CN107300837B - 一对多光阻回收系统及其控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种一对多光阻回收系统及其控制方法，其主要是通过多向连通控制器各自连通复数回收贮存装置，使业者在利用不同种类光阻液生产面板时，能够让单一种类的光阻液在一套回收贮存装置内完成回收的作业，使各回收贮存装置相互区隔、各自独立，以因应一对多光阻回收系统在生产不同面板前能够免于清洗整个系统，仅需要针对要清洗的回收贮存装置进行清洗，由此达到一种能够提升光阻回收系统的使用效率、整体系统的稼动率及降低制造成本的光阻回收系统的目的。

Description

一对多光阻回收系统及其控制方法

技术领域

本发明是关于一种光阻回收系统，特别是关于一种一对多光阻回收系统。同时，本发明又关于一种一对多光阻回收系统的控制方法。

背景技术

已知光阻回收系统是以一产线对应一个回收桶及一处理装置，当每使用完一种型号的光阻后，便需要清洗整套回收系统，随着市场对中小尺寸面板及小量多样的需求的增加，面板业者生产排程开始在同一产在线生产多种面板，由于每种面板所利用的光阻液不尽相同，是以每当在制作不同面板前，便需要以稀释液清洗整个回收系统，并在清洗完成后再利用新液填入系统内的新液桶、回收桶及新液桶到供应桶，及供应桶到机台之间的管路，并利用新液生产预估片数的面板(约120片左右)，此等新液初期生产面板后的初期回收光阻液可能含有上一次的回收光阻液，故不进行回收作业，直接当成废液处理，直至整个回收系统内的光阻液的比例及黏稠度达到可稳定作业的程度才开始进行回收作业，然而如此一来不仅使回收系统的稼动率大幅下降，更因于生产前额外利用新液生产预估片数的面板所产生的初期回收光阻液必须直接当作废液处理，造成不必要的浪费，且大幅提升制造成本，是以需要一种能够提升光阻回收系统的使用效率、提升整体系统稼动率及降低制造成本的光阻回收系统。

发明内容

本发明提供一种一对多光阻回收系统，其主要目的是提供一种能够提升光阻回收系统的使用效率、整体稼动率及降低制造成本的光阻回收系统。

本发明的另一目的是提供一种控制前述一对多光阻回收系统的方法。

为达前述目的，本发明提供一种一对多光阻回收系统，供以与一机台连通，包括：

一多向连通控制器，与该机台连通，该多向连通控制器用以控制光阻液的流向；

复数回收桶，与该多向连通控制器连通，各该回收桶与该多向连通控制器之间具分别有一回收管路，该回收桶用以置放回收的光阻液；

一再生桶，与该些回收桶连通，该再生桶与各该回收桶之间分别具有一再生管路，该再生桶供用以接收回收的光阻液，并将其调整至理想黏度；

一稀释桶，与该多向连通控制器、该些回收桶及该再生桶连通，该稀释桶与该回收桶之间具有一稀释管路，该稀释桶与该多向连通控制器之间具有一回收贮存清洗管路，该稀释桶与该再生桶之间具有一调节清洗管路，该稀释桶用以根据不同光阻需求提供不同稀释液；

一新液桶，与该再生桶连通，该新液桶与该再生桶之间具有一第一新液管路，该新液桶用以根据不同光阻需求提供不同的新光阻液：

一供应桶，与该再生桶、该稀释桶、该新液桶及该机台连通，该供应桶与该稀释桶之间具有一清洗管路、该供应桶与该再生桶之间具有一第一输送管路，该供应桶与该机台间具有一第二输送管路，该供应桶与该新液桶之间具有一第二新液管路，该供应桶主要用以供应回收光阻或经由新夜桶供应全新光阻至该机台；

一废液桶，与该多向连通控制器、该些回收桶、该再生桶及该供应桶连通，该废液桶与各该回收桶之间分别具有一排放管路，该废液桶与该多向连通控制器之间具有一第一废液管路，该废液桶与该再生桶之间具有一第二废液管路，该废液桶与该供应桶之间具有一第三废液管路，该废液桶供以接收排放的废光阻液。

