TWI610969B - 一對多光阻回收系統及其控制方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種一對多光阻回收系統及其控制方法，其主要係藉由多向連通控制器各自連通複數回收貯存裝置，使業者在利用不同種類光阻液生產面板時，能夠讓單一種類之光阻液於一套回收貯存裝置內完成回收的作業，使各回收貯存裝置相互區隔、各自獨立，以因應一對多光阻回收系統於生產不同面板前能夠免於清洗整個系統，僅需要針對要清洗的回收貯存裝置進行清洗，藉此達到一種能夠提升光阻回收系統之使用效率、整體系統的稼動率及降低製造成本之光阻回收系統之目的。

Description

一對多光阻回收系統及其控制方法

本發明係關於一種光阻回收系統，特別係關於一種一對多光阻回收系統。

本發明又關於一種一對多光阻回收系統之控制方法。

習知光阻回收系統係以一產線對應一個回收桶及一處理裝置，當每使用完一種型號之光阻後，便需要清洗整套回收系統，隨著市場對中小尺寸面板及小量多樣之需求的增加，面板業者生產排程開始在同一產線上生產多種面板，由於每種面板所利用之光阻液係不盡相同，是以每當於製作不同面板前，便需要以稀釋液清洗整個回收系統，並於清洗完成後再利用新液填入系統內之新液桶、回收桶及新液桶到供應桶，及供應桶到機台之間的管路，並利用新液生產預估片數的面板(約120片左右)，此等新液初期生產面板後的初期回收光阻液可能含有上一次的回收光阻液，故不進行回收作業，直接當成廢液處理，直至整個回收系統內之光阻液的比例及黏稠度達到可穩定作業之程度才開始進行回收作業，然而如此一來不僅使回收系統之稼動率大幅下降，更因於生產前額外利用新液生產預估片數的面板所產生的初期回收光阻液必須直接當作廢液處理，造成不必要的浪費，且大幅提升製造成本，是以需要一種能夠提升光阻回收系統之使用效率、提升整體系統稼動率及降低製造成本之光阻回收系統。

本發明係提供一種一對多光阻回收系統，其主要目的係提供一種能夠提升光阻回收系統之使用效率、整體稼動率及降低製造成本之光阻回收系統。

本發明之另一目的係提供一種控制前述一對多光阻回收系統之方法。

為達前述目的，本發明提供一種一對多光阻回收系統，供以與一機台連通，包括：

一多向連通控制器，與該機台連通，該多向連通控制器係用以控制光阻液之流向；

複數回收桶，與該多向連通控制器連通，各該回收桶與該多向連通控制器之間具分別有一回收管路，該回收桶用以置放回收之光阻液；

一再生桶，與該些回收桶連通，該再生桶與各該回收桶之間分別具有一再生管路，該再生桶供用以接收回收之光阻液，並將其調整至理想黏度；

一稀釋桶，與該多向連通控制器、該些回收桶及該再生桶連通，該稀釋桶與該回收桶之間具有一稀釋管路，該稀釋桶與該多向連通控制器之間具有一回收貯存清洗管路，該稀釋桶與該再生桶之間具有一調節清洗管路，該稀釋桶係用以根據不同光阻需求提供不同稀釋液；

一新液桶，與該再生桶連通，該新液桶與該再生桶之間具有一第一新液管路，該新液桶係用以根據不同光阻需求提供不同之新光阻液：

一供應桶，與該再生桶、該稀釋桶、該新液桶及該機台連通，該供應桶與該稀釋桶之間具有一清洗管路、該供應桶與該再生桶之間具有一第一輸送管路，該供應桶與該機台間具有一第二輸送管路，該供應桶與該新液桶之間具有一第二新液管路，該供應桶主要係用以供應回收光阻或經由新夜桶供應全新光阻至該機台；

一廢液桶，與該多向連通控制器、該些回收桶、該再生桶及該供應桶連通，該廢液桶與各該回收桶之間分別具有一排放管路，該廢液桶與該多向連通控制器之間具有一第一廢液管路，該廢液桶與該再生桶之間具有一第二廢液管路，該廢液桶與該供應桶之間具有一第三廢液管路，該廢液桶供以接收排放之廢光阻液。

較佳的，該回收桶之數量為三，三個該回收桶分別為一第一回收桶、一第二回收桶、一第三回收桶：

該第一回收桶與該多向連通控制器之間的回收管路為一第一回收管路，該第一回收桶與該再生桶之間的再生管路為一第一再生管路，該第一回收桶與該稀釋桶之間的稀釋管路為一第一稀釋管路，該第一回收桶與該廢液桶之間的排放管路為一第一排放管路；

