CN217763065U - 液体循环装置 - Google Patents

Abstract

本公开实施例提供一种液体循环装置，包括：液体循环回路，所述液体循环回路的第一端用于接收液体，所述液体循环回路的第二端具有第一管道分支和第二管道分支；所述第一端与所述第二端之间连接有管道；所述第一管道分支用于向目标设备输出所述液体；所述第二管道分支用于将所述液体回流至所述液体循环回路中；所述第二管道分支与所述第一管道分支连通；所述第二管道分支上包括：第一开关阀，所述第一开关阀用于控制所述液体回流至所述液体循环回路中。

Description

液体循环装置

技术领域

本公开实施例涉及半导体制造领域，涉及但不限于一种液体循环装置。

背景技术

湿法腐蚀和湿法清洗是半导体制造中的常用工艺，湿法腐蚀和湿法清洗需要用到各种液体材料，例如：腐蚀液、清洗剂等等。这些液态材料的供应装置均采用单向供应方式，工作时通过管路将液态材料喷淋至半导体器件(例如，晶圆)的表面，工作完成后管路内的液体材料保持静止。静置过程中液体材料在管路中会与空气或者空气中的水分发生化学或物理反应从而使液态材料发生变质，并在下一次喷淋过程中喷至半导体器件表面造成污染，从而影响制程良率，甚至导致半导体器件失效。如何使半导体制造工艺中使用的各种液态材料在使用中不发生变质，成为了亟需解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本公开实施例提供一种液体循环装置，包括：

液体循环回路，所述液体循环回路的第一端用于接收液体，所述液体循环回路的第二端具有第一管道分支和第二管道分支；所述第一端与所述第二端之间连接有管道；所述第一管道分支用于向目标设备输出所述液体；所述第二管道分支用于将所述液体回流至所述液体循环回路中；所述第二管道分支与所述第一管道分支连通；

所述第二管道分支上包括：第一开关阀，所述第一开关阀用于控制所述液体回流至所述液体循环回路中。在一些实施例中，所述第一管道分支上包括：第二开关阀，所述第二开关阀用于控制所述液体从第一管道分支流出。

在一些实施例中，所述第一开关阀为闭合状态下，所述第二开关阀为开启状态；所述第一开关阀为开启状态下，所述第二开关阀为闭合状态。

在一些实施例中，所述第一管道分支还包括：第一动力装置；所述第二开关阀为闭合状态下，所述第一动力装置用于向所述液体提供动力，以使所述第一管道分支中残留的所述液体流入所述第二管道分支。

在一些实施例中，所述液体循环回路还包括：第二动力装置，位于所述第一端和所述第二端之间的所述管道上；所述第二动力装置用于给所述液体提供动力，以使所述液体流入所述第一管道分支和/或所述第二管道分支。

在一些实施例中，所述液体循环回路的第二端还包括：过滤装置，连接所述第一管道分支；所述过滤装置用于向所述第一管道分支提供过滤后的所述液体。

在一些实施例中，所述液体循环装置还包括：

第一槽体，用于盛放所述液体；所述液体循环回路的第一端位于所述第一槽体内；所述第一槽体还用于向所述液体循环回路的第一端提供所述液体。

在一些实施例中，所述第二管道分支延伸至所述第一槽体内；所述第二管道分支还用于将所述液体回流至所述第一槽体内。

在一些实施例中，所述液体循环装置还包括：

第二槽体；用于盛放所述液体的原料瓶；其中，所述第二槽体包括：延伸至所述原料瓶中并与所述第一槽体连接的液体管道，所述液体管道用于将所述原料瓶中的液体转移至所述第一槽体。

在一些实施例中，所述第二槽体还包括：

延伸至所述原料瓶中的气体管道，所述气体管道用于向所述原料瓶输入气体，使所述原料瓶中的液体通过所述液体管道转移至所述第一槽体。

本公开实施例通过设置一个液体循环回路，解决了当停止对第一管道分支提供化学液体时，第一管道分支中的剩余化学液体会静止在第一管道分支中，并且该化学液体会与第一管道分支中的空气和/或水分发生反应，导致剩余化学液体发生变质。若再向第一管道分支提供化学液体时，变质的化学液体与所述化学液体会混合起来，对半导体器件的良率及性能造成影响的问题。

使用本公开实施例的液体循环装置，当停止对第一管道分支提供化学液体时，第一管道分支中的剩余化学液体可在第二管道分支上的第一开关阀开启时，回流到第二管道分支中，实现了化学液体的收集和循环。该装置可以减少化学液体长时间静止在第一管道分支处的情况，使得该化学液体在不向目标设备输出时，在管路中也不易发生变质。

