KR101470424B1 - Testing apparatus for lens - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 렌즈 검사 장치에 대한 것이다.The present invention relates to a lens inspection apparatus.
최근 카메라 모듈은 렌즈 등의 광학계를 통해 입수되는 화상에 대한 정보를 디지털 신호로 변환하여 소정의 이미지 파일을 생성하는 디지털 카메라용으로 개발이 진행되고 있다. 특히, 휴대용 단말기 등에 탑재되는 디지털 카메라 모듈은 초소형 렌즈 조립체를 사용하는 데, 이러한 렌즈 조립체, 특히 그 해상도를 검사할 필요가 높아졌다.2. Description of the Related Art [0002] Recently, a camera module is being developed for a digital camera that converts information about an image obtained through an optical system such as a lens into a digital signal to generate a predetermined image file. Particularly, a digital camera module mounted on a portable terminal or the like uses an ultra-small lens assembly, and the need to inspect such a lens assembly, especially its resolution, has been increased.
종래에 렌즈 조립체를 검사하는 방법으로는, 투영기를 이용한 육안 검사가 사용되었는 데, 작업자 및 환경에 의해 정성적 검사가 이뤄지므로, 수율 관리에 어려움이 있고, 대량 생산에 부적합하는 등 많은 문제가 있다.Conventionally, as a method of inspecting a lens assembly, a visual inspection using a projector is used. Since the qualitative inspection is performed by the operator and the environment, there are many problems such as difficulty in yield control and inadequate in mass production .
CCD 카메라를 이용한 검사 방법이 있는 데, 이는 장치 비용이 고가가 되고, 기종이 변경되었을 때에 적용되기 어려운 한계가 있다.There is a method of inspecting using a CCD camera, which is difficult to apply when the apparatus cost becomes high and the model is changed.
이미지 센서를 이용하여 검사 패턴을 촬영하는 방법이 있는 데, 이 때 렌즈의 중심과 이미지 센서의 중심을 맞추기 어렵고, 렌즈 조립체 자체의 틸팅이나, 렌즈 조립체가 안착되는 부분에서의 틸팅으로 인해 검사 시 양품으로 판정될 수 있는 렌즈 조립체가 불량으로 판정될 수 있어 장치 신뢰도가 저하되는 한계가 있었다.There is a method of photographing an inspection pattern using an image sensor. In this case, it is difficult to align the center of the lens with the center of the image sensor, and tilting of the lens assembly itself or tilting of the lens assembly, There is a limit in that the reliability of the apparatus is deteriorated.
상기한 문제 및/또는 한계를 해결하기 위하여, 렌즈 조립체의 틸팅으로 인한 신뢰도 저하를 최소화할 수 있는 렌즈 검사 장치를 제공하는 데에 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a lens inspection apparatus capable of minimizing reliability degradation due to tilting of a lens assembly to solve the above problems and / or limitations.
다른 목적은 비교적 간단하고 정확한 방법으로 렌즈의 중심과 이미지 센서의 중심을 맞추어, 광축을 정렬할 수 있는 렌즈 검사 장치를 제공하는 데에 있다.Another object is to provide a lens inspection apparatus capable of aligning the optical axis by aligning the center of the lens with the center of the image sensor in a relatively simple and accurate manner.
일 측면에 따르면, 제1광을 조사하고, 검사 패턴이 형성된 렌즈 검사 시트를 포함하는 제1조명 유닛과, 상기 제1조명 유닛과 대향되게 위치한 센서 유닛과, 상기 센서 유닛을 지지하고, 상기 센서 유닛을 제1축 방향으로 틸팅할 수 있도록 구비된 제1구동 제1지지대 및 상기 센서 유닛을 상기 제1축에 직교하는 제2축 방향으로 틸팅할 수 있도록 구비된 제2구동 제1지지대를 포함하는 제1지지대와, 렌즈 조립체를 지지하고 상기 제1조명 유닛과 상기 센서 유닛의 사이에 위치하는 제2지지대와, 상기 렌즈 조립체와 상기 렌즈 검사 시트 사이에 위치하고, 적어도 상기 제1광이 투과할 수 있도록 구비된 개구를 포함하는 제3지지대를 포함하는 렌즈 검사장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a light source device comprising: a first illumination unit that irradiates a first light and includes a lens inspection sheet on which an inspection pattern is formed; a sensor unit positioned to face the first illumination unit; A first driving first support unit provided to tilt the unit in a first axial direction and a second driving first support unit provided to tilt the sensor unit in a second axial direction orthogonal to the first axis A second support that supports the lens assembly and is positioned between the first illumination unit and the sensor unit; and a second support that is positioned between the lens assembly and the lens inspection sheet, And a third support member including an opening provided to support the lens.
적어도 상기 센서 유닛, 제1구동 제1지지대 및 제2구동 제1지지대와 각각 전기적으로 연결된 제어 유닛을 더 포함하고, 상기 제어 유닛은, 제1상태에서 상기 제1구동 제1지지대 및 제2구동 제1지지대 중 적어도 하나를 틸팅 구동시킬 수 있다.Further comprising a control unit electrically connected to at least the sensor unit, the first drive first support, and the second drive first support, wherein the control unit controls the first drive first support and the second drive At least one of the first support rods can be driven for tilting.
