KR20090125772A - 베인식 진공펌프 - Google Patents

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Abstract

베인식 진공펌프(1)는 펌프실(2)에 공기를 흡입하는 흡기 통로(11)의 근방에 설치되고, 베인(6)의 역회전 시에 있어서의 베인의 회전방향 전방측의 공간(A)과 후방측의 공간(B)을 연통시켜, 이 전방측의 공간(A)으로부터 후방측의 공간(B)으로 윤활유를 빠져나가게 하는 이스케이프 홈(21)을 구비하고 있다. 상기 이스케이프 홈(21)은 사이드 플레이트(4)에 설치되어 있고, 또한 상기 베인(6)의 역회전 시에 있어서의 베인의 회전방향 후방측이 되는 상기 이스케이프 홈의 벽면(21A)은, 이 이스케이프 홈의 바닥면(21B)보다도 개구측이 확장개방된 경사면으로 되어 있다. 이스케이프 홈의 타방의 벽면(21C)도, 바닥면보다도 개구측이 확장개방된 경사면으로 하는 것이 바람직하다. 이스케이프 홈(21)의 단면 형상을 사각형으로 한 경우에 비해, 원활하게 이물질이나 마모가루(22)를 이스케이프 홈(21) 내부로부터 배제할 수 있다.
Figure 112009057212718-PCT00001
펌프실, 흡기 통로, 베인, 윤활유, 이스케이프 홈, 사이드 플레이트, 하우징, 로터, 진공펌프

Description

베인식 진공펌프{VANE TYPE VACUUM PUMP}
본 발명은 베인식 진공펌프에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 베인의 역회전 시에 베인의 전방측의 공간으로부터 후방측의 공간으로 윤활유를 빠져나가게 하는 이스케이프 홈을 구비한 베인식 진공펌프에 관한 것이다.
종래, 베인의 역회전 시에 윤활유를 빠져나가게 하는 이스케이프 홈을 설치한 베인식 진공펌프는 공지되어 있다(특허문헌 1).
즉 상기 베인식 진공펌프는, 대략 원형의 펌프실을 구비한 하우징과, 이 하우징의 양 단면을 밀봉하는 사이드 플레이트와, 상기 펌프실의 중심에 대하여 편심된 위치에서 회전하는 로터와, 로터의 직경방향으로 형성된 홈을 따라 왕복운동하고, 펌프실을 복수의 공간으로 구획하면서 회전하는 베인과, 상기 펌프실에 공기를 흡입하는 흡기 통로의 근방에 설치되고, 베인의 역회전 시에 있어서의 베인의 회전방향 전방측의 공간과 후방측의 공간을 연통시키고, 이 전방측의 공간으로부터 후방측의 공간으로 윤활유를 빠져나가게 하는 이스케이프 홈을 구비하고 있다.
상기 로터가 정규방향과 역방향으로 회전하는 역회전 시에는, 흡기 통로의 근방에서 압축작용이 생기게 된다. 베인식 진공펌프는 일반적으로 자동차의 엔진에 의해 구동되기 때문에, 엔진이 역회전되었을 때에 베인식 진공펌프의 로터나 베 인도 역회전되게 된다. 보다 구체적으로는, 수동 변속기 차를 오르막에 정차시키고, 엔진이 정지한 상태에서 차륜과 엔진이 클러치를 통하여 연결되고, 이 상태에서 차량이 언덕길에서 후퇴한 것과 같은 경우에 발생한다.
그런데 엔진의 정지 시에는, 베인식 진공펌프의 차량으로의 부착 상태나 펌프실로의 윤활유의 공급통로의 구성 등의 조건에 따라 저류되는 양이 다르지만, 펌프실 내부가 부압 상태로 되기 때문에, 펌프실 내부에 소요량의 윤활유가 흡입되고 저류되는 것이 알려져 있다. 이 상태에서 베인이 역회전하게 되면, 가령 상기 이스케이프 홈을 설치하고 있지 않은 경우에는, 윤활유는 비압축성 유체이므로 흡기 통로 근방의 압력이 대단히 고압으로 되어, 베인이 파손되거나, 또는 흡기 통로의 도중에 펌프실을 향하는 공기의 유통을 허용하는 체크 밸브를 설치하고 있는 경우에는 당해 체크 밸브가 파손된다고 하는 문제가 생긴다.
