KR20090130605A - Chip embedded printed circuit board and manufacturing method thereof - Google Patents

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KR20090130605A
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Abstract

PURPOSE: A chip-embedded printed circuit board and a manufacturing method thereof are provided to simplify a process by laminating a copper clad layer including an insulation layer. CONSTITUTION: A chip including a plurality of pads is embedded to a core substrate(10). The core substrate includes a circuit pattern. An insulation layer(34) is laminated to a top part and a bottom part of the core substrate. A plurality of conductive bumps connected to the circuit pattern and the pads is formed to the insulation layer. A copper clad pattern is formed to a surface of the insulation layer in order to be connected to the conductive bumps. A filler(22) is filled between the chip and a cavity, and fixes the chip.

Description

칩 내장 인쇄회로기판 및 그 제조방법{Chip embedded printed circuit board and manufacturing method thereof}Chip embedded printed circuit board and manufacturing method thereof

본 발명은 칩 내장 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 칩이 내장된 코어기판의 상하부에, 상기 칩의 패드 및 상기 코어기판의 회로패턴과 대응하는 도전성 범프가 관통 형성된 절연층을 일면에 구비하는 동박층을 적층시키는 칩 내장 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a chip-embedded printed circuit board and a method of manufacturing the same, and more particularly, an insulating layer having a conductive bump corresponding to a pad of the chip and a circuit pattern of the core board penetrated above and below the core board on which the chip is embedded. The present invention relates to a chip-embedded printed circuit board and a method of manufacturing the same.

최근 전자기기의 고성능화 및 소형화의 요구에 부응하여 전자부품이 고밀도화 및 고성능화되고 있다. 따라서, 전자부품의 고밀도 실장이 가능한 소형 인쇄회로기판의 수요가 점점 증가하고 있다. 이러한 요구에 부응하여 서로 다른 층에 형성되는 배선 간 또는 전자부품과 배선 간을 비아홀(via hole)에 의하여 전기적으로 접속하는 다층 회로기판의 개발이 진행되고 있다.In recent years, in response to the demand for high performance and miniaturization of electronic devices, electronic components have become higher density and higher performance. Accordingly, the demand for small printed circuit boards capable of high density mounting of electronic components is increasing. In response to this demand, development of multilayer circuit boards which electrically connect wirings formed on different layers or between electronic components and wirings through via holes has been developed.

이러한 다층 회로기판은 전자부품 간을 접속하는 배선을 단축할 수 있을 뿐만 아니라 고밀도 배선화를 실현할 수 있는 장점이 있다. 그리고 전자부품의 실장 으로 인해 인쇄회로기판의 표면적을 넓힐 뿐만 아니라 전기적 특성도 우수한 장점이 있다.Such a multilayer circuit board not only shortens the wiring connecting the electronic components, but also has the advantage of realizing high density wiring. In addition, due to the mounting of electronic components, the surface area of the printed circuit board is not only widened, but also has excellent electrical characteristics.

특히, 기판에 전자부품을 삽입하는 임베디드 인쇄회로기판은, 전자부품이 기판에 표면에 실장되는 것이 아니라, 기판의 내부에 임베딩(embedding)되기 때문에 기판의 소형화, 고밀도화 및 고성능화 등이 가능하여 그 수요가 점차 증가하고 있는 추세이다.In particular, an embedded printed circuit board in which an electronic component is inserted into a substrate is not mounted on the surface of the printed circuit board, but is embedded in the substrate, so that the board can be made smaller, higher in density, and higher in performance. Is gradually increasing.

종래의 칩 내장 인쇄회로기판은 천공된 코어기판을 캐리어 필름(carrier film)에 붙인 후 칩을 위치시키고, 상기 캐리어 필름이 부착된 면의 반대쪽 면에 프리프레그(prepreg) 등과 같은 절연층을 라미네이션(lamination)시킨 후, 상기 캐리어 필름을 박리시킨다. 그런 후에, 상기 캐리어 필름이 박리된 면에도 프리프레그층을 라미네이션시킨다.Conventional chip-embedded printed circuit boards attach a perforated core substrate to a carrier film and then position the chip, and laminate an insulating layer such as a prepreg on the opposite side of the surface on which the carrier film is attached. After lamination, the carrier film is peeled off. Thereafter, the prepreg layer is also laminated on the surface from which the carrier film is peeled off.

그 다음에, 레이저 드릴(laser drill) 방식 등을 통해 전기적인 연결이 필요한 부분에 비아홀(via hole)을 형성하고 동도금 공정 등을 수행한다.Thereafter, via holes are formed in portions requiring electrical connection through a laser drill method, and copper plating processes are performed.

그러나, 상기한 바와 같이 레이저 드릴 방식 등을 통해 비아홀을 형성할 경우, 칩의 위치 오차 또는 레이저 드릴의 공차 등에 의해서 정확한 위치에 비아홀을 가공하기가 어려워서, 접속 불량 등이 발생하여 수율 및 신뢰성이 저하되는 문제점이 있다.However, when the via hole is formed through the laser drill method as described above, it is difficult to process the via hole at the correct position due to the position error of the chip or the tolerance of the laser drill. There is a problem.

따라서, 본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로서, 본 발명의 목적은, 칩이 내장된 코어기판의 상부 및 하부에, 상기 칩의 패드 및 상기 코어기판의 회로패턴과 대응하는 도전성 범프가 관통 형성된 절연층을 일면에 구비하는 동박층을 적층시킴으로써, 비아홀 형성 공정을 생략하여 공정을 단순화시키고, 공정 비용을 절감할 수 있으며 제품의 수율 및 신뢰성을 향상시킬 수 있는 칩 내장 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to penetrate the upper and lower portions of the core board in which the chip is embedded, the conductive bumps corresponding to the pads of the chip and the circuit patterns of the core board. By stacking the copper foil layer having the formed insulating layer on one surface, the via hole forming process can be omitted, thereby simplifying the process, reducing the process cost, and improving the yield and reliability of the product, and the manufacture of the chip embedded printed circuit board. To provide a method.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 의한 칩 내장 인쇄회로기판은, 복수의 패드가 구비된 칩이 내장되고, 회로패턴이 구비된 코어기판; 상기 코어기판의 상부 및 하부에 적층되고, 상기 회로패턴 및 상기 패드와 접속되는 복수의 도전성 범프가 관통 형성된 절연층; 및 상기 도전성 범프와 접속되도록 상기 절연층 표면에 형성된 동박패턴;을 포함할 수 있다.In accordance with another aspect of the present invention, there is provided a chip-embedded printed circuit board comprising: a core board having a chip having a plurality of pads therein and having a circuit pattern; An insulating layer stacked on upper and lower portions of the core substrate and having a plurality of conductive bumps connected to the circuit pattern and the pad therethrough; And a copper foil pattern formed on a surface of the insulating layer to be connected to the conductive bumps.

