KR101400156B1 - Plasma Processing Apparatus - Google Patents

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KR101400156B1 KR1020120102313A KR20120102313A KR101400156B1 KR 101400156 B1 KR101400156 B1 KR 101400156B1 KR 1020120102313 A KR1020120102313 A KR 1020120102313A KR 20120102313 A KR20120102313 A KR 20120102313A KR 101400156 B1 KR101400156 B1 KR 101400156B1
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    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
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    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Abstract

기판이송장치가 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 기판이송장치는, 기판의 이송을 위한 장치로써, 상기 기판의 이동방향을 따라 설치되는 베이스(10)와; 상기 기판의 이동방향을 따라 서로 이격되어 상기 베이스(10)에 결합되는 복수의 제1 마그넷(12)을 구비하는 마그넷열(14)과; 상기 베이스(10)를 따라 이동하며, 상기 기판이 안착되는 트레이(16)와; 상기 제1 마그넷(12)에 대해 서로 동일극성이 대향하도록 상기 트레이(16)에 결합되는 제2 마그넷(18); 및 상기 트레이(16)를 이동시키는 구동부(20)를 포함한다. 본 발명의 실시예에 따른 기판이송장치는 기판이송과정에서 트레이(16)의 하중에 의해 발생할 수 있는 기판이송장치의 손상을 방지하고, 구동부(20)와 트레이(16)의 마찰에 의한 파티클의 발생을 감소시킬 수 있다.
A substrate transfer apparatus is disclosed. A substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention is an apparatus for transferring a substrate, comprising: a base 10 installed along a moving direction of the substrate; A magnet array (14) having a plurality of first magnets (12) spaced apart from one another along the moving direction of the substrate and coupled to the base (10); A tray (16) moving along the base (10) and on which the substrate is placed; A second magnet (18) coupled to the tray (16) such that the first magnet (12) faces the same polarity; And a driving unit 20 for moving the tray 16. The substrate transferring apparatus according to the embodiment of the present invention prevents damage to the substrate transferring apparatus that may be caused by the load of the tray 16 in the substrate transferring process and prevents the transfer of particles due to friction between the driving unit 20 and the tray 16. [ The occurrence can be reduced.

Description

기판이송장치 {Plasma Processing Apparatus}{Plasma Processing Apparatus}

본 발명은 기판이송장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 기판이 안착되는 트레이를 지지하면서 이송시키기 위한 기판이송장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a substrate transfer apparatus. More particularly, the present invention relates to a substrate transfer apparatus for transferring a tray on which a substrate is placed while supporting the same.

최근, 정보기기에 대한 수요증가에 의하여, 정보기기에 정보를 표시할 수 있는 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 디스플레이와 같은 영상표시장치의 수요가 증가하고 있다. 위와 같은 평면패널 디스플레이는 더 많은 정보를 쾌적하게 표시하고자 대형화 되고 있으며, 디스플레이 제조공정의 효율화를 위하여 디스플레이 패널의 대면적화가 진행되고 있다. 최근에는 한 변의 길이가 2미터 이상에 이르는 8세대 기판의 생산이 시도 되고 있다.2. Description of the Related Art In recent years, there has been an increasing demand for image display devices such as an LCD (Liquid Crystal Display) and OLED (Organic Light Emitting Diodes) display capable of displaying information on information devices due to an increase in demand for information devices. The above-mentioned flat panel display has been enlarged to display more information comfortably, and the display panel has been made larger in order to make the display manufacturing process more efficient. In recent years, production of an 8th generation substrate having a length of at least 2 meters on one side has been attempted.

이러한 평면패널 디스플레이의 제조공정은 기판에 대한 소성 등을 수행하는 전처리과정, 처리된 기판에 전극을 형성하는 전극형성과정, 형성된 전극 위에 색상 발현층을 형성하는 색상 발현층 형성과정 및 처리된 기판을 디스플레이 패널로 가공하는 후처리과정 등 네 단계로 나눌 수 있다.The fabrication process of the flat panel display includes a preprocessing process for performing firing and the like on the substrate, an electrode formation process for forming an electrode on the processed substrate, a color development layer formation process for forming a color development layer on the formed electrode, And a post-processing process for processing the display panel.

그러나, 기판이 대면적화 될수록 기판의 무게가 증가하게 되며, 기판을 이송하는데 사용되는 트레이의 무게 또한 증가하게 된다. 기판과 트레이의 무게가 증가됨에 따라 트레이를 이송하는 이송장치와 마찰이 증가하게 되며, 마찰로 인하여 트레이 및 기판이송장치에서 파티클이 발생하는 문제가 있다. 이송과정 중에 발생하는 파티클 중 일부는 기판에 부착될 수 있으며, 기판의 불량률을 높이는 원인이 된다. 또한, 트레이의 하중에 의한 기판이송장치의 손상발생 등의 문제가 있다.
However, as the substrate becomes larger, the weight of the substrate increases, and the weight of the tray used to transport the substrate also increases. As the weight of the substrate and the tray increases, friction with the conveying device for conveying the tray increases, and particles are generated in the tray and the substrate conveying device due to friction. Part of the particles generated during the transfer process can be adhered to the substrate, which causes the defect rate of the substrate to increase. In addition, there is a problem that the substrate transfer device is damaged due to the load of the tray.