상기 렌즈 조립체와 상기 제1조명 유닛 사이에 위치하고, 상기 제3지지대에 장착되며, 상기 제어 유닛에 전기적으로 연결되고, 제2광을 조사하는 제2조명 유닛과, 상기 제3지지대에 연결되고, 상기 제어 유닛에 전기적으로 연결되며, 상기 제3지지대를 수평 이동시키도록 구비된 수평 구동 유닛을 더 포함하고, 상기 제어 유닛은, 제1상태에서 상기 수평 구동 유닛을 동작시켜, 상기 제2조명 유닛이 상기 광축에 중첩되도록 위치시키고, 상기 제1구동 제1지지대 및 제2구동 제1지지대 중 적어도 하나를 틸팅 구동시킬 수 있다.A second illumination unit which is located between the lens assembly and the first illumination unit and is mounted on the third support, the second illumination unit being electrically connected to the control unit, the second illumination unit being connected to the third support, Further comprising a horizontal driving unit electrically connected to the control unit and horizontally moving the third support, wherein the control unit operates the horizontal driving unit in the first state, And at least one of the first driving first support member and the second driving first support member can be tilted.
상기 제어 유닛은, 상기 제1상태와 다른 제2상태에서 상기 제1조명 유닛 및 센서 유닛을 동작시켜 상기 렌즈 조립체를 검사할 수 있다.The control unit may operate the first illumination unit and the sensor unit in a second state different from the first state to inspect the lens assembly.
상기 제3지지대의 상기 개구에 위치하고, 상기 렌즈 조립체와 상기 제1조명 유닛 사이의 거리를 보정할 수 있는 거리 보정 렌즈를 더 포함할 수 있다.And a distance correction lens located in the opening of the third support and capable of correcting the distance between the lens assembly and the first illumination unit.
실시예들에 따르면, 검사 전 상태인 제1상태에서 미리 센싱 유닛에 틸팅 보정을 해 줌으로써 검사 시 양품으로 판정될 수 있는 렌즈 조립체가 불량으로 판정되는 것을 방지하고, 이에 따라 장비 전체의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.According to the embodiments, since the tilting correction is performed in advance in the sensing unit in the first state before the inspection, it is possible to prevent the lens assembly, which can be judged as good product at the time of inspection, from being determined as defective, .
렌즈 조립체를 검사하기 전에 상기 렌즈 조립체의 광학적 중심(optical center)과 상기 센서 유닛의 중앙을 연결하는 광축을 간단하게 정렬하도록 할 수 있고, 렌즈 조립체의 광학적 중심(optical center)을 용이하게 찾을 수 있다. It is possible to simply align the optical axis connecting the optical center of the lens assembly with the center of the sensor unit before inspecting the lens assembly and easily find the optical center of the lens assembly .
센서 유닛 및/또는 렌즈 조립체의 틸트에 의한 오차의 영향 없이 렌즈의 중심을 찾을 수 있고, 제2지지대의 포켓부와 렌즈 조립체 간의 공차로 인한 렌즈의 광학적 중심과 센서 유닛의 중심간의 차이를 보상해 줄 수 있다.The center of the lens can be found without the influence of tilting errors of the sensor unit and / or the lens assembly and the difference between the optical center of the lens and the center of the sensor unit due to the clearance between the pocket portion of the second support and the lens assembly You can give.
제1개구에 거리 보정 렌즈 조립체가 장착됨으로 인해, 원거리 검사가 가능할 수 있고, 렌즈 조립체와 카메라 센서가 결합된 모듈 레벨에서 타깃이 되는 거리에서 바로 렌즈 불량을 측정할 수 있다.By mounting the distance correction lens assembly in the first opening, remote inspection can be possible and lens defects can be measured immediately at a distance that is the target at the module level where the lens assembly and the camera sensor are combined.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 렌즈 검사장치를 도시한 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 본 발명의 일실시예에 따른 렌즈 검사장치의 구성을 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 3의 (a) 및 (b)는 제1상태에서 센싱 유닛이 틸팅된 상태를 나타낸 구성도이다.
도 4는 틸트 보정의 일 실시예의 플로우 차트이다.
도 5는 틸트 보정에서 사용되는 검사 패턴의 일 예를 도시한 평면도이다.
도 6 및 도 7은 Z축 이동에 따라 측정된 포커스값을 나타낸 그래프들이다.
도 8은 렌즈와 센서 유닛이 틸트된 상태를 예시한 구성도이다.
도 9는 센서 유닛을 틸트 보정한 상태를 예시한 구성도이다.
도 10의 (a) 및 (b)는 각각 제1상태 및 제2상태에서 본 발명의 일실시예에 따른 렌즈 검사장치의 동작을 설명하기 위한 구성도이다.
