KR101006459B1 - Apparatus for substrate transfer - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 지지하는 지지플레이트가 용이하게 승강할 수 있도록 안내함으로써 외부충격을 완화시켜 기판을 보호할 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus that can protect a substrate by mitigating an external impact by guiding the support plate supporting the substrate to be easily lifted.

본 발명에 의한 기판 이송장치는 이송수단; 상기 이송수단에 고정설치되는 프레임; 상기 프레임의 내부에 수평방향으로 개재되는 지지플레이트; 상기 지지플레이트의 상부에 설치되어 기판을 지지하는 지지부; 상기 프레임의 내부에서 상기 지지플레이트에 상승압력을 부여하는 부양수단; 및 상기 지지플레이트의 승강을 안내하는 안내부재;를 포함한다. The substrate transfer apparatus according to the present invention comprises a transfer means; A frame fixed to the conveying means; A support plate interposed in the horizontal direction in the frame; A support part installed at an upper portion of the support plate to support a substrate; Floating means for applying a lifting pressure to the support plate inside the frame; And a guide member for guiding the lifting and lowering of the support plate.

기판. 이송. 기립. 완충. 스프링. 안내부재. Board. transfer. rising. Cushioning. spring. Guide member.

Description

기판 이송장치{APPARATUS FOR SUBSTRATE TRANSFER}Substrate Transfer Equipment {APPARATUS FOR SUBSTRATE TRANSFER}

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 지지하는 지지플레이트가 용이하게 승강할 수 있도록 안내함으로써 외부충격을 완화시켜 기판을 보호할 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus that can protect a substrate by mitigating an external impact by guiding the support plate supporting the substrate to be easily lifted.

일반적으로 반도체나 평판디스플레이 패널을 제조하기 위하여는 웨이퍼 또는 유리 등의 기판에 다양한 처리를 하게 된다. 이 때, 상기 기판에 소정의 처리를 위하여 각 스테이지로 이송하거나 또는 이송하면서 공정을 수행하게 되는데, 이를 위해 기판 이송장치가 요구된다. Generally, in order to manufacture a semiconductor or flat panel display panel, various processes are performed on a substrate such as a wafer or glass. In this case, the substrate is transferred to each stage for a predetermined process or while the transfer is performed, the substrate transfer apparatus is required.

통상적으로 기판 이송장치는 기판을 수평상태로 이송하게 되는데, 이 경우, 기판의 폭만큼의 공간이 필요하므로 기판이 대형화되면서 설치면적 및 설치비가 증가되는 문제점이 있었다. In general, the substrate transfer apparatus transfers the substrate in a horizontal state. In this case, since the space is equal to the width of the substrate, there is a problem in that the installation area and the installation cost increase as the substrate is enlarged.

따라서 종래에도 기판을 수직 또는 수직으로부터 소정각도 기울어지게 기립시킨 상태에서 이송하는 방식이 개시되었는바, 도 1 및 도 2를 참조하여 종래 기립상태의 기판 이송장치(1)를 설명한다. Therefore, a method of transferring a substrate in a state in which the substrate is vertically or vertically inclined at a predetermined angle has been disclosed. Referring to FIGS. 1 and 2, the substrate transport apparatus 1 in the conventional standing state will be described.

도시된 바와 같이, 컨베이어밸트(10)와, 상기 컨베이어밸트(10)를 구동하는 구동부(11)와, 기판(S)을 기립상태로 지지하는 지지장치(20)로 구성된다. As shown, the conveyor belt 10, the drive unit 11 for driving the conveyor belt 10, and the support device 20 for supporting the substrate (S) in the standing state.

상기 기판 지지장치(20)는 상기 컨베이어밸트에 고정설치되는 프레임(21)과, 상기 프레임(21)의 내부 하면에 구비되는 자석(23)과, 상기 자석(23)과 같은 극성의 자석을 구비하는 지지플레이트(22)와, 상기 지지플레이트(22)의 상부에 연결되는 기판 지지부(24)로 구성된다. The substrate support apparatus 20 includes a frame 21 fixed to the conveyor belt, a magnet 23 provided on an inner lower surface of the frame 21, and a magnet of the same polarity as the magnet 23. It consists of a support plate 22 and a substrate support 24 connected to the upper portion of the support plate 22.

이러한 지지장치(20)는 기판에 상하방향의 충격이 전달되면, 자력에 의해 부양되어 있는 상태의 상기 지지플레이트가 하강하면서 충격이 완화되어 기판을 보호할 수 있는 것이다. When the support device 20 transmits a shock in a vertical direction to the substrate, the support plate 20 is lowered while being supported by magnetic force, thereby reducing the impact and protecting the substrate.

