KR20060061875A - A in-line inspection apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 글라스의 두께 변화에 대응하기 위한 높이 센서를 부착하여 글라스의 두께 변화에 따른 비전카메라의 높이 편차를 보정하는 인-라인 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an in-line inspection apparatus for attaching a height sensor corresponding to a change in thickness of a glass to correct a height deviation of a vision camera according to a change in thickness of a glass.

본 발명에 의한 인-라인 검사장치는 이송장치에 의해 이송되는 글라스의 패턴을 비전카메라를 사용하여 검사하는 장치에 있어서, 상기 이송장치의 이송테이블로부터 이송되는 글라스의 패턴을 검사하기 위한 복수의 비전카메라가 설치된 카메라 설치 프레임의 양쪽 끝단에 형성된 Z축 업/다운 구동부; 상기 카메라 설치 프레임을 지지하는 지지대의 하단부의 소정 위치에 설치된 높이 측정 센서; 및 상기 높이 측정 센서에 의해 측정된 높이 값과 기 설정된 높이 값과의 편차를 계산하여 상기 편차 값에 따라 상기 Z축 업/다운 구동부를 제어하는 제어부;를 구비함을 특징으로 한다.In-line inspection apparatus according to the present invention is a device for inspecting the pattern of the glass conveyed by the conveying apparatus using a vision camera, a plurality of vision for inspecting the pattern of the glass conveyed from the conveying table of the conveying apparatus Z-axis up / down driving parts formed on both ends of the camera installation frame in which the camera is installed; A height measuring sensor installed at a predetermined position of a lower end of the support for supporting the camera mounting frame; And a control unit which calculates a deviation between the height value measured by the height measuring sensor and a preset height value and controls the Z-axis up / down driving unit according to the deviation value.

본 발명에 의하면, 컬러 필터 글라스의 패턴을 검사하는 인-라인 검사장치에서 비전카메라의 상하 위치를 상기 글라스 두께의 편차를 고려하여 자동 조절함으로써 고화질의 이미지를 검출할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, the in-line inspection apparatus for inspecting the pattern of the color filter glass can automatically detect the high-quality image by automatically adjusting the vertical position of the vision camera in consideration of the variation in the glass thickness.

Description

인-라인 검사장치{A in-line inspection apparatus}In-line inspection apparatus

도 1은 일반적인 칼라 필터 글라스의 자동광학검사(AOI)시스템의 일부를 도시한 것이다.1 shows a part of an automatic optical inspection (AOI) system of a typical color filter glass.

도 2a는 자동광학검사시스템에서 비전카메라가 설치된 상태를 도시한 평면도이다. Figure 2a is a plan view showing a state in which a vision camera is installed in the automatic optical inspection system.

도 2b는 자동광학검사시스템에서 비전카메라가 설치된 상태를 도시한 측면도이다. Figure 2b is a side view showing a state in which the vision camera is installed in the automatic optical inspection system.

도 3a는 본 발명에 의한 인-라인 검사장치의 평면도를 도시한 것이다.Figure 3a shows a plan view of the in-line inspection apparatus according to the present invention.

도 3b는 본 발명에 의한 인-라인 검사장치의 측면도를 도시한 것이다.Figure 3b shows a side view of the in-line inspection apparatus according to the present invention.

도 4a와 도 4b는 Z축 업/다운 구동부에 의해 카메라 설치 프레임이 상하로 조절되는 것을 도시한 것이다. 4A and 4B illustrate that the camera mounting frame is adjusted up and down by the Z-axis up / down driving unit.

본 발명은 컬러 필터 글라스의 패턴을 검사하는 자동광학검사(AOI) 시스템에 관한 것으로, 특히 비전카메라의 위치를 조절하는 인-라인 검사장치에 관한 것이다. The present invention relates to an automatic optical inspection (AOI) system for inspecting a pattern of color filter glass, and more particularly, to an in-line inspection apparatus for adjusting the position of a vision camera.

컬러 필터 패턴 자동광학검사(Automated Optical Inspection:이하 AOI) 시스템은 컬러 필터 글라스(Color Filter glass)의 미세한 패턴 결함을 정밀한 카메라에 의해 고속으로 검출하고, 검출된 결함을 실시간으로 재생, 저장 가능한 제품으로, 다양한 모델의 글라스(Multi Model Glass)에 대응이 가능하며, 사용자 운영하기 쉬운 소프트웨어와 인-라인(In-line) 및 독립적으로 운영(Stand alone)이 가능한 검사기이다.Automated Optical Inspection (AOI) system of color filter pattern is a product that can detect minute pattern defects of color filter glass at high speed with a precise camera and reproduce and store the detected defects in real time. It is possible to cope with various models of glass (Multi Model Glass), and it is an easy-to-operate software, an in-line and stand alone tester.

