CN112329900B - 清洗光阻剂管道的控制方法、装置及计算机可读存储介质 - Google Patents
清洗光阻剂管道的控制方法、装置及计算机可读存储介质 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112329900B CN112329900B CN202011228527.1A CN202011228527A CN112329900B CN 112329900 B CN112329900 B CN 112329900B CN 202011228527 A CN202011228527 A CN 202011228527A CN 112329900 B CN112329900 B CN 112329900B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- photoresist
- cleaning
- information
- identification information
- pipeline
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
- G06K17/00—Methods or arrangements for effecting co-operative working between equipments covered by two or more of main groups G06K1/00 - G06K15/00, e.g. automatic card files incorporating conveying and reading operations
- G06K17/0022—Methods or arrangements for effecting co-operative working between equipments covered by two or more of main groups G06K1/00 - G06K15/00, e.g. automatic card files incorporating conveying and reading operations arrangements or provisious for transferring data to distant stations, e.g. from a sensing device
- G06K17/0029—Methods or arrangements for effecting co-operative working between equipments covered by two or more of main groups G06K1/00 - G06K15/00, e.g. automatic card files incorporating conveying and reading operations arrangements or provisious for transferring data to distant stations, e.g. from a sensing device the arrangement being specially adapted for wireless interrogation of grouped or bundled articles tagged with wireless record carriers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B9/02—Cleaning pipes or tubes or systems of pipes or tubes
- B08B9/027—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages
Abstract
本发明公开了一种清洗光阻剂管道的控制方法、装置及计算机可读存储介质,所述清洗光阻剂管道的控制方法包括:通过检测到光阻剂的上料信息时,获取待上料的光阻剂的第一标识信息;获取上一次使用的光阻剂的第二标识信息;在第一标识信息与第二标识信息不匹配时,清洗光阻剂管道。本发明提高了清洗光阻剂管道的准确率。
Description
技术领域
本发明涉及光阻剂处理领域,尤其涉及一种清洗光阻剂管道的控制方法、装置及计算机可读存储介质。
背景技术
在液晶面板厂CF制程,光阻剂是重要的物料,要做BM-R-G-B等制程要不同的光阻,一个机台,可以使用不同的光阻剂,但是使用不同的光阻剂,机台内的光阻剂管道必须先洗管,如果忘记清洗,光阻剂管道中有残留的光阻剂与新的光阻剂混合,会造成大量的不良品产生,如果新的光阻剂与旧的光阻剂型号一致也对光阻剂管道进行清洗,则会导致资源浪费。目前都是人为的去判断光阻剂管道内残留的旧光阻剂与新光阻剂是否为相同的光阻剂,容易由于人为的判断失误导致忘记洗管。
发明内容
