KR20090075313A

KR20090075313A - Inspection apparatus of a probe card and method thereof

Info

Publication number: KR20090075313A
Application number: KR1020080001129A
Authority: KR
Inventors: 임창민; 심상범; 이덕규
Original assignee: 주식회사 에스디에이
Priority date: 2008-01-04
Filing date: 2008-01-04
Publication date: 2009-07-08
Also published as: KR100942064B1

Abstract

An inspection apparatus of a probe card and a method thereof are provided to allow one operator to inspect a probe card accurately and easily by using an open inspection unit and an open inspection controller. A relay switch(SW1-SW2600) makes the connection of a probe and a current measuring unit on/off. A relay control unit makes the connection of the probe of the probe card and the probe on/off through a relay switch control. An open inspection apparatus is connected with a probe of a target and outputs the output from a probe to the input terminal of the current measuring unit. An open inspection controller controls the control of the relay control unit and connects the target with the probe to be measured.

Description

Probe card open inspection device and method for providing same

본 발명은 프로브 카드 오픈검사장치 및 그 제공방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 칩의 주요 검사 장치인 프로브 카드의 각 프로브의 오픈검사가 가능한 프로브 카드 오픈검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a probe card open inspection device and a method of providing the same, and more particularly, to a probe card open inspection device capable of open inspection of each probe of a probe card which is a main inspection device of a semiconductor chip.

프로브 카드(Probe card)는 특정 반도체 제조 공정(FAB)이 완료된 웨이퍼(Wafer) 상에 있는 각각의 칩(Chip)들을 검사하기 위한 것으로, PCB 위에 에폭시(Epoxy)로 고정시킨 니들을 이용하여 각각의 테스트하려는 칩의 패드(Pad)에 접촉시킨 후 테스트 시스템의 전기적 신호를 칩 상에 전달하여 웨이퍼의 양품과 불량품을 구분하는데 사용되는 핵심 장치이다.A probe card is used to inspect each chip on a wafer on which a specific semiconductor fabrication process (FAB) is completed. Each probe card uses an epoxy fixed needle on a PCB. After contacting the pad of the chip to be tested, it transmits the electrical signal of the test system on the chip and is a key device used to distinguish between good and bad wafers.

종래에는 현미경이 준비된 단순한 테이블 위에 프로브 카드를 올려놓은 상태에서 작업자가 검사 위치를 수동적으로 설정해 가면서 검사하게 되므로 정확한 검 사를 실시하지 못하였다.Conventionally, the operator did not perform an accurate test because the operator manually checks the test position while the probe card is placed on a simple table prepared with a microscope.

전술한 문제점을 해결하기 위하여, 검사회로를 이용하여 프로브 카드를 검사하는 기술이 개발되었으나, 오픈검사를 수행함에 있어 다수의 인력이 필요하며, 크로스된 채널을 정확하게 찾아낼 수 없다는 문제점이 있었다. In order to solve the above problems, a technique for inspecting a probe card using an inspection circuit has been developed, but a large number of manpower is required in performing an open inspection, and there is a problem in that the cross-channel cannot be accurately found.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출 된 것으로, 본 발명의 일 실시예는 프로브 카드의 오픈검사장치와 관련된다.The present invention has been made to solve the problems described above, an embodiment of the present invention relates to an open inspection device of the probe card.

상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따르면 프로브 카드 오픈검사장치에 있어서, 프로브 카드의 각 프로브와 전류측정부의 연결을 온/오프 시키는 릴레이 스위치; 주제어부와 오픈검사 제어부의 제어에 따라 상기 릴레이 스위치의 구동을 제어하여 프로브 카드의 프로브와의 접속을 온/오프하는 릴레이 제어부; 사용자의 조작에 따라 측정대상 프로브에 접속되어 측정대상 프로브로부터 출력되는 전류를 입력받아 전류측정부의 전류 입력단자로 출력하는 오픈검사도구; 사용자의 조작에 따라 상기 릴레이 제어부를 제어하여 상기 전류측정부의 기준전압 출력단자와 측정대상 프로브를 연결시키는 오픈검사 제어부; 상기 릴레이 스위치를 통해 기준전압 출력단자가 프로브 카드의 각 프로브에 접속되며, 상기 릴레이 스위치를 통해 연결된 측정대상 프로브에 기준전압을 출력하고, 상기 오픈검사도구를 통해 연결된 측정대상 프로브로부터 출력되어 전류 입력단자로 입력되는 전류를 측정하여 주제어부로 출력하는 전류측정부; 및 사용자의 입력에 따라 검사대상 프로브 카드 데이터를 로드하고, 검사설정값을 입력받아 상기 프로브 카드 데이터와 상기 오픈검사 제어부의 조작에 따라 상기 릴레이 스위치, 상 기 릴레이 제어부 및 상기 전류측정부를 제어하여 프로브 카드의 각 프로브의 오픈여부를 검사하고 측정된 데이터를 출력하는 주제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 오픈검사장치.According to a preferred embodiment of the present invention in order to achieve the object as described above, the probe card open inspection apparatus, comprising: a relay switch for turning on / off the connection of each probe and the current measuring unit of the probe card; A relay controller for controlling the driving of the relay switch under the control of the main controller and the open inspection controller to turn on / off a connection of the probe of the probe card; An open inspection tool connected to the measurement target probe according to a user's operation and receiving current output from the measurement target probe and outputting the current to the current input terminal of the current measurement unit; An open inspection control unit controlling the relay control unit according to a user's operation to connect the reference voltage output terminal of the current measurement unit to a measurement target probe; A reference voltage output terminal is connected to each probe of a probe card through the relay switch, and outputs a reference voltage to a measurement target probe connected through the relay switch, and is output from a measurement target probe connected through the open inspection tool, and a current input terminal. A current measuring unit measuring the current input to the main controller and outputting the main controller; And load the inspection target probe card data according to a user input, receive the inspection setting value, and control the relay switch, the relay control unit, and the current measurement unit according to an operation of the probe card data and the open inspection control unit. Probe card open inspection apparatus characterized in that it comprises a main control unit for checking whether the opening of each probe of the card and output the measured data.

여기서 상술한 프로브 카드 오픈검사장치는 프로브 카드 데이터와 상기 오픈검사 제어부의 조작에 따라 오픈여부 검사시 사용자가 상기 오픈검사도구를 접속시켜야 하는 프로브명을 음성출력하고, 측정대상 프로브의 저항값이 유효저항값 이내인 경우 효과음을 출력하는 음성출력부를 더 포함할 수 있다.Herein, the probe card open test apparatus described above outputs a voice name of the probe to which the user needs to connect the open test tool when the probe card data and the open test controller are operated, and the resistance value of the probe to be measured is valid. If it is within the resistance value may further include a voice output unit for outputting the effect sound.

또한, 상술한 오픈검사 제어부는 오픈검사 중 사용자의 조작에 따라 상기 오픈검사도구와 접속된 프로브 번호를 스캔하기 위한 스캔제어신호를 출력하는 스캔버튼을 더 포함하고, 상기 프로브 카드 오픈검사장치는 상기 릴레이 스위치를 통해 프로브 카드의 각 프로브에 신호입력단자가 일 대 일로 접속되며, 상기 오픈검사도구를 통해 연결된 프로브로 기준전압을 출력한 후 상기 신호입력단자를 통해 입력되는 전류을 이용해 현재 접속된 프로브 번호를 판단하여 출력하는 테스트 로직 회로부를 더 포함하며, 상기 주제어부는 상기 오픈검사 제어부로부터 스캔제어신호가 입력되는 경우 상기 테스트 로직 회로부를 구동하여 현재 접속된 프로브 번호를 판단하여 출력하도록 구성될 수 있다.The above-described open inspection control unit may further include a scan button for outputting a scan control signal for scanning the probe number connected to the open inspection tool according to a user's operation during the open inspection, and the probe card open inspection apparatus may include: Signal input terminals are connected one-to-one to each probe of the probe card through a relay switch, and the probe number currently connected by using the current input through the signal input terminal after outputting a reference voltage to the probe connected through the open test tool. The controller may further include a test logic circuit unit configured to determine and output a test logic circuit, wherein the main controller may be configured to drive the test logic circuit unit to determine and output a currently connected probe number when a scan control signal is input from the open check controller.

또한, 상술한 주제어부는, 맥주소, 하드디스크 정보, CPU 아이디를 포함하는 인증정보를 이용하여 시스템의 인증여부를 판단하고, 인증된 시스템인 경우 인증정보에 포함된 채널수, 평탄도 옵션정보를 변수로 설정하며, 인증에 실패하는 경우 프로그램을 종료하는 시스템 인증모듈; 상기 인증정보에 포함된 채널변수를 로드하 고, 저장된 채널변수가 5200 채널인 경우 확장채널의 사용을 허가하고, 저장된 채널변수가 2600 채널인 경우 확장채널의 사용을 금지하는 채널데이터 로드모듈; 사용자의 입력에 따라 특정 마더보드의 정보를 입력받고, 상기 마더보드가 2600 채널을 초과하는 채널을 사용하는 경우 확장채널로 맵핑하여 마더보드의 정보를 데이터베이스에 등록/수정하며, 상기 마더보드가 2600 채널 이하의 채널을 사용하는 경우 일반채널로 맵핑하여 마더보드의 정보를 데이터베이스에 등록/수정하는 마더보드 데이터 생성모듈; 사용자의 입력에 따라 등록/수정하고자 하는 프로브 카드에 대응되는 특정 마더보드 정보를 상기 데이터베이스로부터 로드하고, 사용자의 입력에 따라 프로브 카드 데이터를 입력받아 상기 마더보드 정보를 참조하여 채널맵핑을 수행한 후, 사용자의 입력에 따라 검사 파라메터 정보를 입력받아 상기 프로브 카드 데이터, 채널맵핑 정보와 함께 프로브 카드 데이터로 데이터베이스에 등록/수정하는 프로브 카드 데이터 생성모듈; 및 사용자의 입력에 따라 검사대상 프로브 카드 데이터를 로드하고, 검사설정값을 입력받아 상기 프로브 카드 데이터와 상기 오픈검사 제어부의 조작에 따라 상기 릴레이 스위치, 상기 릴레이 제어부 및 상기 전류측정부를 제어하여 프로브 카드의 각 프로브의 오픈여부를 검사하고 측정된 데이터를 출력하는 오픈검사모듈을 포함하며, 상기 프로브 카드 오픈검사장치는 상기 인증정보, 상기 마더보드 정보, 상기 프로브 카드 데이터를 구조화하여 저장하는 데이터베이스를 포함하도록 구성될 수 있다.The main control unit may determine whether the system is authenticated using authentication information including a beer cow, hard disk information, and a CPU ID, and in the case of an authenticated system, determine the number of channels and flatness option information included in the authentication information. A system authentication module that sets a variable and terminates the program if authentication fails; A channel data load module for loading a channel variable included in the authentication information, permitting use of an extended channel when the stored channel variable is 5200 channels, and prohibiting use of the extended channel when the stored channel variable is 2600 channels; Receives information on a specific motherboard according to the user's input, registers / modifies the information of the motherboard in a database by mapping to an extended channel when the motherboard uses a channel exceeding 2600 channels, and the motherboard 2600 Motherboard data generation module for registering / modifying the information of the motherboard in the database by mapping to a general channel when using a channel less than the channel; Load specific motherboard information corresponding to the probe card to be registered / modified according to the user's input from the database, receive probe card data according to the user's input, and perform channel mapping with reference to the motherboard information. A probe card data generation module that receives inspection parameter information according to a user input and registers / modifies the database as probe card data along with the probe card data and channel mapping information; And load the inspection target probe card data according to a user input, receive the inspection setting value, and control the relay switch, the relay control unit, and the current measurement unit according to an operation of the probe card data and the open inspection control unit. And an open inspection module for inspecting whether each probe is open and outputting the measured data, wherein the probe card open inspection apparatus includes a database for structuring and storing the authentication information, the motherboard information, and the probe card data. It can be configured to.

