KR20100028733A - Polishing device for flat panel display and driving method thereof and repair system having the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 평판표시패널용 연마장치와 그 구동방법 및 이를 구비하는 리페어 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판표시패널의 돌기 불량을 제거할 수 있는 평판표시패널용 연마장치 및 그 구동방법과, 상기 연마장치를 구비하면서 구동불량화소도 수리할 수 있는 리페어 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a polishing apparatus for a flat panel display panel, a driving method thereof, and a repair system having the same. More specifically, the present invention relates to a polishing apparatus for a flat panel display panel and a driving method thereof capable of removing a defect of a flat panel display panel. The present invention relates to a repair system that can repair a defective driving pixel while including the polishing apparatus.
최근에는 핸드폰, 노트북, PDA(Personal Digital Assistants) 및 대형 TV와 같은 디스플레이의 수요가 증가함에 따라 두께가 얇고 가벼운 평판 디스플레이 (Flat Panel Display) 분야의 발전이 진행되고 있다.Recently, as the demand for displays such as mobile phones, notebook computers, PDAs (Personal Digital Assistants) and large TVs increases, the development of the thin and light flat panel display field is progressing.
이러한, 평판 디스플레이에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD), 유기 전계 발광 표시장치(Organic Light Emitting Diode display; OLED) 등이 있는데, 상기 평판 디스플레이의 핵심은 투명한 기판 사이에 매트릭스 형태로 배열되는 다수개의 화소를 박막형태로 증착하여 평판표시패널을 형성하는데 있다. 이때, 상기 화소는 전기배선인 다수개의 데이터라인과 게이트라인에서 인가되는 전기신호에 의해 구동된다.Such a flat panel display includes a liquid crystal display (LCD), an organic light emitting diode display (OLED), and the like, and a core of the flat panel display is arranged in a matrix form between transparent substrates. Pixels are deposited in a thin film form to form a flat panel display panel. In this case, the pixel is driven by an electrical signal applied from a plurality of data lines and gate lines, which are electric wirings.
하지만, 상기 박막을 형성하는 제조공정에서는 박막의 불균일성과 이물 등의 유입에 의한 돌기 형태의 불량이 발생되는 경우가 있는데, 이와 같은 돌기 불량은 기판 사이의 높이 편차를 발생시키게 되어, 특히 대면적 패널에서는 빛의 투과율을 방해하고 전기적인 단락 또는 단선을 초래할 수도 있다.However, in the manufacturing process for forming the thin film, there are cases where protrusion defects occur due to non-uniformity of the thin film and inflow of foreign matters, and such protrusion defects cause height deviations between the substrates, especially large area panels. In this case, the transmittance of light may be disturbed and electrical short or disconnection may be caused.
또한, 상기 다수개의 화소 중에서 배선의 일부가 단선될 경우에는 해당 화소는 전기적으로 오프(off)되어 구동되지 않는 구동불량화소를 초래할 수도 있다.In addition, when a part of the wiring is disconnected among the plurality of pixels, the pixel may be electrically turned off, resulting in a driving failure pixel that is not driven.
먼저, 상기 돌기불량을 수리하기 위하여 종래에는 연마수단을 이용하여 일정높이만큼 제거하는 연마공정을 진행하였다. 하지만, 이러한 종래기술에 의한 연마장치의 경우에는 돌기와 연마장치의 정렬상태를 알 수 없으며, 연마공정이 진행되는 동안에도 돌기의 상태를 볼 수가 없다. 따라서, 별도의 측정기로 돌기의 높이를 측정한 후 돌기를 일정 깊이만큼 연마하고, 다시 측정기로 돌기 높이를 측정하는 과정을 반복하여야만 했다. 그 결과, 연마 정확도가 저하되며 반복과정으로 인해 공정시간이 증가하는 문제점이 있었다.First, in order to repair the protrusion defects, the polishing process of removing the protrusion by a predetermined height is conventionally performed. However, in the case of the polishing apparatus according to the related art, the alignment state of the projection and the polishing apparatus cannot be known, and the state of the projection cannot be seen even during the polishing process. Therefore, after measuring the height of the projections with a separate measuring instrument, the process of grinding the projections to a certain depth, and again measuring the height of the projections with a measuring instrument had to be repeated. As a result, the polishing accuracy is lowered and there is a problem that the process time increases due to the repeated process.
