이에 따라, 제1 고정 부재(340)는 다수의 제1 프로브(310)가 평판표시패널(10)과 접촉 시 각 제1 프로브(310)의 제1 신호단(312)이 휘어지는 것을 방지하고, 신호라인(11)과 제1 프로브(310) 간의 정렬 오류를 방지할 수 있다.

제2 고정 부재(350)는 다수의 제2 프로브(320)가 결합된 가이드 부재(330)의 하부에 설치되고, 가이드 부재(330)와 결합하여 다수의 제2 프로브(320)를 가이드 부재(330)에 고정시킨다. 제2 고정 부재(350)는 가이드 부재(330)의 하면에 설치되는 하부 플레이트(351)와 가이드 부재(330)의 후면에 설치되는 후면 플레이트(352)를 포함할 수 있다. 후면 플레이트(352)는 하부 플레이트(351)의 일 단부로 부터 수직하게 위로 연장되고, 다수의 제2 프로브(320)의 제1 신호단(322)이 위치하는 가이드 부재(330)의 후면과 인접하게 위치한다.

후면 플레이트(352)에는 다수의 제2 프로브(320)의 제1 신호단(322)이 삽입되는 다수의 제2 고정홈(352a)이 형성된다. 각 제2 고정홈(352a)에는 한 개의 제2 프로브(320)의 제1 신호단(322)이 삽입되며, 제2 신호단(323)보다 상대적으로 길게 형성된 제1 신호단(322)의 위치를 가이드 한다. 이에 따라, 제2 고정 부재(350)는 다수의 제2 프로브(320)를 테스터에 접촉 시 각 제2 프로브(320)의 제1 신호단(322)이 휘어지는 것을 방지하고, 테스터와 제2 프로브(320) 간의 정렬 오류를 방지할 수 있다.

이 실시예에 있어서, 정면 플레이트(342)와 후면 플레이트(352)는 각각 상부 플레이트(341)와 하부 플레이트(351)에 일체로 형성되나, 상부 플레이트(341)와 분리되어 구성될 수도 있다. 이러한 경우, 정면 플레이트(342)는 가이드 부재(330)에 고정 결합될 수도 있다.

한편, 제1 및 제2 고정 부재(340, 350)는 다수의 제1 및 제2 프로브(310, 320)의 위치를 고정시키는 적어도 하나의 제1 및 제2 고정바(343, 353)를 더 포함할 수 있다.

구체적으로, 제1 고정바(343)는 상부 플레이트(341)의 하면에 설치되고, 다수의 제1 프로브(310)가 배치되는 방향으로 연장되어 형성된다. 제1 프로브(310)의 프로브 몸체(311)에는 제1 고정바(343)가 삽입되는 삽입홈(311a)이 형성되고, 제1 고정바(343)는 다수의 제1 프로브(310)의 각 삽입홈(311a)에 삽입되어 다수의 제1 프로브(310)가 제1 프로브(310)의 길이 방향으로 유동되는 것을 방지한다.

여기서, 제1 고정바(343)는 상부 플레이트(341)와 일체로 형성될 수도 있고, 분리되어 구성될 수도 있다.

한편, 제2 고정바(353)는 하부 플레이트(351)의 상면에 설치되고, 다수의 제2 프로브(320)가 배치되는 방향으로 연장되어 형성된다. 제2 프로브(320)의 프로브 몸체(321)에는 제2 고정바(353)가 삽입되는 삽입홈(321a)이 형성되고, 제2 고정바(353)는 다수의 제2 프로브(320)의 각 삽입홈(321a)에 삽입되어 다수의 제2 프로브(320)가 제2 프로브(320)의 길이 방향으로 유동되는 것을 방지한다.

제1 고정바(345)와 마찬가지로, 제2 고정바(353)는 하부 플레이트(351)와 일체로 형성될 수도 있고, 분리되어 구성될 수도 있다.

이하, 도면을 참조하여 가이드 부재(330)의 형성 과정에 대해 구체적으로 설명한다.

도 5는 도 2에 도시된 가이드 부재를 제조하는 과정을 나타낸 단면도이다.

도 5를 참조하면, 먼저, 제1 및 제2 더미 홈(334, 335)이 형성된 가이드 부재(330)의 상면에 다이싱 휠(2000)을 배치한다. 여기서, 제1 및 제 더미 홈(334, 335)은 다이싱 휠(2000)을 사용하지 않고 별도의 기계 가공을 통해 형성된다.

이어, 다이싱 휠(2000)이 가이드 부재(330)의 상면(331)을 가압하면서 회전하여 가이드 부재(330)의 상면(331)에 제1 가이드 홈(331a)을 형성한다. 이때, 제1 더미 홈(334)이 형성된 부분에서는 제1 가이드 홈(331a)의 가공이 이루어지지 않으므로 제1 더미 홈(334)에 의해 가이드 부재(330)와 다이싱 휠(2000) 간의 마찰이 감소된다. 이에 따라, 다이싱 공정이 용이하고, 제1 가이드 홈(331a) 가공 불량을 방지하여 수율을 향상시킬 수 있다.

도면에는 도시하지 않았으나, 제2 가이드 홈(332a)의 형성 과정 또한 제1 가이드 홈(331a) 형성 과정과 동일하다.

이 실시예에 있어서, 가이드 부재(330)는 다수의 제1 가이드 홈(331a)이 먼저 형성된 후 다수의 제2 가이드 홈(332a)이 나중에 형성되나, 다수의 제1 및 제2 가이드 홈(331a, 332a)의 형성 순서는 이에 국한되지 않는다.

