CN210012606U - 一种ppt级超高纯氨水生产线 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种ppt级超高纯氨水生产线,包含原料罐，所述原料罐通过管路与液氨气化器相连通，液氨气化器通过管路依次与洗气瓶一、洗气瓶二和缓冲罐相串联；缓冲罐与吸收塔相连通，所述吸收塔出液口分别与中间罐一和中间罐二相连通，上述中间罐一的出液管和中间罐二的出液管上分别设置有单向阀；上述中间罐一的出液管和中间罐二的出液管通过总管依次串联循环泵、微滤器和成品罐；上述循环泵和和吸收塔之间设有回水支管，所述回水支管上设有单向阀；上述吸收塔的顶部出气口通过管路与废气回收罐相连通，所述废气回收罐的底部出液口通过管路分别连接至中间罐一和中间罐二；本实用新型结构紧凑合理，可实现连续生产，生产效率和设备利用率高，环保高效。

Description

一种ppt级超高纯氨水生产线

技术领域

本实用新型涉及一种ppt级超高纯氨水生产线，属于电子化学品生产设备技术领域。

背景技术

随着国内半导体产业的迅速发展，高纯电子化学品需求量急剧增长；高纯电子级氨水在集成电路、LED等制造行业中有着重要作用；利用氨水的弱碱性，活化硅晶圆及微粒表面，可以除去其表面颗粒、部分金属不纯物，因此，超高纯氨水广泛应用于芯片的清洗及蚀刻工艺。超净高纯氨水呈碱性，主要用于半导体行业紫外负性光刻胶的漂洗工艺，可与负胶显影液配套使用。随着电子领域技术的不断发展，对电子化学品的纯度要求也日益提高。目前普遍采用的超净高纯氨水生产装置多为间歇式，中途达标氨水需停产排放，产品质量监控繁琐，生产效率和设备利用率较低，此外，生产流程中尾气的吸收通常采用酸中和法，会产生一定的废水和废气，排放极易对环境造成不可逆转的伤害。因此，亟需对现有技术中的氨水生产设备进行改进。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种结构紧凑合理，可实现连续生产，生产效率和设备利用率高，环保高效的ppt级超高纯氨水生产线。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种ppt级超高纯氨水生产线，包含原料罐，所述原料罐出口通过管路与液氨汽化器相连通；所述液氨气化器的顶部出口通过管路与洗气瓶一相连通；所述洗气瓶一的顶部出口通过管路与洗气瓶二相连通；所述洗气瓶二的顶部出口通过管路与缓冲罐相连通；缓冲罐顶部出口通过管路与吸收塔相连通，所述吸收塔设置有冷却水进出口；上述吸收塔的底部的氨水出料口通过管路分别与中间罐一和中间罐二相连通；上述中间罐一的底部出液管和中间罐二的底部出液管上分别设置有单向阀；上述中间罐一的底部出液管和中间罐二的底部出液管通过一总管依次串联循环泵、微滤器和成品罐；所述循环泵和微滤器之间的管路上设置有单向阀；上述循环泵和和吸收塔之间设置有回水支管，所述回水支管上设置有单向阀；

本实用新型一种ppt级超高纯氨水生产线，上述吸收塔的顶部出气口通过管路与废气回收罐相连通，所述废气回收罐的底部出液口通过管路分别连接至中间罐一和中间罐二；

本实用新型一种ppt级超高纯氨水生产线，所述中间罐一、中间罐二和废气回收罐的底部分别通有蒸馏水管；

本实用新型一种ppt级超高纯氨水生产线，所述原料罐上设置有催化剂罐，所述催化剂罐内装有催化剂；

本实用新型一种ppt级超高纯氨水生产线，上述中间罐一和中间罐二组成一组循环系统，所述循环系统可根据工况设置为多组；

本实用新型一种ppt级超高纯氨水生产线，所述原料罐与液氨气化器之间的管路上设置有三通阀，通过三通阀来控制原料的进入流量；

本实用新型一种ppt级超高纯氨水生产线，所述微滤器的滤芯采用全氟材质，滤芯精度为亚微米级。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过设置多组中间罐分别运行，使先达到标准的中间罐内氨水单独输出，未达标的氨水中间罐继续运行生产，交替循环作业，中途不用停机输出；同时将生产中少量的废氨气排入废气回收罐通过纯净蒸馏水进行吸收，形成的氨水经罐底出液口流入各个中间罐内循环利用，整个生产过程无废气废液排放，对环境无污染；本产线结构紧凑合理，可实现连续生产，生产效率和设备利用率高，环保高效。

附图说明

图1为本实用新型一种ppt级超高纯氨水生产线结构示意图。

其中：

原料罐1、液氨汽化器2、洗气瓶一3、洗气瓶二4、缓冲罐5、吸收塔6、中间罐一7、中间罐二8、循环泵9、回水管10、微滤器11、成品罐12、废气回收罐13、蒸馏水管14、催化剂罐15、三通阀16。

具体实施方式

参见图1，本实用新型涉及的一种ppt级超高纯氨水生产线，包含原料罐1，所述原料罐1出口通过管路与液氨汽化器2相连通；所述液氨气化器2的顶部出口通过管路与洗气瓶一3相连通，上述洗气瓶一3内为纯净蒸馏水，吸收氨气溶液饱和后，对后续进入的氨气提纯输出；所述洗气瓶一3的顶部出口通过管路与洗气瓶二4相连通，上述洗气瓶二4内为氢氧化钡饱和溶液，对进入的氨气进行再一次提纯；所述洗气瓶二4的顶部出口通过管路与缓冲罐5相连通，缓冲罐5为空罐，防止氨水倒流；缓冲罐5顶部出口通过管路与吸收塔6相连通，所述吸收塔6设置有冷却水进出口；上述吸收塔6的底部的氨水出料口通过管路分别与中间罐一7和中间罐二8相连通；上述中间罐一7的底部出液管和中间罐二8的底部出液管上分别设置有单向阀；上述中间罐一7的底部出液管和中间罐二8的底部出液管通过一总管依次串联循环泵9、微滤器11和成品罐12；所述循环泵9和微滤器11之间的管路上设置有单向阀；上述循环泵9和和吸收塔6之间设置有回水支管10，所述回水支管10上设置有单向阀；