本发明实施例通过提供一种清洗光阻剂管道的控制方法、装置及计算机可读存储介质,旨在解决由于人为的判断失误导致忘记洗管的技术问题。
本发明实施例的第一方面提供一种清洗光阻剂管道的控制方法,所述清洗光阻剂管道的控制方法包括:
检测到光阻剂的上料信息时,获取待上料的光阻剂的第一标识信息;
获取上一次使用的光阻剂的第二标识信息;
在所述第一标识信息与所述第二标识信息不匹配时,清洗光阻剂管道。
在一实施例中,所述获取待上料的光阻剂的第一标识信息的步骤包括:
获取所述待上料的光阻剂的载体上的第一物料编码;
将所述第一物料编码作为所述第一标识信息。
在一实施例中,所述获取所述待上料的光阻剂的载体上的第一物料编码的步骤包括:
获取所述载体的电子标签;
根据所述电子标签确定所述第一物料编码。
在一实施例中,所述获取所述待上料的光阻剂的载体上的第一物料编码的步骤包括:
获取所述载体上的图形码信息;
根据所述图形码信息确定所述第一物料编码。
在一实施例中,所述获取所述待上料的光阻剂的载体上的第一物料编码的步骤包括:
获取所述载体的图像信息;
获取所述图像信息上的文本信息;
识别所述文本信息上的所述第一物料编码。
在一实施例中,所述第二标识信息包括第二物料编码。
在一实施例中,所述获取上一次使用的光阻剂的第二标识信息的步骤之后,还包括:
若所述第一标识信息与所述第二标识信息匹配,生成无需清洗所述光阻剂管道的提示信息。
在一实施例中,所述清洗光阻剂管道的步骤之后,还包括:
将待上料的光阻剂的载体调度到上料位置。
为实现上述目的,本发明提供了一种清洗光阻剂管道的控制装置,所述清洗光阻剂管道的控制装置包括:清洗装置、存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在处理器上运行的计算机程序,所述处理器执行所述计算机程序时实现如上所述的清洗光阻剂管道的控制方法的各个步骤。
为实现上述目的,本发明提供了一种计算机可读存储介质,所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序,所述计算机程序被处理器执行时实现如上所述的清洗光阻剂管道的控制方法的各个步骤。
本发明提供的清洗光阻剂管道的控制方法、装置及计算机可读存储介质,通过检测到光阻剂的上料信息时,获取待上料的光阻剂的第一标识信息;获取上一次使用的光阻剂的第二标识信息;在所述第一标识信息与所述第二标识信息不匹配时,清洗光阻剂管道。由于在使用待上料光阻剂进行上料时,清洗光阻剂管道的控制装置预先检测待上料的光阻剂和上一次使用的光阻剂是否匹配以确定是否需要洗管,可避免由于人为的判断失误导致忘记洗管的问题,提高了清洗光阻剂管道的准确率。
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
附图说明
图1为本发明实施例涉及的清洗光阻剂管道的控制装置的硬件架构示意图;
图2为本发明清洗光阻剂管道的控制方法第一实施例的流程示意图;
图3为本发明清洗光阻剂管道的控制方法第二实施例的流程示意图;
图4为本发明清洗光阻剂管道的控制方法第三实施例的步骤S11的细化流程示意图;
图5为本发明清洗光阻剂管道的控制方法第四实施例的步骤S11的细化流程示意图;
图6为本发明清洗光阻剂管道的控制方法第五实施例的步骤S11的细化流程示意图;
图7为本发明清洗光阻剂管道的控制方法第六实施例的流程示意图;
图8为本发明清洗光阻剂管道的控制方法第七实施例的流程示意图。
具体实施方式
为了更好的理解上述技术方案,下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例,然而应当理解,可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反,提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开,并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。
本发明的主要解决方案是:通过检测到光阻剂的上料信息时,获取待上料的光阻剂的第一标识信息;获取上一次使用的光阻剂的第二标识信息;在所述第一标识信息与所述第二标识信息不匹配时,清洗光阻剂管道。
由于在使用待上料光阻剂进行上料时,清洗光阻剂管道的控制装置预先检测待上料的光阻剂和上一次使用的光阻剂是否匹配以确定是否需要洗管,可避免由于人为的判断失误导致忘记洗管的问题,提高了清洗光阻剂管道的准确率。
参照图1,图1为本发明实施例涉及的清洗光阻剂管道的控制装置的硬件架构示意图。
本发明实施例方案涉及的是控制器,控制器包括:处理器101,例如CPU,存储器102,通信总线103,清洗装置104。其中,通信总线103用于实现这些组件之间的连接通信,清洗装置104用于清洗光阻剂管道。
存储器102可以是高速RAM存储器,也可以是稳定的存储器(non-volatilememory),例如磁盘存储器。如图1所述,作为一种计算机存储介质的存储器103中可以包括检测程序;而处理器101可以用于调用存储器102中存储的检测程序,并执行以下操作:
检测到光阻剂的上料信息时,获取待上料的光阻剂的第一标识信息;