본 발명은 기판을 기판이송과정에서 트레이의 하중에 의해 발생할 수 있는 기판이송장치의 손상을 방지하고, 구동부와 트레이의 마찰에 의한 파티클의 발생을 감소할 수 있는 기판이송장치를 제공한다.
The present invention provides a substrate transfer apparatus capable of preventing damage to a substrate transfer apparatus that may be caused by a load of a tray in a process of transferring a substrate to the substrate and reducing generation of particles due to friction between the drive unit and the tray.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판의 이송을 위한 장치로써, 상기 기판의 이동방향을 따라 설치되는 베이스와; 상기 기판의 이동방향을 따라 서로 이격되어 상기 베이스에 결합되는 복수의 제1 마그넷을 구비하는 마그넷열과; 상기 베이스를 따라 이동하며, 상기 기판이 안착되는 트레이와; 상기 제1 마그넷에 대해 서로 동일극성이 대향하도록 상기 트레이에 결합되는 제2 마그넷; 및 상기 트레이를 이동시키는 구동부를 포함하는 기판이송장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for transferring a substrate, comprising: a base installed along a moving direction of the substrate; A magnet array having a plurality of first magnets spaced apart from each other along the moving direction of the substrate and coupled to the base; A tray moving along the base, on which the substrate is placed; A second magnet coupled to the tray such that the first magnet and the second magnet are opposite in polarity to each other; And a driving unit for moving the tray.

상기 베이스는, 상기 트레이의 양측단에 인접하여 상기 베이스에서 연장되며 상기 트레이의 이동을 가이드하는 한 쌍의 측벽을 포함할 수 있다.The base may include a pair of sidewalls extending from the base adjacent to opposite ends of the tray and guiding movement of the tray.

상기 제1 마그넷 또는 제2 마그넷 중 어느 하나에는, 함입홈이 형성되며, 나머지 하나에는 상기 함입홈에 삽입되는 돌부가 형성될 수 있다. In one of the first magnet and the second magnet, a recessed groove may be formed, and the other may have a protrusion inserted into the recessed groove.

상기 구동부는, 상기 측벽을 관통하는 샤프트와; 상기 샤프트의 일단에 결합되며 상기 트레이에 접하는 이송롤러와; 상기 샤프트의 타단에 결합되는 종동롤러와; 상기 종동롤러에 접하여 상기 종동롤러를 회전시키는 구동롤러; 및 상기 구동롤러를 회전시키는 모터를 포함할 수 있다.The driving unit includes: a shaft passing through the side wall; A conveying roller coupled to one end of the shaft and contacting the tray; A driven roller coupled to the other end of the shaft; A driving roller that rotates the driven roller in contact with the driven roller; And a motor for rotating the driving roller.

상기 측벽에는, 상기 트레이를 향하여 연장되는 측벽탭이 형성되고, 상기 트레이에는 상기 측벽 방향을 향하여 연장되며 상기 측벽탭에 지지되는 트레이탭이 형성될 수 있다. A sidewall tab extending toward the tray may be formed on the sidewall, and a tray tab extending toward the sidewall and supported by the sidewall tab may be formed on the tray.

상기 베이스에는, 상기 기판의 이동방향을 따라 형성되는 가이드레일이 형성될 수 있으며, 상기 트레이에는, 상기 가이드레일에 의해 안내되는 가이드블록이 형성될 수 있다.A guide rail may be formed on the base along a movement direction of the substrate, and a guide block guided by the guide rail may be formed on the tray.

상기 마그넷열은 상기 베이스의 폭 방향으로 서로 이격되어 복수 개로 형성될 수 있다. The plurality of magnet rows may be spaced apart from each other in the width direction of the base.

기판이송장치는, 상기 구동부와 상기 제1 마그넷 사이에 개재되어 상기 구동부의 승강과 반대방향으로 상기 제1 마그넷을 승강시키는 균형조절부를 더 포함할 수 있다. The substrate transfer apparatus may further include a balance adjusting unit interposed between the driving unit and the first magnet to move the first magnet in a direction opposite to the elevation direction of the driving unit.

