KR102121618B1

KR102121618B1 - 일체형 프로브 어레이블록

Info

Publication number: KR102121618B1
Application number: KR1020200014547A
Authority: KR
Inventors: 이용관; 오제헌; 황진택
Original assignee: 주식회사 프로이천
Priority date: 2020-02-06
Filing date: 2020-02-06
Publication date: 2020-06-10

Abstract

본 발명은 일체형 프로브 어레이블록에 관한 것으로, 외부 몸체를 이루는 케이스(3); 선단팁(23)에 의해 검사 대상물과 접촉하고, 후단팁(24)에 의해 제어장치로 연결되도록 상기 케이스(3) 내에 장착되는 복수의 프로브(5); 상기 복수의 프로브(5)를 상호 인접한 상태로 정렬되도록 수납하는 받이대(7); 상기 받이대(7)에 수납된 상기 프로브(5)를 가압하여 구속하는 프로브덮개(9); 및 상기 프로브(5) 상호 간의 접촉을 방지하는 프로브가이드(11);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하며, 따라서 복수의 프로브들을 프로브가이드에 의해 서로 접촉하지 않도록 하여 어레이블록의 쇼트 또는 프로브와 패턴의 오접촉 등을 미연에 방지할 수 있으며, 이때 프로브가이드를 받이대에 조립되는 별개의 부재가 되도록 하고, 받이대에 조립하기 전에 또는 조립한 후에 복수의 프로브를 끼우도록 하고 있으므로, 프로브가이드의 제1 및 제2 슬릿에 프로브를 끼우는 조립 작업을 일층 편리하고, 신속하게 할 수 있게 된다.

Description

일체형 프로브 어레이블록{Integrated Type Probe Array Block}

본 발명은 일체형 프로브 어레이블록에 관한 것으로, 보다 상세하게는 LCD 패널 등과 같은 검사 대상물에 접촉하여 획득한 검사 신호를 제어장치로 전달하는 어레이블록에 있어서, 패턴에 접촉하는 복수의 프로브를 프로브가이드에 의해 구속하여 상호 접촉을 일으키지 못하도록 한 일체형 프로브 어레이블록에 관한 것이다.

일반적으로 프로브 어레이블록은 LCD 패널 등을 제조하는 과정에서 그로스 테스트(gross test)를 시행할 때 사용하는 기기로서, 니들형, 블레이드형, 필름형 등 다양한 형태로 개발되어 왔다.

이 중에서, 니들형 어레이블록은 검사팁을 이루는 복수의 프로브가 상호 인접하도록 배치될 뿐 아니라, 블록 케이스에 프로브를 부착하기 위해 에폭시 수지 등을 사용함에 따라 에폭시 수지가 변형을 일으킬 경우 함께 변형되면서 상호 간에 접촉을 일으켜 쇼트를 야기하는 등 검사 성능이 크게 떨어지는 문제점이 있었다.

이러한 문제점을 해결하기 위해, 도 1 및 도 2에 도시된 프로브 블록(101)(등록특허 제10-1558256호)이 제안된 바 있다. 이 프로브 블록(101)은 도시된 것처럼, 프로브 블록(200) 선단에 좁은 간격을 두고 일렬로 나란히 배치된 복수의 프로브(100)이 상호 간에 쇼트되지 않도록, 제1 필름(332)과 제2 필름(334)에 의해 접촉을 저지하고 있다. 즉, 프로브(100)의 수직부(120)와 제2 수평부(130)의 노출측 모서리에 제1 삽입돌기(140)와 제2 삽입돌기(144)를 각각 돌출시키고, 제1 삽입돌기(140)는 제1 필름(332)의 삽입홀(330a)에, 제2 삽입돌기(144)는 제2 필름(334)의 삽입홀(330a)에 각각 삽입되도록 함으로써, 제1 삽입돌기(140)는 이웃한 제1 삽입돌기(140)와, 제2 삽입돌기(144)는 이웃한 제2 삽입돌기(144)와 서로 접촉하지 못하도록 구속하여 상호 간의 쇼트를 방지하였다.