获取上一次使用的光阻剂的第二标识信息;
在所述第一标识信息与所述第二标识信息不匹配时,清洗光阻剂管道。
在一实施例中,处理器101可以用于调用存储器102中存储的检测程序,并执行以下操作:
获取所述待上料的光阻剂的载体上的第一物料编码;
将所述第一物料编码作为所述第一标识信息。
在一实施例中,处理器101可以用于调用存储器102中存储的检测程序,并执行以下操作:
获取所述载体的电子标签;
根据所述电子标签确定所述第一物料编码。
在一实施例中,处理器101可以用于调用存储器102中存储的检测程序,并执行以下操作:
获取所述载体上的图形码信息;
根据所述图形码信息确定所述第一物料编码。
在一实施例中,处理器101可以用于调用存储器102中存储的检测程序,并执行以下操作:
获取所述载体的图像信息;
获取所述图像信息上的文本信息;
识别所述文本信息上的所述第一物料编码。
在一实施例中,处理器101可以用于调用存储器102中存储的检测程序,并执行以下操作:
定义所述第二标识信息包括第二物料编码。
在一实施例中,处理器101可以用于调用存储器102中存储的检测程序,并执行以下操作:
若所述第一标识信息与所述第二标识信息匹配,生成无需清洗所述光阻剂管道的提示信息。
在本实施例提供的技术方案中,通过检测到光阻剂的上料信息时,获取待上料的光阻剂的第一标识信息;获取上一次使用的光阻剂的第二标识信息;在所述第一标识信息与所述第二标识信息不匹配时,清洗光阻剂管道。由于在使用待上料光阻剂进行上料时,清洗光阻剂管道的控制装置预先检测待上料的光阻剂和上一次使用的光阻剂是否匹配以确定是否需要洗管,可避免由于人为的判断失误导致忘记洗管的问题,提高了清洗光阻剂管道的准确率。
为了更好的理解上述技术方案,下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。
参照图2,图2为本发明清洗光阻剂管道的控制方法的第一实施例,所述清洗光阻剂管道的控制方法包括以下步骤:
步骤S10,检测到光阻剂的上料信息时,获取待上料的光阻剂的第一标识信息。
在液晶面板厂CF制程,光阻剂是重要的物料,要做BM-R-G-B等制程要不同的光阻,一个黄光机台,可以使用不同的光阻剂,但是使用不同的光阻剂,机台内输送光阻的管路必须先洗管,如果忘记洗管,只管路中有残留的光阻剂与新的光阻剂混合,会造成大量的不良品产生。目前作业由人员去判断是否为相同的光阻剂,若不同人员要执行停线洗管作业,但是常常发生人员忘记洗管,造成大量的异常货。
在本实施例中,上述上料信息来源于对光阻剂的检测及获取,具体的,看了通过光阻剂的载体上获取,例如光阻筒;在上述光阻剂的载体上一般可以提取到上述上料信息,例如载体上的光阻剂组成成分、电子标签和图形码信息。对上述上料信息进行数据处理,可整合为上述第一标识信息,例如:包括但不限于表征上料信息的数据块、二进制数据。
步骤S20,获取上一次使用的光阻剂的第二标识信息。
在本实施例中,上述第二标识信息来源于对上一次使用的光阻剂的数据的获取,可选的,上述第二标识信息来源于预先存储的数据信息,上述预先存储的数据信息可以是每次上料时统计在关系数据库中的,与上一次使用的光阻剂为映射关系,例如:在上述第一标识信息的获取阶段既可存储,则在第一标识信息对应的光阻剂使用完时,又有新的待上料的光阻剂时,上述第一标识信息可作为上述第二标识信息,容易理解的是,新的待上料的光阻剂对应的标志信息则成为第一标识信息。
步骤S30,在所述第一标识信息与所述第二标识信息不匹配时,清洗光阻剂管道。
在本实施例中,当上述第一标识信息与上第二标识信息不匹配时,则认定不可直接将上述第一标识信息对应的光阻剂进行上料,则可洗光阻剂管道,在清洗完成后,可输出光阻剂上料的提示信息。
对于本实施例的技术方案,可选的,在光阻剂管道洗管完成,机台会记录洗管完成(机台洗管完成flag=Y),当第一个光阻筒(光阻剂载体)挂上机台前扫光阻筒上面的卷标(卷标上有光阻筒的物料号码,可理解为标识信息)上传给机台,机台记录,将机台洗管完成flag=N,当下一个光阻筒挂上机台前扫光阻筒上面的卷标(卷标上有光阻筒的物料号码)上传给机台,机台比对上一个光阻筒的物料号码,若相同则挂成功,若不相同则看机台洗管完成flag=Y,则挂成功,机台洗管完成flag=N,则挂不成功。
在本实施例的技术方案中,通过检测到光阻剂的上料信息时,获取待上料的光阻剂的第一标识信息;获取上一次使用的光阻剂的第二标识信息;在所述第一标识信息与所述第二标识信息不匹配时,清洗光阻剂管道。由于在使用待上料光阻剂进行上料时,清洗光阻剂管道的控制装置预先检测待上料的光阻剂和上一次使用的光阻剂是否匹配以确定是否需要洗管,可避免由于人为的判断失误导致忘记洗管的问题,提高了清洗光阻剂管道的准确率。
参照图3,图3为本发明清洗光阻剂管道的控制方法的第三实施例,基于第以或第二实施例,所述步骤S10包括:
步骤S11,获取所述待上料的光阻剂的载体上的第一物料编码。
在本实施例中,上述第一物料编码可理解为光阻剂的身份象征,既不同的光阻剂对应不同的物料编码,进一步的,该编码可以通过简单的数字逻辑关系来区分光阻剂的物料组成,可与电子标签进行绑定,物料编码可作为桥梁,将光阻剂的实际物料与上述电子标签进行数据关联。