附图说明

图1为一实施例提供的单向液体供应装置的示意图；

图2为本公开一实施例提供的液体循环回路的示意图；

图3为本公开又一实施例提供的液体循环回路的示意图；

图4为本公开又一实施例提供的液体循环回路的示意图；

图5为本公开又一实施例提供的液体循环回路的示意图；

图6为本公开又一实施例提供的液体循环回路的示意图；

图7为本公开又一实施例提供的液体循环装置的示意图；

图8为本公开又一实施例提供的液体循环装置的示意图；

图9为本公开又一实施例提供的液体循环装置的示意图；

图10为本公开又一实施例提供的液体循环装置的示意图；

图11为一实施例提供的单向液体供应装置清洗晶圆后的效果图；

图12为本公开一实施例提供的液体循环装置清洗晶圆后的效果图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的首选实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

在一些实施例中，对半导体器件进行处理的一些工艺需要用到化学液体，化学液体可以由图1所示的单向液体供应装置提供。单向液体供应装置包括：承载化学液体的液体槽10，用于将化学液体从液体槽10中运输到待处理半导体器件30表面的液体运输管道20。

半导体器件包括：晶圆、半导体芯片的中间结构以及半导体芯片的成品等。处理工艺包括：湿法刻蚀工艺以及湿法清洗工艺等。化学液体可以为清洗剂、加入了表面改性剂的液体、酸碱液体(例如氢氟酸(HF))以及强氧化性的液体，例如硫酸(H2SO4)和双氧水(H2O2)以及它们的混合溶液等。但使用的化学液体不限于此，本公开实施例所涉及的液体可以为任何在半导体制作工艺中使用的液体。

下面以湿法清洗工艺为例，对单向液体供应装置进行描述。湿法清洗工艺主要用于半导体器件30(例如晶圆)的表面颗粒物、有机残留、金属原子和离子的去除。湿法清洗工艺的原理为通过不同化学液体与半导体器件30表面产生化学反应，再通过干燥过程中利用风刀等装置使液体的流走，从而带走需要去除的物质。对于90纳米以下图案尺寸，湿法工艺干燥旋干过程中产生的剪应力可能会引发图案倒塌，于是发展出干燥过程中加入特殊的表面改性剂，附着于图案表面，在旋干过程中减小剪应力的产生。

表面改性剂需要在图案表面有一定附着性，因而需要选用具有一定黏度的化学液体。对半导体器件30进行湿法清洗工艺时，可以提供如图1所示的单向液体供应装置，该供应装置采用单向供应方式，即化学液体只能从液体槽10到半导体器件30的表面。工作时，液体槽10用于提供化学液体并通过液体运输管道20将化学液体喷淋至半导体器件30表面，工作完成后液体运输管道20内的化学液体保持静止。静置过程中化学液体在液体运输管道20中接触空气中的水分会产生凝胶发生变质，并在喷淋过程中喷至半导体器件30表面造成污染。

化学液体从液体运输管道20的喷嘴端做完喷淋后，会有残留化学液体留在在液体运输管道20里面，时间长了管路里面的化学液体会变质从而导致半导体器件30表面颗粒物超标。

本公开实施例提供一种不同于上述单向液体供应装置的液体循环装置，如图2所示，包括：

液体循环回路100，所述液体循环回路100的第一端101用于接收液体，所述液体循环回路100的第二端102具有第一管道分支201和第二管道分支202；所述第一端101与所述第二端102之间连接有管道；所述第一管道分支201用于向目标设备输出所述液体；所述第二管道分支202用于将所述液体回流至所述液体循环回路中；所述第二管道分支202与所述第一管道分支201连通；

所述第二管道分支202上包括：第一开关阀301，所述第一开关阀301用于控制所述液体回流至所述液体循环回路100中。

本公开实施例中的上述液体循环装置可以为半导体制程设备的附属设备，也可以为独立的制程设备，用于向半导体器件提供所需的化学液体。

所述液体循环回路100可以包括一个循环回路也可以包括多个循环回路。每个液体循环回路100的第一管道分支201可以用于向目标设备输出化学液体。并且，目标设备可以是一个也可是多个。本公开实施中的目标设备可以包括目标设备本身，也可以包括承载有半导体器件的设备。示例性地，本公开实施例提供的液体循环回路100可以是一个循环回路的第一管道分支向一个目标设备输出化学液体；也可以是多个循环回路的第一管道分支向同一个目标设备输出化学液体；还可以是多个循环回路的第一管道分支201向多个不同的目标设备分别输出化学液体，其对应关系可以为一对一也可以为多对多。