그러나, 위와 같은 종래의 프로브 블록(101)은 제1 및 제2 필름(332,334)이라는 하나의 몸체에 복수의 삽입홀(330a)이 촘촘하게 관통되어, 형성되는 바, 복수의 프로브(100)를 먼저 프로브 블록(101)로 부착한 뒤 삽입돌기(140,144)에 삽입홀(330a)을 끼우든, 반대로 복수의 삽입홀(330a)에 먼저 삽입돌기(140,144)를 차례로 끼우든 관계없이, 하나의 몸체로 된 제1 및 제2 필름(332,334)의 삽입홀(330a)에 복수의 삽입돌기(140,144)를 하나씩 차례로 끼우는 작업이 크게 까다롭고, 번거로우며, 불편하므로, 프로브 블록(101)의 조립 작업의 능률 및 생산성이 크게 저하되는 문제점이 있었다.

또한, 삽입돌기(140,144) 사이의 간격이 매우 촘촘하기 때문에, 제1 및 제2 필름(332,334)의 삽입홀(330a) 사이의 간격도 매우 좁아지므로, 제1 및 제2 필름(332,334)의 내구 강도가 크게 떨어지고, 따라서 가용 수명이 단축되는 등, 프로브 블록(101)의 품질이나 성능이 크게 저하되는 문제점도 있었다.

KR 10-1558256

본 발명은 위와 같은 종래의 프로브 블록이 가지고 있는 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, LCD 패널 등을 검사하기 위해 촘촘하게 배치된 패널의 패턴과 접촉하도록 패턴과 대응하여 촘촘하게 배치되는 복수의 프로브들을 서로 접촉하지 않도록 프로브가이드에 의해 구속하면서도, 프로브를 구속하기 위한 프로브가이드와 프로브의 조립을 보다 편리하고, 신속하게 할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

또한, 위와 같이 프로브를 구속하는 프로브가이드를 받이대에 조립되는 막대 또는 바의 형태로 제작함으로써, 프로브가이드의 내구 강도를 높이고, 따라서 프로브 블록의 품질이나 성능을 향상시키고자 하는 데 또 다른 목적이 있다.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 외부 몸체를 이루는 케이스; 선단팁에 의해 검사 대상물과 접촉하고, 후단팁에 의해 제어장치로 연결되도록 상기 케이스 내에 장착되는 복수의 프로브; 상기 복수의 프로브를 상호 인접한 상태로 정렬되도록 수납하는 받이대; 상기 케이스를 덮도록 장착되되, 상기 받이대에 수납된 상기 프로브를 가압하여 구속하는 프로브덮개; 및 상기 받이대에 수납되는 상기 프로브를 구속하도록 상기 받이대에 별체로 조립되어, 상기 프로브 상호 간의 접촉을 방지하는 프로브가이드;를 포함하여 이루어지는 일체형 프로브 어레이블록을 제공한다.

또한, 상기 프로브는 상기 선단팁으로 이어진 제1 편과, 제1 편에서 상기 후단팁으로 이어진 제2 편으로 이루어지며, 상기 프로브가이드는 상기 제1 편을 구속하도록 상기 받이대에 조립되는 제1 가이드바와, 상기 제2 편을 구속하도록 상기 받이대에 조립되는 제2 가이드바로 이루어지는 것이 바람직하다.

또한,상기 받이대는 상기 선단팁 측 단부에 복수의 제1 슬릿이 상호 인접하게 형성되고, 상기 후단팁 측 단부에 복수의 제2 슬릿이 상호 인접하게 형성되어, 상기 복수의 프로브를 수납하도록 되어 있으며; 상기 제1 가이드바는 상기 제1 슬릿과 대응하도록 제1 수납단에 형성된 제1 안내슬릿에 상기 제1 편을 삽입하여 구속하고, 상기 제2 가이드바는 상기 제2 슬릿과 대응하도록 제2 수납단에 형성된 제2 안내슬릿에 상기 제2 편을 삽입하여 구속하도록 되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 상기 프로브는 상기 제1 편의 노출 측 모서리를 따라 상기 제1 편과 같은 방향으로 오목하게 연장된 끼움홈 또는 상기 제2 편의 노출 측 모서리를 따라 상기 제2 편과 같은 방향으로 오목하게 연장된 끼움홈을 구비하며, 상기 끼움홈에는 상기 프로브덮개와 같은 방향으로 상기 프로브를 구속하는 보조홀더가 끼워져 결합되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 프로브는 상기 프로브덮개를 향한 상기 제1 편의 모서리에, 상기 프로브덮개와 접촉하는 면의 크기를 줄이도록 제1 정렬돌기가 돌출되고, 상기 프로브덮개를 향한 상기 제2 편의 모서리에, 상기 프로브덮개와 접촉하는 면의 크기를 줄이도록 제2 정렬돌기가 돌출되는 것이 바람직하다.

