KR20090082862A

KR20090082862A - 레지스트액 공급 회수 시스템 및 레지스트액 회수 방법

Info

Publication number: KR20090082862A
Application number: KR20090005848A
Authority: KR
Inventors: 도루 하세가와; 도시키 다케두츠미; 요시아키 마스
Original assignee: 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤
Priority date: 2008-01-28
Filing date: 2009-01-23
Publication date: 2009-07-31
Also published as: TWI413156B; TW200933312A; KR101066055B1

Abstract

종래에 비해 대폭 레지스트액의 회수를 효율화할 수 있고, 회수 비용을 저하하여 레지스트액의 리사이클률을 높일 수 있는 시스템 및 방법을 제공한다.

레지스트액 공급 회수 시스템은, 스핀 코터 (250) 등의 레지스트액 도포 장치와, 레지스트액 도포 장치에 레지스트액을 공급할 목적 및 레지스트액 도포 장치로부터 사용이 끝난 레지스트액을 회수할 목적으로 겸용되는 소정 용량의 공급 겸 회수 용기인 전용 용기 (1) 와, 레지스트액의 공급시에 사용되고, 전용 용기 (1) 와 기밀 상태에서 접속 가능한 공급 배관과, 사용이 끝난 레지스트액의 회수시에 사용되고, 전용 용기 (1) 와 기밀 상태에서 접속 가능한 회수 배관 (253) 을 구비한다. 이로써, 유저측에서의 회수나 리사이클의 설비 부담이 불필요하여, 회수 비용과 노력을 대폭 삭감할 수 있다.

Description

레지스트액 공급 회수 시스템 및 레지스트액 회수 방법{RESIST LIQUID SUPPLY AND RECOVERY SYSTEM AND METHOD OF RECOVERING RESIST LIQUID}

본 발명은, 사용이 끝난 레지스트액의 공급 회수 시스템 및 회수 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 레지스트액 도포 장치를 구비하는 사용 시설에 레지스트액을 공급하고, 도포 후의 사용이 끝난 레지스트액을 회수하여 리사이클 등에 이용하는 시스템 및 방법에 관한 것이다.

반도체나 액정 패널 등의 제조 프로세스에서는, 기판 상에 레지스트액을 도포하여 노광 현상하는 리소그래피가 실시된다. 최근 액정 패널 등의 대형화에 수반하여, 사용되는 기판도 대형화가 진행되고 있다는 점에서 레지스트액의 사용량도 증대되고 있다. 대표적인 도포 방식에는 스핀 코트 방식이나 다이 코트 (슬릿 코트) 방식이 있다.

기판에 대한 레지스트액의 도포에서는, 실제 도포량 이상의 과잉량의 레지스트액이 필요해진다는 점에서, 사용이 끝난 잉여 레지스트액이 항상 발생한다. 특히 스핀 코트를 사용하는 때에는, 사용이 끝난 레지스트액이 무시할 수 없는 양이기 때문에, 그 유효한 이용으로서 회수하여 리사이클 이용하는 것이 경제적, 환 경적으로도 요망된다.

이와 같은 레지스트액의 회수나 리사이클에 관해서는 하기의 특허 문헌 1, 2 와 같은 회수 장치가 알려져 있다. 이 시스템은 레지스트액 도포 장치 자체에 회수, 재생 장치를 부설하고, 점도 조정이나 필터 여과에 의해 레지스트액의 리사이클을 실시하는 것이다.

또, 그 밖에, 복수의 레지스트액 도포 장치를 구비하는 시설 내에, 공통적인 대규모의 회수 라인을 설치하여, 복수의 도포 장치로부터의 사용이 끝난 레지스트액을 탱크 등에 일괄 회수하고, 이것을 레지스트액 메이커에 반송하여, 레지스트액 메이커측에서 리사이클하는 것도 실시되고 있다.

한편, 반도체 메이커나 액정 패널 메이커 등의 유저에 대한 레지스트액의 공급은 레지스트액 메이커로부터 통상적으로 실시된다. 이 경우, 예를 들어, 특허 문헌 3 에 기재되어 있는 바와 같은 소정 용량의 소형 전용 용기가 사용되고 있다. 이 전용 용기는 소형 강성 용기와, 그 내부에 착탈 가능한 플렉시블 재료로 이루어지는 내부 주머니의 이중 구조로 되어 있다. 이와 같은 전용 용기는, 그대로 유저의 라인에 직결시킬 수 있고, 또한 취급이 간편하고, 또 레지스트액에 대한 이물질 혼입의 위험성이 적기 때문에 주류가 되어 있다. 이 전용 용기는, 내부 주머니에 레지스트액이 충전된 상태에서 유저에 납입되고, 유저에 의해 도포 장치 등의 라인에 직결되어 사용되며, 사용이 끝난 (내부 주머니가 빈 주머니) 후에, 그대로 회수되어 레지스트액 메이커 등에 반환되고, 청소 등을 실시한 후, 다시 레지스트액의 충전을 실시하는, 이른바 유통 용기로서 사용되고 있다.

