KR20100011374A - 시프터 및 방법, 그리고 이를 구비하는 기판 이송 장치 및그 방법 - Google Patents

시프터 및 방법, 그리고 이를 구비하는 기판 이송 장치 및그 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20100011374A
KR20100011374A KR1020080072559A KR20080072559A KR20100011374A KR 20100011374 A KR20100011374 A KR 20100011374A KR 1020080072559 A KR1020080072559 A KR 1020080072559A KR 20080072559 A KR20080072559 A KR 20080072559A KR 20100011374 A KR20100011374 A KR 20100011374A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
shifter
substrate transfer
shifters
rolling units
Prior art date
Application number
KR1020080072559A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101015226B1 (ko
Inventor
도대용
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020080072559A priority Critical patent/KR101015226B1/ko
Publication of KR20100011374A publication Critical patent/KR20100011374A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101015226B1 publication Critical patent/KR101015226B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/07—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for semiconductor wafers Not used, see H01L21/677
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G23/00—Driving gear for endless conveyors; Belt- or chain-tensioning arrangements
    • B65G23/02—Belt- or chain-engaging elements
    • B65G23/20—Screws
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G39/00—Rollers, e.g. drive rollers, or arrangements thereof incorporated in roller-ways or other types of mechanical conveyors 
    • B65G39/02—Adaptations of individual rollers and supports therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • B65G43/08—Control devices operated by article or material being fed, conveyed or discharged
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 기판의 크기에 대응하여 기판 이송 경로를 전환하는 시프터 및 그 처리 방법, 그리고 이를 구비하는 기판 이송 장치 및 그 처리 방법에 관한 것이다. 시프터는 기판이 안착되는 상부면이 동일한 복수 개의 롤링 유닛들과, 롤링 유닛들 사이에 배치되어 롤링 유닛들을 결합, 분리하는 적어도 하나의 조인터를 포함한다. 기판 이송 장치는 면취후 세정 공정을 처리한 기판을 배출하는 컨베이어 장치로부터 기판을 이송받아서 후속 공정을 처리하기 위한 다른 외부 장치로 기판을 이송하는 복수 개의 시프터들을 구비한다. 시프터들은 적어도 제 1 및 제 2 롤링 유닛들을 구비하고, 조인터에 의해 제 1 및 제 2 롤링 유닛들을 결합하거나 분리시킨다. 시프터는 기판의 크기가 대형인 경우, 제 1 및 제 2 롤링 유닛들을 결합하여 기판 이송 경로를 전환하고, 기판의 크기가 소형인 경우, 제 1 및 제 2 롤링 유닛을 분리시켜서 제 1 롤링 유닛은 버퍼 기능을 처리하고, 동시에 제 2 롤링 유닛은 기판 이송 경로를 전환한다. 본 발명에 의하면, 기판의 크기에 대응하여 시프터들을 개별 또는 전체로 이동시킴으로써, 기판 이송에 따른 소용 시간(TACT time)을 줄일 수 있다.
Figure P1020080072559
기판 이송 장치, 컨베이어 장치, 시프터, 기판 크기, 버퍼 기능

Description

시프터 및 방법, 그리고 이를 구비하는 기판 이송 장치 및 그 방법{SHIFTER AND METHOD, SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS WITH THE SHIFTER AND METHOD OF THE SAME}
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 기판의 크기에 대응하여 버퍼 기능을 구비하는 시프터 및 그의 처리 방법, 그리고 이를 구비하는 기판 이송 장치 및 그의 처리 방법에 관한 것이다.
평판 표시 패널을 제작하는 기판 처리 장치는 대형의 글래스 기판을 복수 개의 단위 기판으로 절단하는 면취 공정을 처리한다. 이와 같은 기판 처리 장치는 글래스 기판을 스크라이빙(scribing), 브레이킹(breaking) 및, 연마 등 일련의 공정들을 처리한다. 스크라이빙 공정은 레이저나 스크라이빙 휠 등을 이용하여 절단 예정인 기판 표면에 스크라이브 라인(scribe line)을 형성한다. 브레이킹 공정은 스크라이빙 선이 형성된 글래스 기판에 전기적 또는 물리적인 충격을 가하여 단위 기판으로 절단한다. 또 연마 공정은 기판의 절단면을 연마하여 라운딩 처리한다. 면취 공정이 완료되면, 글래스 기판에는 면취 공정에 의해 발생되는 유리 가루 등의 파티클이 잔존하게 되는데, 기판 처리 장치는 파티클을 제거하기 위하여 면취 후 세정 공정을 처리한다.
면취 후 세정 공정을 처리하는 기판 처리 장치 즉, 면취 후 세정기는 기판 이송 방향으로 나란히 배치된 복수 개의 처리 유닛들과, 처리 유닛들 간에 기판을 이송하는 기판 이송 장치를 가진다. 기판 이송 장치는 예를 들어, 각각의 처리 유닛들 하부에 배치되는 컨베이어 장치로 구비된다. 기판 처리 장치는 컨베이어 장치 상부에 배치되는 노즐, 브러쉬 등의 세정 장치를 가진다. 이와 같은 구성에 의해 처리 유닛은 컨베이어 장치를 이용하여 기판을 이송하면서 노즐, 브러쉬 등을 통해 기판 표면을 세정한다.
또 기판 이송 장치는 컨베이어 장치로부터 기판을 받아서 기판 이송 방향을 전환하여 다른 처리 유닛, 다른 컨베이어 장치 또는 다른 기판 처리 장치로 기판을 전달하는 시프터(shifter)를 구비한다. 예를 들어, 시프터는 회전하거나, 수평 이동하여 기판 이송 경로를 전환한다.
도 1을 참조하면, 기판 이송 장치(2)는 면취 후 세정 공정을 처리하는 복수 개의 처리 유닛들의 끝단에 배치되어 기판(4)을 배출하는 컨베이어 장치(10)와, 기판 이송 경로를 전환하는 시프터(20)를 구비한다.
컨베이어 장치(10)는 예컨대, 처리 유닛 내부에 구비되거나 독립적인 기판 이송 장치로 구비될 수 있다. 컨베이어 장치(10)는 복수의 샤프트(12)들, 롤러(14)들 및 구동부(미도시됨)를 구비한다. 샤프트(12)들은 서로 평행하게 배치되고, 각각의 샤프트(12)에는 그 길이 방향을 따라 복수의 롤러(14)들이 일정 간격으로 고정 결합된다. 샤프트(12)들은 그 중심축을 기준으로 구동부(미도시됨)에 의해 회전 된다. 구동부는 예를 들어, 풀리, 벨트 및, 모터 등을 포함하며, 이들이 연동되어 샤프트(12)들을 회전시킨다. 따라서 컨베이어 장치(10)는 기판(4)의 하면이 롤러(14)들에 접촉된 상태로 샤프트(12)들을 회전시켜서 기판(4)을 제 1 기판 이송 방향으로 이송한다.