여기서, 상기 코어기판의 소정 부분에는 캐비티가 천공되어 있고, 상기 캐비티 내에 상기 칩이 삽입될 수 있다.Here, a cavity is perforated in a predetermined portion of the core substrate, and the chip may be inserted into the cavity.

그리고, 상기 칩과 상기 캐비티 사이에 충전되어 상기 칩을 고정하는 충진재를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a filler filled between the chip and the cavity to fix the chip.

또한, 상기 패드와 상기 도전성 범프는 일대일로 접속될 수 있다.In addition, the pad and the conductive bump may be connected one-to-one.

그리고, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 칩 내장 인쇄회로기판의 제조방법은, 회로패턴이 구비된 코어기판에 캐비티를 천공하는 단계; 상기 코어기판의 일면에 캐리어 필름을 부착하는 단계; 상기 캐비티에 복수의 패드가 구비된 칩을 삽입하여 상기 캐리어 필름 상에 고정시키는 단계; 상기 캐비티와 상기 칩 사이에 충진재를 충전하는 단계; 상기 캐리어 필름을 제거하는 단계; 및 상기 코어기판의 상부 및 하부에, 상기 회로패턴 및 상기 패드와 대응하는 복수의 도전성 범프가 관통 형성된 절연층이 일면에 구비된 제1 및 제2 동박층을 적층하여, 상기 회로패턴 및 상기 패드에 상기 도전성 범프를 접속시키는 단계;를 포함할 수 있다.In addition, a method for manufacturing a chip embedded printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention for achieving the above object includes: drilling a cavity in a core substrate having a circuit pattern; Attaching a carrier film to one surface of the core substrate; Inserting a chip having a plurality of pads into the cavity and fixing the chip on the carrier film; Filling a filler between the cavity and the chip; Removing the carrier film; And first and second copper foil layers provided on one surface of an insulating layer through which a plurality of conductive bumps corresponding to the circuit pattern and the pad pass, are stacked on upper and lower portions of the core substrate. And connecting the conductive bumps to each other.

여기서, 상기 패드와 상기 도전성 범프는 일대일 대응될 수 있다.The pad and the conductive bump may correspond one-to-one.

그리고, 상기 제1 동박층 및 상기 제2 동박층을 적층하기 전에, 상기 제1 동박층 및 상기 제2 동박층 상에 상기 도전성 범프를 형성하는 단계; 및 상기 제1 동박층 및 상기 제2 동박층 상에, 상기 도전성 범프를 관통하여 상기 도전성 범프의 상단을 노출시키는 상기 절연층을 형성하는 단계;를 더 포함할 수 있다.And forming the conductive bumps on the first copper foil layer and the second copper foil layer before laminating the first copper foil layer and the second copper foil layer; And forming the insulating layer on the first copper foil layer and the second copper foil layer to penetrate the conductive bump to expose an upper end of the conductive bump.

또한, 상기 도전성 범프는 원추형 모양으로 형성될 수 있다.In addition, the conductive bumps may be formed in a conical shape.

상기 제1 및 제2 동박층을 적층하는 단계는, 상기 코어기판의 상부 및 하부에, 상기 도전성 범프가 관통 형성된 상기 절연층이 일면에 구비된 상기 제1 및 제2 동박층을 올린 후, 가열 및 가압하는 단계를 포함할 수 있다.The stacking of the first and second copper foil layers may include heating the first and second copper foil layers provided on one surface of the insulating layer through which the conductive bumps are formed, and heating the upper and lower portions of the core substrate. And pressurizing.

또한, 상기 제1 및 제2 동박층을 적층하는 단계 이후에, 상기 제1 및 제2 동 박층의 일부분을 제거하여 상기 도전성 범프와 접속되는 동박패턴을 형성하는 단계;를 더 포함할 수 있다.The method may further include, after the stacking of the first and second copper foil layers, removing a portion of the first and second copper foil layers to form a copper foil pattern connected to the conductive bumps.

또한, 상기 동박패턴을 형성하는 단계 이후에, 상기 동박패턴 상부에 솔더레지스트를 도포하는 단계; 및 상기 동박패턴의 상면 일부를 노출시키도록 상기 솔더레지스트를 포토리소그래피 공정으로 패터닝하는 단계;를 더 포함할 수 있다.In addition, after the step of forming the copper foil pattern, the step of applying a solder resist on the copper foil pattern; And patterning the solder resist by a photolithography process to expose a portion of the upper surface of the copper foil pattern.

또한, 상기 도전성 범프는 도전성 에폭시(epoxy), Ag, Cu, Sn, Au 및 Sn계 합금 중 어느 하나로 이루어질 수 있으며, 상기 Sn계 합금은 AuSn, SnSb, SnAg, SnPb, SnBi 및 SnIn 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.In addition, the conductive bumps may be made of any one of conductive epoxy (epoxy), Ag, Cu, Sn, Au and Sn-based alloy, the Sn-based alloy is made of any one of AuSn, SnSb, SnAg, SnPb, SnBi and SnIn. Can be.

또한, 상기 패드는 Au, Cu, Sn 및 Sn계 합금 중 어느 하나로 형성되는 볼(ball) 또는 범프일 수 있다.In addition, the pad may be a ball or bump formed of any one of Au, Cu, Sn, and Sn-based alloys.