도 6은 도 5에 도시된 가이드 부재 제조 과정의 다른 일례를 나타낸 단면도이다.

도 6을 참조하면, 먼저, 다수의 제1 프로브(310)(도 2 참조)가 삽입되는 다수의 제1 가이드 홈(361a)이 상면에 형성된 제1 가이드 플레이트(361)를 마련하고, 다수의 제2 프로브(320)(도 2 참조)가 삽입되는 다수의 제2 가이드 홈(362a)이 하면에 형성된 제2 가이드 플레이트(362)를 마련한다. 여기서, 제2 가이드 플레이트(362)는 제1 가이드 플레이트(361)를 상하로 반전시킨 형상과 동일한 형상을 갖는다.

이어, 제1 가이드 플레이트(361)의 하면과 제2 가이드 플레이트(362)의 상면을 서로 인접하게 배치한 상태에서 제1 및 제2 가이드 플레이트(361, 362)를 결합시켜 가이드 부재(360)를 완성한다. 여기서, 제1 및 제2 가이드 플레이트(361, 361) 간의 결합은 접착제를 이용하여 이루어질 수도 있고, 별도의 나사 결합을 이용하여 이루어질 수도 있다.

이와 같이, 가이드 부재(360)는 각각 가이드 홈(361a, 362a)이 형성된 두 개의 가이드 플레이트(361, 362)로 이루어지므로, 가이드 홈(361a, 362a) 형성 과정에서 불량이 발생하더라도 해당 가이드 플레이트만 사용이 불가능하므로, 제품의 수율 및 제조 원가를 절감할 수 있다.

이 실시예에 있어서, 다수의 제1 및 제2 가이드 홈(361a, 362a)은 도 2에 도시된 가이드 부재(330)의 제1 및 제2 가이드 홈들(331a, 332a)과 동일하며, 제1 가이드 플레이트(361)에 다수의 제1 가이드 홈(361a)을 형성하는 과정과 제2 가이드 플레이트(362)에 다수의 제2 가이드 홈(362a)을 형성하는 과정은 도 5에 도시된 다수의 제1 가이드 홈(331a)을 형성하는 과정과 동일한 과정을 통해 이루어질 수 있다. 또한, 제1 및 제2 가이드 플레이트(361, 361)의 재질 또한 도 2에 도시된 가이드 부재(330)의 재질과 동일한 재질로 이루어질 수 있다. 도면에는 도시하지 않았으나, 제1 가이드 플레이트(361)의 상면과 제2 가이드 플레이트(362)의 하면에는 도 2에 도시된 가이드 부재(330)와 마찬가지로 적어도 하나의 제1 및 제2 더미 홈(334, 335)이 형성될 수 있다.

도 7은 도 2에 도시된 가이드 부재의 다른 일례를 나타낸 단면도이다.

도 7을 참조하면, 가이드 부재(370)는 베이스 기판(371), 제1 가이드 층(372) 및 제2 가이드 층(373)을 포함한다. 베이스 기판(371)은 플레이트 형상을 갖고, 변형 방지를 위해 세라믹 재질과 같은 단단한 재질로 이루어질 수 있다. 베이스 기판(371)의 상면에는 제1 가이드 층(372)이 증착되고, 제1 가이드 층(372)의 상면에는 다수의 제1 프로브(310)(도 2 참조)가 삽입되는 다수의 제1 가이드 홈(372a)이 형성된다. 베이스 기판(371)의 하면에는 제2 가이드 층(373)이 증착되고, 제2 가이드 층(373)의 하면에는 다수의 제2 프로브(320)(도 2 참조)가 삽입되는 다수의 제2 가이드 홈(373a)이 형성된다.

가이드 부재(370) 형성 시, 먼저 베이스 기판(371)에 제1 및 제2 가이드 층(372, 373)을 증착한 후, 다수의 제1 및 제2 가이드 홈(372a, 373a)을 형성할 수도 있다. 또한, 제1 및 제2 가이드 층(372, 373) 증착 시, 제1 및 제2 가이드 층(372, 373)을 동시에 증착할 수도 있고, 제1 및 제2 가이드 층(372, 373) 중 어느 하나를 먼저 증착한 후 나머지 하나를 증착할 수도 있다.

한편, 제1 및 제2 가이드 층(372, 373)은 형상 변경이 용이한 수지 재질로 이루어질 수 있다. 제1 및 제2 가이드 층(372, 373)이 수질 재질로 이루어질 경우, 다수의 제1 및 제2 가이드 홈(372a, 373a) 형성이 용이하므로, 가이드 부재(370)는 도 2에 도시된 가이드 부재(330)와 같이 별도의 더미 홈(334, 335)을 구비하지 않을 수 있다. 또한, 고가의 다이싱 공정 없이 다수의 제1 및 제2 가이드 홈(372a, 373a)을 형성할 수 있으므로, 제조 원가를 절감시키고, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.

이 실시예에 있어서, 다수의 제1 및 제2 가이드 홈(372a, 373a)은 도 2에 도시된 제1 및 제2 가이드 홈(372a, 373a)과 동일한 형상을 가지며, 배치 관계 또한 동일하다.

도 8은 도 2에 도시된 가이드 부재의 또 다른 일례를 나타낸 단면도이다.

도 8을 참조하면, 가이드 부재(380)는 제1 및 제2 가이드 플레이트(381, 382)를 포함할 수 있다. 제1 가이드 플레이트(381)의 하면에는 다수의 제1 프로브(310)(도 2 참조)가 삽입되는 다수의 제1 가이드 홈(381a)이 형성된다. 제1 가이드 플레이트(381)의 아래에는 제2 가이드 플레이트(382)가 구비된다. 제2 가이드 플레이트(382)의 하면에는 다수의 제2 프로브(320)(도 2 참조)가 삽입되는 다수의 제2 가이드 홈(382a)이 형성된다.

