KR20090093931A - 기계 피스들의 선형 크기를 체크하는 헤드 - Google Patents

Abstract

기계 피스들의 선형 크기를 체크하는 게이징 또는 측정 헤드는 케이싱(1), 필러(7)를 유지하는 이동가능한 아암(4), 상기 케이싱(1)에 대한 상기 아암(4)의 회전이 가능하도록 상기 아암(4) 및 상기 케이싱(1)에 커플링되는 지주(10), 상기 케이싱(1) 및 상기 아암을 유한 비작동 위치로 강제하기 위하여 상기 케이싱 내에서 슬라이딩하는 피스톤(72)에 커플링되는 실린더(70)를 갖는 리트랙션 디바이스(68), 및 상기 케이싱에 대한 상기 아암의 위치에 따른 신호들을 제공하는 위치 변환기(50)를 포함한다. 상기 리트랙션 디바이스는 실린더 내에 하우징되고 실린더와 피스톤에 고정되는 단부들을 갖는 벨라우즈 개스킷(88)을 포함한다.

Description

기계 피스들의 선형 크기를 체크하는 헤드{HEAD FOR CHECKING LINEAR DIMENSIONS OF MECHANICAL PIECES}

본 발명은 길이방향의 기하학적 축선을 형성하는 지지 요소, 상기 지지 요소에 대해 이동가능하고 필러를 유지하는(carrying) 아암을 갖는 이동가능한 아암셋, 상기 지지 요소에 대한 상기 아암의 제한된 회전 변위가 가능하도록 상기 아암 및 상기 지지 요소에 커플링되는 지주(fulcrum), 상기 지지 요소 및 실링 요소들에 대해 이동가능한 피스톤 - 상기 피스톤은 상기 이동가능한 아암을 유한(definite) 비작동 위치로 옮기도록 상기 이동가능한 아암과 연동하도록 되어 있음 - 을 포함하는 리트랙션(retraction) 디바이스, 및 상기 지지 요소에 대한 상기 아암의 위치에 따른 신호들을 제공하는 변환기를 포함하는, 기계 피스들의 선형 크기를 체크하는 헤드에 관한 것이다.

공작기계에서의 기계가공 과정에서 벤치들, 트랜스퍼 라인 또는 소위 "인-프로세스(in-process)" 응용례들에서의 기계 피스들의 검사를 위해 상기한 특징부들을 포함하는 여러가지 타입의 게이징(guaging) 및 측정 헤드들이 존재한다.

미국특허 US-B1-6269546은 이러한 종류의 헤드들을 언급하고 있다. 상기 미국특허는 여러 특징들 중에서도, 서로를 향하는/서로로부터 멀어지는 헤드와 작업물 간의 변위들의 과정에서 필러(들)의 우발적인 충격들 및/또는 원하지 않는 슬라이딩을 피하기 위하여 소위 필러(들)의 리트랙션을 실현하는, 즉 체크될 작업물의 표면으로부터 떨어진 위치로 필러(들)을 변위시키는 2 가지 상이한 시스템들에 대해 개시하고 있다.

상기 미국특허의 도 2에서 단순화된 형태로 나타낸 제 1 시스템은 기학 회로(pneumatic circuit)에 커플링되는 피스톤을 갖는 디바이스를 포함한다. 상기 디바이스가 활성화되는 경우, 피스톤은 상기 아암을 적절한 제한 맞댐부들(limitation abutments)에 의하여 형성되는 비작동 위치로 강제한다. 헤드가 체킹 위치에 도달하면, 공기의 공급이 차단된다: 즉, 상기 피스톤은 스프링 작용으로 인해 이전의 위치로 거꾸로 돌아가고, 필러는 체크될 표면을 향하여 자유롭게 변위될 수 있다.

상술된 미국특허의 도 9를 기준으로 하는 제 2 시스템에서는, 피스톤이 개방되고 케이싱에 커플링되는 일 단부, 및 폐쇄되고 아암을 리트랙팅된 위치로 강제하기에 자유로운 다른 단부를 포함하는 벨라우즈(bellows) - 이 또한 기학 회로에 의해 공급됨 - 로 대체된다. 오랫동안 알려진 제 1 시스템은 케이싱 내의 고점도 완충액(damping liquid)의 경우에 특히 몇가지 문제가 있다. 실제로, 피스톤과 그와 연관된 실린더의 내부 표면 사이의 실링 개스킷들(sealing gaskets)은, 예를 들어 초기 위치로의 피스톤의 정확한 복귀를 방해하지 않도록 하기 위해 상기 두 부분들 간의 적절한 상호간의 변위가 가능하도록 해야 한다. 결과적으로, 웨트 실 작용(wet seal action)은 단지 부분적이며 유체는 기학 회로의 덕트들을 통해 점차적으로 방출된다. 따라서, 실링 작용과 마찰 제한을 동시에 조합하는 것이 어려워, 적시에 정확한 작동과 신뢰도를 확보하기가 어렵다.