該第二回收桶與該多向連通控制器之間的回收管路為一第二回收管路，該第二回收桶與該再生桶之間的再生管路為一第二再生管路，該第二回收桶與該稀釋桶之間的稀釋管路為一第二稀釋管路，該第一回收桶與該廢液桶之間的排放管路為一第二排放管路；

該第三回收桶與該多向連通控制器之間的回收管路為一第三回收管路，該第三回收桶與該再生桶之間的再生管路為一第三再生管路，該第三回收桶與該稀釋桶之間的稀釋管路為一第三稀釋管路，該第三回收桶與該廢液桶之間的排放管路為一第三排放管路；

較佳的，該第一回收桶、該第一回收管路、該第一再生管路、該第一稀釋管路及該第一排放管路合稱為一第一回收貯存裝置；該第二回收桶、該第二回收管路、該第二再生管路、該第二稀釋管路，該第二排放管路合稱為一第二回收貯存裝置；該第三回收桶、該第三回收管路、該第三再生管路、該第三稀釋管路，該第三排放管路合稱為一第三回收貯存裝置。

本發明提供一種控制前述一對多光阻回收系統之方法，包括：

第一回收步驟，回收第一種光阻液至該第一回收桶儲放，再將第一種回收光阻液自第一回收桶輸送至再生桶，由稀釋桶釋出與第一種光阻液對應之稀釋液至再生桶，由新液桶釋出與第一種光阻液對應之新光阻液至再生桶，並於再生桶內將第一種回收光阻液、新光阻液、稀釋液進行第一次液混和並將其調整至理想黏度，再將調整黏度後之光阻液輸送至供應桶，即可送至機台使用；

局部清洗步驟，欲生產不同面板而利用不同光阻液前，先將稀釋液自稀釋桶輸出至多向連通控制器、供應桶、再生桶、新液桶、調節清洗管路、清洗管路、回收貯存清洗管路、第一新液管路、第二新液管路、第一輸送管路以及第二輸送管路清洗，並開啟第一廢液管路、第二廢液管路、第三廢液管路，將原本之光阻液去除，廢液排至廢液桶內，而原先的一部份回收光阻液則留於該第一回收桶中備用；

局部風乾步驟，藉由氣體供應系統提供氣體對稀釋桶、新液桶、供應桶、再生桶進行風乾，再由洩壓系統將稀釋桶、新液桶、供應桶、再生桶內多餘的氣體排出；

第二回收步驟，回收第二種光阻液至第二回收桶儲放，再將第二種回收光阻液自第二回收桶輸送至再生桶，由稀釋桶釋出與第二種光阻液對應之稀釋液至再生桶，由新液桶釋出與第二種光阻液對應之新光阻液，並於再生桶內將第二種回收光阻液、新光阻液、稀釋液進行第一次液混和並將其調整至理想黏度，再將調整黏度後之光阻液輸送至供應桶以供機台使用；

局部清洗步驟，欲生產與前述回收光阻不同面板，而利用不同光阻液前，先將稀釋液自稀釋桶輸出至多向連通控制器、供應桶、再生桶、新液桶、調節清洗管路、清洗管路、回收貯存清洗管路、第一新液管路、第二新液管路、第一輸送管路以及第二輸送管路清洗，並開啟第一廢液管路、第二廢液管路、第三廢液管路，將原本之光阻液去除，廢液排至廢液桶內，而原先的一部份回收光阻液則留於該第一回收桶、該第二回收桶中備用；

局部風乾步驟，藉由氣體供應系統提供氣體對稀釋桶、新液桶、供應桶、再生桶進行風乾，再由洩壓系統將稀釋桶、新液桶、供應桶、再生桶內多餘的氣體排出；

第三回收步驟，回收第三種光阻液至第三回收桶儲放，再將第三種回收光阻液自第三回收桶輸送至再生桶，由稀釋桶釋出與第三種光阻液對應之稀釋液至再生桶，由新液桶釋出與第三種光阻液對應之新光阻液，並於再生桶內將第三種回收光阻液、新光阻液、稀釋液進行第一次液混和並將其調整至理想黏度，再將調整黏度後之光阻液輸送至供應桶以供機台使用；