한편, 상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 다른 바람직한 일 실시예에 따르면, 프로브 카드 오픈검사방법에 있어서, (a) 마더보드의 정보를 입력받고, 마더보드가 2600 채널을 초과하는 채널을 사용하는 경우 확장채널로 맵핑하여 마더보드의 정보를 데이터베이스에 등록하며, 마더보드가 2600 채널 이하의 채널을 사용하는 경우 일반채널로 맵핑하여 마더보드의 정보를 데이터베이스에 등록하는 단계; (b) 등록하고자 하는 프로브 카드에 대응되는 마더보드 데이터를 로드하고, 프로브 카드 데이터를 입력한 후 상기 마더보드 데이터를 참조하여 맵핑 데이터를 생성하며, 검사 파라메터를 입력한 후 상기 프로브 카드 데이터, 맵핑 데이터 및 검사 파라메터를 이용해 프로브 카드 데이터를 데이터베이스에 등록하는 단계; 및 (c) 사용자가 오픈검사를 선택하는 경우, 검사대상 프로브 카드 데이터를 로드하고 사용자의 검사설정값을 입력받아 저장하며, 사용자의 조작에 따라 오픈검사도구를 측정대상 프로브에 접속시키고, 릴레이 스위치를 통해 전류측정부의 기준전압 출력단자와 측정대상 채널을 연결시킨 후, 측정대상 채널에 기준전압을 출력하여 측정대상 채널로부터 상기 오픈검사도구를 통해 전류측정부의 전류 입력단자로 입력되는 전류를 이용해 측정대상 채널의 오픈여부를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 프로브 카드 오픈검사방법이 제공된다.On the other hand, according to another preferred embodiment of the present invention in order to achieve the above object, in the probe card open inspection method, (a) receiving the information of the motherboard, the motherboard channel more than 2600 channels Registering the information of the motherboard in a database by mapping to an expansion channel, and registering the information of the motherboard in a database by mapping to a general channel when the motherboard uses a channel of 2600 channels or less; (b) load motherboard data corresponding to the probe card to be registered, input probe card data, generate mapping data by referring to the motherboard data, input inspection parameters, and then insert the probe card data and mapping Registering probe card data in the database using the data and inspection parameters; And (c) when the user selects the open test, loads the test target probe card data, receives and stores the test set value of the user, connects the open test tool to the probe to be measured according to the user's operation, and relay switch. Connect the reference voltage output terminal of the current measuring unit to the measurement target channel, and then output the reference voltage to the measurement target channel and measure using the current input from the measurement target channel to the current input terminal of the current measurement unit through the open test tool. A probe card open inspection method is provided, comprising determining whether a target channel is open.

여기서, 상술한 (c) 단계는, (c1) 사용자가 오픈검사를 선택하는 경우 측정대상 프로브 카드 데이터를 로드하는 단계; (c2) 검사유효 저항값, 검사속도, 음성멘트 재성을 설정하는 단계; (c3) 측정대상 채널명을 음성출력한 후, 사용자의 조작에 따라 오픈검사도구를 측정대상 프로브에 접속시키고, 릴레이 스위치를 통해 전류측정부의 기준전압 출력단자와 측정대상 채널을 연결시키는 단계; (c4) 측정대상 채널에 기준전압을 출력하고, 측정대상 채널로부터 상기 오픈검사도구를 통해 전류측정부의 전류 입력단자로 입력되는 전류를 이용해 측정대상 채널의 오픈여부를 판단하는 단계; (c5) 상기 (c4) 단계에서 측정대상 채널의 저항값이 유효저항값 이내인 경우(오픈되지 않은 경우) 측정대상 채널을 변경한 후 상기 (c3) 단계로 돌아가며, 측정대상 채널의 저항값이 유효저항값 이상인 경우(오픈된 경우) 오픈검사 제어부로부터 출력되는 제어신호를 입력받는 단계; (c6) 상기 오픈검사 제어부로부터 다음채널 또는 이전채널 검사제어신호가 출력되는 경우 검사제어신호에 따라 측정대상 채널을 변경한 후 상기 (c3) 단계로 돌아가며, 별도의 제어신호가 출력되지 않는 경우 상기 (c4) 단계로 돌아가 측정대상 채널의 오픈여부를 다시 판단하는 단계; 및 (c7) 검사종료여부를 판단하여 검사가 종료되지 않은 경우 상기 (c4) 단계로 돌아가며, 검사가 종료된 경우 검사과정을 종료하는 단계를 더 포함하도록 구성될 수 있다.Here, step (c) described above may include: (c1) loading the measurement target probe card data when the user selects the open inspection; (c2) setting a test valid resistance value, a test speed, and a voice cement property; (c3) after outputting the channel name of the measurement object, connecting the open test tool to the measurement object probe according to a user's operation, and connecting the reference voltage output terminal of the current measurement unit to the measurement object channel through a relay switch; (c4) outputting a reference voltage to the measurement target channel and determining whether the measurement target channel is open by using a current input from the measurement target channel to the current input terminal of the current measurement unit through the open inspection tool; (c5) If the resistance value of the channel to be measured in step (c4) is within the effective resistance value (not open), after changing the channel to be measured, the process returns to step (c3) and the resistance value of the channel to be measured is Receiving a control signal output from an open inspection controller when the resistance is greater than or equal to the effective resistance value; (c6) When the next channel or the previous channel test control signal is output from the open test controller, after changing the measurement target channel according to the test control signal, the process returns to step (c3), and when no separate control signal is outputted, returning to step (c4), determining whether the measurement target channel is opened; And (c7) returning to the step (c4) when the test is not finished by determining whether the test is completed, and ending the test process when the test is terminated.

또한, 상술한 (c6) 단계는 상기 오픈검사 제어부로부터 스캔제어신호가 출력되는 경우, 상기 오픈검사도구를 통해 연결된 측정대상 프로브로 기준전압을 출력한 후 테스트 로직 회로부의 신호입력단자로 입력되는 전류을 이용해 현재 접속된 프로브의 채널번호를 판단하여 출력/저장한 후, 다음채널 또는 이전채널 검사제어신호의 출력여부를 판단하도록 구성될 수 있다.In addition, in the step (c6) described above, when a scan control signal is output from the open inspection controller, a reference voltage is output to a measurement target probe connected through the open inspection tool, and then the current input to the signal input terminal of the test logic circuit unit is output. After determining and outputting / saving the channel number of the currently connected probe, it may be configured to determine whether the next channel or previous channel test control signal is output.

상술한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따르면 1명의 사용자가 정확하고 용이하게 프로브 카드의 오픈검사를 수행할 수 있다는 장점이 있다.According to one embodiment of the present invention as described above has the advantage that one user can perform the open test of the probe card accurately and easily.

또한, 본 발명에 따르면, 오픈검사시 간단한 조작으로 크로스된 채널을 확인하여 저장할 수 있다는 장점이 있다.In addition, according to the present invention, there is an advantage that the cross-channel can be checked and stored with a simple operation during the open inspection.

먼저, 첨부된 도 1 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 프로브 카드 오픈검사장치의 장치적 구성에 대하여 간략하게 살펴본다.First, the apparatus configuration of the probe card open inspection apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention will be briefly described with reference to FIGS. 1 to 6.

도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드 오픈검사장치를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing a probe card open inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프로브 카드 오픈검사장치(1)는 마더보드가 안착되며 프로브 카드(90)의 평탄도를 측정하는 메인프레임 어셈블리(10)와, 상기 마더보드(80)와 테스터랙(61a)을 연결하는 인터페이스 포고 어셈블리(62)가 수납되는 테스터프레임 어셈블리(60)와, 마더보드(80)에 고정된 프로브 카드(90)를 검사하는 마이크로스코프(73b)와 화면표시수단(72)이 구비된 스코프프레임 어셈블리(70)를 포함한다.Probe card open inspection apparatus 1 according to a preferred embodiment of the present invention is the motherboard is seated and the main frame assembly 10 for measuring the flatness of the probe card 90, the motherboard 80 and the tester rack The tester frame assembly 60, which houses the interface pogo assembly 62 for connecting the 61a, and the microscope 73b for inspecting the probe card 90 fixed to the motherboard 80, and the screen display means 72. ) Is provided with a scope frame assembly (70).

도 2 는 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 메인프레임 어셈블리를 도시한 사시도이고, 도 3 은 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 마더보드 고정부의 하중균형모듈을 도시한 사시도이고, 도 4 는 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 평탄도 측정부를 도시한 사시도이다.FIG. 2 is a perspective view illustrating a mainframe assembly employed in the probe card open inspection apparatus illustrated in FIG. 1, and FIG. 3 is a load balancing module of a motherboard fixing portion employed in the probe card open inspection apparatus illustrated in FIG. 1. 4 is a perspective view showing a flatness measurement unit employed in the probe card open inspection apparatus shown in FIG.

본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 메인프레임 어셈블리(10)는 메인프레 임(20), 마더보드 고정부(30), 평탄도 측정부(40), 진공포트(50)를 구비한다.The mainframe assembly 10 according to the preferred embodiment of the present invention includes a main frame 20, a motherboard fixing part 30, a flatness measuring part 40, and a vacuum port 50.

메인프레임(20)은 도 2에 도시된 바와 같이 바람직하게는 직육면체 형상으로 전면과 측면에는 후술할 테스터프레임 어셈블리(60), 스코프프레임 어셈블리(70)와 연결되는 연결핀(21)이 다수 형성된다. 또한, 그 바닥에는 편리하게 이동되도록 하는 바퀴(22)와 정해진 위치에 고정되도록 하는 고정부재(23)가 다수 결합 된다. 나아가, 그 상측에는 마우스와 키보드가 놓여 지는 작업플레이트(24)가 볼트 결합 되고, 이 작업플레이트(24)의 상측에는 후술할 진공포트(50) 등을 작동하는 조작패널(25)이 고정된다.Main frame 20 is preferably a rectangular parallelepiped shape, as shown in Figure 2 is formed on the front and side of the tester frame assembly 60, the connection frame 21 is connected to the scope frame assembly 70 will be described later . In addition, the bottom of the wheel 22 to be conveniently moved and a plurality of fixing members 23 to be fixed to a predetermined position is coupled. Furthermore, the work plate 24 on which the mouse and the keyboard are placed is bolted to the upper side thereof, and the operation panel 25 for operating the vacuum port 50 and the like, which is described later, is fixed to the upper side of the work plate 24.