步骤S12,将所述第一物料编码作为所述第一标识信息。
可选的,所述第二标识信息包括第二物料编码。
上述第二标识信息包括第二物料编码,可与第一物料编码进行一对一的精准比对。
在本实施例的技术方案中,通过物流编码作为光阻剂的身份象征,可避免针对光阻剂的所有物料的组成成分进行生产标识信息,降低了数据处理量,进而提高了本实施例确定第一标识信息的效率。
参照图4,图4为本发明清洗光阻剂管道的控制方法的第二实施例,基于第一实施例,所述步骤S11包括:
步骤S111,获取所述载体的电子标签。
在本实施例中,上述电子标签可为射频标签、应答器、数据载体;可通过内置于清洗光阻剂管道的控制装置中的扫描装置进行获取,具体的,上述扫描装置可为阅读器,阅读器又称为读出装置、扫描器、读头、通信器、读写器(取决于电子标签是否可以无线改写数据)。电子标签与阅读器之间通过耦合元件实现射频信号的空间(无接触)耦合;在耦合通道内,根据时序关系,实现能量的传递和数据交换。
对于电子标签的获取,本实施例使用了射频识别技术。射频识别技术可识别高速运动物体并可同时识别多个标签,操作快捷方便。
步骤S112,根据所述电子标签确定所述第一物料编码。
在本实施例的技术方案中,通过电子标签与光阻剂进行关联,在获取到电子标签后,即可确定光阻剂的标识信息,操作快捷方便、可靠性高、数据获取速度快,提高了本实施例确定光阻剂标识信息的执行效率。
参照图5,图5为本发明清洗光阻剂管道的控制方法的第四实施例,基于第一至第三任一实施例,所述步骤S11包括:
步骤S113,获取所述载体上的图形码信息。
在本实施例中,上述图形码信息可通过扫描条形码或称条码(barcode)获取,上述图形码信息是将宽度不等的多个黑条和空白,按照一定的编码规则排列,用以表达一组信息的图形标识符。常见的条形码是由反射率相差很大的黑条(简称条)和白条(简称空)排成的平行线图案。条形码可以标出物品的生产国、制造厂家、商品名称、生产日期、图书分类号、邮件起止地点、类别、日期等信息,因而在商品流通、图书管理、邮政管理、银行系统等许多领域都得到了广泛的应用。
步骤S114,根据所述图形码信息确定所述第一物料编码。
在本实施例的技术方案中,通过图形码信息与光阻剂进行关联,在获取到图形码信息后,即可确定光阻剂的标识信息,由于图形码信息使用领域广泛,提高了本实施例清洗光阻剂管道的控制方法的泛用性。
参照图6,图6为本发明清洗光阻剂管道的控制方法的第五实施例,基于第一至第四任一实施例,所述步骤S11包括:
步骤S115,获取所述载体的图像信息。
在本实施例中,可通过图像采集设备获取光阻剂的载体图像。
步骤S116,获取所述图像信息上的文本信息。
在本实施例中,可对上述获取的载体图像进行图像识别以确定图像特征值,根据特征提取可获取图像信息上的文本信息。
步骤S117,识别所述文本信息上的所述第一物料编码。
在本实施例中,可通过对获取的文本信息进行文本识别,以获取上述物料编码。
在本实施例中,通过对光阻剂载体的图像信息进行识别,以确定其携带的物料编码,仅通过计算机处理器和软件程序对采集的图像进行处理即可实现,提高了本实施例清洗光阻剂管道的控制方法试行的智能化程度。
参照图7,图7为本发明清洗光阻剂管道的控制方法的第六实施例,基于第一至第五任一实施例,所述步骤S20之后,还包括:
步骤S40,若所述第一标识信息与所述第二标识信息匹配,生成无需清洗所述光阻剂管道的提示信息。
在本实施例的技术方案中,在确定待上料的光阻剂与上一次使用的光阻剂的匹配情况后,可生成提示信息使得管理人员对该操作知情,避免管理人员在不知道清洗光阻剂管道的控制装置已经对光阻剂管道进行清洗的情况下重复清洗,或者在不用清洗光阻剂管道的情况下,管理人员也进行清洗,提高了用户体验。
参照图8,图8为本发明清洗光阻剂管道的控制方法的第七实施例,基于第一至第六任一实施例,所述步骤S30之后,还包括:
步骤S50,将待上料的光阻剂的载体调度到上料位置。
在本实施例的技术方案中,可通过清洗光阻剂管道的控制装置控制调度装置将待上料的光阻剂的载体调度到上料位置,无需人为进行操作;可选的,也可通过清洗光阻剂管道的控制装置控制现有的调度装置实现上述步骤,进一步,由于机器的精准度较高,且时间把控比人精准,提高了本实施例对光阻剂进行上料的稳定性。
为实现上述目的,本发明提供了一种清洗光阻剂管道的控制装置,所述清洗光阻剂管道的控制装置包括:清洗装置、存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在处理器上运行的计算机程序,所述处理器执行所述计算机程序时实现如上所述的清洗光阻剂管道的控制方法的各个步骤。
为实现上述目的,本发明提供了一种计算机可读存储介质,所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序,所述计算机程序被处理器执行时实现如上所述的清洗光阻剂管道的控制方法的各个步骤。