상기 이스케이프 홈은, 상기 흡기 통로의 근방에서, 베인의 역회전 시에 있어서의 베인의 회전방향 전방측의 공간과 후방측의 공간을 연통시킬 수 있으므로, 이 이스케이프 홈에 의해 전방측의 공간으로부터 후방측의 공간으로 윤활유를 빠져나가게 할 수 있고, 이것에 의해서 베인의 파손이나 체크 밸브의 파손을 방지할 수 있다.
특허문헌 1: 일본 특개 2000-205159호 공보
(발명의 개시)
(발명이 해결하고자 하는 과제)
상기 이스케이프 홈은 하우징의 내주면에 설치해도, 또는 사이드 플레이트의 내면에 설치해도 되지만, 하우징과 일방의 사이드 플레이트를 다이캐스팅에 의해 일체로 주조하는 것과 같은 경우에는, 제조의 용이함이라고 하는 관점에서는 사이드 플레이트에 설치하는 것이 바람직하다. 그런데, 사이드 플레이트에 단면형상이 사각형인 이스케이프 홈을 형성한 경우에는, 이물질이나 마모가루에 의해 베인식 진공펌프를 손상시킬 위험성이 있는 것으로 밝혀졌다.
즉, 상기한 바와 같이 이스케이프 홈은 흡기 통로의 근방에 설치되므로, 베인이 정규로 회전하고 있는 경우에는, 베인의 정규 회전방향에서의 전방측의 공간과 후방측의 공간에는 큰 압력차가 생기지 않고, 따라서 이스케이프 홈 내에서의 공기나 윤활유의 이동은 거의 없다. 다른 한편, 진공펌프에 공급되는 윤활유에는 이물질이나 마모가루가 혼입되지 않고, 이러한 이물질이나 마모가루는 베인이 이스케이프 홈을 가로질러 이동할 때에 이스케이프 홈 내에, 특히 베인의 정규 회전방향 전방측이 되는 이스케이프 홈의 벽면에 의해 트랩되고, 이 전방측의 벽면과 바닥면과의 코너부에 저류되게 된다. 상기한 바와 같이, 베인이 정규로 회전하고 있는 경우에는 이스케이프 홈 내에서의 공기나 윤활유의 이동은 거의 없으므로, 상기 이스케이프 홈의 전방측의 벽면과 바닥면과의 코너부에 저류되는 이물질이나 마모가루는 서서히 증가하게 된다.
베인의 역회전 시에는, 상기 이스케이프 홈에 의해 베인의 역회전방향 전방측의 공간으로부터 후방측의 공간으로 윤활유를 빠져나가게 할 수 있는데, 이 이스케이프 홈의 단면 형상이 사각형이면 벽면과 바닥면과의 코너부에 저류되어 있는 이물질이나 마모가루를 양호하게 배제할 수 없어, 베인의 역회전이 있었음에도 불구하고, 이물질이나 마모가루가 이스케이프 홈 내에 트랩된 채로 되기 쉬웠다.
그 결과, 이스케이프 홈 내에 트랩되는 이물질이나 마모가루는 상대적으로 다량으로 되어, 베인의 정규 회전 중에, 특히 고속 회전 중에 무엇인가의 원인으로 다량의 이물질이나 마모가루가 이스케이프 홈 내부로부터 펌프실 내부로 배출되면, 베인과 하우징 사이의 슬라이딩면이나 베인과 사이드 플레이트 사이의 슬라이딩면에 물려 들어가 그 슬라이딩면을 손상시킬 위험성이 있었다.