다음으로, 상기 구동불량화소를 수리하기 위하여 종래에는 불량화소를 프로브를 이용하여 검출한 후 전도성물질을 증착하여 단선된 배선을 연결함으로써 리페어공정을 수행하였으나, 상기 프로브를 이용하는 방법은 평판표시패널과 직접 접촉함으로써 간섭에 의한 2차 불량이 발생될 수 있는 문제점이 있다. Next, in order to repair the defective pixel, a repair process is performed by detecting defective pixels using a probe and then connecting a wire disconnected by depositing a conductive material. However, the method of using the probe includes a flat panel display panel. There is a problem that a secondary failure may occur due to interference by direct contact.
더욱이, 상기 연마공정과 구동불량화소의 리페어공정은 각각의 분리된 장치에서 나누어 진행됨으로서 공정시간과 설비비용이 증가하는 문제점도 있었다.In addition, the polishing process and the repair process of the defective pixel have been divided in each separate device, there is a problem that the process time and equipment cost increases.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로, 연마장치의 정렬 정확도와 돌기의 연마상태를 3차원 영상으로 확인할 수 있는 연마장치와 그 구동방법을 제공하는데 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to solve the above problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a polishing apparatus and a driving method thereof capable of confirming the alignment accuracy of the polishing apparatus and the polishing state of the projection in a three-dimensional image.
또한, 연마공정과 구동불량화소의 리페어공정을 하나의 장치에서 진행할 수 있는 평판표시패널용 연마장치와 그 구동방법 및 이를 구비하는 리페어 시스템을 제공하는데 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a polishing apparatus for a flat panel display panel, a method of driving the same, and a repair system having the same, which allows the polishing process and the repairing operation of the defective pixel to be performed in one apparatus.
본 발명의 상기 목적은 평판표시패널이 안착되는 스테이지가 상부에 위치하는 리페어 테이블; 상기 리페어 테이블 상에 위치하는 X축 이동부; 상기 X축 이동부 상에 위치하는 Y축 이동부; 상기 Y축 이동부에 위치하며 상기 평판표시패널에 형성된 돌기를 검출하는 영상측정부; 및 상기 Y축 이동부에 위치하며 상기 돌기를 회전하여 연마하는 연마수단을 구비하는 연마부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시패널용 연마장치에 의해 달성된다.The object of the present invention is a repair table having a stage on which a flat panel display panel is mounted; An X-axis moving unit positioned on the repair table; A Y-axis moving unit positioned on the X-axis moving unit; An image measuring unit positioned on the Y-axis moving unit and detecting protrusions formed on the flat panel display panel; And a polishing unit positioned on the Y-axis moving unit and having polishing means for rotating and polishing the projections.
또한, (a) 영상측정부에서 평판표시패널의 영상정보를 생성하는 단계; (b) 상기 영상정보를 분석하여 상기 평판표시패널에 형성된 돌기를 검출하는 단계; (c) 상기 돌기 상에 연마수단이 정위치되는지 여부를 상기 영상측정부로 확인하는 단계; 및 (d) 상기 돌기를 연마하면서 상기 영상측정부로 상기 돌기의 상태를 확인하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시패널용 연마장치의 구동방법에 의 해서도 달성된다.In addition, (a) the image measuring unit to generate the image information of the flat panel display panel; (b) analyzing the image information to detect protrusions formed on the flat panel display panel; (c) checking with the image measuring unit whether the grinding means is positioned on the protrusion; And (d) checking the state of the protrusions with the image measuring unit while polishing the protrusions.