본 발명의 일체형 프로브 어레이블록에 따르면, LCD 패널 등을 검사할 때 촘촘하게 배치된 패널의 패턴과 일대일 대응하여 접촉하도록 마찬가지로 촘촘하게 배치되는 복수의 프로브들을 프로브가이드에 의해 서로 접촉하지 않도록 하고 있으므로, 프로브 상호 간의 접촉으로 인한 어레이블록의 쇼트 또는 프로브와 패턴의 오접촉 등을 미연에 방지할 수 있게 된다.

또한, 위와 같이 프로브가이드에 의해 프로브를 상호 접촉하지 않도록 구속함에 있어, 프로브가이드를 받이대에 조립되는 별개의 부재가 되도록 막대 또는 바의 형태로 제작하고, 받이대에 조립하기 전에 또는 조립한 후에 복수의 프로브를 끼우도록 되어 있으므로, 프로브를 프로브가이드에 의해 구속하기 위해 프로브가이드의 제1 및 제2 슬릿에 끼우는 조립 작업을 일층 편리하고, 신속하게 할 수 있게 된다.

또한, 프로브를 구속하는 프로브가이드가 막대 또는 바의 형태로 제작되므로, 프로브가이드의 내구 강도를 높일 수 있고, 따라서 프로브 블록의 내구강도나 가용수명 등 제반 성능 및 품질을 일층 향상시킬 수 있게 된다.

도 1은 종래의 프로브 블록을 도시한 정면도.
도 2는 도 1의 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 일체형 프로브 어레이블록의 저면 사시도.
도 4는 도 3의 분해 사시도.
도 5는 도 3의 케이스 부분 저면도.
도 6은 도 3의 좌측면도.
도 7은 도 3의 케이스 부분 정단면도.
도 8은 도 7의 A 부분 확대도.
도 9는 도 7의 A 부분의 부분 발췌 저면 사시도.
도 10은 도 9의 부분 발췌 저면 사시도.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 일체형 프로브 어레이블록을 첨부 도면을 참조로 상세히 설명한다.

본 발명의 어레이블록은 도 3 및 도 4에 도면부호 1로 도시된 바와 같이, 크게 케이스(3), 복수의 프로브(5), 받이대(7), 프로브덮개(9), 및 프로브가이드(11)를 포함하여 이루어진다.

여기에서, 먼저 상기 케이스(3)는 어레이블록(1)의 외부 몸체를 이루는 부분으로, 도 3, 도 4 및 도 7에 도시된 바와 같이, 직육면체의 블록 형태로 되어 있으며, 내부 공간을 확보하도록 양측단 모서리 부분에 돌기(21,22)가 돌출된다. 또, 케이스(3)는 저면에 장착되는 위 프로브덮개(9), 연성회로기판커버(13), 및 전면커버(14)와 함께 형성하는 내부 공간에 위 프로브(5), 받이대(7), 및 프로브가이드(11)는 물론, 연성회로기판(15)의 선단 부분과, 패턴필름(17), 그리고 패턴판(19)을 수용한다.