(과제를 해결하기 위한 수단)
본 발명은 이러한 사정을 감안하여, 베인의 역회전 시에, 이스케이프 홈으로부터 양호하게 이물질이나 마모가루를 배제시켜, 이스케이프 홈에 다량의 이물질이나 마모가루가 저류되는 것을 가급적으로 방지할 수 있도록 한 베인식 진공펌프를 제공하는 것이다.
즉 본 발명은, 대략 원형의 펌프실을 구비한 하우징과, 이 하우징의 양단면을 밀봉하는 사이드 플레이트와, 상기 펌프실의 중심에 대하여 편심된 위치에서 회전하는 로터와, 로터의 직경방향으로 형성된 홈을 따라 왕복운동하고, 펌프실을 복수개의 공간으로 구획하면서 회전하는 베인과, 상기 펌프실에 공기를 흡입하는 흡기 통로의 근방에 설치되고, 베인의 역회전 시에 있어서의 베인의 회전방향 전방측의 공간과 후방측의 공간을 연통시켜, 이 전방측의 공간으로부터 후방측의 공간으로 윤활유를 빠져나가게 하는 이스케이프 홈을 구비한 베인식 진공펌프에 있어서,
상기 이스케이프 홈을 사이드 플레이트에 설치하고, 또한 상기 베인의 역회전 시에 있어서의 베인의 회전방향 후방측이 되는 상기 이스케이프 홈의 벽면을, 이 이스케이프 홈의 바닥면보다도 개구측이 확장개방된 경사면으로 한 것을 특징으로 하는 것이다.
(발명의 효과)
상기 구성에 의하면, 베인의 역회전 시에는, 상기 이스케이프 홈에 의해 베인의 역회전방향 전방측의 공간으로부터 후방측의 공간으로 윤활유를 빠져나가게 할 수 있지만, 그 때, 베인의 역회전 시에 있어서의 베인의 회전방향 후방측이 되는 상기 이스케이프 홈의 벽면은, 이 이스케이프 홈의 바닥면보다도 개구측이 확장개방된 경사면으로 되어 있으므로, 그 벽면과 바닥면에 걸쳐 저류되어 있던 이물질이나 마모가루는 윤활유의 흐름에 의해 경사면을 따라 밀어내지기 쉬워진다.
따라서, 이스케이프 홈의 단면 형상을 사각형으로 한 경우와 비교하여 원활하게 이물질이나 마모가루를 이스케이프 홈 내부로부터 배제할 수 있고, 그것에 의해서 베인의 정규 회전 중에, 상대적으로 다량의 이물질이나 마모가루가 펌프실 내부로 배출되는 것을 가급적으로 방지하여, 이 다량의 이물질이나 마모가루가 베인과 하우징 사이의 슬라이딩면이나 베인과 사이드 플레이트 사이의 슬라이딩면을 손상시키는 위험성을 저감시킬 수 있다.
도 1은 제 1 실시예에 있어서의 베인 펌프(1)의 정면도이다.
도 2는 도 1의 이스케이프 홈(21)을 절단하여 도시하는 확대 단면도이다.
도 3은 종래의 이스케이프 홈을 도시하는 단면도이다.
도 4는 제 2 실시예에서의 베인 펌프(1)의 정면도이다.
(부호의 설명)
1 진공펌프 2 펌프실
3 하우징 4 사이드 플레이트
5 로터 6 베인
11 흡기 통로 12 배출 통로
13 체크 밸브 14 홈
21 이스케이프 홈 21A, 21C 벽면
21B 바닥면 22 이물질이나 마모가루
A 역회전방향 전방측의 공간
B 역회전방향 후방측의 공간
(발명을 실시하기 위한 최선의 형태)
이하 도시 실시예에 대하여 본 발명을 설명하면, 도 1에 있어서, 베인식 진공펌프(1)는 도시하지 않은 자동차의 엔진의 측면에 고정되고, 도시하지 않은 브레이크 장치의 배력장치에 부압을 발생시키도록 되어 있다.
