KR20090101288A - 코팅을 안정적으로 하는 방법과 장치 - Google Patents

Abstract

본원은, 기판(100a,b) 코팅장치에서 부수 코팅(incidental coating)을 안정적으로 하는 방법과 장치(100)를 제공하는 것이다. 상기 방법은 기판 코팅장치에서 코팅지대의 실내면(200)을 형성하는 단계를 갖는다. 상기 방법은, 기판을 코팅하는 중에 상기 면에 의해 도달된 로칼 코팅 온도와 거의 동일한 로칼 예열 온도로 실내면(104)을 예열하는 단계, 순종 섬유로 상기 실내면을 적어도 부분적으로 형성하는 단계, 또는 순종 섬유로 상기 실내면을 적어도 부분적으로 형성하고 그리고 상기 실내면을 예열하는 단계를 포함한다.

부수 코팅, 기판 코팅장치, 순종 섬유, 예열, 로칼 코팅 온도, 코팅지대.

Description

코팅을 안정적으로 하는 방법과 장치{METHOD AND APPARATUS FOR STABILIZING A COATING}

본 발명은 코팅 프로세스에 관한 것으로, 특정하게는, 기판 코팅장치(substrate coating apparatus)의 실내면 상에 부수 코팅(incidental coating)을 안정적으로 하는 방법과 장치에 관한 것이다.

기판을 기판 코팅장치 내에서 연속(continuous) 또는 일괄(batch) 코팅 처리를 하는 중에, 기판 코팅장치의 실내면(interior surfaces)에, 특정적으로는 기판 코팅지대(substrate coating zone) 내에 있는 실내면 상에 생성되는 부수 코팅에서 나오는 미립자의 배출로 인해서, 상기 기판이 손상되거나 결함을 가질 수 있게 된다. 상기 미립자의 배출은 부수 코팅 자체 내에 나타나는 스트레스(stresses)의 결과로 일어난다. 이 스트레스는, 실내면의 온도가 변화는 중에, 이들이 부착되는 면과 관련하여, 부수 코팅의 서로 다른 열팽창과 수축을 포함하는 다양한 요인으로 발생하는 것이다. 또한, 코팅 프로세스를 연속으로 하여, 부수 코팅의 두께가 증가하여, 상기 코팅 내의 스트레스의 크기가 증가하기도 한다.

만일, 부수 코팅에서의 스트레스가 안정적으로 되거나 저지가 된다면, 이러한 사실은 결함이 생성되는 기판의 빈도수를 감소하고 그리고 코팅지대의 실내면의 세척 빈도를 감소시키어, 기판 코팅장치의 이용성을 향상시킬 것이다.

본원은, 공지된 기술의 결함 및 한계에 주의를 기울여서, 기판 코팅장치의 1개 이상의 실내면 상에 부수 코팅을 안정적으로 하는 방법과 장치를 제공하는 것이다. 상기 특정 실내면은 장치의 기판 코팅지대 내에 주어진 면으로, 실질적인 벽 면, 코팅지대에 있는 요소 또는 구성체의 면, 또는 그러한 면 위에 위치한 순종 섬유(compliant fabric)로 이루어진 면 이다.

본 발명의 일 면에서, 본원의 방법은 기판을 기판 코팅지대로 도입하기에 앞서 실내면을 로칼 예열 온도(local preheat temperature)로 가열하는 단계를 갖는다. 상기 로칼 예열 온도는 기판을 실질적으로 코팅하는 동안에 실내면이 도달하는 온도와 거의 동일한 온도로 선택 된다.

다른 면에서, 본 발명은 순종 섬유를 사용하여 적어도 부분적으로 코팅지대의 실내면을 형성하여, 제공되는 것이다. 이러한 제공으로, 원만한 경질 면(smooth rigid surface)에 대한 상기 섬유의 증가된 코팅가능한 면의 구역(the increased coatable surface area of the fabric)과 어울리는 상기 섬유의 순종성(the compliance of the fabric)이 부수 코팅에서 나오는 미립자의 배출을 저지 한다.

