KR20100075276A - 전기영동표시장치 및 그의 제조방법과 그의 리페어방법 - Google Patents

전기영동표시장치 및 그의 제조방법과 그의 리페어방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전기영동표시소자 및 그의 제조방법과 그의 리페어 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 전기영동표시소자는 기판상에 형성된 게이트 배선, 게이트 전극 및 상기 게이트 배선과 일정 간격 이격되어 형성되는 공통전극과, 상기 게이트 배선을 포함한 상기 기판 전체에 형성된 게이트 절연막과, 상기 게이트 배선과 교차되어 화소영역을 정의하는 데이터배선과, 상기 데이터 배선에서 연장된 소스 전극 및 소스 전극에서 일정간격 이격된 드레인 전극과, 상기 데이터배선과 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한 기판 전체에 형성된 보호막과, 상기 보호막상에 형성되고 상기 드레인 전극과 접속되는 화소전극 및 상기 화소전극을 포함한 기판상에 형성된 전기영동필름을 포함하고, 상기 각 화소영역에 형성된 공통전극을 서로 연결하며 각 화소영역의 경계부에 형성된 공통배선과, 상기 공통배선에 상응하는 상기 보호막을 제거하여 상기 게이트 절연막이 노출되도록 형성된 리페어 홀을 구비한다.
리페어, 공통전극

Description

전기영동표시장치 및 그의 제조방법과 그의 리페어방법{Electrophoretic Display Device and Method for manufacturing the same and Method for Repairing the same}
본 발명은 전기영동표시소자 및 그의 제조방법과 그의 리페어방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 리페어 공정시 보호막의 크랙을 방지할 수 있도록 하는 전기영동표시소자 및 그의 제조방법과 그의 리페어방법에 관한 것이다.
전기영동표시장치(Electrophoretic Display)는 외부 광원이 필요없고, 반사율이 우수하며, 유연성(Flexibility)과 휴대성(Portability)이 뛰어나며, 기타 경량 등의 특성을 지닌 전기영동(Electrophoresis; 전기장내에서 하전된 입자가 양극 또는 음극쪽으로 이동하는 현상)을 이용한 평판 표시장치(Flat Display)의 일종이다.
이러한 전기영동 표시장치는 종이나 플라스틱과 같은 얇고 구부리기 쉬운 베이스필름(Base film)에 투명전도막을 입혀 전기영동 부유입자(Electropho -retic Suspension)를 구동하는 반사형 디스플레이로서, 차세대 전자종이(Electric-Paper)로서도 각광 받을 것으로 기대되는 장치이다.
이러한 관점에서, 종래 기술에 따른 전기영동 표시장치에 대해 도 1a를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1a은 종래기술에 따른 전기영동 표시장치를 개략적으로 설명하기 위한 단면도이다.
도 1a에 도시된 바와 같이, 먼저 기판(11)상에 게이트 배선(미도시)과 게이트 전극(13a)이 형성되고, 상기 게이트 배선(미도시)과 일정간격 이격되어 동일방향으로 배열된 공통전극(15)이 형성된다.
그다음, 게이트 배선(미도시)과 게이트 전극(13a)이 형성된 기판(11)상에 게이트 절연막(17)을 형성하고, 상기 게이트 전극(13a)에 상응하는 게이트 절연막(17)상에 반도체 패턴(19)을 형성한다.
그리고, 상기 게이트 배선(미도시)과 교차하여 화소영역을 정의하는 데이터 배선(21)과, 데이터 배선(21)에서 연장된 소스전극(21a)과, 상기 소스전극(21a)와 일정간격 이격되고 동시에 화소영역으로 돌출된 드레인 전극(23)이 형성된다.
상기 반도체 패턴(19), 소스 전극(21a), 드레인 전극(23), 게이트전극(13a)은 박막트랜지스터부를 이룬다.