도 1은 일반적인 칼라 필터 글라스의 자동광학검사(AOI) 시스템의 일부를 도시한 것이다.1 shows a part of an automatic optical inspection (AOI) system of a typical color filter glass.

칼라 필터 글라스의 패턴을 검사하기 위한 여러 대의 비전카메라(10)가 카메라 설치 프레임(20)에 설치되고, 상기 카메라 설치 프레임(20)은 상기 칼라 필터 글라스를 이송하는 이송장치 위에 형성된 프레임 지지대(30)에 설치된다.A plurality of vision cameras 10 for inspecting the pattern of the color filter glass are installed in the camera mounting frame 20, and the camera mounting frame 20 is a frame support 30 formed on a transfer device for transporting the color filter glass. It is installed in).

상기 이송장치는 에어 슬라이드(air slide) 방식을 사용하여 이송하는 장치로서, 글라스가 이송테이블(40)에 로딩이 되면, 글라스는 상기 카메라 설치 프레임(20)에 설치된 여러 대의 비전카메라(10)에 의해 스캔되어 패턴 결함을 검사 받게 된다. The conveying apparatus is an apparatus for conveying by using an air slide method, and when the glass is loaded on the conveying table 40, the glass is connected to a plurality of vision cameras 10 installed in the camera installation frame 20. Are scanned and inspected for pattern defects.

도 2a는 AOI 시스템에서 비전카메라가 설치된 상태를 도시한 평면도이고, 도 2b는 측면도이다.Figure 2a is a plan view showing a state in which a vision camera is installed in the AOI system, Figure 2b is a side view.

칼라 필터 글라스의 패턴을 검사하기 위한 여러 대의 비전카메라(10)가 카메라 설치 프레임(20)에 설치된 형태를 도시한 것으로, 카메라 설치 프레임(20)은 상기 칼라 필터 글라스를 이송되어 통과되도록 이송장치의 소정 위치에 형성된다. A plurality of vision cameras 10 for inspecting the pattern of the color filter glass are shown installed in the camera installation frame 20. The camera installation frame 20 is configured to transfer the color filter glass to pass through the color filter glass. It is formed at a predetermined position.

상기 비전카메라는 이송장치의 에어 슬라이더에 의해 이송되는 글라스를 스캔하게 되며, 스캔된 정보를 분석하여 상기 글라스의 패턴 결함을 검사하게 되다. The vision camera scans the glass transferred by the air slider of the transfer device, and analyzes the scanned information to inspect the pattern defect of the glass.

하지만, 종래의 AOI 시스템에서 설치된 비전카메라(10)는 높이가 고정되어 있기 때문에 이송장치에 의해 이송되는 글라스의 두께가 변하게 되면, 카메라의 초점이 흐트러지게 되므로 글라스 스캔 시 높이 편차에 의해 정확한 스캔 이미지 획득에 어려움이 발생한다. However, since the height of the vision camera 10 installed in the conventional AOI system is fixed, if the thickness of the glass conveyed by the conveying device changes, the focus of the camera is disturbed. Difficulty in obtaining.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 글라스의 두께 변화에 대응하기 위하여 글라스의 두께 변화에 따른 비전카메라의 높이 편차를 보정하는 인-라인 검사장치를 제공하는 것이다.The technical problem to be achieved by the present invention is to provide an in-line inspection apparatus for correcting the height deviation of the vision camera according to the thickness change of the glass in order to respond to the change in the thickness of the glass.

상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한인-라인 검사장치는 이송장치에 의해 이송되는 글라스의 패턴을 비전카메라를 사용하여 검사하는 장치에 있어서, 상기 이송장치의 이송테이블로부터 이송되는 글라스의 패턴을 검사하기 위한 복수의 비전카메라가 설치된 카메라 설치 프레임의 양쪽 끝단에 형성된 Z축 업/다운 구동부; 상기 카메라 설치 프레임을 지지하는 지지대의 하단부의 소정 위치에 설치된 높이 측정 센서; 및 상기 높이 측정 센서에 의해 측정된 높이 값과 기 설정된 높이 값과의 편차를 계산하여 상기 편차 값에 따라 상기 Z축 업/다운 구동부를 제어하는 제어부;를 포함함을 특징으로 한다.In-line inspection apparatus according to the present invention for solving the technical problem is a device for inspecting the pattern of the glass to be transferred by the transfer device using a vision camera, the pattern of the glass to be transferred from the transfer table of the transfer device Z-axis up / down driving unit formed on both ends of the camera installation frame is installed a plurality of vision camera for inspecting the; A height measuring sensor installed at a predetermined position of a lower end of the support for supporting the camera mounting frame; And a control unit which calculates a deviation between the height value measured by the height measuring sensor and a preset height value and controls the Z-axis up / down driving unit according to the deviation value.