또한, 상기 절연층은 프리프레그(prepreg) 또는 ABF(Ajinomoto Build-up Film)로 이루어질 수 있다.In addition, the insulating layer may be made of prepreg or Ajinomoto build-up film (ABF).

그리고, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 칩 내장 인쇄회로기판의 다른 제조방법은, 회로패턴이 구비된 코어기판에 캐비티를 천공하는 단계; 상기 코어기판의 하면에 캐리어 필름을 부착하는 단계; 상기 캐비티에 복수의 패드가 구비된 칩을 삽입하여 상기 캐리어 필름 상에 고정시키는 단계; 상기 캐비티와 상기 칩 사이에 충진재를 충전하는 단계; 상기 코어기판의 상면에, 상기 회로패턴과 대응하는 복수의 도전성 범프가 관통 형성된 절연층이 일면에 구비된 제1 동박층을 적층하여, 상기 회로패턴에 상기 도전성 범프를 접속시키는 단계; 상기 캐리어 필름을 제거하는 단계; 및 상기 코어기판의 하면에, 상기 패드 및 상기 회로패턴과 대응하는 복수의 도전성 범프가 관통 형성된 절연층이 일면에 구비된 제2 동박층을 적층하여, 상기 패드 및 상기 회로패턴에 상기 도전성 범프를 접속시키는 단계;를 포함할 수 있다.In addition, another method of manufacturing a chip embedded printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention for achieving the above object includes: drilling a cavity in a core substrate having a circuit pattern; Attaching a carrier film to a lower surface of the core substrate; Inserting a chip having a plurality of pads into the cavity and fixing the chip on the carrier film; Filling a filler between the cavity and the chip; Stacking a first copper foil layer provided on one surface of an insulating layer having a plurality of conductive bumps corresponding to the circuit pattern on the top surface of the core substrate, and connecting the conductive bumps to the circuit pattern; Removing the carrier film; And a second copper foil layer provided on one surface of an insulating layer having a plurality of conductive bumps corresponding to the pad and the circuit pattern formed on a lower surface of the core substrate, thereby forming the conductive bumps on the pad and the circuit pattern. Connecting; may include.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 칩 내장 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 의하면, 복수의 도전성 범프가 관통 형성된 절연층을 일면에 구비하는 동박층을 칩이 내장된 코어기판 상에 적층하는 것만으로, 층간에 필요한 전기적 연결이 이루어지도록 할 수 있으므로, 기존의 층간 접속을 위한 비아홀 형성 공정을 생략하여 공정을 단순화시키고, 공정 비용을 절감시켜 저가의 칩 내장 인쇄회로기판을 제공할 수 있는 장점이 있다.As described above, according to the chip-embedded printed circuit board according to the present invention and a method for manufacturing the same, only a copper foil layer having one surface with an insulating layer formed with a plurality of conductive bumps formed thereon is laminated on a chip-embedded core board. Therefore, since the electrical connection between layers can be made, it is possible to provide a low-cost chip embedded printed circuit board by simplifying the process and reducing the process cost by omitting the existing via hole forming process for interlayer connection. have.

또한, 본 발명은 칩 내장 인쇄회로기판의 제조 수율 및 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention has the effect of improving the manufacturing yield and reliability of the chip embedded printed circuit board.

본 발명에 따른 칩 내장 인쇄회로기판 및 그 제조방법의 상기 목적에 대한 기술적 구성을 비롯한 작용효과에 관한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예가 도시된 도면을 참조한 아래의 상세한 설명에 의해서 명확하게 이해될 것이다.Matters relating to the operational effects including the technical configuration of the chip embedded printed circuit board and the manufacturing method according to the present invention for the above object will be clearly understood by the following detailed description with reference to the drawings showing preferred embodiments of the present invention. .

칩 내장 인쇄회로기판의 구조Structure of chip embedded printed circuit board

도 1을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 칩 내장 인쇄회로기판에 대하여 상세히 설명한다.Referring to Figure 1 will be described in detail a chip embedded printed circuit board according to an embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 칩 내장 인쇄회로기판의 구조를 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a structure of a chip embedded printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 칩 내장 인쇄회로기판은, 복수의 패드(21)가 구비된 칩(20)이 내장되고, 표면에 회로패턴(11)이 구비된 코어기판(10)과, 상기 코어기판(10)의 상부 및 하부에 적층되고, 상기 코어기판(10) 표면의 회로패턴(11) 및 상기 칩(20) 표면의 패드(21)와 접속되는 복수의 도전성 범프(33)가 관통 형성된 절연층(34), 및 상기 도전성 범프(33)와 접속되도록 상기 절연층(34)의 표면에 형성된 제1 및 제2 동박패턴(31a,32a)을 포함한다.As shown in FIG. 1, a chip embedded printed circuit board according to an embodiment of the present disclosure includes a core in which a chip 20 having a plurality of pads 21 is embedded and a circuit pattern 11 is provided on a surface thereof. A plurality of substrates 10 and a plurality of stacked upper and lower portions of the core substrate 10 and connected to a circuit pattern 11 on the surface of the core substrate 10 and pads 21 on the surface of the chip 20. An insulating layer 34 through which the conductive bumps 33 are formed, and first and second copper foil patterns 31a and 32a formed on the surface of the insulating layer 34 so as to be connected to the conductive bumps 33.

상기 제1 및 제2 동박패턴(31a,32a)의 상부에는, 상기 제1 및 제2 동박패턴(31a,32a)의 상면 일부를 노출시키는 솔더레지스트(40)가 형성된다.A solder resist 40 is formed on the first and second copper foil patterns 31a and 32a to expose a portion of the top surface of the first and second copper foil patterns 31a and 32a.

상기 솔더레지스트(40)는, 상기 제1 및 제2 동박패턴(31a,32a)의 일부분을 덮어 부품의 실장시 이루어지는 납땜에 의해 원하지 않는 접속을 방지하는 피막으로서의 역할을 한다.The solder resist 40 serves as a film that covers portions of the first and second copper foil patterns 31a and 32a to prevent unwanted connection by soldering when the parts are mounted.