较佳的，该回收桶的数量为三，三个该回收桶分别为一第一回收桶、一第二回收桶、一第三回收桶：

该第一回收桶与该多向连通控制器之间的回收管路为一第一回收管路，该第一回收桶与该再生桶之间的再生管路为一第一再生管路，该第一回收桶与该稀释桶之间的稀释管路为一第一稀释管路，该第一回收桶与该废液桶之间的排放管路为一第一排放管路；

该第二回收桶与该多向连通控制器之间的回收管路为一第二回收管路，该第二回收桶与该再生桶之间的再生管路为一第二再生管路，该第二回收桶与该稀释桶之间的稀释管路为一第二稀释管路，该第二回收桶与该废液桶之间的排放管路为一第二排放管路；

该第三回收桶与该多向连通控制器之间的回收管路为一第三回收管路，该第三回收桶与该再生桶之间的再生管路为一第三再生管路，该第三回收桶与该稀释桶之间的稀释管路为一第三稀释管路，该第三回收桶与该废液桶之间的排放管路为一第三排放管路；

较佳的，该第一回收桶、该第一回收管路、该第一再生管路、该第一稀释管路及该第一排放管路合称为一第一回收贮存装置；该第二回收桶、该第二回收管路、该第二再生管路、该第二稀释管路，该第二排放管路合称为一第二回收贮存装置；该第三回收桶、该第三回收管路、该第三再生管路、该第三稀释管路，该第三排放管路合称为一第三回收贮存装置。

本发明提供一种控制前述一对多光阻回收系统的方法，包括：

第一回收步骤，回收第一种光阻液至该第一回收桶储放，再将第一种回收光阻液自第一回收桶输送至再生桶，由稀释桶释出与第一种光阻液对应的稀释液至再生桶，由新液桶释出与第一种光阻液对应的新光阻液至再生桶，并于再生桶内将第一种回收光阻液、新光阻液、稀释液进行第一次液混和并将其调整至理想黏度，再将调整黏度后的光阻液输送至供应桶，即可送至机台使用；

局部清洗步骤，欲生产不同面板而利用不同光阻液前，先将稀释液自稀释桶输出至多向连通控制器、供应桶、再生桶、新液桶、调节清洗管路、清洗管路、回收贮存清洗管路、第一新液管路、第二新液管路、第一输送管路以及第二输送管路清洗，并开启第一废液管路、第二废液管路、第三废液管路，将原本的光阻液去除，废液排至废液桶内，而原先的一部份回收光阻液则留于该第一回收桶中备用；

局部风干步骤，通过气体供应系统提供气体对稀释桶、新液桶、供应桶、再生桶进行风干，再由泄压系统将稀释桶、新液桶、供应桶、再生桶内多余的气体排出；

第二回收步骤，回收第二种光阻液至第二回收桶储放，再将第二种回收光阻液自第二回收桶输送至再生桶，由稀释桶释出与第二种光阻液对应的稀释液至再生桶，由新液桶释出与第二种光阻液对应的新光阻液，并于再生桶内将第二种回收光阻液、新光阻液、稀释液进行第一次液混和并将其调整至理想黏度，再将调整黏度后的光阻液输送至供应桶以供机台使用；

局部清洗步骤，欲生产与前述回收光阻不同面板，而利用不同光阻液前，先将稀释液自稀释桶输出至多向连通控制器、供应桶、再生桶、新液桶、调节清洗管路、清洗管路、回收贮存清洗管路、第一新液管路、第二新液管路、第一输送管路以及第二输送管路清洗，并开启第一废液管路、第二废液管路、第三废液管路，将原本的光阻液去除，废液排至废液桶内，而原先的一部份回收光阻液则留于该第一回收桶、该第二回收桶中备用；

局部风干步骤，通过气体供应系统提供气体对稀释桶、新液桶、供应桶、再生桶进行风干，再由泄压系统将稀释桶、新液桶、供应桶、再生桶内多余的气体排出；

第三回收步骤，回收第三种光阻液至第三回收桶储放，再将第三种回收光阻液自第三回收桶输送至再生桶，由稀释桶释出与第三种光阻液对应的稀释液至再生桶，由新液桶释出与第三种光阻液对应的新光阻液，并于再生桶内将第三种回收光阻液、新光阻液、稀释液进行第一次液混和并将其调整至理想黏度，再将调整黏度后的光阻液输送至供应桶以供机台使用；