또한, 상기 높이 측정 센서는 상기 글라스의 두께를 정확히 측정하기 위하여 상기 카메라 설치 프레임의 하단부 좌측과 우측의 소정위치에 동일 선상에 설치됨을 특징으로 한다.In addition, the height measuring sensor is characterized in that it is installed on the same line at a predetermined position on the left and right of the lower end of the camera installation frame to accurately measure the thickness of the glass.

또한, 상기 제어부는 상기 Z축 업/다운 구동부의 좌측과 우측의 높이를 다르게 설정하여 조절하는 것을 특징으로 한다.In addition, the control unit is characterized in that by adjusting the height of the left and right of the Z-axis up / down driving unit differently.

또한, 상기 제어부는 상기 Z축 업/다운 구동부의 좌측과 우측의 높이를 동시에 조절하는 것을 특징으로 한다.The control unit may adjust the heights of the left and right sides of the Z-axis up / down driving unit at the same time.

이하 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3a는 본 발명에 의한 인-라인 검사장치의 평면도, 도 3b는 측면도를 도시한 것으로, 비전카메라(10), 카메라 설치 프레임(50), 높이 측정센서(60) 및 제어부(90)로 이루어진다.Figure 3a is a plan view of the in-line inspection apparatus according to the present invention, Figure 3b is a side view, consisting of a vision camera 10, the camera installation frame 50, the height measuring sensor 60 and the control unit 90. .

카메라 설치 프레임(50)은 복수개의 비전카메라(10)가 설치되어 고정되는 프레임으로 양쪽 끝단에 Z축 업/다운 구동부(51)가 형성된다. The camera installation frame 50 is a frame in which a plurality of vision cameras 10 are installed and fixed, and Z-axis up / down driving parts 51 are formed at both ends.

높이 측정 센서(60)는 상기 카메라 설치 프레임(50)을 지지하는 프레임 지지대(30)의 하단부 소정위치에 설치된다.The height measuring sensor 60 is installed at a predetermined position of the lower end of the frame support 30 supporting the camera mounting frame 50.

제어부(90)는 상기 비접촉 높이 측정 센서(60)에 의해 측정된 높이 값과 기 설정된 높이 값과의 편차를 계산하여 상기 편차 값에 따라 상기 Z축 업/다 구동부(51)를 제어한다.The controller 90 calculates a deviation between the height value measured by the non-contact height measuring sensor 60 and a preset height value and controls the Z-axis up / down drive unit 51 according to the deviation value.

따라서, 상기 카메라 설치 프레임(50)의 좌측과 우측 끝 부분에 부착된 상기 Z축 업/다운 구동부(51)는 상기 높이 측정 센서(60)에 의해 측정된 값을 토대로 상기 제어부(90)에서 계산된 편차 값에 따라 상기 카메라 설치 프레임(50)을 상하로 조정하게 된다. Therefore, the Z-axis up / down driving unit 51 attached to the left and right ends of the camera mounting frame 50 is calculated by the controller 90 based on the value measured by the height measuring sensor 60. The camera installation frame 50 is adjusted up and down according to the deviation value.

도 4a와 도 4b는 Z축 업/다운 구동부(51)에 의해 카메라 설치 프레임(50)이 상하로 조절되는 것을 도시한 것이다.4A and 4B illustrate that the camera mounting frame 50 is adjusted up and down by the Z-axis up / down driving unit 51.

상기 Z축 업/다운 구동부(51)에 의해 상기 카메라 설치 프레임(50)이 상하로 조절됨으로써 상기 카메라 설치 프레임(50)에 설치된 비전카메라(10)들은 상하로 높이 조절이 되어 최적화됨으로써 고화질의 이미지를 검출할 수 있다. The camera mounting frame 50 is adjusted up and down by the Z-axis up / down driving unit 51 so that the vision cameras 10 installed on the camera mounting frame 50 are adjusted up and down to optimize the image quality. Can be detected.

즉, 도 4a와 도 4b에서 보는 것과 같이 이송장치의 이송테이블로 이송되는 글라스의 두께에 따라 Z축 업/다운 구동부(51)가 조절된다. That is, the Z-axis up / down driving unit 51 is adjusted according to the thickness of the glass transferred to the transfer table of the transfer apparatus as shown in FIGS. 4A and 4B.