이어서, 소스 전극(21a) 및 드레인 전극(23)이 형성된 기판(11) 전면에 보호막(25)을 두껍게 증착한 후 상기 보호막(25)을 선택적으로 패터닝하여 상기 드레인 전극(23)을 노출시키는 드레인 콘택홀(27)을 형성한다.
이때, 상기 보호막(25)은 상기 전극들의 오버랩되는 구조 상에 저유전체인 유기막, 예를 들어 포토 아크릴레이트(photo acrylate) 등을 두껍게 증착하여 형성 한다.
그 다음, 상기 드레인 콘택홀(27)을 포함한 보호막(25)상에 투명전극막을 증착한후 이를 패터닝하여 화소전극(31)을 형성한다. 이때, 화소전극(31)은 상기 드레인 콘택홀(27)을 통해 드레인 전극(23)과 접속된다.
또한, 상기 화소전극(31)은 상기 게이트배선(미도시)과 데이터배선(21)이 교차되어 정의되는 화소영역(P)내의 상기 게이트배선(미도시)과 데이터배선(21)에 걸쳐 오버랩되어 있다.
이어서, 상기 화소전극(31)을 포함한 기판(11)상에 전기영동필름(33)을 적층한다. 이때, 상기 전기영동필름(33)은 폴리머중합체(polymer binder)에 전자잉크가 캡슐(30)을 형성하고 있는 것으로, 상기 캡슐(30)내에 분포하는 전자잉크는 화이트잉크(33a)와 블랙잉크(33b)로 이루어져 있다. 또한, 상기 전자영동필름(33)내에 분포된 화이트잉크(33a)와 블랙잉크(33b)는, 각각 양전하와 음전하 특성을 가진다. 즉, 상기 화이트잉크(33a)는 양전하로 대전되어 있으며, 블랙잉크(33b)는 음전하로 대전되어 있다.
그 다음, 상기 전자영동필름(33)상에는 공통배선(미도시)을 형성하여 전기영동 표시장치를 완성한다.
이와 같은 전기영동 표시장치는 반사형 표시장치로써, 반사율을 증가시키기 위해, 화소전극(31)을 화소 영역 내의 게이트 배선(미도시)과 데이터 배선(21)에 걸쳐 오버랩되도록 형성한다.
이때, 화소전극(31)과 게이트 배선(미도시) 또는 데이터 배선(21)간에 오버 랩됨으로써, 이들간에 발생되는 커패시턴스가 증가하게 되는 데, 이는 화소전극의 구동전압에 영향을 주게 된다.
따라서, 상기 화소전극(31)과 게이트 배선(미도시) 또는 데이터 배선(21) 사이에 위치하는 보호막(25)을 두껍게 형성함으로써, 게이트 배선(미도시) 또는 데이터 배선(21)과 화소전극(31) 사이의 신호간섭을 최소화할 수 있다.
한편, 공통전극(15)이 단선되었을 경우, 리페어 공정을 수행해야 한다.
상기 리페어 공정은 단선된 공통전극(15)에 상응하는 게이트 절연막(17) 및 보호막(25)에 레이저(Laser)를 조사하여 단선된 공통전극(15)을 컷팅(cutting)하게 된다.