總清洗步驟，如此，於前述之各回收貯存裝置中的貯存桶中各貯備一種規格的回收液，若重複用及前述各規格的回收液時，即可進行局部清洗步驟後，換用新的光阻再經多向連通控制器選擇對應的回收貯存裝置，即可立即使用，無需浪費預估片數所產生的初期回收光阻液，若必須使用者新的光阻生產時，即可選擇前述各回收貯存裝置中使用率最少的回收液規格進行清洗即可換用新的光阻，而留下其他常用規格的回收液，待欲完全換用新的光阻時，要廢棄舊光阻，則必須進行總清洗步驟，即將稀釋液自稀釋桶輸出至多向連通控制器、再生桶、新液桶、供應桶、調節清洗管路、清洗管路、回收貯存清洗管路、第一新液管路、第二新液管路、第一輸送管路、第二輸送管路、第一廢液管路、第二廢液管路、第三廢液管路、該第一回收貯存裝置、該第二回收貯存裝置及該第三回收貯存裝置進行清洗，將原本之光阻液去除，廢液排至廢液桶內；

總風乾步驟，藉由氣體供應系統提供氣體對稀釋桶、新液桶、供應桶、再生桶、該第一回收桶、該第二回收桶及該第三回收桶進行風乾，再由洩壓系統將稀釋桶、新液桶、供應桶、再生桶、該第一回收桶、該第二回收桶及該第三回收桶內多餘的氣體排出。

由前述可知，本發明一對多光阻回收系統及其控制方法主要係藉由該多向連通控制器及複數回收桶之配合，使業者在利用不同光阻液生產不同面板時，能夠讓單一種類之光阻液配合一個該回收桶，使該第一回收貯存裝置、該第二回收貯存裝置及該第三回收貯存裝置相互區隔、各自獨立，使該一對多光阻回收系統於生產不同面板前能夠免於清洗整個系統，僅需要各別依序清洗該第一回收貯存裝置、該第二回收貯存裝置及該第三回收貯存裝置，亦可就前述之第一回收步驟、第二回收步驟以及第三回收步驟分別同時進行回收而再依序清洗使用，其時間序可以同時或依序為之，且免除使用新液生產預估片數所產生的初期回收光阻液，讓回收系統內之光阻液的比例及黏稠度達到可正常作業之程度之步驟，藉此達到一種能夠提升光阻回收系統之使用效率、整體稼動率及降低製造成本之光阻回收系統之目的。

使貴審查委員對本發明之目的、特徵及功效能夠有更進一步之瞭解與認識，以下茲請配合圖式簡單說明詳述如後：

本發明提供一種一對多光阻回收系統，供以與一機台X連通，如圖1所示，包括：

一多向連通控制器10，與該機台X連通，該多向連通控制器10係用以控制光阻液之流向；

複數回收桶20，與該多向連通控制器10連通，各該回收桶20與該多向連通控制器10之間具分別有一回收管路12，該回收桶20用以置放回收之光阻液；

一再生桶30，與該些回收桶20連通，該再生桶30與各該回收桶20之間分別具有一再生管路32，該再生桶供30用以接收回收之光阻液，並將其調整至理想黏度；

一稀釋桶40，與該多向連通控制器10、該些回收桶20及該再生桶30連通，該稀釋桶40與該些回收桶20之間分別具有一稀釋管路42，該稀釋桶40與該多向連通控制器10之間具有一回收貯存清洗管路41，該稀釋桶40與該再生桶30之間具有一調節清洗管路43，該稀釋桶40係用以根據不同光阻需求提供不同稀釋液；

一新液桶50，與該再生桶30連通，該新液桶50與該再生桶30之間具有一第一新液管路53，該新液桶50係用以根據不同光阻需求提供不同之新光阻液：

一供應桶60，與該再生桶30、該稀釋桶40、該新液桶50及該機台X連通，該供應桶60與該稀釋桶40之間具有一清洗管路64、該供應桶60與該再生桶30之間具有一第一輸送管路63，該供應桶60與該機台X間具有一第二輸送管路60X，該供應桶60與該新液桶50之間具有一第二新液管路56，該供應桶60主要係用以供應回收光阻或經由該新液桶50供應全新光阻至該機台X；

一廢液桶70，與該多向連通控制器10、該些回收桶20、該再生桶30及該供應桶60連通，該廢液桶70與各該回收桶20之間分別具有一排放管路72，該廢液桶70與該多向連通控制器10之間具有一第一廢液管路71，該廢液桶70與該再生桶30之間具有一第二廢液管路73，該廢液桶70與該供應桶60之間具有一第三廢液管路76，該廢液桶70供以接收排放之廢光阻液；

一氣體供應系統Y，與該些回收桶20、該再生桶30、該稀釋桶40、該新液桶50及該供應桶60連通，該氣體供應系統Y用以提供氣體以對該些回收桶20、該再生桶30、該稀釋桶40、該新液桶50及該供應桶60進行風乾作業；