상기 프로브(5)는 검사 대상물과 접촉하여 연성회로기판(15)으로 검사 대상물로부터의 검사 신호를 직접 전송하는 박판의 핀 타입 단자로서, 도 3 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 복수 개가 나란히 케이스(3) 내부의 선단 저면에 장착되는 바, 각각의 프로브(5)는 전체적으로 W자 모양을 가지는 도전체로 되어 있다. 또한, 프로브(5)는 도 9 및 도 10에 상세 도시된 것처럼, 케이스(3)의 저면 선단으로 돌출된 선단팁(23)에 의해 예컨대, LCD 패널의 패턴과 같은 검사 대상물과 접촉하며, 케이스(3) 후방측으로 돌출된 후단팁(24)에 의해 예컨대, 연성회로기판(15)의 필름(17) 패턴(P)과 접촉하고, 후단팁(24)은 연성회로기판(15)을 통해 제어장치로 연결된다. 이를 위해, 프로브(5)는 도 8, 도 9, 및 도 10 등에 도시된 바와 같이, 선단팁(23)으로 이어진 제1 편(25)과 후단팁으로 이어진 제2 편(26)을 포함하여 이루어지는 바, 제1 편(25)은 케이스(3)를 횡단하는 도면 상 상하 방향으로 연장되며, 제2 편(26)은 케이스(3)를 종단하는 도면 상 좌우 방향으로 연장된다. 이때, 제1 편(25)의 상단이 제2 편(26)의 선단에 하나로 연결되므로, 전체적으로 ㄱ자 모양을 갖는다. 다만, 제1 편(25)은 선단팁(23)까지 하단 부분이 직각 방향으로 절곡되어 앞쪽으로 길게 연장되는 반면, 제2 편(26)은 후단팁(24)까지 상단 부분이 직각 방향으로 짧게 절곡되어 위쪽으로 연장된다.

한편, 프로브(5)는 도 7 및 도 8에 도시된 것처럼, 후술하는 프로브가이드(11)를 통해 받이대(7)에 상에 복수 개가 나란히 장착되는 바, 프로브가이드(11)로부터 이탈되는 것을 방지하도록 후술하는 프로브덮개(9)에 의해 가압된다. 이때, 프로브(5)는 프로브덮개(9)와의 접촉을 보다 균일하게 유지할 수 있도록 하기 위해, 제1 편(25)의 프로브덮개(9)를 향한 모서리에 제1 정렬돌기(27)가 돌출되고, 제2 편(26)의 프로브덮개(9)를 향한 모서리에 제2 정렬돌기(28)가 돌출된다. 즉, 제1 편(25)과 제2 편(26)은 각각 제1 정렬돌기(27)와 제2 정렬돌기(28)를 통해 프로브덮개(9)와 접촉하는 부분의 면적을 최소화함으로써, 접촉면의 증대로 인한 접촉불량을 최소화시킨다.

또한, 프로브(5)는 도 8, 도 9, 및 도 10에 도시된 것처럼, 제1 편(25) 또는 제2 편(26) 중 적어도 한 쪽 모서리 예컨대, 도시된 경우 제2 편(26)의 노출 측 모서리를 따라, 제2 편(26)과 같은 방향으로 오목하게 연장되는 끼움홈(29)이 형성된다. 즉, 프로브(5)는 후술하는 프로브가이드(11)의 제1 및 제2 안내슬릿(43,44)에 끼워지지 않고 노출되는 안 쪽 모서리를 따라 도 9 및 도 10에 도시된 것처럼, 모서리와 나란한 방향으로 끼움홈(29)이 형성된다. 따라서, 프로브(5)는 이 끼움홈(29)에 끼워지는 납작한 막대 형태의 보조홀더(31)에 의해 프로브덮개(9)에 의한 것과 같은 방향으로 움직임이 구속된다. 즉, 보조홀더(31)는 도시된 것처럼 제2 편(26)의 형성된 끼움홈(29)에 삽입된 경우, 개별 프로브(5)가 전체 프로브(5)에 대해 도 10의 우측으로 또는 하방으로 움직이려는 것을 억제한다.

상기 받이대(7)는 전술한 바 있듯이, 복수의 프로브(5)를 케이스(3) 내에서 수납하는 수단으로, 도 4 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 케이스(3) 선단 하부에 장착되는 바, 도 9에 도시된 것처럼, 선단팁(23)까지 제1 편(25)의 앞으로 길게 연장된 하단 부분을 끼우도록 저면에 복수의 제1 슬릿(33)이 오목하게 형성되며, 후단팁(24)까지 제2 편의 위로 연장된 상단 부분을 끼우도록 후면에 복수의 제2 슬릿(34)이 오목하게 가공된다. 즉, 받이대(7)는 도 9에 도시된 것처럼, 후방 하단 모서리 부분을 따라 ㄱ자 모양의 수납 공간을 확보하고, 이 수납 공간과 접한 저면에 복수의 제1 슬릿(33)을, 후면에 복수의 제2 슬릿(34)을 각각 형성함으로써, 각각의 선단이 각각의 대응하는 제1 슬릿(33)에 끼워지고, 각각의 후단이 각각의 대응하는 제2 슬릿(34)에 끼워지는 각각의 프로브(5)를 상호 인접한 상태에서 나란하게 정렬되도록 수납한다.