그러나 이러한 종래의 기판 지지장치의 경우, 상기 지지플레이트의 하강 또는 원위치로의 상승시, 상기 지지플레이트의 형태를 일정하게 유지할 수 없다. 즉, 수평상태로 유지되지 않은 채 지지플레이트가 상승 또는 하강하는 경우가 빈번하다. 이 경우, 지지부에 의해 지지되는 기판에 2차 충격을 가하게 되어 기판을 손상시키는 원인이 된다. However, in the case of the conventional substrate support apparatus, the shape of the support plate cannot be kept constant when the support plate descends or rises to its original position. That is, the support plate is often raised or lowered without being kept horizontal. In this case, secondary shock is applied to the substrate supported by the supporting portion, which causes damage to the substrate.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판을 지지하는 지지플레이트가 용이하게 승강할 수 있도록 안내함으로써 외부충격을 완화시켜 기판을 보호할 수 있는 기판 이송장치를 제공함에 있다. The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus that can protect the substrate by mitigating the external shock by guiding the support plate for supporting the substrate can be easily lifted Is in.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 기판 이송장치는 이송수단; 상기 이송수단에 고정설치되는 프레임; 상기 프레임의 내부에 수평방향으로 개재되는 지지플레이트; 상기 지지플레이트의 상부에 설치되어 기판을 지지하는 지지부; 상기 프레임의 내부에서 상기 지지플레이트에 상승압력을 부여하는 부양수단; 및 상기 지지플레이트의 승강을 안내하는 안내부재;를 포함한다. In order to solve the above technical problem, the substrate transfer apparatus according to the present invention transfer means; A frame fixed to the conveying means; A support plate interposed in the horizontal direction in the frame; A support part installed at an upper portion of the support plate to support a substrate; Floating means for applying a lifting pressure to the support plate inside the frame; And a guide member for guiding the lifting and lowering of the support plate.

또한 상기 안내부재는 상기 지지플레이트의 단부에 설치되어 상기 프레임의 내측벽에 구름접촉하는 롤러인 것이 바람직하다. In addition, the guide member is preferably provided on the end of the support plate is a roller in contact with the inner wall of the frame.

또한 상기 롤러는 상기 지지플레이트의 양측 단부에 각각 구비되는 것이 바람직하다. In addition, the rollers are preferably provided at both ends of the support plate, respectively.

또한 상기 프레임의 내측벽에는 상기 롤러를 안내하는 안내홈이 형성되는 것이 바람직하다. In addition, the inner wall of the frame is preferably formed with a guide groove for guiding the roller.

또한 상기 부양수단은 상기 지지부에 가해지는 상하방향의 충격을 완화시키는 것이 바람직하다. In addition, the support means is preferably to mitigate the impact in the vertical direction applied to the support.

또한 상기 부양수단은 상기 프레임의 하면과 지지플레이트에 각각 구비되는 서로 같은 극성의 자석인 것이 바람직하다. In addition, the supporting means is preferably a magnet of the same polarity provided on each of the lower surface and the support plate of the frame.

또한 상기 부양수단은 상기 프레임의 내부에서 상기 지지플레이트를 지지하는 압축스프링인 것이 바람직하다.In addition, the support means is preferably a compression spring for supporting the support plate in the interior of the frame.

또한 상기 부양수단은 상기 지지플레이트를 상기 프레임의 내부에서 공기부양시키는 에어블로워인 것이 바람직하다. In addition, the support means is preferably an air blower to air support the inside of the support plate.

또한 상기 지지부는 상기 기판을 기립상태로 지지하는 것이 바람직하다.In addition, the support portion preferably supports the substrate in an upright state.

또한 상기 지지부는 상기 기판의 기립상태에서 저면이 안착되는 홈이 형성되는 것이 바람직하다. In addition, the support portion is preferably formed with a groove in which the bottom is seated in the standing state of the substrate.

또한 상기 이송수단은 컨베이어밸트인 것이 바람직하다. In addition, the conveying means is preferably a conveyor belt.

