KR101027472B1 - Focusing apparatus of camera for flat pannel display - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판표시소자 검사용 카메라의 포커싱장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수의 카메라가 장착되는 카메라블럭의 양측을 동기구동하여 Z축방향으로 미세구동할 수 있는 평판표시소자 검사용 카메라의 포커싱장치에 관한 것이다. The present invention relates to a focusing device for a camera for inspecting a flat panel display device, and more particularly, to a flat display device inspection camera capable of fine driving in the Z-axis direction by synchronously driving both sides of a camera block on which a plurality of cameras are mounted. It relates to a focusing device.

본 발명에 의한 평판표시소자 검사용 카메라의 포커싱장치는 검사용 카메라가 적어도 1 이상 장착되는 카메라블럭; 상기 카메라블럭의 양단 하부에 구비되며, 저면에 경사면을 갖는 제1 및 제2고정브라켓; 상면에 상기 제1 및 제2고정브라켓의 경사면에 맞닿는 경사면을 갖는 제1 및 제2이동브라켓; 상기 제1 및 제2이동브라켓이 구비되는 이동플레이트; 및 상기 이동플레이트를 수평방향으로 이동시키는 이동수단;을 포함한다. The focusing device of the camera for inspecting a flat panel display device according to the present invention comprises: a camera block on which at least one inspection camera is mounted; First and second fixing brackets provided at lower ends of the camera block and having an inclined surface on a bottom surface thereof; First and second moving brackets having an inclined surface that is in contact with the inclined surfaces of the first and second fixing brackets on an upper surface thereof; A moving plate provided with the first and second moving brackets; And moving means for moving the moving plate in a horizontal direction.

패턴검사. 브라켓. 구동원. 경사면. Pattern inspection. Brackets. Driving source. incline.

Description

평판표시소자 검사용 카메라의 포커싱장치{FOCUSING APPARATUS OF CAMERA FOR FLAT PANNEL DISPLAY}FOCUSING APPARATUS OF CAMERA FOR FLAT PANNEL DISPLAY}

본 발명은 평판표시소자 검사용 카메라의 포커싱장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수의 카메라가 장착되는 카메라블럭의 양측을 동기구동하여 Z축방향으로 미세구동할 수 있는 평판표시소자 검사용 카메라의 포커싱장치에 관한 것이다. The present invention relates to a focusing device for a camera for inspecting a flat panel display device, and more particularly, to a flat display device inspection camera capable of fine driving in the Z-axis direction by synchronously driving both sides of a camera block on which a plurality of cameras are mounted. It relates to a focusing device.

최근 컴퓨터, 텔레비젼, 핸드폰 등 전자기기의 수요가 폭발적으로 증가함에 따라 이러한 전자기기에 필수적으로 사용되는 평판표시소자에 대한 수요도 함께 증가하고 있다. 이러한 평판표시소자(Flat Panel Display)로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display) 등이 있으며, 그 중에서 고화질 구현이 가능하고, 이미 양산 기술이 구현되어 있는 LCD가 가장 각광받고 있다.Recently, as the demand for electronic devices such as computers, TVs, mobile phones and the like explode, the demand for flat panel display devices used in such electronic devices is also increasing. Such flat panel displays include liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), field emission displays (FEDs), among which high-definition and high-volume LCDs are already implemented. Is most in the spotlight.

이러한 평판표시소자를 제조하기 위하여는 각 소자의 종류에 따라 다양한 공정을 거치게 되는데, 예를 들어 LCD의 경우, 상부기판과 하부기판 및 양 기판 사이에 형성된 액정으로 이루어진다. 일반적으로 하부기판은 TFT기판이며, 상부기판은 칼라 필터(Color Filter) 기판이다. In order to manufacture such a flat panel display device, various processes are performed according to the type of each device. For example, an LCD includes a liquid crystal formed between an upper substrate, a lower substrate, and both substrates. In general, the lower substrate is a TFT substrate, and the upper substrate is a color filter substrate.