本领域内的技术人员应明白,本发明的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此,本发明可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且,本发明可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。
本发明是参照根据本发明实施例的方法、设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器,使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。
这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中,使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品,该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。
这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上,使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理,从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。
应当注意的是,在权利要求中,不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的部件或步骤。位于部件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的部件。本发明可以借助于包括有若干不同部件的硬件以及借助于适当编程的计算机来实现。在列举了若干装置的单元权利要求中,这些装置中的若干个可以是通过同一个硬件项来具体体现。单词第一、第二、以及第三等的使用不表示任何顺序。可将这些单词解释为名称。
尽管已描述了本发明的优选实施例,但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念,则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以,所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。
显然,本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样,倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (3)
1.一种清洗光阻剂管道的控制方法,其特征在于,所述清洗光阻剂管道的控制方法包括:
检测到光阻剂的上料信息时,获取所述上料信息中的文本信息,所述文本信息包括光阻剂组成成分,所述上料信息通过在所述光阻剂的载体检测得到,其中,所述获取所述上料信息中的文本信息包括获取所述载体的图像信息,获取所述图像信息上的文本信息;
识别所述文本信息对应的第一物料编码;
将所述第一物料编码作为第一标识信息;
获取上一次使用的光阻剂的第二标识信息,所述第二标识信息包括第二物料编码;
在所述第一标识信息与所述第二标识信息不匹配时,清洗光阻剂管道;
在清洗完成后,输出光阻剂上料的提示信息,并将待上料的光阻剂的载体调度到上料位置;
若所述第一标识信息与所述第二标识信息匹配,生成无需清洗所述光阻剂管道的提示信息,并将待上料的光阻剂的载体调度到上料位置。
2.一种清洗光阻剂管道的控制装置,其特征在于,所述清洗光阻剂管道的控制装置包括:清洗装置、存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在处理器上运行的计算机程序,所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1所述的清洗光阻剂管道的控制方法的步骤。
3.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序,所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1所述的清洗光阻剂管道的控制方法的步骤。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202011228527.1A CN112329900B (zh) | 2020-11-05 | 2020-11-05 | 清洗光阻剂管道的控制方法、装置及计算机可读存储介质 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202011228527.1A CN112329900B (zh) | 2020-11-05 | 2020-11-05 | 清洗光阻剂管道的控制方法、装置及计算机可读存储介质 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN112329900A CN112329900A (zh) | 2021-02-05 |