본 발명에 따르면, 기판을 지지하는 지지플레이트가 용이하게 승강할 수 있도록 안내하기 때문에 외부충격을 완화시켜 기판을 보호할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, since the support plate for supporting the substrate is easily guided to lift and lower, there is an effect that the external shock can be alleviated to protect the substrate.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예의 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the configuration and operation of the embodiment according to the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 제1실시예(100)는 이송수단인 컨베이어밸트와, 상기 컨베이어밸트에 고정설치되는 프레임(110)과, 상기 프레임(110)의 내부에 수평방향으로 개재되는 지지플레이트(130)와, 기립상태의 기판(S)을 지지하는 홈(121)이 형성된 지지부(120)와, 상기 프레임(110)의 내부에서 상기 지지플레이트(130)에 상승압력을 부여하는 부양수단(111,132)을 포함한다. 상기 지지플레이 트(130)는 상기 프레임(110)의 내부에 수납되어 이탈되지 못하도록 구속된다. 반면 상기 지지부(120)는 상기 프레임(110)의 개구부를 통해 프레임(110)의 외부로 돌출되어 기판을 지지하는 것이다. 상기 부양수단(111,132)은 상기 지지부(120)에 가해지는 상햐방향의 충격을 완화시키는 것이다. 본 실시예에서 상기 부양수단은 상기 프레임(110)의 하면과 지지플레이트(130)에 각각 구비되는 서로 같은 극성의 자석(111,132)으로 구성된다. Referring to FIG. 3, the first embodiment 100 according to the present invention includes a conveyor belt serving as a transfer means, a frame 110 fixed to the conveyor belt, and interposed in a horizontal direction inside the frame 110. The support plate 130 is formed, the support portion 120 is formed with a groove 121 for supporting the substrate (S) in the standing state, and to give a rising pressure to the support plate 130 inside the frame 110 It includes the support means (111,132). The support plate 130 is accommodated in the frame 110 and restrained from being separated. On the other hand, the support part 120 protrudes out of the frame 110 through the opening of the frame 110 to support the substrate. The support means (111,132) is to mitigate the impact in the vertical direction applied to the support portion 120. In the present embodiment, the support means is composed of magnets 111 and 132 of the same polarity provided on the lower surface of the frame 110 and the support plate 130, respectively.

특히, 상기 지지플레이트(130)의 양단부에는 상기 지지플레이트(130)의 승강을 안내하도록 상기 프레임(110)의 내측벽에 구름접촉하는 롤러(131)가 각각 한쌍씩 구비된다. In particular, both ends of the support plate 130 are provided with a pair of rollers 131 in contact with each other on the inner wall of the frame 110 to guide the lifting of the support plate 130, respectively.

또한 상기 프레임(110)의 내측벽에는 상기 롤러(131)를 안내하는 안내홈(미도시)이 형성된다. In addition, a guide groove (not shown) for guiding the roller 131 is formed on an inner wall of the frame 110.

이와 같이 구성된 본 실시예(100)는 컨베이어벨트를 타고 기립된 상태의 기판을 이송하는 중에, 외부환경 또는 이송장치 자체적으로 발생하는 진동이 가해지면, 지지플레이트(130)가 상하방향으로 승강하게 되며, 이 때, 상기 롤러(131)가 프레임(110)의 내측벽에 형성된 안내홈을 따라 구름접촉하면서 이동하게 되는 것이며, 이로 인해 상하방향의 외부충격 또는 진동이 완화되어 기판(S)을 보호할 수 있는 것이다. In this embodiment 100 configured as described above, when the vibration generated by the external environment or the transfer device itself is applied while transferring the substrate in the standing state on the conveyor belt, the support plate 130 is moved up and down. At this time, the roller 131 is to move while rolling in contact with the guide groove formed on the inner wall of the frame 110, thereby to mitigate the external impact or vibration in the vertical direction to protect the substrate (S) It can be.

도 4를 참조하면, 본 발명에 의한 제2실시예(200)는 안내부재로서 상기 지지플레이트(230)의 양단부에는 상기 지지플레이트(230)의 승강을 안내하도록 상기 프레임(210)의 내측벽에 구름접촉하는 롤러(231)가 각각 한쌍씩 구비되고, 또한 상기 프레임(210)의 내측벽에는 상기 롤러(231)를 안내하는 안내홈(미도시)이 형성된다는 점에서는 제1실시예와 동일하다. Referring to FIG. 4, the second embodiment 200 according to the present invention is a guide member provided at both ends of the support plate 230 to guide the lifting and lowering of the support plate 230 on the inner wall of the frame 210. A pair of rollers 231 in contact with each other are provided, and a guide groove (not shown) for guiding the rollers 231 is formed in the inner wall of the frame 210, which is the same as the first embodiment. .

다만, 부양수단으로서 서로 같은 극성의 자석 대신에 프레임(210)의 내부에서 지지플레이트(230)를 지지하는 압축스프링(240)으로 대체한 것이다.However, instead of the magnets of the same polarity as the support means is replaced by a compression spring 240 for supporting the support plate 230 in the interior of the frame 210.