제1 및 제2 가이드 플레이트(381, 382)는 제1 가이드 플레이트(381)의 하면과 제2 가이드 플레이트(382)의 상면이 서로 접하도록 결합된다. 이에 따라, 제1 가이드 플레이트(381)의 다수의 제1 가이드 홈(381a)이 제1 가이드 플레이트(381)의 상면과 제2 가이드 플레이트(382)의 상면과의 사이에 위치한다. 따라서, 제1 가이드 홈(381a)과 제2 가이드 플레이트(382)의 하면 간의 거리가 제1 가이드 플레이트(381)의 상면에 다수의 제1 가이드 홈(381a)이 형성된 경우보다 짧아지므로, 제1 프로브(310)(도 2 참조)의 제1 신호단(312)의 길이를 단축시킬 수 있다. 또한, 다수의 제1 가이드 홈(381a)이 제1 가이드 플레이트(381)의 상면과 제2 가이드 플레이트(382)의 상면 사이에 위치하므로, 다수의 제1 프로브(310)(도 2 참조)를 가이드 부재(380)에 고정시키기 위한 별도의 고정 부재(340)(도 2 참조)를 구비하지 않아도 된다.

도 9는 도 8에 도시된 가이드 부재를 구비하는 프로브 유닛을 나타낸 측면도이고, 도 10은 도 9에 도시된 프로브 유닛을 나타낸 정면도이다.

도 8 내지 도 10을 참조하면, 가이드 부재(380)를 구비하는 프로브 유닛은 제1 및 제2 가이드 플레이트(381, 382)를 결합시키기 위한 결합 플레이트(391)를 구비한다. 결합 플레이트(391)는 프로브 유닛의 하면을 지지하는 지지부와 지지부의 양 단부로부터 수직하게 연장되어 유닛 몸체(200)의 측면에 결합되는 두 개의 측면 결합부를 구비한다. 측면 결합부들은 나사들(392a, 392b, 392c, 392d)에 의해 유닛 몸체(200)에 결합 결합된다.

이 실시예에 있어서, 제1 및 제2 가이드 플레이트(381, 382)는 나사 결합 방식을 통해 서로 결합 및 유닛 몸체(200)에 고정되나, 접착제를 이용한 본딩 결합 방식을 통해 서로 결합될 수도 있다.

도 11은 도 2에 도시된 또 다른 가이드 부재의 일례를 나타낸 단면도이다.

도 11을 참조하면, 가이드 부재(395)는 제1 및 제2 가이드 플레이트(395a, 395b)를 포함할 수 있다. 제1 가이드 플레이트(395a)의 하면에는 다수의 제1 프로브(310)(도 2 참조)가 삽입되는 다수의 제1 가이드 홈(395a_1)이 형성된다. 제1 가이드 플레이트(395a)의 아래에는 제2 가이드 플레이트(395b)가 구비된다. 제2 가이드 플레이트(395b)의 상면에는 다수의 제2 프로브(320)(도 2 참조)가 삽입되는 다수의 제2 가이드 홈(395b_1)이 형성된다.

제1 및 제2 가이드 플레이트(395a, 395b)는 제1 가이드 플레이트(395a)의 하면과 제2 가이드 플레이트(395b)의 상면이 서로 접하도록 결합된다. 이에 따라, 제1 가이드 플레이트(395a)의 다수의 제1 가이드 홈(395a_1)이 제1 가이드 플레이트(395a)의 상면과 제2 가이드 플레이트(395b)의 상면과의 사이에 위치한다. 따라서, 제1 가이드 홈(395a_1)과 제2 가이드 플레이트(395b)의 하면 간의 거리가 제1 가이드 플레이트(395a)의 상면에 다수의 제1 가이드 홈(395a_1)이 형성된 경우보다 짧아지므로, 제1 프로브(310)(도 2 참조)의 제1 신호단(312)의 길이를 단축시킬 수 있다. 또한, 다수의 제1 가이드 홈(395a_1)이 제1 가이드 플레이트(395a)의 상면과 제2 가이드 플레이트(395b)의 상면 사이에 위치하므로, 다수의 제1 프로브(310)(도 2 참조)를 가이드 부재(395)에 고정시키기 위한 별도의 고정 부재(340)(도 2 참조)를 구비하지 않아도 된다.

한편, 제2 가이드 플레이트(395b)의 다수의 제2 가이드 홈(395b_1)은 제1 가이드 플레이트(395a)의 하면과 제2 가이드 플레이트(395b)의 하면과의 사이에 위치한다. 따라서, 제2 가이드 홈(395b_1)과 제1 가이드 플레이트(395a)의 상면 간의 거리가 제2 가이드 플레이트(395b)의 하면에 다수의 제2 가이드 홈(395b_1)이 형성된 경우보다 짧아지므로, 제2 프로브(320)(도 2 참조)의 제1 신호단(322)의 길이를 단축시킬 수 있다. 또한, 다수의 제2 가이드 홈(395b_1)이 제1 가이드 플레이트(395a)의 하면과 제2 가이드 플레이트(395b)의 하면 사이에 위치하므로, 다수의 제2 프로브(320)(도 2 참조)를 가이드 부재(395)에 고정시키기 위한 별도의 고정 부재(350)(도 2 참조)를 구비하지 않아도 된다.