도 11은 제1상태에서 본 발명의 일 실시예에 따른 렌즈 검사장치의 동작을 설명하기 위한 플로우 차트이다.
도 12는 제2조명 유닛의 조사 광을 촬상한 이미지이다.
도 13은 도 12의 이미지를 이치화한 이미지이다.1 is a block diagram showing a lens inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a block diagram schematically showing the configuration of a lens testing apparatus according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 1. Referring to FIG.
3 (a) and 3 (b) are diagrams showing a state in which the sensing unit is tilted in the first state.
4 is a flowchart of one embodiment of tilt correction.
5 is a plan view showing an example of an inspection pattern used in the tilt correction.
6 and 7 are graphs showing focus values measured according to the Z axis movement.
8 is a configuration diagram illustrating a state in which the lens and the sensor unit are tilted.
9 is a configuration diagram illustrating a state in which the sensor unit is tilted.
10A and 10B are diagrams for explaining the operation of the lens inspection apparatus according to the embodiment of the present invention in the first state and the second state, respectively.
11 is a flowchart for explaining the operation of the lens inspection apparatus according to the embodiment of the present invention in the first state.
12 is an image of the irradiation light of the second illumination unit.
13 is an image obtained by binarizing the image of Fig.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 이하의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like reference numerals refer to like or corresponding parts throughout the drawings, and a duplicate description thereof will be omitted.
본 실시예들은 다양한 변환을 가할 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 실시예들의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 내용들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 실시예들은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. These embodiments are capable of various transformations, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. The effects and features of the embodiments, and how to achieve them, will be apparent from the following detailed description taken in conjunction with the drawings. However, the embodiments are not limited to the embodiments described below, but may be implemented in various forms.
이하의 실시예에서 "제1, 제2" 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. In the following embodiments, terms such as " first, second, "and the like are used for the purpose of distinguishing one element from another element, rather than limiting.
이하의 실시예에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.In the following examples, the singular forms "a", "an" and "the" include plural referents unless the context clearly dictates otherwise.
이하의 실시예에서 "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. It will be further understood that the terms such as " comprises "or" having "in the following embodiments are intended to mean that a feature or element described in the specification is present and that the presence or absence of one or more other features or components It is not.
이하의 실시예에서 유닛, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우 뿐만 아니라, 그 중간에 다른 유닛, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다. In the following embodiments, when a unit, a region, an element, or the like is on or on another portion, not only the case where the portion is directly on another portion but also another unit, region, .