그러나, 공통전극(15)에 상응하는 보호막(25)의 A영역에 레이저가 조사되면, 상기와 같이 형성된 보호막(25)의 두께로 인해, 도 1b에 도시된 바와 같이, 레이저가 조사된 보호막(25)에 크랙(crack)이 발생하게 되고, 이는 게이트 배선(미도시)과 데이터 배선(21)의 단선을 유발하는 문제점이 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명에 따른 목적은 하부배선이 단선되었을 경우, 이를 수리하는 리페어 공정시 하부배선 상부에 형성된 보호막이 크랙되는 것을 방지하는 전기영동표시장치 및 그의 제조방법과 그의 리페어방법에 관한 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전기영동표시소자는 기판상에 형성된 게이트배선, 게이트전극 및 상기 게이트 배선과 일정 간격 이격되어 형성되는 공통전극과, 상기 게이트 배선을 포함한 상기 기판 전체에 형성된 게이트 절연막과, 상기 게이트 배선과 교차되어 화소영역을 정의하는 데이터배선과, 상기 데이터 배선에서 연장된 소스 전극 및 소스 전극에서 일정간격 이격된 드레인 전극와, 상기 데이터배선과 소스 전극 및 드레인 전극를 포함한 기판 전체에 형성된 보호막과, 상기 보호막상에 형성되고 상기 드레인 전극와 접속되는 화소전극 및 상기 화소전극를 포함한 기판상에 형성된 전기영동필름을 포함하고, 상기 각 화소영역에 형성된 공통전극을 서로 연결하며 각 화소영역의 경계부에 형성된 공통배선과, 상기 공통배선에 상응하는 상기 보호막을 제거하여 상기 게이트 절연막이 노출되도록 형성된 리페어 홀을 구비한다.
상기 리페어 홀은 상기 공통전극이 단선되면 레이저가 조사되는 영역이다.
상기 공통전극은 상기 화소영역의 중심부로 돌출된 드레인 전극와 오버랩되 어 스토리지 커패시터를 형성한다.
상기 화소전극은 상기 화소영역내의 게이트 배선과 데이터 배선에 걸처 오버랩된다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전기영동표시소자의 제조방법은 제1 기판 상에 게이트 전극, 게이트라인, 공통배선, 공통전극을 각각 형성하는 단계와, 상기 게이트 전극 및 공통전극이 형성된 제1 기판 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계와, 상기 게이트 절연막 상에 반도체 패턴과 소스/드레인 전극 및 데이터 라인을 형성하는 단계와, 상기 소스/드레인전극이 형성된 제1 기판 상에 보호막을 형성한 후 패터닝하여, 상기 드레인 전극을 노출하는 드레인 콘택홀을 형성하고 동시에 상기 공통배선에 상응하는 상기 보호막을 제거하여 상기 게이트 절연막이 노출되는 리페어 홀을 형성하는 단계와, 상기 드레인 전극과 전기적으로 접속하는 화소전극을 형성하는 단계를 포함한다.
상기 리페어 홀은 상기 공통전극이 단선되면 레이저가 조사되는 영역이다.
상기 공통배선은 상기 각 화소영역의 중심부에 형성된 상기 공통전극들을 서로 연결하며, 각 화소영역의 경계부에 형성된다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전기영동표시소자의 리페어방법은 기판상에 형성된 게이트배선, 게이트전극 및 상기 게이트 배선과 일정 간격 이격되어 형성되는 공통전극과, 상기 게이트 배선을 포함한 상기 기판 전체에 형성된 게이트 절연막과, 상기 게이트 배선과 교차되어 화소영역을 정의하는 데이터배선과, 상기 데이터 배선에서 연장된 소스 전극 및 소스 전극에서 일정간격 이격된 드레인 전극와, 상기 데이터배선과 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한 기판 전체에 형성된 보호막과, 상기 보호막상에 형성되고 상기 드레인 전극과 접속되는 화소전극 및 상기 화소전극을 포함한 기판상에 형성된 전기영동필름을 포함하고, 상기 각 화소영역에 형성된 공통전극을 서로 연결하며 각 화소영역의 경계부에 형성된 공통배선과, 상기 공통배선에 상응하는 상기 보호막을 제거하여 상기 게이트 절연막이 노출되도록 형성된 리페어 홀을 포함하는 전기영동표시장치의 리페어방법에 있어서, 상기 리페어 홀에 레이저를 조사하여 상기 게이트 절연막 및 상기 공통배선을 컷팅하는 단계를 포함한다.