이러한 컨베이어 장치(10)는 면취 후 세정 공정이 완료된 기판(4)을 후속 공정 처리하기 위해 다른 처리 유닛, 컨베이어 장치 또는 기판 처리 장치(미도시됨)로 기판(4)을 이송하기 위하여 시프터(20)로 배출한다.
시프터(20)는 컨베이어 장치(10)로부터 기판(4)이 배출되는 제 1 기판 이송 방향과 일치되게 배치되고, 상부에 롤링 유닛(22)이 구비되는 제 1 프레임(6)과, 제 1 프레임(6)과 평행하게 배치되어 다른 처리 유닛(또는 다른 컨베이어 장치 또는 다른 기판 처리 장치)로 기판(4)을 이송하는 제 2 기판 이송 방향과 일치되게 배치되는 제 2 프레임(8)을 구비한다.
롤링 유닛(rolling unit)(22)은 기판 이송 경로를 전환하기 위하여, 구동부(미도시됨)에 의해 제 1 및 제 2 프레임(6, 8) 사이를 직선 이동한다. 롤링 유닛(22)은 복수 개의 샤프트(24)들과, 각각의 샤프트(24)에 고정 설치되는 복수 개의 롤러(26)들 및, 롤링 유닛(22) 양측에 배치되어 기판 이송 시, 이탈을 방지하는 복수 개의 가이드 롤러(28)들이 구비된다. 이러한 시프터(20)는 기판 이송 경로를 전환(예컨대, 수평 이동)하기 위해, 롤링 유닛(22)이 제 1 프레임(6) 상단에 위치된 상태에서 컨베이어 장치(10)로부터 기판(4)을 받아서 제 2 프레임(8) 상단으로 이동(shift)된다.
그러나 롤링 유닛(22)이 제 2 프레임(8) 상단으로 이동될 때, 컨베이어 장치(10)로부터 다음에 배출될 기판(4)은 컨베이어 장치(10)에서 대기해야만 하므로, 연속적으로 기판 이송이 되지 않아 기판 이송에 대한 소요 시간(TACT time)이 증가하는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 기판 이송 시, 버퍼 기능을 갖는 시프터 및 그 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 버퍼 기능을 갖는 시프터를 구비하는 기판 이송 장치 및 그의 기판 이송 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 기판 이송에 따른 소요 시간을 줄이기 위한 시프터 및 그 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 기판 이송에 따른 소요 시간을 줄이기 위한 시프터를 구비하는 기판 이송 장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 기판의 크기에 대응하여 시프터를 이용하는 기판 이송 장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 시프터는 복수 개의 롤링 유닛을 구비하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같이 시프터는 기판의 크기에 대응하여 일부 또는 전부의 롤링 유닛이 기판을 시프트함으로써, 기판이 롤링 유닛보다 작거나 동 일한 경우에는 출구 컨베이어 장치로부터 기판을 받아들이는 버퍼 기능과 동시에 기판 이송 경로를 전환할 수 있다.
본 발명의 기판 이송 경로를 전환하는 시프터는, 서로 다른 제 1 및 제 2 기판 이송 경로 상에 각각 설치되는 제 1 및 제 2 프레임과; 상기 제 1 및 상기 제 2 프레임들 상단 간에 이동되도록 설치되는 복수 개의 롤링 유닛들과; 상기 롤링 유닛들 사이에 설치되어 상기 롤링 유닛들을 결합, 분리하는 조인터 및; 상기 롤링 유닛들이 상기 제 1 및 상기 제 2 프레임 상단 간에 이동되도록 상기 롤링 유닛들 일부 또는 전부를 구동하는 시프터 구동부를 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 제 1 프레임은 상기 제 1 기판 이송 경로와 동일한 방향으로 설치되고, 상기 제 2 프레임은 상기 제 1 프레임과 동일한 높이로 상기 제 1 프레임과 일정 간격 이격되게 배치되고, 상기 제 2 기판 이송 경로와 동일한 방향으로 설치된다.
다른 실시예에 있어서, 상기 롤링 유닛들 각각은 기판이 지지되는 상부면이 동일한 크기로 구비된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 시프터는; 기판의 크기에 대응하여 상기 롤링 유닛들을 결합, 분리하도록 상기 조인터를 제어하는 제어부를 더 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 조인터는; 상기 롤링 유닛들 사이에서 상기 롤링 유닛들에 장착, 분리되어 상기 롤링 유닛들을 결합, 분리하는 적어도 하나의 결합핀 및; 상기 결합핀과 연결되어, 상기 결합핀을 구동하는 실린더를 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 결합핀은; 일측이 상기 실린더의 이동축과 결합되는 몸체와; 상기 몸체의 타측으로 돌출되어 상기 롤링 유닛들 각각에 제공되는 체결홀들에 동시에 삽입, 분리되는 제 1 및 제 2 핀들을 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 제어부는; 상기 롤링 유닛들이 상기 제 1 및 상기 제 2 프레임 상단 간에 이동되도록 상기 시프터 구동부를 더 제어한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 시프터 구동부는; 상기 롤링 유닛들 중 적어도 하나에 고정 설치되는 부싱과; 상기 제 1 및 상기 제 2 프레임에 고정 설치되고, 상기 롤링 유닛들의 이동 방향과 동일한 방향으로 연장되어 상기 부싱과 결합되며, 상기 롤링 유닛들이 상기 제 1 및 상기 제 2 프레임 사이를 이동하도록 회전하는 스크류 및; 상기 스크류를 회전시키는 모터를 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 시프터 구동부는; 상기 하나의 롤링 유닛으로 동력을 전달하도록 설치되고, 상기 롤링 유닛들 중 나머지는 상기 조인터에 의해 상기 하나의 롤링 유닛과 결합되어 동력을 전달받는다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상호 분리, 결합 가능한 복수 개의 롤링 유닛들이 일렬로 배치되어, 서로 다른 기판 이송 경로들 중 어느 하나로 기판 이송 방향을 전환하는 시프터의 처리 방법이 제공된다.