마더보드 고정부(30)는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 메인프레임(20)의 상측에 힌지 결합되며 일측에 후크(31a)가 형성되고 중앙 부분에 큰 홀이 형성된 마더보드 고정플레이트(31)와, 상기 마더보드 고정플레이트(31)와 축 연결되어 마더보드 고정플레이트(31)가 부드럽게 180° 회전되도록 하는 하중균형모듈(32)을 구비한다.Motherboard fixing part 30 is hinged to the upper side of the main frame 20, as shown in Figure 2, the hook 31a is formed on one side and the motherboard fixing plate 31 formed with a large hole in the center portion And a load balancing module 32 connected to the motherboard fixing plate 31 so as to rotate the motherboard fixing plate 31 smoothly by 180 °.

상기 하중균형모듈(32)은 도 3에 도시된 바와 같이 마더보드 고정플레이트(31)와 축 연결되는 메인베이스(32a)와, 상기 메인베이스(32a)의 일측에 이동가능하도록 결합 되는 균형추(32b)와, 상기 메인베이스(32a)의 타측에 결합 되어 균형추(32b)를 상하로 이동시키는 균형추 구동모터(32c)와, 상기 메인베이스(32a)에 결합 되어 전원을 온(ON) 시켰을 경우 균형추 구동모터(32c)의 회전 위치를 파악하는 리미트 센서(32d)와 전원을 온/오프(ON/OFF) 시켰을 경우 균형추(32b)의 위치를 파악하는 홈센서(32e)와, 메인베이스(32a)를 스코프프레임(71)에 볼트 고정하도록 하는 브래킷(32f)을 구비한다. 상기 균형추 구동모터(32c)는 바람직하게는 스텝핑 모터를 사용한다.As shown in FIG. 3, the load balancing module 32 has a main base 32a axially connected to the motherboard fixing plate 31 and a balance weight 32b coupled to be movable on one side of the main base 32a. ) And a counterweight drive motor 32c coupled to the other side of the main base 32a to move the counterweight 32b up and down, and counterweight drive when coupled to the main base 32a to turn on the power. The limit sensor 32d which grasps the rotational position of the motor 32c, the home sensor 32e which grasps the position of the counterweight 32b, and the main base 32a when the power source is turned on / off A bracket 32f for bolting to the scope frame 71 is provided. The counterweight drive motor 32c preferably uses a stepping motor.

상기 메인베이스(32a)는 도 3에 도시된 바와 같이 바람직하게는 긴 직육면체 형상으로 일측에는 마더보드 고정플레이트(31)와 축 연결되는 연결로커(32aa)가 볼트 결합되고, 내부에는 리드스크류(32ab)에 의해 상하 이동되는 이동블록(32ac)이 설치되고, 상·하측에는 균형추(32b)를 안내하는 가이드레일(32ad)이 설치된다. 이 메인베이스(32a)의 전·후면에는 이동블록(32ac)과 균형추(32b)가 연결되도록 하는 슬롯(32ae)이 형성된다.The main base 32a is preferably a long rectangular parallelepiped shape as shown in FIG. 3, and a connection rocker 32aa axially connected to the motherboard fixing plate 31 is bolted to one side thereof, and a lead screw 32ab is formed therein. The moving block 32ac which is moved up and down by () is provided, and the guide rail 32ad which guides the counterweight 32b is provided in the upper and lower sides. The front and rear surfaces of the main base 32a are provided with slots 32ae through which the movable block 32ac and the counterweight 32b are connected.

이하에서 하중균형모듈(32)의 작동 원리를 설명한다. 마더보드 고정플레이트(31)는 메인프레임(20)에 힌지 결합 된 상태에서 연결로커(32aa)와 축 연결되어 있고, 연결로커(32aa)는 메인베이스(32a)에 탈착 가능하도록 볼트 결합 되어 있고, 균형추(32b)는 메인베이스(32a)에 결합 되어 있으므로, 균형추(32b)는 지렛대의 원리에 의해 마더보드(80)가 장착된 마더보드 고정플레이트(31,도 7 참조)를 지지한다. 이때, 균형추(32b)는 균형추 구동모터(32c)에 의해 마더보드(80)가 장착된 마더보드 고정플레이트(31)와 동일한 무게를 같도록 특정 위치에 미리 세팅된다.Hereinafter, the operating principle of the load balancing module 32 will be described. The motherboard fixing plate 31 is axially connected to the connecting rocker 32aa in a hinged state to the mainframe 20, the connecting rocker 32aa is bolted to be detachable to the main base 32a, Since the counterweight 32b is coupled to the main base 32a, the counterweight 32b supports the motherboard fixing plate 31 (see FIG. 7) on which the motherboard 80 is mounted by the principle of the lever. At this time, the counterweight 32b is set in advance in a specific position so as to have the same weight as the motherboard fixed plate 31 on which the motherboard 80 is mounted by the counterweight drive motor 32c.

평탄도 측정부(40)는 프로브 카드(90) 탐침의 평탄도를 측정하는 것으로 도 2에 도시된 바와 같이 메인프레임(20)의 중앙 부분에 설치되며 내설 된 볼스크류(41ba)를 갖는 Z축 스테이지(41)와, 상기 Z축 스테이지(41)의 일측에 결합되어 볼스크류(41ba)를 구동하는 볼스크류 구동모터(42)와, 상기 Z축 스테이지(41)에 고정되어 볼스크류 구동모터(42)를 정밀 제어하는 선형 엔코더(43)와, 상기 Z축 스테 이지(41)의 상측에 고정되어 프로브 카드(90)의 탐침 평편도를 측정하는 평탄플레이트부(44)를 구비한다. 상기 볼스크류 구동모터(42)는 바람직하게는 스텝핑 모터를 사용한다.The flatness measuring unit 40 measures the flatness of the probe of the probe card 90 and is installed at the center portion of the main frame 20 as illustrated in FIG. 2 and has a Z-axis having a ball screw 41ba built in. A stage screw, a ball screw drive motor 42 coupled to one side of the Z axis stage 41 to drive a ball screw 41ba, and a ball screw drive motor fixed to the Z axis stage 41 ( A linear encoder 43 for precisely controlling 42 and a flat plate portion 44 fixed to the upper side of the Z-axis stage 41 to measure the probe flatness of the probe card 90 are provided. The ball screw drive motor 42 preferably uses a stepping motor.

상기 Z축 스테이지(41)는 평탄플레이트부(44)를 상하 이동시키는 것으로 메인프레임(20)의 일측에 고정되는 베이스플레이트(41a)와, 볼스크류 구동모터(42)와 볼스크류(41ba)로 연결되어 베이스플레이트(41a) 내에서 전후 이동되는 슬라이딩부(41b)와, 상기 슬라이딩부(41b)와 리니어 베어링에 의해 면 접촉되어 마찰력에 의해 상하 이동되는 피슬라이딩부(41c)로 구성된다.The Z-axis stage 41 moves the flat plate 44 up and down by a base plate 41a fixed to one side of the main frame 20, a ball screw drive motor 42, and a ball screw 41ba. The sliding portion 41b is connected to and moved back and forth within the base plate 41a, and the sliding portion 41c is brought into surface contact with the sliding portion 41b by a linear bearing and vertically moved by frictional force.

상기 평탄플레이트부(44)는 상기 피슬라이딩부(41c)의 상측에 결합 되며 일측에 연결포트(44aa)가 형성된 에폭시공간블록(44a)과, 상기 에폭시공간블록(44a)의 상측에 볼트 고정되며 상측에 연결용 PCB(44ba)가 결합 된 평탄플레이트(44b)로 구성된다.The flat plate portion 44 is coupled to the upper side of the pipe sliding portion 41c and the epoxy space block 44a having a connection port 44aa formed on one side thereof, and bolted to the upper side of the epoxy space block 44a. It consists of a flat plate (44b) coupled to the connection PCB 44ba on the upper side.

이하에서 프로브 카드(90)의 탐침 평탄도 측정 원리를 설명한다. 먼저 후술할 테스터랙(61a)에 프로브 카드의 테이터, 유효 평탄값, 마더보드 높이, 프로브 카드의 높이를 입력한 후 평탄플레이트부(44)를 Z축 스테이지(41)를 이용하여 맨 아래로 이동한다. 다음으로, 평탄플레이트부(44)를 일정 위치로 상향이동한다. 계속해서 상승중에 50k ohm 이하의 저항이 검출되면 탐침이 평탄플레이트(44b)에 닿은 것으로 간주하여 접촉된 탐침의 수를 측정한다. 계속해서 평탄플레이트(44b)를 1μm 상향 이동시킨다. 이때, 평탄플레이트(44b)가 그 거리만큼 이동하면 평탄플레이트(44b)를 맨 아래로 이동시켜 작업을 마무리한다. 마지막으로, 평균 평탄도와 측정데이터를 출력하여 작업을 마무리한다. 만약, 입력된 거리 만큼 이동하지 않으면 접촉한 탐침수를 측정하는 단계로 돌아가서 전술한 측정단계를 반복한다.Hereinafter, the principle of measuring probe flatness of the probe card 90 will be described. First, the data of the probe card, the effective flat value, the motherboard height, and the height of the probe card are input to the tester rack 61a to be described later, and then the flat plate part 44 is moved to the bottom using the Z-axis stage 41. do. Next, the flat plate 44 is moved upward to a predetermined position. If a resistance of 50 k ohm or less is detected during the ascending, the probe is regarded as touching the flat plate 44b and the number of probes in contact is measured. Subsequently, the flat plate 44b is moved upward by 1 m. At this time, when the flat plate 44b moves by that distance, the flat plate 44b is moved to the bottom to finish the work. Finally, the average flatness and measurement data are output to complete the work. If it does not move by the input distance, it returns to the step of measuring the number of probes touched and repeats the aforementioned measuring step.

진공포트(50)는 도 2에 도시된 바와 같이 메인프레임(20)의 일측에 바람직하게는 한 쌍이 이격 형성되며, 진공장치(미도시)에 의해 발생 되는 공압에 의해 마더보드 고정플레이트(31)를 진공 흡착한다.As shown in FIG. 2, a pair of vacuum ports 50 is preferably formed on one side of the main frame 20, and the motherboard fixing plate 31 is formed by pneumatic pressure generated by a vacuum device (not shown). Is vacuum adsorbed.

도 5 는 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 테스터프레임 어셈블리를 도시한 사시도이다.5 is a perspective view illustrating a tester frame assembly employed in the probe card open inspection apparatus shown in FIG. 1.

테스터프레임 어셈블리(60)는 도 5에 도시된 바와 같이 바람직하게는 직육면체 형상이며 내부에 테스터랙(61a,제어부)이 설치되고 상측에 포고어셈블리 수납부(61b)가 형성된 테스터프레임(61)과, 상기 포고어셈블리 수납부(61b)에 수납되며 테스터랙(61a)과 마더보드(80)를 연결하는 인터페이스 포고 어셈블리(62)와, 상기 테스터프레임(61)의 일측에 설치되어 진공장치(미도시)에 의해 발생 되는 공압에 의해 마더보드 고정플레이트(31)를 진공 흡착하는 역진공포트(63)와, 상기 테스터프레임(61)의 상측에 설치되어 마더보드 고정플레이트(31)의 후크(31a)와 맞물리는 역로커(64)를 구비한다.Tester frame assembly 60 is preferably a rectangular parallelepiped shape as shown in Figure 5, the tester rack 61a (control unit) is installed therein and a tester frame 61 having a pogo assembly accommodating portion 61b on the upper side, An interface pogo assembly 62 that is stored in the pogo assembly accommodating portion 61b and connects the tester rack 61a and the motherboard 80, and is installed on one side of the tester frame 61 to install a vacuum device (not shown). Reverse vacuum port 63 for vacuum adsorption of the motherboard fixing plate 31 by the pneumatic pressure generated by the air, and the hook 31a of the motherboard fixing plate 31 are installed above the tester frame 61. An interlocking reverse locker 64 is provided.