여기서, 제1 및 제2 가이드 플레이트(395a, 395b)는 도 9 및 도 10에 도시된 나사 결합 방식을 이용하여 서로 결합 및 유닛 몸체(200)에 고정될 수도 있고, 접착제를 이용한 본딩 결합 방식을 통해 서로 결합될 수도 있다.

도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 블록을 나타낸 단면도이고, 도 13는 도 12에 도시된 프로브 유닛을 나타낸 분해 단면도이다.

도 12 및 도 13을 참조하면, 프로브 블록(500)은 다수의 제1 및 제2 프로 브(510, 520) 및 가이드 부재를 포함할 수 있다.

다수의 제1 프로브(510)는 가이드 부재의 상부에 설치된다. 각 제1 프로브(510)는 프로브 몸체(511), 프로브 몸체(511)의 각각 양 단부로부터 연장된 출력단(512) 및 입력단(513)을 포함한다. 프로브 몸체(511)는 일 방향으로 연장되어 바(bar) 형상을 가지며, 플레이트 형상을 갖는다. 출력단(512)은 프로브 몸체(511)의 제1 단부로부터 아래로 수직하게 연장되고, 테스터(미도시)로부터 수신된 테스트 신호를 평판표시패널(10)(도 1 참조)의 신호 라인(도 1 참조)에 출력한다. 입력단(513)은 프로브 몸체(511)의 제2 단부로부터 위를 향하도록 연장되고, 테스터로부터 테스트 신호를 입력 받는다. 여기서, 제1 프로브(510)의 입력단(513)은 출력단(512)의 길이보다 짧게 형성된다.

다수의 제2 프로브(520)는 가이드 부재의 하부에 설치되고, 가이드 부재를 사이에 두고 제1 프로브(510)와 마주하게 배치된다. 각 제2 프로브(520)는 프로브 몸체(521), 프로브 몸체(521)의 양 단부로부터 연장된 출력단(522, 523)을 포함한다. 프로브 몸체(521)는 일 방향으로 연장되어 바(bar) 형상을 가지며, 플레이트 형상을 갖는다. 출력단(522)은 프로브 몸체(521)의 제1 단부로부터 아래를 향하도록 연장되고, 테스터(미도시)로부터 수신된 테스트 신호를 평판표시패널(10)(도 1 참조)의 신호 라인(도 1 참조)에 출력한다. 입력단(523)은 프로브 몸체(521)의 제2 단부로부터 위를 향하도록 연장되고, 테스터로부터 테스트 신호를 입력 받는다. 여기서, 제2 프로브(520)의 입력단(523)은 출력단(522)의 길이보다 길게 형성된다.

다수의 제1 및 제2 프로브(510, 520)는 가이드 부재에 삽입되어 그 위치가 고정된다. 가이드 부재는 베이스 블록(530) 및 제1 내지 제6 가이드 블록(541, 542, 543, 544, 545, 546)을 포함할 수 있다.

베이스 블록(530)은 플레이트 형상을 갖고, 세라믹 재질과 같이 단단한 재질로 이루어질 수 있다. 베이스 블록(530)의 상면에는 다수의 제1 프로브(510)를 고정시키기 위한 고정홈(531a)이 형성되고, 고정홈(531a)은 다수의 제1 프로브(510)가 배치된 방향으로 연장되어 형성된다. 제1 프로브들 각각의 프로브 몸체(511)에는 고정홈(531a)에 삽입되는 고정 돌기(514)가 형성된다. 이에 따라, 베이스 블록(530)은 다수의 제1 프로브(510)가 길이 방향으로 유동되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 베이스 블록(530)의 하면에는 다수의 제2 프로브(520)를 고정시키기 위한 돌출부(532a)가 형성되고, 돌출부(532a)는 다수의 제2 프로브(520)의 배치 방향으로 연장되어 형성된다. 제2 프로브들 각각의 프로브 몸체(521)에는 돌출부(532a)가 걸리는 걸림턱(524)이 형성된다. 돌출부(532a)는 일 측면이 걸림턱(534)과 맞닿아 걸림턱(534)에 걸리게 배치되며, 이에 따라, 다수의 제2 프로브(520)가 길이 방향으로 유동되는 것을 방지한다.

한편, 베이스 블록(530)의 상면에는 제1 및 제2 가이드 블록(541, 542)이 설치되고, 하면에는 제3 및 제4 가이드 블록(543, 544)이 설치된다.

도 14는 도 13에 도시된 베이스 블록과 제1 내지 제4 가이드 블록과 결합된 상태를 나타낸 사시도이고, 도 15는 도 13에 도시된 제5 가이드 블록을 나타낸 사시도이다.

도 12 내지 도 14를 참조하면, 제1 및 제2 가이드 블록(541, 542)은 고정홈(531a)을 사이에 두고 서로 이격되어 위치하고, 다수의 제1 프로브(510)가 삽입되는 다수의 제1 가이드 홈(541a, 542a)이 상면에 각각 형성된다. 제1 가이드 블록(541)은 베이스 블록(530) 상면의 제1 영역(531b)에 결합되고, 제2 가이드 블록(542)은 베이스 블록(530) 상면의 제2 영역(531c)에 결합되며, 제1 영역(531b)과 제2 영역(531c)은 고정홈(531a)을 사이에 두고 양측에 위치한다.