总清洗步骤，如此，于前述的各回收贮存装置中的贮存桶中各贮备一种规格的回收液，若重复用及前述各规格的回收液时，即可进行局部清洗步骤后，换用新的光阻再经多向连通控制器选择对应的回收贮存装置，即可立即使用，无需浪费预估片数所产生的初期回收光阻液，若必须使用者新的光阻生产时，即可选择前述各回收贮存装置中使用率最少的回收液规格进行清洗即可换用新的光阻，而留下其他常用规格的回收液，待欲完全换用新的光阻时，要废弃旧光阻，则必须进行总清洗步骤，即将稀释液自稀释桶输出至多向连通控制器、再生桶、新液桶、供应桶、调节清洗管路、清洗管路、回收贮存清洗管路、第一新液管路、第二新液管路、第一输送管路、第二输送管路、第一废液管路、第二废液管路、第三废液管路、该第一回收贮存装置、该第二回收贮存装置及该第三回收贮存装置进行清洗，将原本的光阻液去除，废液排至废液桶内；

总风干步骤，通过气体供应系统提供气体对稀释桶、新液桶、供应桶、再生桶、该第一回收桶、该第二回收桶及该第三回收桶进行风干，再由泄压系统将稀释桶、新液桶、供应桶、再生桶、该第一回收桶、该第二回收桶及该第三回收桶内多余的气体排出。

由前述可知，本发明一对多光阻回收系统及其控制方法主要是通过该多向连通控制器及复数回收桶的配合，使业者在利用不同光阻液生产不同面板时，能够让单一种类的光阻液配合一个该回收桶，使该第一回收贮存装置、该第二回收贮存装置及该第三回收贮存装置相互区隔、各自独立，使该一对多光阻回收系统于生产不同面板前能够免于清洗整个系统，仅需要各别依序清洗该第一回收贮存装置、该第二回收贮存装置及该第三回收贮存装置，亦可就前述的第一回收步骤、第二回收步骤以及第三回收步骤分别同时进行回收而再依序清洗使用，其时间序可以同时或依序为之，且免除使用新液生产预估片数所产生的初期回收光阻液，让回收系统内的光阻液的比例及黏稠度达到可正常作业的程度的步骤，由此达到一种能够提升光阻回收系统的使用效率、整体稼动率及降低制造成本的光阻回收系统的目的。

说明书附图

图1为本发明一对多光阻回收系统的示意图。

图2为本发明一对多光阻回收系统的控制方法示意图。

图3为本发明一对多光阻回收系统较佳实施例的控制方法示意图。

在附图中所用到的符号解释说明如下：

多向连通控制器10 回收管路12

第一回收管路121 第二回收管路122

第三回收管路123 回收桶20

第一回收桶21 第二回收桶22

第三回收桶23 再生桶30

再生管路32 第一再生管路321

第二再生管路322 第三再生管路323

稀释桶40 回收贮存清洗管路41

稀释管路42 第一稀释管路421

第二稀释管路422 第三稀释管路423

调节清洗管路43 新液桶50

第一新液管路53 供应桶60

第一输送管路63 清洗管路64

第二新液管路56 第二输送管路60X

废液桶70 第一废液管路71

排放管路72 第一排放管路721

第二排放管路722 第三排放管路723

第二废液管路73 第三废液管路76

第一回收贮存装置S1 第二回收贮存装置S2

第三回收贮存装置S3 单向筏U

机台X 气体供应系统Y

泄压系统Z 第一回收步骤A1

第二回收步骤A2 第三回收步骤A3

局部清洗步骤B 局部风干步骤C

总清洗步骤D 总风干步骤E

具体实施方式

使贵审查员对本发明的目的、特征及功效能够有更进一步的了解与认识，以下兹请配合图式简单说明详述如后：

本发明提供一种一对多光阻回收系统，供以与一机台X连通，如图1所示，包括：

一多向连通控制器10，与该机台X连通，该多向连通控制器10用以控制光阻液的流向；

复数回收桶20，与该多向连通控制器10连通，各该回收桶20与该多向连通控制器10之间具分别有一回收管路12，该回收桶20用以置放回收的光阻液；

一再生桶30，与该些回收桶20连通，该再生桶30与各该回收桶20之间分别具有一再生管路32，该再生桶供30用以接收回收的光阻液，并将其调整至理想黏度；

一稀释桶40，与该多向连通控制器10、该些回收桶20及该再生桶30连通，该稀释桶40与该些回收桶20之间分别具有一稀释管路42，该稀释桶40与该多向连通控制器10之间具有一回收贮存清洗管路41，该稀释桶40与该再生桶30之间具有一调节清洗管路43，该稀释桶40用以根据不同光阻需求提供不同稀释液；