특허 문헌 1 : 일본 공개특허공보 평9－34121호

특허 문헌 2 : 일본 공개특허공보 평11－245226호

특허 문헌 3 : 일본 공개특허공보 평6－100087호

특허 문헌 1 이나 2 와 같은 레지스트액 회수 시스템은, 기본적으로 유저측에서의 리사이클을 염두에 둔 것이다. 이 경우, 리사이클한 레지스트액의 품질 관리는 유저측에서 실시할 필요가 있고, 레지스트액에 대해 숙지하고 있지 않는 유저측이 상기 품질 관리를 안정적으로 실시하는 것은 곤란하다.

또, 복수의 도포 장치로부터의 사용이 끝난 레지스트액을 탱크 등에 일괄 회수하고, 이것을 레지스트액 메이커에 반송하는 방법은, 유저측에 회수 설비를 설치할 필요가 있어, 설비적인 부담이나 관리적인 부담이 새롭게 발생된다는 문제가 있다.

또, 특허 문헌 3 의 전용 용기는, 어디까지나 레지스트액의 공급 전용 용기이고, 퍼냄 종료 후에 사용이 끝난 레지스트액을 재충전하는 것 등은 완전히 상정되지 않아, 이대로는 회수 용기로서 사용할 수 없다.

본 발명자들은, 상기의 문제를 해결하기 위하여 예의 검토한 결과, 종래, 레지스트액의 공급 전용 용기로서 사용되고 있던 유통 용기를, 레지스트액의 회수 용기로서도 이용하여, 공급 겸 회수 용기로서 사용함으로써 상기 문제점을 해결할 수 있다는 것을 알아 내어, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.

즉, 본 발명의 레지스트액 공급 회수 시스템은, 레지스트액 도포 장치와, 상기 레지스트액 도포 장치에 레지스트액을 공급할 목적 및 상기 레지스트액 도포 장 치로부터 사용이 끝난 레지스트액을 회수할 목적으로 겸용되는 소정 용량의 공급 겸 회수 용기와, 상기 레지스트액의 공급시에 사용되고, 상기 공급 겸 회수 용기와 기밀 상태로 접속 가능한 공급 배관과, 사용이 끝난 레지스트액의 회수시에 사용되고, 상기 공급 겸 회수 용기와 기밀 상태로 접속 가능한 회수 배관을 구비하는 것이다.

또, 본 발명의 레지스트액 회수 방법은, 소정 용량의 전용 용기를 사용하여 레지스트액 공급 시설로부터 레지스트액 사용 시설에 레지스트액을 공급함과 함께, 이 전용 용기를, 상기 레지스트액 사용 시설에 있어서의 사용이 끝난 레지스트액을 회수하기 위한 레지스트액 회수 용기로서도 사용하는 것이다.

본 발명의 특징은, 종래, 레지스트액의 공급 전용 용기로서 사용되고 있던 것을 공급 겸 회수 용기로서 사용하는 것이다. 이 점, 본 발명은 새로운 레지스트액 회수 방법을 제공하는 것임과 함께, 종래의 공급 전용 용기에 새로운 회수라는 용도를 알아 낸 것이라고도 말할 수 있다.

본 발명에 의하면, 유통 용기를 사용한 기존의 레지스트액 공급 시스템을 그대로 사용할 수 있다. 따라서, 유저측에서는 특단의 회수 설비나 리사이클 설비를 설치할 필요가 없다. 이 때문에 유저측에 있어서의 설비면의 자유도가 높다. 구체적으로는, 기존의 레지스트액 도포 장치의 라인 배치에서 기인하는 공간적으로 레지스트액 회수 설비를 설치할 수 없는 경우 등에 본 발명을 효과적으로 사용할 수 있다.

또, 기존의 레지스트액 공급 시스템을 그대로 사용하여 회수할 수 있기 때문 에, 복수의 도포 장치로부터의 사용이 끝난 레지스트액을 탱크 등으로 일괄 회수하고, 이것을 레지스트액 메이커에 반송하는 종래의 방법에 비해, 회수 비용과 노력을 대폭 삭감할 수 있다.

또한, 본 발명에 있어서의, 전용 용기를 「레지스트액 회수 용기로서도 사용한다」의 의미는, 전용 용기가, 공급과 회수를 겸용할 수 있는 용기이면 충분하다는 것을 의미한다. 이 때문에, 공급 작업과 회수 작업이 시간적으로 가까울 것은 요구되지 않는다. 즉, 공급에 사용된 전용 용기가, 그 후에 회수 용기로서 사용되면 본 발명의 범위 내이다. 또, 레지스트액 도포 장치 단위로 보아, 공급 용기의 종류나 용량이 회수 용기와 상이한 용기를 사용하고 있는 경우라 하더라도, 그 공급 용기가 결과적으로 그 후에 레지스트액 사용 시설의 어디선가 회수 용기로서 사용되면 역시 본 발명의 범위 내이다.

본 발명에 의하면, 종래에 비해 큰 폭으로 레지스트액의 회수를 효율화할 수 있고, 저비용으로 레지스트액을 회수할 수 있어 리사이클률을 높일 수 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 일 실시형태에 대해 도면을 사용하여 상세하게 설명한다. 도 1 은 본 발명의 일례를 나타내는 공정도, 도 2 는 전용 용기 (공급 겸 회수 용기) 의 일 실시형태를 나타내는 종단면도, 도 3 은 도 2 의 개구 부분을 확대하여 나타내는 확대 단면도, 도 4 는 도 2 의 개구 부분의 단면 분해 조립도, 도 5 는 주입 배출구가 부착된 포장 주머니의 외장 용기에 대한 수용 상태를 나타 내는 도면이고, (a) 는 주입 배출구가 부착된 포장 주머니를 외장 용기에 삽입하는 상태를 나타내는 부분 사시도, (b) 는 외장 용기에 주입 배출구가 부착된 포장 주머니가 수용된 후 상태를 나타내는 부분 사시도, 도 6 은 레지스트액 회수 시스템의 일례를 나타내는 개략도이다.