이하의 실시예에서 "연결하다" 또는 "결합하다" 등의 용어는 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 반드시 두 부재의 직접적 및/또는 고정적 연결 또는 결합을 의미하는 것은 아니며, 두 부재 사이에 다른 부재가 개재된 것을 배제하는 것이 아니다.In the following embodiments, the terms "connect ", or" coupled "and the like do not necessarily mean a direct and / or fixed connection or coupling of two members unless the context clearly indicates otherwise, Is not excluded.
명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.Means that there is a feature or element described in the specification and does not preclude the possibility that one or more other features or components will be added.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 이하의 실시예는 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.In the drawings, components may be exaggerated or reduced in size for convenience of explanation. For example, the sizes and thicknesses of the components shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of explanation, and therefore, the following embodiments are not necessarily drawn to scale.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 렌즈 검사장치를 도시한 구성도이다.1 is a block diagram showing a lens inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 렌즈 검사장치는, 제1조명 유닛(1)과, 센서 유닛(3)과, 제1지지대(21)와, 제2지지대(22)와, 제2조명 유닛(232)과, 제3지지대(23)와, 수평 구동 유닛(5)을 포함할 수 있다.1, a lens inspection apparatus according to an embodiment of the present invention includes a
상기 제1조명 유닛(1)은 제4지지대(24)에 장착되어 있다.The first
상기 센서 유닛(3)은 제1지지대(21)에 지지되어, 상기 제1조명 유닛(1)과 대향되게 위치한다.The
상기 제2지지대(22)는 렌즈 조립체를 지지하는 데, 상기 제1조명 유닛(1)과 제1지지대(21)의 사이에 위치한다.The
상기 제2조명 유닛(232)은 상기 제2지지대(22)와 제1조명 유닛(1)의 사이에 위치하는 데, 제3지지대(23)에 장착된다. 그리고 수평 구동 유닛(5)은 상기 제3지지대(23)에 결합되어 상기 제3지지대(23)를 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 수평 구동 유닛(5)은 공압 실린더를 사용할 수 있는 데, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The
보다 상세하게, 상기 제1지지대(21)는 제1구동 제1지지대(211)와, 제2구동 제1지지대(212)와, 제3구동 제1지지대(213)를 포함할 수 있다. 상기 제1구동 제1지지대(211)는 센서 유닛(3)을 제1축 방향, 예컨대 X축 방향으로 틸팅 구동시킬 수 있고, 상기 제2구동 제1지지대(212)는 센서 유닛(3)을 제1축에 직교한 제2축 방향, 예컨대 Y축 방향으로 틸팅 구동시킬 수 있다. 상기 제3구동 제1지지대(213)는 센서 유닛(3)을 Z축 방향, 예컨대 수직 방향으로 이송시킬 수 있다. 이를 위해 상기 제1구동 제1지지대(211)와, 제2구동 제1지지대(212)와, 제3구동 제1지지대(213)는 플레이트 및 서보 모터를 포함할 수 있다. 그러나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 서보 모터 대신 스텝 모터 등을 이용할 수도 있다.In more detail, the
상기 제2지지대(22)는 복수의 렌즈 조립체를 탑재할 수 있도록 구비될 수 있다. 상기 제2지지대(22)는 렌즈 조립체들을 탑재할 수 있는 트레이를 포함할 수 있다.The
상기 제2지지대(22)는 제1구동 제2지지대(221)와, 제2구동 제2지지대(222)를 포함할 수 있다. 상기 제1구동 제2지지대(221)는 상기 제2지지대(22)를 X축 방향으로 이송시킬 수 있고, 상기 제2구동 제2지지대(222)는 상기 제2지지대(22)를 Y축 방향으로 이송시킬 수 있다. 이를 위해 상기 제1구동 제2지지대(221)와, 제2구동 제2지지대(222)는 플레이트 및 서보 모터를 포함할 수 있다. 그러나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 서보 모터 대신 스텝 모터 등을 이용할 수도 있다.The
상기 제3지지대(23)에는 제2조명 유닛(232)이 장착되어 있고, 상기 제2조명 유닛(232)과 수평한 위치에 거리 보정 렌즈(233)가 장착될 수 있다.A
상기 제1조명 유닛(1)을 지지하는 제4지지대(24)는 제1구동 제4지지대(241)와, 제2구동 제4지지대(242)를 포함할 수 있다. 상기 제1구동 제4지지대(241)는 상기 제4지지대(24)를 X축 방향으로 이송시킬 수 있고, 상기 제2구동 제4지지대(242)는 상기 제4지지대(22)를 Y축 방향으로 이송시킬 수 있다. 이를 위해 상기 제1구동 제4지지대(241)와, 제2구동 제4지지대(242)는 스텝 모터를 포함할 수 있다. 그러나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 스텝 모터 대신 서보 모터 등을 이용할 수도 있다.The