CN112329900B true CN112329900B (zh) | 2022-01-07 |
Family
ID=74316188
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202011228527.1A Active CN112329900B (zh) | 2020-11-05 | 2020-11-05 | 清洗光阻剂管道的控制方法、装置及计算机可读存储介质 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN112329900B (zh) |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100578558B1 (ko) * | 2004-01-07 | 2006-05-12 | 세메스 주식회사 | 슬릿노즐 세정 장치 및 슬릿노즐 처리 장치 |
CN205334053U (zh) * | 2016-02-01 | 2016-06-22 | 北京京东方显示技术有限公司 | 一种光刻胶供给装置和光刻胶涂布系统 |
CN107300837A (zh) * | 2016-04-14 | 2017-10-27 | 锋霈环境科技股份有限公司 | 一对多光阻回收系统及其控制方法 |
CN207981792U (zh) * | 2018-01-03 | 2018-10-19 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 吸管清洗装置 |
CN108987251A (zh) * | 2017-05-31 | 2018-12-11 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 半导体制程的方法 |
CN109583526A (zh) * | 2018-10-26 | 2019-04-05 | 南通深南电路有限公司 | Pcb板的二维码应用方法、装置及存储介质 |
CN110241548A (zh) * | 2018-03-08 | 2019-09-17 | 青岛海尔洗衣机有限公司 | 衣物处理剂投放控制方法和衣物处理设备 |
CN110652751A (zh) * | 2018-06-29 | 2020-01-07 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 光阻剂分配系统及光阻剂的回收方法 |
CN111476109A (zh) * | 2020-03-18 | 2020-07-31 | 深圳中兴网信科技有限公司 | 票据处理方法、票据处理装置和计算机可读存储介质 |
CN111523833A (zh) * | 2019-11-15 | 2020-08-11 | 深圳市海洋王照明工程有限公司 | 工具点检方法、装置、计算机设备和存储介质 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110032503A (zh) * | 2018-11-05 | 2019-07-19 | 阿里巴巴集团控股有限公司 | 基于ui自动化和ocr的数据处理系统、方法、设备和装置 |
CN110473426A (zh) * | 2019-08-20 | 2019-11-19 | 北京精英路通科技有限公司 | 停车管理方法、装置、计算机设备及存储介质 |
CN110853180B (zh) * | 2019-10-21 | 2021-11-09 | 中国第一汽车股份有限公司 | 一种识别交通标志牌发生变化的行车记录方法及系统 |
-
2020
- 2020-11-05 CN CN202011228527.1A patent/CN112329900B/zh active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100578558B1 (ko) * | 2004-01-07 | 2006-05-12 | 세메스 주식회사 | 슬릿노즐 세정 장치 및 슬릿노즐 처리 장치 |
CN205334053U (zh) * | 2016-02-01 | 2016-06-22 | 北京京东方显示技术有限公司 | 一种光刻胶供给装置和光刻胶涂布系统 |
CN107300837A (zh) * | 2016-04-14 | 2017-10-27 | 锋霈环境科技股份有限公司 | 一对多光阻回收系统及其控制方法 |
CN108987251A (zh) * | 2017-05-31 | 2018-12-11 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 半导体制程的方法 |
CN207981792U (zh) * | 2018-01-03 | 2018-10-19 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 吸管清洗装置 |