＜전용 용기＞

먼저, 본 발명에 있어서 공급 겸 회수 용기가 되는 전용 용기 (1) 에 대해 설명하면, 도 2 내지 도 4 에 나타내는 바와 같이, 전용 용기 (1) 는 가요성의 주입 배출구가 부착된 포장 주머니 (10) 와, 개구부 (24) 를 갖는 외장 용기 (20) 와, 개구부 (24) 에 유지되는 원통상의 이음 브래킷 (30) 과, 이 이음 브래킷 (30) 의 통부 (32) 에 삽입되는 액방출 튜브 (40) 와, 개구부 (24) 에 나사 결합하고, 주입 배출구 (11) 및 이음 브래킷 (30) 을 개구부 (24) 에 유지하는 링 형상의 제 1 뚜껑 (50) 과, 내부로 돌출되는 부시 (62) 를 갖는 제 2 뚜껑 (60) 을 구비하고 있다.

주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 는, 액체를 주입 가능하게 개구하는 주입 배출구 (11) 와, 레지스트액을 충전하는 포장 주머니 본체 (12) 를 가지고 있다. 주입 배출구 (11) 는 주입 배출구 부착부 (111) 와, 그 주입 배출구 부착부 (111) 의 일방에 연결되는 주입 배출구 걸어맞춤부 (112) 로 이루어지고, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 주입 배출구 부착부 (111) 에서 포장 주머니 본체 (12) 에 열융착되어 있다.

외장 용기 (20) 는 주입 배출구 (11) 을 개구부 (24) 에서 지지하고, 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 를 수납할 수 있다. 그리고, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 는 외장 용기 (20) 내에 내부 주머니로서 수납된다. 이와 같이, 전용 용기 (1) 는 외장 용기 (20) 가 반복적으로 사용되며, 매번 새로운 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 를 사용할 수 있는 이중 용기로 되어 있다.

외장 용기 (20) 는, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 바닥판 (21) 과, 측벽 (22) 과, 중앙이 융기한 천판 (23) 으로 구성되고, 천판 (23) 의 대략 중앙 부분에 개구부 (24) 가 형성된 스틸제 용기가 바람직하게 사용된다. 개구부 (24) 의 외주면에 수나사 (24a) 가 형성되어 있다 (도 3 참조). 또, 측벽 (22) 의 천판 (23) 보다 상방 위치에 1 쌍의 핸드부 (25) (도 5 참조) 를 형성함으로써 운반을 용이하게 해도 된다. 외장 용기 (20) 로는, 예를 들어, 금속제, 합성 수지제, 골판지 등의 종이제의 강성 용기가 예시되는데, 특별히 이들로 한정되는 것은 아니다.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 의 주입 배출구 (11) 의 개구측에는 차양부 (112b) 가 형성되고, 한편 개구부 (24) 의 내벽에는 단차가 형성되어 있고, 이 차양부 (112b) 가 단차에 걸림으로써, 주입 배출구 (11) 가 개구부 (24) 에 지지되고 있다.

후술하는 레지스트액 공급 공정 (S20) 에서 사용하는 이음새는, 원통상의 이음 브래킷 (30) 과 액방출 튜브 (40) 를 구비하고 있다 (도 3 또는 도 4 참조). 도 3 또는 도 4 에 있어서, 이음 브래킷 (30) 은 개구부 (24) 에 유지되고 있다. 또, 이음 브래킷 (30) 은 대략 통상의 헤더부 (31) 를 일단측에 가지고, 통부 (32) 를 타단측에 가지고 있다. 또한, 이음 브래킷 (30) 은 일단측으로부터 타단측에 관통하는 제 2 관통 구멍 (33) 을 가지고 있다. 헤더부 (31) 는 이음 브래킷 (30) 의 원통상 바닥 내로부터 융기되어 있다. 통부 (32) 는, 주입 배출구 (11) 의 제 1 관통 구멍 (111a) 에 끼워 맞춰진다 (도 3 및 도 4 참조).

도 3 또는 도 4 에서, 액방출 튜브 (40) 는 이음 브래킷 (30) 의 헤더부 (31) 의 정상면 (311) 에 밀착되는 차양부 (41) 를 일단측에 가지고 있다. 또, 액방출 튜브 (40) 의 타단측은, 이음 브래킷 (30) 의 제 2 관통 구멍 (33) 에 삽입된다. 액방출 튜브 (40) 는, 일단으로부터 타단까지 신장되는 유체 통로 (42) 를 가지며, 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 내의 액체가 유체 통로 (42) 를 통하여 배출 가능하게 구성되어 있다 (도 2 참조).