본 발명의 다른 면에서는 순종 섬유로 코팅지대의 실내면을 적어도 부분적으로 형성하고, 그리고 상기 실내면을 로칼 예열 온도로 예열하는 단계를 포함한다.

본 발명의 여러 실시예는 코팅지대의 실내면 상에 형성되는 부수 코팅 내에서 바람직하지 않은 하이 스트레스의 발생을 저지하는 것이다. 따라서, 결과적으로, 코팅 프로세스 중에 부수 코팅에서 나오는 미립자의 배출도 저지하는 것이다. 이러한 작용으로, 본 발명은 코팅 기판에서 결함이 발생하는 것을 감소시키거나 또는 막는 것이다.

도1은 본 발명의 실시예에 따르는 기판 코팅장치를 개략적으로 도시한 평면도 이다.

도2는 도1에 도시한 기판 코팅지대를 개략적으로 도시한 평면도 이다.

도3A는 본 발명의 예를 든 실시예에 따르는 반-경질 이면부(semi-rigid backing)의 정면도 이다.

도3B는 본 발명의 실시예에 따르는 반-경질 이면에 부착된 순종 섬유의 측면도 이다.

도3C는 본 발명의 실시예에 따르는 반-경질 이면에 부착된 순종 섬유의 정면도 이다.

도4는 본 발명의 기본원리에 따르는 기판 코팅장치의 실내면 상에 부수 코팅을 안정적으로 하는 방법의 흐름도 이다.

본 발명을 다양한 실시예를 통해 설명하기 위해 제공된, 본 발명을 한정하지 않는 첨부 도면을 참고로 하여 본 발명을 이하에 기술 한다. 도면에서 유사 부분은 유사 도면번호로 나타내었다.

도1에 개략적으로 도시한, 본 발명의 기본원리에 따르는 기판 코팅장치(100)를 설명한다. 상기 기판 코팅장치(100)는 예를 들어, 로드 록(load lock)(102), 기판 가열지대(104), 1개 이상의 기판 코팅지대(106), 및 언로드 록(unload lock)(108)과 같은 여러 스테이션 또는 지대를 구비 한다. 상기 요소들은 모두가 일렬로 공기기밀한 방식으로 연결 된다. 이러한 구조에서는, 다양한 스테이션 및 지대가 복수개의 펌프(도시 않음)에 의해 흡인되어 코팅 프로세스에 이바지하는 적절한 진공압력을 유지하고 있다.

바람직하게, 기판 코팅장치(100)는, 기판(110)이 장치(100)를 통해 연속적으로 이동하는, 복수개의 기판(110)[도면에 2개 기판(110a, 110b)을 도시]을 코팅하는데 사용된다. 당 기술분야의 기술인이 예견할 수 있는 바와 같이, 본 발명은 기판(110)을 연속 코팅하는 대신에, 일괄 코팅을 수행하는 기판 코팅장치(100)에도 동일하게 적용할 수 있는 것이다. 또한, 상기 코팅장치(100)는, 한정적이지 않은 기재로서, 화학증착(CVD), 플라즈마 강화 화학증착(plasma enhanced CVD) 및 물리증착(PVD)을 포함하는 다수의 코팅 프로세스 중의 임의적인 하나를 이용할 수 있는 것이다.

기판 자신은 광범위한 재료로 형성 할 수 있다. 예를 든 실시예에서는, 상기 기판(110)이 열가소성 재료로 제조된다. 이러한 재료에는, 제한적이지 않은 기재로서, 폴리비닐알코올, 폴리비닐아세탈, 폴리비닐아세테이트, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리스티렌, 폴리아미드, 폴리이미드 그리고 폴리염화비닐이 포함된다. 기판(110)용의 다른 적절한 재료에는 폴리카보네이트 수지, 폴리에스터카보네이트, 아크릴계 폴리머, 폴리에스터, 폴리우레탄 및 이와 동일한 것들이 포함된다. 기판을 제조하는 다른 부가적인 재료의 예에는 세라믹, 유리, 금속 또는 반도체가 포함된다. 일반적으로, 본 발명은 코팅 중에 코팅지대(106)의 실내면에서 배출되는 미립자에 의한 영향을 받아야 하는 임의 적인 기판(110)용으로 활용되는 것이다.