상기 구동부는, 상기 측벽을 관통하는 샤프트와; 상기 샤프트의 일단에 결합되며 상기 트레이에 접하는 이송롤러를 포함하며, 상기 균형조절부는, 일단이 상기 샤프트에 결합되는 제1 로드와; 상기 제1 로드에 평행하게 배치되며 일단이 상기 제1 마그넷에 결합되는 제2 로드와; 중앙부가 회전축에 회전가능하게 결합되며, 양단이 상기 제1 로드 및 상기 제2 로드의 타단에 힌지 결합되는 균형바를 포함할 수 있다.
The driving unit includes: a shaft passing through the side wall; And a feed roller coupled to one end of the shaft and contacting the tray, wherein the balance adjuster includes: a first rod having one end coupled to the shaft; A second rod disposed parallel to the first rod and having one end coupled to the first magnet; And a balance bar rotatably coupled to the rotary shaft at a central portion thereof and hinged to both ends of the first rod and the second rod at both ends thereof.

본 발명의 실시예에 따른 기판이송장치는, 기판이송과정에서 트레이의 하중에 의해 발생할 수 있는 기판이송장치의 손상을 방지하고, 구동부와 트레이의 마찰에 의한 파티클의 발생을 감소할 수 있도록 한다.
The substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention prevents damage to a substrate transfer apparatus that may be caused by a load of a tray in a substrate transfer process and reduces generation of particles due to friction between a driving unit and a tray.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 단면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 측면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 구동부의 구조를 설명하기 위한 도면.
도 4 및 도5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 변형예를 설명하기 위한 도면.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 단면도..
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 평면도.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 변형예의 단면도.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 변형예의 평면도.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 단면도.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 평면도.1 is a cross-sectional view of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention;
2 is a side view of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention;
3 is a view for explaining a structure of a driving unit according to an embodiment of the present invention;
4 and 5 are views for explaining a modification of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view of a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.
7 is a plan view of a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention;
8 is a cross-sectional view of a modification of the substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention;
9 is a plan view of a modification of the substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.
10 is a cross-sectional view of a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.
11 is a plan view of a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이하, 본 발명에 따른 기판이송장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT Hereinafter, embodiments of a substrate transfer apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like reference numerals refer to the same or corresponding components, A description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 단면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 측면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 구동부의 구조를 설명하기 위한 도면이다. 그리고, 도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 변형예를 설명하기 위한 도면이다. 1 is a cross-sectional view of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross- Fig. 4 and 5 are views for explaining a modified example of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 5에는 베이스(10), 제1 마그넷(12), 마그넷열(14), 트레이(16), 제2 마그넷(18), 구동부(20), 측벽(22), 샤프트(24), 이송롤러(26), 종동롤러(28), 구동롤러(30), 측벽탭(32), 트레이탭(34)이 도시되어 있다.1 to 5 show a second embodiment of the present invention in which the base 10, the first magnet 12, the magnet column 14, the tray 16, the second magnet 18, the driving portion 20, the side wall 22, A conveying roller 26, a driven roller 28, a driving roller 30, a side wall tap 32, and a tray tab 34 are shown.

본 실시예에 따른 플라즈마 처리장치는, 본 발명의 실시예에 따른 기판이송장치는, 기판의 이송을 위한 장치로써, 상기 기판의 이동방향을 따라 설치되는 베이스(10)와; 상기 기판의 이동방향을 따라 서로 이격되어 상기 베이스(10)에 결합되는 복수의 제1 마그넷(12)을 구비하는 마그넷열(14)과; 상기 베이스(10)를 따라 이동하며, 상기 기판이 안착되는 트레이(16)와; 상기 제1 마그넷(12)에 대해 서로 동일극성이 대향하도록 상기 트레이(16)에 결합되는 제2 마그넷(18); 및 상기 트레이(16)를 이동시키는 구동부(20)를 포함하여, 기판이송과정에서 트레이(16)의 하중에 의해 발생할 수 있는 기판이송장치의 손상을 방지하고, 구동부(20)와 트레이(16)의 마찰에 의한 파티클의 발생을 감소시킬 수 있다.In the plasma processing apparatus according to the present embodiment, the substrate transfer apparatus according to the embodiment of the present invention is an apparatus for transferring a substrate, the substrate 10 being installed along the moving direction of the substrate; A magnet array (14) having a plurality of first magnets (12) spaced apart from one another along the moving direction of the substrate and coupled to the base (10); A tray (16) moving along the base (10) and on which the substrate is placed; A second magnet (18) coupled to the tray (16) such that the first magnet (12) faces the same polarity; And a driving unit 20 for moving the tray 16 so as to prevent damage to the substrate transferring apparatus caused by the load of the tray 16 during the transferring of the substrate, It is possible to reduce the generation of particles due to the friction of the substrate.

베이스(10)는, 기판의 이동방향을 따라 설치된다. 기판은 평면형상을 가질 수 있으며, 베이스(10)의 폭은 평면형상 기판의 폭보다 넓게 제작될 수 있다. 베이스(10)는 기판의 이동방향을 따라 직선 또는 곡선형상으로 형성될 수 있다. 베이스(10)는 기판 처리공정을 수행하기 위해 충분한 길이를 가질 수 있다.The base 10 is provided along the moving direction of the substrate. The substrate may have a planar shape, and the width of the base 10 may be made wider than the width of the planar substrate. The base 10 may be formed in a linear or curved shape along the moving direction of the substrate. The base 10 may have a sufficient length to perform the substrate processing process.