进一步的，上述吸收塔6的顶部出气口通过管路与废气回收罐13相连通，所述废气回收罐13的底部出液口通过管路分别连接至中间罐一7和中间罐二8；

进一步的，所述中间罐一7、中间罐二8和废气回收罐13的底部分别通有蒸馏水管14，对罐内进行蒸馏水补充；

进一步的，所述原料罐1上设置有催化剂罐15，所述催化剂罐15内装有催化剂，所述催化剂为高锰酸钾，用以出去原料内还原性物质(每15Kg氨水加10g高锰酸钾)；

优选的，上述中间罐一7和中间罐二8组成一组循环系统，所述循环系统可根据工况设置为多组；

进一步的，所述原料罐1与液氨气化器2之间的管路上设置有三通阀16，通过三通阀16来控制原料的进入流量；

优选的，所述微滤器11的滤芯采用全氟材质，滤芯精度为亚微米级，将溶液中含有的杂质金属离子和颗粒物过滤掉；

本产线工作原理：

关闭整个生产系统的单向阀，工业氨水存储在原料罐1内，根据配比加入适量催化剂，除去氨水内还原性物质；打开三通阀16，控制除杂后的氨水，使其按指定流量进入液氨汽化器2进行气化，氨气进入洗气瓶一3和洗气瓶二4提纯后进入缓冲罐5进行缓冲，防止氨水倒流；提纯后的氨气进入吸收塔6，吸收塔6中生成的氨水经管道流入中间罐一7和中间罐二8内，同时打开中间罐一7出液管上的单向阀和中间罐二8出液管上的单向阀及回水支管10上的单向阀，开启循环泵9，将两个中间罐内的氨水抽至吸收塔6内再一次吸收氨气，氨水浓度增加，循环流入中间罐内，直至检测出其中一个中间罐内的氨水纯度达到指定标准，将氨水纯度为达标的中间罐出液口单向阀关闭，使其继续吸收氨水，增加纯度，同时打开循环泵9和微滤器11管路间的单向阀，将纯度达标的中间罐内的氨水输送至微滤器11过滤掉金属离子和颗粒物杂质，最后进入成品罐12储存；多个中间罐之间循环交替提纯出液，使整个生产过程无需停机出液可连续运作；吸收塔6内多余的氨气经顶部出气管进入废气回收罐13内，被罐内蒸馏水吸收，形成的氨水经罐底出液口流入各个中间罐内循环利用，整个过程无废气排放，环保高效；中间罐和废气回收罐13的溶液减少后通过蒸馏水管14进行溶液补充。

另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种ppt级超高纯氨水生产线，其特征在于：包含原料罐(1)，所述原料罐(1)出口通过管路与液氨汽化器(2)相连通；所述液氨汽化器(2)的顶部出口通过管路与洗气瓶一(3)相连通；所述洗气瓶一(3)的顶部出口通过管路与洗气瓶二(4)相连通；所述洗气瓶二(4)的顶部出口通过管路与缓冲罐(5)相连通；缓冲罐(5)顶部出口通过管路与吸收塔(6)相连通，所述吸收塔(6)设置有冷却水进出口；上述吸收塔(6)的底部的氨水出料口通过管路分别与中间罐一(7)和中间罐二(8)相连通；上述中间罐一(7)的底部出液管和中间罐二(8)的底部出液管上分别设置有单向阀；上述中间罐一(7)的底部出液管和中间罐二(8)的底部出液管通过一总管依次串联循环泵(9)、微滤器(11)和成品罐(12)；所述循环泵(9)和微滤器(11)之间的管路上设置有单向阀；上述循环泵(9)和和吸收塔(6)之间设置有回水支管(10)，所述回水支管(10)上设置有单向阀。

2.如权利要求1所述一种ppt级超高纯氨水生产线，其特征在于：上述吸收塔(6)的顶部出气口通过管路与废气回收罐(13)相连通，所述废气回收罐(13)的底部出液口通过管路分别连接至中间罐一(7)和中间罐二(8)。

3.如权利要求2所述一种ppt级超高纯氨水生产线，其特征在于：所述中间罐一(7)、中间罐二(8)和废气回收罐(13)的底部分别通有蒸馏水管(14)。

4.如权利要求1所述一种ppt级超高纯氨水生产线，其特征在于：所述原料罐(1)上设置有催化剂罐(15)，所述催化剂罐(15)内装有催化剂。

5.如权利要求1所述一种ppt级超高纯氨水生产线，其特征在于：上述中间罐一(7)和中间罐二(8)组成一组循环系统，所述循环系统可根据工况设置为多组。

6.如权利要求1所述一种ppt级超高纯氨水生产线，其特征在于：所述原料罐(1)与液氨汽化器(2)之间的管路上设置有三通阀(16)，通过三通阀(16)来控制原料的进入流量。

7.如权利要求1所述一种ppt级超高纯氨水生产线，其特征在于：所述微滤器(11)的滤芯采用全氟材质，滤芯精度为亚微米级。

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