상기 코어기판(10)의 소정 부분에는 캐비티(12)가 천공되어 있고, 상기 캐비티(12) 내에 상기 칩(20)이 삽입된다. 이때, 상기 칩(20)은 능동소자, 수동소자 또는 IC 등일 수 있다.A cavity 12 is perforated in a predetermined portion of the core substrate 10, and the chip 20 is inserted into the cavity 12. In this case, the chip 20 may be an active device, a passive device, or an IC.

상기 코어기판(10)은, 상기 칩(20)으로부터 발생되는 열을 외부로 방출시키 는 역할을 할 수 있으며, 이를 위해 구리(Cu) 또는 알루미늄(Al) 등과 같은 금속 재료로 이루어질 수 있다.The core substrate 10 may play a role of releasing heat generated from the chip 20 to the outside, and for this purpose, the core substrate 10 may be made of a metal material such as copper (Cu) or aluminum (Al).

또한, 상기 코어기판(10) 표면의 상기 회로패턴(11)은, 구리 등의 도전성 물질로 이루어질 수 있다.In addition, the circuit pattern 11 on the surface of the core substrate 10 may be made of a conductive material such as copper.

상기 캐비티(12)와 상기 칩(20) 사이에는 충진재(22)가 충진되어 상기 칩(20)을 고정시켜 준다. 상기 충진재(22)로는 레진, 에폭시, 또는 프리프레그(prepreg) 등을 이용할 수 있다.A filler 22 is filled between the cavity 12 and the chip 20 to fix the chip 20. Resin, epoxy, or prepreg may be used as the filler 22.

특히, 본 발명의 실시예에 따른 칩 내장 인쇄회로기판은, 상술한 바와 같이 상기 칩(20)이 내장된 코어기판(10)의 상하부에 상기 도전성 범프(33)가 관통 형성된 절연층(34)이 적층됨으로써, 상기 칩(20)의 패드(21) 및 코어기판(10)의 회로패턴(11)이 외부 회로패턴인 상기 제1 및 제2 동박패턴(31a,32a)과 접속될 수 있다.In particular, the chip embedded printed circuit board according to the embodiment of the present invention, as described above, the insulating layer 34 having the conductive bumps 33 penetrated through the upper and lower portions of the core substrate 10 having the chip 20 embedded therein. By laminating, the pad 21 of the chip 20 and the circuit pattern 11 of the core substrate 10 may be connected to the first and second copper foil patterns 31a and 32a which are external circuit patterns.

즉, 종래에는 칩(20)의 패드(21) 및 코어기판(10) 표면의 회로패턴(11)을 외부 회로패턴 등과 전기적으로 연결시키기 위하여, 칩(20)이 내장된 코어기판(10) 상에 프리프레그 등과 같은 절연층(34)을 라미네이션시킨 후, 레이저 드릴 방식 등으로 비아홀을 형성하는 바, 상기 비아홀의 형성시 정확한 위치에 비아홀을 가공하기가 어려워, 접속 불량 등에 따른 수율 및 신뢰성 저하의 문제가 있었으나, 본 발명의 실시예에서는, 도전성 범프(33)가 형성된 절연층(34)을 칩(20)이 내장된 코어기판(10) 상에 적층하는 것만으로, 층간에 필요한 전기적 연결이 이루어지도록 함으로써, 기존의 비아홀 형성 공정을 없애고 공정을 단순화시키고 공정 비용을 절감시켜, 저가의 칩 내장 인쇄회로기판을 제공할 수 있으며, 제품의 제조수율 및 신뢰 성을 향상시킬 수 있다.That is, in order to electrically connect the pad 21 of the chip 20 and the circuit pattern 11 on the surface of the core substrate 10 to an external circuit pattern or the like, the core substrate 10 having the chip 20 thereon is mounted on the core substrate 10. After the lamination of the insulating layer 34 such as prepreg and the like, the via holes are formed by laser drilling or the like. Therefore, it is difficult to process the via holes at the correct positions when the via holes are formed. Although there was a problem, in the embodiment of the present invention, only the insulating layer 34 on which the conductive bumps 33 are formed is laminated on the core substrate 10 having the chip 20 therein, so that electrical connection necessary between layers is achieved. By eliminating the existing via hole forming process, simplifying the process and reducing the process cost, it is possible to provide a low cost chip embedded printed circuit board and improve the manufacturing yield and reliability of the product.

이때, 상기 도전성 범프(33)는, 상기 칩(20)에 구비된 패드(21)와 일대일로 접속되도록 형성될 수 있다.In this case, the conductive bumps 33 may be formed to be connected in a one-to-one manner with the pad 21 provided in the chip 20.

상기 도전성 범프(33)는 도전성 에폭시(epoxy), Ag, Cu, Sn, Au, 또는 저융점의 Sn계 합금 등으로 이루어질 수 있다. 여기서, 상기 Sn계 합금으로는 AuSn, SnSb, SnAg, SnPb, SnBi, 또는 SnIn 등을 이용할 수 있다.The conductive bumps 33 may be made of a conductive epoxy, Ag, Cu, Sn, Au, or a Sn-based alloy having a low melting point. Here, AuSn, SnSb, SnAg, SnPb, SnBi, SnIn, or the like may be used as the Sn-based alloy.

상기 패드(21)는 Au, Cu, Sn, 저융점 또는 고융점의 Sn계 합금 등으로 형성되고, 볼(ball) 또는 범프 형태 등으로 형성될 수 있다.The pad 21 may be formed of Au, Cu, Sn, a low melting point or high melting point Sn-based alloy, or the like, and may be formed in a ball or bump form.

또한 상기 도전성 범프(33)가 내부에 관통 형성된 상기 절연층(34)은, 프리프레그(prepreg) 또는 ABF(Ajinomoto Build-up Film) 등으로 이루어질 수 있다.In addition, the insulating layer 34 having the conductive bumps 33 penetrated therein may be made of a prepreg or an Ajinomoto build-up film (ABF).