CN110241548A (zh) * | 2018-03-08 | 2019-09-17 | 青岛海尔洗衣机有限公司 | 衣物处理剂投放控制方法和衣物处理设备 |
CN110652751A (zh) * | 2018-06-29 | 2020-01-07 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 光阻剂分配系统及光阻剂的回收方法 |
CN109583526A (zh) * | 2018-10-26 | 2019-04-05 | 南通深南电路有限公司 | Pcb板的二维码应用方法、装置及存储介质 |
CN111523833A (zh) * | 2019-11-15 | 2020-08-11 | 深圳市海洋王照明工程有限公司 | 工具点检方法、装置、计算机设备和存储介质 |
CN111476109A (zh) * | 2020-03-18 | 2020-07-31 | 深圳中兴网信科技有限公司 | 票据处理方法、票据处理装置和计算机可读存储介质 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN112329900A (zh) | 2021-02-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7334729B2 (en) | Apparatus, system, and method for optical verification of product information | |
US7427028B2 (en) | Methods and apparatus for reading bar code identifications | |
US7772964B2 (en) | Systems and methods for automated programming of RFID tags using machine readable indicia | |
US20100005003A1 (en) | Automated dry cleaning assembly system | |
CN104933532A (zh) | 一种基于rfid技术对产品生产进行管理的方法 | |
WO2005106607A1 (ja) | トレーサビリティ管理データ作成方法、トレーサビリティ管理データ作成装置、およびトレーサビリティ管理データ作成プログラム記憶媒体 | |
CN103577961A (zh) | 硬件设备管理系统及其信息的处理、查询方法 | |
CN111126888A (zh) | 一种自动化程度高的仓库管理系统 | |
CN112329900B (zh) | 清洗光阻剂管道的控制方法、装置及计算机可读存储介质 | |
WO2020221693A1 (en) | A cutting tool, system and method for increasing traceability of a cutting edge | |
Thiesse et al. | RFID data sharing in supply chains: What is the value of the EPC network? | |
CN107563689A (zh) | 使用条形码管理系统及方法 | |
WO2006077636A1 (ja) | 商品管理システム、商品管理装置、及び商品管理方法 | |
KR101861304B1 (ko) | Rfid 방식의 휴대용 sku 번호 검출기 및 그 검출방법 | |
CN115138596A (zh) | 一种视觉检测的方法及装置 | |
CN111160330B (zh) | 电子标签识别辅助提升图像识别准确度的训练方法 | |
US6516280B2 (en) | Method and system for electronic recycle inventory tracking | |
CN114371762A (zh) | 一种打印定制标签的方法、装置和存储介质 | |
CN109325380B (zh) | 通过配置实现标签条码自动解析的方法和系统 | |
CN113344493A (zh) | 一种基于物联感知的库房智能盘点方法 | |
JP2010015288A (ja) | ジョブショップ型方式におけるワークの工程管理方法と装置 | |
JP2010117966A (ja) | 購入品発注及び入庫管理システム | |
CN111931878B (zh) | 基于rfid的智能毛衣编织方法及使用此方法的智能毛衣编织系统 | |
CN112184108A (zh) | 工具器管控方法及系统 | |
CN110956422A (zh) | 商品入库的管理方法、装置及系统、可读存储介质 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |