KR20090045691A - Substrate transfer apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유리나 합성수지 등의 박판으로 만들어진 큰 면적을 갖는 기판을 이송하되, 기판에 상하 방향으로의 충격이 가해지지 않고 수평으로 이동될 수 있을 뿐만 아니라, 기판이 좌우로 흔들일 경우 이 흔들림을 완충시켜 기판이 깨지는 것을 방지할 수 있게 한 기판이송장치에 관한 것이다.The present invention transfers a substrate having a large area made of thin plates such as glass or synthetic resin, but can be moved horizontally without being subjected to an impact in the vertical direction to the substrate, and buffers the shake when the substrate is shaken from side to side. The present invention relates to a substrate transfer apparatus which can prevent the substrate from being broken.

이러한 본 발명에 따른 기판이송장치는 반도체, LCD, PDP 등을 제조함에 사용되는 기판을 이송하는 이송 장치에 있어서, 두 개의 구동롤러(1)와 ; 상기 구동롤러(1)들을 회전시키는 모터(2)와 ; 상기 구동롤러(1)들에 감겨져 구동롤러에 의해 회전하여 기판을 이송하는 이송밸트(3)와 ; 상기 이송밸트(3)의 저면에 설치되어 이송밸트가 작동될 때 상하로 출렁거림을 방지하는 지지가이드(4)를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.The substrate transfer apparatus according to the present invention is a transfer apparatus for transferring a substrate used for manufacturing a semiconductor, LCD, PDP, etc., two drive rollers (1) and; A motor 2 for rotating the drive rollers 1; A transfer belt 3 wound around the drive rollers 1 and rotating by the drive rollers to transfer the substrate; It is characterized in that it is configured to include a support guide (4) installed on the bottom surface of the transfer belt (3) to prevent rocking up and down when the transfer belt is operated.

기판이송, 이송밸트, 모터, 탄성지지체, 기판지지판, 고정부 Board transfer, transfer belt, motor, elastic support, board support plate, fixing part

Description

기판이송장치{substrate transfer apparatus}Substrate transfer apparatus

본 발명은 기판이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이송되는 기판에 충격이 가해지지 않은 상태로 원활하게 이동될 수 있게 한 기판이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus that allows the substrate to be moved smoothly without being impacted.

보다 상세하게는 유리나 합성수지 등의 박판으로 만들어진 큰 면적을 갖는 기판을 이송하되, 기판에 상하 방향으로의 충격이 가해지지 않고 수평으로 이동될 수 있을 뿐만 아니라, 기판이 좌우로 흔들일 경우 이 흔들림을 완충시켜 기판이 깨지는 것을 방지할 수 있게 한 기판이송장치에 관한 것이다.More specifically, a substrate having a large area made of thin plates such as glass or synthetic resin is transferred, and the substrate can be moved horizontally without being subjected to an impact in the vertical direction. The present invention relates to a substrate transfer apparatus that can be buffered to prevent the substrate from breaking.

통상적으로 반도체, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel)등을 제조함에 사용되는 기판은 표면에 박막을 형성하는 등 많은 전처리 과정을 수행하게 된다.In general, a substrate used for manufacturing a semiconductor, a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), or the like is subjected to many pretreatment processes such as forming a thin film on a surface thereof.

이러한 기판을 전처리 하는 과정에서 기판은 서로 다른 공간을 이동하면서 각각의 처리 과정이 수행됨으로서 기판을 이동시키기 위한 기판 이송 장치를 구비하고 있다. In the pretreatment of such a substrate, the substrate is provided with a substrate transfer device for moving the substrate by performing a respective processing process while moving different spaces.

이러한 기판이송장치에는 기판을 수평으로 눕힌 상태에서 이송하는 수평식의 이송장치가 있다. 이러한 수평식 이송장치는 다수의 롤러가 일렬로 배열된 회전축을 다수 설치하여 회전축을 회전시킴에 의해 기판이 이송되게 한 장치로서 이렇게 수평식의 이송장치는 너무 넓은 공간을 차지할 뿐만 아니라, 기판을 처리하는 과정에서 기판의 윗면에 도포된 세제나 화학 약품 등이 기판의 표면으로부터 쉽게 제거되지 못하여 사용에 많은 불편이 있었다. Such a substrate transfer apparatus has a horizontal transfer apparatus for transferring the substrate in a horizontally laid state. This horizontal conveying device is a device in which a substrate is conveyed by rotating a rotating shaft by installing a plurality of rotating shafts arranged in a row, and the horizontal conveying apparatus not only takes up too much space but also processes the substrate. Detergents or chemicals applied to the upper surface of the substrate was not easily removed from the surface of the substrate in the process of doing so was inconvenient to use.