이 베인식 진공펌프(1)는, 대략 원형의 펌프실(2)을 형성하는 하우징(3)과, 이 하우징(3)의 양단면을 밀봉하는 사이드 플레이트(4)(일방의 사이드 플레이트만 도시되어 있음)와, 펌프실(2)의 중심에 대하여 편심된 위치에서 엔진의 구동력에 의해 회전하는 로터(5)와, 상기 로터(5)에 의해 회전되고, 펌프실(2)을 항상 복수의 공간으로 구획하는 베인(6)을 구비하고 있고, 상기 로터(5) 및 베인(6)은 정규 상태에서는 화살표로 나타낸 반시계방향으로 회전구동되게 되어 있다.
상기 하우징(3)에는, 펌프실(2)의 상방에 상기 브레이크의 배력장치와 연통하여 배력장치 내의 공기를 흡인하기 위한 흡기 통로(11)가 형성되고, 또 사이드 플레이트(4)에는, 펌프실(2)의 하방에, 배력장치로부터 흡인한 공기 및 도시하지 않은 급유 통로로부터 급유된 윤활유를 배출하기 위한 배출 통로(12)가 설치되어 있다. 그리고 상기 흡기 통로(11)에는, 특히 엔진 정지 시에 배력장치의 부압을 유지하기 위하여, 체크 밸브(13)가 설치되어 있다.
또한, 상기 펌프실(2)에는 도시하지 않은 급유 통로를 통하여 윤활유가 공급되게 되어 있고, 당해 급유 통로의 연통구는 상기 배출 통로(12)의 형성위치보다도 베인(6)의 회전방향 전방측에 형성되어 있다. 이 때문에, 상기 베인(6)은 배출 통로(12)를 통과한 후에 급유 통로를 통과하게 되어 있어, 급유 통로로부터 급유된 윤활유가 그대로 배출 통로(12)로부터 배출되지 않게 되어 있다.
상기 로터(5)는 펌프실(2) 내에서 회전하는 원통 모양의 로터부(5A)와, 사이드 플레이트(4)에 의해 회전가능하게 축지지되는 축받이부(5B)를 구비하고 있다. 상기 로터부(5A)의 외주는 하우징(3)의 내주면에 접해 있고, 또한 이 로터부(5A)의 중심과 펌프실(2)의 중심을 연결하는 중심선(L)을 사이에 두고, 상기 흡기 통 로(11)와 배출 통로(12)가 설치되어 있다.
상기 로터부(5A)의 중앙에는 중공부(5a)가 형성됨과 아울러 직경방향으로 홈(14)이 형성되어 있고, 상기 홈(14) 내부를 따라 상기 베인(6)을 로터(5)의 축방향과 직교하는 방향으로 슬라이딩가능하게 이동시킬 수 있게 되어 있다.
상기 베인(6)은, 상기 홈(14)에 의해 슬라이딩가능하게 유지되는 평판 형상의 본체부(6A)와, 이 본체부(6A)의 양단부에 각각 출몰가능하게 설치된 단면 반원 형상의 캡부(6B)를 구비하고 있고, 이 베인(6)의 양측면이 사이드 플레이트(4)에 각각 슬라이딩 접촉하여 그 부분을 실링함과 아울러, 각 캡부(6B)의 선단이 하우징(3)의 내주면에 슬라이딩 접촉하여 그 부분을 실링하고 있다. 이것에 의해, 베인(6)은 2펌프실을 복수(도시 실시예에서는 2개)의 공간으로 구획하면서 회전할 수 있게 되어 있다.
또한, 일방의 사이드 플레이트(4)의 내면에는, 즉 베인(6)이 슬라이딩 접촉하는 표면에는, 상기 흡기 통로(11)의 근방에, 베인(6)의 역회전 시(도 1의 시계방향의 회전시)에 있어서의 베인(6)의 회전방향 전방측의 공간(A)과 후방측의 공간(B)을 연통시키고, 이 전방측의 공간(A)으로부터 후방측의 공간(B)으로 윤활유를 빠져나가게 하는 이스케이프 홈(21)을 형성하고 있다.