도 5를 참조하면, 본 발명에 의한 제3실시예(300)는 안내부재로서 상기 지지플레이트(330)의 양단부에는 상기 지지플레이트(330)의 승강을 안내하도록 상기 프레임(310)의 내측벽에 구름접촉하는 롤러(331)가 각각 한쌍씩 구비되고, 또한 상기 프레임(310)의 내측벽에는 상기 롤러(331)를 안내하는 안내홈(미도시)이 형성된다는 점에서는 제1실시예(100)와 동일하다. Referring to FIG. 5, the third embodiment 300 according to the present invention is a guide member provided at both ends of the support plate 330 on the inner wall of the frame 310 to guide the lifting of the support plate 330. A pair of rollers 331 contacting each other are provided, and a first groove 100 is provided on the inner wall of the frame 310 to form a guide groove (not shown) for guiding the rollers 331. Is the same as

다만, 부양수단으로서 서로 같은 극성의 자석 대신에 프레임(310)의 내부에서 지지플레이트(330)를 공기부양하는 에어블로워(340)로 대체한 것이다. However, instead of the magnets having the same polarity as the support means, the support plate 330 is replaced by an air blower 340 for air support in the interior of the frame 310.

도 1은 종래 기판 이송장치를 나타낸 것이다. Figure 1 shows a conventional substrate transfer apparatus.

도 2는 종래 기판 지지장치를 나타낸 것이다. 2 shows a conventional substrate support apparatus.

도 3 내지 도 5는 본 발명에 의한 서로 다른 실시예를 나타낸 것이다. 3 to 5 show different embodiments according to the present invention.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**DESCRIPTION OF REFERENCE NUMERALS

100: 제1실시예100: first embodiment

110: 프레임 111: 자석 110: frame 111: magnet

120: 지지부 121: 홈120: support 121: groove

130: 지지플레이트 131: 롤러130: support plate 131: roller

132: 자석132: magnet

200: 제2실시예 200: second embodiment

210: 프레임 220: 지지부 210: frame 220: support

221: 홈 230: 지지플레이트221: groove 230: support plate

231: 롤러 240: 압축스프링231: roller 240: compression spring

300: 제3실시예300: third embodiment

310: 프레임 320: 지지부 310: frame 320: support

321: 홈 330: 지지플레이트321: groove 330: support plate

331: 롤러 340: 에어블로워331: roller 340: air blower

Claims (11)

이송수단; Transfer means; 상기 이송수단에 고정설치되는 프레임;A frame fixed to the conveying means; 상기 프레임의 내부에 수평방향으로 개재되는 지지플레이트;A support plate interposed in the horizontal direction in the frame; 상기 지지플레이트의 상부에 설치되어 기판을 지지하는 지지부; A support part installed at an upper portion of the support plate to support a substrate; 상기 프레임의 내부에서 상기 지지플레이트에 상승압력을 부여하는 부양수단; 및 Floating means for applying a lifting pressure to the support plate inside the frame; And 상기 지지플레이트의 승강을 안내하는 안내부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. And a guide member for guiding the lifting and lowering of the support plate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 안내부재는 상기 지지플레이트의 단부에 설치되어 상기 프레임의 내측벽에 구름접촉하는 롤러인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. The guide member is a substrate transfer apparatus, characterized in that the roller is provided at the end of the support plate in contact with the inner wall of the frame rolling. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 롤러는 상기 지지플레이트의 양측 단부에 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. The rollers are substrate transport apparatus, characterized in that each provided on both ends of the support plate. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 프레임의 내측벽에는 상기 롤러를 안내하는 안내홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. Substrate transport apparatus, characterized in that the guide groove for guiding the roller is formed on the inner wall of the frame. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 부양수단은 상기 지지부에 가해지는 상하방향의 충격을 완화시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. The support means is a substrate transfer apparatus, characterized in that to mitigate the impact in the vertical direction applied to the support. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 부양수단은 상기 프레임의 하면과 지지플레이트에 각각 구비되는 서로 같은 극성의 자석인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. The support means is a substrate transfer apparatus, characterized in that the magnet of the same polarity provided on the lower surface and the support plate of the frame, respectively. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 부양수단은 상기 프레임의 내부에서 상기 지지플레이트를 지지하는 압축스프링인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. The support means is a substrate transfer apparatus, characterized in that the compression spring for supporting the support plate in the interior of the frame. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 부양수단은 상기 지지플레이트를 상기 프레임의 내부에서 공기부양시키는 에어블로워인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. The support means is a substrate transfer device, characterized in that the air blower for air support the support plate in the interior of the frame. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지부는 상기 기판을 기립상태로 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. And the support part supports the substrate in an upright state. 제9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 지지부는 상기 기판의 기립상태에서 저면이 안착되는 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The support portion substrate transfer apparatus, characterized in that the groove is formed in which the bottom is seated in the standing state of the substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이송수단은 컨베이어밸트인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. The conveying means is a substrate conveying apparatus, characterized in that the conveyor belt.
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