한편, 제3 및 제4 가이드 블록(543, 544)은 베이스 블록(530)의 돌출부(532a)를 사이에 두고 서로 이격되어 위치하고, 다수의 제2 프로브(520)가 삽입되는 다수의 제2 가이드 홈(543a, 544a)이 하면에 각각 형성된다. 제3 가이드 블록(543)은 베이스 블록(530) 하면의 제3 영역(532b)에 결합되고, 제4 가이드 블록(544)은 베이스 블록(530) 하면의 제4 영역(532c)에 결합되며, 제3 영역(532b)과 제4 영역(532c)은 돌출부(532a)를 사이에 두고 양측에 위치한다.

도 12, 도 13 및 도 15를 참조하면, 제5 가이드 블록(545)은 베이스 블록(530)의 정면에 부착되고, 외측면에 다수의 제1 프로브(510)의 출력단(512)이 삽입되는 다수의 제1 신호단 삽입홈(545a)이 형성된다. 제6 가이드 블록(546)은 베이스 블록(530)을 사이에 두고 제5 가이드 블록(545)과 마주하고, 베이스 블록(530)의 후면에 부착된다. 제6 가이드 블록(546)의 외측면에는 다수의 제2 프로브(520)의 입력단(523)이 삽입되는 다수의 제2 신호단 삽입홈(546a)이 형성된다.

제1 내지 제6 가이드 블록(541, 542, 543, 544, 545, 546)은 가공이 용이한 수지 재질로 이루어질 수 있으며, 이러한 경우 가이드 홈들(541a, 542a, 543a, 544a)과 신호단 삽입홈들(545a, 546a)을 형성하기가 용이하다. 또한, 다수의 블록으로 나누어져 있으므로, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.

여기서, 가이드 부재와 다수의 제1 및 제2 프로브(510, 520) 조립 시, 먼저 제1 내지 제6 가이드 블록(541, 542, 543, 544, 545, 546)을 베이스 블록(530)에 부착시킨 후 다수의 제1 및 제2 프로브(510, 520)를 가이드 부재에 조립한다.

한편, 프로브 블록(500)은 다수의 제1 및 제2 프로브(510, 520)를 가이드 부재에 고정시키기 위한 상부 및 하부 결합 플레이트(550, 560)를 더 포함할 수 있다. 상부 결합 플레이트(550)는 다수의 제1 프로브(510)의 상부에 설치되어 제1 및 제2 가이드 블록(541, 542)과 결합한다. 하부 플레이트(560)는 다수의 제2 프로브(520)의 하부에 설치되어 제3 및 제4 가이드 블록(543, 544)과 결합한다.

도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 프로브 블록을 나타낸 단면도이고, 도 17은 도 16에 도시된 프로브 블록을 나타낸 분해 단면도이다.

도 16 및 도 17을 참조하면, 프로브 블록(600)은 다수의 제1 및 제2 프로브(510, 520) 및 가이드 부재를 포함할 수 있다. 다수의 제1 및 제2 프로브(510, 520)는 도 12 및 도 13에 도시된 다수의 제1 및 제2 프로브(510, 520)와 동일하므로, 참조 번호를 병기하고, 그에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

가이드 부재는 가이드 블록(610) 및 제1 내지 제6 가이드 블록(541, 542, 543, 545, 620, 630)을 포함한다. 가이드 부재는 가이드 블록(610)과 제4 및 제6 가이드 블록(620, 630)을 제외하고는 도 12 및 도 13에 도시된 가이드 부재와 동일하므로, 동일한 구성에 대해서는 참조 번호를 병기하고, 그에 대한 구체적인 설명 은 생략한다.

베이스 블록(610)은 플레이트 형상을 갖고, 세라믹 재질과 같이 단단한 재질로 이루어질 수 있다. 베이스 블록(610)의 상면에는 다수의 제1 프로브(510)를 고정시키기 위한 고정홈(611a)이 형성되고, 고정홈(611a)은 다수의 제1 프로브(510)가 배치된 방향으로 연장되어 형성된다. 고정홈(531a)에는 각각의 제1 프로브(510)의 프로브 몸체(511)에 형성된 고정 돌기(514)가 삽입된다. 이에 따라, 베이스 블록(610)은 다수의 제1 프로브(510)가 길이 방향으로 유동되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 베이스 블록(610)의 하면에는 다수의 제2 프로브(520)를 고정시키기 위한 돌출부(613a)가 형성되고, 돌출부(613a)는 다수의 제2 프로브(520)의 배치 방향으로 연장되어 형성된다. 돌출부(613a)는 일 측면이 각각의 제2 프로브(520)의 프로브 몸체(521)에 형성된 걸림턱(524)과 맞닿아 걸림턱(534)에 걸리게 배치되며, 이에 따라, 다수의 제2 프로브(520)가 길이 방향으로 유동되는 것을 방지한다.

한편, 베이스 블록(610)의 상면에는 제1 및 제2 가이드 블록(541, 542)이 설치되고, 하면에는 제3 및 제4 가이드 블록(543, 620)이 설치된다.

제3 가이드 블록(543)은 하면에 다수의 제2 프로브(520)가 삽입되는 다수의 가이드 홈(543a)이 형성된다. 반면, 제4 가이드 블록(620)은 다수의 제2 프로브(520)가 삽입되는 다수의 가이드 홈(621)이 상면에 형성된다. 이 실시예에 있어서, 제3 및 제4 가이드 블록(543, 620) 중 제4 가이드 블록(620)만 상면에 다수의 가이드 홈(621)이 형성되나, 제3 가이드 블록(543)도 상면에 다수의 가이드 홈(543a)이 형성될 수도 있다. 또한, 제3 가이드 블록(543)의 상면에 다수의 가이드 홈(543a)이 형성되고, 제4 가이드 블록(620)의 하면에 가이드 홈(621)이 형성될 수도 있다.

