KR20100059261A - 기판 지지 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 지지 장치는 메인 플레이트, 서브 플레이트 및 직선 링크 유닛을 포함한다. 메인 플레이트는 기판을 지지한다. 서브 플레이트는 메인 플레이트와 동일한 평면을 갖도록 메인 플레이트의 일측에 배치되며, 기판을 지지한다. 직선 링크 유닛은 기판의 크기에 따라 기판의 지지영역을 가변하기 위해 서브 플레이트를 평면을 따라 직선 이동시킨다.

Description

기판 지지 장치{Apparatus for supporting a substrate}
본 발명은 기판 지지 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판 표시 소자의 제조에 사용되는 기판을 지지하기 위한 기판 지지 장치에 관한 것이다.
액정 표시 장치(LCD), 플라즈마 표시 장치(PDP), 유기 발광 소자(OLED)와 같은 평판 표시 소자는 대면적의 기판 상에 회로 패턴들을 형성하기 위한 다양한 단위 공정들을 수행하여 제조된다. 상기 단위 공정의 예로는 증착 공정, 사진 공정, 현상 공정, 세정 공정, 식각 공정, 스트립공정, 건조 공정 등을 들 수 있다.
일반적으로 기판 지지 장치가 상기 기판을 지지하고, 상기 단위 공정들은 상기 기판 지지 장치에 의해 지지된 기판에 대해 각각 수행될 수 있다. 상기 기판 지지 장치는 특정 크기의 기판을 지지에 적합하다. 따라서, 다양한 크기의 기판에 대해 상기 공정들을 수행하기 위해서는 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판 지지장치가 각각 구비될 수 있다.
그러므로, 상기 기판 지지장치들을 구비하는데 많은 비용이 소요될 수 있다. 또한, 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판 크기에 맞는 상기 기판 지지 장치를 선택해야 하므로, 상기 기판에 대한 공정 효율이 저하될 수 있다.
본 발명에 따르면 다양한 크기의 기판을 지지할 수 있는 기판 지지 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 기판 지지 장치는 기판을 지지하기 위한 메인 플레이트와, 상기 메인 플레이트와 동일한 평면을 갖도록 상기 메인 플레이트의 일측에 배치되며, 상기 기판을 지지하기 위한 서브 플레이트 및 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판의 지지영역을 가변하기 위해 상기 서브 플레이트를 상기 평면을 따라 직선 이동시키는 직선 링크 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 직선 링크 유닛는 일단이 상기 서브 플레이트와 선회적으로 결합하는 제1 링크와, 일단이 상기 메인 플레이트와 선회적으로 결합하고, 상기 일단과 반대되는 타단은 상기 제1 링크의 중앙 부위와 선회적으로 결합하는 제2 링크 및 상기 메인 플레이트의 하부에 구비되며, 상기 서브 플레이트를 상기 평면을 따라 이동시키기 위해 상기 제1 링크의 타단을 상기 평면과 수직한 방향으로 이동하는 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 서브 플레이트 및 상기 직선 링크 유닛은 상기 메인 플레이트의 측면 개수와 동일한 개수만큼 구비될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 지지 장치는 직선 링크 유닛을 이용하여 상기 기판의 크기에 따라 기판 지지영역을 가변할 수 있다. 따라서, 상기 기판 지지 장치는 다양한 크기의 기판을 지지할 수 있다.
또한, 상기 직선 링크 유닛이 상기 기판을 지지하는 서브 플레이트를 안정적으로 지지하므로, 상기 서브 플레이트가 정확한 직선 운동을 할 수 있고 상기 서브 플레이트의 자중에 의해 상기 서브 플레이트가 처지는 현상을 방지할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것 으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 장치(100)를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 지지 장치(100)를 설명하기 위한 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 기판 지지 장치(110)는 기판에 대한 가공 공정을 수행하기 위해 상기 기판을 지지하는 것으로, 메인 플레이트(110), 제1 서브 플레이트(120), 제2 서브 플레이트(130), 제1 직선 링크 유닛(140) 및 제2 직선 링크 유닛(150)을 포함한다.