베이스(10)는, 트레이(16) 양측단에 인접하여, 베이스(10)에서 연장되며, 트레이(16)의 이동을 가이드하는 한 쌍의 측벽(22)을 포함할 수 있다. 측벽(22)은 베이스(10)와 일체로 형성될 수 있으며, 트레이(16)가 베이스(10)를 따라 이동할 수 있도록 가이드할 수 있다. 한 쌍의 측벽(22)이 트레이(16)의 이동기준면의 높이보다 높게 베이스(10)에서 연장됨으로써, 트레이(16)가 베이스(10)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다. The base 10 may include a pair of side walls 22 adjacent to opposite ends of the tray 16 and extending from the base 10 and guiding movement of the tray 16. The side wall 22 may be integrally formed with the base 10 and may guide the tray 16 to move along the base 10. The pair of side walls 22 extend in the base 10 higher than the height of the movement reference plane of the tray 16 to prevent the tray 16 from being detached from the base 10. [

마그넷열(14)은, 기판의 이동방향을 따라 서로 이격되어 베이스(10)에 결합되는 복수의 제1 마그넷(12)을 구비한다. 제1 마그넷(12)은 N극과 S극을 가지며, 양극 중 어느 하나의 극이 베이스(10) 일면에 노출되도록 결합될 수 있다. 제1 마그넷(12)은 높은 자력을 갖는 자성재료인 네오디뮴 자석, 사마륨 자석, 코발트 자석 또는 네오디뮴, 철, 붕소의 희토류 소결자석 등으로 구성될 수 있으며, 전자석일 수 있다. 베이스(10)에 노출되는 제1 마그넷(12)의 일단은 후술할 제2 마그넷(18)의 타단과 동일극성을 가진다. 따라서, 제1 마그넷(12)과 제2 마그넷(18) 사이에는 척력이 작용하며, 트레이(16)의 무게를 상쇄시킬 수 있다.The magnet rows 14 have a plurality of first magnets 12 that are spaced apart from each other along the moving direction of the substrate and coupled to the base 10. The first magnet 12 has N poles and S poles, and one of the poles may be coupled to the base 10 so as to be exposed. The first magnet 12 may be composed of a neodymium magnet, a samarium magnet, a cobalt magnet, or a rare earth sintered magnet of neodymium, iron or boron, which is a magnetic material having a high magnetic force, or may be an electromagnet. One end of the first magnet 12 exposed to the base 10 has the same polarity as the other end of the second magnet 18 described later. Therefore, a repulsive force acts between the first magnet 12 and the second magnet 18, and the weight of the tray 16 can be canceled.

트레이(16)는, 베이스(10)를 따라 이동하며, 기판이 안착된다. 트레이(16)는 기판의 폭보다 넓고, 베이스(10)의 폭보다 좁은 폭을 가질 수 있다. 트레이(16)는 후술할 구동부(20)에 의하여 베이스(10)를 따라 이동하게 된다.The tray 16 moves along the base 10, and the substrate is seated. The tray 16 may have a width that is wider than the width of the substrate and narrower than the width of the base 10. The tray 16 is moved along the base 10 by a driving unit 20 to be described later.

제2 마그넷(18)은, 제1 마그넷(12)과 대향하도록 트레이(16)에 결합되며, 제1 마그넷(12)과 동일 극성을 갖는다. 제2 마그넷(18)은 N극과 S극을 가지며, 어느 하나의 극이 트레이(16) 일면에 노출되도록 결합될 수 있다. 제2 마그넷(18)은 제1 마그넷(12)과 동일한 소재의 자석일 수 있다. 트레이(16)의 일면에 노출되는 제2 마그넷(18)의 타단은 제1 마그넷(12)의 일단과 동일극성을 가진다. 따라서, 제1 마그넷(12)과 제2 마그넷(18) 사이에는 척력이 작용하며, 트레이(16)의 무게를 상쇄시킬 수 있다.  The second magnet 18 is coupled to the tray 16 so as to face the first magnet 12 and has the same polarity as the first magnet 12. The second magnet 18 has N poles and S poles, and one of the poles may be coupled to expose one surface of the tray 16. The second magnet 18 may be a magnet having the same material as that of the first magnet 12. The other end of the second magnet 18 exposed on one side of the tray 16 has the same polarity as one end of the first magnet 12. Therefore, a repulsive force acts between the first magnet 12 and the second magnet 18, and the weight of the tray 16 can be canceled.