상술한 바와 같은 전기영동표시장치는 리페어 공정을 위한 레이저가 조사되는 리페어 홀을 구비함으로써, 공통전극 상부에 형성된 보호막에 크랙의 발생을 방지하고, 이로 인한 게이트 배선과 데이터 배선의 단선이 유발되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
이하는 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 전기영동표시장치에 대해 상세히 설명하고자 한다.
도 2는 본 발명에 따른 전기영동표시장치용 어레이기판의 간략한 평면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 화상을 표시하는 표시영역(AA)에는 가로 방향의 게이트 배선(113)과 세로 방향의 데이터 배선(121)이 교차하여 화소영역(P)을 정의 하고 있으며, 상기 화소영역(P) 내에는 게이트 배선(113)과 데이터 배선(121)의 교차 부분에는 상기 게이트 배선(113) 및 데이터 배선(121)과 연결된 스위칭 소자인 박막 트랜지스터(T)가 형성되고, 박막 트랜지스터(T)와 전기적으로 연결된 화소전극(미도시)이 형성된다.
표시영역(AA)의 외측의 비표시영역(NA)에 있어서는, 일측에 상기 표시영역(AA)에 형성된 게이트 배선(113)과 연결되며, 외부의 구동회로와 연결되는 게이트 패드부(GPA)가 형성되어 있으며, 표시영역(AA)의 상측면의 비표시영역(NA)에는 외부의 데이터 구동회로(미도시)와 연결되며, 표시영역(AA) 내에 형성된 데이터 배선(121)과 연결되는 데이터 패드부(DPA)가 형성되어 있다.
또한, 상기 표시영역(AA)의 외측으로 두 측면에 형성되어 DC 공통전압 인가를 위한 제2 공통배선(172)이 형성되어 있으며, 상기 제2 공통배선(172)은 각각의 게이트 배선(113)과 평행하게 형성된 제1 공통배선(149)과 연결되어 있다. 이때, 상기 제2 공통배선(172)은 데이터 패드부(DPA)의 양끝단측에 위치한 양끝단을 통해 외부로부터 DC 공통 전압이 인가되고 있으며, 게이트 패드부(GPA)가 형성된 기판의 일측면 비표시영역(NA)에 위치한 제2 공통배선(172)는 상기 게이트 패드부(GPA)의 다수의 영역에서 외부로부터 DC 공통전압이 인가되고 있다. 이렇게 제2 공통배선(172)의 양측에서 공통전압을 인가하는 것은 배선 자체 저항으로 상기 제2 공통배선(172) 근처에 형성된 화소영역과 먼 쪽에 위치한 화소영역 내로 인가되는 전압이 달라지는 것을 방지하기 위함이다.
또한, 제1 공통배선(149)의 양측에 위치한 제2 공통배선(172)를 통해 공통전 압이 인가되기 때문에, 제1 공통배선(149)의 소정영역에서 단락이 발생되더라도 제1 공통배선(149)와 연결된 다른 화소영역의 공통전극(115)들에 공통전압이 인가될 수 있다.
이때, 제1 공통배선(149)를 통해 각 화소영역내에 형성된 공통전극(115)이 서로 연결되고, 각 화소영역의 경계부에 형성된 제1 공통배선(149)에 상응하도록 리페어 홀(미도시)이 더 형성된다.
이와 같은 리페어용 홀이 개시된 전기영동표시장치용 어레이기판의 화소영역들을 확대하여 보다 상세히 설명하고자 한다.
도 3a은 인접한 화소영역들을 확대하여 도시한 평면도이고, 도 3b는 도 3a의 Ⅰ-Ⅰ'선상 및 Ⅱ-Ⅱ'선상의 단면도이다.
먼저, 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 제1 화소영역(P1)에는 기판(111)상에 수평방향으로 게이트 배선(113)이 형성되고, 게이트 배선(113)에서 제1 화소영역(P1)방향으로 연장된 게이트 전극(113a)이 형성된다.