在本公开实施例中，可以通过其他设备或液体循环装置中的液体存储部件向上述液体循环回路100的第一端101供应化学液体，并使其流入液体循环回路100。液体循环回路100的第一端101与第二端102之间连接有管道。所述管道可以为直管也可以为弯管，所述管道的数量可以为一根也可以为多根。

在本公开实施例中，上述液体循环回路100的第二端102连接有两种用途的管道分支，第一种为第一管道分支201，其用途为将化学液体提供给目标设备。第二种为第二管道分支202，其用途为将第一管道分支201中的化学液体循环利用，故第二管道分支202与第一管道分支201可以是连通的。可以理解，第一管道分支201的数量可以多一个或多个，第二管道分支202的数量可以与第一管道分支的数量相同，当然也可以不同。

第二管道分支202用于将化学液体回流至所述液体循环回路100中，故第二管道分支202与液体循环回路100是连通的，即第二管道分支202的一端连接液体循环回路100中第一端101与第二端102的管道之间，或连接在第一端101，使得剩余化学液体重新分配至液体循环回路100中。

第二管道分支202上还包括第一开关阀301，可利用第一开关阀301控制是否允许化学液体回流至所述液体循环回路100中。在一些实施例中，第一开关阀301至少具有两个控制状态，包括开启状态和闭合状态。在另一些实施例中，第一开关阀301还可以包括可以调整流量的控制状态。

当第一开关阀301处于开启状态，其允许化学液体回流至所述液体循环回路100中。当第一开关阀301处于闭合状态，其不允许化学液体回流至所述液体循环回路100中。

在一些实施例中，第一开关阀301包括但不限于气控开关阀、机械开关阀和电磁开关阀。

使用本公开实施例的液体循环回路100，当停止对第一管道分支201提供化学液体时，且第一开关阀301处于开启状态时，第一管道分支201中的剩余化学液体会回流到第二管道分支202中，第二管道分支202会将该化学液体循环。该装置避免了化学液体长时间静止在第一管道分支201处，使得该化学液体在不向目标设备输出时，在管路中也不易发生变质。

在一些实施例中，如图3所示，所述第一管道分支201上包括：第二开关阀302，所述第二开关阀302用于控制所述液体从第一管道分支201流出。

与上述第一开关阀301类似，第二开关阀302包括但不限于气控开关阀、机械开关阀和电磁开关阀。第二开关阀302也可以至少具有两个控制状态，包括开启状态和闭合状态。在另一些实施例中，第二开关阀302还可以包括可以调整流量的控制状态。当第二开关阀302的状态为开启状态时，化学液体可以从第一管道分支201流出至目标设备上。

当第二开关阀302的状态为闭合状态时，停止将化学液体从第一管道分支201流出至目标设备上。

在一些实施例中，所述第二开关阀为闭合状态下，所述第一开关阀为开启状态；所述第二开关阀为开启状态下，所述第一开关阀为闭合状态。

在本公开实施例中，当第二开关阀为闭合状态时，化学液体停止从第一管道分支流出至目标设备上。此时，可以将第一开关阀设为开启状态，以便于液体循环回路中管道及第一管道分支中的液体经第二管道分支回流至液体循环回路中。

在本公开实施例中，当第二开关阀为开启状态时，可以将化学液体从第一管道分支流出至目标设备上。此时，若第一开关阀为开启状态时，则对化学液体产生了分流影响，从而影响了化学液体流出至目标设备上的效率，故可以将第一开关阀闭合。

在一些实施例中，如图4所示，所述第一管道分支201还包括：第一动力装置401；所述第二开关阀302为闭合状态下，所述第一动力装置401用于向所述液体提供动力，以使所述第一管道分支201中残留的所述液体流入所述第二管道分支202。

在一些实施例中，当第二开关阀302为闭合状态时，由于某些化学液体的粘性系数大于预设值，该化学液体不易流动或流动速度较慢，导致第一管道分支201中残留的化学液体不易回流至第二管道分支202。这样，若重新开启第二开关阀302，第二开关阀302内被污染的化学液体仍会流入目标设备中，导致异常产生。此时可以在第一管道分支201上安装第一动力装置401，第一动力装置401包括但不限于离心泵或往复式活塞泵。在第一动力装置401的作用下，第一管道分支201中残留的化学液体可以回流至第二管道分支202中，如此，第一管道分支201中被污染的化学液体即被减少，从而减少了异常产品。