칩 내장 인쇄회로기판의 제조방법Manufacturing method of chip embedded printed circuit board

이하, 도 2 내지 도 14를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 칩 내장 인쇄회로기판의 제조방법에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a chip embedded printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 14.

도 2 내지 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 칩 내장 인쇄회로기판의 제조방법을 설명하기 위해 순차적으로 나타낸 공정 단면도이다.2 to 11 are cross-sectional views sequentially illustrating a method of manufacturing a chip embedded printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention.

먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 회로패턴(11)이 구비된 코어기판(10)에 캐비티(12)를 천공한다. 상기 캐비티(12)는 프레싱(pressing), 드릴링(drilling), 또는 레이저 가공 등의 다양한 방법으로 형성될 수 있다.First, as shown in FIG. 2, the cavity 12 is drilled in the core substrate 10 provided with the circuit pattern 11. The cavity 12 may be formed by various methods such as pressing, drilling, or laser machining.

그런 다음, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 코어기판(10)의 일면에 캐리어 필름(100)을 부착한다.Then, as shown in FIG. 3, the carrier film 100 is attached to one surface of the core substrate 10.

그 다음에, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 캐비티(12)에 복수의 패드(21)가 구비된 칩(20)을 삽입하여 상기 캐리어 필름(100) 상에 고정시킨다.Next, as shown in FIG. 4, the chip 20 having the plurality of pads 21 is inserted into the cavity 12 to be fixed to the carrier film 100.

상기 캐리어 필름(100)은, 상기 캐비티(12)에 삽입되는 상기 칩(20)을 고정시키기 위한 것으로서, 양면 테이프 등을 이용할 수 있다.The carrier film 100 is for fixing the chip 20 inserted into the cavity 12, and a double-sided tape may be used.

다음으로, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 캐비티(12)와 상기 칩(20) 사이에 충진재(22)를 충전시킨다. 상기 충진재(22)는 일반적으로 레진, 에폭시, 또는 프리프레그(prepreg) 등으로 이루어질 수 있다.Next, as shown in FIG. 5, the filler 22 is filled between the cavity 12 and the chip 20. The filler 22 may generally be made of resin, epoxy, or prepreg.

그런 후에, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 캐리어 필름(100)을 제거한다.Thereafter, as shown in FIG. 6, the carrier film 100 is removed.

그 다음에, 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 동박(Cu foil)층 및 제2 동박층(31,32)을 각각 준비한 다음, 상기 제1 및 제2 동박층(31,32)의 일면에 복수의 도전성 범프(33)를 형성한다.Next, as shown in FIG. 7, first copper foil layers and second copper foil layers 31 and 32 are prepared, respectively, and then one surface of the first and second copper foil layers 31 and 32 is prepared. A plurality of conductive bumps 33 are formed in the grooves.

상기 도전성 범프(33)는, 상기 코어기판(10)의 회로패턴(11) 및 상기 칩(20)의 패드(21)을 외부 회로패턴과 접속시키기 위한 것이므로, 상기 회로패턴(11) 및 패드(21)와 대응되는 위치에 형성할 수 있다. 특히, 상기 칩(20)의 패드(21)와 접속될 도전성 범프(33)는, 상기 패드(21)와 일대일로 대응되도록 형성할 수 있다.The conductive bump 33 is for connecting the circuit pattern 11 of the core substrate 10 and the pad 21 of the chip 20 with an external circuit pattern, and thus the circuit pattern 11 and the pad ( It may be formed at a position corresponding to 21). In particular, the conductive bumps 33 to be connected to the pads 21 of the chip 20 may be formed to correspond one-to-one with the pads 21.

그리고 나서, 상기 제1 및 제2 동박층(31,32) 상에, 상기 도전성 범프(33)를 관통하여 상기 도전성 범프(33)의 상단을 노출시키는 절연층(34)을 형성한다. 상기 절연층(34)은, 프리프레그(prepreg) 또는 ABF(Ajinomoto Build-up Film) 등을 이용하여 형성할 수 있다. 또한 이러한 절연층(34)은 시트 타입(sheet type)을 사 용하여 상기 제1 및 제2 동박층(31,32) 상에 형성될 수 있다.Then, an insulating layer 34 is formed on the first and second copper foil layers 31 and 32 to expose the upper end of the conductive bump 33 through the conductive bump 33. The insulating layer 34 may be formed using a prepreg, an Ajinomoto build-up film (ABF), or the like. In addition, the insulating layer 34 may be formed on the first and second copper foil layers 31 and 32 using a sheet type.

여기서, 상기 절연층(34)이 도전성 범프(33)를 관통하여 상기 제1 및 제2 동박층(31,32) 상에 형성될 수 있도록, 상기 도전성 범프(33)는 상단이 뾰족한 모양, 예컨대 원추형 모양 등으로 형성될 수 있다.Here, the conductive bumps 33 have a pointed shape, for example, so that the insulating layer 34 penetrates the conductive bumps 33 and is formed on the first and second copper foil layers 31 and 32. It may be formed in a conical shape or the like.

다음으로, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 코어기판(10)의 상부 및 하부에, 상기 복수의 도전성 범프(33)가 관통 형성된 절연층(34)이 일면에 구비된 상기 제1 및 제2 동박층(31,32) 배치한다. 이때, 상기 도전성 범프(33)의 노출된 상단이 상기 코어기판(10)을 향하도록 배치한다.Next, as shown in FIG. 8, the first and second surfaces having an insulating layer 34 formed on one surface of the core substrate 10 through which the plurality of conductive bumps 33 penetrate. Copper foil layers 31 and 32 are arrange | positioned. In this case, the exposed upper end of the conductive bumps 33 are disposed to face the core substrate 10.

그런 다음, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 코어기판(10), 상기 도전성 범프(33) 및 절연층(34)이 형성된 상기 제1 및 제2 동박층(31,32)을 일괄적으로 적층한 후 가열 및 가압하여, 상기 회로패턴(11) 및 상기 패드(21)에 상기 도전성 범프(33)를 접속시킨다.Then, as illustrated in FIG. 9, the core substrate 10, the conductive bumps 33, and the first and second copper foil layers 31 and 32 on which the insulating layer 34 are formed are collectively stacked. After that, heating and pressurization are performed to connect the conductive bumps 33 to the circuit pattern 11 and the pad 21.