이음 브래킷 (30) 의 외경은, 주입 배출구 (11) 의 내경보다 약간 작고, 개구부 (24) 에 지지된 주입 배출구 (11) 에 이음 브래킷 (30) 이 끼워 맞춰진다 (도 3 참조). 이음 브래킷 (30) 의 일단측에는, 개구부 (24) 의 내경보다 약간 작은 외경을 갖는 플랜지 (34) 가 형성되고, 이 플랜지 (34) 에 O 링이 유지되어 개구부 (24) 가 밀봉되어 있다 (도 3 또는 도 4 참조).

이음 브래킷 (30) 은, 제 1 뚜껑 (50) 이 개구부 (24) 에 체결됨으로써, 주입 배출구 (11) 와 함께 개구부 (24) 에 유지된다 (도 3 참조). 이음 브래킷 (30) 의 바닥부 외벽과, 주입 배출구 (11) 의 통상부 (112a) 의 바닥부 내벽 사이에 소정의 간극이 형성되어 있다 (도 3 및 도 4 참조).

도 4 에 있어서, 통부 (32) 는, 이음 브래킷 (30) 의 바닥부로부터 돌출 되도록 형성되고, 통부 (32) 가 주입 배출구 (11) 의 제 1 관통 구멍 (111a) 에 끼워 맞춰진다. 주입 배출구 (11) 의 제 1 관통 구멍 (111a) 내부에는 O 링이 유지되고, 이 O 링이 통부 (32) 의 외주에 밀착됨으로써, 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 내의 기체를 밀봉할 수 있다 (도시 생략). 헤더부 (31) 의 상단으로부터 통부 (32) 의 하단에 제 2 관통 구멍 (33) 이 관통되어 있고, 제 2 관통 구멍 (33) 에 액방출 튜브 (40) 가 삽입된다 (도 3 및 도 4 참조). 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 내의 기체가 복수의 제 2 개구 (43) 로 통기할 수 있도록, 제 2 관통 구멍 (33) 의 내벽과 액방출 튜브 (40) 의 외벽 사이에 간극이 형성되어 있다 (도 3 및 도 4 참조).

이음새는 외장 용기 (20) 의 내부로부터 개구부 (24) 에 기체를 통기할 수 있는 제 1 통기 수단과, 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 의 내부로부터 개구부 (24) 에 기체를 통기할 수 있는 제 2 통기 수단과, 개구부 (24) 를 밀봉하는 제 2 뚜껑 (60) 을 구비하고 있다. 제 1 통기 수단은 이음 브래킷 (30) 의 복수의 제 1 개구 (35) 를 가지고 있다. 복수의 제 1 개구 (35) 는 통부 (32) 의 주위로부터 헤더부 (31) 의 정상면 (311) 에 연통되어 있다. 제 2 통기 수단은, 복수의 제 2 개구 (43) 를 가지고 있다. 복수의 제 2 개구 (43) 는 액방출 튜브 (40) 의 차양부 (41) 에 형성되고, 개구부 (24) 와 이음 브래킷 (30) 의 제 2 관통 구멍 (33) 내부에 연통되어 있다 (도 3 및 도 4 참조).

그리고, 이음새는 제 2 뚜껑 (60) 을 장착했을 때에는, 개구부 (24) 로부터 액체와 기체 모두가 유출되는 것이 방지된다. 또, 제 2 뚜껑 (60) 을 제거했을 때에는 액방출 튜브 (40) 내의 액체가 개구부 (24) 에 배출되기 전에, 외장 용기 (20) 내의 기체 및 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 내의 기체가 각각 제 1 및 제 2 통기 수단을 통해 개구부 (24) 밖으로 나가게 되어 있다.

제 1 개구 (35) 는 통부 (32) 의 주위로부터 헤더부 (31) 의 정상면 (311) 으로 관통되는 슬릿이어도 되고, 통부 (32) 와 헤더부 (31) 사이에 형성된다. 제 1 개구 (35) 는 이음 브래킷 (30) 과 주입 배출구 (11) 사이에 형성되는 간극과, 대기를 실질적으로 연통시키고 있다 (도 3 및 도 4 참조).

도 3 에 나타내는 바와 같이, 제 2 개구 (43) 는, 액방출 튜브 (40) 의 차양부 (41) 에 형성되는 관통 구멍으로서, 차양부 (41) 의 상면으로부터 액방출 튜브 (40) 의 주위로 관통되어 있다. 도 3 에 있어서, 차양부 (41) 의 하측에는 O 링이 유지되고, 이 O 링이 헤더부 (31) 의 정상면 (311) 에 밀착됨으로써, 제 2 관통 구멍 (33) 을 밀봉한다. 그리고, 제 2 개구 (43) 는, 제 2 관통 구멍 (33) 의 내벽과 액방출 튜브 (40) 의 외벽 사이에 형성된 간극과, 대기를 실질적으로 연통시키고 있다 (도 3 및 도 4 참조). 전술한 바와 같이, 이 간극은 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 의 내부 공간에 통기 가능하게 되어 있다.