또한, 평판표시패널이 안착되는 스테이지가 상부에 위치하는 리페어 테이블; 상기 리페어 테이블 상에 위치하는 X축 이동부; 상기 X축 이동부 상에 위치하는 Y축 이동부; 상기 Y축 이동부에 위치하며 상기 평판표시패널의 구동불량화소 및 테스트 패드에 대하여 리페어 작업을 수행하는 화학기상 증착부; 상기 화학기상 증착부에 결합되며 상기 평판표시패널에 형성된 돌기를 검출하는 영상측정부; 및 상기 화학기상 증착부에 결합되며 상기 돌기를 회전하여 연마하는 연마수단을 구비하는 연마부를 포함하는 것을 특징으로 하는 리페어 시스템에 의해서도 달성된다.In addition, a repair table on which the stage on which the flat panel display panel is mounted is located; An X-axis moving unit positioned on the repair table; A Y-axis moving unit positioned on the X-axis moving unit; A chemical vapor deposition unit positioned in the Y-axis moving unit and performing repair on a defective pixel and a test pad of the flat panel display panel; An image measuring unit coupled to the chemical vapor deposition unit and detecting protrusions formed on the flat panel display panel; And a polishing unit coupled to the chemical vapor deposition unit and having polishing means for rotating and polishing the protrusions.
본 발명에 따르면, 연마장치의 정렬 정확도와 연마공정 중의 돌기 상태를 3차원 영상으로 확인할 수 있어서 비접촉 방식으로 평판표시패널의 돌기불량을 검출할 수 있으며 공정시간을 단축시키면서도 양호한 연마도를 얻을 수 있다. According to the present invention, the alignment accuracy of the polishing apparatus and the projection state during the polishing process can be confirmed in a three-dimensional image, so that the projection defect of the flat panel display panel can be detected in a non-contact manner, and the polishing time can be obtained while reducing the processing time. .
또한, 본 발명에 따르면, 연마공정과 구동불량화소의 리페어공정을 하나의 장치에서 진행할 수 있어 공정 및 설비비용을 절약할 수 있는 효과도 얻을 수 있다.In addition, according to the present invention, the polishing process and the repair process of the defective driving pixel can be performed in one apparatus, and thus, the effect of saving the process and equipment costs can be obtained.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시 예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해보다 명확하게 이해될 것이다.Details of the above object, technical configuration and effects according to the present invention will be more clearly understood by the following detailed description with reference to the drawings showing preferred embodiments of the present invention.
도 1은 본 발명에 의한 평판표시패널용 연마장치의 사시도이다.1 is a perspective view of a polishing apparatus for a flat panel display panel according to the present invention.
도 2는 도 1의 연마부(300)의 확대도이다.2 is an enlarged view of the
도 3a는 도 1의 영상측정부(400)의 결합도이다.3A is a coupling diagram of the
도 3b는 도 1의 영상측정부(400)의 측면도이다.3B is a side view of the
먼저, 도 1을 참조하면, 본 발명에 의한 평판표시패널용 연마장치는 리페어 테이블(100), 테이블이동부(200), 연마부(300), 영상측정부(400), 스테이지(500)을 포함하며 구성된다.First, referring to FIG. 1, a flat panel display panel polishing apparatus according to the present invention includes a repair table 100, a
일명 갠트리(Gantry)라고도 하는 리페어 테이블(100)은 지면에 대하여 견고하게 설치되어 외부의 진동이나 충격을 방지할 수 있는 금속 재질의 프레임 구조물이다. 이때, 리페어 테이블(100)은 보다 신뢰성 있는 리페어공정을 진행하기 위해 정확한 수평을 형성한다. Repair table 100, also known as a gantry (Gantry) is a metal frame structure that is firmly installed on the ground to prevent external vibration or impact. At this time, the repair table 100 forms an accurate horizontal line in order to proceed with a more reliable repair process.