따라서 TFT기판 또는 칼라필터 기판을 제조한 후, 패턴검사장치를 이용하여 각 기판의 패턴을 검사하게 된다. Therefore, after manufacturing the TFT substrate or the color filter substrate, the pattern of each substrate is inspected using a pattern inspection apparatus.

종래의 패턴 검사장치는 TFT기판 또는 칼라필터기판 등의 피검사체를 안착하는 척 스테이지와, 상기 피검사체에 광을 조사하는 복수의 광원부와, 상기 피검사체로부터 반사된 광을 획득하여 피검사체를 촬상하는 복수의 렌즈부와 복수의 카메라 등을 포함하여 이루어진다. The conventional pattern inspection apparatus captures an inspection object by acquiring a chuck stage for mounting an inspection object such as a TFT substrate or a color filter substrate, a plurality of light source units for irradiating light onto the inspection object, and light reflected from the inspection object. And a plurality of lens units, a plurality of cameras, and the like.

일반적으로 패턴 검사장치는 복수의 광원부와, 렌즈부와 카메라부는 하나의 카메라블럭에 장착되어 피검사체의 서로 다른 영역을 촬상한다. In general, the pattern inspecting apparatus includes a plurality of light source units, a lens unit, and a camera unit mounted on one camera block to capture different areas of the inspected object.

한편, 피검사체의 촬상 전에 복수의 카메라들의 X,Y,Z축 포커싱이 요구되는데, 이것은 카메라블럭의 X,Y,Z축 방향 이동으로 이루어진다.On the other hand, X, Y, Z axis focusing of a plurality of cameras is required before imaging of the subject, which is made by moving the X, Y, Z axis directions of the camera block.

이 중에서 특히, Z축 방향 포커싱 장치를 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다. In particular, the Z-axis focusing apparatus will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

도 1을 참조하면, 종래의 Z축 방향 포커싱 장치(100)는 복수의 검사용 카메라(C)가 장착되는 카메라블럭(110)과, 상기 카메라블럭(110)의 양단 하부에 각각 구비되며, 저면에 경사면을 갖는 제1 및 제2고정브라켓(111a,111b)과, 상면에 상기 제1 및 제2고정브라켓(111a,111b)의 경사면에 맞닿는 제1 및 제2이동브라켓(133a,133b)과, 상기 제1 및 제2이동브라켓(133a,133b)을 각각 수평방향으로 이동시키는 한 쌍의 이동수단이 구비된다. 특히, 상기 제1고정브라켓(111a)에 형성된 경사면과, 상기 제2고정브라켓(111b)에 형성된 경사면은 서로 반대방향으로 경사지 게 형성되어 있음을 알 수 있다. Referring to FIG. 1, the conventional Z-axis focusing apparatus 100 is provided with a camera block 110 on which a plurality of inspection cameras C are mounted, and lower portions of both ends of the camera block 110, respectively. First and second fixing brackets 111a and 111b having inclined surfaces thereof, and first and second moving brackets 133a and 133b having upper surfaces contacting the inclined surfaces of the first and second fixing brackets 111a and 111b. A pair of moving means for moving the first and second moving brackets 133a and 133b in the horizontal direction is provided. In particular, it can be seen that the inclined surface formed on the first fixed bracket 111a and the inclined surface formed on the second fixed bracket 111b are inclined in opposite directions.

상기 한 쌍의 이동수단은 각각 상기 제1 및 제2이동브라켓(133a,133b)의 하부에 구비되는 한 쌍의 너트부재(131a,131b)와, 상기 한 쌍의 너트부재(131a,131b)를 수평방향으로 이동시키는 한 쌍의 스크류(121a,121b)와, 상기 한 쌍의 스크류(121a,121b)를 회전시키는 한 쌍의 구동원(120a,120b)과, 상기 너트부재(131a,131b)의 하부에 구비되어 상기 너트부재의 수평방향 이동을 안내하는 한 쌍의 가이드부재(132a,132b)로 구성된다. The pair of moving means includes a pair of nut members 131a and 131b provided below the first and second moving brackets 133a and 133b, and the pair of nut members 131a and 131b, respectively. A pair of screws 121a and 121b for moving in the horizontal direction, a pair of drive sources 120a and 120b for rotating the pair of screws 121a and 121b, and a lower portion of the nut members 131a and 131b. It is provided with a pair of guide members (132a, 132b) to guide the horizontal movement of the nut member.