상기 테스터프레임(61)의 측면에는 메인프레임(20)의 연결핀(21)과 연결되는 테스터프레임 연결핀(61c)이 다수 형성되고, 그 바닥에는 편리하게 이동되도록 하는 바퀴(61d)와 정해진 위치에 고정되도록 하는 고정부재(61e)가 다수 결합 된다A plurality of tester frame connecting pins 61c are formed on the side of the tester frame 61 and connected to the connecting pins 21 of the main frame 20, and the wheels 61d and the predetermined positions are conveniently positioned on the bottom of the tester frame 61. A plurality of fixing members (61e) to be fixed to the coupled

상기 역로커(64)는 테스터프레임(61)의 상측에 고정되는 역로커몸체(64a)와, 이 역로커몸체(64a)에 탄성 지지 되는 고정후크(64b)로 구성되며, 180° 회전된 마더보드 고정플레이트(31)를 고정되도록 한다.The reverse rocker 64 is composed of a reverse rocker body 64a fixed to the upper side of the tester frame 61, and a fixed hook 64b elastically supported by the reverse rocker body 64a. The board fixing plate 31 is fixed.

도 6 는 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 스코프프레임 어셈블리를 도시한 사시도이다.FIG. 6 is a perspective view illustrating a scope frame assembly employed in the probe card open inspection apparatus illustrated in FIG. 1.

스코프프레임 어셈블리(70)는 도 6에 도시된 바와 같이 바람직하게는 직육면체 형상이며 상측에 형성된 X축 이동레일(71a)과 상기 이동레일에 결합 된 슬라이딩부재(71b)를 갖는 스코프프레임(71)과, 상기 슬라이딩부재(71b)의 일측에 고정되는 화면표시수단(72)과, 상기 슬라이딩부재(71b)의 타측에 고정되는 마이크로스코프부(73)를 구비한다.Scope frame assembly 70 is preferably a rectangular parallelepiped shape, as shown in Figure 6 and the scope frame 71 having an X-axis moving rail (71a) formed on the upper side and a sliding member (71b) coupled to the moving rail; And a screen display means 72 fixed to one side of the sliding member 71b, and a microscope portion 73 fixed to the other side of the sliding member 71b.

상기 스코프프레임(71)의 전면에는 테스터프레임 어셈블리(60)의 연결핀(21)과 연결되는 스코프프레임 연결핀(71c)이 다수 형성되고, 그 바닥에는 편리하게 이동되도록 하는 바퀴(71d)와 정해진 위치에 고정되도록 하는 고정부재(71e)가 다수 결합 된다.A plurality of scope frame connecting pins 71c connected to the connection pins 21 of the tester frame assembly 60 are formed on the front of the scope frame 71, and the wheels 71d and the predetermined to be conveniently moved on the bottom thereof. A plurality of fixing members 71e to be fixed in position are coupled.

상기 마이크로스코프부(73)는 슬라이딩부재(71b)의 하면에 전후 이동가능하도록 고정되는 Y축 이동레일(73a)과, 이 Y축 이동레일(73a)과 스코프 연결부재(73c)에 의해 연결되는 마이크로스코프(73b)로 구성된다. 상기 스코프 연결부재(73c)는 마이크로스코프(73b)가 정해지 위치에 고정되도록 락핸들을 사용하는 것이 바람직하다.The microscope unit 73 is connected to the Y-axis moving rail 73a fixed to the front and rear surfaces of the sliding member 71b by the Y-axis moving rail 73a and the scope connecting member 73c. It consists of the microscope 73b. The scope connecting member 73c preferably uses a lock handle so that the microscope 73b is fixed at a predetermined position.

이하에서는 첨부된 도 7 내지 도 11을 참조하여 상술한 바와 같은 장치적 특징을 가지는 프로브 카드 오픈검사장치의 회로적 구성과 기능 및 프로브 카드 검사방법에 대하여 상세하게 설명하도록 한다. Hereinafter, the circuit configuration and function of the probe card open inspection apparatus having the device features as described above with reference to FIGS. 7 to 11 will be described in detail.

도 7은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 프로브 카드 오픈검사장치의 회로적 구성을 도시한 블록도이다.7 is a block diagram showing the circuit configuration of the probe card open inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 프로브 카드 오픈검사장치(이하 도면부호 '100')은 주제어부(102), 릴레이 제어부(110), 릴레이 스위치(112), 오프검사 제어부(120), 오픈검사도구(122), 음성출력부(124), 전류측정부(130)를 포함할 수 있다. As shown in FIG. 7, the probe card open inspection apparatus (hereinafter referred to as '100') according to the present invention includes a main controller 102, a relay controller 110, a relay switch 112, and an off inspection controller 120. , An open test tool 122, a voice output unit 124, and a current measurement unit 130.

릴레이 스위치(112)는 프로브 카드의 각 프로브와 전류측정부(130)의 연결을 온/오프 시키게 되며, 릴레이 제어부(110)는 주제어부(102)와 오픈검사 제어부(120)의 제어에 따라 릴레이 스위치(112)의 구동을 제어하여 프로브 카드의 프로브와의 접속을 온/오프하게 된다. The relay switch 112 turns on / off the connection between each probe of the probe card and the current measuring unit 130, and the relay controller 110 controls the relays under the control of the main controller 102 and the open inspection controller 120. The drive of the switch 112 is controlled to turn on / off the connection of the probe of the probe card.

오픈검사도구(122)는 오픈검사시 사용자의 조작에 따라 측정대상 프로브에 접속되어 측정대상 프로브로부터 출력되는 전류를 입력받아 전류측정부(130)의 전류 입력단자로 출력하며, 오픈검사 중 핀서치 모드에서는 테스트 로직 회로에 연결되어 출력되는 기준전압을 측정대상 프로브로 출력하게 된다.The open inspection tool 122 is connected to the measurement target probe according to the user's operation during the open inspection, receives the current output from the measurement target probe, and outputs it to the current input terminal of the current measurement unit 130. In the mode, the reference voltage connected to the test logic circuit is output to the probe to be measured.

오프검사 제어부(120)는 다수의 버튼이 구비되어 사용자의 조작에 따른 제어신호를 출력하는 장치로서, 다음채널 또는 이전채널 검사신호를 출력하여 릴레이 제어부를 통해 릴레이 스위치(112)를 제어하여 전류측정부(130)의 기준전압 출력단 자와 측정대상 프로브를 연결시키게 되며, 스캔제어신호를 출력하여 오픈검사 중 핀서치를 수행하도록 한다. The off test control unit 120 is provided with a plurality of buttons to output a control signal according to the user's operation, and outputs the next or previous channel test signal to control the relay switch 112 through the relay control to measure the current The reference voltage output terminal of the unit 130 is connected to the probe to be measured, and the scan control signal is output to perform the pin search during the open inspection.

음성출력부(124)는 프로브 카드 데이터와 오픈검사 제어부의 조작에 따라 오픈여부 검사시 사용자가 오픈검사도구(122)를 접속시켜야 하는 프로브명을 음성출력하고, 측정대상 프로브의 저항값이 유효저항값 이내인 경우 효과음을 출력하게 된다.The voice output unit 124 outputs a voice name of the probe to which the user needs to connect the open test tool 122 during the open / close test according to the operation of the probe card data and the open test control unit, and the resistance value of the probe to be measured is an effective resistance. If it is within the value, the sound is output.

전류측정부(130)는 릴레이 스위치(112)를 통해 기준전압 출력단자가 프로브 카드의 각 프로브에 접속되며, 릴레이 스위치(112)를 통해 연결된 측정대상 프로브에 기준전압을 출력하고, 오픈검사도구(122)를 통해 연결된 측정대상 프로브로부터 출력되어 전류 입력단자로 입력되는 전류를 측정하여 주제어부로 출력하게 된다. The current measuring unit 130 has a reference voltage output terminal connected to each probe of the probe card through the relay switch 112, and outputs a reference voltage to the measurement target probe connected through the relay switch 112, the open inspection tool 122 ) Is output from the measurement target probe connected through) and the current input to the current input terminal is measured and output to the main controller.

주제어부(102)는 사용자의 입력에 따라 검사대상 프로브 카드 데이터를 로드하고, 검사설정값을 입력받아 프로브 카드 데이터와 오픈검사 제어부(120)의 조작에 따라 릴레이 스위치(112), 릴레이 제어부(110) 및 전류측정부(130)를 제어하여 프로브 카드의 각 프로브의 오픈여부를 검사하고 측정된 데이터를 출력하게 된다. The main control unit 102 loads the test target probe card data according to a user's input, receives the test setting value, and relays the switch 112 and the relay control unit 110 according to the operation of the probe card data and the open test control unit 120. ) And the current measuring unit 130 is controlled to check whether each probe of the probe card is open and to output measured data.

한편, 본 발명에 따른 프로브 카드 오픈검사장치(100)는 LCR측정부(150), 테스트 로직 회로부(160), 테스트 척 구동부(170) 및 테스트 척(평탄플레이트부, 이하 '테스트 척'이라 함)(44)을 더 포함하여 프로브 카드 통합검사장치로서 이용될 수 있도록 구성될 수 있다. 통합검사장치로 이용되는 경우 구성각부의 구성 및 기능 간략하게 설명하면 아래와 같다. On the other hand, the probe card open inspection apparatus 100 according to the present invention is the LCR measurement unit 150, the test logic circuit unit 160, the test chuck drive unit 170 and the test chuck (flat plate portion, hereinafter referred to as 'test chuck') It can be configured to be used as a probe card integrated inspection device further comprises a) (44). When used as an integrated inspection device briefly described the configuration and function of each part as follows.

릴레이 스위치(112)는 본 발명에 따른 검사모드에 따라 전류측정부(130)와 프로브 카드(90)의 프로브(채널)의 연결, 또는, 테스트 로직 회로부(160)와 프로브 카드(90)의 프로브(채널)의 연결, 또는 LCR측정부(150)와 프로브 카드(90)의 프로브(채널, 탐침)의 연결을 온/오프하게 된다. 릴레이 제어부(110)는 주제어부(102)의 제어에 따라 릴레이 스위치(112)의 구동을 제어하게 된다. 상술한 바와 같은 릴레이 스위치(112)와 릴레이 제어부(110)는 별개로 구성될 수도 있으며, 하나의 장치로 구현될 수도 있다.The relay switch 112 is connected to the current measuring unit 130 and the probe (channel) of the probe card 90 according to the test mode according to the present invention, or the probe of the test logic circuit unit 160 and the probe card 90. The connection of the (channel) or the connection of the probe (channel, probe) of the LCR measuring unit 150 and the probe card 90 is turned on / off. The relay controller 110 controls the driving of the relay switch 112 under the control of the main controller 102. The relay switch 112 and the relay controller 110 as described above may be configured separately or may be implemented as one device.