在一些实施例中，如图5所示，所述液体循环回路100还包括：第二动力装置402，位于所述第一端101和所述第二端102之间的所述管道上；所述第二动力装置402用于给所述液体提供动力，以使所述液体更易流入所述第一管道分支201和/或所述第二管道分支202。

在一些实施例中，由于某些化学液体的粘性系数大于预设值，导致化学液体在管道中不易流动或流速较慢。故在第一端101和第二端102之间的管道上，还装有第二动力装置402。第二动力装置402可以用于驱动管道中的化学液体更容易或更快地进入第一管道分支201中和/或进入第二管道分支202中。第二动力装置402可以与第一动力装置401相同，例如，第二动力装置402也可以包括但不限于离心泵或往复式活塞泵。第二动力装置402也可以与第一动力装置401不同。

在一些实施例中，如图6所示，所述液体循环回路100的第二端102还包括：过滤装置403，连接所述第一管道分支201；所述过滤装置403用于向所述第一管道分支201提供过滤后的所述液体。

在一些实施例中，在化学液体通过第一管道分支201流至目标设备中时，可以采用过滤装置403对化学液体进行过滤处理，以过滤掉化学液体中的杂质。过滤装置中的过滤介质可根据气孔大小分类为微滤膜(MF)、超滤膜(UF)、纳滤膜(NF)或反渗透膜(RO)。

因为第一管道分支201关闭时(即停止向目标设备供应化学液体时)，化学液体可以由第二管道分支202重新流入管道中，并在第一管道分支201开启时，重新提供给目标设备。并且重新提供的化学液体在再次提供给第一管道分支201之前还会继续被过滤装置403过滤，故可以减少化学液体中的杂质提高后续产品的良率。

在一些实施例中，还可以将过滤装置403安装在第一端101和第二端102之间的管道上和/或第一管道分支201上。

在一些实施例中，如图7所示，所述液体循环装置1000还包括：

第一槽体601，用于盛放所述液体；所述液体循环回路100的第一端101位于所述第一槽体601内；

所述第一槽体601还用于向所述液体循环回路100的第一端101提供所述液体。

在一些实施例中，如图7所示，所述第二管道分支202延伸至所述第一槽体601内；所述第二管道分支202还用于将所述液体回流至所述第一槽体601内。

在一些实施例中，第一槽体601的形状包括但不限于长方体、正方体或者为圆柱体等。

在一些实施例中，第一槽体601可以盛放化学液体，并且化学液体可以是酸性液体、碱性液体或者腐蚀性液体等，故第一槽体601可以相应地由耐酸材质、耐碱材质或者耐腐蚀性材质制作而成。

在一些实施例中，第一槽体601的颜色可以为透明色、棕色等等在此不做限定。

第一槽体601与液体循环回路100的第一端101连接，还可以与液体循环回路100的第二管道分支202连接。这样，第一槽体601提供的化学液体首先流入管道，并从管道的第二端102分别流入第一管道分支201和/或第二管道分支202，其中，流入第二管道分支202的液体再重新流回液体第一槽体601中，如此实现了化学液体在液体循环回路100与第一槽体601之间的循环。

在一些实施例中，如图8所示，所述液体循环装置1000还包括：

第二槽体602；用于盛放所述液体的原料瓶701；其中，所述第二槽体602包括：延伸至所述原料瓶701中并与所述第一槽体601连接的液体管道801，所述液体管道801用于将所述原料瓶701中的液体转移至所述第一槽体601。

在一些实施例中，第一槽体601中所盛的化学液体为液体原料瓶701中的化学液体。目标设备所使用到的化学液体可以是由相应原材料厂商提供的，并且可以通过一个个的液体原料瓶701运输到晶圆厂。

在一些实施例中，可以直接将液体原料瓶701中的化学液体倒入第一槽体601中使用。

在一些实施例中，当液体原料瓶701中的材料为强酸、强碱或强腐蚀性化学液体时，可以通过液体管道801，将原料瓶701中的液体传输至第一槽体601中使用。可以理解的是，液体原料瓶701和液体管道801都可以根据化学液体的酸碱性和/或腐蚀性相应的选择对应的耐酸碱材料和/或耐腐蚀性材料制成。