다음으로, 테이블이동부(200)는 리페어 테이블(100) 상을 X축, Y축 방향으로 이동할 수 있는 이동수단으로 X축 이동부(210)와 Y축 이동부(220)로 구성된다. 보다 상세하게 설명하면, 리페어 테이블(100)의 상부 장변에는 한 쌍의 레일(110)이 서로 마주보며 설치되고, 레일(110) 상에는 레일(110)과 수직하며 형성된 X축 이동부(210)가 결합된다. 따라서, X축 이동부(210)는 레일(110) 상을 X축 방향으로 용이하게 이동할 수 있다. Next, the
또한, X축 이동부(210) 상에는 상기 X축 이동부(210) 보다 크기가 작은 Y축 이동부(220)가 결합되어 X축 이동부(210) 상을 Y축 방향으로 이동할 수 있게 된다.In addition, the Y-
결국, Y축 이동부(220)는 리페어 테이블(100) 상의 임의의 X, Y좌표에 용이하게 이동할 수 있게 된다. 이때, X축 이동부(210)와 Y축 이동부(220)는 미도시된 모터의 구동력에 의해 동작하게 된다. As a result, the Y-
다음으로, 도 2를 참조하면, Y축 이동부(220)에 설치되는 연마부(300)는 제1 모터(312)에 의해 Y축으로 이동하는 제1 이동수단(311)을 구비하는 제1 이동부(310), 제2 모터(322)에 의해 Z축으로 이동하는 제2 이동수단(321)을 구비하는 제2 이동부(320), 제3 모터(332)에 의해 X축으로 이동하는 제3 이동수단(331)을 구비하는 제3 이동부(330) 및 연마수단(340)을 포함하며 구성된다.Next, referring to FIG. 2, the
보다 상세하게 설명하면, 제1 이동부(310)는 Y축 방향으로 이동할 수 있는 제1 이동수단(311)과 제1 이동수단(311)의 일단에는 제1 모터(312)가 구비된다. 이러한, 제1 이동수단(311)은 제1 모터(312)에서 전달되는 회전운동을 직선운동으로 전환하여 Y축 방향으로 이동할 수 있다.In more detail, the first moving unit 310 is provided with a first moving
또한, 제1 이동부(310)와 수직방향으로 결합되는 제2 이동부(320)는 Z축 방향으로 이동할 수 있는 제2 이동수단(321)과 제2 이동수단(321)의 일단에는 제2 모터(322)가 구비된다. 이러한, 제2 이동수단(321)은 제2 모터(322)에서 전달되는 회전운동을 직선운동으로 전환하여 Z축 방향으로 이동할 수 있다.In addition, the second moving part 320 coupled to the first moving part 310 in a vertical direction has a second moving means 321 and a
또한, 제2 이동부(320)와 수직방향으로 결합되는 제3 이동부(330)는 X축 방향으로 이동할 수 있는 제3 이동수단(331)과 제3 이동수단(331)의 일단에는 제3 모터(332)가 구비된다. 이러한, 제3 이동수단(331)은 제3 모터(332)에서 전달되는 회전운동을 직선운동으로 전환하여 X축 방향으로 이동할 수 있다.In addition, the third moving part 330 coupled to the second moving part 320 in the vertical direction may include a third moving
이때, 제1, 제2, 제3 모터(312, 322, 332)는 각도를 제어할 수 있는 공지된 모터를 제한 없이 사용할 수 있으나 보다 바람직하게는 인가되는 펄스신호에 의해 정밀하면서도 제어가 용이한 스테핑 모터(Stepping Motor)를 사용할 수 있다. In this case, the first, second, and
이러한, 제1, 제2, 제3 모터(312, 322, 332)와 각각 연결되는 제1, 제2, 제3 이동수단(311, 321, 331)은 볼 스크류(Ball screw) 또는 LM 가이드와 같은 선형운동장치를 사용하여 모터의 회전운동을 직선운동으로 전환할 수 있다.The first, second, and third moving means 311, 321, and 331 connected to the first, second, and