도 3 또는 도 4 에 나타내는 바와 같이, 이음새는 외장 용기 (20) 의 개구부 (24) 와 나사 결합하는 제 1 뚜껑 (50) 과 그 제 1 뚜껑 (50) 에 나사 결합하는 제 2 뚜껑 (60) 을 구비하고 있다. 제 1 뚜껑 (50) 은, 내측면에 외장 용기 (20) 의 개구부 (24) 의 외면과 나사 결합하는 암나사가 형성되고, 외측면에 수나사가 형성된 금속제 또는 합성 수지제의 뚜껑 본체 (51) 에, 이음 브래킷 (30) 의 외 치수와 대략 동일한 치수의 제 4 개구 (52) 가 동심원상으로 형성되어 있다. 제 1 뚜껑 (50) 을 개구부 (24) 에 나사 결합하여 단단히 조임으로써, 이음 브래킷 (30) 이 유지된다.

제 2 뚜껑 (60) 은, 개구부 (24) 에 구비되는 제 1 뚜껑 (50) 에 나사 결합 하는 차광성을 갖는 클로저 본체 (61) 와, 클로저 본체 (61) 의 내부로 돌출되는 내식성을 갖는 부시 (62) 로 구성되어 있다. 부시 (62) 는, 차양부 (41) 의 표면에 밀착하여 유체 통로 (42) 로부터의 통기를 밀봉하는 O 링 (63) 을 구비하고 있다.

클로저 본체 (61) 는 금속제 또는 합성 수지제로서, 클로저 본체 (61) 의 내주에는 제 1 뚜껑 (50) 에 나사 결합하는 암나사가 형성되어 있다. 제 2 뚜껑 (60) 을 조였을 때에, 클로저 본체 (61) 의 내벽은 이음 브래킷 (30) 의 정상면 (311) 에 맞닿아 있다. 클로저 본체 (61) 는, 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 에 수납되는 약품이 화학 변화되지 않도록 차광성을 가지고 있다. 부시 (62) 는 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 에 수납되는 약품에 접촉할 가능성이 많기 때문에, 내식성을 갖는 합성 수지로 이루어지는 것이 바람직하다. 부시 (62) 의 일단측은 클로저 본체 (61) 에 압입되어, 부시 (62) 와 클로저 본체 (61) 를 일체화하고 있다 (도 3 및 도 4 참조). 부시 (62) 의 타단측은 클로저 본체 (61) 의 내부로 돌출되고, 선단면에 O 링 (63) 을 유지하고 있다. O 링 (63) 은 차양부 (41) 의 표면에 밀착되어 유체 통로 (42) 로부터의 액체와 기체 중 어떤 유출도 방지할 수 있다.

또, 클로저 본체 (61) 의 측면 둘레에는, 제 1 뚜껑 (50) 과의 나사 결합을 해제하면, 액방출 튜브 (40) 내의 액체가 개구부 (24) 로 배출되기 전에, 외장 용기 (20) 내의 기체 및 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 내의 기체가 각각 제 1 및 및 제 2 통기 수단을 통해 개구부 (24) 밖으로 나가는 하나 이상의 통기 구멍 (64) 이 형성되어 있다 (도 3 또는 도 4 참조). 이와 같이, 클로저 본체 (61) 의 측주에 통기 구멍 (64) 을 형성함으로써, 제 2 뚜껑 (60) 을 풀었을 때에, O 링 (63) 과 차양부 (41) 표면의 밀착이 해제되어, 적어도 복수의 제 2 개구 (43) 내의 기체가 통기 구멍 (64) 으로부터 외부로 배출된다. 따라서, 액방출 튜브 (40) 내의 액체가 분출되는 것을 방지할 수 있다.

＜레지스트액 충전 공정 (S10)＞

이하, 상기의 전용 용기 (1) 를 사용한 본 발명의 일례에 대해, 도 1 에 나타내는 공정도를 따라 설명한다. 먼저, 레지스트액 메이커 등이 갖는 레지스트액 공급 시설 (100) 내에서 제조되는 레지스트액은, 레지스트액 충전 공정 (S10) 에 의해 전용 용기 (1) 에 레지스트액이 충전된다. 또한, 레지스트액 공급 시설 (100) 은, 전용 용기에 대한 충전이 가능하면 되고, 반드시 레지스트액 제조 설비를 필요로 하지 않는다. 즉, 레지스트액 공급 시설 (100) 은 레지스트액을 유저에 공급하기 위한 중계 기지도 포함하는 개념이다.

레지스트액 충전 공정 (S10) 에서는, 전용 용기 (1) 는, 도 5(a) 에 나타내는 바와 같이, 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 가 외장 용기 (20) 의 개구부 (24) 로부터 외장 용기 (20) 의 내부에 삽입되고, 도 5(b) 에 나타내는 바와 같이, 주입 배출구 (11) 가 외장 용기 (20) 의 개구부 (24) 에 장착된다. 이 때, 외장 용기 (20) 의 개구부 (24) 는 주입 배출구 걸어맞춤부 (112) 의 높이 방향 치수보다 짧은 대략 원통의 돌출된 형상으로 되어 있고, 도 4 의 차양부 (112b) 가 개구부 (24) 의 내측면에 형성된 단차의 위쪽 둘레 끝에 맞닿음으로써, 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 가 외장 용기 (20) 내에서 지지된다.