이와 같이 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 칩(20)이 내장된 코어기판(10)의 상하부에, 상기 도전성 범프(33)가 관통 형성된 절연층(34)이 일면에 구비된 동박층들(31,32)을 적층하는 공정만으로도 층간에 필요한 전기적 연결이 이루어지도록 할 수 있으므로, 칩 내장 인쇄회로기판의 제조 공정을 단순화할 수 있는 장점이 있다.As described above, according to the exemplary embodiment of the present invention, the upper and lower portions of the core substrate 10 in which the chip 20 is embedded, the copper foil layers having the insulating layer 34 formed therethrough with the conductive bumps 33 formed on one surface thereof ( 31, 32) only by the process of stacking the electrical connection can be made between the layers, there is an advantage that can simplify the manufacturing process of the chip embedded printed circuit board.

그 다음에, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 제1 및 제2 동박층(31,32)의 일부분을 제거하여, 상기 도전성 범프(33)와 접속되는 제1 동박패턴(31a) 및 제2 동박패턴(32a)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 10, portions of the first and second copper foil layers 31 and 32 are removed to connect the first and second copper foil patterns 31 a and second to the conductive bumps 33. The copper foil pattern 32a is formed.

그런 후에, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 제1 및 제2 동박패턴(31a,32a) 상부에 솔더레지스트(40)를 도포하고 나서, 상기 제1 및 제2 동박패턴(31a,32a)의 상면 일부를 노출시키도록 상기 솔더레지스트(40)를 포토리소그래피 공정으로 패터닝한다.Thereafter, as shown in FIG. 11, the solder resist 40 is coated on the first and second copper foil patterns 31 a and 32 a, and then the first and second copper foil patterns 31 a and 32 a are removed. The solder resist 40 is patterned by a photolithography process to expose a portion of the top surface.

한편, 상술한 바와 같이 상기 코어기판(10), 제1 및 제2 동박층(31,32)을 동시에 일괄적으로 적층하는 대신에, 순차적으로 적층할 수도 있는데, 이들을 순차적으로 적층하는 방법에 대하여 앞서 참조한 도 2 내지 도 5, 및 도 12 내지 도 14를 참조하여 설명하기로 한다.Meanwhile, as described above, instead of stacking the core substrate 10 and the first and second copper foil layers 31 and 32 at the same time, it is possible to stack them sequentially. This will be described with reference to FIGS. 2 to 5 and 12 to 14.

도 12 내지 도 14는 본 발명의 실시예에 따른 칩 내장 인쇄회로기판의 다른 제조방법을 설명하기 위해 순차적으로 나타낸 공정 단면도이다.12 to 14 are cross-sectional views sequentially illustrating a method of manufacturing a chip embedded printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention.

먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 회로패턴(11)이 구비된 코어기판(10)에 캐비티(12)를 천공하고, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 코어기판(10)의 하면에 캐리어 필름(100)을 부착한다.First, as shown in FIG. 2, the cavity 12 is drilled in the core substrate 10 having the circuit pattern 11, and as shown in FIG. 3, a carrier is formed on the lower surface of the core substrate 10. The film 100 is attached.

그런 다음, 도 4에 도시된 바와 같이, 복수의 패드(21)가 하면에 구비된 칩(20)을 상기 캐비티(12)에 삽입하여 상기 캐리어 필름(100) 상에 고정시킨 후, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 캐비티(12)와 상기 칩(20) 사이에 충진재(22)를 충전시킨다.Then, as shown in FIG. 4, the plurality of pads 21 are inserted into the cavity 12 by the chip 20 provided on the lower surface and fixed on the carrier film 100. As shown, the filler 22 is filled between the cavity 12 and the chip 20.

다음으로, 도 12에 도시된 바와 같이 상기 코어기판(10)의 상면에, 상기 코어기판(10) 상면에 형성된 상기 회로패턴(11)과 대응하는 복수의 도전성 범프(33) 가 관통 형성된 절연층(34)이 일면에 구비된 제1 동박층(31)을 적층, 가열 및 가압하여, 상기 회로패턴(11)에 상기 도전성 범프(33)를 접속시킨다.Next, as shown in FIG. 12, an insulating layer having a plurality of conductive bumps 33 penetrated through the upper surface of the core substrate 10 and corresponding to the circuit pattern 11 formed on the upper surface of the core substrate 10. The first copper foil layer 31 provided on one surface of 34 is laminated, heated, and pressed to connect the conductive bumps 33 to the circuit pattern 11.

그런 후에, 도 13에 도시된 바와 같이, 상기 캐리어 필름(100)을 제거한다.Thereafter, as shown in FIG. 13, the carrier film 100 is removed.

그런 다음, 도 14에 도시된 바와 같이, 상기 캐리어 필름(100)이 제거되어 노출된 상기 코어기판(100)의 하면에, 상기 칩(20)의 패드(21) 및 상기 코어기판(10) 하면의 회로패턴(11)과 대응하는 복수의 도전성 범프(33)가 관통 형성된 절연층(34)이 일면에 구비된 제2 동박층(32)을 적층, 가열 및 가압하여, 상기 패드(21) 및 상기 회로패턴(11)에 상기 도전성 범프(33)를 접속시킨다.Then, as shown in Figure 14, the carrier film 100 is removed to expose the lower surface of the core substrate 100, the pad 21 of the chip 20 and the lower surface of the core substrate 10 The pad 21 and the second copper foil layer 32 provided on one surface of the insulating layer 34 through which the plurality of conductive bumps 33 are formed. The conductive bumps 33 are connected to the circuit pattern 11.