상기 메인 플레이트(110)는 사각 평판 형태를 가지며, 수평 상태로 배치되어 상기 기판을 상면에 지지한다. 일 예로, 상기 메인 플레이트(110)는 상기 기판을 단순 지지할 수 있다. 다른 예로, 상기 메인 플레이트(110)는 내부에 정전기력을 발생하기 위한 전극을 포함하여 상기 기판을 정전기력으로 고정할 수 있다. 또 다른 예로, 상기 메인 플레이트(110)는 진공력에 제공되는 다수의 홀들을 가지며, 상기 메인 플레이트(110)가 상기 기판을 상기 진공력으로 흡착할 수 있다.
지지블록(112)은 상기 메인 플레이트(110)의 하부면에 구비되며, 상기 메인 플레이트(110)를 고정한다.
상기 제1 서브 플레이트(120)는 사각 평판 형태를 가지며, 수평 상태로 배치되어 상기 기판을 상면에 지지한다. 상기 제1 서브 플레이트(120)는 상기 메인 플레이트(110)와 동일한 평면에 배치된다. 상기 제1 서브 플레이트(120)는 상기 메인 플레이트(110)의 일측면(110a)과 인접한다.
상기 제2 서브 플레이트(130)는 사각 평판 형태를 가지며, 수평 상태로 배치되어 상기 기판을 상면에 지지한다. 상기 제2 서브 플레이트(130)는 상기 메인 플레이트(110)와 동일한 평면에 배치된다. 상기 제2 서브 플레이트(140)는 상기 일측면(110a)과 반대되는 상기 메인 플레이트(110)의 타측면(110b)과 인접한다.
따라서, 상기 제1 서브 플레이트(120)와 상기 제2 서브 플레이트(130)는 상기 메인 플레이트(110)의 양측에 각각 배치된다.
상기 메인 플레이트(110)와 마찬가지로, 상기 제1 서브 플레이트(120) 및 상기 제2 서브 플레이트(130)는 상기 기판을 단순 지지하거나, 상기 기판을 정전기력으로 고정하거나, 상기 기판을 상기 진공력으로 흡착할 수 있다. 상기 제1 서브 플 레이트(120) 및 상기 제2 서브 플레이트(130)의 크기는 상기 메인 플레이트(120)의 크기와 같거나 작은 것이 바람직하다.
한편, 도시되지는 않았지만, 상기 제1 서브 플레이트(120)와 상기 제2 서브 플레이트(130)가 수평 상태를 유지하도록 가이드하는 가이드 부재들이 각각 배치될 수 있다.
상기 제1 직선 링크 유닛(140)은 상기 제1 서브 플레이트(120)를 상기 수평 방향으로 이동시키기 위한 것으로, 제1 링크(142), 제2 링크(144) 및 제1 구동부(146)를 포함한다.
상기 제1 링크(142)의 일단(142a)은 상기 제1 서브 플레이트(120)의 하부면에 선회적으로 결합한다. 상기 결합의 예로는 힌지 결합을 들 수 있다.
상기 제2 링크(144)의 일단(144a)은 상기 메인 플레이트(110)의 일측면(110a) 하부면에 선회적으로 결합한다. 상기 일단(144a)과 반대되는 상기 제2 링크(144)의 타단(144b)은 상기 제1 링크(142)의 중앙 부위에 선회적으로 결합한다.
상기 제1 구동부(146)는 상기 지지블록(112)의 일측에 구비되며, 상기 일단(142a)과 반대되는 상기 제1 링크(142)의 타단(142b)과 선회적으로 결합한다. 상기 제1 구동부(146)는 상기 제1 링크(142)의 타단(142b)을 상기 평면과 수직하는 방향으로 직선 왕복 이동시킨다.
상기 제1 구동부(146)의 예로는 실린더, 리니어 모터, 볼 스크류와 상기 볼 스크류를 회전시키는 회전 모터 등을 들 수 있다.