이 이스케이프 홈(21)은, 베인(6)이 그 이스케이프 홈(21)에 중첩되었을 때, 이 이스케이프 홈(21)을 통하여 상기 전방측의 공간(A)과 후방측의 공간(B)을 연통시킬 수 있게 되어 있다.
상기 이스케이프 홈(21)의 선단부(21a)는, 즉 베인(6)이 역회전했을 때에 최 초로 이스케이프 홈(21)에 중첩되는 선단부(21a)는, 베인(6)이 역회전했을 때에, 베인(6)의 회전방향 전방측의 공간(A)의 용적이 미리 정한 소정량이 되었을 때에, 회전방향 전방측의 공간(A)과 후방측의 공간(B)의 연통을 개시시킬 수 있는 위치에 형성되어 있다. 이것은, 베인(6)이 역회전했을 때의 회전방향 전방측의 공간(A)은 윤활유를 압축하는 방향으로 작용하므로, 가령 그 공간(A) 내에 소정량의 윤활유가 존재한 경우에는, 당해 공간(A)이 소정량까지 압축된 순간에 이 공간(A)으로부터 상기 이스케이프 홈(21)을 통하여 후방측의 공간(B)으로 윤활유를 빠져나가게 하지 않으면, 공간(A) 내의 비압축성인 윤활유가 압축되어 공간(A) 내부가 대단히 고압으로 되어, 베인(6)이나 체크 밸브(13)를 손상시킬 위험성이 있기 때문이다.
상기 소정량은 엔진 정지시에, 따라서 진공펌프(1)의 정지시에, 상기 급유 통로로부터 펌프실(2) 내로 유입하는 윤활유의 최대값을 실험적으로 얻음으로써 설정할 수 있다.
다른 한편, 상기 이스케이프 홈(21)의 후단부(21b)는, 즉 베인(6)이 역회전했을 때에 최후에 이 베인(6)과의 중첩이 해제되는 후단부(21b)는, 베인(6)이 역회전했을 때에 흡기 통로(11)를 통과한 위치와, 회전방향 전방측의 공간(A)에서의 압축이 실질적으로 종료하는 위치 사이에서, 회전방향 전방측의 공간(A)과 후방측의 공간(B)과의 연통이 차단되도록 형성되어 있다.
이 때 베인(6)이 흡기 통로(11)를 통과한 위치로부터 압축이 실질적으로 종료하는 위치 사이에서는, 공간(A) 내의 윤활유의 압축이 계속되지만, 역회전에 의한 흡기 통로(11)로의 윤활유의 유입이 차단되어 있고, 윤활유의 대부분이 이스케 이프 홈(21)으로부터 후방측의 공간(B)으로 빠져나가 있어 그 압축량은 미미하고, 또 베인(6)의 선단부는 로터(5) 내에 거의 매몰되어 그 강성이 높게 되어 있고, 그리고 윤활유는 각 부의 클리어런스를 통하여 공간(A)으로부터 빠져나갈 수 있으므로, 이스케이프 홈(21)의 후단부(21b)를 베인(6)이 흡기 통로(11)를 통과한 위치로부터 공간(A)에서의 압축이 실질적으로 종료하는 위치 사이에 형성해도 문제는 생기지 않는다.
그리고 상기 이스케이프 홈(21)의 선단부(21a)와 후단부(21b)를 하우징(3)의 내주면에 근접한 위치에 형성함과 아울러, 양단부(21a, 21b)를 일직선상에 형성함으로써, 이스케이프 홈(21)을 로터(5)의 회전중심을 중심으로 하는 원호 형상으로 형성하는 경우와 같이, 이스케이프 홈(21) 위를 통과하는 베인(6)의 측면이 동일한 위치에서 이스케이프 홈(21) 위를 통과하는 것을 가급적으로 방지하여, 동일한 위치에서 이스케이프 홈(21)과 베인(6)이 슬라이딩 접촉하는 것에 의한 이상 마모를 방지할 수 있게 되어 있다.