이러한 불편을 해소하기 위해 기판을 수직으로 세운 상태에서 이송시킬 수 있는 수직형 기판이송장치가 개발되어 제공되고 있다. In order to alleviate this inconvenience, a vertical substrate transfer apparatus capable of transferring the substrate in a vertical position has been developed and provided.

이러한 수직형 기판이송장치는 처리실의 역할을 하는 챔버나 프레임의 하단에 다수의 롤러를 설치하고 이들 롤러들을 모터로 회전시켜 그 상부에 놓여진 기판을 이송시키도록 구성되어 있다. The vertical substrate transfer device is configured to install a plurality of rollers at the bottom of a chamber or frame serving as a processing chamber, and rotate the rollers by a motor to transfer a substrate placed thereon.

이렇게 구성된 수직형 기판이송장치는 설치 공간이 좁게 요구됨으로서 좁은 공간에서 작업을 할 수 있는 장점이 있으나, 다수의 롤러들이 일정한 간격으로 설치되어 있고, 기판이 이렇게 설치된 롤러들을 통과하는 과정에서 충격을 받아 금이가거나 깨지는 등의 문제가 있었다. The vertical substrate transfer device configured as described above has the advantage of being able to work in a narrow space because the installation space is required to be narrow, but a plurality of rollers are installed at regular intervals, and the substrate is impacted while passing through the rollers thus installed. There was a problem such as cracking or breaking.

또한, 이러한 수직형 기판이송장치의 경우 기판을 소정의지지 수단에 고정시킨 상태에서 지지수단과 같이 이송시키고 있으나 기판이 넓을 경우 기판의 출렁거리게 되며 이러한 출렁거리는 기판을 지지수단이 강제로 잡고 있는 상태가 되어 오히려 기판이 깨지는 문제가 있었다. In the case of the vertical substrate transfer apparatus, the substrate is transferred together with the supporting means in a state in which the substrate is fixed to a predetermined supporting means, but when the substrate is wide, the substrate is swayed and the sway is forcibly held by the support means. Rather, there was a problem of breaking the substrate.

즉, 종래의 기판이송장의에 구성된 지지수단은 기판의 전체면을 고정하여 지 지하고 있는 것이 아니라 일부만이 고정되어 지지되고 있으며, 이렇게 일부만이 고정된 상태로 지지되는 상태에서 기판이 출렁거리게 되면 고정된 부분과 고정되지 않은 부분 사이의 변형이 커져 기판이 오히려 깨지는 문제가 있었다. That is, the supporting means configured in the conventional substrate conveyance sheet is not supported by fixing the entire surface of the substrate, but only a part of it is fixed and supported. The deformation between the fixed part and the non-fixed part is large, and thus the substrate is rather broken.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 발명된 것으로, 수직으로 세워진 상태에서 이송되는 기판의 하단을 전체적으로 고르게 지지할 수 있게 함으로서 기판이 이송되는 과정에서 손상되는 것을 방지한 기판이송장치를 제공하는데 목적이 있다.The present invention has been invented to solve the above problems, to provide a substrate transfer apparatus that prevents damage in the process of transporting the substrate by supporting the entire bottom of the substrate to be transported in a vertical standing state evenly. There is a purpose.