이 방법에 의하면, 기판의 크기가 상기 롤링 유닛들의 상부면과 동일하거나 상기 상부면보다 작으면, 상기 롤링 유닛들을 분리하여 상기 롤링 유닛들 중 기판이 투입되는 쪽의 롤링 유닛은 다른 기판이 투입되도록 대기한다. 동시에 기판이 배출되는 쪽의 롤링 유닛은 시프트된다.
한 실시예에 있어서, 상기 처리 방법은; 기판의 크기가 상기 상부면 보다 크 면, 상기 롤링 유닛들을 결합하여 상기 롤링 유닛들을 동시에 시프트한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 처리 방법은; 상기 롤링 유닛들로 투입되기 전에 기판의 크기를 판별하는 것을 더 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 롤링 유닛들은 기판이 안착되는 상부면이 동일한 크기를 갖는다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 기판 이송 방향들은 동일 평면 상에서 상호 수평으로 평행하게 제공되고, 상기 롤링 유닛들의 이동 방향은 상기 기판 이송 방향들과 상기 동일 평면 상에서 상호 수직한다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 기판 이송 경로를 전환하는 복수 개의 시프터들을 구비하는 기판 이송 장치가 제공된다. 이와 같은 본 발명의 기판 이송 장치는 기판 크기에 대응하여 시프터 일부 또는 전부를 이동시킬 수 있다.
이 특징의 기판 이송 장치는, 처리 유닛에서 처리된 기판을 배출하는 컨베이어 장치와; 상기 컨베이어 장치의 기판 이송 방향과 동일한 제 1 기판 이송 경로에 배치되고, 상기 제 1 기판 이송 방향과는 상호 평행하게 배치되는 제 2 기판 이송 경로로 시프트 가능하며, 상기 컨베이어 장치로부터 기판을 받아들이는 제 1 시프터와; 상기 제 1 시프터와 인접하게 배치되어 상기 제 1 시프터로부터 기판을 받아들이고, 상기 제 1 및 상기 제 2 기판 이송 경로 사이를 시프트하여, 상기 제 2 기판 이송 방향으로 기판을 배출하는 제 2 시프터와; 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터 사이에 구비되어 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터를 분리, 결합하는 적어도 하나의 조인터 및; 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터들 중 일부 또는 전부를 상기 제 1 및 상기 제 2 기판 이송 경로 사이에서 시프트하도록 구동하는 시프터 구동부를 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 기판 처리 장치는; 상기 컨베이어 장치로부터 상기 제 1 시프터로 투입되는 기판의 크기를 판별하고, 기판의 크기가 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터들 각각에 기판이 안착되는 상부면과 동일하거나 상기 상부면보다 작으면, 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터를 분리하도록 상기 조인터를 제어하고, 기판의 크기가 상기 상부면보다 크면, 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터를 결합하도록 상기 조인터를 제어하는 제어부를 더 포함한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 조인터는; 상기 제 1 시프터에 장착, 분리되는 제 1 핀과, 상기 제 1 핀에 대향하여 상기 제 2 시프터에 장착 분리되는 제 2 핀을 갖는 결합핀 및; 상기 제 1 및 상기 제 2 핀들이 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터에 동시에 장착, 분리되도록 상기 결합핀을 구동하는 실린더를 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 시프터 구동부는; 상기 제 2 시프터에 고정 설치되는 부싱과; 상기 제 2 시프터의 이동 방향과 동일한 방향으로 상기 부싱과 결합되어 상기 제 2 시프터가 상기 제 1 및 상기 제 2 기판 이송 경로 사이를 이동하도록 회전하는 스크류 및; 상기 스크류를 회전시키는 모터를 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 시프터 구동부는; 상기 제 2 시프터로 동력을 전달하도록 설치되고, 상기 제 1 시프터는 상기 조인터에 의해 상기 제 1 시프터와 결합되어 동력을 전달받는다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 기판 이송 장치는; 상기 컨베이어 장치와 인 접하게 상기 제 1 기판 이송 경로 상에 설치되는 제 1 메인 프레임과, 상기 제 1 메인 프레임과 평행하게 상기 제 2 기판 이송 경로 상에 설치되는 제 2 프레임을 포함한다. 이 때, 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터들 각각은; 상기 제 1 및 상기 제 2 프레임들 상단 사이에서 이동 가능하고, 기판의 크기에 대응하여 개별 또는 결합되어 상기 제 1 프레임 상단에서 상기 제 1 기판 이송 방향으로 기판을 받아들이고, 상기 제 2 프레임의 상단으로 이동하여, 후속 공정을 처리하도록 기판을 상기 제 2 기판 이송 방향으로 이송하는 제 1 및 제 2 롤링 유닛들을 포함한다. 여기서 상기 조인터는 상기 제 1 및 상기 제 2 롤링 유닛들 사이에 설치되어 상기 제 1 및 상기 제 2 롤링 유닛들을 결합, 분리한다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 처리 유닛에서 공정이 처리된 기판을 제 1 기판 이송 방향으로 배출하는 컨베이어 장치로부터 기판을 받아들이는 제 1 및 제 2 시프터를 구비하는 기판 이송 장치의 처리 방법이 제공된다.
이 방법에 따르면, 기판의 크기가 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터들의 기판이 안착되는 상부면과 동일하거나 상기 상부면보다 작으면, 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터를 분리한다. 상기 제 1 기판 이송 방향으로 상기 제 1 시프터를 경유하여 상기 제 2 시프터로 기판을 이송한다. 상기 제 1 시프터가 다른 기판을 받을 수 있도록 대기한다. 동시에 상기 제 2 시프터를 상기 제 1 기판 이송 방향과 평행한 제 2 기판 이송 방향으로 이동한다. 이어서 상기 제 2 시프터로부터 상기 제 2 기판 이송 방향으로 기판을 배출한다.
한 실시예에 있어서, 상기 처리 방법은; 기판의 크기가 상기 상부면보다 크 면, 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터를 결합한다. 상기 제 1 기판 이송 방향으로 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터로 기판을 이송한다. 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터를 동시에 상기 제 2 기판 이송 방향으로 이동한다. 이어서 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터로부터 상기 제 2 기판 이송 방향으로 기판을 배출한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 처리 방법은; 상기 제 1 시프터로 기판이 투입되기 전에, 기판의 크기를 판별하는 것을 더 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터를 분리, 결합하는 것은; 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터 사이에 배치되어, 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터에 장착, 분리되는 복수 개의 조인터들을 구비한다. 기판의 크기가 상기 상부면과 동일하거나 상기 상부면보다 작으면, 상기 조인터들을 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터에서 분리한다. 그리고 기판의 크기가 상기 상부면보다 크면, 상기 조인터들을 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터에 장착한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터는 기판이 안착되는 상부면이 동일한 크기로 제공된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 시프터는 복수 개로 구비되어, 기판의 크기에 따라 개별 또는 결합되어 시프트함으로써, 소형의 기판인 경우, 기판 이송 경로를 전환함과 동시에 버퍼 기능을 제공할 수 있다.