상기 프로브덮개(9)는 위와 같이 받이대(7)에 수납된 복수의 프로브(5)를 케이스(3) 내에 안정적으로 고정하는 수단으로서, 도 3 내지 도 5, 도 7, 및 도 8에 도시된 바와 같이, 케이스(3) 저면을 덮도록 횡방향으로 배치되어 장착되는 바, 특히, 도 7 및 도 8에 도시된 것처럼, 전면 하단에 누름돌기(35)가 돌출됨으로써, 위와 같이 받이대(7)에 수납된 복수의 프로브(5)를 가압하여, 프로브(5)가 프로브가이드(11)로부터 상하 또는 좌우로 이탈되지 못하게 구속하는 역할을 한다. 이를 위해, 프로브덮개(9)는 도 3에 도시된 것처럼, 케이스(3)의 저면에서 돌기(21,22) 사이에 장착되며, 누름돌기(35)는 프로브(5)의 제1 편(25)과 제2 편(26)을 동시에 가압할 수 있도록 단면 ㄱ자 모양으로 절곡된다.

상기 프로브가이드(11)는 위와 같이 제1 및 제2 슬릿(33,34)을 통해 받이대(7)에 서로 인접하여 수납되는 각각의 프로브(5)가 서로 접촉하는 것을 방지하는 수단으로서, 도 4 및 도 7 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 프로브(5) 제1 편(25)을 구속하는 제1 가이드바(41)와, 제2 편(26)을 구속하는 제2 가이드바(42)로 이루어지는 바, 각각의 가이드바(41,42)는 케이스(3) 횡방향으로 받이대(7)를 따라 길게 연장된 사각 단면의 막대 모양 절연체로 제작된다. 또, 도 9에 도시된 것처럼, 제1 가이드바(41)는 제1 수납단(45) 즉, 도면 상 우측의 후면에 위 제1 슬릿(33)과 대응하는 복수의 제1 안내슬릿(43)이 오목하게 형성되고, 제2 가이드바(42)는 제2 수납단(46) 즉, 도면 상 저면에 위 제2 슬릿(34)과 대응하는 복수의 제2 안내슬릿(44)이 오목하게 형성된다.

따라서, 도 9에 도시된 것처럼, 제1 가이드바(41)는 프로브(5) 제1 편(25)을 제1 안내슬릿(43)에 끼움으로써, 또 제2 가이드바(42)는 프로브(5) 제2 편(26)을 제2 안내슬릿(44)에 끼움으로써, 받이대(7)에 수납되는 프로브(5)를 구속한다. 이때, 각각의 가이드바(41,42)는 받이대(7)의 제1 및 제2 가이드홈(37,38)에 각각 삽입되어, 고정되는 바, 받이대(7)와 별체로 되어 있으므로, 프로브(5)를 보다 편하게 끼울 수 있도록 한다. 또한, 제1 및 제2 가이드바(41,42)는 막대 형태로 되고, 일측면에 복수의 제1 또는 제2 안내슬릿(43,44)을 나란히 가공하여 제작하므로, 제1 및 제2 안내슬릿(43,44) 사이에도 충분한 두께가 유지되고, 따라서 프로브가이드(11)의 내구 강도가 향상되고 더 나아가, 어레이블록(1)의 가용 수명을 크게 늘리게 된다.

이제, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 일체형 프로브 어레이블록의 작용을 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 어레이블록(1)에 의하면, 도 9에 도시된 것처럼, 케이스(3) 선단 저면에 돌출된 각 프로브(5)의 선단팁(23)이 예컨대, LCD 패널의 패턴과 같은 검사 대상물과 접촉하고, 각 프로브(5)의 후단팁(24)이 패턴필름(17)의 저면 선단에 형성된 각각의 패턴(P)에 접촉된 때, 검사 대상물로부터 검사된 신호를 연성회로기판(15)을 통해 제어장치로 전송하게 된다.