도 2는 도 1에 도시된 본 발명의 일실시예에 따른 렌즈 검사장치의 구성을 개략적으로 도시한 구성도이다.FIG. 2 is a block diagram schematically showing the configuration of a lens testing apparatus according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 1. Referring to FIG.
제1조명 유닛(1)는 렌즈 검사장치의 최상부에 배치될 수 있는 데, 제1광원(11)과 렌즈 검사 시트(12)를 포함한다. 상기 제1광원(11)은 도 2에서 볼 때 하방, 즉, 렌즈 조립체(4)를 향하여 제1광을 조사하고, 제1광의 광경로 상에 렌즈 검사 시트(12)가 배치되어 있다. The
상기 렌즈 검사 시트(12)는 렌즈 조립체(4)를 검사할 수 있는 검사 패턴이 형성된 광 투과성 필름이 될 수 있는 데, 예컨대 상기 렌즈 조립체(4)의 해상도를 평가할 수 있는 검사 패턴이 형성되어 있을 수 있다. 상기 렌즈 검사 시트(12)는 별도의 고정 장치에 의해 상기 제1광원(11)과 결합될 수 있다. 그러나 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 제1광원(11)과 렌즈 검사 시트(12)가 일체형으로 형성된 것일 수 있다. 예컨대 제1광원(11)의 표면에 검사 패턴이 프린팅된 것일 수 있다.The
제1조명 유닛(1)의 하부에는 제3지지대(23)가 배치되고, 제3지지대(23)는 수평 구동 유닛(5)에 연결되어 수평 방향으로 움직일 수 있다. 상기 수평 구동 유닛(5)은 상기 제3지지대(23)를 제1수평 방향(X1)으로 왕복 이동시킬 수 있다.A
상기 제3지지대(23)는 적어도 제1광이 투과할 수 있도록 구비된 제1개구(231)를 포함할 수 있다. 그리고 상기 제1개구(231)의 수평 방향으로 상기 제2조명 유닛(232)이 제3지지대(23)에 장착될 수 있다. 상기 제1개구(231)와 제2조명 유닛(232)은 상기 제3지지대(23)의 수평 이동 방향, 즉, 상기 제1수평 방향(X1)을 따라 나란하게 배치될 수 있다.The
상기 제1개구(231)에는 거리 보정 렌즈 조립체(233)가 장착될 수 있다. 상기 거리 보정 렌즈 조립체(233)는 거리 보정 렌즈(234)를 포함하고, 상기 거리 보정 렌즈(234)에 의해 렌즈 조립체(4)와 제1조명 유닛(1)간의 광학적 거리 보정이 이뤄질 수 있다. 이에 따라 제1조명 유닛(1)을 렌즈 조립체(4)로부터 충분히 이격시켜 원거리 검사가 가능할 수 있고, 렌즈 조립체와 이미지 센서가 결합된 모듈 레벨에서 타깃이 되는 거리에서 바로 렌즈 불량을 측정할 수 있다.A distance
상기 제3지지대(23)의 하부에는 제2지지대(22)가 배치될 수 있다. 상기 제2지지대(22)에는 렌즈 조립체(4)가 안착될 수 있는 포켓부(223)가 형성되어 있고, 포켓부(223)의 저면에는 제2개구(224)가 형성될 수 있다. 상기 제2개구(223)를 통해 렌즈 조립체(4)를 투과한 제1광이 센서 유닛(3)에 도달할 수 있다.A
상기 렌즈 조립체(4)는 적어도 하나 이상의 렌즈(41)를 포함할 수 있는 데, 휴대용 단말기에 장착될 수 있는 렌즈 조립체가 될 수 있다. 그러나 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 카메라에 장착될 수 있는 렌즈 조립체도 적용될 수 있다. 본 명세서에서 상기 렌즈 조립체(4)는 반드시 렌즈와 경통만이 포함된 것을 의미하는 것은 아니며, 이미지 센서까지 결합된 카메라 모듈을 포함하는 것일 수 있다.The
상기 렌즈 조립체(4)의 직하부에는 센서 유닛(3)이 위치한다. 상기 센서 유닛(3)은 제1지지대(21) 상에 장착되어 있다. 상기 센서 유닛(3)은 이미지 센서가 사용될 수 있다. 상기 센서 유닛(3)은 센싱 패드(31)를 통해 제어 유닛(6)과 전기적으로 연결될 수 있다.A sensor unit (3) is positioned directly below the lens assembly (4). The sensor unit (3) is mounted on a first support (21). The
상기 제어 유닛(6)은 이 외에 적어도 제2조명 유닛(232), 수평 구동 유닛(5) 및 제1조명 유닛(1)에 전기적으로 연결되어 센서 유닛(3), 제2조명 유닛(232), 수평 구동 유닛(5) 및 제1조명 유닛(1)의 동작을 제어할 수 있다.The
이상 설명한 실시예에서 상기 구성요소들은 상하 위치관계가 정반대로 바뀔 수 있다. 예컨대 제1조명 유닛(1)이 장치의 최하부에 위치하고, 제1지지대(21)가 장치의 최상부에 위치할 수 있다.In the above-described embodiments, the vertical positions of the components may be reversed. For example, the
본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1상태에서 상기 제어 유닛(6)은 상기 제1구동 제1지지대(211) 및 제2구동 제1지지대(212) 중 적어도 하나를 틸팅 구동시켜, 도 3의 (a) 및 (b)에서 볼 수 있듯이, 렌즈 조립체(4)에 대하여 센싱 유닛(3)이 제1축 방향 및/또는 제2축 방향으로 틸팅되도록 할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, in the first state, the
렌즈 조립체(4)가 안착되는 포켓부(223)의 안착면의 편평도 및/또는 평행도에 문제가 있는 경우, 검사 시 양품으로 판정될 수 있는 렌즈 조립체가 불량으로 판정될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 검사 전 상태인 제1상태에서 미리 센싱 유닛(3)에 틸팅 보정을 해 줌으로써 검사 시 양품으로 판정될 수 있는 렌즈 조립체가 불량으로 판정되는 것을 방지하고, 이에 따라 장비 전체의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.If there is a problem in the flatness and / or parallelism of the seating surface of the
이하, 이러한 틸팅 보정의 보다 구체적인 일 예를 설명한다.Hereinafter, a more specific example of such tilting correction will be described.
도 4는 상기 틸팅 보정의 일 실시예를 나타내는 플로우 차트이다.4 is a flowchart showing an embodiment of the tilting correction.