도 2는 상기 이스케이프 홈(21)을 그 길이 방향과 직교하는 방향에서 절단한 단면도로, 이 이스케이프 홈(21)의 단면 형상은 개구측이 확장개방된 사다리꼴 형상으로 형성되어 있다.
즉, 베인(6)의 역회전 시에는 베인은 도 2의 좌측에서 우측으로 이스케이프 홈(21)을 가로지르도록 회전이동하고, 따라서 그 회전방향 전방측의 공간(A)으로부터 후방측의 공간(B)으로 이스케이프 홈(21)을 통하여 윤활유가 빠져나가게 된다. 본 실시예에서는, 이스케이프 홈(21) 내에 트랩된 이물질이나 마모가루(22)가 상기 윤활유의 흐름에 의해 원활하게 이스케이프 홈(21) 내부로부터 배출되도록, 상기 베인(6)의 역회전 시에 있어서의 베인(6)의 회전방향 후방측이 되는 상기 이스케이프 홈(21)의 벽면(21A)을, 이 이스케이프 홈(21)의 바닥면(21B)보다도 개구측이 확장개방된 경사면으로 형성하고 있다.
다른 한편, 상기 베인(6)의 역회전 시에 있어서의 베인(6)의 회전방향 전방측이 되는 상기 이스케이프 홈의 벽면(21C)도, 상기 이스케이프 홈(21)의 바닥면(21B)보다도 개구측이 확장개방된 경사면으로 형성하고, 이스케이프 홈(21)의 단면 형상을 사다리꼴 형상으로 형성함으로써, 윤활유는 이스케이프 홈(21)의 일방의 벽면(21C)으로부터 바닥면(21B) 및 타방의 벽면(21A)에 그것들의 표면을 따라 원활하게 유동하게 되고, 그것에 의해 이스케이프 홈(21) 내에 트랩되어 있던 이물질이나 마모가루(22)를 보다 확실하게 이스케이프 홈(21)으로부터 펌프실(2) 내부로 배출시킬 수 있다. 또, 다이캐스팅에 의한 제조를 쉽게 한다고 하는 관점에서도, 이 이스케이프 홈(21)의 바닥면(21B)보다도 개구측이 확장개방된 경사면으로 형성하는 것이 바람직하다.
즉 일방의 사이드 플레이트(4)는 일반적으로 하우징(3)과 일체로 다이캐스팅에 의해 제조되어 있지만, 하우징(3)에는 흡기 통로(11)가 형성되고, 또 사이드 플레이트(4)에는 배기 통로(12)가 형성되므로, 다이캐스팅 장치의 금형이 복잡한 구성으로 된다. 이때, 사이드 플레이트(4)에 형성되는 상기 이스케이프 홈(21)을 상기한 바와 같이 사다리꼴 형상으로 형성하면, 다이캐스팅 장치로부터의 제품의 꺼냄이 용이하게 되고, 따라서 제조가 용이하게 된다.
이상의 구성에서, 로터(5)가 엔진의 작동에 의해 정규 방향으로 정회전하게 되면, 베인(6)은 로터(5)의 홈(14) 내부를 왕복운동하면서 회전되게 된다. 상기 베인(6)의 일방의 캡부(6B)가 흡기 통로(11)를 통과하면, 이 캡부(6B)보다 회전방향 후방측의 공간의 용적이 증대되게 되고, 그것에 의해 배력장치 내의 공기가 체크 밸브(13) 및 흡기 통로(11)를 통하여 펌프실(2) 내로 흡인된다.