一新液桶50，与该再生桶30连通，该新液桶50与该再生桶30之间具有一第一新液管路53，该新液桶50用以根据不同光阻需求提供不同的新光阻液：

一供应桶60，与该再生桶30、该稀释桶40、该新液桶50及该机台X连通，该供应桶60与该稀释桶40之间具有一清洗管路64、该供应桶60与该再生桶30之间具有一第一输送管路63，该供应桶60与该机台X间具有一第二输送管路60X，该供应桶60与该新液桶50之间具有一第二新液管路56，该供应桶60主要用以供应回收光阻或经由该新液桶50供应全新光阻至该机台X；

一废液桶70，与该多向连通控制器10、该些回收桶20、该再生桶30及该供应桶60连通，该废液桶70与各该回收桶20之间分别具有一排放管路72，该废液桶70与该多向连通控制器10之间具有一第一废液管路71，该废液桶70与该再生桶30之间具有一第二废液管路73，该废液桶70与该供应桶60之间具有一第三废液管路76，该废液桶70供以接收排放的废光阻液；

一气体供应系统Y，与该些回收桶20、该再生桶30、该稀释桶40、该新液桶50及该供应桶60连通，该气体供应系统Y用以提供气体以对该些回收桶20、该再生桶30、该稀释桶40、该新液桶50及该供应桶60进行风干作业；

一泄压系统Z，与该些回收桶20、该再生桶30、该稀释桶40、该新液桶50及该供应桶60连通，该泄压系统Z用以将该些回收桶20、该再生桶30、该稀释桶40、该新液桶50及该供应桶60内多余的气体排出；

复数单向筏U，于该些再生管路32、该些稀释管路42、该些排放管路72、该回收贮存清洗管路41、该调节清洗管路43、该第一新液管路53、该第一输送管路63、清洗管路64、该第二新液管路56、该第二输送管路60X、该第一废液管路71、该第二废液管路73、该第三废液管路76、该泄压系统Z与该些回收桶20之间、该泄压系统Z与该稀释桶40之间、该泄压系统Z与该再生桶30之间、该泄压系统Z与该新液桶50之间、该泄压系统Z与该供应桶60之间、该气体供应系统Y与各该回收桶20之间、该气体供应系统Y与该稀释桶40之间、该气体供应系统Y与该再生桶30之间、该气体供应系统Y与该新液桶50之间、该气体供应系统Y与该供应桶60之间分别设置一个该单向筏U；以及

复数泵浦P，于该再生管路32、该调节清洗管路43、该第一输送管路63、该第二输送管路60X分别设置一个该泵浦P。

于本发明较佳实施例中，该回收桶20的数量为三，三个该回收桶20分别为一第一回收桶21、一第二回收桶22、一第三回收桶23：

该第一回收桶21与该多向连通控制器10之间的回收管路12为一第一回收管路121，该第一回收桶21与该再生桶30之间的再生管路32为一第一再生管路321，该第一回收桶21与该稀释桶40之间的稀释管路42为一第一稀释管路421，该第一回收桶21与该废液桶70之间的排放管路72为一第一排放管路721；

该第二回收桶22与该多向连通控制器10之间的回收管路12为一第二回收管路122，该第二回收桶22与该再生桶30之间的再生管路32为一第二再生管路322，该第二回收桶22与该稀释桶40之间的稀释管路42为一第二稀释管路422，该第二回收桶21与该废液桶70之间的排放管路72为一第二排放管路722；

该第三回收桶23与该多向连通控制器10之间的回收管路12为一第三回收管路123，该第三回收桶23与该再生桶30之间的再生管路32为一第三再生管路323，该第三回收桶23与该稀释桶40之间的稀释管路42为一第三稀释管路423，该第三回收桶23与该废液桶70之间的排放管路72为一第三排放管路723。