상기 기판(110)은 기판을 구성하는 재료에 따라서 다양한 기술로 형성 될 것이다 이러한 기술은, 제한적이지 않은 기재로서, 사출성형, 냉간성형, 진공성형, 압출, 송풍 몰딩, 트랜스퍼 몰딩, 압축 몰딩, 및 열간성형을 포함한다. 부가하여, 상기 기판(110)은 굽어지거나, 편평하거나, 단단하거나, 또는 유연한 성질을 가질 것이다.

장치(100)를 활용하는 과정에서, 기판(110)은 랙, 행거 또는 그외 다른 기구가 해당되는 기판 캐리어(112) 상에 위치하게 된다. 이러한 기구는 산업분야에서 공지된 것들이기에, 여기서는 더 이상 설명하지 않는다. 기판 캐리어(112)는 로드 록(102)에 들어가고 그리고, 로드 록(102) 내에서 또는 그 앞에서, 코팅장치(100)를 통해 캐리어(112)와 기판(110)을 운반하는 컨베이어와 결합한다. 캐리어(112)와 기판(110)을 코팅장치(100)를 통해 운반하기에 적절한 임의적인 메카니즘을 이용한다.

기판 가열지대(104)로 기판이 전달되었으면, 상기 기판(110)은 기판(110)을 코팅하는데 적절한 온도로 가열된다. 이러한 작업을 하도록, 기판 가열지대(104)는 도면에서 2개가 도시된 가열 유닛(114)을 구비한다. 가열 유닛(114)은 기판 가열지대(104)의 내부 또는 외측에, 측벽에 또는 측벽을 따라서 위치하거나 또는 장 치(100)의 전체 설계에 의해 정해진 장소에 위치하게 된다. 다양한 형태의 가열 유닛(114)이 이용되는데, 한정적이지 않은 기재로서, 예를 들면, 적외선 히터, 마이크로파 히터, 저항 히터, 무-반응 플라즈마 플름(non-reactive plasma plumes) 및 그와 같은 종류의 것들을 포함한다.

기판 가열지대(104)를 통해 이동한 후에, 기판 캐리어(112)는 기판 코팅지대(106)에 들어가고, 여기서 코팅은 기판(110)상에 증착된다. 상기 기판(110)이 코팅되어 졌으면, 이들은 언로드 록(108)으로 이송되고, 여기서 이들은 코팅장치(100)로부터 방출된다.

다양한 코팅 방법과 과정이 본 발명에 이용될 수 있다. 예를 들어 설명하면, 기판 코팅지대(106)가 쌍으로 서로 대향 위치한 일련의 ETP(expanding thermal plasma) 소스 어레이(116)를 포함한다. 상기 ETP 소스 어레이(116)는 기판 코팅지대(106)의 측벽에 위치한 포트(122) 또는 공통 매니폴드에 설치된다.

각각의 ETP 소스 어레이(116)에는 부분적으로 이온으로 되는 불활성 기체가 공급 된다. 그리고, 상기 불활성 기체는, 결합 또는 공통 플라즈마 깃털 모양부분(plume)(118)으로 설명되는 플라즈마 깃털 모양으로 어레이(116)에서 기판 코팅지대(106)로 흐른다. 코팅장치(100)에 활용되는 불활성 기체의 예로는, 한정적이지 않은 기재로서, 아르곤, 헬륨, 네온 등,등이 있다.