한편, 연마수단(340)은 제3 이동부(330)와 결합되는데 회전장치에 의해 회전되어 평판표시패널(600)의 돌기를 연마시키는 장치이다. 이러한, 연마수단(340)은 다양한 타입을 사용할 수 있는데, 일 예로, 휠(wheel), 블레이드(blade), 샤프트(shaft) 타입 중 어느 하나를 사용할 수 있다.On the other hand, the grinding means 340 is coupled to the third moving unit 330 is rotated by a rotating device to polish the projections of the flat
이때, 연마수단(340)은 영상측정부(400)와는 일정각도를 형성하며 위치된다. 따라서, 제1, 제2, 제3 이동부(310, 320, 330)를 이용하여 연마수단(340)의 위치를 X, Y, Z축으로 제어하면, 평판표시패널(600)에 돌기가 어떠한 위치에 형성되거나 정밀하게 연마할 수 있다. 또한, 돌기의 재질이나 다양한 형상에 따라 연마수단(340)의 각도를 제어하면 보다 정밀한 연마도를 얻을 수도 있다. At this time, the grinding means 340 is positioned to form a predetermined angle with the
다음으로, 영상측정부(400)는 Y축 이동부(220)에 설치되는데, 도 3a 및 도3b를 참조하면, 영상을 분석하여 공간상의 삼차원 위치값(X,Y,Z)을 얻는 3차원 영상측정장치일 수 있으며, 상기 위치값의 검출은 고해상도 카메라에서 영상획득 및 분석(image processing)과정을 진행하여 이루어진다. 따라서, 실제 피측정물인 평판표시패널(600)과 접촉하지 않고 측정하기 때문에 평판표시패널(600)에 물리적 손상을 주기 않고도 돌기불량의 위치를 검출할 수 있다.Next, the
이와 같은 영상측정부(400)는 Z축 방향으로 이동할 수 있는 영상측정이동 부(410)를 구비하여 Z축 방향으로 이동을 할 수 있다. 이때, 영상측정부(400)는 영상측정이동부(410)와 하나 또는 다수개의 고정대(420)에 의해 용이하게 결합될 수 있다.The
다음으로, 스테이지(500)는 평판표시패널(600)이 안착되어 정렬수단으로, 리페어 테이블(100) 상에 수평상태로 고정된다. Next, the
이상의 상세한 설명에서는 설명의 편의를 위해 평판표시패널(600)를 하나의 패널로 설명하였지만, 실제로 평판표시패널(600)은 대면적의 마더기판에 다수개의 단위패널들이 형성된 구조(도 1에서는 8개로 도시됨)이며, 이후의 커팅공정에서 단위패널로 절단되며 데드영역은 제거된다. 또한, 평판표시패널(600)은 칼라필터기판일 수도 있다.In the above detailed description, the flat
도 4는 본 발명에 의한 평판표시패널용 연마장치의 동작을 나타내는 도면이다.4 is a view showing the operation of the polishing apparatus for flat panel display panel according to the present invention.
도 4를 참조하면, 이때, 연마수단(340)은 영상측정부(400)와는 일정한 각도(a)를 형성하며 회전하여 평판표시패널(600)의 돌기를 연마하게 되는데 일정각도(a)는 공정조건에 따라 다양하게 조절될 수 있다. 따라서, 연마수단(340)으로 돌기를 연마함과 동시에 영상측정부(400)로는 돌기상태를 측정할 수 있어서 정렬 정확도 향상과 공정시간을 단축시키면서도 양호한 연마도를 얻을 수 있다. Referring to FIG. 4, at this time, the grinding means 340 is rotated to form a constant angle (a) with the
또한, 평판표시패널(600)과 직접 접촉 없이도 돌기불량을 용이하게 3차원 영상으로 확인 할 수 있다.In addition, the projection defect can be easily confirmed as a three-dimensional image without direct contact with the flat
이러한, 본 발명에 의한 평판표시패널용 연마장치는 동작을 설명하고 있는 도 5를 참조한 이하의 상세한 설명에 의해 보다 명확해질 것이다.Such a polishing apparatus for a flat panel display panel according to the present invention will become more apparent from the following detailed description with reference to FIG.