在一些实施例中，液体原料瓶701还可以放置在第二槽体602内，第二槽体602内可以放置至少一个液体原料瓶701，第二槽体602可以具有至少一个开口，便于将新的液体原料瓶701放入第二槽体602中或取出无需使用的剩余液体原料瓶701(例如空瓶或变质材料瓶)。

在一些实施例中，每个液体原料瓶701可以配备一个液体管道801，用于将化学液体传输至第二槽体602中。

在一些实施例中，多个液体原料瓶701可以配备一个液体管道801，当一个液体原料瓶701将化学液体传输至液体管道801中时，其他液体原料瓶701可以作为备品使用。

在一些实施例中，如图9所示，所述第二槽体602还包括：

延伸至所述原料瓶701中的气体管道901，所述气体管道901用于向所述原料瓶701输入气体，使所述原料瓶701中的液体通过所述液体管道801转移至所述第一槽体601。

将液体原料瓶701中的化学液体传输至第一槽体601中可以使用动力装置提升传输效率。在一些实施例中，可以使用在液体管道801上安装离心泵或往复式活塞泵，用于将液体原料瓶701中的化学液体抽出并传输到第一槽体601中。在一些实施例中，可以在液体原料瓶701中增加一个气体管道901，并在管道中通入气体，气体可以将液体原料瓶701中的化学液体推入第一槽体601中。

在一些实施例中，上述气体可以为化学性质稳定的气体，例如惰性气体或氮气等。

在一些实施例中，化学液体还可以通过气体管道901通入的气体与液体原料瓶701中的液体混合或反应所得。这时可以通过液体管道801中的增压装置，例如离心泵或往复式活塞泵将化学液体传输至第一槽体601中。

本公开实施例还有如下示例，如图10所示的液体循环装置1000包括：液体循环回路100，第一槽体601，第二槽体602。

液体循环回路100的第一端101伸入第一槽体601中，液体循环回路100中的管道的第二端102的第二管道分支202与第一槽体连通，使得第二管道分支202中的化学液体可以流入第一槽体601中。

液体循环回路100包括位于管道第一端101与管道第二端102之间的第一动力装置401(例如：出液泵)，第一动力装置401用于将第一槽体601中的化学液体传输到目标设备中。

液体循环回路100还包括位于管道第一端101与管道第二端102之间的过滤装置403，过滤装置403用于过滤化学液体中的异物，使得化学液体中含有的异物或杂质变少，以提高后续产品良率。

液体循环回路100的第一管道分支201中还包括第二开关阀302，第二开关阀302用于控制化学液体是否流出至目标设备中。当第二开关阀302开启时，化学液体可以流出至目标设备中；当第二开关阀302关闭时，化学液体可以不流出至目标设备中。

液体循环回路100的第二管道分支202中还包括第一开关阀301，第一开关阀301用于控制化学液体是否流回至第一槽体601中。当第一开关阀301开启时，化学液体可以流回至第一槽体601中；当第一开关阀301关闭时，化学液体可以不流出至流回至第一槽体601中。

当第一开关阀301开启时，第二开关阀302可以处于关闭状态。当第一开关阀301关闭时，第二开关阀302可以处于开启状态。使得在机台闲置状态下(即停止向目标设备供应化学液体的情况下)化学液体可以在液体循环回路100里面始终保持循环。

第二槽体602中装有至少一个原料瓶701，原料瓶701用于盛放化学液体。第二槽体602通过液体管道801与第一槽体601连接，并且通过液体管道801将化学液体传输至第一槽体601中。过滤装置403还可以安装在液体管道801中，液体管道801中的过滤装置403用于初步过滤化学液体中的异物，使得化学液体中含有的异物或杂质变少，管道第一端101与管道第二端102之间的过滤装置403可以用于精细过滤过滤后的化学液体和循环回路中流回的化学液体中的异物或杂质，以提高后续产品良率。

原料瓶701还可以包括伸入其中的气体管道901，气体管道901用于向盛放在原料瓶701中的化学液体提供传输压力，以便将原料瓶701中的化学液体压至第一槽体601中。其中，气体管道中通入的气体可以为氮气。

气体管道901上还可以安装第三开关阀303，当第三开关阀303打开时，气体可以通入原料瓶701中，从而化学液体可以从原料瓶701中传输至第二槽体602中。当第三开关阀303关闭时，气体停止通入原料瓶701中，从而停止将化学液体从原料瓶701中传输至第二槽体602中，即停止对目标设备供应化学液体。