산화기체와 코팅 반응물도 또한 기체 및 반응물 인젝션 매니폴드(도시 않음)에서 각각 주입된다. 증기 형태로 주입되는 상기 산화 기체와 코팅 반응물은 플라즈마 깃털 모양 부분(118)으로 확산된다. 상기 깃털 모양 부분은 기판 코팅지 대(106)쪽으로 팽창되어 통해 전달되는 기판(110)을 향하는 방향으로 나아간다. 산화 기체의 예로는, 제한적이지 않은 기재로서, 산소와 아산화 질소, 또는 그 화합물이 있다. 코팅 반응물의 예에는, 한정적이지 않은 기재로서, 예를 들어, 데카메틸시클로펜타실록산(D5), 비닐트리메틸실란(VTMS), 디메틸디메톡실란(DMDMS), 옥타메틸시클로테트라실록산(D4), 테트라메틸디실록산(TMDSO), 테트라메틸테트라비닐시클로테트라실록산(V-D4), 헥사메틸디실록산(HMDSO) 등의 유기 실리콘이 있다.

기판 코팅지대(106)는 부가로, 상기 지대(106)로 기판(110)을 도입하기에 앞서 기판 코팅지대(106)의 실내면(200)을 예열하게 위치되어 이용되는 가열 유닛(120)을 포함 한다. 바람직하게, 로칼 예열 온도는, 기판(110)이 실질적으로 코팅되는 중에 실내면(200)에 의해 도달된 로칼 온도와 대체로 동일하다. 로칼 예열 온도에 도달되어져 있을 때를 판단하기 위해, 열전대(thermocouples), 광 고온계(optical pyrometers)와 같은 온도계량기(도시 않음)가 코팅지대(106)와 관련하여 설치된다.

상술한 바와 같이, 실내면(200)은 1개 이상의 기판 코팅지대(106)의 내부벽을 갖는다. 또한, 실내면은 부분적으로, 실질적인 코팅을 하는 중에 기판 코팅지대(106) 내에 위치한 각종 요소와 구성체가 가진 면도 구비한다. 상기 요소와 구성체(도시 않음)는 예를 들어 기체 주입 매니폴드, 반응물 주입 매니폴드, 그 지지물 및 그외 다른 구성체를 포함한다. 부가하여, 실내면(200)은 적어도 부분적으로 순종 섬유(204)로 형성된다.

도2에 상세하게 도시한 바와 같이, 기판 코팅지대(106)는 1쌍의 대향 ETP 소 스 어레이(116)와 가열 유닛(120)(4개 유닛 도시)을 포함한다. 코팅지대(106)는, 적어도 부분적으로 반-경질 이면(202)에 부착된 순종 섬유(204)로 형성된 실내면(200)을 갖는다. 일 실시예에서, 상기 순종 섬유(204)는 예를 들어 와이어 스티치, 클립 및 그와 같은 종류의 적절한 수단으로 반-경질 이면(202)에 부착된다. 선택적으로, 상기 순종 섬유(204)는 코팅지대(106)의 내부벽에 직접 부착될 수 있다. 그러한 경우, 반-경질 이면(202)을 가진 또는 갖지 않은 순종 섬유(204)는 유지 보수를 수행(the performance of maintenance operations)하기 위해 주기적으로 기판 코팅지대에서 제거 된다.

순종 섬유(204)를 반-경질 이면(202)에 부착함은, 기판(110) 상에 코팅을 증착하는 중에 순종 섬유(204)를 안전하게 유지하고 그리고 코팅지대(106)의 실내면에 증착되는 부수 코팅을 제거하는 것과 같은, 유지 실행을 수월하게 한다. 이러한 구성으로, 상기 부수 코팅은 순종 섬유(204)에서 제거되거나 또는 순종 섬유(204)를 교체 할 수 있다.

순종 섬유(204)는 순종 섬유(204)에 증착된 부수 코팅 내에서 나타나는 임의적인 코팅 스트레스를 대체로 완화시킬 수 있기에 충분한 유연성을 가진 것이다. 더우기, 순종 섬유(204)가 일련의 파이버 또는 스트랜드(strands)로 제조되어서, 순종 섬유(204)의 실제 표면은 동일한 측면 범위의 종래 평면 벽에 의해 제공되는 것 보다 큰 대형의 코팅가능한 표면적을 제공하는 텍스쳐 특성을 갖는다. 이러한 결과로, 순종 섬유(204)에 증착된 코팅 두께가 비교적 느린 비율로 증가한다. 코팅 스트레스가 코팅 두께와 같이 증가하는 경향이 있기 때문에, 코팅 스트레스의 발전이 부가로 저지되거나 지연되게 된다. 상기 사실로부터, 임의적인 코팅 스트레스의 발전이 대체로 저지되기 때문에, 부수 코팅에서 나오는 미립자 배출을 최소로 하도록 순종 섬유(204)의 유연하고 증가된 코팅가능한 표면구역을 운영하는 것을 알 수 있을 것이다.