구동부(20)는, 트레이(16)를 이동시킨다. 구동부(20)는 일단이 트레이(16)에 접하며, 타단이 동력원에 연결되어, 동력원에서 공급되는 동력에 의해 트레이(16)를 이동시킬 수 있다. The driving unit 20 moves the tray 16. One end of the driving unit 20 contacts the tray 16 and the other end is connected to a power source so that the tray 16 can be moved by the power supplied from the power source.

베이스(10)에 결합되는 제1 마그넷(12)과 트레이(16)에 결합되는 제2 마그넷(18)은 서로 동일한 극성이 대향되도록 일부가 노출되어, 상호간에 척력이 발생하여, 트레이(16) 및 기판의 하중이 상쇄된 상태로 이동한다. 트레이(16)의 이동은 트레이(16)의 일단에 접한 구동부(20)에 의하여 수행된다. The first magnet 12 coupled to the base 10 and the second magnet 18 coupled to the tray 16 are partially exposed so that the same polarity is opposite to each other, And the load of the substrate is canceled. The movement of the tray 16 is performed by the driving unit 20 which is in contact with one end of the tray 16.

트레이(16)와 구동부(20)의 접합부에서는, 트레이(16)의 무게로 인한 파티클이 발생할 수 있으나, 제1 마그넷(12)과 제2 마그넷(18) 사이에서 작용하는 척력에 의하여 트레이(16)의 무게를 일부 상쇄시킴으로써, 마찰력이 감소되어 파티클의 발생을 감소시킬 수 있다. 또한, 트레이(16)의 무게로 인한 구동부(20)의 변형도 상기한 척력에 의하여 방지할 수 있다.Particles may be generated due to the weight of the tray 16 at the junction of the tray 16 and the driving unit 20 but the toner may be trapped by the repulsive force acting between the first magnet 12 and the second magnet 18 ), The frictional force can be reduced and the generation of particles can be reduced. Also, deformation of the driving unit 20 due to the weight of the tray 16 can be prevented by the repulsive force.

도 3은 본 실시예에 따른 구동부(20)의 구조를 설명하기 위한 도면으로서, 도 3를 참조하면, 본 실시예에 따른 구동부(20)는, 상기 측벽(22)을 관통하는 샤프트(24)와 상기 샤프트(24)의 일단에 결합되며 상기 트레이(16)에 접하는 이송롤러(26)와 상기 샤프트(24)의 타단에 결합되는 종동롤러(28)와 상기 종동롤러(28)에 접하여 상기 종동롤러(28)를 회전시키는 구동롤러(30) 및 상기 구동롤러(30)를 회전시키는 모터를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 3, the driving unit 20 according to the present embodiment includes a shaft 24 passing through the side wall 22, A conveying roller 26 coupled to one end of the shaft 24 and contacting the tray 16, a driven roller 28 coupled to the other end of the shaft 24, A driving roller 30 for rotating the roller 28 and a motor for rotating the driving roller 30. [

샤프트(24)는 베이스(10)에 형성되는 측벽(22)을 관통하며, 샤프트(24)의 직경은 측벽(22)에 형성되는 관통공의 내경보다 작다. 따라서, 측벽(22)은 샤프트(24)의 회전에 영향을 주지 않는다. The shaft 24 passes through the side wall 22 formed in the base 10 and the diameter of the shaft 24 is smaller than the inner diameter of the through-hole formed in the side wall 22. Thus, the sidewall 22 does not affect the rotation of the shaft 24.

이송롤러(26)는 샤프트(24)의 일단에 결합되며, 트레이(16)에 접한다. 후술하는 모터의 회전에 의하여 샤프트(24) 및 이송롤러(26)가 회전하게 되며, 이송롤러(26)의 회전에 의하여 트레이(16)가 베이스(10)를 따라 이동할 수 있다. 이송롤러(26)는 트레이(16)에 접하기 때문에, 트레이(16)와 마찰되며, 마찰에 의하여 파티클이 발생할 수 있으나, 제1 마그넷(12)과 제2 마그넷(18) 사이의 척력에 의하여 트레이(16)의 하중이 상쇄되므로, 파티클의 발생을 줄일 수 있다.The conveying roller 26 is coupled to one end of the shaft 24 and abuts on the tray 16. The shaft 24 and the conveying roller 26 are rotated by the rotation of the motor described later and the tray 16 can be moved along the base 10 by the rotation of the conveying roller 26. [ Since the conveying roller 26 is in contact with the tray 16, it rubs against the tray 16 and particles may be generated by friction. However, due to the repulsive force between the first magnet 12 and the second magnet 18 The load of the tray 16 is canceled, so that generation of particles can be reduced.