较佳的，该第一回收桶21、该第一回收管路121、该第一再生管路321、该第一稀释管路421及该第一排放管路721合称为一第一回收贮存装置S1；

该第二回收桶22、该第二回收管路122、该第二再生管路322、该第二稀释管路422，该第二排放管路722合称为一第二回收贮存装置S2；

该第三回收桶23、该第三回收管路123、该第三再生管路323、该第三稀释管路423，该第三排放管路723合称为一第三回收贮存装置S3。

本发明提供一种一对多光阻回收系统的控制方法，于第一实施例中，如图2所示，该一对多光阻回收系统仅回收两种光阻液，而该一对多光阻回收系统的控制方法包括：

第一回收步骤A1，回收第一种光阻液至该第一回收桶21储放，再将第一种回收光阻液自第一回收桶21输送至再生桶30，由稀释桶40释出与第一种光阻液对应的稀释液至再生桶30，由新液桶50释出与第一种光阻液对应的新光阻液至再生桶30，并于再生桶30内将第一种回收光阻液、新光阻液、稀释液进行第一次液混和并将其调整至理想黏度，再将调整黏度后的光阻液输送至供应桶60以供机台X使用；

局部清洗步骤B，欲生产不同面板而利用不同光阻液前，先将稀释液自稀释桶40输出至多向连通控制器10、供应桶60、再生桶30、新液桶50、调节清洗管路43、清洗管路64、回收贮存清洗管路41、第一新液管路53、第二新液管路56、第一输送管路63以及第二输送管路60X进行清洗，并开启第一废液管路71、第二废液管路73及第三废液管路76，将原本的光阻液去除，废液排至废液桶70内，而原先一部分回收光阻液则留于该第一回收桶21中备用；

局部风干步骤C，通过气体供应系统Y提供气体对稀释桶40、新液桶50、供应桶60、再生桶30进行风干，再由泄压系统Z将稀释桶40、新液桶50、供应桶60、再生桶30内多余的气体排出；

第二回收步骤A2，回收第二种光阻液至第二回收桶22储放，再将第二种回收光阻液自第二回收桶22输送至再生桶30，由稀释桶40释出与第二种光阻液对应的稀释液至再生桶30，由新液桶50释出与第二种光阻液对应的新光阻液，并于再生桶30内将第二种回收光阻液、新光阻液、稀释液进行第一次液混和并将其调整至理想黏度，再将调整黏度后的光阻液输送至供应桶60，以供机台X使用；

总清洗步骤D，如此，于前述的各回收贮存装置S1、S2中的贮存桶21、22中各贮备一种规格的回收液，若重复用及前述各规格的回收液时，即可进行局部清洗步骤后，换用新的光阻再经多向连通控制器10选择对应的回收贮存装置S1、S2，即可立即使用，无需浪费预估片数产生的初期回收光阻液，若必须使用新的光阻生产时，即可选择前述各回收贮存装置S1、S2中使用率最少的回收液规格进行清洗即可换用新的光阻，而留下其他常用规格的回收液，待欲完全换用新的光阻时，要废弃旧光阻，则必须进行总清洗步骤，即将稀释液自稀释桶40输出至多向连通控制器10、再生桶30、新液桶50、供应桶60、调节清洗管路43、清洗管路64、回收贮存清洗管路41、第一新液管路53、第二新液管路56、第一输送管路63以及第二输送管路60X进行清洗，并开启第一废液管路71、第二废液管路73第三废液管路76，同时对该第一回收贮存装置S1、该第二回收贮存装置S2进行清洗，将原本的光阻液去除，废液排至废液桶70内；

总风干步骤E，通过气体供应系统提供气体对稀释桶40、新液桶50、供应桶60、再生桶30、该第一回收桶21、该第二回收桶22进行风干，再由泄压系统将稀释桶40、新液桶50、供应桶60、再生桶30、该第一回收桶21、该第二回收桶22内多余的气体排出。