상기 제1 링크(142)가 상기 제1 서브 플레이트(120)를 지지하고, 상기 제2 링크(144)는 상기 메인 플레이트(110)에 결합되어 상기 제1 링크(142)를 지지한다. 즉, 상기 제1 서브 플레이트(120)는 상기 제1 링크(142) 및 상기 제2 링크(144)에 의해 안정적으로 지지된다. 따라서, 상기 제1 서브 플레이트(120)의 자중에 의해 상기 제1 서브 플레이트(120)의 처짐을 방지할 수 있다.
상기 제2 직선 링크 유닛(150)은 상기 제2 서브 플레이트(130)를 상기 수평 방향으로 이동시키기 위한 것으로, 제3 링크(152), 제4 링크(154) 및 제2 구동부(156)를 포함한다.
상기 제3 링크(152)의 일단(152a)은 상기 제2 서브 플레이트(130)의 하부면에 선회적으로 결합한다.
상기 제4 링크(154)의 일단(154a)은 상기 메인 플레이트(110)의 타측면(110b) 하부면에 선회적으로 결합한다. 상기 일단(154a)과 반대되는 상기 제4 링크(154)의 타단(154b)은 상기 제3 링크(152)의 중앙 부위에 선회적으로 결합한다.
상기 제2 구동부(156)는 상기 지지블록(112)의 타측에 구비되며, 상기 일단(152a)과 반대되는 상기 제3 링크(152)의 타단(152b)과 선회적으로 결합한다. 상기 제2 구동부(156)는 상기 제3 링크(152)의 타단(152b)을 상기 평면과 수직하는 방향으로 직선 왕복 이동시킨다.
상기 제1 서브 플레이트(120)와 마찬가지 이유로, 상기 제2 서브 플레이트(130)는 상기 제3 링크(152) 및 상기 제4 링크(154)에 의해 안정적으로 지지된다. 따라서, 상기 제2 서브 플레이트(130)의 자중에 의해 상기 제2 서브 플레이트(130)의 처짐을 방지할 수 있다.
도 3은 도 1의 기판 지지 장치(100)의 기판 지지영역을 감소하는 동작을 설명하기 위한 측면도이고, 도 4는 도 1의 기판 지지 장치(100)의 기판 지지영역을 확대하는 동작을 설명하기 위한 측면도이다.
도 3을 참조하면, 상기 제1 구동부(146)가 상기 제1 링크(142)의 타단(142b)을 상기 수직 하방으로 이동시키면, 상기 제1 서브 플레이트(120)가 상기 메인 플레이트(110)와 인접하는 방향으로 이동한다. 상기 제2 구동부(156)가 상기 제3 링크(152)의 타단(152b)을 상기 수직 하방으로 이동시키면, 상기 제2 서브 플레이트(130)가 상기 메인 플레이트(110)와 인접하는 방향으로 이동한다.
상기 제1 서브 플레이트(120) 및 상기 제2 서브 플레이트(130)가 상기 메인 플레이트(110)와 접촉하거나 인접하므로, 상기 메인 플레이트(110)와 상기 제1 서브 플레이트(120) 및 상기 제2 서브 플레이트(130)의 기판 지지영역이 감소한다. 따라서, 상기 기판 지지 장치(100)는 상대적으로 작은 크기의 기판을 지지할 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 제1 구동부(146)가 상기 제1 링크(142)의 타단(142b)을 상기 수직 상방으로 이동시키면, 상기 제1 서브 플레이트(120)가 상기 메인 플레이트(110)와 이격하는 방향으로 이동한다. 상기 제2 구동부(156)가 상기 제3 링크(152)의 타단(152b)을 상기 수직 상방으로 이동시키면, 상기 제2 서브 플레이트(130)가 상기 메인 플레이트(110)와 이격하는 방향으로 이동한다.
상기 제1 서브 플레이트(120) 및 상기 제2 서브 플레이트(130)가 상기 메인 플레이트(110)와 이격되므로, 상기 메인 플레이트(110), 상기 제1 서브 플레이 트(120) 및 상기 제2 서브 플레이트(130)의 기판 지지영역이 증가한다. 따라서, 상기 기판 지지 장치(100)는 상대적으로 큰 크기의 기판을 지지할 수 있다.