미국특허 US-B1-6269546의 도 9에 나타낸 벨라우즈를 갖는 디바이스는 단순성 및 마찰의 부재의 관점에서 우수한 장점들을 부여한다.

상기 벨라우즈는 응력을 매우 많이 받으며 큰 변형을 겪는다. 이러한 이유로, 신뢰성 있는 해법을 보장할 수 있는 재료들을 선택하는 것이 대체로 어렵다.

이하, 본 발명이 비제한적인 방식으로 제공되는 첨부도면들을 참조하여 보다 상세하게 설명된다.

도 1은 종래 기술에 따른 헤드의 종단면도 - 몇몇 세부요소들은 간략하고 명확히 하기 위해 정면도로 도시되어 있음 - 이고;

도 2는 리트랙션 디바이스를 나타낸, 본 발명에 따른 헤드의 확대된 스케일의 부분 종단면도이다.

본 발명의 목적은 단순하면서 이미 알려진 해법들에 비해 증대된 신뢰도를 보장하는 리트랙션 디바이스를 포함하는 기계 피스들의 선형 크기를 체크하는 헤드를 제공하는 것이다.

이 목적은 청구항 제 1 항에 따른 헤드에 의하여 달성된다.

본 발명에 따른 해법이 제공하는 장점들 중에 다음의 우수한 장점이 존재한다. 알려진 리트랙션 피스톤 디바이스들에서는, 슬라이딩 변위들의 과정에서 개스킷들과 실린더 벽 사이로 소량의 공기가 불가피하게 누출되고, 이동가능한 부분들(예를 들어, 단지 부분적으로 개스킷들에 의해 채워지는 피스톤 시트들) 사이로 유동하여 상기 디바이스의 정확한 작동을 방해한다. 이러한 문제를 해결하기 위하여, 알려진 디바이스들은 누출된 공기를 배출 파이프를 통해 방출하는 적절한 덕트들을 제공하고 있다. 도 1에는 알려진 해법이 단순화된 형태로 도시되어 있다. 헤드의 전기적 및 기학적 연결들 이외에, 기계 내에 존재하는 유체들이 흡입되는 것을 방지하도록 정확하게 배치되어야 하는 배출 파이프가 존재한다. 본 발명에 따른 해법은 배출 파이프를 생략할 수 있도록 하며, 이에 대해서는 후술된다.

도 1은 알려진 타입의 게이징 헤드, 보다 상세한 설명을 위해 참조하고 있는 상술된 특허 US-B1-6269546에 약술된 것과 실질적으로 동일한 형태의 헤드들을 도시하고 있다.