도 2를 참조하여 종래의 Z축 방향 포커싱장치의 작동상태를 살펴본다. 도시된 바와 같이, 카메라블럭(110)을 기판에 가깝도록 하강하기 위하여는 한 쌍의 구동원(120a,120b)을 작동시켜 한 쌍의 너트부재(131a,131b)를 서로 반대방향(도면상 바깥쪽방향)으로 수평이동시킨다. 이에 연동하여 제1 및 제2이동브라켓(133a,133b)도 서로 반대방향으로 수평이동되고, 이에 의해 상기 제1 및 제2고정브라켓(111a,111b)의 경사면은 상기 제1 및 제2이동브라켓(133a,133b)의 경사면을 따라 이동하게 되고, 이에 의해 상기 카메라블럭(110)은 하강하게 되는 것이다. With reference to Figure 2 looks at the operating state of the conventional Z-axis focusing device. As shown, in order to lower the camera block 110 closer to the substrate, a pair of driving sources 120a and 120b are operated to move the pair of nut members 131a and 131b in opposite directions (outside the drawing). Direction). In connection with this, the first and second moving brackets 133a and 133b are also horizontally moved in opposite directions, whereby the inclined surfaces of the first and second fixing brackets 111a and 111b are the first and second moving brackets. The camera blocks 110 move downward along the inclined surfaces 133a and 133b.

그러나 이와 같이 구성되는 종래의 포커싱장치는 한 쌍의 구동원(120a,120b)이 요구되기 때문에 장비가 고가라는 문제점이 있다. However, the conventional focusing apparatus configured as described above has a problem in that the equipment is expensive because a pair of driving sources 120a and 120b are required.

더욱이, 일정한 길이를 갖는 카메라블럭(110)의 양측을 한 쌍의 구동원(120a,120b)에 의해 Z축방향으로 이동시키기 때문에 양측의 수평도를 유지하기가 곤란하다는 문제점도 있다. Further, since both sides of the camera block 110 having a constant length are moved in the Z-axis direction by the pair of drive sources 120a and 120b, there is also a problem that it is difficult to maintain the horizontality of both sides.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 복수의 카메라가 장착되는 카메라블럭의 양측을 동기구동하여 Z축방향으로 미세구동할 수 있는 평판표시소자 검사용 카메라의 포커싱장치를 제공함에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to focus on a camera for inspecting a flat panel display device capable of fine driving in the Z-axis direction by synchronously driving both sides of a camera block on which a plurality of cameras are mounted. In providing a device.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 평판표시소자 검사용 카메라의 포커싱장치는 검사용 카메라가 적어도 1 이상 장착되는 카메라블럭; 상기 카메라블럭의 양단 하부에 구비되며, 저면에 경사면을 갖는 제1 및 제2고정브라켓; 상면에 상기 제1 및 제2고정브라켓의 경사면에 맞닿는 경사면을 갖는 제1 및 제2이동브라켓; 상기 제1 및 제2이동브라켓이 구비되는 이동플레이트; 및 상기 이동플레이트를 수평방향으로 이동시키는 이동수단;을 포함한다. In order to solve the above technical problem, a focusing apparatus for a camera for inspecting a flat panel display device according to the present invention includes a camera block on which at least one inspection camera is mounted; First and second fixing brackets provided at lower ends of the camera block and having an inclined surface on a bottom surface thereof; First and second moving brackets having an inclined surface that is in contact with the inclined surfaces of the first and second fixing brackets on an upper surface thereof; A moving plate provided with the first and second moving brackets; And moving means for moving the moving plate in a horizontal direction.

또한 상기 제1 및 제2고정브라켓의 저면에 형성된 경사면은 동일방향으로 경사지게 형성되는 것이 바람직하다. In addition, the inclined surfaces formed on the bottom of the first and second fixing bracket is preferably formed to be inclined in the same direction.