전류측정부(130)는 일종의 전류측정장치로서, 기준전압을 생성하여 프로브로 출력하는 기준전압 출력단자와 기준전압 인가에 따라 프로브로부터 출력되는 전류가 입력되는 입력단자가 구비되며, 쇼트검사, 누설전류검사, 오픈검사시 이용된다. The current measuring unit 130 is a kind of current measuring device, and includes a reference voltage output terminal for generating a reference voltage and outputting the probe to a probe, and an input terminal for inputting the current output from the probe according to the application of the reference voltage. Used for current test and open test.

LCR측정부(150)는 캐패시터 측정을 위한 장치로서, 테스트신호를 프로브로 출력하는 출력단자와 출력된 테스트신호가 프로브를 거쳐 귀환되는 입력단자가 구비되어 캐패시터검사시 이용된다.The LCR measuring unit 150 is a device for measuring a capacitor. The LCR measuring unit 150 includes an output terminal for outputting a test signal to a probe and an input terminal for outputting the test signal to the probe through a probe.

테스트 로직 회로부(160)는 기준전압을 생성하여 오픈검사도구(122) 또는 테스트 척(44)을 통해 프로브로 출력하고, 신호입력단자를 통해 기준전압의 인가에 따라 특정 프로브로부터 출력되는 전류를 입력받아 데이터를 처리하는 장치로서, 오픈검사 중 핀서치, 평탄도검사시 이용된다.The test logic circuit unit 160 generates a reference voltage and outputs the reference voltage to the probe through the open test tool 122 or the test chuck 44, and inputs the current output from the specific probe according to the application of the reference voltage through the signal input terminal. Receiving data processing device, it is used for pin search and flatness test during open test.

오픈검사도구(122)는 오픈검사시 사용자의 조작에 따라 측정대상 프로브에 접속되어 측정대상 프로브로부터 출력되는 전류를 입력받아 전류측정부(130)의 전류 입력단자로 출력하며, 오픈검사 중 핀서치 모드에서는 테스트 로직 회로에 연결 되어 출력되는 기준전압을 측정대상 프로브로 출력하게 된다.The open inspection tool 122 is connected to the measurement target probe according to the user's operation during the open inspection, receives the current output from the measurement target probe, and outputs it to the current input terminal of the current measurement unit 130. In this mode, the reference voltage connected to the test logic circuit is output to the probe to be measured.

오프검사 제어부(120)는 다수의 버튼이 구비되어 사용자의 조작에 따른 제어신호를 출력하는 장치로서, 다음채널 또는 이전채널 검사신호를 출력하여 릴레이 제어부를 통해 릴레이 스위치(112)를 제어하여 전류측정부(130)의 기준전압 출력단자와 측정대상 프로브를 연결시키게 되며, 스캔제어신호를 출력하여 오픈검사 중 핀서치를 수행하도록 한다. The off test control unit 120 is provided with a plurality of buttons to output a control signal according to the user's operation, and outputs the next or previous channel test signal to control the relay switch 112 through the relay control to measure the current The reference voltage output terminal of the unit 130 is connected to the probe to be measured, and the scan control signal is output to perform the pin search during the open inspection.

음성출력부(124)는 프로브 카드 데이터와 오픈검사 제어부의 조작에 따라 오픈여부 검사시 사용자가 오픈검사도구(122)를 접속시켜야 하는 프로브명을 음성출력하고, 측정대상 프로브의 저항값이 유효저항값 이내인 경우 효과음을 출력하게 된다. 상술한 오픈검사도구(122), 오프검사 제어부(120) 및 음성출력부(124)는 오픈검사시 이용된다. The voice output unit 124 outputs a voice name of the probe to which the user needs to connect the open test tool 122 during the open / close test according to the operation of the probe card data and the open test control unit, and the resistance value of the probe to be measured is an effective resistance. If it is within the value, the sound is output. The open inspection tool 122, the off inspection control unit 120 and the audio output unit 124 described above are used during the open inspection.

테스트 척(44)은 테스트 로직 회로부(160)의 기준전압 출력단자에 연결되고, 테스트 척 구동부(170)의 제어에 따라 Z축 방향으로 이동되어 적어도 하나 이상의 프로브에 접속되며, 테스트 로직 회로부(160)로부터 입력되는 기준전압을 접속된 프로브로 출력하게 되며, 테스트 척 구동부(170)는 주제어부(평탄도 검사모듈)의 제어에 따라 테스트 척을 Z축 방향으로 이동시키게 된다. 상술한 테스트 척(44)과 테스트 척 구동부(170)는 평탄도검사시 이용된다. The test chuck 44 is connected to the reference voltage output terminal of the test logic circuit unit 160, is moved in the Z-axis direction under the control of the test chuck driver 170, and is connected to at least one or more probes, and the test logic circuit unit 160 is provided. The reference voltage input from) is output to the connected probe, and the test chuck driver 170 moves the test chuck in the Z-axis direction under the control of the main control part (flatness inspection module). The test chuck 44 and the test chuck driver 170 described above are used in the flatness test.

본 발명에 따른 프로브 카드 오픈검사장치(100)는 오픈검사부, 쇼트검사부 등을 별도로 구비하지 않고, 검사모드에 따라 상술한 구성요소의 연결과 동작을 제어하여 검사모드에 따른 검사를 수행하게 된다. 따라서 상술한 릴레이 제어 부(110), 릴레이 스위치(112), 오프검사 제어부(120), 오픈검사도구(122), 음성출력부(124), 전류측정부(130), LCR측정부(150), 테스트 로직 회로부(160), 테스트 척 구동부(170), 테스트 척(44)에 대해서는 각 검사모드에 따른 검사회로와 검사방법을 설명하면서 그 구성과 기능에 대해서 보다 더 상세하게 설명하도록 한다. The probe card open inspection apparatus 100 according to the present invention does not include an open inspection unit, a short inspection unit, etc., and performs the inspection according to the inspection mode by controlling the connection and operation of the above-described components according to the inspection mode. Therefore, the above-described relay control unit 110, relay switch 112, off test control unit 120, open test tool 122, voice output unit 124, current measuring unit 130, LCR measuring unit 150 The test logic circuit unit 160, the test chuck driver 170, and the test chuck 44 will be described in more detail with reference to the test circuit and test method according to each test mode.

도 8은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 프로브 카드 오픈검사장치를 구동하기 위한 프로그램의 구성 블록도이다. 본 발명에 따른 프로브 카드 오픈검사장치 구동 프로그램은 주제어부(102)에 탑재되어 해당되는 기능을 수행하게 된다. 이하에서 논리적으로 구성된 프로그램을 기준으로 설명하나 이에 한정되는 것은 아니다.8 is a block diagram of a program for driving the probe card open inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. The probe card open inspection apparatus driving program according to the present invention is mounted on the main controller 102 to perform a corresponding function. Hereinafter, description will be given based on the logically configured program, but is not limited thereto.

도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 주제어부(102)는 시스템 인증모듈(200), 채널데이터 로드모듈(202), 마더보드 데이터 생성모듈(204), 프로브 카드 데이터 생성모듈(206), 오픈검사모듈(208), 쇼트검사모듈(210), 누설전류검사모듈(212), 평탄도검사모듈(214) 및 캐패시터검사모듈(216)을 포함할 수 있다. As shown in FIG. 8, the main controller 102 according to the present invention includes a system authentication module 200, a channel data load module 202, a motherboard data generation module 204, and a probe card data generation module 206. , An open inspection module 208, a short inspection module 210, a leakage current inspection module 212, a flatness inspection module 214, and a capacitor inspection module 216.

시스템 인증모듈(200)은 시스템의 보안기능을 수행하는 모듈로서, 하드디스크 등의 저장장치에 저장된 인증정보(맥주소, 하드디스크 정보, CPU 아이디 등)를 이용하여 시스템의 인증여부를 판단하고, 인증된 시스템인 경우 인증정보에 포함된 채널수, 평탄도 옵션정보를 변수로 설정하며, 인증에 실패하는 경우 프로그램을 종료하는 기능을 수행하게 된다. 이때 이용되는 인증정보는 프로그램이 최초로 설치될 때 관리자의 조작에 따라 생성되며, 암호화되어 저장장치에 저장된다. The system authentication module 200 performs a security function of the system. The system authentication module 200 determines whether the system is authenticated using authentication information (Mac address, hard disk information, CPU ID, etc.) stored in a storage device such as a hard disk. In the case of an authenticated system, the number of channels and flatness option information included in the authentication information are set as variables, and when the authentication fails, the program is terminated. The authentication information used at this time is generated according to the operation of the administrator when the program is first installed, and is encrypted and stored in the storage device.

채널데이터 로드모듈(202)은 전술한 인증정보에 포함된 채널변수를 로드하고, 저장된 채널변수가 5200 채널인 경우 확장채널의 사용을 허가하고, 저장된 채널변수가 2600 채널인 경우 확장채널의 사용을 금지하게 된다. 프로브 카드의 경우 2600 채널 이하로 구성된 프로브 카드가 많이 사용되나, 경우에 따라서 2600 채널 이상으로 구성된 프로브 카드가 사용될 수 있다. 본 발명에 따른 오픈검사장치(100)는 2600 채널용 검사장비를 듀얼로 구성하여 2600 채널 이상을 사용하는 프로브 카드를 검사할 수 있도록 구성되었다. 5200 채널지원기능이 기본적으로 제공되는 경우 상술한 채널데이터 로드모듈(202)은 필요하지 않으나, 5200 채널지원기능이 옵션기능으로 제공되는 경우 옵션기능을 구매한 사용자에 한해 5200 채널지원기능을 이용할 수 있도록 채널데이터 로드모듈(202)이 인증정보에 포함된 채널변수에 따라 확장채널의 사용여부를 제어하게 된다. The channel data load module 202 loads the channel variable included in the above authentication information, permits the use of the extended channel when the stored channel variable is 5200 channels, and uses the extended channel when the stored channel variable is 2600 channels. It will be banned. In the case of a probe card, a probe card composed of 2600 channels or less is frequently used, but a probe card composed of 2600 channels or more may be used in some cases. The open inspection apparatus 100 according to the present invention is configured to inspect a probe card using more than 2600 channels by configuring a dual inspection apparatus for 2600 channels. When the 5200 channel support function is provided by default, the above-described channel data load module 202 is not necessary. However, when the 5200 channel support function is provided as an optional function, the 5200 channel support function is available only to the user who purchased the optional function. The channel data load module 202 controls whether to use the extended channel according to the channel variable included in the authentication information.

도 9a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 마더보드 데이터 생성모듈의 동작과정을 도시한 순서도이고, 도 9b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 마더보드 데이터 등록화면의 예시도이다.9A is a flowchart illustrating an operation process of a motherboard data generation module according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 9B is an exemplary diagram of a motherboard data registration screen according to an exemplary embodiment of the present invention.