또한, 기판의 이송과정에서 좌우로 흔들림을 흡수하여 완충시킬 수 있게 함으로서 기판이 깨지는 것을 방지할 수 있게 한 기판이송장치를 제공함을 목적으로 한다. In addition, an object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus that can prevent a substrate from being broken by absorbing a shake from side to side in the transfer process of the substrate to cushion the shaking.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판이송장치는 반도체, LCD, PDP 등을 제조함에 사용되는 기판을 이송하는 이송 장치에 있어서, 두 개의 구동롤러(1)와 ; 상기 구동롤러(1)들을 회전시키는 모터(2)와 ; 상기 구동롤러(1)들에 감겨져 구동롤러에 의해 회전하여 기판을 이송하는 이송밸트(3)와 ; 상기 이송밸트(3)의 저면에 설치되어 이송밸트가 작동될 때 상하로 출렁거림을 방지하는 지지가이드(4)를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.Substrate transfer apparatus according to the present invention for achieving the above object is a transfer apparatus for transferring a substrate used for manufacturing a semiconductor, LCD, PDP, etc., two drive rollers (1) and; A motor 2 for rotating the drive rollers 1; A transfer belt 3 wound around the drive rollers 1 and rotating by the drive rollers to transfer the substrate; It is characterized in that it is configured to include a support guide (4) installed on the bottom surface of the transfer belt (3) to prevent rocking up and down when the transfer belt is operated.

본 발명은 기판이 얹혀져 이송되는 이송밸트의 저면을 지지가이드로 지지하여 이송밸트가 상하로 출렁이지 않고 기판을 지지함으로서 수직으로 세워진 상태에서 이송되는 기판의 하단이 전체적으로 고르게 지지되어 이송되는 과정에서 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다. The present invention supports the bottom surface of the transfer belt to be transported by the substrate with a support guide to support the substrate without the transfer belt to swing up and down, so that the lower end of the substrate to be transported in a vertically standing state is supported evenly and transported as a whole. There is an effect that can be prevented.

또한, 이송밸트를 탄성지지체에 의해 탄성적으로 지지되는 기판지지판을 설치하여 구성하여 기판이 이송과정에서 좌우로 흔들릴 때 이를 흡수하여 완충시킬 수 있게 함으로서 기판이 좌우로 흔들림에 의해 발생될 수 있는 기판의 손상을 줄일 수 있는 효과가 있다. In addition, the transfer belt is configured by installing a substrate support plate that is elastically supported by the elastic support to absorb and buffer the substrate when the substrate shakes from side to side in the transfer process by which the substrate can be generated by shaking from side to side It is effective to reduce damage.

이하, 본 발명에 따른 기판이송장치의 실시예를 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, the embodiment of the substrate transfer apparatus according to the present invention will be described in more detail.

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치의 일예를 도시한 사시도이고, 1 is a perspective view showing an example of a substrate transfer apparatus according to the present invention,

도시한 바와 같이 본 발명에 따른 기판이송장치는 두 개의 구동롤러(1)와 ; 상기 구동롤러(1)들을 회전시키는 모터(2)와 ; 상기 구동롤러(1)들에 감겨져 구동롤러에 의해 회전하여 기판을 이송하는 이송밸트(3)와 ; 상기 이송밸트(3)의 저면에 설치되어 이송밸트가 작동될 때 상하로 출렁거림을 방지하는 지지가이드(4)를 포함하여 구성된다. As shown, the substrate transfer apparatus according to the present invention includes two driving rollers 1; A motor 2 for rotating the drive rollers 1; A transfer belt 3 wound around the drive rollers 1 and rotating by the drive rollers to transfer the substrate; It is installed on the bottom of the transfer belt (3) is configured to include a support guide (4) to prevent rocking up and down when the transfer belt is operated.

상기 구동롤러(1)는 고리 형상의 이송밸트(3)를 팽팽하게 긴장된 상태로 지지함과 동시에 이송밸트(3)를 회전시키기 위한 수단으로 모터(2)에 의해 회전된다. The drive roller 1 is rotated by the motor 2 as a means for rotating the transfer belt 3 while supporting the annular transfer belt 3 in a tense state.

상기 구동롤러(1)들 사이에 걸린 이송밸트(3)는 실제로 기판과 접촉되어 기판을 이송시키는 수단으로서 상기한 바와 같이 구동롤러(1)들에 의해 팽팽하게 긴장된 상태를 유지하고 있으며, 도 1 내지 도 9에 도시한 바와 같이, 기판이 올려지는 면의 저면에는 지지가이드(4)가 설치되어 이송밸트(3)의 중간 부분이 아래로 쳐지는 것을 방지하였다. The conveying belt 3 caught between the drive rollers 1 is actually in contact with the substrate and is maintained in the tensioned state by the drive rollers 1 as described above as a means for transferring the substrate. As shown in Figure 9, the support guide (4) is installed on the bottom of the surface on which the substrate is raised to prevent the middle portion of the transfer belt (3) to be struck down.