또한 상기 제1 및 제2고정브라켓의 저면에 형성된 경사면은 동일각도로 경사지게 형성되는 것이 바람직하다. In addition, the inclined surfaces formed on the bottom of the first and second fixing bracket is preferably formed to be inclined at the same angle.

또한 상기 이동수단은, 상기 이동플레이트의 제1단부의 하부에 구비되는 너트부재; 상기 너트부재에 결합되며, 회전에 의해 상기 너트부재를 수평방향으로 이동시키는 스크류; 및 상기 스크류를 회전시키는 구동원;을 포함한다. In addition, the moving means, the nut member provided in the lower portion of the first end of the moving plate; A screw coupled to the nut member to move the nut member in a horizontal direction by rotation; And a driving source for rotating the screw.

또한 상기 너트부재의 하부에 구비되어 상기 너트부재의 수평방향 이동을 안내하는 가이드부재가 더 구비되는 것이 바람직하다.In addition, the lower portion of the nut member is preferably provided with a guide member for guiding the horizontal movement of the nut member.

또한 상기 이동플레이트의 제2단부의 하부에는 지지부재가 더 구비되는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable that a support member is further provided below the second end of the movable plate.

또한 상기 지지부재의 하부에 구비되어 상기 지지부재의 수평방향 이동을 안내하는 가이드부재가 더 구비되는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable that the guide member which is provided in the lower portion of the support member to guide the horizontal movement of the support member.

본 발명에 따르면, 복수의 카메라가 장착되는 카메라블럭의 양측을 동기구동하여 Z축방향으로 미세구동할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, there is an effect capable of fine driving in the Z-axis direction by synchronous driving both sides of the camera block on which the plurality of cameras are mounted.

따라서 1개의 구동원만으로 Z축방향 포커싱이 가능하다. Therefore, Z-axis focusing is possible with only one driving source.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 포커싱장치의 구성 및 작용을 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described the configuration and operation of the focusing apparatus according to the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 평판표시소자 검사용 포커싱장치(1)는 복수의 검사용 카메라(C)가 장착되는 카메라블럭(10)과, 상기 카메라블럭(10)의 양단 하부에 각각 구비되며, 저면에 경사면을 갖는 제1 및 제2고정브라켓(11a,11b)과, 상면에 상기 제1 및 제2고정브라켓(11a,11b)의 경사면에 맞닿는 제1 및 제2이동브라켓(33a,33b)과, 상기 제1 및 제2이동브라켓(33a,33b)이 구비되는 이동플레이트(34)가 구비된다. Referring to FIG. 3, the focusing apparatus 1 for inspecting a flat panel display device according to the present invention includes a camera block 10 on which a plurality of inspection cameras C are mounted, and a lower portion of both ends of the camera block 10. A first and second fixed brackets 11a and 11b having an inclined surface on a bottom surface thereof, and first and second moving brackets 33a abutting on inclined surfaces of the first and second fixed brackets 11a and 11b on an upper surface thereof. And 33b) and a moving plate 34 provided with the first and second moving brackets 33a and 33b.

상기 제1 및 제2고정브라켓(11a,11b)의 저면에 형성된 경사면은 동일방향으로 동일각도로 경사지게 형성된다는 것을 알 수 있다. 마찬가지로 상기 제1 및 제2이동브라켓(33a,33b)의 저면에 형성된 경사면은 동일방향으로 동일각도로 경사지게 형성된다. It can be seen that the inclined surfaces formed on the bottoms of the first and second fixing brackets 11a and 11b are formed to be inclined at the same angle in the same direction. Likewise, the inclined surfaces formed on the bottom surfaces of the first and second moving brackets 33a and 33b are inclined at the same angle in the same direction.