一洩壓系統Z，與該些回收桶20、該再生桶30、該稀釋桶40、該新液桶50及該供應桶60連通，該洩壓系統Z用以將該些回收桶20、該再生桶30、該稀釋桶40、該新液桶50及該供應桶60內多餘之氣體排出；

複數單向筏U，於該些再生管路32、該些稀釋管路42、該些排放管路72、該回收貯存清洗管路41、該調節清洗管路43、該第一新液管路53、該第一輸送管路63、清洗管路64、該第二新液管路56、該第二輸送管路60X、該第一廢液管路71、該第二廢液管路73、該第三廢液管路76、該洩壓系統Z與該些回收桶20之間、該洩壓系統Z與該稀釋桶40之間、該洩壓系統Z與該再生桶30之間、該洩壓系統Z與該新液桶50之間、該洩壓系統Z與該供應桶60之間、該氣體供應系統Y與各該回收桶20之間、該氣體供應系統Y與該稀釋桶40之間、該氣體供應系統Y與該再生桶30之間、該氣體供應系統Y與該新液桶50之間、該氣體供應系統Y與該供應桶60之間分別設置一個該單向筏U；以及

複數泵浦P，於該再生管路32、該調節清洗管路43、該第一輸送管路63、該第二輸送管路60X分別設置一個該泵浦P。

於本發明較佳實施例中，該回收桶20之數量為三，三個該回收桶20分別為一第一回收桶21、一第二回收桶22、一第三回收桶23：

該第一回收桶21與該多向連通控制器10之間的回收管路12為一第一回收管路121，該第一回收桶21與該再生桶30之間的再生管路32為一第一再生管路321，該第一回收桶21與該稀釋桶40之間的稀釋管路42為一第一稀釋管路421，該第一回收桶21與該廢液桶70之間的排放管路72為一第一排放管路721；

該第二回收桶22與該多向連通控制器10之間的回收管路12為一第二回收管路122，該第二回收桶22與該再生桶30之間的再生管路32為一第二再生管路322，該第二回收桶22與該稀釋桶40之間的稀釋管路42為一第二稀釋管路422，該第一回收桶21與該廢液桶70之間的排放管路72為一第二排放管路722；

該第三回收桶23與該多向連通控制器10之間的回收管路12為一第三回收管路123，該第三回收桶23與該再生桶30之間的再生管路32為一第三再生管路323，該第三回收桶23與該稀釋桶40之間的稀釋管路42為一第三稀釋管路423，該第三回收桶23與該廢液桶70之間的排放管路72為一第三排放管路723。

較佳的，該第一回收桶21、該第一回收管路121、該第一再生管路321、該第一稀釋管路421及該第一排放管路721合稱為一第一回收貯存裝置S1；

該第二回收桶22、該第二回收管路122、該第二再生管路322、該第二稀釋管路422，該第二排放管路722合稱為一第二回收貯存裝置S2；

該第三回收桶23、該第三回收管路123、該第三再生管路323、該第三稀釋管路423，該第三排放管路723合稱為一第三回收貯存裝置S3。

本發明提供一種一對多光阻回收系統之控制方法，於第一實施例中，如圖2所示，該一對多光阻回收系統僅回收兩種光阻液，而該一對多光阻回收系統之控制方法包括：

第一回收步驟A1，回收第一種光阻液至該第一回收桶21儲放，再將第一種回收光阻液自第一回收桶21輸送至再生桶30，由稀釋桶40釋出與第一種光阻液對應之稀釋液至再生桶30，由新液桶50釋出與第一種光阻液對應之新光阻液至再生桶30，並於再生桶30內將第一種回收光阻液、新光阻液、稀釋液進行第一次液混和並將其調整至理想黏度，再將調整黏度後之光阻液輸送至供應桶60以供機台X使用；

局部清洗步驟B，欲生產不同面板而利用不同光阻液前，先將稀釋液自稀釋桶40輸出至多向連通控制器10、供應桶60、再生桶30、新液桶50、調節清洗管路43、清洗管路64、回收貯存清洗管路41、第一新液管路53、第二新液管路56、第一輸送管路63以及第二輸送管路60X進行清洗，並開啟第一廢液管路71、第二廢液管路73及第三廢液管路76，將原本之光阻液去除，廢液排至廢液桶70內，而原先一部分回收光阻液則留於該第一回收桶21中備用；