타방의 캡부(6B)가 흡기 통로(11)를 통과하면, 이 공간은 흡기 통로(11)와의 연통이 차단되고, 이 공간 내의 공기는 계속되는 베인(6)의 회전에 의해 압축되면서 배출 통로(12)를 통하여 외부로 배출되게 된다.
상기 베인(6)이 흡기 통로(11)의 근방을 통과할 때는, 이 베인(6)은 상기 이스케이프 홈(21)과 중첩되게 되지만, 이 상태에서는 베인(6)의 전후의 공간에 큰 압력차는 발생하고 있지 않고, 따라서 이스케이프 홈(21) 내부를 공기나 윤활유가 급격하게 흐르는 것과 같은 일은 없다.
상기한 급유 통로로부터 펌프실(2) 내에 유입되는 윤활유 중에 포함되어 있던 이물질이나 마모가루(22)는, 그 일부는 베인(6)에 부착되어 일체적으로 반송되게 되고, 또한 이 베인(6)이 이스케이프 홈(21) 위를 가로지를 때, 이 이스케이프 홈(21)에 의해, 특히 베인(6)의 정규 회전방향 전방측(도 2의 좌측)이 되는 이스케이프 홈(21)의 벽면(21A)의 개방측 각부(角部)에 의해 베인(6)으로부터 깎여떨어져서, 이 이스케이프 홈(21) 내에 트랩되게 된다.
이스케이프 홈(21) 내에 트랩된 이물질이나 마모가루(22)는, 그 후 신속하게 이스케이프 홈(21) 내부로부터 배출되어 펌프실(2) 밖으로 반송되는 경우도 있지 만, 상기한 바와 같이 베인(6)이 정회전하고 있을 때는 이스케이프 홈(21) 내에서의 공기나 윤활유의 이동은 거의 없으므로, 상기 이스케이프 홈(21) 내에 트랩된 이물질이나 마모가루(22)가 이 이스케이프 홈(21) 내에 잔류하기 쉬워져, 이 이물질이나 마모가루(22)가 서서히 증가하고, 주로 이스케이프 홈(21)의 전방측의 벽면(21A)과 바닥면(21B)과의 코너부에 저류되어 부착되게 된다.
다른 한편, 베인(6)이 역회전되었을 때는, 흡기 통로(11)의 근방에서, 베인(6)의 역회전방향에서의 전방측의 공간이 압축되게 된다. 그렇지만, 그 전방측의 공간 내에 잔류하는 윤활유가 압축되기 전에 베인(6) 전후의 공간이 이스케이프 홈(21)을 통하여 연통되므로, 도 2에 도시하는 바와 같이, 전방측의 공간(A) 내의 윤활유는 이스케이프 홈(21)을 통하여 후방측의 공간(B)으로 배출되게 된다.
이때, 본 실시예에서는 이스케이프 홈(21)의 단면 형상을 사다리꼴 형상으로 형성하고 있으므로, 윤활유는 이스케이프 홈(21)의 일방의 벽면(21C)으로부터 바닥면(21B) 및 타방의 벽면(21A)에 그것들의 표면을 따라 원활하게 유동하게 되고, 그것에 의해 이스케이프 홈(21) 내에 트랩되어 있던 이물질이나 마모가루(22)를 보다 확실하게 이스케이프 홈(21)으로부터 펌프실(2) 내부로 배출시킬 수 있다. 그리고 펌프실(2) 내부로 배출된 이물질이나 마모가루(22)는 다음 베인(6)의 정회전시에 펌프실(2) 내부로부터 외부로 배출되게 된다.
이것에 대하여, 도 3에 도시하는 종래예와 같이 이스케이프 홈(21)의 단면 형상을 사각형으로 한 경우에는, 이스케이프 홈(21)의 벽면(21A, 21C)과 바닥면(21B)과의 코너부에는 윤활유가 흐르기 어렵고, 그 부분에 이물질이나 마모가 루(22)가 부착된 채로 되기 쉬우므로, 전술한 바와 같은 문제가 발생할 위험성이 높아진다.