상기 지지가이드(4)는 도시한 바와 같이 구동롤러(1)들의 상단 부분과 그 상부면이 일치되게 설치되어 있으며, 이송밸트(3)의 저면을 지지하여 이송밸트의 중간 부분이 쳐지는 것을 방지한다. 의 The support guide 4 is installed so that the upper portion and the upper surface of the drive rollers 1 are matched as shown, and supports the bottom of the conveying belt 3 to prevent the middle portion of the conveying belt is struck. do. of

상기와 같이 구성된 기판이송장치에 있어서, 상기 이송밸트(3)와 지지가이드(4) 사이에는 마찰이 발생될 수 있으며, 이렇게 마찰이 발생되면 이송밸트(3)가 이동하는 과정에서 일정한 속도로 이동되지 못하고 이동과 정지를 반복할 수 있게 된다. In the substrate transfer apparatus configured as described above, friction may occur between the transfer belt 3 and the support guide 4, and when friction occurs, the transfer belt 3 moves at a constant speed in the process of moving. It will not be able to repeat the movement and stop.

이러한 문제를 해소하기 위해 상기 이송밸트(3)의 양 가장자리에는 다수의 이송롤러(5)들을 설치하여 이송밸트(3)의 저면이 지지가이드(4)의 상부면으로부터 이격된 상태로 지지됨과 동시에 이송롤러(5)들이 자전하여 이송밸브(3)가 원활하게 이동될 수 있게 하였다. In order to solve this problem, a plurality of feed rollers 5 are installed at both edges of the transfer belt 3 so that the bottom of the transfer belt 3 is supported while being spaced apart from the top surface of the support guide 4. The feed rollers 5 rotate to allow the feed valve 3 to move smoothly.

또한, 이송밸트(3)의 상부면에는 도시한 바와 같이 기판의 하단이 안치될 수 있는 기판안치홈(3a)을 더 형성할 수 있으며, 이 기판안치홈(3a)에 기판의 하단을 안치시킨 상태에서 기판이 이송된게 된다. In addition, the upper surface of the transfer belt (3) may further form a substrate settling groove (3a) that can be placed in the lower end of the substrate, as shown, and the lower end of the substrate settled in the substrate settling groove (3a) In this state, the substrate is transferred.

상기와 같이 구성된 기판이송장치의 이송밸트(3)는 도 2내지 도 6에 도시한 바와 같이 그 표면에 다수의 돌출부를 형성하여 구성할 수 있으며, 이 돌출부의 중단 부분의 기판 이송 방향으로 상기한 기판안치홈(3a)이 형성된다. The transfer belt 3 of the substrate transfer apparatus configured as described above may be configured by forming a plurality of protrusions on the surface thereof, as shown in FIGS. The substrate settling groove 3a is formed.

또한 상기와 같이 구성된 기판이송장치는 지지가이드(4)에 의해 이송밸트(3)가 지지되어 기판에 상하로 충격이 가해지는 것을 방지할 수 있으나, 기판의 좌우 즉, 기판의 판면과 수직을 이루는 방향으로의 흔들림은 흡수할 수 없게 된다. In addition, the substrate transfer apparatus configured as described above may support the transfer belt 3 by the support guide 4 to prevent the impact of the substrate up and down, but is perpendicular to the left and right sides of the substrate, that is, perpendicular to the plate surface of the substrate. The shaking in the direction cannot be absorbed.

이에 따라 도 3 및 도 6내지 도 9에 도시한 바와 같이 기판을 지지하는 부분을 좌우로 이동될 수 있게 구성하여 기판의 좌우 움직임을 흡수 할 수 있게 하였다. Accordingly, as shown in FIGS. 3 and 6 to 9, the portion supporting the substrate can be moved to the left and right to absorb the left and right movements of the substrate.