于第二实施例中，如图3所示，该一对多光阻回收系统回收三种光阻液，而该一对多光阻回收系统的控制方法包括：

除了与前述相同的第一回收步骤A1、局部清洗步骤B、局部风干步骤C、第二回收步骤A2，等过程与前回收两种光阻液过程相当，针对第三种回收液则有后续的程序，包括；

局部清洗步骤B，欲生产不同面板而利用不同光阻液前，先将稀释液自稀释桶输出至多向连通控制器10、供应桶60、再生桶30、新液桶50、调节清洗管路43、清洗管路64、回收贮存清洗管路41、第一新液管路53、第二新液管路56、第一输送管路63以及第二输送管路60X进行清洗，并开启第一废液管路71、第二废液管路73及第三废液管路76，将原本的光阻液去除，废液排至废液桶70内；

局部风干步骤C，通过气体供应系统Y提供气体对稀释桶40、新液桶50、供应桶60、再生桶30进行风干，再由泄压系统Z将稀释桶40、新液桶50、供应桶60、再生桶30内多余的气体排出；

第三回收步骤A3，回收第三种光阻液至第三回收桶23储放，再将第三种回收光阻液自第三回收桶输23送至再生桶30，由稀释桶40释出与第三种光阻液对应的稀释液至再生桶30，由新液桶50释出与第三种光阻液对应的新光阻液，并于再生桶30内将第三种回收光阻液、新光阻液、稀释液进行第一次液混和并将其调整至理想黏度，再将调整黏度后的光阻液输送至供应桶60以供机台X使用；

总清洗步骤D，如此，前述的第一回收贮存装置S1、第二回收贮存装置S2、第三回收贮存装置S3中的第一回收桶21、第二回收桶22、第三回收桶23中各贮备一种规格的回收液，若重复用及前述各规格的回收液时，即可进行局部清洗步骤后，换用新的光阻再经多向连通控制器10选择对应的回收贮存装置S1、S2、S3，即可立即使用，无需浪费预估片数所产生的初期回收光阻液，若必须使用新的光阻生产时，即可选择前述各回收贮存装置S1、S2、S3中使用率最少的回收液规格进行清洗即可换用新的光阻，而留下其他常用规格的回收液，待欲完全换用新的光阻时，要废弃旧光阻，则必须进行总清洗步骤D，即将稀释液自稀释桶40输出至多向连通控制器10、再生桶30、新液桶50、供应桶60、调节清洗管路43、清洗管路64、回收贮存清洗管路41、第一新液管路53、第二新液管路56、第一输送管路63以及第二输送管路60X进行清洗，并开启第一废液管路71、第二废液管路73、第三废液管路76同时清洗，该第一回收贮存装置S1、该第二回收贮存装置S2及该第三回收贮存装置S3将原本的光阻液去除，废液排至废液桶70内；

总风干步骤E，通过气体供应系统Y提供气体对稀释桶40、新液桶50、供应桶60、再生桶30、该第一回收桶21、该第二回收桶22及该第三回收桶23进行风干，再由泄压系统Z将稀释桶40、新液桶50、供应桶60、再生桶30、该第一回收桶21、该第二回收桶22及该第三回收桶23内多余的气体排出。

由前述可知，本发明一对多光阻回收系统及其控制方法主要是通过该多向连通控制器10及复数回收桶20的配合，使业者在利用不同光阻液生产不同面板时，能够让单一种类的光阻液配合一个该回收桶20，使该第一回收贮存装置S1、该第二回收贮存装置S2及该第三回收贮存装置S3相互区隔、各自独立，使该一对多光阻回收系统于生产不同面板前能够免于清洗整个系统，仅需要依序清洗该第一回收贮存装置S1、该第二回收贮存装置S2及该第三回收贮存装置S3，亦可就前述的第一回收步骤A1、第二回收步骤A2以及第三回收步骤A3分别同时进行回收而再依序清洗使用，其时间序可以同时或依序为之，更可视情况增设更多组的回收贮存装置S，以利小量多样化的需求，且免除使用新液生产预估片数面板时所产生的初期回收光阻液，并让回收系统内的光阻液的比例及黏稠度达到可正常作业的稳定程度步骤，由此达到一种能够提升光阻回收系统的使用效率、整体稼动率及降低制造成本的光阻回收系统的目的。

Claims (8)