특히, 상기 이동플레이트(34)를 수평방향으로 이동시키는 이동수단이 더 구비되는데, 상기 이동수단은 이동플레이트(34)의 제1단부의 하부에 구비되는 너트부재(31a)와, 상기 너트부재(31a)에 결합되며, 회전에 의해 상기 너트부재(31a)를 수평방향으로 이동시키는 스크류(21)와, 상기 스크류(21)를 회전시키는 구동원(20)과, 상기 너트부재(31a)의 하부에 구비되어 상기 너트부재(31a)의 수평방향 이동을 안내하는 가이드부재(32a)로 구성된다. In particular, a moving means for moving the movable plate 34 in a horizontal direction is further provided, wherein the moving means includes a nut member 31a provided below the first end of the movable plate 34 and the nut member ( And a screw 21 for moving the nut member 31a in the horizontal direction by rotation, a drive source 20 for rotating the screw 21, and a lower portion of the nut member 31a. It is provided with a guide member (32a) for guiding the horizontal movement of the nut member (31a).

즉, 도 1에 도시된 종래의 기술과 달리 1개의 구동원(20)으로 카메라블럭(10)의 양단부를 동기구동하여 Z축방향으로 이동시키는 것을 알 수 있다. That is, unlike the prior art illustrated in FIG. 1, it can be seen that both ends of the camera block 10 are synchronously driven by one driving source 20 to move in the Z-axis direction.

한편, 상기 이동플레이트(34)의 제2단부의 하부에는 지지부재(31b)가 구비되며, 상기 지지부재(31b)의 수평방향 이동을 안내하는 가이드부재(32b)도 더 구비된다. 그러나 상기 지지부재(31b)는 단순히 이동플레이트(34)의 이동에 따라 수평이동할 뿐, 너트부재(31a)와 같이 구동원(20)에 의해 직접 이동되는 것은 아니다. On the other hand, the support member 31b is provided below the second end of the movable plate 34, and the guide member 32b for guiding the horizontal movement of the support member 31b is further provided. However, the support member 31b simply moves horizontally according to the movement of the movable plate 34, and is not directly moved by the driving source 20 like the nut member 31a.

도 4를 참조하여 본 발명에 의한 포커싱장치의 작동상태를 살펴본다. 도시된 바와 같이, 복수의 카메라(C)가 장착된 카메라블럭(10)을 기판(S)에 가깝도록 하강하기 위하여는 구동원(20)을 작동시켜 너트부재(31a)를 중심방향으로 수평이동시킨다. 상기 너트부재(31a)의 수평이동에 따라 이동플레이트(34)와 제1이동브라켓(33a)이 이동하게 되며, 이와 함께 반대편에 구비된 지지부재(31b)와 제2이동브라켓(33b)도 동일한 방향으로 이동하게 된다. With reference to Figure 4 looks at the operating state of the focusing apparatus according to the present invention. As shown, in order to lower the camera block 10 equipped with a plurality of cameras C to the substrate S, the driving source 20 is operated to horizontally move the nut member 31a toward the center. . The moving plate 34 and the first moving bracket 33a move along the horizontal movement of the nut member 31a, and the support member 31b and the second moving bracket 33b provided on opposite sides are also the same. Will be moved in the direction.

상기 제1이동브라켓(33a) 및 제2이동브라켓(33b)이 도면상 좌측으로 이동함 에 따라 상기 제1 및 제2고정브라켓(11a,11b)의 경사면은 상기 제1 및 제2이동브라켓(33a,33b)의 경사면을 따라 이동하게 되고, 이에 의해 상기 카메라블럭(10)은 하강하게 되는 것이다. 이와 같이 카메라블럭(10)을 Z축 방향으로 이동함으로써 포커싱할 수 있는 것이다. As the first moving bracket 33a and the second moving bracket 33b move to the left in the drawing, the inclined surfaces of the first and second fixing brackets 11a and 11b are the first and second moving brackets ( It moves along the inclined surfaces of 33a and 33b, whereby the camera block 10 is lowered. In this manner, the camera block 10 can be focused by moving in the Z-axis direction.

도 1 및 도 2는 종래 Z축 포커싱장치를 나타낸 것이다. 1 and 2 show a conventional Z-axis focusing apparatus.