마더보드 데이터 생성모듈(204)은 사용자의 입력에 따라 특정 마더보드의 정보를 입력받아 데이터베이스(220)에 등록하거나 수정하는 기능을 수행한다. 이러한 마더보드 데이터 생성모듈은 타사에서 제작된 마더보드와의 호환을 위해 안출된 기능이다. 즉, 타사에서 제작된 마더보드의 채널명과 본 발명에 따른 검사장치에서 이용되는 채널명이 다르게 구성될 수 있으므로, 채널맵핑을 통해 상호 대응되는 채널정보를 저장/이용함으로써 타사에서 제작된 마더보드를 이용해 프로브 카드를 검 사할 수 있게 된다. The motherboard data generation module 204 receives information of a specific motherboard according to a user's input and registers or modifies it in the database 220. The motherboard data generation module is a function designed for compatibility with motherboards manufactured by other companies. That is, since the channel name of the motherboard manufactured by a third party and the channel name used in the inspection apparatus according to the present invention may be configured differently, by using the motherboard manufactured by the third party by storing / using channel information corresponding to each other through channel mapping. You can check the probe card.

사용자는 도 9b에 도시된 등록화면(등록 인터페이스)를 통해 마더보드의 정보를 입력하여 마더보드 데이터를 데이터베이스(220)에 등록하게 된다. 먼저 사용자는 마더보드정보 입력창을 통해 마더보드정보를 입력하고 마더보드의 채널수를 등록한다(S900). 이때, 5200 채널지원기능은 옵션으로 선택한 사용자의 경우 확장채널모드 체크박스를 체크하면 마더보드의 채널이 5200까지 확장된다. 마더보드 데이터 생성모듈(204)은 마더보드가 2600 이상의 채널을 사용하는지 판단하고(S902), 마더보드가 2600 채널을 초과하는 채널을 사용하는 경우 확장채널로 맵핑하여 마더보드의 정보를 데이터베이스(220)에 등록/수정하며(S906, S908), 상기 마더보드가 2600 채널 이하의 채널을 사용하는 경우 일반채널로 맵핑하여 마더보드의 정보를 데이터베이스(220)에 등록/수정한다(S904, S908). 마더보드 등록화면 상의 '작업창 열기'를 선택하면, 채널맵핑시에 해당되는 채널이 채널매핑 테이블의 좌측 공백면에 표시되며, 사용자가 저장버튼을 누르면 화면의 내용이 데이터베이스와 액셀파일로 저장되게 된다. The user inputs information on the motherboard through the registration screen (registration interface) shown in FIG. 9B to register the motherboard data in the database 220. First, the user inputs the motherboard information through the motherboard information input window and registers the channel number of the motherboard (S900). In this case, if the user selects the option of 5200 channel support, check the extended channel mode check box to expand the channel of the motherboard to 5200. The motherboard data generation module 204 determines whether the motherboard uses more than 2600 channels (S902), and when the motherboard uses a channel exceeding 2600 channels, the motherboard data generation module 204 maps the information of the motherboard to the expansion channel. If the motherboard uses a channel of less than 2600 channels (S906, S908), and maps to the general channel to register the information of the motherboard in the database 220 (S904, S908). If you select 'Open Task Window' on the motherboard registration screen, the corresponding channel will be displayed on the left side of the channel mapping table when channel mapping, and if the user presses the save button, the contents of the screen will be saved in database and excel file. do.

도 10a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 프로브 카드 데이터 생성모듈의 동작과정을 도시한 순서도이고, 도 10b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 프로브 카드 데이터 등록화면의 예시도이다.10A is a flowchart illustrating an operation process of a probe card data generation module according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 10B is an exemplary diagram of a probe card data registration screen according to an exemplary embodiment of the present invention.

사용자는 도 10b에 도시된 바와 같이 구성되는 등록화면을 통해 프로브 카드를 데이터베이스(220)에 등록하게 된다. 프로브 카드의 등록은 해당 마더보드를 선택한 상태에서만 가능하며, 사용자가 프로브 카드 등록을 실행하면 해당 마더보드 정보를 로드하고, 아래 오른쪽 창에 프로브 카드 데이터를 입력하고 데이터 생성/적용 버튼을 누르면 왼쪽창에 맵핑된 데이터가 출력된다. 마지막으로 프로브 카드를 검사할 때 필요한 파라메터를 등록하고 저장을 누르면, 프로브 카드 관련정보가 데이터베이스에 등록되어 해당 프로브 카드를 검사할 때 이용된다. The user registers the probe card in the database 220 through the registration screen configured as shown in FIG. 10B. You can register a probe card only when the corresponding motherboard is selected.If the user executes the probe card registration, the user can load the motherboard information, enter the probe card data in the lower right window and press the Create / Apply data button. The data mapped to is output. Finally, if you register the necessary parameters when checking the probe card and press Save, the probe card related information is registered in the database and used to check the corresponding probe card.

즉, 본 발명에 따른 프로브 카드 데이터 생성모듈(206)은 사용자의 입력에 따라 등록/수정하고자 하는 프로브 카드에 대응되는 특정 마더보드 정보를 데이터베이스(220)로부터 로드하고(S1000), 사용자의 입력에 따라 프로브 카드 데이터를 입력받아 마더보드 정보를 참조하여 채널맵핑을 수행한 후(S1002), 사용자의 입력에 따라 검사 파라메터 정보를 입력받아(S1004) 프로브 카드 데이터, 채널맵핑 정보와 함께 프로브 카드 데이터로 데이터베이스(220)에 등록/수정하게 된다(S1006). That is, the probe card data generation module 206 according to the present invention loads specific motherboard information corresponding to the probe card to be registered / modified according to the user's input from the database 220 (S1000), and the user's input. After receiving the probe card data and performing the channel mapping with reference to the motherboard information (S1002), receiving the inspection parameter information according to the user's input (S1004) as probe card data along with the probe card data and the channel mapping information. It is registered / modified in the database 220 (S1006).

한편, 상술한 오픈검사모듈(208), 쇼트검사모듈(210), 누설전류검사모듈(212), 평탄도검사모듈(214) 및 캐패시터검사모듈(216)는 오픈검사장치(100)의 구성각부를 제어하여 해당되는 검사를 수행하도록 구성된다. 이러한 검사모듈에 대해서는 각 검사모드에 따른 검사회로와 검사방법과 함께 후술하기로 한다. On the other hand, the above-described open inspection module 208, the short inspection module 210, the leakage current inspection module 212, the flatness inspection module 214 and the capacitor inspection module 216 are the components of the open inspection device 100 It is configured to control and perform the corresponding inspection. Such an inspection module will be described later along with an inspection circuit and an inspection method for each inspection mode.

도 11a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사회로의 구성블록도이고, 도 11b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 핀서치회로의 구성블록도이며, 도 11c는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사 제어부의 사시도이고, 도 11d는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사도구의 사시도이며, 도 11e는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사모듈의 동작과정을 도시한 순서도이고, 도 11f는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사를 위한 설정정보 입력화면의 예시도이다. 도 11a 내지 도 11f를 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사회로의 구성 및 오픈검사방법에 대해 이하에서 설명한다.FIG. 11A is a block diagram illustrating an open test circuit according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 11B is a block diagram illustrating a pin search circuit according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 11C is a preferred block diagram of the present invention. 11 is a perspective view of an open inspection control unit according to an embodiment, and FIG. 11D is a perspective view of an open inspection tool according to an embodiment of the present invention, and FIG. 11E illustrates an operation process of an open inspection module according to an embodiment of the present invention. 11F is an exemplary diagram of setting information input screen for open inspection according to an exemplary embodiment of the present invention. 11A to 11F, a configuration and an open inspection method of an open inspection circuit according to an exemplary embodiment of the present invention will be described below.

종래기술에 따른 오픈검사방식은 한사람은 테스터를 찍어야할 이름을 불러주고, 다른 한사람은 멀티미터의 한 라인을 작업자가 불러준 위치를 프로브 카드의 외각 영역에서 찾아 접촉하며, 또 다른 한 사람은 현미경을 통해서 프로브 카드의 탐침(needle)영역 중 대상이되는 탐침을 확인하여 작업자가 멀티미터의 다른 라인을 대상 탐침 끝에 접촉시키면 멀티미터로부처 출력되는 소리를 듣고 오픈여부 또는 크로스연결 여부를 검사하는 방식으로 수행되어 총 3명의 인원이 필요하다. According to the conventional open inspection method, one person calls a name to take a tester, and the other person finds and contacts a line of the multimeter in the outer area of the probe card, and the other person contacts the microscope. By checking the target probe in the probe (needle) area of the probe card, if the operator touches the other line of the multimeter to the end of the target probe, the operator hears the sound output from the multimeter and checks whether it is open or cross-connected. In total, three persons are required.

상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해, 본 발명에 따른 프로브 카드 오픈검사장치(100)는 프로브 카드를 장비에 체결한 후 위치를 불러주는 부분을 음성출력부(124)를 통한 TTS(Text To Speech)를 이용하였고, 사용자가 마이크로스코프(73b)를 통해 측정대상이되는 탐침을 확인하고 도 11d에 도시된 바와 같은 오픈검사도구(122)를 측정대상 탐침에 접속시킨 후 '삑'소리가 나면 다음 핀으로 이동하면서 하나씩 검사해 나가도록 구성된다. 만일 오픈검사도구(122)를 접속시켜도 소리가 나지 않는 경우, 사용자가 도 11c에 도시된 바와 같은 오프검사 제어부(120)의 다음버튼을 누르는 경우 다음 핀을 검사하는 과정이 수행되며, 사용자가 오프검사 제어부(120)의 스캔버튼을 누르는 경우 현재 측정대상 프로브가 연결된 채널번호를 출력하고 만일 다른채널로 잘못연결 되어 있으면 연결된 채널번호가 화 면에 출력되며 데이터로 저장된다. 상술한 바와 같은 과정을 통해 한명의 사용자만으로 오픈검사가 가능하며, 크로스된 채널이 있는 경우 스캔기능을 이용하여 크로스 채널의 확인이 가능하게 된다.In order to solve the problems as described above, the probe card open inspection apparatus 100 according to the present invention is a TTS (Text To Speech) through the voice output unit 124 to call the position after the probe card is fastened to the equipment After the user checks the probe to be measured through the microscope 73b and connects the open inspection tool 122 to the measurement target probe as shown in FIG. 11D, the user hears a 'beep' sound. It is configured to check one by one while moving to the pin. If there is no sound even when the open test tool 122 is connected, a process of checking the next pin is performed when the user presses the next button of the off test control unit 120 as shown in FIG. 11C, and the user is turned off. When the scan button of the inspection control unit 120 is pressed, the channel number of the probe to which the current measurement target probe is connected is outputted. Through the above process, only one user can open check, and if there is a cross channel, the cross channel can be identified using a scan function.

상술한 바와 같은 기능을 수행하기 위해 본 발명에 따른 오픈검사회로는 오픈검사도구(122), 오프검사 제어부(120), 음성출력부(124), 릴레이 스위치(112), 릴레이 제어부(110), 전류측정부(130), 오픈검사모듈(208)을 포함할 수 있다. In order to perform the function as described above, the open inspection circuit according to the present invention includes an open inspection tool 122, an off inspection control unit 120, a voice output unit 124, a relay switch 112, a relay control unit 110, The current measuring unit 130 and the open inspection module 208 may be included.