간단히 말해, 도 1에 도시된 헤드는 스틸로 만들어지고 실질적으로 평행육면체의 형상으로 되어 있는 케이싱(1)을 갖는 지지 요소를 포함하며, 길이방향의 기하학적 축선을 형성한다. 이동가능한 아암셋은 케이싱(1)의 길이방향 기하학적 축선과 실질적으로 평행한 방향을 따라 배치되는 아암(4)을 포함한다. 아암(4)은 필러(7)를 유지하는, 케이싱(1)의 외측에 배치된 외측부 및 케이싱(1)의 내측에 배치된 내측부를 포함한다. 도 1에 도시된 장치를 참조하면, 필러(7)는 도면의 상부에 배치되는 기계 표면과 접촉하도록 되어 있다. 적절한 개구부들을 통해, 케이싱의 내측 중공부(hollow)는 아암 변위의 속도를 감속하기 위하여 특정 점도 특징들을 갖는 오일과 같은 고점도 완충액으로 채워질 수 있다. 이러한 특징은 홈가공된 표면들을 체크하는 경우에 특히 중요하다. 지주(10)는 케이싱(1) 및 아암(4)의 표면들에 커플링되며 변형가능한 요소를 포함한다. 지주(10)는 아암(4)이, 케이싱(1)의 길이방향의 기하학적 축선과 수직한 축선에 대하여 제한적이지만 정확한 회전 변위들을 수행할 수 있도록 한다. 이러한 변위들은 알려진 방식으로 얻어진 기계적 제한 디바이스들에 의하여 제한된다. 예를 들어, 도 1은 아암(4)의 홀을 통과하여 케이싱(1) 내로 나사결합되는 스크루(12)를 나타내고 있다. 이러한 스크루(12)의 헤드에 대한 아암(4) 내부 영역의 맞댐은 체킹될 작업물 표면으로부터 먼 쪽으로의 필러(7)의 변위에 대응되는 도 1에서의 반시계방향으로의 아암(4)의 상향 회전을 제한한다. 다른 기계적 요소들(도 1의 단면에서 볼 수 없음)은 대향되는 방향으로의 아암(4)의 회전들을 제한하기 위해 연동한다. 체크될 기계 피스의 표면에 대해 필러(7)를 강제하기 위한 바이어싱 디바이스(biasing device)는 적절한 시트에 삽입되고 아암(4)에 커플링되는 일 단부 및 케이싱(1)에 커플링되는 세팅 요소에 커플링되는 다른 단부를 갖는 복귀 스프링(4)을 포함한다.

대체로 스크루(12)의 기계적 제한 스톱에 의하여 형성되는 유한 비작동 위치로 아암(4)을 옮기기 위한 기학적으로 작동되는 리트랙션 디바이스(18)는 다음과 같이 이루어진다.

케이싱 시트에는 실린더(20)가 배치된다. 피스톤(22)은 실린더(20) 내측에서 슬라이딩 할 수 있으며, 피스톤(22)과 실린더(20)의 내측 벽 간의 실링을 실현하도록 되어 있는, 개스킷들(25 및 27)을 갖는 실링 요소들을 하우징하기 위한 2 개의 원형 시트(24 및 26)를 포함한다. 보다 구체적으로, 개스킷(25)은 "립 실(lip seal)" 타입에 속하며 피스톤(22)의 두 변위 방향들 중 하나의 방향으로 지배적인 실링 작용을 제공한다. 개스킷(27)은 실질적으로 대칭이며, 예를 들어 환형의 형상을 갖는 소위 "O-링"이다. 피스톤은 중공 영역부(28) 및 스러스트 표면을 형성하는 축선방향으로 배치되는 볼(30)을 갖는다.

압축 스프링(33)의 단부들은 피스톤(22) 및 실린더(20)에 각각 커플링된다. 케이싱(1)으로부터 돌출된 실린더(20) 단부에서의 축선방향 개구부(35)는 압축 공기의 소스(도 1에는 도시 안됨)를 포함하는 알려진 기학 회로로부터 나오는 공기의 유입부를 위한 튜브(37)에 커플링된다. 공기 배출 시스템은 실린더(20)의 벽에 형성되는 내부공간 또는 챔버(40)를 포함한다. 챔버(40)는 일 측 상에서는 두 개스킷(25 및 27) 사이에서 피스톤(22)의 벽과 마주하는 내부 개구부에 의하여 실린더(20)의 내부 표면과 연통하고 다른 측 상에서는 연관된 방출 파이프(도 1에는 도시 안됨)에 커플링되는 배출 덕트(44)와 연통한다. 배출 시스템은 상호간의 변위 과정에서 실린더(20)와 피스톤(22) 간의 공간들에서 불가피하게 누출되는 공기를 배출하기 위해 필요하다. 개스킷은 정확한 슬라이딩 변위가 가능하도록 충분히 압축될 수 없기 때문에 개스킷(25)의 일 측 상에서 실린더(20)의 중공부로부터 공기가 누출된다는데 유의해야 한다.

배치 스템(locating stem;46)은 아암(4)에 조정가능한 방식으로 커플링되는 일 단부를 갖는 한편, 다른 단부는 자유롭고 피스톤(22)을 향하는 실질적으로 평면의 맞댐면(48), 보다 구체적으로는 볼(30)의 스러스트 표면을 형성한다.

알려진 타입의 차동 유도 변환기(differential inductive transducer;50)는 케이싱(1)에 고정되는 권선들 및 스템에 의하여 아암(4)에 커플링되는 강자성 재료로 만들어지는 코어를 포함한다.