그리고, 상기 게이트 배선(113)과 일정간격만큼 이격되어 공통전극(115)이 형성되는 데, 이는 제1 화소영역(P1)내에서 플레이트 형태로 형성된다.
상기 게이트 배선(113)과 게이트 전극(113a) 및 공통전극(115)이 형성된 기판(111) 전면에 게이트 절연막(117)이 형성되고, 상기 게이트 전극(113a)에 상응하는 게이트 절연막(117)상에 반도체 패턴(119)이 형성된다.
그리고, 상기 게이트 배선(113)과 교차되는 수직방향으로 데이터 배선(121)이 형성되며, 이 데이터배선(121)에서 연장되는 소스전극(121a)과, 소스 전 극(121a)과 일정간격 이격되어 드레인 전극(123)이 형성되어 있다.
이때, 드레인 전극(123)은 화소 영역의 중심부로 돌출 형성되어 화소영역내에 플레이트 형상으로 형성된 공통전극(115)과 오버랩된다.
따라서, 드레인 전극(123)과 공통전극(115)은 게이트 절연막(117)을 사이에 둔 스토리지 커패시터가 된다.
상기 소스 전극(121a), 드레인 전극(123), 게이트 전극(113a)은 박막트랜지스터부를 이룬다.
이어서, 소스 전극(121a) 및 드레인 전극(123)이 형성된 기판(111) 전면에 보호막(125)을 두껍게 증착한 후 상기 보호막(125)을 선택적으로 패터닝하여 상기 드레인 전극(123)를 노출시키는 드레인 콘택홀(127)을 형성한다.
그리고, 상기 게이트 배선(113)과 데이터 배선(121)이 교차되어 정의되는 화소영역(P1)에는 화소전극(131)이 형성되어 상기 드레인 콘택홀(127)을 통해 드레인 전극(123)과 접속되어 있다. 여기서, 상기 화소전극(131)은 상기 게이트배선(113)과 데이터배선(121)이 교차되어 이루는 화소영역(P1) 내의 게이트 배선(113)과 데이터배선(121)에 걸처 오버랩되어 있다.
또한, 화소영역 각각에 형성된 플레이트 형상의 공통전극(115)들은 도 2에 도시된 제1 공통배선(149)을 통해 서로 연결된다.
따라서, 각 화소영역에 형성된 공통전극(115)들을 서로 연결하는 제1 공통배선(149)은 각 화소영역의 경계부에 형성되므로, 각 화소영역의 경계부에 리페어 홀(140)을 형성한다.
상기 리페어 홀(140)은 일영역의 공통전극(115)이 단선되었을 경우, 리페어 공정시 수행되는 레이저가 조사되는 영역이다. 다시 말해, 일 영역의 공통전극(115)이 단선되었을 경우, 해당 화소영역의 공통전극(115)과 연결된 제1 공통배선(149)을 레이저를 이용한 리페어공정을 통해 컷팅(cutting)하여 해당 화소영역의 공통전압이 공급되지 못하도록 하는 데, 이때, 레이저가 조사되는 영역이 상기 리페어 홀(140)이다.
이와 같이, 레이저가 조사되는 영역인 리페어 홀(140)은 각 화소영역의 경계부에 형성된 제1 공통배선(149)에 상응하는 보호막(125)을 제거하여 그 하부에 위치한 게이트 절연막(117)을 노출한다.
따라서, 일 영역의 공통전극(115)이단선되었을 경우, 이와 연결된 제1 공통배선(149)을 컷팅하기 위해, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 리페어 홀(140)에 레이저(A')를 조사하면, 보호막(125)은 이미 제거되어 있으므로, 게이트 절연막(117) 및 제1 공통배선(149)가 컷팅된다. 이로써, 제1 공통배선(149)을 컷팅하기 위해, 조사된 레이저를 통해 발생되는 보호막의 크랙을 방지할 수 있다.