종동롤러(28)는 샤프트(24)의 타단에 결합되며, 구동롤러(30)와 접한다. 구동롤러(30)는 구동축에 의하여 모터에 연결되며, 모터의 회전에 의하여 회전된다. 구동롤러(30)의 회전에 의하여 종동롤러(28)가 회전하며, 종동롤러(28)와 결합된 샤프트(24) 및 이송롤러(26)가 회전하게 되며, 트레이(16)를 이동하게 한다.The driven roller 28 is coupled to the other end of the shaft 24 and abuts against the driving roller 30. The drive roller 30 is connected to the motor by a drive shaft, and is rotated by the rotation of the motor. The driven roller 28 is rotated by the rotation of the driving roller 30 and the shaft 24 and the conveying roller 26 combined with the driven roller 28 are rotated to cause the tray 16 to move.

도 4 및 도 5는 본 실시예에 따른 기판이송장치의 변형예를 나타낸 도면이다. 도 4의 변형예는, 트레이(16)의 과중한 하중에 의하여 샤프트(24)의 처짐을 방지하기 위하여4 and 5 are views showing a modified example of the substrate transfer apparatus according to the present embodiment. The variant of Figure 4 is to prevent the shaft 24 from sagging due to the heavy load of the tray 16

베이스(10)의 측벽(22)에는, 트레이(16)를 향하여 연장되는 측벽탭(32)이 형성되고, 트레이(16)에는, 측벽(22) 방향을 향하여 연장되며, 측벽탭(32)의 상면에 대향하고, 측벽탭(32)과 이격되는 트레이탭(34)이 형성될 수 있다.A sidewall tab 32 extending toward the tray 16 is formed in the sidewall 22 of the base 10 and extends toward the sidewall 22 in the tray 16, A tray tab 34 facing the upper surface and spaced apart from the side wall tab 32 can be formed.

전술한 대로, 트레이(16)는 구동부(20)의 이송롤러(26)에 접하여 이송되므로, 트레이(16)의 하중이 적정한 경우는, 샤프트(24)의 처짐이 없고, 트레이탭(34)은 측벽탭(32)은 이격을 유지할 수 있다. 그러나, 트레이(16)의 하중이 과하여, 샤프트(24)가 처지게 될 경우, 트레이(16)는 베이스(10)를 이탈하거나 비정상적으로 이송될 수 있으나, 트레이탭(34)이 측벽탭(32)에 의해 가이드되므로, 비정상적인 이송 또는 이탈을 방지할 수 있다. When the load of the tray 16 is proper, there is no deflection of the shaft 24, and the tray tab 34 is in contact with the conveying roller 26 of the driving unit 20, The sidewall tab 32 can maintain the spacing. However, when the load of the tray 16 is exceeded and the shaft 24 is sagged, the tray 16 may be detached from the base 10 or may be abnormally transported, So that abnormal transport or departure can be prevented.

도 5의 변형예는, 트레이(16)의 이동 중에 트레이(16)의 이탈을 방지하기 위하여,제1 마그넷(12) 또는 제2 마그넷(18) 중 어느 하나에는, 함입홈을 형성하고, 나머지 하나에는 상기 함입홈에 삽입되는 돌부를 형성한 형태이다. 제1 마그넷(12) 또는 제2 마그넷(18)의 함입홈과 돌부의 구조에 의하여, 트레이(16)의 이동중에 발생할 수 있는 이탈을 방지할 수 있다. 5 may be modified such that a recessed groove is formed in any one of the first magnet 12 and the second magnet 18 to prevent the tray 16 from being separated from the tray 16 while the tray 16 is moving, And one has a projection formed in the recessed groove. By the structure of the recessed grooves and the protrusions of the first magnet 12 or the second magnet 18, it is possible to prevent deviations that may occur during the movement of the tray 16.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 단면도이고, 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 평면도이다. 그리고, 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 변형예의 단면도이고, 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 변형예의 평면도이다.FIG. 6 is a cross-sectional view of a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a plan view of a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention. FIG. 8 is a cross-sectional view of a modified example of the substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a plan view of a modified example of the substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 6 내지 도 9에는, 베이스(10), 제1 마그넷(12), 마그넷열(14), 트레이(16), 제2 마그넷(18), 구동부(20), 측벽(22), 샤프트(24), 이송롤러(26), 종동롤러(28), 구동롤러(30), 측벽탭(32), 트레이탭(34), 가이드레일(36), 가이드블록(38)이 도시되어 있다.6 to 9 show an embodiment in which the base 10, the first magnet 12, the magnet column 14, the tray 16, the second magnet 18, the driving portion 20, the side wall 22, the shaft 24 The conveying roller 26, the driven roller 28, the driving roller 30, the side wall tap 32, the tray tab 34, the guide rail 36, and the guide block 38 are shown.