오픈검사도구(122)와 오프검사 제어부(120)는 본 발명에 따른 오픈검사장치(100)에 연결 케이블을 통해 연결된다. 따라서 사용자는 오프검사 제어부(120)를 작업위치와 근접한 곳에 두고 편리하게 오픈검사를 진행할 수 있다. 오픈검사도구(122)는 사용자의 조작에 따라 측정대상 프로브에 접속되어 측정대상 프로브로부터 출력되는 전류를 입력받아 전류측정부(130)의 전류 입력단자로 출력하게 된다. The open test tool 122 and the off test control unit 120 are connected to the open test device 100 according to the present invention through a connection cable. Therefore, the user can conveniently perform the open inspection by placing the off inspection control unit 120 in the vicinity of the working position. The open inspection tool 122 is connected to the measurement target probe according to the user's operation and receives the current output from the measurement target probe and outputs it to the current input terminal of the current measurement unit 130.

오프검사 제어부(120)는 사용자의 조작에 따라 릴레이 제어부(110)를 제어하여 전류측정부(130)의 기준전압 출력단자와 측정대상 프로브를 연결시켜, 기준전압이 측정대상 프로브로 인가될 수 있도록 한다. 사용자가 오프검사 제어부(120)의 다음버튼 또는 이전버튼을 누르는 경우 측정대상 프로브가 다음 프로브 또는 이전 프로브로 변경되므로, 릴레이 제어부(110)는 릴레이 스위치(112)를 제어하여 해당되는 프로브와 전류측정부(130)를 연결시키게 된다. The off test control unit 120 controls the relay control unit 110 according to a user's operation to connect the reference voltage output terminal of the current measuring unit 130 to the measurement target probe so that the reference voltage can be applied to the measurement target probe. do. When the user presses the next button or the previous button of the off-test control unit 120, the probe to be measured is changed to the next or previous probe, and thus the relay controller 110 controls the relay switch 112 to measure the corresponding probe and current. The unit 130 is to be connected.

음성출력부(124)는 TTS 기능이 지원되는 범용 사운드카드로 구성될 수 있으며, 프로브 카드 데이터와 오픈검사 제어부의 조작에 따라 오픈검사시 사용자가 오픈검사도구(122)를 접속시켜야 하는 프로브명을 음성출력하고, 측정대상 프로브의 저항값이 유효저항값 이내인 경우 효과음을 출력하게 된다. The voice output unit 124 may be configured as a general-purpose sound card that supports the TTS function. The voice output unit 124 may include a probe name to which the user should connect the open test tool 122 during the open test according to the operation of the probe card data and the open test control unit. A sound is output and an effect sound is output when the resistance value of the probe to be measured is within the effective resistance value.

오픈검사모듈(208)은 사용자의 입력에 따라 검사대상 프로브 카드 데이터를 데이터베이스(220)로부터 로드하고, 검사설정값(측정모드, 측정지연시간, 허용저항)을 입력받아 프로브 카드 데이터와 오픈검사 제어부의 조작에 따라 릴레이 스위치(112), 릴레이 제어부(110), 전류측정부(130)를 제어하여 프로브 카드의 각 프로브의 오픈여부를 검사하고 측정된 데이터를 출력하게 된다.The open inspection module 208 loads the inspection target probe card data from the database 220 according to the user's input, receives the inspection set value (measurement mode, measurement delay time, and allowable resistance), and the probe card data and the open inspection controller. By controlling the relay switch 112, the relay control unit 110, and the current measuring unit 130 in accordance with the operation of each probe of the probe card is opened or not and output the measured data.

도 11a에서 릴레이 스위치1~릴레이 스위치2600의 릴레이들은 오프상태에서 모두 동일한 클로즈 접점상태로 접속되어 있으며, 측정대상 프로브가 프로브2인 경우 오픈검사모듈(208)은 릴레이 제어부(110)를 제어하여 프로브2에 연결된 릴레이를 동작시켜 전류측정부(130)의 기준전압 출력단자로부터 출력되는 기준전압이 프로브2에 인가될 수 있도록 한다. 이 상태에서 사용자가 오픈검사도구(122)를 프로브 2에 접속시키면 전기적이 회로가 형성되어 프로브 2로부터 출력되는 전류가 전류측정부(130)의 전류 입력단자로 입력된다. 오픈검사모듈(208)은 기준전압과 측정된 전류값을 이용하여 프로브 2의 저항값을 산출하고, 산출된 저항값과 허용저항값을 비교하여 프로브 2의 오픈여부를 판단하여 출력하게 된다. In FIG. 11A, the relays of the relay switch 1 to the relay switch 2600 are all connected in the same closed contact state in the off state, and when the probe to be measured is the probe 2, the open inspection module 208 controls the relay controller 110 to detect the probe. By operating the relay connected to 2 so that the reference voltage output from the reference voltage output terminal of the current measuring unit 130 can be applied to the probe 2. In this state, when the user connects the open test tool 122 to the probe 2, an electric circuit is formed, and the current output from the probe 2 is input to the current input terminal of the current measuring unit 130. The open inspection module 208 calculates the resistance value of the probe 2 by using the reference voltage and the measured current value, compares the calculated resistance value with the allowable resistance value, and determines whether or not the probe 2 is open.

한편, 본 발명에 따른 오프검사 제어부(120)는 오픈검사 중 사용자의 조작에 따라 오픈검사도구(122)와 접속된 프로브에 대한 채널번호를 스캔하기 위한 스캔제어신호를 출력하는 스캔버튼을 더 포함할 수 있다. 즉, 오픈검사결과 해당 프로브가 오픈된 것으로 판단되는 경우, 사용자는 오픈검사도구(122)의 스캔버튼을 눌러 측정대상 프로브가 실제 연결된 채널번호를 검색할 수 있다. On the other hand, the off test control unit 120 according to the present invention further includes a scan button for outputting a scan control signal for scanning the channel number for the probe connected to the open test tool 122 according to the user's operation during the open test can do. That is, when it is determined that the probe is opened as a result of the open test, the user may search for the channel number to which the probe to be measured is actually connected by pressing the scan button of the open test tool 122.

이러한 핀서치 기능을 수행하기 위하여 본 발명은 도 11b에 도시된 바와 같이 구성되는 핀서치회로를 제공한다. 핀서치회로의 테스트 로직 회로부(160)의 신호입력단자는 릴레이 스위치(112)를 통해 프로브 카드의 각 프로브에 일 대 일로 접속되있으며, 테스트 로직 회로부(160)의 기준전압 출력단자는 오픈검사도구(122)에 연결되어 있다. 오픈검사모듈(208)은 오프검사 제어부(120)로부터 스캔제어신호가 입력되는 경우 테스트 로직 회로부(160)를 제어하여 현재 오픈검사도구(122)와 접속되어 있는 프로브로 기준전압을 출력한 후, 테스트 로직 회로부(160)의 신호입력단자를 통해 입력되는 전류을 이용해 현재 접속된 프로브에 대한 채널번호를 판단하여 출력하게 된다. In order to perform this pin search function, the present invention provides a pin search circuit configured as shown in FIG. 11B. The signal input terminal of the test logic circuit unit 160 of the pin search circuit is connected one-to-one to each probe of the probe card through the relay switch 112, and the reference voltage output terminal of the test logic circuit unit 160 is an open test tool ( 122). The open inspection module 208 controls the test logic circuit 160 when the scan control signal is input from the off inspection controller 120 to output a reference voltage to a probe currently connected to the open inspection tool 122. The channel number for the currently connected probe is determined and output using the current input through the signal input terminal of the test logic circuit unit 160.

도 11b에서 릴레이 스위치1~릴레이 스위치2600의 릴레이는 모두 동작하고, 테스트 로직 회로부(160)에서 기준전압이 출력되어 오픈검사도구(122)를 통해 프로브 2로 입력된다. 오픈검사모듈(208)은 프로브2에 공급된 전압을 통하여 테스트 로직 회로부(160)의 CH2로 입력된 값을 이용하여 프로브2가 연결된 채널번호를 판단하여 출력/저장하게 된다. In FIG. 11B, all of the relays of the relay switch 1 to the relay switch 2600 operate, and the reference voltage is output from the test logic circuit unit 160 and input to the probe 2 through the open test tool 122. The open inspection module 208 determines the channel number to which the probe 2 is connected by using the value input to the CH2 of the test logic circuit unit 160 through the voltage supplied to the probe 2 and outputs / stores it.

상술한 바와 같이 구성되는 오픈검사회로가 구동되는 과정을 도 11e를 참조하여 설명하면 아래와 같다. A process of driving the open inspection circuit configured as described above will be described below with reference to FIG. 11E.

사용자가 오픈검사를 선택하는 경우 오픈검사모듈(208)은 측정대상 프로브 카드 데이터를 데이터베이스(220)로부터 로드하고(S1100), 사용자의 입력에 따라 검사유효 저항값, 검사속도, 음성멘트 재성을 설정한다(S1102, S1104, S1106). 검사설정값 입력단계에서 도 11f와 같은 인터페이스가 사용자에게 제공되며, 사용자 는 제공되는 인터페이스를 통해 측정모드,측정지연시간, 허용저항을 설정한 후 검사를 시작한다.When the user selects the open test, the open test module 208 loads the probe card data to be measured from the database 220 (S1100), and sets the test effective resistance value, test speed, and voice cement regeneration according to the user's input. (S1102, S1104, S1106). In the test set value input step, an interface as shown in FIG. 11F is provided to the user, and the user starts the test after setting the measurement mode, the measurement delay time, and the allowable resistance through the provided interface.

검사가 시작되면 오픈검사모듈(208)은 측정대상 프로브명을 음성출력한다(S1108). 사용자는 음성출력된 프로브명을 듣고, 오픈검사도구(122)를 측정대상 프로브에 접속시키고, 오픈검사모듈(208)은 릴레이 스위치를 통해 전류측정부(130)의 기준전압 출력단자와 측정대상 채널을 연결시킨다(S1110). When the test is started, the open test module 208 outputs a voice of the probe name to be measured (S1108). The user hears the voice output probe name, connects the open test tool 122 to the probe to be measured, and the open test module 208 connects the reference voltage output terminal of the current measuring unit 130 and the channel to be measured through a relay switch. Connect (S1110).

다음으로 오픈검사모듈(208)은 측정대상 채널에 기준전압을 출력하고, 측정대상 채널로부터 오픈검사도구(122)를 통해 전류측정부(130)의 전류 입력단자로 입력되는 전류를 이용해 측정대상 프로브의 오픈여부를 판단한다(S1112).Next, the open inspection module 208 outputs a reference voltage to the measurement target channel, and uses the current input to the current input terminal of the current measurement unit 130 from the measurement target channel through the open inspection tool 122. It is determined whether the open (S1112).

오픈검사모듈(208)은 S1112 단계에서 측정대상 채널의 저항값이 유효저항값 이내인 경우(오픈되지 않은 경우) 측정대상 채널을 변경한 후 S1110 단계로 돌아가며, 측정대상 채널의 저항값이 유효저항값 이상인 경우(오픈된 경우) 오프검사 제어부(120)로부터 출력되는 제어신호를 입력받아 해당되는 기능을 수행한다(S1114). The open inspection module 208 returns to step S1110 after changing the measurement target channel when the resistance value of the measurement target channel is within the effective resistance value (if not open) in step S1112, and the resistance value of the measurement target channel is the effective resistance. If the value is greater than or equal to (open), the control signal output from the off-check control unit 120 is received and performs a corresponding function (S1114).