이와 같은 리페어 홀(140)이 형성된 전기영동표시장치의 제조방법을 도 4a 내지 도 4d를 참조하여 보다 상세히 설명하고자 한다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 기판(111)상에 게이트배선을 형성하기 위한 도전층을 증착한 후 이를 선택적으로 패터닝하여 게이트 전극(113a), 게이트배선(도 3의 113)을 형성한다. 이때, 상기 도전층 패터닝시에 상기 게이트배선(도 3의 113)과 함께 게이트배선(도 3의 113)과 일정간격 이격되는 공통전극(115) 및 이와 연결 되는 제1 공통배선(149)을 동시에 형성한다.
이어, 게이트 배선(도 3의 113), 게이트 전극(113a), 공통전극(115) 및 제1 공통배선(149)이 형성된 기판(111)상에 게이트 절연막(117)을 형성한다.
도 4b에 도시된 바와 같이, 게이트 절연막(117)이 형성된 기판(111)상에 반도체층(미도시) 및 도전층을 증착하고 이를 패터닝하여 상기 반도체 패턴(119) 및 데이터배선(121)을 형성한다. 이때, 상기 도전층 패터닝시에 상기 데이터배선(121)과 함께 이 데이터배선(121)과 일정간격 이격되게 드레인전극(123)을 형성하고, 상기 데이터배선(121)에서 연장되도록 소스전극(121a)을 형성한다.
이때, 드레인 전극(123)은 화소영역의 중심부로 돌출 형성됨으로써, 화소영역의 중심부에 형성된 공통전극(115)과 오버랩되도록 형성되어 게이트 절연막(117)을 사이에 둔 스토리지 커패시터가 된다.
도 4c에 도시된 바와 같이, 상기 데이터배선(121), 드레인전극(123), 소스전극(121a)가 형성된 기판(111)상에 보호막(125)을 증착한 후, 상기 보호막(125)을 선택적으로 패터닝하여 상기 드레인 전극(123)을 노출시키는 드레인 콘택홀(127)을 형성한다.
이때, 상기 보호막(125) 패터닝시에 상기 드레인 콘택홀(127)의 형성과 함께 상기 각 화소영역의 경계부에 형성된 제1 공통배선(149)에 상응하는 게이트 절연막(117)이 노출되도록 보호막(125)을 패터닝하여 리페어 홀(140)을 형성한다.
도 4d에 도시된 바와 같이, 상기 드레인 콘택홀(127) 및 리페어 홀(140)을 포함한 보호막(125)상에 투명전극막을 증착한 후 이를 패터닝하여 화소전극(131)을 형성함으로써, 본 공정을 완료한다. 이때, 상기 화소전극(131)은 상기 드레인 콘택홀(127)을 통해 드레인전극(123)와 접속된다.
본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
도 1a은 종래기술에 따른 전기영동 표시장치를 개략적으로 설명하기 위한 단면도
도 1b는 종래 기술에 따른 전기영동표시장치를 도시한 단면도
도 2는 본 발명에 따른 전기영동표시장치용 어레이기판의 간략한 평면도
도 3a은 본 발명에 따른 전기영동표시장치의 인접한 화소영역들을 확대하여 도시한 평면도
도 3b는 도 3a의 Ⅰ-Ⅰ'선상 및 Ⅱ-Ⅱ'선상의 단면도
도 4a 내지 도 4d는 본 발명에 따른 전기영동표시장치의 제조방법을 도시한 단면도들
도 5는 본 발명에 따른 전기영동표시장치의 리페어 방법을 도시한 단면도

Claims (8)

  1. 기판상에 형성된 게이트배선, 게이트전극 및 상기 게이트 배선과 일정 간격 이격되어 형성되는 공통전극과,
    상기 게이트 배선을 포함한 상기 기판 전체에 형성된 게이트 절연막과,
    상기 게이트 배선과 교차되어 화소영역을 정의하는 데이터배선과, 상기 데이터 배선에서 연장된 소스 전극 및 소스 전극에서 일정간격 이격된 드레인 전극와,
    상기 데이터배선과 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한 기판 전체에 형성된 보호막과,
    상기 보호막상에 형성되고 상기 드레인 전극과 접속되는 화소전극 및
    상기 화소전극을 포함한 기판상에 형성된 전기영동필름을 포함하고,
    상기 각 화소영역에 형성된 공통전극을 서로 연결하며 각 화소영역의 경계부에 형성된 공통배선과,
    상기 공통배선에 상응하는 상기 보호막을 제거하여 상기 게이트 절연막이 노출되도록 형성된 리페어 홀을 구비하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 리페어 홀은
    상기 공통전극이 단선되면 레이저가 조사되는 영역인 것을 특징으로 하는 전기영동표시장치.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 공통전극은
    상기 화소영역의 중심부로 돌출된 드레인 전극과 오버랩되어 스토리지 커패시터를 형성하는 것을 특징으로 하는 전기영동표시장치.