이 상태에서, 먼저, 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 는, 제 1 관통 구멍 (111a) 으로부터 바람직하게는 질소 또는 압축 공기를 도입함으로써 팽창된다. 다음으로, 제 1 관통 구멍 (111a) 에는, 레지스트액을 충전하기 위한 충전용 튜브(도시 생략) 가 삽입되고, 이 충전용 튜브를 통하여 레지스트액이 소정량 충전된다. 이로써, 콘터미네이션없이 밀봉계에서 레지스트액의 충전이 가능해진다.

그 후, 이음 브래킷 (30) 을 주입 배출구 (11) 에 삽입하고, 이어서 제 1 뚜껑 (50) 을 개구부 (24) 에 나사 결합하여 주입 배출구 (11) 및 이음 브래킷 (30) 을 고정시켜, 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 를 지지한다. 그 후, 액방출 튜브 (40) 의 튜브 (44) 를 이음 브래킷 (30) 의 제 2 관통 구멍 (33) 에 삽입하여 액방출 튜브 (40) 를 장착하고, 이어서 제 2 뚜껑 (60) 을 제 1 뚜껑 (50) 에 나사 결합하여 액방출 튜브 (40) 의 정상부면을 밀봉하여 개구부 (24) 를 덮는다. 이로써, 전용 용기 (1) 는 개구부 (24) 및 주입 배출구 (11) 가 밀봉되어 이송이 가능한 상태가 된다.

＜레지스트액 공급 공정 (S20)＞

이어서, 전용 용기 (1) 는 레지스트액 공급 시설 (100) 로부터, 유저측의 레지스트액 사용 시설 (200) 로 반송된다. 이 레지스트액 사용 시설 (200) 에는 스핀 코터나 슬릿 코터 등의, 하나 또는 복수의 레지스트액 도포 장치가 있고, 각각의 레지스트액 도포 장치에 대해 전용 용기 (1) 가 공급 이음새 등을 통하여 실질적인 밀폐계에서 공급 배관에 접속되어, 레지스트액의 공급 작업이 행해진다. 공급 이음새는 밀폐계를 유지할 수 있으면 특별히 한정되지 않고, 종래 공지된 것을 사용할 수 있다.

또한, 접속시, 도 2 또는 도 3 에 있어서, 제 2 뚜껑 (60) 을 제거했을 때에는, 액방출 튜브 (40) 내의 액체가 개구부 (24) 로 배출되기 전에, 외장 용기 (20) 내의 기체 및 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 내의 기체가 각각 제 1 및 제 2 통기 수단을 통해 개구부 (24) 외로 나가게 되어 있기 때문에, 액방출 튜브 (40) 내의 액체가 개구부 (24) 외로 배출되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 이 이음새에서는 액방출 튜브 (40) 내의 액체와 외장 용기 (20) 내의 기체 및 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 내의 기체가 제 2 뚜껑 (60) 에 의해 개별적으로 밀봉되어 있다. 제 2 뚜껑 (60) 을 제거했을 때에, 액방출 튜브 (40) 내의 압력과, 외장 용기 (20) 내의 압력 및 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 내의 압력은, 즉시 대기압과 일치하기 때문에, 액방출 튜브 (40) 내의 액체가 개구부 (24) 외로 배출되는 것을 방지할 수 있다.

이와 같이 하여, 레지스트액의 사용시, 즉 레지스트액을 퍼낼 때에는, 주입 배출구 (11) 로부터 액방출 튜브 (40) 를 통해서 퍼낼 수 있다. 이로써, 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 내의 레지스트액은 퍼내어져 거의 빈 상태의 사용이 끝난 용기가 된다. 레지스트액의 퍼냄이 종료되면, 공급 이음새를 제외하고 액방출 튜브 (40) 를 뽑고, 제 2 뚜껑 (60) 으로 개구부 (24) 를 밀봉한다. 또한, 이 때의 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 는 레지스트액을 빼낸 결과, 수축된 상태이다.

＜레지스트액 회수 공정 (S30)＞

본 발명의 특징은, 상기 레지스트액을 빼낸 후의 전용 용기 (1) (사용이 끝난 용기) 를 그대로 레지스트 메이커에 반송하지 않고, 다시 레지스트액 회수 공정에서 사용하는 것에 있다. 즉, 사용이 끝난 용기를, 후에 레지스트액 회수 공정 (S30) 에서 회수 용기로서 사용한다. 후의 간격은, 사용이 끝난 용기의 수나 레지스트액 도포 장치의 운전 상황에 의해 적절히 설정된다. 즉, 도 1 에 있어서는 편의적으로 레지스트액 공급 공정 (S20) 에 이어서, 레지스트액 회수 공정 (S30) 을 설명하였으나, 실제의 레지스트액 도포 장치에 있어서는, S20 과 S30 은 동시 병행적으로 진행되고 있고, 과거의 레지스트액 공급 공정 (S20) 에서 발생된 사용이 끝난 용기가 현재의 레지스트액 회수 공정 (S30) 에서 사용된다. 이하 회수 작업에 대해 설명한다.