이 과정에서, 각각의 프로브(5)는 비록 상호 간에 좁은 간격으로 두고 인접한 상태로 배치되어 있지만, 받이대(7)의 일차 구속부인 제1 및 제2 슬릿(33,34)에서 이격된 제1 및 제2 편(25,26)이 각각 제1 및 제2 가이드바(41,42)의 제1 및 제2 안내슬릿(43,44)에 의해 구속되므로, 상호 접촉에 의한 쇼트를 미연에 방지하게 된다.

또한, 이와 같이, 제1 및 제2 안내슬릿(43,44)에 프로브(5)를 삽입하기 위해서는 먼저, 도 7에 도시된 것처럼, 케이스(3)의 저면 선단에 에폭시 등의 접착수단을 이용해 받이대(7)를 부착하여 고정한다. 그 다음, 도 10에 도시된 것처럼, 제1 및 제2 가이드바(41,42)의 양단에 각각 4 내지 5 개의 프로브(5)를 삽입한 채로 제1 및 제2 가이드바(41,42)를 도 9에 도시된 것처럼 제1 및 제2 가이드홈(37,38)에 각각 삽입한 후, 에폭시 등의 접착수단을 이용해 부착하여 고정한다. 그리고 나서, 나머지 제1 및 제2 슬릿(33,34) 및 제1 및 제2 안내슬릿(43,44)에 차례로 프로브(5)를 끼워 넣은 후, 도 8에 도시된 것처럼, 제1 및 제2 정렬돌기(27,28)를 누름돌기(35)에 의해 가압하도록 프로브덮개(9)를 조립함으로써, 또는 그 전에 보조홀더(31)를 끼움홈(29)에 끼워 넣음으로써, 프로브(5)를 조립을 편리하게 마칠 수 있게 된다. 다만, 상황에 따라 제1 및 제2 가이드바(41,42)를 먼저 제1 및 제2 가이드홈(37,38)에 끼워 고정한 뒤, 제1 및 제2 슬릿(33,34) 및 제1 및 제2 안내슬릿(43,44)에 프로브(5)를 끼울 수도 있고, 반대로 제1 및 제2 가이드바(41,42)의 제1 및 제2 안내슬릿(43,44)에 먼저 프로브(5)를 끼운 다음, 제1 및 제2 가이드바(41,42)를 제1 및 제2 가이드홈(37,38)에 끼워 고정할 수도 있다.

1 : 어레이블록 3 : 케이스
5 : 프로브 7 : 받이대
9 : 프로브덮개 11 : 프로브가이드
13 : 연성회로기판커버 15 : 연성회로기판
17 : 패턴필름 19 : 패턴판
23 : 선단팁 24 : 후단팁
25 : 제1 편 26 : 제2 편
27 : 제1 정렬돌기 28 : 제2 정렬돌기
29 : 끼움홈 31 : 보조홀더
33 : 제1 슬릿 34 : 제2 슬릿
35 : 누름돌기 37 : 제1 가이드홈
38 : 제2 가이드홈 41 : 제1 가이드바
42 : 제2 가이드바 43 : 제1 안내슬릿
44 : 제2 안내슬릿 45 : 제1 수납단
46 : 제2 수납단 P : 패턴