局部風乾步驟C，藉由氣體供應系統Y提供氣體對稀釋桶40、新液桶50、供應桶60、再生桶30進行風乾，再由洩壓系統Z將稀釋桶40、新液桶50、供應桶60、再生桶30內多餘的氣體排出；

第二回收步驟A2，回收第二種光阻液至第二回收桶22儲放，再將第二種回收光阻液自第二回收桶22輸送至再生桶30，由稀釋桶40釋出與第二種光阻液對應之稀釋液至再生桶30，由新液桶50釋出與第二種光阻液對應之新光阻液，並於再生桶30內將第二種回收光阻液、新光阻液、稀釋液進行第一次液混和並將其調整至理想黏度，再將調整黏度後之光阻液輸送至供應桶60，以供機台X使用；

總清洗步驟D，如此，於前述之各回收貯存裝置S1、S2中的貯存桶21、22中各貯備一種規格的回收液，若重複用及前述各規格的回收液時，即可進行局部清洗步驟後，換用新的光阻再經多向連通控制器10選擇對應的回收貯存裝置S1、S2，即可立即使用，無需浪費預估片數產生之初期回收光阻液，若必須使用新的光阻生產時，即可選擇前述各回收貯存裝置S1、S2中使用率最少的回收液規格進行清洗即可換用新的光阻，而留下其他常用規格的回收液，待欲完全換用新的光阻時，要廢棄舊光阻，則必須進行總清洗步驟，即將稀釋液自稀釋桶40輸出至多向連通控制器10、再生桶30、新液桶50、供應桶60、調節清洗管路43、清洗管路64、回收貯存清洗管路41、第一新液管路53、第二新液管路56、第一輸送管路63以及第二輸送管路60X進行清洗，並開啟第一廢液管路71、第二廢液管路73第三廢液管路76，同時對該第一回收貯存裝置S1、該第二回收貯存裝置S2進行清洗，將原本之光阻液去除，廢液排至廢液桶70內；

總風乾步驟E，藉由氣體供應系統提供氣體對稀釋桶40、新液桶50、供應桶60、再生桶30、該第一回收桶20、該第二回收桶30進行風乾，再由洩壓系統將稀釋桶40、新液桶50、供應桶60、再生桶30、該第一回收桶20、該第二回收桶30內多餘的氣體排出。

於第二實施例中，如圖3所示，該一對多光阻回收系統係回收三種光阻液，而該一對多光阻回收系統之控制方法包括：

除了與前述相同之第一回收步驟A1、局部清洗步驟B、局部風乾步驟C、第二回收步驟A2，等過程與前回收兩種光阻液過程相當，針對第三種回收液則有後續的程序，包括；

局部清洗步驟B，欲生產不同面板而利用不同光阻液前，先將稀釋液自稀釋桶輸出至多向連通控制器10、供應桶60、再生桶30、新液桶50、調節清洗管路43、清洗管路64、回收貯存清洗管路41、第一新液管路53、第二新液管路56、第一輸送管路63以及第二輸送管路60X進行清洗，並開啟第一廢液管路71、第二廢液管路73及第三廢液管路76，將原本之光阻液去除，廢液排至廢液桶70內；

局部風乾步驟C，藉由氣體供應系統Y提供氣體對稀釋桶40、新液桶50、供應桶60、再生桶30進行風乾，再由洩壓系統Z將稀釋桶40、新液桶50、供應桶60、再生桶30內多餘的氣體排出；

第三回收步驟A3，回收第三種光阻液至第三回收桶23儲放，再將第三種回收光阻液自第三回收桶輸23送至再生桶30，由稀釋桶40釋出與第三種光阻液對應之稀釋液至再生桶30，由新液桶50釋出與第三種光阻液對應之新光阻液，並於再生桶30內將第三種回收光阻液、新光阻液、稀釋液進行第一次液混和並將其調整至理想黏度，再將調整黏度後之光阻液輸送至供應桶60以供機台X使用；

總清洗步驟D，如此，前述之第一回收貯存裝置S1、第二回收貯存裝置S2、第三回收貯存裝置S3中的第一回收桶21、第二回收桶22、第三回收桶23中各貯備一種規格的回收液，若重複用及前述各規格之回收液時，即可進行局部清洗步驟後，換用新的光阻再經多向連通控制器10選擇對應的回收貯存裝置S1、S2、S3，即可立即使用，無需浪費預估片數所產生的初期回收光阻液，若必須使用新的光阻生產時，即可選擇前述各回收貯存裝置S1、S2、S3中使用率最少的回收液規格進行清洗即可換用新的光阻，而留下其他常用規格的回收液，待欲完全換用新的光阻時，要廢棄舊光阻，則必須進行總清洗步驟D，即將稀釋液自稀釋桶40輸出至多向連通控制器10、再生桶30、新液桶50、供應桶60、調節清洗管路43、清洗管路64、回收貯存清洗管路41、第一新液管路53、第二新液管路56、第一輸送管路63以及第二輸送管路60X進行清洗，並開啟第一廢液管路71、第二廢液管路73、第三廢液管路76同時清洗，該第一回收貯存裝置S1、該第二回收貯存裝置S2及該第三回收貯存裝置S3將原本之光阻液去除，廢液排至廢液桶70內；