도 5는 본 발명의 평판표시패널용 연마장치의 구동방법이다.5 is a driving method of the polishing apparatus for flat panel display panel of the present invention.
도 5를 참조하면, 먼저, 영상측정부(400)에서 평판표시패널(600)의 영상정보를 생성하는 단계를 진행한다(S10). 이어서, 상기 영상을 분석하여 평판표시패널(600)에 형성된 돌기를 검출하는 단계를 진행한다(S20). 이어서, 상기 돌기 상에 연마수단(340)이 정위치 되는지 여부를 영상측정부(400)로 확인하는 단계를 진행한다(S30). 이어서, 상기 돌기를 연마하면서 영상측정부(400)로 상기 돌기의 상태를 확인하는 단계를 진행한다(S40). Referring to FIG. 5, first, the
연마수단(340)은 영상측정부(400)와 일정각도를 형성하며 상기 돌기를 연마하고, 상기 정위치와 상기 돌기의 상태는 영상측정부(400)를 통해 3차원 영상으로 확인된다. 따라서, 이러한 순서로 평판표시패널용 연마장치를 구동하면 돌기와 연마수단(340)의 정렬상태를 영상으로 확인할 수 있고, 돌기의 연마공정 중에도 돌기 상태를 확인할 수 있어서 보다 양호한 연마도를 얻을 수 있다. 또한, 영상정보를 이용함으로써 비접촉 방식으로 평판표시패널(600)의 돌기불량을 검출할 수 있다.The grinding means 340 forms a predetermined angle with the
도 6은 본 발명에 의한 평판표시패널용 연마장치를 구비하는 리페어 시스템의 사시도이다.6 is a perspective view of a repair system including a polishing apparatus for a flat panel display panel according to the present invention.
도 7은 도 6의 연마부(300)의 확대도이다.FIG. 7 is an enlarged view of the
도 8은 도 6의 영상측정부(400)의 결합도이다.8 is a coupling diagram of the
도 6을 참조하면, 본 발명에 의한 평판표시패널용 연마장치를 구비하는 리페어 시스템은 리페어 테이블(100), 테이블이동부(200), 연마부(300), 영상측정 부(400), 스테이지(500) 및 화학기상 증착부(700)를 포함하며 구성된다.Referring to FIG. 6, a repair system including a polishing apparatus for a flat panel display panel according to the present invention includes a repair table 100, a
이러한, 리페어 시스템은 평판표시패널용 연마장치에 화학기상 증착부(700)가 추가된 것이며, 화학기상 증착부(700)에 연마부(300)와 영상측정부(400)가 결합되는 것 이외의 구성은 도 1를 중심으로 설명된 평판표시패널용 연마장치와 동일함으로 중복을 피하기 위해 설명을 생략한다. In the repair system, the chemical
화학기상 증착부(700)는 Y축 이동부(220)에 설치되는데 평판표시패널(600) 의 구동불량화소를 찾아 전도성 물질을 증착하여 배선을 연결함으로써 리페어공정을 수행하는 장치이다. 이때, 구동불량화소를 검출하기 위하여 화학기상 증착부(700)에는 평판표시패널(600)의 데이터라인과 게이트라인에 접촉 가능한 프로브 유닛(미도시)과 상기 검출 과정을 관측할 수 있는 광학부(미도시)를 포함할 수 있다. 하지만 반드시 상기 프로브 유닛과 상기 광학부를 이용하여 구동불량화소를 검출하는 방식에 한정되는 것은 아니고 영상측정부(400)를 이용하여 구동불량화소를 검출할 수도 있다.The chemical
이러한, 화학기상 증착부(700)는 도면상에 도시되지는 않았지만, 평판표시패널(600)의 구동불량화소 상에 리페어 작업을 위한 화학기상 증착공간을 제공하는 챔버와, 상기 챔버에 의해 제공되는 공간으로 레이저를 조사하는 레이저부 및 상기 레이저부에서 조사된 레이저의 광로와 초점을 조절하는 광학부를 포함하여, 평판표시패널(600)의 구동불량화소 및 평판표시패널(600)의 데드영역에 위치하는 테스트 패드에 대하여 리페어 작업을 수행할 수 있다.Although not shown in the drawing, the chemical
따라서, 본 발명의 리페어 시스템에 따르면 비접촉 방식으로 평판표시패널의 구동불량화소를 검출할 수 있으며, 연마공정과 구동불량화소의 리페어공정을 하나의 장치에서 진행할 수 있어 공정 및 설비비용을 절약할 수 있는 효과도 얻을 수 있다.Therefore, according to the repair system of the present invention, it is possible to detect a drive failure pixel of a flat panel display panel in a non-contact manner, and to carry out a polishing process and a repair process of a drive failure pixel in one device, thereby saving process and equipment costs. You can also get the effect.