또한 본 발명의 복수 개의 시프터들을 구비하는 기판 이송 장치는 컨베이어 장치로부터 배출되는 기판의 크기에 대응하여 복수 개의 시프터들을 결합, 분리시 킴으로써, 소형의 기판인 경우, 기판을 받아들일 수 있는 버퍼 기능과 동시에 기판을 시프트시킬 수 있다.
따라서 본 발명의 시프터 및 이를 구비하는 기판 이송 장치는 기판 이송에 따른 소요 시간을 줄이는 효과를 얻을 수 있다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도 2 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 시프터를 구비하는 기판 이송 장치의 구성을 도시한 도면이고, 도 3은 도 2에 도시된 기판 이송 장치의 시프터 구동을 위한 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 기판 이송 장치(100)는 공정이 처리된 기판(104)을 이송하는 컨베이어 장치(110)와, 컨베이어 장치(110)의 기판 이송 방향과 동일한 제 1 기판 이송 경로에서 다른 기판 이송 방향 예컨대, 후속 공정을 처리하기 위한 제 2 기판 이송 경로로 이동(shift)되어 기판(104)을 외부로 이송하는 복수 개의 시프터(shifter)(130, 140)들 및, 복수 개의 시프터(130, 140)들 사이에 설치 되어 시프터(130, 140)들을 결합, 분리하는 적어도 하나의 조인터(도 3의 150)를 포함한다. 기판 이송 장치(100)는 시프터(130, 140)들이 이동되는 제 1 기판 이송 경로 상에 제 1 메인 프레임(106)이 설치되고, 제 2 기판 이송 경로 상에 제 2 메인 프레임(106, 108)이 설치된다. 또 기판 이송 장치(100)는 기판의 크기를 판별하여, 시프터(130, 140)들을 결합, 분리하도록 조인터(150)를 제어하는 제어부(도 3의 102)를 포함한다.
이러한 기판 이송 장치(100)는 예를 들어, 면취 후 세정 공정을 처리하는 적어도 하나의 처리 유닛(미도시됨)들과, 처리 유닛으로부터 공정 처리된 기판을 검사, 이송 등의 후속 공정을 처리하는 외부 장치(예를 들어, 다른 처리 유닛, 기판 이송 장치 및 기판 처리 장치 등)(미도시됨) 사이에 구비된다. 처리 유닛 및 외부 장치는 다른 공정들을 각각 처리할 수도 있다.
컨베이어 장치(110)는 예컨대, 면취 후 세정 공정이 처리된 기판(104)을 이송하는 출구 컨베이어로서, 면취 후 세정 공정을 처리하는 처리 유닛 내부에 구비되거나, 독립적인 장치로 구비되어 기판(104)을 제 1 기판 이송 방향으로 이송한다. 컨베이어 장치(110)는 복수 개의 샤프트(112)들과, 각각의 샤프트(112)에 설치되는 복수 개의 롤러(114)들을 포함한다. 또 컨베이어 장치(110)는 기판(104)을 이송 방향으로부터 이탈되는 것을 방지하는 복수 개의 가이드 롤러(미도시됨)들을 구비할 수도 있다.
시프터(130, 140)들은 컨베이어 장치(110)로부터 기판(104)의 크기에 대응하여 개별 또는 결합된 상태로 시프트된다. 시프터(130, 140)들 각각은 샤프트(134, 144), 롤러(136, 146) 및 가이드 롤러(138, 148)들을 복수 개 구비하여, 외부 장치로 기판을 제공하기 위해 기판 이송 경로를 전환한다.
구체적으로, 시프터(130, 140)들은 컨베이어 장치(110)와 인접하게 배치되고, 제 1 기판 이송 경로 상에 일정 높이로 설치되는 제 1 메인 프레임(106)과, 제 2 기판 이송 경로 상에 제 1 메인 프레임(106)과 동일한 높이로 설치되는 제 2 메인 프레임(108)과, 제 1 및 제 2 메인 프레임(106, 108) 간에 기판 이송 방향과 수직하는 방향으로 이동(shift)하는 복수 개의 롤링 유닛들(132, 142) 및, 롤링 유닛(132, 142)들을 구동하는 시프터 구동부(도 3의 160)를 포함한다. 제 1 및 제 2 기판 이송 경로는 상호 평행하며, 복수 개의 롤링 유닛(132, 142)들은 제 1 또는 제 2 기판 이송 경로 상에서 일렬로 배치된다. 물론 각각의 시프터(130, 140)들은 각각 하나의 메인 프레임과 하나의 롤링 유닛이 일체형으로 구비되고, 그 전체가 이동하여 기판 이송 경로를 전환하는 구조로 제공될 수도 있다.
롤링 유닛(132, 142)들은 제 1 및 제 2 메인 프레임들(106, 108) 상단 사이를 시프트되도록 설치된다. 이를 위해 롤링 유닛(132, 142)들은 기판(104)의 크기에 대응하여 개별적으로 또는 결합되어 제 1 또는 제 2 메인 프레임(106 또는 108) 상단으로 이동하고, 기판(104)을 제 1 또는 제 2 기판 이송 방향으로 이송한다. 롤링 유닛(132, 142)들은 적어도 2 개가 구비되고, 롤링 유닛(132, 142)들 각각의 상부면은 동일한 크기를 가진다. 예를 들어, 롤링 유닛(132, 142)들은 제 1 및 제 2 롤링 유닛(132, 142)을 포함한다. 이 때, 제 1 롤링 유닛(132)은 제 2 롤링 유닛(142)보다 컨베이어 장치(110)에 더 인접하게 배치된다. 또 제 2 롤링 유닛(142)에는 제 1 및 제 2 롤링 유닛(132, 142)들을 동시에 또는 제 2 롤링 유닛(142) 만을 시프트시키는 시프터 구동부(160)가 설치된다.