정상적인 작동 콘디션들 하에, 알려진 방식의 체킹 상호 구성으로 헤드와 체크될 작업물을 서로를 향하여 이동시키기 전에, 이러한 이동 동안 필러(7)가 작업물 또는 다른 방해물들에 대하여 충격을 가하는 것을 방지하기 위하여, 필러(7)가 체킹 위치로부터 먼 쪽에 있는 유한 비작동 위치로 아암(4)이 옮겨진다. 이를 위하여, 리트랙션 디바이스(18)는 튜브를 통해 압축된 공기가 유동하도록 함으로써 활성화된다. 공기가 피스톤(22)에 대해 가하는 압력은 피스톤을 스프링(33)의 스러스트에 대향되는 쪽으로 (도 1을 구성을 기준으로) 상향 변위시키도록 강제한다. 볼(30)의 스러스트 표면이 배치 스템(46)의 맞댐면(48)과 접촉하는 경우, 아암(4)의 내부 위치가 스크루(12) 헤드에 대해 맞닿아 아암(4)의 비작동 위치를 형성할 때까지 아암(4)은 (도 1을 기준으로) 반시계 방향으로 움직이도록 강제된다.

체킹 상호 구성에 도달되고 작업물이 체킹 위치에 존재하는 경우, 공기의 유동을 끊고 알려진 적절한 디바이스들에 의하여 압력을 방출함으로써 리트랙션 디바이스(18)가 배제되며, 스프링(33)이 피스톤(22)을 거꾸로 끌어내린다. 그 다음, 스프링(14)이 아암(4)에 가하는 견인력이 필러(7)를 체크될 작업물과 접촉하도록 강제한다. 필러(7) 및 결과적으로 이에 더해 아암(4)이 이러한 접촉을 취하는 위치는 연관된 신호를 디스플레이 및 프로세싱 유닛(도 1 에는 도시 안됨)으로 전송하는 변환기(50)에 의하여 알려진 방식으로 검출된다.

도 2는 본 발명에 따른 헤드에 있어 도 1에 도시된 디바이스(18)를 대체하는 리트랙션 디바이스(68)를 상이한 스케일로 예시하고 있다.

디바이스(18)와 마찬가지로, 리트랙션 디바이스(68)는 기학적으로 작동되며 적절한 시트에서 케이싱(1)에 커플링되는 실린더(70)를 포함한다. 피스톤(72)은 실린더(70) 내에서 슬라이딩할 수 있으며, 피스톤(72)과 실린더(70) 사이에는 실링 요소들이 제공된다. 특히, 슬라이딩 개스킷 또는 "립 실" 개스킷(75)이 피스톤(72)의 원형 시트(74) 내에 하우징된다. 피스톤(72)은 중심 중공 영역부(78) 및 스러스트 표면을 형성하는 축선방향으로 배치된 볼(80)을 갖는다. 복귀 압축 스프링(83)은 피스톤(72) 및 실린더(70)에 각각 커플링되는 단부들을 갖는다. 케이싱(1)으로부터 돌출되는 실린더(70) 단부 영역의 축선방향 개구부(85)는 압축 공기 소스(도 2에 도시 안됨)를 포함하는 알려진 기학 회로로부터 나오는 공기의 유입부를 위한 튜브(87)에 커플링된다.

실링 요소들은 서로 마주하는 실린더(70)와 피스톤(72)의 표면들에 고정되는(예를 들어, 접착되는) 벨라우즈 개스킷(88)을 더 포함하며 실린더(70) 내에 하우징되고, 부분적으로 피스톤(72)의 중심 중공 영역부(78) 내에 둘러싸인다. 이러한 방식으로, 실링 개스킷(88)의 단부들은 (실린더가 커플링되는) 케이싱(1) 및 피스톤(72)에 대해 정지해 있다.

본 발명에 따른 헤드는 또한 디바이스(68)에 의하여 얻어지는 아암(4)의 리트랙션 상태가 관련되는 바에 한해서 도 1을 기준으로 설명되는 바와 같이 작동된다.