먼저, 제어 유닛(6)은 제3구동 제1지지대(213)를 동작시켜 센서 유닛(3)을 Z축 방향으로 스텝 이동시킨다(S11). 이 때, 센서 유닛(3)은 각 스텝 별로 도 5에 도시된 바와 같은 렌즈 검사 시트(12)에 형성된 검사 패턴을 촬상하여 포커스값을 측정한다(S12). 도 5에서 렌즈 검사 시트(12)는 적어도 5개의 패턴을 포함할 수 있는 데, 중앙에 위치한 제1패턴(P1), 제1패턴(P1)을 중심으로 X축 방향의 양측에 위치한 제2패턴(P2) 및 제3패턴(P3), 제1패턴(P1)을 중심으로 Y축 방향의 양측에 위치한 제4패턴(P4) 및 제5패턴(P5)을 포함할 수 있다. 이하에서는 편의상 X축 방향의 틸트 보정을 기준으로 설명하며, Y축 방향의 틸트 보정은 X축 방향의 틸트 보정과 동일한 방법으로 수행될 수 있다.First, the
한편, 센서 유닛(3)이 Z축 방향으로 스텝 이동하면서 측정된 포커스값은 도 6에서 점과 같이 표시될 수 있는 데, 이 점들에 대한 데이터를 이용해 제어 유닛(6)은 커브 피팅을 하여 도 6의 실선과 같은 연속적인 데이터를 계산한다(S13). 상기 커브 피팅은 일반적인 커브 피팅 방법이 사용될 수 있다.On the other hand, the focus value measured while the
이러한 포커스값 측정 및 커브 피팅에 의한 그래프를 제1패턴(P1), 제2패턴(P2) 및 제3패턴(P3)에 대하여 행하면, 도 7에서 볼 수 있듯이 세 개의 그래프(G1~G3)를 얻을 수 있다. 제어 유닛(6)은 이 그래프로부터, 제2패턴(P2)에 대한 그래프(G2)의 포커스값이 피크가 될 때의 Z축 이동 거리(Lh)와 제3패턴(P3)에 대한 그래프(G3)의 포커스값이 피크가 될 때의 Z축 이동 거리(Rh)를 계산해 낸다.When the focus value measurement and curve fitting are performed on the first pattern P1, the second pattern P2 and the third pattern P3, three graphs G1 to G3 are obtained as shown in FIG. Can be obtained. The
다음으로, 제어 유닛(6)은 틸트각을 계산한다(S14). 도 7과 같은 그래프는 d예컨대 도 8과 같이 렌즈(41)가 센서 유닛(3)에 대해 틸트각(a)만큼 틸트되어 있는 상태에서 얻어질 수 있다. 이 경우 상기 틸트각(a)은 하기 수학식 1에 의해 얻어질 수 있다.Next, the
이 때, d는 렌즈(41)의 X축 방향 양단의 센서 유닛(3) 상의 기구적인 거리가 되고, Rh-Lh는 도 7로부터 얻어진 값이 될 수 있다.At this time, d is a mechanical distance on the
이렇게 틸트각을 계산한 후에, 제어 유닛(6)은 상기 틸트각이 오차 범위 내인지 여부를 판단하고(S15), 오차 범위 내이면 틸팅 보정을 종료한다.After calculating the tilt angle, the
틸트각이 오차 범위 밖이면, 제어 유닛(6)은 제1구동 제1지지대(211)의 X축 방향 구동 각도를 계산하고(S16), 제1구동 제1지지대(211)를 동작시켜 도 9에서 볼 수 있듯이 센서 유닛(3)을 틸팅시켜 틸팅 보정을 수행한다(S17).When the tilt angle is out of the error range, the
위 방법은 Y축 방향의 틸팅 보정에도 동일하게 적용될 수 있으며, Y축 방향의 틸팅 보정을 X축 방향의 틸팅 보정과 동시에 진행할 수도 있다.The above method can be applied to the tilting correction in the Y-axis direction, and the tilting correction in the Y-axis direction can be performed simultaneously with the tilting correction in the X-axis direction.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1상태에서 상기 제어 유닛(6)은 상기 렌즈 조립체(4)의 광학적 중심(optical center)과 상기 센서 유닛(3)의 중앙을 연결하는 광축을 정렬하도록 할 수 있다. 이를 위해 상기 제어 유닛(6)은, 상기 제1상태에서 상기 수평 구동 유닛(5)을 동작시켜, 도 10의 (a)에서 볼 수 있듯이, 상기 제2조명 유닛(232)이 상기 렌즈 조립체(4)의 상부에 위치시키고, 상기 렌즈 조립체(4)를 향하여 제2광을 조사한다. 이에 따라 상기 센서 유닛(3)은 상기 렌즈 조립체(4)의 광학적 중심(optical center)을 찾을 수 있다. 이 때, 렌즈 조립체(4)가 수납되어 있는 제2지지대(22)를 수평 방향으로 이동하며 상기 렌즈 조립체(4)의 광학적 중심과 상기 센서 유닛(3)의 중앙을 연결하는 광축(7)을 정렬할 수 있다. 이를 위해 상기 제2조명 유닛(232)은 조도 균일도가 보장되는 면광원을 이용할 수 있고, 제2조명 유닛(232)의 중심과 센서 유닛(3)의 중심은 충분한 정밀도로 미리 정렬되어 있는 상태인 것이 바람직하다. According to an embodiment of the present invention, in the first state, the
먼저, 도 10의 (a) 및 도 11에서 볼 수 있듯이, 제1상태에서 제2조명 유닛(232)을 이동시켜(S21), 제2조명 유닛(232)이 상기 광축(7)에 중첩되도록 위치시킨다. 이 때, 제1조명 유닛(231)은 작동하지 않는 상태일 수 있다.First, as shown in FIGS. 10A and 11, the
이 상태에서 제2조명 유닛(232)을 동작시켜, 제2조명 유닛(232)이 렌즈 조립체(4)를 향해 광을 조사하도록 한다(S22).In this state, the
센서 유닛(3)은 렌즈 조립체(4)를 투과한 제2조명 유닛(232)의 조사 광에 대한 이미지를 촬상한다(S23). 센서 유닛(3)에 의해 촬상된 이미지는 도 12에서 볼 수 있는 바와 같을 수 있다.The
제어 유닛(6)은 이 이미지를 이치화(binarization)하여 도 13에 도시된 바와 같은 이미지를 얻어낸다(S24).The
이치화하는 방법으로는, 표준 샘플로부터 획득된 설정값을 기준으로 하는 방법 및/또는 픽셀 휘도 값 중 가장 많이 나오는 특정 휘도 값을 기준값(threshold)으로 정해 이보다 낮은 값을 모두 0으로 하고, 이 이상의 값을 모두 1 또는 최대값으로 영상을 전환하는 방법을 사용할 수 있다.As a method of binarization, a method in which a set value obtained from a standard sample is used as a reference, and / or a specific luminance value which is the highest among the pixel luminance values is set as a threshold value, Can be used to switch the image to 1 or the maximum value.