總風乾步驟E，藉由氣體供應系統Y提供氣體對稀釋桶40、新液桶50、供應桶60、再生桶30、該第一回收桶20、該第二回收桶30及該第三回收桶40進行風乾，再由洩壓系統Z將稀釋桶40、新液桶50、供應桶60、再生桶30、該第一回收桶20、該第二回收桶30及該第三回收桶40內多餘的氣體排出。

由前述可知，本發明一對多光阻回收系統及其控制方法主要係藉由該多向連通控制器10及複數回收桶20之配合，使業者在利用不同光阻液生產不同面板時，能夠讓單一種類之光阻液配合一個該回收桶20，使該第一回收貯存裝置S1、該第二回收貯存裝置S2及該第三回收貯存裝置S3相互區隔、各自獨立，使該一對多光阻回收系統於生產不同面板前能夠免於清洗整個系統，僅需要依序清洗該第一回收貯存裝置S1、該第二回收貯存裝置S2及該第三回收貯存裝置S3，亦可就前述之第一回收步驟A1、第二回收步驟A2以及第三回收步驟A3分別同時進行回收而再依序清洗使用，其時間序可以同時或依序為之，更可視情況增設更多組的回收貯存裝置S，以利小量多樣化的需求，且免除使用新液生產預估片數面板時所產生的初期回收光阻液，並讓回收系統內之光阻液的比例及黏稠度達到可正常作業之穩定程度步驟，藉此達到一種能夠提升光阻回收系統之使用效率、整體稼動率及降低製造成本之光阻回收系統之目的。

多向連通控制器10 回收管路12 第一回收管路121 第二回收管路122 第三回收管路123 回收桶20 第一回收桶21 第二回收桶22 第三回收桶23 再生桶30 再生管路32 第一再生管路321 第二再生管路322 第三再生管路323 稀釋桶40 回收貯存清洗管路41 稀釋管路42 第一稀釋管路421 第二稀釋管路422 第三稀釋管路423 調節清洗管路43 新液桶50 第一新液管路53 供應桶60 第一輸送管路63 清洗管路64 第二新液管路56 第二輸送管路60X 廢液桶70 第一廢液管路71 排放管路72 第一排放管路721 第二排放管路722 第三排放管路723 第二廢液管路73 第三廢液管路76 第一回收貯存裝置S1 第二回收貯存裝置S2 第三回收貯存裝置S3 單向筏U 機台X 氣體供應系統Y 洩壓系統Z 第一回收步驟A1 第二回收步驟A2 第三回收步驟A3 局部清洗步驟B 局部風乾步驟C 總清洗步驟D 總風乾步驟E

圖1 為本發明一對多光阻回收系統之示意圖。 圖2 為本發明一對多光阻回收系統之控制方法示意圖。 圖3 為本發明一對多光阻回收系統較佳實施例之控制方法示意圖。

多向連通控制器10 回收管路12 第一回收管路121 第二回收管路122 第三回收管路123 回收桶20 第一回收桶21 第二回收桶22 第三回收桶23 再生桶30 再生管路32 第一再生管路321 第二再生管路322 第三再生管路323 稀釋桶40 回收貯存清洗管路41 稀釋管路42 第一稀釋管路421 第二稀釋管路422 第三稀釋管路423 調節清洗管路43 新液桶50 第一新液管路53 第二新液管路56 供應桶60 第一輸送管路63 清洗管路64 第二輸送管路60X 廢液桶70 第一廢液管路71 排放管路72 第一排放管路721 第二排放管路722 第三排放管路723 第二廢液管路73 第三廢液管路76 第一回收貯存裝置S1 第二回收貯存裝置S2 第三回收貯存裝置S3 單向筏U 機台X 氣體供應系統Y 洩壓系統Z

Claims (8)