第二开关阀302的开启或闭合状态可以根据第三开关阀303的开启或闭合状态调整，即在一些实施例中，当第三开关阀303开启时，第一槽体1601中进入化学液体，第二开关阀302开启将化学液体传输至目标设备中。当第二开关阀302闭合时(即停止向目标设备提供化学液体)，第三开关阀303也可以闭合，避免向第一槽体601中提供过量的化学液体。

采用单向液体供应装置的单向供应方式对晶圆进行湿法清洗的效果如图11所示，可以看出晶圆在清洗后有较多的杂质残留物，当杂质残留物超过一定的规格和数量时，会影响半导体产品的良率。

采用本公开实施例的液体循环装置1000对晶圆进行湿法清洗的效果如图12所示，可以看出晶圆在清洗后的杂质残留物大大减少，特别是较大的杂质明显减少。通过减少晶圆上残留的杂质，可以有效提高后续半导体产品的良率。

使用单向供应方式，为了避免使用在管路里面停滞时间过长导致变质的化学液体，需要频繁更换化学液体，导致生产成本的增加。而采用本公开实施例中的液体循环装置1000来取代单向供应方式，可以减少对化学液体的更换从而可以节约生产成本。

应理解，说明书通篇中提到的“一个实施例”或一实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本公开的至少一个实施例中。因此，在整个说明书各处出现的“在一个实施例中”或“在一实施例中”未必一定指相同的实施例。此外，这些特定的特征、结构或特性可以任意适合的方式结合在一个或多个实施例中。应理解，在本公开的各种实施例中，上述各过程的序号的大小并不意味着执行顺序的先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本公开实施例的实施过程构成任何限定。上述本公开实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。

以上所述，仅为本公开的实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种液体循环装置，其特征在于，包括：

液体循环回路，所述液体循环回路的第一端用于接收液体，所述液体循环回路的第二端具有第一管道分支和第二管道分支；所述第一端与所述第二端之间连接有管道；所述第一管道分支用于向目标设备输出所述液体；所述第二管道分支用于将所述液体回流至所述液体循环回路中；所述第二管道分支与所述第一管道分支连通；

所述第二管道分支上包括：第一开关阀，所述第一开关阀用于控制所述液体回流至所述液体循环回路中。

2.根据权利要求1所述的液体循环装置，其特征在于，所述第一管道分支上包括：第二开关阀，所述第二开关阀用于控制所述液体从第一管道分支流出。

3.根据权利要求2所述的液体循环装置，其特征在于，所述第一开关阀为闭合状态下，所述第二开关阀为开启状态；所述第一开关阀为开启状态下，所述第二开关阀为闭合状态。

4.根据权利要求3所述的液体循环装置，其特征在于，所述第一管道分支还包括：第一动力装置；所述第二开关阀为闭合状态下，所述第一动力装置用于向所述液体提供动力，以使所述第一管道分支中残留的所述液体流入所述第二管道分支。

5.根据权利要求1所述的液体循环装置，其特征在于，所述液体循环回路还包括：第二动力装置，位于所述第一端和所述第二端之间的所述管道上；所述第二动力装置用于给所述液体提供动力，以使所述液体流入所述第一管道分支和/或所述第二管道分支。

6.根据权利要求1所述的液体循环装置，其特征在于，所述液体循环回路的第二端还包括：过滤装置，连接所述第一管道分支；所述过滤装置用于向所述第一管道分支提供过滤后的所述液体。

7.根据权利要求1所述的液体循环装置，其特征在于，所述液体循环装置还包括：

第一槽体，用于盛放所述液体；所述液体循环回路的第一端位于所述第一槽体内；所述第一槽体还用于向所述液体循环回路的第一端提供所述液体。

8.根据权利要求7所述的液体循环装置，其特征在于，所述第二管道分支延伸至所述第一槽体内；所述第二管道分支还用于将所述液体回流至所述第一槽体内。

9.根据权利要求8所述的液体循环装置，其特征在于，所述液体循环装置还包括：

第二槽体；用于盛放所述液体的原料瓶；其中，所述第二槽体包括：延伸至所述原料瓶中并与所述第一槽体连接的液体管道，所述液体管道用于将所述原料瓶中的液体转移至所述第一槽体。

10.根据权利要求9所述的液体循环装置，其特征在于，所述第二槽体还包括：

延伸至所述原料瓶中的气体管道，所述气体管道用于向所述原料瓶输入气体，使所述原料瓶中的液体通过所述液体管道转移至所述第一槽体。

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