도 4는 운전 정지시에 펌프실(2) 내에 잔류하는 윤활유의 최대값이 상기한 제 1 실시예의 경우보다도 작은 진공펌프(1)에 대한 실시예를 도시한 것이다.
본 실시예에서는, 이스케이프 홈(21)의 선단부(21a)의 위치는 제 1 실시예의 경우보다도 흡기 통로(11)측에 근접되어 있고, 이것에 의해 제 1 실시예의 경우보다도 베인(6)의 역회전방향 전방측의 공간(A)의 용적이 작아졌을 때, 역회전방향 전방측의 공간(A)과 후방측의 공간(B)의 연통을 개시하게 할 수 있는 위치에 형성되어 있다.
다른 한편, 상기 이스케이프 홈(21)의 후단부(21b)는 제 1 실시예의 경우와 마찬가지로, 베인(6)이 역회전했을 때에 흡기 통로(11)를 통과한 위치와, 회전방향 전방측의 공간(A)에서의 압축이 실질적으로 종료되는 위치 사이에서, 회전방향 전방측의 공간(A)과 후방측의 공간(B)의 연통이 차단되는 위치에 형성되어 있다.
본 실시예에서도 제 1 실시예와 동등한 작용효과가 얻어지는 것은 명확하다.
또한, 상기 각 실시예에서는 1장의 베인(6)을 구비한 베인 펌프(1)를 사용하여 설명을 행했지만, 종래 알려진 것과 같은 복수매의 베인을 구비한 베인 펌프에도 적용가능하다.

Claims (4)

  1. 대략 원형의 펌프실을 구비한 하우징과, 이 하우징의 양단면을 밀봉하는 사이드 플레이트와, 상기 펌프실의 중심에 대하여 편심된 위치에서 회전하는 로터와, 로터의 직경방향으로 형성된 홈을 따라 왕복운동하고, 펌프실을 복수개 공간으로 구획하면서 회전하는 베인과, 상기 펌프실에 공기를 흡입하는 흡기 통로의 근방에 설치되고, 베인의 역회전 시에 있어서의 베인의 회전방향 전방측의 공간과 후방측의 공간을 연통시키고, 이 전방측의 공간으로부터 후방측의 공간으로 윤활유를 빠져나가게 하는 이스케이프 홈을 구비한 베인식 진공펌프에 있어서,
    상기 이스케이프 홈을 사이드 플레이트에 설치하고, 또한 상기 베인의 역회전 시에 있어서의 베인의 회전방향 후방측이 되는 상기 이스케이프 홈의 벽면을, 이 이스케이프 홈의 바닥면보다도 개구측이 확장개방된 경사면으로 한 것을 특징으로 하는 베인식 진공펌프.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 베인의 역회전 시에 있어서의 베인의 회전방향 전방측이 되는 상기 이스케이프 홈의 벽면을, 이 이스케이프 홈의 바닥면보다도 개구측이 확장개방된 경사면으로 한 것을 특징으로 하는 베인식 진공펌프.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 베인이 역회전했을 때, 최초에 이 베인에 중첩되는 상기 이스케이프 홈의 선단부는 베인의 역회전방향에서의 전방측의 공간의 용적이, 진공펌프의 정지시에 펌프실 내로 유입되는 윤활유의 최대값으로 되었을 때, 회전방향 전방측의 공간(A)과 후방측의 공간(B)의 연통을 개시시킬 수 있는 위치에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 베인식 진공펌프.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 베인이 역회전했을 때에 최후에 이 베인과의 중첩이 해제되는 상기 이스케이프 홈의 후단부는, 베인(6)이 역회전했을 때에 흡기 통로를 통과한 위치와, 회전방향 전방측의 공간에서의 압축이 실질적으로 종료되는 위치 사이에서, 역회전방향 전방측의 공간과 후방측의 공간과의 연통이 차단되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 베인식 진공펌프.
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