시프터 구동부(160)는 제 2 롤링 유닛(142)에 고정 설치되는 볼 타입의 부싱(166)과, 제 1 및 제 2 메인 프레임(106, 108)에 고정 설치되고, 제 2 롤링 유닛(142)의 이동 방향과 동일한 방향으로 연장되어 부싱(166)과 결합되며, 제 2 롤링 유닛(142)이 제 1 및 제 2 메인 프레임(106, 108) 사이를 이동하도록 회전하는 스크류(164) 및, 제어부(102)의 제어를 받아서 스크류(164)를 정회전 및 역회전시키는 모터(162)를 포함한다. 따라서 시프터 구동부(160)는 제 2 롤링 유닛(142)으로 동력을 전달한다. 또 제 1 롤링 유닛(132)은 조인터(150)에 의해 제 2 롤링 유닛(142)과 결합되어 동력을 전달받는다. 물론 시프터 구동부(160)는 보다 동력을 균일하게 전달할 수 있도록 하기 위해, 제 1 및 제 2 롤링 유닛(132, 142)들 각각에 설치될 수도 있다.
조인터(150)는 제 1 및 제 2 롤링 유닛(132, 142)들 사이에 설치되어 제 1 및 제 2 롤링 유닛(132, 142)들에 장착되거나 분리되는 결합핀(154)과, 제어부(102)의 제어를 받아서 제 1 및 제 2 롤링 유닛(132, 142)들이 결합, 분리되도록 결합핀(154)을 상하로 구동하는 실린더(152)를 포함한다. 따라서 조인터(150)는 제 1 및 제 2 롤링 유닛(132, 142)을 결합시켜서 이들이 동시에 이동될 수 있도록 한다. 또한 조인터(150)는 하나의 시프터 구동부(160)로 2 개의 롤링 유닛(132, 142)들을 동시에 이동 가능하게 한다.
예를 들어, 도 6을 참조하면, 제 1 및 제 2 롤링 유닛들(132, 142) 각각은 내부에 복수 개의 샤프트(134, 144), 롤러(136, 146) 및 가이드 롤러(138, 148)들이 설치되는 이동 프레임(132a, 142a)들을 구비한다. 이동 프레임(132a, 142a)들은 마주하는 양측 각각에 하나의 결합핀(154)이 동시에 장착되는 한 쌍의 제 1 및 제 2 체결홀(132b, 142b 또는 132c, 142c)들을 적어도 하나 구비한다. 결합핀(154)은 하부 중앙에 실린더(152)의 이동축(152a)과 결합되는 몸체(154c)와, 몸체(154c)의 상부 양측이 돌출되어 동시에 제 1 및 제 2 체결홀(132b, 142b 또는 132c, 142c)들에 삽입, 이탈되는 제 1 및 제 2 핀(154a, 154b)들을 포함한다.
이와 같은 구성의 결합핀(154)은 실린더(152)의 이동축(152a)이 상부로 이동되면, 제 1 및 제 2 핀(154a, 154b)들이 동시에 제 1 및 제 2 체결홀(132b, 142b 또는 132c, 142c)들에 장착되어, 제 1 및 제 2 롤링 유닛(132, 142)들을 결합한다. 또 결합핀(154)은 실린더(152)의 이동축(152a)이 하부로 이동되면, 제 1 및 제 2 핀(154a, 154b)들이 동시에 제 1 및 제 2 체결홀(132b, 142b 또는 132c, 142c)들로부터 이탈되어, 제 1 및 제 2 롤링 유닛(132, 142)들을 분리한다.
다시 도 2 및 도 3을 참조하면, 제어부(102)는 예를 들어, 기판 이송 장치(100)의 제반 동작을 제어하는 컨트롤러, 컴퓨터 장치 등으로 구비되고, 컨베이어 장치(110)로부터 제 1 및 제 2 롤링 유닛(132, 142)(또는 시프터)들로 투입되는 기판(104)의 크기를 판별하고, 기판(104)의 크기가 롤링 유닛의 상부면보다 크면, 제 1 및 제 2 롤링 유닛(132, 142)들이 결합되도록 조인터(150)를 제어한다. 또 제어부(102)는 기판(104)의 크기가 롤링 유닛의 상부면과 동일하거나 상부면보다 작으면, 제 1 및 제 2 롤링 유닛(132, 142)들이 분리되도록 조인터(150)를 제어 한다. 그리고 제어부(102)는 기판(104)의 크기에 따라 제 1 및 제 2 롤링 유닛(132, 142)들이 동시에 제 1 메인 프레임(106) 상단으로부터 제 2 메인 프레임(108) 상단으로 이동하거나, 또는 제 1 롤링 유닛(132)은 제 1 메인 프레임(106) 상단에서 컨베이어 장치(110)로부터 투입되는 다른 기판을 받을 수 있도록 대기하고, 동시에 제 2 롤링 유닛(142)은 제 1 및 제 2 메인 프레임(106, 108) 상단 사이를 이동하도록 시프터 구동부(160)를 제어한다.
따라서 본 발명의 기판 이송 장치(100)는 대형 기판(104a) 즉, 시프터들 각각의 상부면보다 큰 기판을 이송하는 경우, 도 4에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 시프터(130, 140)를 조인터(150)로 결합한 상태에서 컨베이어 장치(110)로부터 기판(104a)을 받아들이고, 제 1 및 제 2 시프터(130, 140)로 기판(104a)을 이송한다. 제 1 및 제 2 시프터(130, 140)로 기판(104a)이 이송되면, 제 1 및 제 2 시프터(130, 140)를 동시에 시프트하여 기판 이송 경로를 전환한다.
또 기판 이송 장치(100)가 시프터들 각각의 상부면과 동일하거나 상부면보다 작은 소형 기판(104b)을 이송하는 경우에는 도 5에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 시프터(130, 140)를 조인터(150)로 분리한 상태에서 컨베이어 장치(110)로부터 기판(104b)을 받아들이고, 제 1 및 제 2 시프터(130, 140) 순으로 기판(104b)을 이송한다. 이 때, 기판(104b)은 최종적으로 제 2 시프터(140)의 상부면에 안착된다. 이어서 제 1 시프터(130)는 컨베이어 장치(110)로부터 다른 기판(104b)을 받아들일 수 있는 대기 상태(즉, 버퍼 기능)가 되고, 동시에 제 2 시프터(140)는 시프트되어 기판 이송 경로를 전환한다.