상기 기판 지지 장치(100)는 상기 제1 직선 링크 유닛(140) 및 상기 제2 직선 링크 유닛(150)을 선택적으로 작동하여 상기 기판지지 영역의 크기를 조절할 수 있다. 또한, 상기 기판 지지 장치(100)는 상기 제1 구동부(146) 및 상기 제2 구동부(156)가 상기 제1 링크(142)의 타단(142b) 및 상기 제3 링크(152)의 타단(152b)의 이동 거리를 각각 조절하여 상기 기판지지 영역의 크기를 조절할 수 있다. 따라서, 상기 기판 지지 장치(100)는 상기 기판지지 영역을 크기를 다양하게 가변할 수 있으므로, 다양한 크기의 기판을 지지할 수 있다.
상기에서는 상기 제1 구동부(146) 및 상기 제2 구동부(156)가 상기 제1 링크(142)의 타단(142b) 및 상기 제3 링크(152)의 타단(152b)을 각각 상기 수직 방향으로 이동시키는 것으로 설명되었지만, 하나의 구동부가 상기 제1 링크(142)의 타단(142b) 및 상기 제3 링크(152)의 타단(152b)을 동시에 상기 수직 방향으로 이동시킬 수 있다.
또한, 상기 메인 플레이트(110)의 양측에 제1 서브 플레이트(120), 제2 서브 플레이트(130), 제1 직선 링크 유닛(140) 및 제2 직선 링크 유닛(150)이 구비되는 것으로 설명되었지만, 상기 메인 플레이트(110)의 나머지 두 측면에 제3 서브 플레이트, 제4 서브 플레이트, 제3 직선 링크 유닛 및 제4 직선 링크 유닛을 더 포함할 수 있다. 따라서, 상기 메인 플레이트(110)의 네 측면에 각각 상기 수평 방향으로 이동 가능한 서브 플레이트들이 구비될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 지지 장치는 직선 링크 유닛을 이용하여 상기 기판의 크기에 따라 기판 지지영역을 가변할 수 있다. 따라서, 상기 기판 지지 장치는 다양한 크기의 기판을 지지할 수 있다.
또한, 상기 직선 링크 유닛이 상기 기판을 지지하는 서브 플레이트를 안정적으로 지지하므로, 상기 서브 플레이트가 정확한 직선 운동을 할 수 있고 상기 서브 플레이트의 자중에 의해 상기 서브 플레이트가 처지는 현상을 방지할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 지지 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 도 1의 기판 지지 장치의 기판 지지영역을 감소하는 동작을 설명하기 위한 측면도이다.
도 4는 도 1의 기판 지지 장치의 기판 지지영역을 확대하는 동작을 설명하기 위한 측면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 기판 지지 장치 110 : 메인 플레이트
112 : 지지블록 120 : 제1 서브 플레이트
130 : 제2 서브 플레이트 140 : 제1 직선 링크 유닛
150 : 제2 직선 링크 유닛

Claims (3)

  1. 기판을 지지하기 위한 메인 플레이트;
    상기 메인 플레이트와 동일한 평면을 갖도록 상기 메인 플레이트의 일측에 배치되며, 상기 기판을 지지하기 위한 서브 플레이트; 및
    상기 기판의 크기에 따라 상기 기판의 지지영역을 가변하기 위해 상기 서브 플레이트를 상기 평면을 따라 직선 이동시키는 직선 링크 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 직선 링크 유닛은,
    일단이 상기 서브 플레이트와 선회적으로 결합하는 제1 링크;
    일단이 상기 메인 플레이트와 선회적으로 결합하고, 상기 일단과 반대되는 타단은 상기 제1 링크의 중앙 부위와 선회적으로 결합하는 제2 링크; 및
    상기 메인 플레이트의 하부에 구비되며, 상기 서브 플레이트를 상기 평면을 따라 이동시키기 위해 상기 제1 링크의 타단을 상기 평면과 수직한 방향으로 이동하는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 서브 플레이트 및 상기 직선 링크 유닛은 상기 메인 플레이트의 측면 개수와 동일한 개수만큼 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 지지 장치.
KR1020080117964A 2008-11-26 2008-11-26 기판 지지 장치 KR101071266B1 (ko)

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