다음으로, 도 7 및 도 8을 참조하면, 연마부(300)와 영상측정부(400)는 화학기상 증착부(700)에 결합되어 Y축 이동부(220)에 설치되는데, 이때, 화학기상 증착부(700)와 용이하게 결합하기 위하여 연마부(300)에는 제1 고정 브라켓(350)이 구비되고, 영상측정부(400)에는 제2 고정 브라켓(430)을 더욱 구비되는 것 이외의 구성은 평판표시패널용 연마장치와 동일하다. Next, referring to FIGS. 7 and 8, the polishing
본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기 실시 예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.Although the present invention has been shown and described with reference to preferred embodiments as described above, it is not limited to the above embodiments and various modifications made by those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention. Modifications and variations are possible. Such modifications and variations are intended to fall within the scope of the invention and the appended claims.
도 1은 본 발명에 의한 평판표시패널용 연마장치의 사시도이다.1 is a perspective view of a polishing apparatus for a flat panel display panel according to the present invention.
도 2는 도 1의 연마부(300)의 확대도이다.2 is an enlarged view of the polishing
도 3a는 도 1의 영상측정부(400)의 결합도이다.3A is a coupling diagram of the
도 3b는 도 1의 영상측정부(400)의 측면도이다.3B is a side view of the
도 4는 본 발명에 의한 평판표시패널용 연마장치의 동작을 나타내는 도면이다.4 is a view showing the operation of the polishing apparatus for flat panel display panel according to the present invention.
도 5는 본 발명의 평판표시패널용 연마장치의 구동방법이다.5 is a driving method of the polishing apparatus for flat panel display panel of the present invention.
도 6은 본 발명에 의한 평판표시패널용 연마장치를 구비하는 리페어 시스템의 사시도이다.6 is a perspective view of a repair system including a polishing apparatus for a flat panel display panel according to the present invention.
도 7은 도 6의 연마부(300)의 확대도이다.FIG. 7 is an enlarged view of the
도 8은 도 6의 영상측정부(400)의 결합도이다.8 is a coupling diagram of the
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
100: 리페어 테이블(갠트리)100: repair table (gantry)
200: 테이블이동부200: table moving part
210: X축 이동부210: X axis moving part
220: Y축 이동부220: Y axis moving part
300: 연마부300: polishing part
310: 제1 이동부310: first moving part
311: 제1 이동수단311: first means of transportation
312: 제1 모터312: first motor
320: 제2 이동부320: second moving part
321: 제2 이동수단321: second means of transportation
322: 제2 모터322: second motor
330: 제3 이동부330: third moving part
331: 제3 이동수단331: third means of transportation
332: 제3 모터332: third motor
340: 연마수단340: grinding means
400: 영상측정부400: image measuring unit
500: 스테이지500: stage
600: 평판표시패널600: flat panel display panel
700: 화학기상 증착부700: chemical vapor deposition unit
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109623602A (en) * | 2017-10-09 | 2019-04-16 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | The method of sucker automatic cleaning apparatus and method, automatic identification sucker abnormal point |
CN114559277A (en) * | 2021-08-16 | 2022-05-31 | 宜兴市国昌轧辊有限公司 | Surface repairing process for forging and casting |
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