Claims

삭제
외부 몸체를 이루는 케이스(3);
선단팁(23)에 의해 검사 대상물과 접촉하고, 후단팁(24)에 의해 제어장치로 연결되도록 상기 케이스(3) 내에 장착되는 복수의 프로브(5);
상기 복수의 프로브(5)를 상호 인접한 상태로 정렬되도록 수납하는 받이대(7);
상기 케이스(3)를 덮도록 장착되되, 상기 받이대(7)에 수납된 상기 프로브(5)를 가압하여 구속하는 프로브덮개(9); 및
상기 받이대(7)에 수납되는 상기 프로브(5)를 구속하도록 상기 받이대(7)에 별체로 조립되어, 상기 프로브(5) 상호 간의 접촉을 방지하는 프로브가이드(11);를 포함하여 이루어지고,
상기 프로브(5)는 상기 선단팁(23)으로 이어진 제1 편(25)과, 제1 편(25)에서 상기 후단팁(24)으로 이어진 제2 편(26)으로 이루어지며,
상기 프로브가이드(11)는 상기 제1 편(25)을 구속하도록 상기 받이대(7)에 조립되는 제1 가이드바(41)와, 상기 제2 편(26)을 구속하도록 상기 받이대(7)에 조립되는 제2 가이드바(42)로 이루어지고,
상기 프로브(5)는 상기 제1 편(25)의 노출 측 모서리를 따라 상기 제1 편(25)과 같은 방향으로 오목하게 연장된 끼움홈 또는 상기 제2 편(26)의 노출 측 모서리를 따라 상기 제2 편과 같은 방향으로 오목하게 연장된 끼움홈(29)을 구비하며, 상기 끼움홈(29)에는 상기 프로브덮개(9)와 같은 방향으로 상기 프로브(5)를 구속하는 보조홀더(31)가 끼워져 결합되는 것을 특징으로 하는 일체형 프로브 어레이블록.
외부 몸체를 이루는 케이스(3);
선단팁(23)에 의해 검사 대상물과 접촉하고, 후단팁(24)에 의해 제어장치로 연결되도록 상기 케이스(3) 내에 장착되는 복수의 프로브(5);
상기 복수의 프로브(5)를 상호 인접한 상태로 정렬되도록 수납하는 받이대(7);
상기 케이스(3)를 덮도록 장착되되, 상기 받이대(7)에 수납된 상기 프로브(5)를 가압하여 구속하는 프로브덮개(9); 및
상기 받이대(7)에 수납되는 상기 프로브(5)를 구속하도록 상기 받이대(7)에 별체로 조립되어, 상기 프로브(5) 상호 간의 접촉을 방지하는 프로브가이드(11);를 포함하여 이루어지고,
상기 프로브(5)는 상기 선단팁(23)으로 이어진 제1 편(25)과, 제1 편(25)에서 상기 후단팁(24)으로 이어진 제2 편(26)으로 이루어지며,
상기 프로브가이드(11)는 상기 제1 편(25)을 구속하도록 상기 받이대(7)에 조립되는 제1 가이드바(41)와, 상기 제2 편(26)을 구속하도록 상기 받이대(7)에 조립되는 제2 가이드바(42)로 이루어지고,
상기 받이대(7)는 상기 선단팁(23) 측 단부에 복수의 제1 슬릿(33)이 상호 인접하게 형성되고, 상기 후단팁(24) 측 단부에 복수의 제2 슬릿(34)이 상호 인접하게 형성되어, 상기 복수의 프로브(5)를 수납하도록 되어 있으며;
상기 제1 가이드바(41)는 상기 제1 슬릿(33)과 대응하도록 제1 수납단(45)에 형성된 제1 안내슬릿(43)에 상기 제1 편(25)을 삽입하여 구속하고, 상기 제2 가이드바(42)는 상기 제2 슬릿(34)과 대응하도록 제2 수납단(46)에 형성된 제2 안내슬릿(44)에 상기 제2 편(26)을 삽입하여 구속하도록 되어 있고,
상기 프로브(5)는 상기 제1 편(25)의 노출 측 모서리를 따라 상기 제1 편(25)과 같은 방향으로 오목하게 연장된 끼움홈 또는 상기 제2 편(26)의 노출 측 모서리를 따라 상기 제2 편과 같은 방향으로 오목하게 연장된 끼움홈(29)을 구비하며, 상기 끼움홈(29)에는 상기 프로브덮개(9)와 같은 방향으로 상기 프로브(5)를 구속하는 보조홀더(31)가 끼워져 결합되는 것을 특징으로 하는 일체형 프로브 어레이블록.
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청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
상기 프로브(5)는 상기 프로브덮개(9)를 향한 상기 제1 편(25)의 모서리에, 상기 프로브덮개(9)와 접촉하는 면의 크기를 줄이도록 제1 정렬돌기(27)가 돌출되고, 상기 프로브덮개(9)를 향한 상기 제2 편(26)의 모서리에, 상기 프로브덮개(9)와 접촉하는 면의 크기를 줄이도록 제2 정렬돌기(28)가 돌출되는 것을 특징으로 하는 일체형 프로브 어레이블록.