1. 一種一對多光阻回收系統，供以與一機台連通，包括： 一多向連通控制器，與該機台連通，該多向連通控制器係用以控制光阻液之 流向； 複數回收桶，與該多向連通控制器連通，各該回收桶與該多向連通控制器之 間具分別有一回收管路，該回收桶用以置放回收之光阻液； 一再生桶，與該些回收桶連通，該再生桶與各該回收桶之間分別具有一再生 管路，該再生桶供用以接收回收之光阻液，並將其調整至理想黏度； 一稀釋桶，與該多向連通控制器、該些回收桶及該再生桶連通，該稀釋桶與 該回收桶之間具有一稀釋管路，該稀釋桶與該多向連通控制器之間具有一回收貯存清洗管路，該稀釋桶與該再生桶之間具有一調節清洗管路，該稀釋桶係用以根據不同光阻需求提供不同稀釋液； 一新液桶，與該再生桶連通，該新液桶與該再生桶之間具有一第一新液管 路，該新液桶係用以根據不同光阻需求提供不同之新光阻液： 一供應桶，與該再生桶、該稀釋桶、該新液桶及該機台連通，該供應桶與該 稀釋桶之間具有一清洗管路、該供應桶與該再生桶之間具有一第一輸送管路，該供應桶與該機台間具有一第二輸送管路，該供應桶與該新液桶之間具有一第二新液管路，該供應桶主要係用以供應回收光阻至該機台；以及 一廢液桶，與該多向連通控制器、該些回收桶、該再生桶及該供應桶連通， 該廢液桶與各該回收桶之間分別具有一排放管路，該廢液桶與該多向連通控制器之間具有一第一廢液管路，該廢液桶與該再生桶之間具有一第二廢液管路，該廢液桶與該供應桶之間具有一第三廢液管路，該廢液桶供以接收排放之廢光阻液。
2. 如申請專利範圍第1項所述之一對多光阻回收系統，其中，該回收桶之數量為三，三個該回收桶分別為一第一回收桶、一第二回收桶、一第三回收桶： 該第一回收桶與該多向連通控制器之間的回收管路為一第一回收管路，該 第一回收桶與該再生桶之間的再生管路為一第一再生管路，該第一回收桶與該稀釋桶之間的稀釋管路為一第一稀釋管路，該第一回收桶與該廢液桶之間的排放管路為一第一排放管路； 該第二回收桶與該多向連通控制器之間的回收管路為一第二回收管路，該 第二回收桶與該再生桶之間的再生管路為一第二再生管路，該第二回收桶與該稀釋桶之間的稀釋管路為一第二稀釋管路，該第一回收桶與該廢液桶之間的排放管路為一第二排放管路； 該第三回收桶與該多向連通控制器之間的回收管路為一第三回收管路，該第 三回收桶與該再生桶之間的再生管路為一第三再生管路，該第三回收桶與該稀釋桶之間的稀釋管路為一第三稀釋管路，該第三回收桶與該廢液桶之間的排放管路為一第三排放管路。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之一對多光阻回收系統，其中，另包括 一氣體供應系統及一洩壓系統，與該些回收桶、該再生桶、該稀釋桶、該新液桶及該供應桶連通，該氣體供應系統用以提供氣體以對該些回收桶、該再生桶、該稀釋桶、該新液桶及該供應桶進行風乾作業，該洩壓系統與該些回收桶、該再生桶、該稀釋桶、該新液桶及該供應桶連通，該洩壓系統用以將該些回收桶、該再生桶、該稀釋桶、該新液桶及該供應桶內多餘之氣體排出。
4. 如申請專利範圍第1項或第2項所述所述之一對多光阻回收系統，其中，另包括複數泵浦，於該調節清洗管路、該第一輸送管路、該第二輸送管路分別設置一個該泵浦。
5. 如申請專利範圍第3項所述之一對多光阻回收系統，其中，另包括複數單向筏，於該些再生管路、該些稀釋管路、該些排放管路、該回收貯存清洗管路、該調節清洗管路、該第一新液管路、第一輸送管路、清洗管路、該第二新液管路、該第二輸送管路、第一廢液管路、該第二廢液管路、第三廢液管路、該洩壓系統與該些回收桶之間、該洩壓系統與該稀釋桶之間、該洩壓系統與該再生桶之間、該洩壓系統與該新液桶之間、該洩壓系統與該供應桶之間、該氣體供應系統與各該回收桶之間、該氣體供應系統與該稀釋桶之間、該氣體供應系統與該再生桶之間、該氣體供應系統與該新液桶之間、該氣體供應系統與該供應桶之間分別設置一個該單向筏。