도3A는 본 발명의 예를 든 실시예에 따르는 반-경질 이면(202)의 정면도 이다. 예를 든 반-경질 이면(202)은 한정적이지 않은 기재로서 확장 금속 시트와, 금속 평판과, 금속 프레임과, 금속 메시 구성체 등을 포함한다.

도3B와 도3C는 반-경질 이면(202)에 부착된 순종 섬유(204)를 나타낸 측면 및 정면도 이다. 상기 순종 섬유(204)는 기판(110)의 코팅 중에 코팅지대(106) 내에서 발생하는 온도와 상황에 대한 내성을 가진 것이다. 따라서, 순종 섬유(204)는 그러한 온도에서 작열, 연소, 소각 또는 분해되지 않는다. 또한, 순종 섬유(204)는 진공 양립성(vacuum compatible)이고, 바람직하게 광학적으로 불투명하고, 그리고 '호흡(breathable)' 특성을 갖고 있다. 상기 진공 양립성은, 진공하에서 순종 섬유(204)에서 나오는 기체 또는 증기의 배출이 코팅 프로세스에 기여하는 진공 상태에 도달하는 것을 지연 또는 저지하지 않게 보장 한다. 또한, 상기 진공 양립성은, 기체 또는 증기가 기판 상에 증착된 코팅에 역효과를 주지 않게도 보장 한다. 광학적 불투명성은 순종 섬유(204)를 통한 코팅 전조부(precursor)의 전달을 차단하여서, 순종 섬유(204)가 커버하는 표면을 보호한다. 상기 순종 섬유의 호흡특성은 순종 섬유(204)의 틈새 내에 있는 기체 또는 증기 힘과 관련하여, 진공 상태의 획득이 상당한 지연 또는 저지되지 않게, 순종 섬유(204)에서 충분히 자유 롭게 흐르는 것이다.

예를 들어 설명하면, 상기 순종 섬유(204)은 파이버글래스 섬유(fiberglass fabric) 이다. 기판 코팅지대(106)에 사용하기에 앞서, 상기 파이버글래스 섬유는 열-처리를 받게 된다. 선택적으로, 상기 파이버글래스 섬유를 예열 할 수도 있다. 예를 들어, 파이버글래스 섬유를 질석 또는 PTFE(polytetrafluoroethylene)로 사전 코팅 한다. 다르게는, 상기 파이버글래스 섬유를 와이어로 보강 할 수도 있다. 다른 예의 순종 섬유(204)용 재료에는 카본파이버 섬유, 세라믹 섬유, 실리카 섬유, 케블러 아라미드 섬유, 금속 울 섬유, 우븐 금속 와이어 클로쓰, 및 그와 같은 종류의 것들이 포함 된다. 상기 세라믹 섬유의 예로는, 제한적이지 않은 기재로서, 알루미나, 지르코니아 및 그 유사한 다른 것들을 포함한다.

도4는 기판 코팅지대(106)의 실내면 상에 코팅을 안정적으로 하는 본 발명의 기본원리를 실시하는 한 방법을 설명하는 흐름도 이다. 단계(402)에서, 선택적으로 코팅지대(106)의 적어도 1개의 실내면을 형성하는데 상술한 바와 같은 순종 섬유가 제공된다. 상기 순종 섬유(204)는 상술된 반-경질 이면(202)과 같은 반-경질 이면에 부착된다. 단계(404)에서는, 적어도 부분적으로 기판 코팅지대(106)의 내부를 커버하여 1개 이상의 실내면을 형성하게 순종 섬유(204)를 설치한다. 선택적으로, 순종 섬유(204)를 기판 코팅지대(106) 내에 있는 다양한 요소 및 구성체를 커버하게 설치 할 수도 있다.