1.一种一对多光阻回收系统，供以与一机台连通，包括：

一多向连通控制器，与该机台连通，该多向连通控制器用以控制光阻液的流向；

复数回收桶，与该多向连通控制器连通，各该回收桶与该多向连通控制器之间具分别有一回收管路，该回收桶用以置放回收的光阻液；

一再生桶，与该些回收桶连通，该再生桶与各该回收桶之间分别具有一再生管路，该再生桶供用以接收回收的光阻液，并将其调整至理想黏度；

一稀释桶，与该再生桶连通， 该稀释桶与该再生桶之间具有一调节清洗管路，该稀释桶用以根据不同光阻需求提供不同稀释液；

一新液桶，与该再生桶连通，该新液桶与该再生桶之间具有一第一新液管路，该新液桶用以根据不同光阻需求提供不同的新光阻液；

其特征在于：

该稀释桶与该多向连通控制器、该些回收桶连通，该稀释桶与该回收桶之间具有一稀释管路，该稀释桶与该多向连通控制器之间具有一回收贮存清洗管路；

一供应桶，与该再生桶、该稀释桶、该新液桶及该机台连通，该供应桶与该稀释桶之间具有一清洗管路、该供应桶与该再生桶之间具有一第一输送管路，该供应桶与该机台间具有一第二输送管路，该供应桶与该新液桶之间具有一第二新液管路，该供应桶主要用以供应回收光阻至该机台；以及

一废液桶，与该多向连通控制器、该些回收桶、该再生桶及该供应桶连通，该废液桶与各该回收桶之间分别具有一排放管路，该废液桶与该多向连通控制器之间具有一第一废液管路，该废液桶与该再生桶之间具有一第二废液管路，该废液桶与该供应桶之间具有一第三废液管路，该废液桶供以接收排放的废光阻液。

2.如权利要求1所述的一对多光阻回收系统，其特征在于，其中，该回收桶的数量为三，三个该回收桶分别为一第一回收桶、一第二回收桶、一第三回收桶：

该第一回收桶与该多向连通控制器之间的回收管路为一第一回收管路，该第一回收桶与该再生桶之间的再生管路为一第一再生管路，该第一回收桶与该稀释桶之间的稀释管路为一第一稀释管路，该第一回收桶与该废液桶之间的排放管路为一第一排放管路；

该第二回收桶与该多向连通控制器之间的回收管路为一第二回收管路，该第二回收桶与该再生桶之间的再生管路为一第二再生管路，该第二回收桶与该稀释桶之间的稀释管路为一第二稀释管路，该第二回收桶与该废液桶之间的排放管路为一第二排放管路；

该第三回收桶与该多向连通控制器之间的回收管路为一第三回收管路，该第三回收桶与该再生桶之间的再生管路为一第三再生管路，该第三回收桶与该稀释桶之间的稀释管路为一第三稀释管路，该第三回收桶与该废液桶之间的排放管路为一第三排放管路。

3.如权利要求1或2所述的一对多光阻回收系统，其特征在于，其中，另包括一气体供应系统及一泄压系统，与该些回收桶、该再生桶、该稀释桶、该新液桶及该供应桶连通，该气体供应系统用以提供气体以对该些回收桶、该再生桶、该稀释桶、该新液桶及该供应桶进行风干作业，该泄压系统与该些回收桶、该再生桶、该稀释桶、该新液桶及该供应桶连通，该泄压系统用以将该些回收桶、该再生桶、该稀释桶、该新液桶及该供应桶内多余的气体排出。

4.如权利要求1或2所述的一对多光阻回收系统，其特征在于，其中，另包括复数泵浦，在该调节清洗管路、该第一输送管路、该第二输送管路分别设置一个该泵浦。

5.如权利要求3所述的一对多光阻回收系统，其特征在于，其中，另包括复数单向筏，在该些再生管路、该些稀释管路、该些排放管路、该回收贮存清洗管路、该调节清洗管路、该第一新液管路、第一输送管路、清洗管路、该第二新液管路、该第二输送管路、第一废液管路、该第二废液管路、第三废液管路、该泄压系统与该些回收桶之间、该泄压系统与该稀释桶之间、该泄压系统与该再生桶之间、该泄压系统与该新液桶之间、该泄压系统与该供应桶之间、该气体供应系统与各该回收桶之间、该气体供应系统与该稀释桶之间、该气体供应系统与该再生桶之间、该气体供应系统与该新液桶之间、该气体供应系统与该供应桶之间分别设置一个该单向筏。