벨라우즈 개스킷(88)의 존재 및 구성은 도 1의 알려진 해법과 관련한 다양한 장점들을 제공한다. 무엇보다도, 이는 2 개의 슬라이딩 실링 개스킷들 중 하나[도 1에 나타낸 "O-링"(27)]를 제거할 수 있도록 하여, 마찰의 악영향들, 및 피스톤과 실린더 간의 정확한 변위와 함께 적은 간섭과 높은 수준의 실링 간의 절충의 어려움을 상당부분 제한한다. 또한, 벨라우즈 개스킷(88)은 피스톤(72)과 실린더(70) 사이의 슬라이딩 영역으로부터 케이싱(1)의 내부 중공부와 접촉하는 실린더(70)의 영역을 분리하여, 헤드 내에 배치되는 고점도 완충액들이 외부로 누출되는 것을 실질적으로 방지한다.

또한, 유일한 개스킷, 즉 "립 실" 개스킷(75)은 실질적으로 한쪽으로만 작용(즉, 상기 개스킷은 피스톤의 두 변위 방향 중 한 방향을 따라 지배적인 실링을 제공하거나, 또는 다시 말해 일 변위 방향으로만 실링을 보장)하기 때문에, 도 1의 실시예에서 필요한 배출 회로가 생략될 수 있다. 실제로, 피스톤(72)이 (도면들을 기준으로 상방향으로) 아암(4)의 리트랙션을 제공하기 위하여 변위되는 경우 개스킷(75)을 통해 누출될 수 있는 공기는 벨라우즈 개스킷(88)에 의해 유지되고 개구부(85)로 거꾸로 유동하며, 결과적으로 공기의 공급이 끊어지고 회로가 알려진 방식으로의 방출 과정에 있을 때 동일한 개스킷(75)을 통해 튜브(87)로 유동할 수 있다.

따라서, 본 발명에 따른 해법은 케이싱의 외부와 연통하는 커플링들 중 하나를 생략할 수 있어, 비용을 절감하고 헤드 및 그와 연관된 응용례들 모두를 더욱 단순화시킬 수 있는 우수한 추가적인 장점을 갖는다.

도 2에 따른 실시예는 상술된 특허 US-B1-6269546의 도 9에 예시된 구성에 비해 더 나은 장점을 가지며, 리트랙션 디바이스가 일 단부에서 폐쇄되고 압축된 공기에 의해 활성화되는 벨라우즈에 의하여 간단히 얻어진다. 실제로, 본 발명의 경우에 있어, 변위 부분들 간의 마찰들로 인한 문제들이 현저히 제한되는 경우라 하더라도, 실린더(70)에서 둘러싸이는 벨라우즈 개스킷이 보다 확실하게 보호되고 응력을 덜 받아서, 결과적으로 보다 나은 신뢰성 및 연장된 수명을 보장한다.

벨라우즈 개스킷(88)은 고무, 또는 폴리우레탄과 같은 플라스틱 재료, 또는 금속으로 만들어지는 것이 바람직하다.

스러스트 표면[볼(80)] 및 맞댐면(48)은 실질적으로 지주(10)에 의하여 형성되는 회전 축선을 포함하는 길이방향 평면 또는 그 부근에서 상호 접촉하는 방식으로 배치된다. 이러한 방식으로, 스템(48) 및 볼(80) 간의 횡방향 슬라이딩들이 실질적으로 회피된다.

본 발명에 따른 헤드는 본 명세서에서 지금까지 설명 및 예시된 것과 상이할 수 있다. 예를 들어, 피스톤(72)의 스러스트 표면은 볼의 부분과 상이한 볼록한 부분을 포함하거나, 또는 실질적으로 평면으로 이루어질 수 있다. 맞댐면(48)은 구면부 또는, 대체로 볼록한 부분을 더 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 헤드에서, 도 1을 기준으로 간략하게 예시된 헤드 특징부들은 상이한 방식으로 실현될 수 있다. 이러한 특징들은, 예를 들어 케이싱(1), 아암(4), 지주(10), 바이어싱 디바이스[스프링(14)], 기계적 제한 디바이스[스크루(12)], 변환기(50) 및 다른 구성요소들의 특성, 형상 및 커플링을 포함하여 이루어진다.