본 실시예는 기판의 보다 정밀한 이송을 위한 것으로, 상술한 일 실시예에 따른 기판이송장치의 구성에 더하여, 베이스(10)에 기판의 이동방향을 따라 형성되는 가이드레일(36)을 형성하고, 트레이(16)에 가이드레일(36)에 의해 안내되는 가이드블록(38)을 형성한 형태이다.In addition to the configuration of the substrate transfer apparatus according to the above-described embodiment, the present embodiment further includes a guide rail 36 formed on the base 10 along the moving direction of the substrate, And the guide block 38 guided by the guide rail 36 is formed on the tray 16. [

구동부(20)의 작동에 따라 트레이(16)의 가이드블록(38)이 베이스(10)의 가이드레일(36)에 의해 가이드되어 보다 기판의 정밀한 이송이 가능하다. The guide block 38 of the tray 16 is guided by the guide rails 36 of the base 10 in accordance with the operation of the driving part 20,

본 실시예에서는 길이 방향을 따라 함입홈이 형성된 가이드레일(36)을 베이스(10)에 부착하고, 가이드레일(36)의 함입홈을 따라 이동하는 가이드블록(38)이 트레이(16)에 부착된 형태를 제시한다.In this embodiment, a guide rail 36 having a recessed groove formed along the longitudinal direction is attached to the base 10 and a guide block 38 moving along the recessed groove of the guide rail 36 is attached to the tray 16 .

도 8은 본 실시예에 따른 기판이송장치의 변형예의 단면도이고, 도 9는 본 실시예에 따른 기판이송장치의 변형예의 평면도로서,베이스(10)에 결합되는 마그넷열(14)을 베이스(10)의 폭 방향으로 서로 이격되게 복수 개로 형성한 형태이다. 베이스(10)에 형성되는 마그넷열(14)은 트레이(16)의 안정적인 이동을 위하여 트레이(16)의 무게중심선으로부터 동일하게 이격되어 설치될 수 있다.  9 is a plan view of a modified example of the substrate transfer apparatus according to the present embodiment, in which the magnet column 14 coupled to the base 10 is inserted into the base 10 In the width direction of the main body. The magnet rows 14 formed on the base 10 may be equally spaced from the center of gravity of the tray 16 for stable movement of the tray 16.

본 실시예에서는 2개의 마그넷열(14)이 베이스(10)에 형성된 구조를 제시하고 있으나, 2개 보다 많은 마그넷열(14)로 구성하는 것도 가능하다. Although the present embodiment shows a structure in which two magnet rows 14 are formed on the base 10, it is also possible to constitute more than two magnet rows 14.

한편, 복수의 마그넷열(14) 사이에는 가이드레일(36)이 배치될 수 있으며, 트레이(16)에는 가이드레일(36)에 대향하는 가이드블록(38)이 결합될 수 있다. A guide rail 36 may be disposed between the plurality of magnet rows 14 and a guide block 38 facing the guide rail 36 may be coupled to the tray 16.

도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 단면도이고, 도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 평면도이다.FIG. 10 is a cross-sectional view of a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention, and FIG. 11 is a plan view of a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 10 및 도 11에는, 베이스(10), 제1 마그넷(12), 마그넷열(14), 트레이(16), 제2 마그넷(18), 구동부(20), 측벽(22), 샤프트(24), 이송롤러(26), 종동롤러(28), 구동롤러(30), 측벽탭(32), 트레이탭(34), 가이드레일(36), 가이드블록(38), 제1 로드(54), 제2 로드(56), 균형바(58), 회전축(60), 힌지(62)가 도시되어 있다.10 and 11 show an embodiment in which the base 10, the first magnet 12, the magnet column 14, the tray 16, the second magnet 18, the driving portion 20, the side wall 22, the shaft 24 The conveying roller 26, the driven roller 28, the driving roller 30, the sidewall tab 32, the tray tab 34, the guide rail 36, the guide block 38, the first rod 54, A second rod 56, a balance bar 58, a rotary shaft 60, and a hinge 62 are shown.

트레이(16)에 기판을 안착시키면, 기판과 트레이(16)의 하중은 구동부(20)와 두 마그넷과의 척력에 의해 지지되는데, 본 실시예에 따른 기판이송장치는, 구동부(20)와 마그넷에 작용하는 하중을 분배하기 위해 구동부(20)와 제1 마그넷(12) 사이에 균형조절부를 개재시킨 형태이다.When the substrate is placed on the tray 16, the load of the substrate and the tray 16 is supported by the repulsive force between the driving unit 20 and the two magnets. The substrate transfer apparatus according to the present embodiment includes the driving unit 20, A balance adjuster is interposed between the driving unit 20 and the first magnet 12 to distribute a load acting on the first magnet 12.

균형조절부는, 구동부(20)와 제1 마그넷(12) 사이에 개재되어, 구동부(20)의 승강과 반대방향으로, 제1 마그넷(12)을 승강시켜 구동부(20)와 마그넷에 작용하는 하중을 분배한다.. The balance adjusting unit is disposed between the driving unit 20 and the first magnet 12 to raise and lower the first magnet 12 in a direction opposite to the lifting and lowering of the driving unit 20 so that the load acting on the driving unit 20 and the magnet .