상기 동박층들(31,32)의 적층 순서는, 상술한 바와 같이 상기 코어기판(10)의 상부에 제1 동박층(31)을 먼저 적층한 다음, 상기 코어기판(10)의 하부에 제2 동박층(32)을 적층할 수도 있지만, 이와 반대로 상기 제2 동박층(32)을 상기 코어기판(10)의 하부에 적층한 후, 상기 제1 동박층(31)을 상기 코어기판(10)의 상부에 적층하는 순서로 공정을 진행할 수도 있다. 다만, 상기 제2 동박층(32)을 상기 코어기판(10)의 하부에 먼저 적층하는 경우, 상기 캐리어 필름(100)은 코어기판(10)의 상면에 부착될 수 있다.In the stacking order of the copper foil layers 31 and 32, as described above, the first copper foil layer 31 is first stacked on the core substrate 10, and then, the first copper foil layer 31 is stacked on the bottom of the core substrate 10. 2 may be laminated on the copper foil layer 32. On the contrary, the second copper foil layer 32 may be stacked below the core substrate 10, and then the first copper foil layer 31 may be stacked on the core substrate 10. The process may be carried out in the order of lamination on the top). However, when the second copper foil layer 32 is first stacked on the lower portion of the core substrate 10, the carrier film 100 may be attached to the upper surface of the core substrate 10.

이상에서 설명한 본 발명의 바람직한 실시예들은 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이나, 이러한 치환, 변경 등은 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.Preferred embodiments of the present invention described above are disclosed for the purpose of illustration, and various substitutions, modifications, and changes within the scope without departing from the spirit of the present invention for those skilled in the art to which the present invention pertains. It will be possible, but such substitutions, changes and the like should be regarded as belonging to the following claims.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 칩 내장 인쇄회로기판의 구조를 나타낸 단면도.1 is a cross-sectional view showing the structure of a chip embedded printed circuit board according to an embodiment of the present invention.

도 2 내지 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 칩 내장 인쇄회로기판의 제조방법을 설명하기 위해 순차적으로 나타낸 공정 단면도.2 to 11 are cross-sectional views sequentially illustrating a method of manufacturing a chip embedded printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 12 내지 도 14는 본 발명의 실시예에 따른 칩 내장 인쇄회로기판의 다른 제조방법을 설명하기 위해 순차적으로 나타낸 공정 단면도.12 to 14 are process cross-sectional views sequentially shown to explain another method for manufacturing a chip embedded printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10: 코어기판 11: 회로패턴10: core substrate 11: circuit pattern

12: 캐비티 20: 칩12: cavity 20: chip

21: 패드 22: 충진재21: Pad 22: Filler

31: 제1 동박층 31a: 제1 동박패턴31: first copper foil layer 31a: first copper foil pattern

32: 제2 동박층 32a: 제2 동박패턴32: second copper foil layer 32a: second copper foil pattern

33: 도전성 범프 34: 절연층33: conductive bump 34: insulating layer

40: 솔더레지스트 100: 캐리어 필름40: solder resist 100: carrier film

Claims (17)