단계(406)에서, 기판 코팅지대(106)에 상기 기판(110)을 도입하기에 앞서, 선택적으로 코팅지대(106)의 실내면을 로칼 예열 온도로 예열 한다. 상기 실내면 은 상술한 다양한 수단에 의해 가열 된다. 이러한 예열 후에, 상기 기판(110)은 단계(408)에서 기판 코팅지대(106)에 유입되고 그리고 기판(110) 상에 코팅 증착이 단계(410)에서 수행된다.

코팅 후에, 상기 기판은 기판 코팅지대에서 제거된다. 다음, 이러한 프로세스는 단계(404, 406) 사이로 연장된 실선으로 지시된 일괄 코팅 프로세스로서 그리고 단계(406, 408) 사이로 연장된 실선으로 지시된 연속 코팅 프로세스로서 반복 된다. 기판 코팅지대(106)의 실내면 상에 부수 코팅이 과도하게 되면(실내면에서 나오는 부수 코팅의 미립자 방출 위험이 있는 스트레스를 나타냄), 단계(412)에서는 순종 섬유가 코팅지대에서 제거되어서, 제거된 부수 코팅을 갖거나 또는 대체 된다. 그 후, 전체 프로세스가 반복된다.

주시되는 바와 같이, 기판 코팅지대(106)의 실내면 상에 부수 코팅은, 실내면을 적어도 부분적으로 형성하는데 사용되는 순종 섬유을 갖고 또는 갖지 않은 상태에서, 상기 면의 예열을 통해 안정적으로 된다.

본 발명의 다양한 실시예는 기판 코팅장치에서 기판을 코팅하는 중에 부수 코팅 내에서 바람직하지 않은 높은 스트레스가 나타나는 것을 저지하는 유익한 방법과 장치를 제공하는 것이다. 이러한 사실은 기판 코팅장치의 실내면에 부수 코팅을 안정적으로 할 수 있게 한다. 따라서, 본 발명의 다양한 실시예는 기판 코팅장치의 실내면 상에 부수 코팅에서 나오는 미립자의 배출도 저지 한다. 이러한 결과로, 상기 각종 실시예는 기판 상에서 표면 결함이 발생하는 것을 저지 또는 방지한다. 또한, 본 발명은 순종 섬유를 사용하여 기판 코팅장치의 내부벽을 커버하고 그리고 장치의 실내면을 형성한 것이다. 상기 순종 섬유은 반-경질 이면에 부착되어 부수 코팅의 제거를 용이하게 하고 그리고 기판 코팅장치에 새로운 실내면(새로운 순종 섬유에 의함)의 설치를 용이하게 하는 것이다.

Claims (21)

1. 실내면이 기판을 코팅하는 중에 로칼 코팅 온도에 도달하는, 기판 코팅장치에 코팅지대의 실내면 상에 코팅을 안정적으로 하는 방법에 있어서, 상기 방법은:

   로칼 코팅 온도와 대체로 동일한 로칼 예열 온도로 상기 코팅지대의 실내면을 예열하는 단계와;

   상기 예열 단계 후에, 기판을 상기 코팅지대로 도입하는 단계와;

   상기 코팅지대에서 기판을 코팅하는 단계와;