  4. 제1 항에 있어서, 상기 화소전극은
    상기 화소영역내의 게이트 배선과 데이터 배선에 걸처 오버랩되는 것을 특징으로 하는 전기영동표시장치.
  5. 제1 기판 상에 게이트 전극, 게이트라인, 공통배선, 공통전극을 각각 형성하는 단계와,
    상기 게이트 전극 및 공통전극이 형성된 제1 기판 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계와,
    상기 게이트 절연막 상에 반도체 패턴과 소스/드레인 전극 및 데이터 라인을 형성하는 단계와,
    상기 소스/드레인전극이 형성된 제1 기판 상에 보호막을 형성한 후 패터닝하여, 상기 드레인 전극을 노출하는 드레인 콘택홀을 형성하고 동시에 상기 공통배선에 상응하는 상기 보호막을 제거하여 상기 게이트 절연막이 노출되는 리페어 홀을 형성하는 단계와,
    상기 드레인 전극과 전기적으로 접속하는 화소전극을 형성하는 단계를 포함하는 전기영동표시장치의 제조방법.
  6. 제5 항에 있어서, 상기 리페어 홀은
    상기 공통전극이 단선되면 레이저가 조사되는 영역인 것을 특징으로 하는 전기영동표시장치의 제조방법.
  7. 제5 항에 있어서, 상기 공통배선은
    상기 각 화소영역의 중심부에 형성된 상기 공통전극들을 서로 연결하며, 각 화소영역의 경계부에 형성되는 것을 특징으로 하는 전기영동표시장치의 제조방법.
  8. 기판상에 형성된 게이트배선, 게이트전극 및 상기 게이트 배선과 일정 간격 이격되어 형성되는 공통전극과, 상기 게이트 배선을 포함한 상기 기판 전체에 형성된 게이트 절연막과, 상기 게이트 배선과 교차되어 화소영역을 정의하는 데이터배선과, 상기 데이터 배선에서 연장된 소스 전극 및 소스 전극에서 일정간격 이격된 드레인 전극와, 상기 데이터배선과 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한 기판 전체에 형성된 보호막과, 상기 보호막상에 형성되고 상기 드레인 전극과 접속되는 화소전극 및 상기 화소전극을 포함한 기판상에 형성된 전기영동필름을 포함하고, 상기 각 화소영역에 형성된 공통전극을 서로 연결하며 각 화소영역의 경계부에 형성된 공통배선과, 상기 공통배선에 상응하는 상기 보호막을 제거하여 상기 게이트 절연막이 노출되도록 형성된 리페어 홀을 포함하는 전기영동표시장치의 리페어방법에 있어서,
    상기 리페어 홀에 레이저를 조사하여 상기 게이트 절연막 및 상기 공통배선을 컷팅하는 단계를 포함하는 전기영동표시장치의 리페어방법.
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