도 3 및 도 4는 본 발명에 의한 포커싱장치를 나타낸 것이다. 3 and 4 show a focusing apparatus according to the present invention.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**DESCRIPTION OF REFERENCE NUMERALS

1: 포커싱장치 10: 카메라블럭1: Focusing Device 10: Camera Block

11a,11b:고정브라켓 20: 구동원11a, 11b: Fixed bracket 20: Drive source

21: 스크류 31a: 너트부재 21: screw 31a: nut member

31b: 지지부재 32a,32b: 가이드부재31b: support member 32a, 32b: guide member

33a,33b: 이동브라켓 34: 이동플레이트33a, 33b: Moving Bracket 34: Moving Plate

Claims (7)

평판표시소자 검사용 카메라가 적어도 1 이상 장착되는 카메라블럭;A camera block on which at least one flat panel display inspection camera is mounted; 상기 카메라블럭의 양단 하부에 구비되며, 저면에 경사면을 갖는 제1 및 제2고정브라켓;First and second fixing brackets provided at lower ends of the camera block and having an inclined surface on a bottom surface thereof; 상면에 상기 제1 및 제2고정브라켓의 경사면에 맞닿는 경사면을 갖는 제1 및 제2이동브라켓;First and second moving brackets having an inclined surface that is in contact with the inclined surfaces of the first and second fixing brackets on an upper surface thereof; 상기 제1 및 제2이동브라켓을 연결하는 이동플레이트; 및 A moving plate connecting the first and second moving brackets; And 상기 이동플레이트를 수평방향으로 이동시켜 상기 제1 및 제2이동브라켓을 동기구동하는 이동수단;을 포함하고And moving means for synchronously driving the first and second moving brackets by moving the moving plate in a horizontal direction. 상기 제1 및 제2고정브라켓의 저면에 형성된 경사면은 동일방향 및 동일각도로 경사지게 형성되고,The inclined surfaces formed on the bottom of the first and second fixing brackets are formed to be inclined at the same direction and at the same angle, 상기 이동수단은, 상기 이동플레이트의 제1단부에 설치되는 너트부재, 상기 너트부재의 내측에 치합되어 회전에 의해 상기 너트부재 및 상기 이동플레이트를 수평방향으로 이동시키는 스크류 및 상기 스크류를 회전시키는 구동원을 포함하고, The moving means includes a nut member installed at the first end of the moving plate, a screw engaged with the inside of the nut member to rotate the nut member and the moving plate in a horizontal direction by rotation, and a driving source for rotating the screw. Including, 상기 너트부재와 결합되어 상기 너트부재의 수평방향의 이동을 안내하는 가이드부재를 포함하는 평판표시소자 검사용 카메라의 포커싱장치.And a guide member coupled to the nut member to guide the horizontal movement of the nut member. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이동플레이트의 제2단부에 설치되어 상기 이동플레이트를 지지하는 지지부재와,A support member installed at a second end of the movable plate to support the movable plate; 상기 지지부재와 결합되어 지지부재의 수평방향 이동을 안내하는 가이드부재가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 검사용 카메라의 포커싱장치.And a guide member coupled to the support member to guide the horizontal movement of the support member. 삭제delete
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102528371B1 (en) * 2022-03-14 2023-05-03 (주)오로스테크놀로지 Transferring apparatus for optical instrument

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1199623A (en) * 1997-09-29 1999-04-13 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Apparatus for adjusting height of gripper seat
KR20000018666U (en) * 1999-03-25 2000-10-25 황인길 wafer leveling device of align &exposure
KR20060061875A (en) * 2004-12-02 2006-06-08 주식회사 에이디피엔지니어링 A in-line inspection apparatus

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1199623A (en) * 1997-09-29 1999-04-13 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Apparatus for adjusting height of gripper seat
KR20000018666U (en) * 1999-03-25 2000-10-25 황인길 wafer leveling device of align &exposure
KR20060061875A (en) * 2004-12-02 2006-06-08 주식회사 에이디피엔지니어링 A in-line inspection apparatus

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102528371B1 (en) * 2022-03-14 2023-05-03 (주)오로스테크놀로지 Transferring apparatus for optical instrument
WO2023177032A1 (en) * 2022-03-14 2023-09-21 (주)오로스테크놀로지 Device for moving optical equipment
US11874104B2 (en) 2022-03-14 2024-01-16 Auros Technology, Inc. Apparatus for transferring optical instrument

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