한편, 제6 가이드 블록(630)은 베이스 블록(530)과 마주하는 내측면에 제2 프로브(520)의 입력단(523)이 삽입되는 다수의 제2 신호단 삽입홈(631)이 형성된다. 이에 따라, 다수의 제2 프로브(520)가 제4 가이드 블록(620)과 제6 가이드 블록(630)에 의해 가이드 부재에 고정되므로, 프로브 블록(600)은 제2 프로브(520)를 가이드 부재에 고정시키기 위한 별도의 하부 결합 플레이트를 구비할 필요가 없다.

가이드 부재와 다수의 제1 및 제2 프로브(510, 520) 조립 시, 먼저, 제1 내지 제3 가이드 블록(541, 542, 543)과 제5 가이드 블록(545)을 베이스 블록(610)에 부착시킨 후, 제1 내지 제3 가이드 블록(541, 542, 543)과 제5 가이드 블록(545)에 다수의 제1 및 제2 프로브(510, 520)를 조립한다. 이어, 제4 및 제6 가이드 블록(620, 630)을 베이스 블록(610)에 부착한다.

여기서, 가이드 부재와 다수의 제1 및 제2 프로브(510, 520)의 조립은 각 가이드 블록(541, 542, 543, 545, 620, 630)에서 다수의 가이드 홈이 형성된 면의 위치에 따라 그 순서가 결정된다.

한편, 프로브 블록(600)은 다수의 제1 프로브(510)를 가이드 부재에 고정시키기 위한 상부 결합 플레이트(550)를 더 포함할 수 있다. 상부 결합 플레이트(550)는 다수의 제1 프로브(510)의 상부에 설치되어 제1 및 제2 가이드 블록(541, 542)과 결합한다. 이에 따라, 다수의 제1 프로브(510)가 가이드 부재로부 터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.

이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 어셈블리를 나타낸 사시도이다.

도 2는 도 2에 도시된 프로브 블록을 나타낸 분해 사시도이다.

도 3은 도 3은 도 2에 도시된 프로브 블록을 개략적으로 도시한 단면도이다.

도 4는 도 2에 도시된 제1 프로브를 나타낸 사시도이다.

도 5는 도 2에 도시된 가이드 부재를 제조하는 과정을 나타낸 단면도이다.

도 6은 도 5에 도시된 가이드 부재 제조 과정의 다른 일례를 나타낸 단면도이다.

도 7은 도 2에 도시된 가이드 부재의 다른 일례를 나타낸 단면도이다.

도 8은 도 2에 도시된 가이드 부재의 또 다른 일례를 나타낸 단면도이다.

도 9는 도 8에 도시된 가이드 부재를 구비하는 프로브 유닛을 나타낸 측면도이다.

도 10은 도 9에 도시된 프로브 유닛을 나타낸 정면도이다.

도 11은 도 2에 도시된 가이드 부재의 또 다른 일례를 나타낸 단면도이다

도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 블록을 나타낸 단면도이다.

도 13은 도 12에 도시된 프로브 유닛을 나타낸 분해 단면도이다.

도 14는 도 13에 도시된 베이스 블록과 제1 내지 제4 가이드 블록과 결합된 상태를 나타낸 사시도이다.

도 15는 도 13에 도시된 제5 가이드 블록을 나타낸 사시도이다.

도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 프로브 블록을 나타낸 단면도이다.

도 17은 도 16에 도시된 프로브 유닛을 나타낸 분해 단면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *

100 : 고정 몸체 200 : 유닛 몸체

300 : 프로브 블록 400 : 프로브 유닛

1000 : 프로브 어셈블리

Claims (31)

1. 테스터의 전기적 신호를 평판표시패널에 인가하는 다수의 제1 및 제 2 프로브; 및

   상기 다수의 제1 프로브가 삽입되는 다수의 제1 가이드 홈 및 상기 다수의 제2 프로브가 삽입되는 다수의 제2 가이드 홈을 제공하는 가이드 부재를 포함하고,

   상기 다수의 제1 가이드 홈과 상기 다수의 제2 가이드 홈은 서로 수직 방향으로 이격되어 서로 다른 층에 형성되며 수평 방향으로 서로 어긋나게 배치된 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
2. 제1항에 있어서,

   상기 제1 및 제2 프로브는 동일한 형상을 갖고, 상기 제2 프로브는 상기 제1 프로브를 상하 반전 및 좌우 반전시킨 형상으로 배치된 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
3. 제2항에 있어서,

   상기 제1 및 제2 프로브 각각은,

   일 방향으로 연장된 프로브 몸체;

   상기 프로브 몸체의 제1 단부로부터 상기 프로브 몸체에 대해 경사지게 연장된 제1 신호단; 및

   상기 프로브 몸체의 제2 단부로부터 상기 프로브 몸체에 대해 상기 제1 신호단과 반대 방향으로 경사지게 연장되고, 상기 제1 신호단보다 짧은 길이를 갖는 제2 신호단을 포함하고,

   제1 및 제2 신호단 중 어느 하나는 상기 테스터로부터 상기 테스트 신호를 입력받고, 나머지 하나는 상기 테스트 신호를 상기 평판표시패널에 출력하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
4. 제3항에 있어서,

   상기 가이드 부재와 결합하여 상기 다수의 제1 프로브 및 상기 다수의 제2 프로브 중 적어도 어느 하나를 상기 가이드 부재에 고정시키는 고정부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
5. 제4항에 있어서, 상기 고정부재는,