제어 유닛(6)은 이렇게 이치화된 이미지의 중심(C1)을 계산한다(S25). 이는 일반적인 센트로이드(Centroid) 방법을 사용할 수 있다. The
다음으로, 제어 유닛(6)은 이치화된 이미지의 중심(C1)과 센서 유닛(3)의 중심(C2)이 맞는지 확인한 후(S26), 이치화된 이미지의 중심(C1)과 센서 유닛(3)의 중심(C2)이 맞을 경우 광축 정렬을 종료한다.Next, the
이치화된 이미지의 중심(C1)과 센서 유닛(3)의 중심(C2)이 맞지 않을 경우, 이격 거리를 계산하고(S27), 제1구동 제2지지대(221)와, 제2구동 제2지지대(222)를 동작시켜, 제2지지대(22)를 이격 거리만큼 X축 및/또는 Y축 방향으로 이동시킨다(S28). 그리고 다시 S23 내지 S26의 단계를 반복하면서 이치화된 이미지의 중심(C1)과 센서 유닛(3)의 중심(C2)이 맞는지 여부를 확인한다.If the center C1 of the binarized image does not match the center C2 of the
이처럼 상기 센서 유닛(3)의 중심이 렌즈 조립체(4)의 광학적 중심에 일치하도록 한 후에는 도 10의 (b)에서 볼 수 있듯이, 제3지지대(23)를 제1수평 방향(X1)을 따라 제1수평 거리(D)만큼 수평 이동시켜, 제1개구(231)가 상기 광축(7)에 중첩되도록, 더욱 바람직하게는 상기 제1개구(231)의 중심이 상기 광축(7)에 중첩되도록 위치시킨다. 상기 제1수평 거리(D)는 제1개구(231)의 중심과 제2조명 유닛(232)의 중심 사이의 거리에 대응될 수 있다.After the center of the
본 발명의 실시예는 이처럼 제2조명 유닛(232)을 이용해 렌즈 조립체(4)의 광학적 중심을 측정하기 때문에, 센서 유닛(3) 및/또는 렌즈 조립체(4)의 틸트에 의한 오차의 영향 없이 렌즈(41)의 중심을 찾을 수 있다. 그리고 제2지지대(22)의 포켓부(223)와 렌즈 조립체(4) 간의 공차로 인한 렌즈(41)의 광학적 중심과 센서 유닛(3)의 중심 간의 차이를 보상해 줄 수 있다.Since the embodiment of the present invention measures the optical center of the
이러한 광축 정렬은 제1상태에서 실시되며, 전술한 틸트 보정의 전단계 또는 후단계에서 이뤄질 수 있다. 바람직하게는 틸트 보정의 전단계에서 이뤄질 수 있다.This alignment of the optical axes is performed in the first state, and can be performed in the previous stage or the later stage of the above-described tilt correction. Preferably before the tilt correction.
제1상태에서 광축 정렬을 실시하여 광축(7)을 찾은 후에 이 광축(7)의 틸트되어 있는 정도에 대응하여 센싱 유닛(3)을 틸팅시킴으로써 렌즈 조립체(4)의 광축 틸트를 보상할 수 있다.The optical axis tilt of the
제2상태에서 제어 유닛(6)은 제1광원(11)을 동작시켜 렌즈 유닛(4)을 향해 제1광을 조사하고, 이에 따라 센서 유닛(3)은 렌즈 검사 시트(12)에 형성된 검사 패턴을 촬상하여 렌즈 조립체(4)를 검사한다.In the second state, the
본 발명의 렌즈 검사장치는, 렌즈, 경통 및 이미지 센서를 포함하는 카메라 모듈을 검사하는 장치를 포함할 수 있음은 물론이다.It is needless to say that the lens inspection apparatus of the present invention may include an apparatus for inspecting a camera module including a lens, a lens barrel, and an image sensor.
이제까지 본 발명에 대하여 바람직한 실시 예를 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 본 발명을 구현할 수 있음을 이해할 것이다. 그러므로 상기 개시된 실시 예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 한다.The present invention has been described above with reference to preferred embodiments. It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in various other forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. Therefore, the above-described embodiments should be considered in an illustrative rather than a restrictive sense. The scope of the present invention is indicated by the appended claims rather than by the foregoing description, and all differences within the scope of equivalents thereof should be construed as being included in the present invention.