이렇게 기판의 좌우 움직임을 흡수할 수 있게 하기 위한 수단은 다양하게 변형하여 구성될 수 있으며, 다만 밸트 본체(31)의 길이 방향으로의 이동시 기판의 좌우방향 움직임을 흡수 및 완충시킬 수 있도록 기판을 지지할 수 있으면 되며, 아래에서는 이렇게 기판을 지지하기 위한 수단의 예를 설명한다. The means for absorbing the left and right movements of the substrate may be configured in various ways, but supports the substrate to absorb and buffer the left and right movements of the substrate when the belt body 31 moves in the longitudinal direction. An example of a means for supporting the substrate will be described below.

이렇게 기판의 좌우 움직임을 흡수할 수 있게 하기 위한 수단은 도 5내지 도 10에 도시한 바와 같이 구성될 수 있다. The means for absorbing the left and right movements of the substrate may be configured as shown in FIGS. 5 to 10.

먼저, 도 6 및 도 7을 살펴보면 본 발명에 따른 기판이송장치의 밸트본체(31)의 길이 방향 중앙의 기판과 대향되는 부분에 탄성지지체(33)에 의해 탄성적으로 지지되도록 기판지지판(32)을 설치하여 기판이 이송밸트의 양 가장자리를 향한 방향으로 움직이는 진동을 흡수할 수 있도록 구성하였다. First, referring to FIGS. 6 and 7, the substrate supporting plate 32 is elastically supported by the elastic support 33 at a portion of the belt main body 31 of the substrate transfer apparatus according to the present invention, which is opposed to the substrate in the longitudinal center. By installing the substrate was configured to absorb the vibrations moving in the direction toward both edges of the transfer belt.

상기 기판지지판(32)은 도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이, 상기 탄성지지체(33)의 중간부분을 굽혀 기판안치홈(3a)을 형성하여 탄성지지체와 기판지지판이 하나의 몸체로 구성될 수도 있다. As shown in FIGS. 8 and 9, the substrate support plate 32 is formed by bending an intermediate portion of the elastic support 33 to form a substrate settling groove 3a so that the elastic support and the substrate support plate may be formed of one body. It may be.

이와 같이 탄성적으로 지지되는 기판지지판(32)을 지지하는 탄성지지체(33)는 도 6내지 도 9에 도시한 바와 같이 일측 단부를 밸트본체(31)에 고정볼트 등의 고정수단으로 직접 고정시키거나, 도 10 및 도 11에 도시한 바와 같이 밸트본체(31)의 양 가장자리에 위로 돌출된 고정부(34)를 형성하고 이 고정부(34)에 탄성지지체(33)의 일측 단부를 고정시킬 수도 있다. The elastic support 33 for supporting the substrate support plate 32 which is elastically supported as described above is directly fixed to one end of the belt main body 31 with fixing means such as fixing bolts as shown in FIGS. 6 to 9. Alternatively, as shown in FIGS. 10 and 11, the fixing parts 34 protruding upward from both edges of the belt body 31 may be formed, and one end of the elastic support 33 may be fixed to the fixing parts 34. It may be.

이와 같이 구성된 기판이송장치는 상기 기판지지판(32)들에 의해 지지되는 기판은 좌우 방향 즉, 기판의 이동 방향과 직각을 이루는 방향으로 흔들릴 때, 이 흔들림을 억지로 잡아 주는 것이 아니라 서서히 완화시킴으로서 기판의 일부만이 좌우방향으로 급격하게 변형됨에 의해 발생되는 기판의 깨짐을 방지할 수 있게 된다. In the substrate transfer apparatus configured as described above, when the substrate supported by the substrate support plates 32 is shaken in the left-right direction, that is, the direction perpendicular to the moving direction of the substrate, the substrate transfer apparatus does not force the shake but gradually relaxes the substrate. Only a part of the substrate can be prevented from being broken by being rapidly deformed in the left and right directions.