6. 如申請專利範圍第3項所述所述之一對多光阻回收系統，其中，該第一回收桶、該第一回收管路、該第一再生管路、該第一稀釋管路及該第一排放管路合稱為一第一回收貯存裝置；該第二回收桶、該第二回收管路、該第二再生管路、該第二稀釋管路，該第二排放管路合稱為一第二回收貯存裝置；該第三回收桶、該第三回收管路、該第三再生管路、該第三稀釋管路，該第三排放管路合稱為一第三回收貯存裝置。
7. 一種如申請專利範圍第6項所述的一對多光阻回收系統之控制方法，包括： 第一回收步驟，回收第一種光阻液至該第一回收桶儲放，再將第一種回收光阻液自第一回收桶輸送至再生桶，由稀釋桶釋出與第一種光阻液對應之稀釋光阻液至再生桶，由新液桶釋出與第一種光阻液對應之新光阻液至再生桶，並於再生桶內將第一種回收光阻液、新光阻液、稀釋光阻進行第一次液混和並將其調整至理想黏度，再將調整黏度後之光阻液輸送至供應桶以供機台使用； 局部清洗步驟，欲生產不同面板而利用不同光阻液前，先將稀釋液自稀釋桶 輸出至多向連通控制器、供應桶、再生桶、新液桶、調節清洗管路、清洗管路、回收貯存清洗管路、第一新液管路、第二新液管路、第一輸送管路及第二輸送管路進行清洗，並開啟第一廢液管路、第二廢液管路、第三廢液管路，將原本之光阻液去除，廢液排至廢液桶內，而原先的一部份回收光阻液則留於該第一回收桶中備用； 局部風乾步驟，藉由氣體供應系統提供氣體對稀釋桶、新液桶、供應桶、再 生桶進行風乾，再由洩壓系統將稀釋桶、新液桶、供應桶、再生桶內多餘的氣體排出； 第二回收步驟，回收第二種光阻液至第二回收桶儲放，再將第二種回收 光阻液自第二回收桶輸送至再生桶，由稀釋桶釋出與第二種光阻液對應之稀釋液至再生桶，由新液桶釋出與第二種光阻液對應之新光阻液，並於再生桶內將第二種回收光阻液、新光阻液、稀釋液進行第一次液混和並將其調整至理想黏度，再將調整黏度後之光阻液輸送至供應桶以供機台使用； 總清洗步驟，欲關閉該一對多光阻回收系統前，先將稀釋液自稀釋桶輸出 至多向連通控制器、再生桶、新液桶、供應桶、調節清洗管路、清洗管路、回收貯存清洗管路、第一新液管路、第二新液管路、第一輸送管路及第二輸送管路進行清洗，並開啟第一廢液管路、第二廢液管路、第三廢液管路，同時清洗該第一回收貯存裝置、該第二回收貯存裝置及該第三回收貯存裝置進行清洗，將原本之光阻液去除，廢液排至廢液內；以及 總風乾步驟，藉由氣體供應系統提供氣體對稀釋桶、新液桶、供應桶、再生 桶、該第一回收桶、該第二回收桶及該第三回收桶進行風乾，再由洩壓系統將稀釋桶、新液桶、供應桶、再生桶、該第一回收桶、該第二回收桶及該第三回收桶內多餘的氣體排出。
8. 如申請專利範圍第7項所述的一對多光阻回收系統之控制方法，其中，於該第二回收步驟及該總清洗步驟之間另包括： 局部清洗步驟，欲生產不同面板而利用不同光阻液前，先將稀釋液自稀釋桶 輸出至多向連通控制器、供應桶、再生桶、新液桶、調節清洗管路、清洗管路、回收貯存清洗管路、第一新液管路、第二新液管路、第一輸送管路以及第二輸送管路進行清洗，並開啟第一廢液管路、第二廢液管路、第三廢液管路，將原本之光阻液去除，廢液排至廢液桶內； 局部風乾步驟，藉由氣體供應系統提供氣體對稀釋桶、新液桶、供應桶、再 生桶進行風乾，再由洩壓系統將稀釋桶、新液桶、供應桶、再生桶內多餘的氣體排出；以及 第三回收步驟，回收第三種光阻液至第三回收桶儲放，再將第三種回收 光阻液自第三回收桶輸送至再生桶，由稀釋桶釋出與第三種光阻液對應之稀釋液至再生桶，由新液桶釋出與第三種光阻液對應之新光阻液，並於再生桶內將第三種回收光阻液、新光阻液、稀釋液進行第一次液混和並將其調整至理想黏度，再將調整黏度後之光阻液輸送至供應桶以供機台使用。