   상기 가이드 부재의 상면에 배치되고, 상기 다수의 제1 프로브를 사이에 두고 상기 가이드 부재와 결합하여 상기 다수의 제1 프로브를 상기 가이드 부재에 고정시키는 제1 고정 부재; 및

   상기 가이드 부재의 하면에 배치되고, 상기 다수의 제2 프로브를 사이에 두고 상기 가이드 부재와 결합하여 상기 다수의 제2 프로브를 상기 가이드 부재에 고정시키는 제2 고정부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
6. 제5항에 있어서,상기 제1 및 제2 고정부재 각각은,

   상기 가이드 부재의 상면 또는 하면과 마주하게 배치되고, 상기 가이드 부재와 결합하는 제1 플레이트; 및

   상기 제1 플레이트의 단부로부터 대체로 수직하게 연장되고, 상기 제1 프로브들의 제1 신호단들과 상기 제2 프로브들의 제1 신호단들 중 어느 하나가 삽입되는 다수의 신호단 삽입홈이 형성된 제2 플레이트를 포함하고,

   상기 제1 고정부재의 신호단 삽입홈들에는 상기 제1 프로브들의 제1 신호단들에 삽입되고, 제2 고정부재의 신호단 삽입홈들에는 상기 제2 프로브들의 제1 신호단들이 삽입된 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
7. 제6항에 있어서,

   상기 제1 고정부재는 상기 제1 고정부재의 제1 플레이트 하면에 형성되어 상기 제1 프로브들의 배치 방향으로 연장된 제1 고정바를 더 포함하고,

   상기 제1 프로브는 상기 제1 고정바가 삽입되는 제1 삽입홈이 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
8. 제6항에 있어서,

   상기 제2 고정부재는 상기 제2 고정부재의 제1 플레이트 하면에 형성되어 상기 제2 프로브들의 배치 방향으로 연장된 제2 고정바를 더 포함하고,

   상기 제2 프로브는 상기 제2 고정바가 삽입되는 제2 삽입홈이 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가이드 부재는,

   상면 또는 하면에 상기 다수의 제1 가이드 홈이 형성된 제1 가이드 플레이트; 및

   상기 제1 가이드 플레이트의 하면에 결합되고, 상면 또는 하면에 상기 다수의 제2 가이드 홈이 형성된 제2 가이드 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
10. 제9항에 있어서,

    상기 제1 가이드 플레이트는 상기 다수의 제1 가이드 홈이 형성된 면에 상기 다수의 제1 가이드 홈이 배치된 방향으로 연장된 적어도 하나의 제1 더미홈이 형성되고,

    상기 제2 가이드 플레이트는 상기 다수의 제2 가이드 홈이 형성된 면에 상기 다수의 제2 가이드 홈이 배치된 방향으로 연장된 적어도 하나의 제2 더미홈이 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
11. 제10항에 있어서, 상기 제1 및 제2 가이드 플레이트는 세라믹 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
12. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,

    상면에 상기 다수의 제1 가이드 홈 및 상기 다수의 제1 가이드 홈이 배치된 방향으로 연장된 적어도 하나의 제1 더미홈이 형성되며, 하면에 상기 다수의 제2 가이드 홈 및 상기 다수의 제2 가이드 홈이 배치된 방향으로 연장된 적어도 하나의 제2 더미홈이 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
13. 제12항에 있어서, 상기 가이드 부재는 세라믹 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
14. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 가이드 부재는,

    베이스 플레이트;

    상기 베이스 플레이트의 상면에 형성되고, 수지 재질로 이루어지며, 상면에 상기 다수의 제1 가이드 홈이 형성된 제1 가이드 층; 및

    상기 베이스 플레이트의 하면에 형성되고, 상기 수지 재질로 이루어지며, 하면에 상기 다수의 제2 가이드 홈이 형성된 제2 가이드 층을 포함하고,

    상기 베이스 플레이트는 상기 수지 재질보다 단단한 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
15. 제1항에 있어서, 상기 가이드 부재는,

    베이스 블록;

    상기 베이스 블록의 상면에 결합되고, 상면에 상기 다수의 제1 가이드 홈이 형성된 상부 가이드 블록;

    상기 베이스 블록의 하면에 결합되고, 상기 다수의 제2 가이드 홈이 형성된 하부 가이드 블록;

    상기 베이스 블록의 정면에 결합되고, 일 측면에 상기 다수의 제1 프로브의 출력단이 삽입되는 다수의 제1 신호단 삽입홈이 형성된 정면 가이드 블록; 및

    상기 베이스 블록의 후면에 결합되어 상기 베이스 블록을 사이에 두고 상기 정면 가이드 블록과 마주하며, 일 측면에 상기 다수의 제2 프로브의 입력단이 삽입되는 다수의 제2 신호단 삽입홈이 형성된 후면 가이드 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
16. 제15항에 있어서,

    상기 베이스 블록은 상면에 삽입홈을 제공하고,

    상기 제1 프로브는 상기 삽입홈에 삽입되는 고정 돌기를 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
17. 제16항에 있어서,

    상기 상부 가이드 블록은 적어도 두 개 이상의 블록으로 분리 가능하고, 두 개의 조각으로 분리된 상부 가이드 블록들은 상기 삽입홈을 사이에 두고 서로 이격 되어 위치하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
18. 제15항에 있어서,

    상기 베이스 블록은 하면으로부터 돌출된 돌출부를 구비하고,

    상기 제2 프로브는, 일 측이 상기 돌출부와 맞닿아 상기 돌출부가 걸리는 걸림턱이 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
19. 제18항에 있어서,