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치의 일예를 도시한 사시도이고, 1 is a perspective view showing an example of a substrate transfer apparatus according to the present invention,

도 2은 본 발명에 따른 기판이송장치의 다른 일예를 도시한 사시도이고, 2 is a perspective view showing another example of the substrate transfer apparatus according to the present invention,

도 3는 본 발명에 따른 기판이송장치의 구동롤러부를 확대하여 도시한 사시도이고, 3 is an enlarged perspective view of the driving roller unit of the substrate transfer apparatus according to the present invention;

도 4은 본 발명에 따른 기판이송장치의 측면도이고, 4 is a side view of the substrate transfer apparatus according to the present invention;

도 5내지 도 10은 본 발명에 따른 기판이송장치에 구비된 이송밸트의 서로 다른 일예를 도시한 단면도이다. 5 to 10 are cross-sectional views showing different examples of the transfer belt provided in the substrate transfer apparatus according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1 : 구동롤러1: driving roller

2 : 모터2: motor

3 : 이송밸트3: Transfer belt

3a : 기판안치홈  3a: substrate settling groove

31 : 밸트 본체  31: belt body

32 : 기판지지판  32: substrate support plate

33 : 탄성지지체  33: elastic support

34 : 고정부  34: fixed part

4 : 지지가이드4: support guide

5 : 이송롤러5: feed roller

Claims (7)

반도체, LCD, PDP 등을 제조함에 사용되는 기판을 이송하는 이송 장치에 있어서, In the transfer device for transferring a substrate used for manufacturing a semiconductor, LCD, PDP, etc., 두 개의 구동롤러(1)와 ; Two driving rollers 1; 상기 구동롤러(1)들을 회전시키는 모터(2)와 ; A motor 2 for rotating the drive rollers 1; 상기 구동롤러(1)들에 감겨져 구동롤러에 의해 회전하여 기판을 이송하는 이송밸트(3)와 ; A transfer belt 3 wound around the drive rollers 1 and rotating by the drive rollers to transfer the substrate; 상기 이송밸트(3)의 저면에 설치되어 이송밸트가 작동될 때 상하로 출렁거림을 방지하는 지지가이드(4)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판이송장치.And a support guide (4) installed on the bottom of the transfer belt (3) to prevent it from moving up and down when the transfer belt is operated. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 이송밸트(3)의 이송방향의 중간 부분에는 기판의 하단이 안치되는 기판안치홈(3a)이 더 형성됨을 특징으로 하는 기판이송장치.Substrate transfer apparatus, characterized in that the substrate settling groove (3a) is further formed in the middle portion of the transfer direction of the transfer belt (3) is settled. 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 이송밸트(3)의 양 가장자리에는 이송밸트(3)가 지지가이드(4)의 상부에서 용이하게 이동되게 하기 위한 다수의 이송롤러(5)들이 더 설치됨을 특징으로 하는 기판이송장치.Substrate transfer apparatus, characterized in that the transfer belt (3) is further provided on both edges of the transfer belt (3) is provided with a plurality of transfer rollers (5) for easy movement in the upper portion of the support guide (4). 제 3 항에 있어서, The method of claim 3, wherein 상기 이송밸트(3)는 밸트 본체(31)의 길이 방향 중앙의 기판과 대향되는 부분에 탄성지지체(33)에 의해 탄성적으로 지지되도록 기판지지판(32)을 설치하여 기판이 이송밸트의 양 가장자리를 향한 방향으로 움직이는 진동을 흡수할 수 있도록 구성됨을 특징으로 하는 기판이송장치.The transfer belt 3 is provided with a substrate support plate 32 so that the substrate is elastically supported by the elastic support 33 at a portion of the belt main body 31 facing the substrate in the longitudinal direction of the belt main body 31 so that the substrate is supported at both edges of the transfer belt. Substrate transfer apparatus, characterized in that configured to absorb the vibration moving in the direction toward. 제 4 항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 기판지지판(32)은 상기 탄성지지체(33)의 중간부분을 굽혀 기판안치홈(3a)을 형성하여 구성됨을 특징으로 하는 기판이송장치.The substrate support plate (32) is a substrate transfer device, characterized in that formed by bending the middle portion of the elastic support (33) to form a substrate settling groove (3a). 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서, The method according to claim 4 or 5, 상기 탄성지지체(33)는 밸트 본체(31)의 바닥에 고정됨을 특징으로 하는 기판이송장치.The elastic support (33) is a substrate transfer device, characterized in that fixed to the bottom of the belt body (31). 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서, The method according to claim 4 or 5, 상기 탄성지지체(33)는 밸트 본체(31)의 양 가장자리에 위로 돌출된 고정부(34)에 고정됨을 특징으로 하는 기판이송장치.The elastic support (33) is a substrate transfer device, characterized in that fixed to the fixing portion (34) protruding upward on both edges of the belt body (31).
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