복수의 패드가 구비된 칩이 내장되고, 회로패턴이 구비된 코어기판;A core board having a chip having a plurality of pads therein and provided with a circuit pattern; 상기 코어기판의 상부 및 하부에 적층되고, 상기 회로패턴 및 상기 패드와 접속되는 복수의 도전성 범프가 관통 형성된 절연층; 및An insulating layer stacked on upper and lower portions of the core substrate and having a plurality of conductive bumps connected to the circuit pattern and the pad therethrough; And 상기 도전성 범프와 접속되도록 상기 절연층 표면에 형성된 동박패턴;A copper foil pattern formed on a surface of the insulating layer to be connected to the conductive bumps; 을 포함하는 칩 내장 인쇄회로기판.Chip embedded printed circuit board comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 코어기판의 소정 부분에는 캐비티가 천공되어 있고, 상기 캐비티 내에 상기 칩이 삽입된 칩 내장 인쇄회로기판.A cavity is formed in a predetermined portion of the core substrate, the chip embedded printed circuit board in which the chip is inserted into the cavity. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 칩과 상기 캐비티 사이에 충전되어 상기 칩을 고정하는 충진재;A filler filling between the chip and the cavity to fix the chip; 를 더 포함하는 칩 내장 인쇄회로기판.Chip embedded printed circuit board further comprising. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 패드와 상기 도전성 범프는 일대일로 접속되는 칩 내장 인쇄회로기판.And the pad and the conductive bump are connected one-to-one. 회로패턴이 구비된 코어기판에 캐비티를 천공하는 단계;Drilling a cavity in a core substrate provided with a circuit pattern; 상기 코어기판의 일면에 캐리어 필름을 부착하는 단계;Attaching a carrier film to one surface of the core substrate; 상기 캐비티에 복수의 패드가 구비된 칩을 삽입하여 상기 캐리어 필름 상에 고정시키는 단계;Inserting a chip having a plurality of pads into the cavity and fixing the chip on the carrier film; 상기 캐비티와 상기 칩 사이에 충진재를 충전하는 단계;Filling a filler between the cavity and the chip; 상기 캐리어 필름을 제거하는 단계; 및Removing the carrier film; And 상기 코어기판의 상부 및 하부에, 상기 회로패턴 및 상기 패드와 대응하는 복수의 도전성 범프가 관통 형성된 절연층이 일면에 구비된 제1 및 제2 동박층을 적층하여, 상기 회로패턴 및 상기 패드에 상기 도전성 범프를 접속시키는 단계;On the upper and lower portions of the core substrate, first and second copper foil layers provided on one surface of an insulating layer having a plurality of conductive bumps corresponding to the circuit patterns and the pads are stacked thereon, and the first and second copper foil layers are formed on the circuit patterns and the pads. Connecting the conductive bumps; 를 포함하는 칩 내장 인쇄회로기판의 제조방법.Manufacturing method of a chip embedded printed circuit board comprising a. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 패드와 상기 도전성 범프는 일대일 대응되는 칩 내장 인쇄회로기판의 제조방법.The pad and the conductive bump corresponds to a one-to-one manufacturing method of a chip embedded printed circuit board. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제1 동박층 및 상기 제2 동박층을 적층하기 전에,Before laminating the first copper foil layer and the second copper foil layer, 상기 제1 동박층 및 상기 제2 동박층 상에 상기 도전성 범프를 형성하는 단계; 및Forming the conductive bumps on the first copper foil layer and the second copper foil layer; And 상기 제1 동박층 및 상기 제2 동박층 상에, 상기 도전성 범프를 관통하여 상기 도전성 범프의 상단을 노출시키는 상기 절연층을 형성하는 단계;Forming the insulating layer on the first copper foil layer and the second copper foil layer to expose the upper end of the conductive bump through the conductive bump; 를 더 포함하는 칩 내장 인쇄회로기판의 제조방법.Manufacturing method of a chip embedded printed circuit board further comprising. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 도전성 범프는 원추형 모양으로 형성되는 칩 내장 인쇄회로기판의 제조방법.The conductive bump is a manufacturing method of a chip embedded printed circuit board is formed in a conical shape. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제1 및 제2 동박층을 적층하는 단계는,Laminating the first and second copper foil layer, 상기 코어기판의 상부 및 하부에, 상기 도전성 범프가 관통 형성된 상기 절연층이 일면에 구비된 상기 제1 및 제2 동박층을 올린 후, 가열 및 가압하는 단계를 포함하는 칩 내장 인쇄회로기판의 제조방법.Fabrication of a chip embedded printed circuit board comprising the steps of heating and pressurizing the first and second copper foil layers provided on one surface of the insulating layer through which the conductive bumps penetrate the upper and lower portions of the core substrate. Way. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제1 및 제2 동박층을 적층하는 단계 이후에,After laminating the first and second copper foil layers, 상기 제1 및 제2 동박층의 일부분을 제거하여 상기 도전성 범프와 접속되는 동박패턴을 형성하는 단계;Removing portions of the first and second copper foil layers to form a copper foil pattern connected to the conductive bumps; 를 더 포함하는 칩 내장 인쇄회로기판의 제조방법.Manufacturing method of a chip embedded printed circuit board further comprising. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 동박패턴을 형성하는 단계 이후에,After forming the copper foil pattern, 상기 동박패턴 상부에 솔더레지스트를 도포하는 단계; 및Applying a solder resist on the copper foil pattern; And 상기 동박패턴의 상면 일부를 노출시키도록 상기 솔더레지스트를 포토리소그래피 공정으로 패터닝하는 단계;Patterning the solder resist by a photolithography process to expose a portion of the top surface of the copper foil pattern; 를 더 포함하는 칩 내장 인쇄회로기판의 제조방법.Manufacturing method of a chip embedded printed circuit board further comprising. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 도전성 범프는 도전성 에폭시(epoxy), Ag, Cu, Sn, Au 및 Sn계 합금 중 어느 하나로 이루어지는 칩 내장 인쇄회로기판의 제조방법.The conductive bump is a manufacturing method of a chip embedded printed circuit board made of any one of a conductive epoxy (epoxy), Ag, Cu, Sn, Au and Sn-based alloy. 제12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 Sn계 합금은 AuSn, SnSb, SnAg, SnPb, SnBi 및 SnIn 중 어느 하나로 이루어지는 칩 내장 인쇄회로기판의 제조방법.The Sn-based alloy manufacturing method of a chip embedded printed circuit board made of any one of AuSn, SnSb, SnAg, SnPb, SnBi and SnIn. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 패드는 Au, Cu, Sn 및 Sn계 합금 중 어느 하나로 형성되는 볼(ball) 또는 범프인 칩 내장 인쇄회로기판의 제조방법.Wherein the pad is a ball (ball) or bump formed of any one of Au, Cu, Sn and Sn-based alloy manufacturing method of a chip embedded printed circuit board. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 절연층은 프리프레그(prepreg) 또는 ABF(Ajinomoto Build-up Film)로 이루어지는 칩 내장 인쇄회로기판의 제조방법.The insulating layer is a method for manufacturing a chip embedded printed circuit board made of prepreg or Ajinomoto build-up film (ABF). 회로패턴이 구비된 코어기판에 캐비티를 천공하는 단계;Drilling a cavity in a core substrate provided with a circuit pattern; 상기 코어기판의 하면에 캐리어 필름을 부착하는 단계;Attaching a carrier film to a lower surface of the core substrate; 상기 캐비티에 복수의 패드가 구비된 칩을 삽입하여 상기 캐리어 필름 상에 고정시키는 단계;Inserting a chip having a plurality of pads into the cavity and fixing the chip on the carrier film; 상기 캐비티와 상기 칩 사이에 충진재를 충전하는 단계;Filling a filler between the cavity and the chip; 상기 코어기판의 상면에, 상기 회로패턴과 대응하는 복수의 도전성 범프가 관통 형성된 절연층이 일면에 구비된 제1 동박층을 적층하여, 상기 회로패턴에 상기 도전성 범프를 접속시키는 단계;Stacking a first copper foil layer provided on one surface of an insulating layer having a plurality of conductive bumps corresponding to the circuit pattern on the top surface of the core substrate, and connecting the conductive bumps to the circuit pattern; 상기 캐리어 필름을 제거하는 단계; 및Removing the carrier film; And 상기 코어기판의 하면에, 상기 패드 및 상기 회로패턴과 대응하는 복수의 도전성 범프가 관통 형성된 절연층이 일면에 구비된 제2 동박층을 적층하여, 상기 패드 및 상기 회로패턴에 상기 도전성 범프를 접속시키는 단계;On the lower surface of the core substrate, a second copper foil layer having a surface formed with an insulating layer through which a plurality of conductive bumps corresponding to the pad and the circuit pattern are formed is laminated, and the conductive bump is connected to the pad and the circuit pattern. Making a step; 를 포함하는 칩 내장 인쇄회로기판의 제조방법.Manufacturing method of a chip embedded printed circuit board comprising a. 제16항에 있어서,The method of claim 16, 상기 패드는, 상기 칩의 하면에 구비되는 칩 내장 인쇄회로기판의 제조방법.The pad is a manufacturing method of a chip embedded printed circuit board provided on the lower surface of the chip.
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