상기 이송장치의 이송테이블로 이송되는 글라스를 비전카메라(10)가 스캔하기 시작하면 상기 프레임 지지대(30)의 양 끝단에 부착된 높이 측정 센서(60)는 글라스(80)와 높이 측정 센서(60)사이의 높이를 실시간으로 측정하며, 메인 시스템의 편차 보정수단(90)를 통해 Z축으로 운동하는 업/다운 구동부(51)로 편차 값만큼 보상해 주는 것이다. When the vision camera 10 starts scanning the glass transferred to the transfer table of the transfer apparatus, the height measuring sensor 60 attached to both ends of the frame support 30 is the glass 80 and the height measuring sensor 60. The height is measured in real time, and compensates by the deviation value by the up / down drive unit 51 moving in the Z-axis through the deviation correction means 90 of the main system.

이때, 상기 Z축 업/다운 구동부(51)는 양쪽 높이를 다르게 조절할 수 있고, 또한, 동시에 조절할 수 있어서, 상기 카메라 설치 프레임(50)에 설치된 비전카메라(10)들로 하여금 고화질의 이미지를 얻을 수 있다. In this case, the Z-axis up / down driving unit 51 may adjust both heights differently and at the same time, so that the vision cameras 10 installed on the camera installation frame 50 may obtain high quality images. Can be.

이상으로, 본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져 야 할 것이다.As described above, the present invention has been described with reference to the embodiments illustrated in the drawings, which are merely exemplary, and it should be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. will be. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

본 발명에 의하면, 컬러 필터 글라스의 패턴을 검사하는 인-라인 검사장치에서 비전카메라의 상하 위치를 상기 글라스 두께의 편차를 고려하여 자동 조절함으로써 고화질의 이미지를 검출할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, the in-line inspection apparatus for inspecting the pattern of the color filter glass can automatically detect the high-quality image by automatically adjusting the vertical position of the vision camera in consideration of the variation in the glass thickness.

Claims (4)

이송장치에 의해 이송되는 글라스의 패턴을 비전카메라를 사용하여 검사하는 인-라인 검사장치에 있어서, In-line inspection device for inspecting the pattern of the glass transported by the transfer device using a vision camera, 상기 이송장치의 이송테이블로부터 이송되는 글라스의 패턴을 검사하기 위한 복수의 비전카메라가 설치된 카메라 설치 프레임의 양쪽 끝단에 형성된 Z축 업/다운 구동부;Z-axis up / down driving units formed at both ends of a camera installation frame provided with a plurality of vision cameras for inspecting a pattern of glass transferred from a transfer table of the transfer apparatus; 상기 카메라 설치 프레임을 지지하는 지지대의 하단부의 소정 위치에 설치된 높이 측정 센서; 및 A height measuring sensor installed at a predetermined position of a lower end of the support for supporting the camera mounting frame; And 상기 높이 측정 센서에 의해 측정된 높이 값과 기 설정된 높이 값과의 편차를 계산하여 상기 편차 값에 따라 상기 Z축 업/다운 구동부를 제어하는 제어부;를 포함함을 특징으로 하는 인-라인 검사장치.And a controller configured to control the Z-axis up / down driving unit according to the deviation value by calculating a deviation between the height value measured by the height measuring sensor and a preset height value. . 제1항에 있어서, 상기 높이 측정 센서는 The method of claim 1, wherein the height measuring sensor 상기 글라스의 두께를 정확히 측정하기 위하여 상기 카메라 설치 프레임의 하단부 좌측과 우측의 소정위치에 동일 선상에 설치됨을 특징으로 하는 인-라인 검사장치.In-line inspection apparatus, characterized in that installed in the same line at a predetermined position on the left and right of the lower end of the camera installation frame to accurately measure the thickness of the glass. 제1항에 있어서, 상기 제어부는 The method of claim 1, wherein the control unit 상기 Z축 업/다운 구동부의 좌측과 우측의 높이를 다르게 설정하여 조절하는 것을 특징으로 하는 인-라인 검사장치.In-line inspection apparatus, characterized in that for adjusting by setting the height of the left and right of the Z-axis up / down driving unit differently. 제1항에 있어서, 상기 제어부는 The method of claim 1, wherein the control unit 상기 Z축 업/다운 구동부의 좌측과 우측의 높이를 동시에 조절하는 것을 특징으로 하는 인-라인 검사장치.In-line inspection apparatus, characterized in that for adjusting the height of the left and right of the Z-axis up / down driving unit at the same time.
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