그러므로, 제 1 및 제 2 시프터(130, 140)는 기판(104a, 104b)의 크기에 대응하여 결합, 분리되어 개별 또는 전체가 시프트함으로써, 소형의 기판인 경우, 기판 대기 시간을 최소화하여 보다 효과적으로 기판을 이송할 수 있다.
계속해서, 도 7은 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 기판 이송 수순을 나타내는 흐름도이다.
도 7을 참조하면, 단계 S200에서 컨베이어 장치(110)로 기판(104)이 이송되면, 단계 S202에서 기판(104)의 크기를 판별한다. 즉, 컨베이어 장치(110)로부터 제 1 시프터(130)로 배출되는 기판(104)이 제 1 및 제 2 시프터(130, 140) 각각의 롤링 유닛(132, 142)의 기판을 안착하는 상부면 보다 큰 기판인지를 판별한다. 이는 면취 후 세정 공정(또는 다른 공정)을 처리하는 레시피(recipe)에 기판의 크기 정보를 포함하고 있으므로, 이를 통해 제어부(102)가 판별한다.
판별 결과, 기판(104a)의 크기가 롤링 유닛의 상부면보다 크면, 이 수순은 단계 S204로 진행하여, 제 1 및 제 2 시프터(130, 140)를 결합하기 위해 조인터(150)를 제 1 및 제 2 롤링 유닛(132, 142)에 장착되도록 구동하고, 단계 S206에서 제 1 및 제 2 시프터(130, 140)로 기판(104a)을 이송한다. 제 1 및 제 2 시프터(130, 140)로 기판(104a)이 이송되면, 단계 S208에서 제 1 및 제 2 시프터(130, 140)를 동시에 제 2 기판 이송 경로로 시프트시킨다. 이어서 단계 S210에서 기판(104a)을 제 2 기판 이송 방향으로 이송하여 외부 장치(미도시됨)(예를 들어, 다른 처리 유닛, 컨베이어 장치 또는 기판 처리 장치 등)가 후속 공정을 처리하도록 한다.
또 판별 결과, 기판(104b)의 크기가 롤링 유닛의 상부면과 동일하거나 상부면보다 작으면, 이 수순은 단계 S212로 진행하여, 제 1 및 제 2 시프터(130, 140)가 분리되도록 조인터(150)를 구동하여 제 1 및 제 2 시프터(130, 140)로부터 분리시킨다. 단계 S214에서 컨베이어 장치(110)로부터 제 1 기판 이송 방향으로 기판(104b)을 배출하여 제 1 및 제 2 시프터(130, 140) 순으로 기판(104b)을 이송한다. 이 때, 기판(104b)은 상부면과 동일하거나 상부면보다 작은 크기이므로, 최종적으로 제 2 시프터(140)의 상부면에 안착된다. 단계 S216에서 제 1 시프터(130)는 버퍼 기능을 위하여, 컨베이어 장치(110)로부터 다른 기판(104b)을 받을 수 있는 대기 상태를 유지하고, 동시에 제 2 시프터(140)를 제 2 기판 이송 경로로 시프트한다. 이어서 단계 S218에서 제 1 시프터(130)는 다른 기판(104b)을 받아들이고, 동시에 제 2 시프터(140)는 기판(104b)을 제 2 기판 이송 방향으로 배출한 후, 제 1 기판 이송 경로로 복귀한다. 물론 단계 S216에서 제 1 시프터(130)는 제 2 시프터(140)가 제 1 기판 이송 경로로부터 제 2 기판 이송 경로로 시프트될 때, 컨베이어 장치(110)로부터 다른 기판(104b)을 받을 수 있으며, 이 경우에는 단계 S218에서 제 1 시프터(130)는 제 2 시프터(140)가 제 1 기판 이송 경로로 복귀될 때까지 대기한다.
이상에서, 본 발명에 따른 시프터 및 이를 구비하는 기판 이송 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
도 1은 일반적인 기판 이송 장치의 구성을 도시한 도면;
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 구성을 도시한 도면;
도 3은 도 2에 도시된 기판 이송 장치의 시프터 구동을 위한 구성을 도시한 블럭도;
도 4는 도 2에 도시된 기판 이송 장치의 대형 기판을 이송하는 경우의 시프터 동작을 나타내는 도면;
도 5는 도 2에 도시된 기판 이송 장치의 소형 기판을 이송하는 경우의 시프터 동작을 나타내는 도면;
도 6은 도 3에 도시된 결합핀의 구성을 나타내는 사시도; 그리고
도 7은 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 기판 이송 수순을 나타내는 흐름도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100 : 기판 이송 장치 102 : 제어부
104 : 기판 104a : 대형 기판
104b : 소형 기판 106 : 제 1 프레임
108 : 제 2 프레임 110 : 컨베이어 장치
130 : 제 1 시프터 132 : 제 1 롤링 유닛
132a, 142a : 이동 프레임 132b, 142b : 체결홀
140 : 제 2 시프터 142 : 제 2 롤링 유닛
150 : 조인터 152 : 실린더
152a : 실린더 이동축 154 : 결합핀
154a, 154b : 핀 154c : 몸체
160 : 시프터 구동부

Claims (25)

  1. 기판 이송 방향을 전환하는 시프터에 있어서:
    서로 다른 제 1 및 제 2 기판 이송 경로 상에 각각 설치되는 제 1 및 제 2 프레임과;
    상기 제 1 및 상기 제 2 프레임들 상단 간에 이동(shift)되도록 설치되는 복수 개의 롤링 유닛들과;
    상기 롤링 유닛들 사이에 설치되어 상기 롤링 유닛들을 결합, 분리하는 조인터 및;
    상기 롤링 유닛들이 상기 제 1 및 상기 제 2 프레임 상단 간에 이동(shift)되도록 상기 롤링 유닛들 일부 또는 전부를 구동하는 시프터 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 시프터.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 프레임은 상기 제 1 기판 이송 경로와 동일한 방향으로 설치되고,
    상기 제 2 프레임은 상기 제 1 프레임과 동일한 높이로 상기 제 1 프레임과 일정 간격 이격되게 배치되고, 상기 제 2 기판 이송 경로와 동일한 방향으로 설치되는 것을 특징으로 하는 시프터.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 롤링 유닛들 각각은 기판이 지지되는 상부면이 동일한 크기로 구비되는 것을 특징으로 하는 시프터.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 시프터는;
    기판의 크기에 대응하여 상기 롤링 유닛들을 결합, 분리하도록 상기 조인터를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시프터.