도 6 에 나타내는 레지스트액 회수 시스템의 일례는, 레지스트 도포 장치의 일례인 스핀 코터 (250) 와, 스핀 코터 (250) 의 회전부 주위에 형성된 회수용 팬 (251) 에서 발생하는 사용이 끝난 레지스트액 (252) 을 회수하기 위한 회수 배관 (253) 과, 회수 배관 (253) 중에 형성된 회수 펌프 (254) 와, 회수 배관 (253) 의 선단에 접속된, 상기 사용이 끝난 용기인 전용 용기 (1) 와, 본 발명의 전환 수단에 상당하고, 회수 배관 (253) 의 도중에서부터 분기되는 전환 밸브 (259) 와, 이 전환 밸브 (259) 로부터 회수 배관 (253) 과 분기되어 연장되는 배관 (255) 과, 이 배관 (255) 의 선단에 접속되는 세정액 회수 탱크 (256) 로 구성되어 있다.

먼저, 사용이 끝난 용기인 전용 용기 (1) 의 제 2 뚜껑 (60) 을 제거한 후에, 레지스트액을 회수하기 위한 회수용 튜브 (도시 생략) 가 장착된다. 회수 이음새를 구성하는 회수용 튜브는 상기 액방출 튜브 (40) 와 동일하게 이음 브래킷 (30) 의 제 2 관통 구멍 (33) 에 밀착 삽입 가능한 구성으로 되어 있다. 이 회수용 튜브를 통하여 회수 배관 (253) 이 밀폐계에서 접속된다.

스핀 코터 (250) 을 운전하면, 기판 (257) 상의 도포부 (258) 로부터 레지스트액이 도포된다. 이 레지스트액은 원심력에 의해 주위로 확산되고, 회수용 팬 (251) 에는 잉여의 사용이 끝난 레지스트액 (252) 이 저류된다. 여기서, 회수 펌프 (254) 를 동작시킴으로써, 회수 배관 (253) 을 통해서 전용 용기 (1) 에 사용이 끝난 레지스트액 (252) 이 회수된다. 즉, 전용 용기 (1) 의 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 내에는 사용이 끝난 레지스트액 (252) 이 재충전되게 된다.

또한, 상기와 같이, 회수 작업 개시시의 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 는, 레지스트액 공급 공정 (S20) 에서 퍼냄 공정을 거친 것에 의해 수축된 상태이며, 재충전만으로의 봉투의 용량 복원이 불충분하다. 이 때문에, 이 때의 충전 가능 용량 (회수 가능 용량) 은, 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 를 미리 질소나 공기로 부풀린 레지스트액 공급 공정 (S20) 에 비해 적어진다. 그러나, 레 지스트액은 실제로 도포된만큼, 회수할 수 있는 사용이 끝난 레지스트액의 양이 적어지기 때문에, 도포 장치에 공급된 레지스트액 양에 상응하는, 사용이 끝난 레지스트액을 동일한 용량의 전용 용기로 충분히 회수할 수 있다.

또한, 전환 밸브 (259) 와 세정액 회수 탱크 (256) 는, 시너 등으로 회수 배관 (253) 을 세정하기 위한 것으로, 소정의 세정 작업이 실시되는 동안은 세정액 회수 탱크 (256) 측으로 회수액을 보낸다. 이로써, 전용 용기 (1) 에 대한 레지스트액 이외의 콘터미네이션을 효과적으로 방지할 수 있다.

소정량의 회수를 끝낸 후, 전용 용기 (1) 로부터 회수용 튜브를 제거하고, 액방출 튜브 (40) 를 다시 삽입하여 제 2 뚜껑 (60) 을 장착하여 밀봉한다. 이것을 레지스트 메이커 등의 레지스트액 공급 시설 (100) 에 반송한다. 이로써, 전용 용기 (1) 는 공급 겸 회수 용기로서 기능하여 회수 효율의 향상에 기여한다. 또한, 상기의 레지스트액 회수 공정 (S30) 은, 레지스트액 공급 공정 (S20) 과 동일하게 레지스트액 도포 장치 단위로 실시되는 것이 바람직하다.

＜조성 확인 공정 (S40)＞

재충전된 전용 용기 (1) 는, 레지스트액 공급 시설 (100) 로 반송되어, 수용 단계에서 조성 확인 공정 (S40) 이 실시된다. 이 공정은, 복수의 상이한 레지스트액 사용 시설 (200) 로부터 보내져 오는 여러 가지 레지스트액의 콘터미네이션을 피하기 위해서, 전용 용기마다 레지스트액의 조성, 종류 등을 확인하는 공정이다. 확인 방법 (조성 확인 수단) 은 특별히 한정되지 않지만, 일례로는 적외 또는 근적외 분광법을 사용하여 농도나 종류를 측정하는 방법을 들 수 있다.

＜리사이클 공정 (S50)＞

그 후, 레지스트액 공급 공정 (S20) 과 동일한 방법에 의해, 사용이 끝난 레지스트액이 빼내어져, 리사이클 공정 (S50) 에 있어서 레지스트액은 리사이클된다. 리사이클의 방법, 수단은 종래 공지된 것을 사용할 수 있고, 특별히 한정되지 않는다. 또한, 퍼냄 종료 후의 전용 용기 (1) 로부터는 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 가 떼어내져 파기된다. 외장 용기 (20) 를 세정 후, 새로운 주입 배출구 부착 포장 주머니 (10) 가 장착되어 레지스트액 충전 공정 (S10) 에 사용된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 종래에 비해 큰 폭으로 레지스트액의 회수를 효율화할 수 있고, 회수 비용을 저하하여 레지스트액의 리사이클률을 높일 수 있다.