   상기 코팅지대의 실내면에 부수 코팅을 형성하는 단계; 및

   상기 코팅지대에서 기판을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 기판을 코팅하는 단계는 일괄 코팅 프로세스인 것을 특징으로 하는 방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 기판을 코팅하는 단계는 연속 코팅 프로세스인 것을 특징으로 하는 방법.
4. 제1항에 있어서, 상기 부수 코팅을 형성하는 단계는 코팅지대의 유연한 실내면 상에서 일어나는 것을 특징으로 하는 방법.
5. 제1항에 있어서, 상기 부수 코팅을 형성하는 단계는 코팅지대의 삼투성 실내면 상에서 일어나는 것을 특징으로 하는 방법.
6. 제1항에 있어서, 순종 섬유를 활용하여, 상기 코팅지대의 실내면의 적어도 일 부분을 형성하는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
7. 제1항에 있어서, 순종 섬유를 적어도 부분적으로 상기 코팅지대의 실내면을 형성하도록 활용하여, 순종 섬유와 반-경질 이면 조립체를 형성하도록 반-경질 이면 위에 순종 섬유을 제공하는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
8. 제7항에 있어서, 부수 코팅을 형성한 후에 코팅지대의 순종 섬유와 반-경질 이면 조립체를 제거 및 대체하는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
9. 제1항에 있어서, 부수 코팅을 형성한 후에 코팅지대의 실내면을 제거 및 대체하는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
10. 기판 코팅용 기판 코팅장치에 있어서, 상기 기판 코팅장치는:

    (a)기판을 코팅하는데 이용되는 코팅 소스를 구비한, 적어도 1개의 실내면을 형성하는 부분을 가진 코팅지대와;

    (b)기판을 코팅지대로 도입하기에 앞서 로칼 예열 온도로 코팅지대의 실내면을 가열하는 구조로 이루어진 적어도 1개의 예열기를 포함하고;

    (a')상기 실내면은 코팅지대에서 기판을 코팅하는 중에 로칼 코팅 온도에 도달하고; 그리고

    (b')상기 로칼 예열 온도는 기판을 코팅하는 중에 실내면의 로칼 코팅 온도와 대체로 동일한 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치.
11. 제10항에 있어서, 상기 실내면은 코팅지대의 내부 벽인 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치.
12. 제10항에 있어서, 상기 실내면은 로칼 코팅 온도에 대한 내온도성을 가진 순종 섬유로 형성되고, 상기 순종 섬유는 그 위에 형성된 부수 코팅에서 코팅 스트레스가 나타나는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 순종 섬유는 반-경질 이면에 부착되는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치.
14. 제12항에 있어서, 상기 순종 섬유는 코팅지대에서 제거할 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치.
15. 제10항에 있어서, 상기 기판 코팅장치는 연속 코팅장치와 일괄 코팅장치 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치.
16. 제10항에 있어서, 상기 실내면은 코팅지대에서 제거할 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치.
17. 기판을 코팅하는 중에 실내면이 로칼 코팅 온도에 도달하는, 기판 코팅장치에서 코팅지대의 실내면 상에 코팅을 안정적으로 하는 방법에 있어서, 상기 방법은:

    적어도 부분적으로, 순종 섬유로 코팅지대의 실내면을 형성하는 단계와;

    기판을 코팅지대에 도입하는 단계와;

    코팅지대에서 기판을 코팅하는 단계와;

    부수 코팅을 코팅지대의 실내면 상에 형성하는 단계; 및

    기판을 코팅지대에서 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
18. 제17항에 있어서, 상기 로칼 코팅 온도와 대체로 동일한 로칼 예열 온도로 실내면을 예열하는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
19. 제17항에 있어서, 상기 코팅지대에서 부수 코팅을 가진 순종 섬유을 제거하 는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
20. 기판 코팅용 기판 코팅장치에 있어서, 상기 기판 코팅장치는:

    (a)기판을 코팅하는데 이용되는 코팅 소스를 구비하고, 적어도 1개의 실내면을 형성한 부분을 가진 코팅지대와;

    (b)코팅지대의 실내면을 적어도 부분적으로 형성하는 순종 섬유을 포함하며;

    (a')상기 실내면은 코팅지대에서 기판을 코팅하는 중에 로칼 코팅온도에 도달하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치.
21. 제20항에 있어서, 기판을 코팅지대로 도입하기에 앞서 실내면을 로칼 예열 온도로 가열하는 구조로 이루어진 적어도 1개의 예열기를 부가로 포함하고, 상기 로칼 예열 온도는 기판을 코팅하는 중에 실내면의 로칼 코팅 온도와 대체로 동일한 온도인 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치.

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