  5. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,
    상기 조인터는;
    상기 롤링 유닛들 사이에서 상기 롤링 유닛들에 장착, 분리되어 상기 롤링 유닛들을 결합, 분리하는 적어도 하나의 결합핀 및;
    상기 결합핀과 연결되어, 상기 결합핀을 구동하는 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 시프터.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 결합핀은;
    일측이 상기 실린더의 이동축과 결합되는 몸체와;
    상기 몸체의 타측으로 돌출되어 상기 롤링 유닛들 각각에 제공되는 체결홀들에 동시에 삽입, 분리되는 제 1 및 제 2 핀들을 포함하는 것을 특징으로 하는 시프 터.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 제어부는;
    상기 롤링 유닛들이 상기 제 1 및 상기 제 2 프레임 상단 간에 이동되도록 상기 시프터 구동부를 더 제어하는 것을 특징으로 하는 시프터.
  8. 제 1 항 또는 제 7 항에 있어서,
    상기 시프터 구동부는;
    상기 롤링 유닛들 중 적어도 하나에 고정 설치되는 부싱과;
    상기 제 1 및 상기 제 2 프레임에 고정 설치되고, 상기 롤링 유닛들의 이동 방향과 동일한 방향으로 연장되어 상기 부싱과 결합되며, 상기 롤링 유닛들이 상기 제 1 및 상기 제 2 프레임 사이를 이동하도록 회전하는 스크류 및;
    상기 스크류를 회전시키는 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 시프터.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 시프터 구동부는;
    상기 하나의 롤링 유닛으로 동력을 전달하도록 설치되고, 상기 롤링 유닛들 중 나머지는 상기 조인터에 의해 상기 하나의 롤링 유닛과 결합되어 동력을 전달받는 것을 특징으로 하는 시프터.
  10. 상호 분리, 결합 가능한 복수 개의 롤링 유닛들이 일렬로 배치되어, 서로 다른 기판 이송 경로들 중 어느 하나로 기판 이송 방향을 전환하는 시프터의 처리 방법에 있어서:
    기판의 크기가 상기 롤링 유닛들의 상부면과 동일하거나 상기 상부면보다 작으면, 상기 롤링 유닛들을 분리하여 상기 롤링 유닛들 중 기판이 투입되는 쪽의 롤링 유닛은 다른 기판이 투입되도록 대기하고, 동시에 기판이 배출되는 쪽의 롤링 유닛은 시프트되는 것을 특징으로 하는 시프터의 처리 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 처리 방법은;
    기판의 크기가 상기 상부면 보다 크면, 상기 롤링 유닛들을 결합하여 상기 롤링 유닛들을 동시에 시프트하는 것을 특징으로 하는 시프터의 처리 방법.
  12. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    상기 처리 방법은;
    상기 롤링 유닛들로 투입되기 전에 기판의 크기를 판별하는 것을 더 포함하는 시프터의 처리 방법.
  13. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    상기 롤링 유닛들은 기판이 안착되는 상부면이 동일한 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 시프터의 처리 방법.
  14. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    상기 기판 이송 방향들은 동일 평면 상에서 상호 수평으로 평행하게 제공되고, 상기 롤링 유닛들의 이동 방향은 상기 기판 이송 방향들과 상기 동일 평면 상에서 상호 수직한 것을 특징으로 하는 시프터의 처리 방법.
  15. 기판 이송 장치에 있어서:
    처리 유닛에서 처리된 기판을 배출하는 컨베이어 장치와;
    상기 컨베이어 장치의 기판 이송 방향과 동일한 제 1 기판 이송 경로에 배치되고, 상기 제 1 기판 이송 경로와는 상호 평행하게 배치되는 제 2 기판 이송 경로로 시프트 가능하며, 상기 컨베이어 장치로부터 기판을 받아들이는 제 1 시프터와;
    상기 제 1 시프터와 인접하게 배치되어 상기 제 1 시프터로부터 기판을 받아들이고, 상기 제 1 및 상기 제 2 기판 이송 경로 사이를 시프트하여, 상기 제 2 기판 이송 방향으로 기판을 배출하는 제 2 시프터와;
    상기 제 1 및 상기 제 2 시프터 사이에 구비되어 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터를 분리, 결합하는 적어도 하나의 조인터 및;
    상기 제 1 및 상기 제 2 시프터들 중 일부 또는 전부를 상기 제 1 및 상기 제 2 기판 이송 경로 사이에서 시프트하도록 구동하는 시프터 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는;
    상기 컨베이어 장치로부터 상기 제 1 시프터로 투입되는 기판의 크기를 판별하고, 기판의 크기가 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터들 각각에 기판이 안착되는 상부면과 동일하거나 상기 상부면보다 작으면, 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터를 분리하도록 상기 조인터를 제어하고, 기판의 크기가 상기 상부면보다 크면, 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터를 결합하도록 상기 조인터를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  17. 제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,
    상기 조인터는;
    상기 제 1 시프터에 장착, 분리되는 제 1 핀과, 상기 제 1 핀에 대향하여 상기 제 2 시프터에 장착 분리되는 제 2 핀을 갖는 결합핀 및;
    상기 제 1 및 상기 제 2 핀들이 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터에 동시에 장착, 분리되도록 상기 결합핀을 구동하는 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  18. 제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,
    상기 시프터 구동부는;
    상기 제 2 시프터에 고정 설치되는 부싱과;
    상기 제 2 시프터의 이동 방향과 동일한 방향으로 상기 부싱과 결합되어 상기 제 2 시프터가 상기 제 1 및 상기 제 2 기판 이송 경로 사이를 이동하도록 회전하는 스크류 및;
    상기 스크류를 회전시키는 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 시프터 구동부는;
    상기 제 2 시프터로 동력을 전달하도록 설치되고, 상기 제 1 시프터는 상기 조인터에 의해 상기 제 1 시프터와 결합되어 동력을 전달받는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  20. 제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,
    상기 기판 이송 장치는;
    상기 컨베이어 장치와 인접하게 상기 제 1 기판 이송 경로 상에 설치되는 제 1 메인 프레임과, 상기 제 1 메인 프레임과 평행하게 상기 제 2 기판 이송 경로 상에 설치되는 제 2 메인 프레임을 포함하고;
    상기 제 1 및 상기 제 2 시프터들 각각은;
    상기 제 1 및 상기 제 2 메인 프레임들 상단 사이에서 이동 가능하고, 기판의 크기에 대응하여 개별 또는 결합되어 상기 제 1 메인 프레임 상단에서 상기 제 1 기판 이송 방향으로 기판을 받아들이고, 상기 제 2 메인 프레임의 상단으로 이동하여, 후속 공정을 처리하도록 기판을 상기 제 2 기판 이송 방향으로 이송하는 제 1 및 제 2 롤링 유닛들을 포함하되;
    상기 조인터는 상기 제 1 및 상기 제 2 롤링 유닛들 사이에 설치되어 상기 제 1 및 상기 제 2 롤링 유닛들을 결합, 분리하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  21. 처리 유닛에서 공정이 처리된 기판을 제 1 기판 이송 방향으로 배출하는 컨베이어 장치로부터 기판을 받아들이는 제 1 및 제 2 시프터를 구비하는 기판 이송 장치의 처리 방법에 있어서:
    기판의 크기가 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터들의 기판이 안착되는 상부면과 동일하거나 상기 상부면보다 작으면, 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터를 분리하고, 상기 제 1 기판 이송 방향으로 상기 제 1 시프터를 경유하여 상기 제 2 시프터로 기판을 이송하고, 상기 제 1 시프터가 다른 기판을 받을 수 있도록 대기하고, 동시에 상기 제 2 시프터를 상기 제 1 기판 이송 방향과 평행한 제 2 기판 이송 방향으로 이동하고; 이어서 상기 제 2 시프터로부터 상기 제 2 기판 이송 방향으로 기판을 배출하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치의 처리 방법.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 처리 방법은;
    기판의 크기가 상기 상부면보다 크면, 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터를 결합하고, 상기 제 1 기판 이송 방향으로 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터로 기판을 이송하고, 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터를 동시에 상기 제 2 기판 이송 방향으로 이동하고, 이어서 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터로부터 상기 제 2 기판 이송 방향으로 기판을 배출하는 것을 더 포함하는 기판 이송 장치의 처리 방법.