6.如权利要求3所述的一对多光阻回收系统，其特征在于，其中，该第一回收桶、该第一回收管路、该第一再生管路、该第一稀释管路及该第一排放管路合称为一第一回收贮存装置；该第二回收桶、该第二回收管路、该第二再生管路、该第二稀释管路，该第二排放管路合称为一第二回收贮存装置；该第三回收桶、该第三回收管路、该第三再生管路、该第三稀释管路，该第三排放管路合称为一第三回收贮存装置。

7.一种如权利要求6所述的一对多光阻回收系统的控制方法，其特征在于，包括：

第一回收步骤，回收第一种光阻液至该第一回收桶储放，再将第一种回收光阻液自第一回收桶输送至再生桶，由稀释桶释出与第一种光阻液对应的稀释光阻液至再生桶，由新液桶释出与第一种光阻液对应的新光阻液至再生桶，并于再生桶内将第一种回收光阻液、新光阻液、稀释光阻进行第一次液混和并将其调整至理想黏度，再将调整黏度后的光阻液输送至供应桶以供机台使用；

局部清洗步骤，欲生产不同面板而利用不同光阻液前，先将稀释液自稀释桶输出至多向连通控制器、供应桶、再生桶、新液桶、调节清洗管路、清洗管路、回收贮存清洗管路、第一新液管路、第二新液管路、第一输送管路及第二输送管路进行清洗，并开启第一废液管路、第二废液管路、第三废液管路，将原本的光阻液去除，废液排至废液桶内，而原先的一部份回收光阻液则留于该第一回收桶中备用；

局部风干步骤，通过气体供应系统提供气体对稀释桶、新液桶、供应桶、再生桶进行风干，再由泄压系统将稀释桶、新液桶、供应桶、再生桶内多余的气体排出；

第二回收步骤，回收第二种光阻液至第二回收桶储放，再将第二种回收

光阻液自第二回收桶输送至再生桶，由稀释桶释出与第二种光阻液对应的稀释液至再生桶，由新液桶释出与第二种光阻液对应的新光阻液，并于再生桶内将第二种回收光阻液、新光阻液、稀释液进行第一次液混和并将其调整至理想黏度，再将调整黏度后的光阻液输送至供应桶以供机台使用；

总清洗步骤，欲关闭该一对多光阻回收系统前，先将稀释液自稀释桶输出至多向连通控制器、再生桶、新液桶、供应桶、调节清洗管路、清洗管路、回收贮存清洗管路、第一新液管路、第二新液管路、第一输送管路及第二输送管路进行清洗，并开启第一废液管路、第二废液管路、第三废液管路，同时清洗该第一回收贮存装置、该第二回收贮存装置及该第三回收贮存装置进行清洗，将原本的光阻液去除，废液排至废液内；以及

总风干步骤，通过气体供应系统提供气体对稀释桶、新液桶、供应桶、再生桶、该第一回收桶、该第二回收桶及该第三回收桶进行风干，再由泄压系统将稀释桶、新液桶、供应桶、再生桶、该第一回收桶、该第二回收桶及该第三回收桶内多余的气体排出。

8.如权利要求7所述的一对多光阻回收系统的控制方法，其特征在于，其中，于该第二回收步骤及该总清洗步骤之间另包括：

局部清洗步骤，欲生产不同面板而利用不同光阻液前，先将稀释液自稀释桶输出至多向连通控制器、供应桶、再生桶、新液桶、调节清洗管路、清洗管路、回收贮存清洗管路、第一新液管路、第二新液管路、第一输送管路以及第二输送管路进行清洗，并开启第一废液管路、第二废液管路、第三废液管路，将原本的光阻液去除，废液排至废液桶内；

局部风干步骤，通过气体供应系统提供气体对稀释桶、新液桶、供应桶、再生桶进行风干，再由泄压系统将稀释桶、新液桶、供应桶、再生桶内多余的气体排出；以及

第三回收步骤，回收第三种光阻液至第三回收桶储放，再将第三种回收光阻液自第三回收桶输送至再生桶，由稀释桶释出与第三种光阻液对应的稀释液至再生桶，由新液桶释出与第三种光阻液对应的新光阻液，并于再生桶内将第三种回收光阻液、新光阻液、稀释液进行第一次液混和并将其调整至理想黏度，再将调整黏度后的光阻液输送至供应桶以供机台使用。

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