오프검사 제어부(120)로부터 다음채널 또는 이전채널 검사제어신호가 출력되는 경우 오픈검사모듈(208)은 검사제어신호에 따라 측정대상 채널을 변경한 후 S1110 단계로 돌아가며, 별도의 제어신호가 출력되지 않는 경우 S1112 단계로 돌아가 측정대상 채널의 오픈여부를 다시 판단한다(S1116). When the next or previous channel inspection control signal is output from the off inspection control unit 120, the open inspection module 208 changes the measurement target channel according to the inspection control signal and returns to step S1110, and a separate control signal is not output. If not, return to step S1112 to determine again whether the measurement target channel is open (S1116).

한편, S1116 단계에서 오프검사 제어부(120)로부터 스캔제어신호가 출력되는 경우, 오픈검사모듈(208)은 오픈검사도구(122)를 통해 연결된 측정대상 프로브로 기준전압을 출력한 후 테스트 로직 회로부(160)의 신호입력단자로 입력되는 전류을 이용해 현재 접속된 측정대상 프로브의 채널번호를 판단하여 출력/저장한다.On the other hand, when the scan control signal is output from the off inspection control unit 120 in step S1116, the open inspection module 208 outputs a reference voltage to the measurement target probe connected through the open inspection tool 122 and then the test logic circuit unit ( The channel number of the currently connected measurement target probe is determined and output / stored using the current input to the signal input terminal of 160).

또한, 오픈검사모듈(208)은 검사종료여부를 판단하여 검사가 종료되지 않은 경우 S1112 단계로 돌아가며, 검사가 종료된 경우 검사과정을 종료한다(S1118). In addition, the open inspection module 208 determines whether or not the inspection is completed and returns to step S1112 when the inspection is not finished, and terminates the inspection process when the inspection is finished (S1118).

상기한 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대해 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경 및 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.Preferred embodiments of the present invention described above are disclosed for purposes of illustration, and those skilled in the art will be able to make various modifications, changes and additions within the spirit and scope of the present invention. Additions should be considered to be within the scope of the following claims.

도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드 오픈검사장치를 도시한 사시도.1 is a perspective view showing a probe card open inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2 는 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 메인프레임 어셈블리를 도시한 사시도.Figure 2 is a perspective view of the mainframe assembly employed in the probe card open inspection apparatus shown in FIG.

도 3 은 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 마더보드 고정부의 하중균형모듈을 도시한 사시도.3 is a perspective view showing a load balancing module of the motherboard fixing portion employed in the probe card open inspection apparatus shown in FIG.

도 4 는 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 평탄도 측정부를 도시한 사시도.4 is a perspective view showing a flatness measurement unit employed in the probe card open inspection device shown in FIG.

도 5 는 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 테스터프레임 어셈블리를 도시한 사시도.5 is a perspective view showing a tester frame assembly employed in the probe card open inspection apparatus shown in FIG.

도 6 는 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 스코프프레임 어셈블리를 도시한 사시도.Figure 6 is a perspective view of the scope frame assembly employed in the probe card open inspection apparatus shown in FIG.

도 7은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 프로브 카드 오픈검사장치의 회로적 구성을 도시한 블록도.Figure 7 is a block diagram showing the circuit configuration of the probe card open inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 프로브 카드 오픈검사장치를 구동하기 위한 프로그램의 구성 블록도.8 is a block diagram of a program for driving the probe card open inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 9a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 마더보드 데이터 생성모듈의 동작과정을 도시한 순서도.Figure 9a is a flow chart showing the operation of the motherboard data generation module according to an embodiment of the present invention.

도 9b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 마더보드 데이터 등록화면의 예시도.Figure 9b is an illustration of a motherboard data registration screen according to an embodiment of the present invention.

도 10a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 프로브 카드 데이터 생성모듈의 동작과정을 도시한 순서도.Figure 10a is a flow chart showing the operation of the probe card data generation module according to an embodiment of the present invention.

도 10b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 프로브 카드 데이터 등록화면의 예시도.10B is an exemplary diagram of a probe card data registration screen according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 11a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사회로의 구성블록도.11A is a block diagram of an open inspection circuit in accordance with a preferred embodiment of the present invention.

도 11b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 핀서치회로의 구성블록도.11B is a block diagram illustrating a pin search circuit according to an embodiment of the present invention.

도 11c는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사 제어부의 사시도.Figure 11c is a perspective view of the open inspection control unit according to an embodiment of the present invention.

도 11d는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사도구의 사시도.Figure 11d is a perspective view of the open inspection tool according to an embodiment of the present invention.

도 11e는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사모듈의 동작과정을 도시한 순서도.Figure 11e is a flow chart showing the operation of the open inspection module according to an embodiment of the present invention.

도 11f는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사를 위한 설정정보 입력화면의 예시도.Figure 11f is an illustration of a setting information input screen for the open test according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1 : 프로브 카드 오픈검사장치 40 : 평탄도 측정부1: probe card open inspection device 40: flatness measurement unit

44 : 평탄플레이트부 80 : 마더보드44: flat plate portion 80: motherboard

90 : 프로브 카드 100 : 프로브 카드 오픈검사장치90: probe card 100: probe card open inspection device

102 : 주제어부 110 : 릴레이 제어부102: main controller 110: relay control unit

112 : 릴레이 스위치 120 : 오픈검사 제어부112: relay switch 120: open inspection control unit

122 : 오픈검사도구 124 : 음성출력부122: open test tool 124: audio output unit

130 : 전류측정부 150 : LCR 측정부130: current measuring unit 150: LCR measuring unit

160 : 테스트 로직 회로부 170 : 테스트 척 구동부160: test logic circuit unit 170: test chuck driving unit

Claims

Probe card open inspection device,

A relay switch for turning on / off each probe of the probe card and the current measuring unit;

A relay controller for controlling the driving of the relay switch under the control of the main controller and the open inspection controller to turn on / off a connection of the probe of the probe card;

An open inspection tool connected to the measurement target probe according to a user's operation and receiving current output from the measurement target probe and outputting the current to the current input terminal of the current measurement unit;

An open inspection control unit controlling the relay control unit according to a user's operation to connect the reference voltage output terminal of the current measurement unit to a measurement target probe;

A reference voltage output terminal is connected to each probe of a probe card through the relay switch, and outputs a reference voltage to a measurement target probe connected through the relay switch, and is output from a measurement target probe connected through the open inspection tool, and a current input terminal. A current measuring unit measuring the current input to the main controller and outputting the main controller; And

The probe card data is loaded according to a user's input, and the probe set data is input to control the relay switch, the relay controller, and the current measuring unit according to the operation of the probe card data and the open inspection controller. Probe card open inspection device characterized in that it comprises a main controller for checking whether each probe is open and outputs the measured data.

The method of claim 1,

The probe card open inspection apparatus outputs a voice name of a probe to which the user needs to connect the open inspection tool when the probe card data and the open inspection controller are operated, and the resistance value of the probe to be measured is an effective resistance value. The probe card open inspection device, characterized in that it further comprises a voice output unit for outputting the effect sound within.

The method of claim 2,

The open inspection controller further includes a scan button for outputting a scan control signal for scanning a probe number connected to the open inspection tool according to a user's operation during open inspection,

The probe card open inspection device is connected to each probe of the probe card one-to-one through the relay switch, and outputs a reference voltage to the probe connected through the open inspection tool, and then inputs the signal through the signal input terminal. Further comprising a test logic circuit for determining and outputting the currently connected probe number by using the current,

And the main control unit drives the test logic circuit unit to determine and output the currently connected probe number when a scan control signal is input from the open inspection control unit.

The method of claim 3, wherein

The main fisherman,

Determining whether the system is authenticated using the authentication information including the brewery, the hard disk information, and the CPU ID.In the case of an authenticated system, the number of channels and flatness option information included in the authentication information are set as variables. A system authentication module for terminating the program if it fails;

A channel data load module for loading a channel variable included in the authentication information, permitting use of an extended channel when the stored channel variable is 5200 channels, and prohibiting use of an extended channel when the stored channel variable is 2600 channels;

Receives information on a specific motherboard according to the user's input, registers / modifies the information of the motherboard in a database by mapping to an extended channel when the motherboard uses a channel exceeding 2600 channels, and the motherboard 2600 Motherboard data generation module for registering / modifying the information of the motherboard in the database by mapping to a general channel when using a channel less than the channel;

Load specific motherboard information corresponding to the probe card to be registered / modified according to the user's input from the database, receive probe card data according to the user's input, and perform channel mapping with reference to the motherboard information. A probe card data generation module that receives inspection parameter information according to a user input and registers / modifies the database as probe card data along with the probe card data and channel mapping information; And

The probe card data is loaded according to a user's input, and the probe set data is input to control the relay switch, the relay controller, and the current measuring unit according to the operation of the probe card data and the open inspection controller. It includes an open inspection module that checks whether each probe is open and outputs the measured data.

The probe card open inspection apparatus includes a database configured to store the authentication information, the motherboard information, and the probe card data.

In the probe card open inspection method,

(a) If the motherboard receives information from the motherboard, and if the motherboard uses more than 2600 channels, it maps to the expansion channel and registers the information of the motherboard in the database, and the motherboard uses less than 2600 channels. If the mapping to the general channel to register the information of the motherboard in the database;

(b) load motherboard data corresponding to the probe card to be registered, input probe card data, generate mapping data by referring to the motherboard data, input inspection parameters, and then insert the probe card data and mapping Registering probe card data in the database using the data and inspection parameters; And

(c) When the user selects open inspection, loads the inspection target probe card data, receives and saves the inspection setting value of the user, connects the open inspection tool to the measurement target probe according to the user's operation, and turns on the relay switch. After connecting the reference voltage output terminal of the current measuring unit and the measurement target channel, and output the reference voltage to the measurement target channel by using the current input from the measurement target channel to the current input terminal of the current measurement unit through the open test tool Probe card open inspection method comprising the step of determining whether the channel is open.

(c1) loading the measurement target probe card data when the user selects the open inspection;

(c2) setting a test valid resistance value, a test speed, and a voice cement property;

(c3) after outputting the channel name of the measurement object, connecting the open test tool to the measurement object probe according to a user's operation, and connecting the reference voltage output terminal of the current measurement unit to the measurement object channel through a relay switch;

(c4) outputting a reference voltage to the measurement target channel and determining whether the measurement target channel is open by using a current input from the measurement target channel to the current input terminal of the current measurement unit through the open inspection tool;

(c5) If the resistance value of the channel to be measured in step (c4) is within the effective resistance value (not open), after changing the channel to be measured, the process returns to step (c3) and the resistance value of the channel to be measured is Receiving a control signal output from an open inspection controller when the resistance is greater than or equal to the effective resistance value;

(c6) When the next channel or the previous channel test control signal is output from the open test controller, after changing the measurement target channel according to the test control signal, the process returns to step (c3), and when no separate control signal is outputted, returning to step (c4), determining whether the measurement target channel is opened; And

(c7) if the inspection is not terminated by determining whether the inspection is completed, returning to the step (c4), and if the inspection is completed, the probe card open inspection method further comprising the step of ending the inspection process.

The method of claim 6,

In the step (c6), when a scan control signal is output from the open inspection controller, a reference voltage is output to a measurement target probe connected through the open inspection tool, and current connection is performed using a current input to a signal input terminal of a test logic circuit unit. And determining whether to output the next channel or previous channel test control signal after determining the channel number of the probe.