  23. 제 21 항 또는 제 22 항에 있어서,
    상기 처리 방법은;
    상기 제 1 시프터로 기판이 투입되기 전에, 기판의 크기를 판별하는 것을 더 포함하는 기판 이송 장치의 처리 방법.
  24. 제 21 항 또는 제 22 항에 있어서,
    상기 제 1 및 상기 제 2 시프터를 분리, 결합하는 것은;
    상기 제 1 및 상기 제 2 시프터 사이에 배치되어, 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터에 장착, 분리되는 복수 개의 조인터들을 구비하고, 기판의 크기가 상기 상부면과 동일하거나 상기 상부면보다 작으면, 상기 조인터들을 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터에서 분리하고, 기판의 크기가 상기 상부면보다 크면, 상기 조인터들을 상기 제 1 및 상기 제 2 시프터에 장착하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치의 처리 방법.
  25. 제 21 항 내지 제 24 항들 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 제 1 및 상기 제 2 시프터는 기판이 안착되는 상부면이 동일한 크기로 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치의 처리 방법.
KR1020080072559A 2008-07-25 2008-07-25 시프터 및 그 처리방법과 기판 이송 장치 및 그 처리방법 KR101015226B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080072559A KR101015226B1 (ko) 2008-07-25 2008-07-25 시프터 및 그 처리방법과 기판 이송 장치 및 그 처리방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080072559A KR101015226B1 (ko) 2008-07-25 2008-07-25 시프터 및 그 처리방법과 기판 이송 장치 및 그 처리방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100011374A true KR20100011374A (ko) 2010-02-03
KR101015226B1 KR101015226B1 (ko) 2011-02-18

Family

ID=42085849

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080072559A KR101015226B1 (ko) 2008-07-25 2008-07-25 시프터 및 그 처리방법과 기판 이송 장치 및 그 처리방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101015226B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102263750B1 (ko) * 2020-11-03 2021-06-11 에스엠스틸 주식회사 대차, 지능형 분할처리용 대차시스템 및 그 운용방법

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62157103A (ja) 1985-12-28 1987-07-13 Sumitomo Heavy Ind Ltd タイヤ棚積み装置
JP2739273B2 (ja) * 1992-10-20 1998-04-15 平田機工株式会社 パレタイザ
JPH07125838A (ja) * 1993-06-15 1995-05-16 Nikon Corp 位置決めテーブル装置
KR100661907B1 (ko) * 2004-09-17 2006-12-28 세메스 주식회사 대형 기판 반송 시스템 및 그의 반송 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102263750B1 (ko) * 2020-11-03 2021-06-11 에스엠스틸 주식회사 대차, 지능형 분할처리용 대차시스템 및 그 운용방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR101015226B1 (ko) 2011-02-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4876640B2 (ja) ワーク搬送装置およびワーク搬送方法
US7393159B2 (en) Inline transfer system and method
CN101211758B (zh) 基板处理装置
US20070212174A1 (en) Workpiece conveyor and method of conveying workpiece
WO2005077594A1 (ja) 板材の縦型加工ライン
KR101030084B1 (ko) 디스플레이용 박판유리의 면취장치
KR20100091037A (ko) 글라스 기판 세정 유닛 및 이를 갖는 글라스 기판 세정 시스템
KR101015226B1 (ko) 시프터 및 그 처리방법과 기판 이송 장치 및 그 처리방법
KR100959680B1 (ko) 기판 이송 시스템
KR20100091036A (ko) 글라스 기판 세정 유닛 및 이를 갖는 글라스 기판 세정 시스템
KR102453865B1 (ko) 기판 처리 장치
TWI626091B (zh) 板邊清洗系統
KR101022782B1 (ko) 글라스 기판 세정 유닛 및 이를 갖는 글라스 기판 세정 시스템
KR20140035005A (ko) 컨베이어용 기판세척장치
KR100691321B1 (ko) 제품검사시스템
JP7376285B2 (ja) 基板処理装置
KR101565991B1 (ko) 페이스트 휠 제조장치 및 이를 이용한 제조방법
KR102171274B1 (ko) 레이저 처리장치 및 가공처리방법
JPH07241534A (ja) 基板洗浄装置
JP4635350B2 (ja) 搬送装置
CN221875879U (zh) 电池片用转移装置
JP2007280451A (ja) ハードディスク基板の洗浄・乾燥装置及びその基板搬送方法
KR102156742B1 (ko) 반송 유닛, 기판 처리 장치, 그리고 기판 처리 장치를 이용한 기판 처리 방법
KR100626555B1 (ko) 비금속재 절단장치
KR100965511B1 (ko) 기판 이송 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130204

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160205

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170210

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180202

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200130

Year of fee payment: 10