도 1 은, 본 발명의 일례를 나타내는 공정도이다.

도 2 는, 전용 용기 (공급 겸 회수 용기) 의 일 실시형태를 나타내는 종단면도이다.

도 3 은, 도 2 의 개구 부분을 확대하여 나타내는 확대 단면도이다.

도 4 는, 도 2 의 개구 부분의 단면 분해 조립도이다.

도 5 는, 주입 배출구가 부착된 포장 주머니의 외장 용기에 대한 수용 상태를 나타내는 도면이고, (a) 는 주입 배출구가 부착된 포장 주머니를 외장 용기에 삽입하는 상태를 나타내는 부분 사시도, (b) 는 외장 용기에 주입 배출구가 부착된 포장 주머니가 수용된 후의 상태를 나타내는 부분 사시도이다.

도 6 은, 레지스트액 회수 시스템의 일례를 나타내는 개략도이다.

※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※

1 전용 용기

10 주입 배출구가 부착된 포장 주머니(주입 배출구 부착 포장 주머니)

11 주입 배출구

12 포장 주머니 본체

20 외장 용기

24 개구부

50 제 1 뚜껑

60 제 2 뚜껑

100 레지스트액 공급 시설

200 레지스트액 사용 시설

250 스핀 코터

S10 레지스트액 충전 공정

S20 레지스트액 공급 공정

S30 레지스트액 회수 공정

S40 조성 확인 공정

S50 리사이클 공정

Claims

레지스트액 도포 장치와,

상기 레지스트액 도포 장치에 레지스트액을 공급할 목적 및 상기 레지스트액 도포 장치로부터 사용이 끝난 레지스트액을 회수할 목적으로 겸용되는 소정 용량의 공급 겸 회수 용기와,

상기 레지스트액의 공급시에 사용되고, 상기 공급 겸 회수 용기와 기밀 상태로 접속 가능한 공급 배관과,

사용이 끝난 레지스트액의 회수시에 사용되고, 상기 공급 겸 회수 용기와 기밀 상태로 접속 가능한 회수 배관을 구비하는 레지스트액 공급 회수 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 회수 배관에는, 사용이 끝난 레지스트액 및/또는 배관 세정액을 회수하기 위한 회수 펌프가 접속되는 레지스트액 공급 회수 시스템.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 회수 배관에는, 배관 세정액을 포함하는 용액을 회수하기 위한 세정액 회수 탱크가 접속되어 있고, 상기 공급 겸 회수 용기와 상기 세정액 회수 탱크의 전환 수단을 구비하는 레지스트액 공급 회수 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 회수 후에, 사용이 끝난 레지스트액의 조성을 분석하는 조성 확인 수단을 구비하는 레지스트액 공급 회수 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 회수 후에, 사용이 끝난 레지스트액의 리사이클을 실시하는 리사이클 수단을 구비하는 레지스트액 공급 회수 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 공급 겸 회수 용기는,

개구부를 갖는 외장 용기, 및 이 외장 용기의 내부 주머니로서 사용되고, 포장 주머니 본체에 주입 배출구가 접합되는 주입 배출구 부착 포장 주머니로 이루어지는 이중 용기로서,

상기 포장 주머니 본체는 상기 외장 용기 내에 수납 가능함과 함께, 상기 주입 배출구는 상기 외장 용기의 개구부에 착탈 가능하고,

상기 주입 배출구에는, 상기 공급시에는 상기 공급 배관을 접속하기 위한 공급 이음새가 장착되고, 상기 회수시에는 상기 회수 배관을 접속하기 위한 회수 이음새가 장착되는 레지스트액 공급 회수 시스템.
소정 용량의 전용 용기를 사용하여 레지스트액 공급 시설로부터 레지스트액 사용 시설에 레지스트액을 공급함과 함께,

이 전용 용기를, 상기 레지스트액 사용 시설에 있어서의 사용이 끝난 레지스트액을 회수하기 위한 레지스트액 회수 용기로서도 사용하는 레지스트액 회수 방법.
제 7 항에 있어서,

상기 회수 후에 사용이 끝난 레지스트액을 리사이클하는 레지스트액 회수 방법.
제 7 항에 있어서,

상기 레지스트액 사용 시설은 레지스트액 도포 장치를 구비하는 시설이고, 상기 레지스트액 도포 장치에 대한 상기 레지스트액의 공급 작업 및 상기 레지스트액 도포 장치로부터의 사용이 끝난 레지스트액의 회수 작업을, 실질적인 밀봉계에서 실시하는 레지스트액 회수 방법.
제 9 항에 있어서,

상기 공급 작업 및 회수 작업을, 상기 레지스트액 도포 장치 단위로 실시하는 레지스트액 회수 방법.
제 9 항에 있어서,

상기 전용 용기는, 개구부를 갖는 외장 용기와, 이 외장 용기의 내부 주머니로 이루어지는 이중 용기로서,

상기 공급 작업에 있어서는, 상기 레지스트액이 충전된 내부 주머니로부터 상기 레지스트액 도포 장치에 상기 레지스트액을 공급하고,

상기 회수 작업에 있어서는, 실질적으로 빈 주머니인 상기 공급 작업 후의 내부 주머니에 사용이 끝난 레지스트액을 재충전하는 레지스트액 회수 방법.