Claims (16)

1. 기계 피스들의 선형 크기를 체크하는 헤드에 있어서,

   ㆍ 길이방향의 기하학적 축선을 형성하는 지지 요소(1),

   ㆍ 상기 지지 요소(1)에 대해 이동가능하고 필러(7)를 유지하는 아암(4)을 갖는 이동가능한 아암셋,

   ㆍ 상기 지지 요소(1)에 대한 상기 아암(4)의 제한된 회전 변위가 가능하도록 상기 아암(4) 및 상기 지지 요소(1)에 커플링되는 지주(fulcrum; 10),

   ㆍ 상기 지지 요소(1) 및 실링 요소들(75, 88)에 대해 이동가능한 피스톤(72) - 상기 피스톤(72)은 상기 이동가능한 아암(4)을 유한(definite) 비작동 위치로 옮기도록 상기 이동가능한 아암(4)과 연동하도록 되어 있음 - 을 포함하는 리트랙션(retraction) 디바이스(68), 및

   ㆍ 상기 지지 요소(1)에 대한 상기 아암(4)의 위치에 따른 신호들을 제공하는 변환기(50)를 포함하며,

   상기 리트랙션 디바이스(68)의 실링 요소들은 상기 지지 요소(1) 및 상기 피스톤(72)에 대해 정지된 단부들을 갖는 벨라우즈 개스킷(bellows gasket; 88)을 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 크기를 체크하는 헤드.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 리트랙션 디바이스(68)는 상기 지지 요소(1)에 커플링되는 실린더(70)를 포함하고, 상기 피스톤(72)은 상기 실린더(70) 내에 하우징되고 그 안에서 슬라이딩되며, 상기 벨라우즈 개스킷(88)의 단부들 중 하나는 상기 실린더(70)에 고정되는 선형 크기를 체크하는 헤드.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 벨라우즈 개스킷(88)은 상기 실린더(70) 내에 하우징되는 선형 크기를 체크하는 헤드.
4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,

   상기 리트랙션 디바이스(68)는 압축 공기 소스를 갖는 기학 회로(pneumatic circuit)를 포함하며, 상기 실린더(70)는 상기 기학 회로에 커플링되는 선형 크기를 체크하는 헤드.
5. 제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 리트랙션 디바이스(68)는 상기 실린더(70)와 상기 피스톤(72) 사이에 배치되는 복귀(return) 스프링(83)을 포함하는 선형 크기를 체크하는 헤드.
6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 피스톤(72)은 맞댐면(48)과 연동하도록 되어 있는 스러스트 표면(80)을 포함하고, 상기 맞댐면(48)은 상기 아암(4)과 통합되는 선형 크기를 체크하는 헤드.
7. 제 6 항에 있어서,

   상기 스러스트 표면(80)과 맞대면(48) 중 적어도 하나는 볼록한 부분을 포함하는 선형 크기를 체크하는 헤드.
8. 제 7 항에 있어서,

   상기 스러스트 표면(80)은 실질적으로 구형 부분을 포함하는 선형 크기를 체크하는 헤드.
9. 제 6 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 리트랙션 디바이스(68)는 상기 아암에 커플링되는 배치 스템(locating tem; 46)을 포함하고, 상기 배치 스템은 상기 맞댐면(48)을 형성하는 자유 단부를 포함하는 선형 크기를 체크하는 헤드.
10. 제 9 항에 있어서,

    상기 배치 스템(46)은 상기 아암(4)에 조정가능한 방식으로 커플링되는 선형 크기를 체크하는 헤드.
11. 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 이동가능한 아암(4)의 회전 변위들을 제한하고 상기 이동가능한 아암(4)의 상기 유한 비작동 위치를 형성하기 위한 기계적 제한 디바이스(mechanical limiting devices; 12)를 포함하는 선형 크기를 체크하는 헤드.
12. 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 벨라우즈 개스킷(88)은 플라스틱으로 만들어지는 선형 크기를 체크하는 헤드.
13. 제 12 항에 있어서,

    상기 벨라우즈 개스킷(88)은 폴리우레탄으로 만들어지는 선형 크기를 체크하는 헤드.
14. 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 벨라우즈 개스킷(88)은 금속으로 만들어지는 선형 크기를 체크하는 헤드.
15. 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 벨라우즈 개스킷(88)은 고무로 만들어지는 선형 크기를 체크하는 헤드.
16. 제 1 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 피스톤(72)은 두 변위 방향을 따라 이동가능하며,

    상기 리트랙션 디바이스(68)의 실링 요소들은 상기 피스톤(72)에 커플링되고 상기 피스톤(72)의 두 변위 방향 중 하나의 방향을 따라 지배적인 실링 작용을 수행하도록 되어 있는 슬라이딩 개스킷(75)을 더 포함하는 선형 크기를 체크하는 헤드.