1: 제1조명 유닛 11: 제1광원
12: 렌즈 검사 시트 21: 제1지지대
22: 제2지지대 223: 포켓부
224: 제2개구 23: 제3지지대
24: 제4지지대 231: 제1개구
232: 제2조명 유닛 233: 거리 보정 렌즈 조립체
234: 거리 보정 렌즈 3: 센서 유닛
4: 렌즈 조립체 5: 수평 구동 유닛
6: 제어 유닛 7: 광축1: first illumination unit 11: first light source
12: Lens inspection sheet 21: First support
22: second support frame 223: pocket part
224: second opening 23: third support
24: fourth support 231: first opening
232: second illumination unit 233: distance correction lens assembly
234: distance correction lens 3: sensor unit
4: Lens assembly 5: Horizontal drive unit
6: control unit 7:
Claims (5)
상기 제1조명 유닛과 대향되게 위치한 센서 유닛;
상기 센서 유닛을 지지하고, 상기 센서 유닛을 제1축 방향으로 틸팅할 수 있도록 구비된 제1구동 제1지지대 및 상기 센서 유닛을 상기 제1축에 직교하는 제2축 방향으로 틸팅할 수 있도록 구비된 제2구동 제1지지대를 포함하는 제1지지대;
렌즈 조립체를 지지하고 상기 제1조명 유닛과 상기 센서 유닛의 사이에 위치하는 제2지지대; 및
상기 렌즈 조립체와 상기 렌즈 검사 시트 사이에 위치하고, 적어도 상기 제1광이 투과할 수 있도록 구비된 개구를 포함하는 제3지지대;를 포함하는 렌즈 검사장치.A first illumination unit including a lens inspection sheet which irradiates the first light and has an inspection pattern formed thereon;
A sensor unit positioned opposite to the first illumination unit;
A first driving first support member for supporting the sensor unit and capable of tilting the sensor unit in a first axial direction and a second driving first support member for tilting the sensor unit in a second axial direction orthogonal to the first axis A first support including a second driven first support;
A second support supporting the lens assembly and positioned between the first illumination unit and the sensor unit; And
And a third support disposed between the lens assembly and the lens inspection sheet and including an opening provided to allow at least the first light to pass therethrough.
적어도 상기 센서 유닛, 제1구동 제1지지대 및 제2구동 제1지지대와 각각 전기적으로 연결된 제어 유닛을 더 포함하고,
상기 제어 유닛은, 제1상태에서 상기 제1구동 제1지지대 및 제2구동 제1지지대 중 적어도 하나를 틸팅 구동시키도록 구비된 렌즈 검사장치.The method according to claim 1,
Further comprising a control unit electrically connected to at least the sensor unit, the first drive first support, and the second drive first support,
Wherein the control unit is configured to tilt the at least one of the first driving first support and the second driving first support in a first state.
상기 렌즈 조립체와 상기 제1조명 유닛 사이에 위치하고, 상기 제3지지대에 장착되며, 상기 제어 유닛에 전기적으로 연결되고, 제2광을 조사하는 제2조명 유닛; 및
상기 제3지지대에 연결되고, 상기 제어 유닛에 전기적으로 연결되며, 상기 제3지지대를 수평 이동시키도록 구비된 수평 구동 유닛;을 더 포함하고,
상기 제어 유닛은, 제1상태에서 상기 수평 구동 유닛을 동작시켜, 상기 제2조명 유닛이, 렌즈 조립체의 광학적 중심과 센서 유닛의 중앙을 연결하는 광축에 중첩되도록 위치시키고, 상기 제1구동 제1지지대 및 제2구동 제1지지대 중 적어도 하나를 틸팅 구동시키도록 구비된 렌즈 검사장치.3. The method of claim 2,
A second illumination unit located between the lens assembly and the first illumination unit and mounted on the third support, the second illumination unit being electrically connected to the control unit, the second illumination unit irradiating the second light; And
And a horizontal driving unit connected to the third support and electrically connected to the control unit and horizontally moving the third support,
The control unit operates the horizontal driving unit in the first state such that the second illuminating unit overlaps the optical axis connecting the optical center of the lens assembly and the center of the sensor unit, And at least one of the support table and the second drive first support table is tilted.
상기 제어 유닛은, 상기 제1상태와 다른 제2상태에서 상기 제1조명 유닛 및 센서 유닛을 동작시켜 상기 렌즈 조립체를 검사하도록 구비된 렌즈 검사장치.The method according to claim 2 or 3,
Wherein the control unit operates the first illumination unit and the sensor unit to inspect the lens assembly in a second state different from the first state.
상기 제3지지대의 상기 개구에 위치하고, 상기 렌즈 조립체와 상기 제1조명 유닛 사이의 거리를 보정할 수 있는 거리 보정 렌즈를 더 포함하는 렌즈 검사장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
And a distance correction lens located in the opening of the third support and capable of correcting the distance between the lens assembly and the first illumination unit.
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