    상기 하부 가이드 블록은 적어도 두 개 이상의 블록으로 분리 가능하고, 두 개의 조각으로 분리된 상부 가이드 블록들은 상기 돌출부를 사이에 두고 서로 이격되어 위치하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
20. 제19항에 있어서, 상기 두 개 이상의 조각으로 분리된 하부 가이드 블록들은 상기 다수의 제2 가이드 홈이 하면에 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
21. 제19항에 있어서, 상기 두 개 이상의 조각으로 분리된 하부 가이드 블록들 중 적어도 어느 하나는 상기 다수의 제2 가이드 홈이 상면에 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
22. 제15항 내지 제21항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 상부 가이드 블록, 상기 하부 가이드 블록, 상기 정면 가이드 블록 및 상기 후면 가이드 블록은 수지 재질로 이루어지고,

    상기 베이스 블록은 상기 수지 재질보다 단단한 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
23. 제15항 내지 제21항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 가이드 부재의 상부에 결합되어 상기 다수의 제1 프로브를 상기 가이드 부재에 고정시키는 제1 고정 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
24. 제23항에 있어서,

    상기 가이드 부재의 하부에 결합되어 상기 다수의 제2 프로브를 상기 가이드 부재에 고정시키는 제2 고정 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
25. 고정 몸체; 및

    상기 고정 몸체에 결합되는 유닛 몸체 및 테스터의 전기적 신호를 평판표시패널에 인가하는 프로브 블록을 구비하는 프로브 유닛을 포함하고,

    상기 프로브 블록은,

    상기 테스터의 전기적 신호를 상기 평판표시패널에 인가하는 다수의 제1 및 제 2 프로브; 및

    상기 다수의 제1 프로브가 삽입되는 다수의 제1 가이드 홈 및 상기 다수의 제2 프로브가 삽입되는 다수의 제2 가이드 홈을 제공하는 가이드 부재를 포함하고,

    상기 다수의 제1 가이드 홈과 상기 다수의 제2 가이드 홈은 서로 수직 방향으로 이격되어 서로 다른 층에 형성되며 수평 방향으로 서로 어긋나게 배치된 것을 특징으로 하는 프로브 어셈블리.
26. 다수의 제1 및 제2 가이드 홈을 제공하는 가이드 부재를 형성하는 단계;

    상기 다수의 제1 가이드 홈에 다수의 제1 프로브를 삽입하는 단계; 및

    상기 다수의 제2 가이드 홈에 다수의 제2 프로브를 삽입하는 단계를 포함하고,

    상기 다수의 제1 가이드 홈과 상기 다수의 제2 가이드 홈은 서로 수직 방향으로 이격되어 서로 다른 층에 형성되며 수평 방향으로 서로 어긋나게 배치되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 블록 제조 방법.
27. 제26항에 있어서, 상기 가이드 부재를 형성하는 단계는,

    상기 가이드 부재의 상면 및 하면에 상기 제1 및 제2 가이드 홈 보다 넓은 폭을 갖는 적어도 하나의 더미홈을 기계 가공을 통해 각각 형성하는 단계;

    다이싱 공정을 통해 상기 가이드 부재의 상면에 상기 다수의 제1 가이드 홈을 형성하는 단계; 및

    상기 다이싱 공정을 통해 상기 가이드 부재의 하면에 상기 다수의 제2 가이드 홈을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록 제조 방법.
28. 제26항에 있어서, 상기 가이드 부재를 형성하는 단계는,

    제1 가이드 플레이트의 일면 및 제2 가이드 플레이트의 하면에 상기 제1 및 제2 가이드 홈 보다 넓은 폭을 갖는 적어도 하나의 더미홈을 기계 가공을 통해 각각 형성하는 단계;

    상기 더미홈이 형성된 상기 제1 가이드 플레이트의 일면에 상기 다수의 제1 가이드 홈을 다이싱 공정을 통해 형성하는 단계;

    상기 다이싱 공정을 통해 상기 제2 가이드 플레이트의 하면에 상기 다수의 제2 가이드 홈을 형성하는 단계; 및

    상기 제1 및 제2 가이드 플레이트를 결합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록 제조 방법.
29. 제28항에 있어서,

    상기 제1 가이드 플레이트는 상면에 상기 더미홈과 상기 다수의 제1 가이드 홈이 형성되고, 하면이 상기 제2 가이드 플레이트의 상면에 결합되는 것을 특징으로 하는 프로브 블록 제조 방법.
30. 제28항에 있어서,

    상기 제1 가이드 플레이트는 하면에 상기 더미홈과 상기 다수의 제1 가이드 홈이 형성되고, 하면이 상기 제2 가이드 플레이트의 상면에 결합되며,

    상기 다수의 제1 프로브는 상기 제1 및 제2 가이드 플레이트가 결합되기 이전에 상기 다수의 제1 가이드 홈에 삽입되는 것을 특징으로 하는 프로브 블록 제조 방법.
31. 제26항에 있어서,

    상기 가이드 부재를 형성하는 단계는,

    베이스 플레이트의 상면에 제1 가이드 층을 형성하는 단계;

    상기 제1 가이드 층의 상면에 상기 다수의 제1 가이드 홈을 형성한 후 상기 제1 가이드 층을 경화시키는 단계;

    상기 베이스 플레이트의 하면에 제2 가이드 층을 형성하는 단계; 및

    상기 제2 가이드 층의 하면에 상기 다수의 제2 가이드 홈을 형성한 후 상기 제2 가이드 층을 경화시키는 단계를 포함하고,

    상기 제1 및 제2 가이드 층은 수지 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 프로브 블록 제조 방법.

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