본 실시예에 따른 균형조절부는, 일단이 샤프트(24)에 결합되는 제1 로드(54)와, 상기 제1 로드(54)에 평행하게 배치되며 일단이 상기 제1 마그넷(12)에 결합되는 제2 로드(56) 및 중앙부가 회전축(60)에 회전가능하게 결합되며, 양단이 상기 제1 로드(54) 및 상기 제2 로드(56)의 타단에 힌지(62) 결합되는 균형바(58)를 포함한다. The balancer according to the present embodiment includes a first rod 54 having one end coupled to the shaft 24 and a second rod 54 disposed parallel to the first rod 54 and having one end coupled to the first magnet 12 A second rod 56 and a balance bar 58 rotatably coupled to the rotary shaft 60 at the center and coupled to the other end of the first rod 54 and the second rod 56 at both ends, ).

트레이(16)의 하중에 의하여, 구동부(20)의 샤프트(24)가 하강할 수 있으며, 결국 샤프트(24)에 결합되는 제1 로드(54)가 하강한다. 제1 로드(54)의 하강으로 인하여 균형바(58)의 일단은 중앙부의 힌지(62)축을 중심으로 하강되고 이에 따라 균형바(58)의 타단이 상승된다. 균형바(58)의 타단의 상승에 따라 균형바(58)의 타단에 힌지(62)결합된 제2 로드(56)가 상승하면서 베이스(10)에 안착된 제1 마그넷(12)이 상승하게 된다. The shaft 24 of the drive 20 can be lowered by the load of the tray 16 and the first rod 54 coupled to the shaft 24 is lowered. Due to the descent of the first rod 54, one end of the balance bar 58 is lowered about the axis of the hinge 62 at the center, and the other end of the balance bar 58 is raised accordingly. The second rod 56 coupled to the hinge 62 at the other end of the balance bar 58 rises along with the rising of the other end of the balance bar 58 and the first magnet 12 mounted on the base 10 ascends do.

제1 마그넷(12)의 상승에 의하여, 척력이 작용하는 트레이(16)는 상승하게 되고, 상기 척력에 의하여 트레이(16)의 하중이 상쇄됨으로써 이송롤러(26)에 가해지는 하중이 감소되어 샤프트(24)가 상승하게 된다. 샤프트(24)의 상승에 따라 상기에 기술한 원리에 따라 제1 마그넷(12)이 하강하게 된다. 이와 같은 과정을 반복하여 구동부(20)와 마그넷에 작용하는 하중을 분배하게 된다. The tray 16 on which the repulsive force is applied is raised by the lifting of the first magnet 12 and the load applied to the conveying roller 26 is reduced by the counter force of the tray 16 due to the repulsive force, (24) rises. As the shaft 24 rises, the first magnet 12 is lowered according to the above-described principle. This process is repeated to distribute the load acting on the drive unit 20 and the magnet.

상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as set forth in the following claims It will be understood that the invention may be modified and varied without departing from the scope of the invention.

전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.
Many embodiments other than the above-described embodiments are within the scope of the claims of the present invention.

10: 베이스 12: 제1 마그넷
14: 마그넷열 16: 트레이
18: 제2 마그넷 20: 구동부
22: 측벽 24: 샤프트
26: 이송롤러 28: 종동롤러
30: 구동롤러 32: 측벽탭
34: 트레이탭 36: 가이드레일
38: 가이드블록
54: 제1 로드 56: 제2 로드
58: 균형바 60: 회전축
62: 힌지10: Base 12: 1st magnet
14: Magnet column 16: Tray
18: second magnet 20:
22: side wall 24: shaft
26: Feed roller 28: driven roller
30: drive roller 32: sidewall tab
34: Tray tab 36: Guide rail
38: guide block
54: first load 56: second load
58: balance bar 60: rotating shaft
62: Hinge

Claims (9)

기판의 이송을 위한 장치로써,
상기 기판의 이동방향을 따라 설치되는 베이스와;
상기 기판의 이동방향을 따라 서로 이격되어 상기 베이스에 결합되는 복수의 제1 마그넷을 구비하는 마그넷열과;
상기 베이스를 따라 이동하며, 상기 기판이 안착되는 트레이와;
상기 제1 마그넷에 대해 서로 동일극성이 대향하도록 상기 트레이에 결합되는 제2 마그넷; 및
상기 트레이를 이동시키는 구동부를 포함하며,
상기 제1 마그넷 또는 제2 마그넷 중 어느 하나에는 함입홈이 형성되며, 나머지 하나에는 상기 함입홈에 삽입되는 돌부가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
As an apparatus for transferring a substrate,
A base installed along the moving direction of the substrate;
A magnet array having a plurality of first magnets spaced apart from each other along the moving direction of the substrate and coupled to the base;
A tray moving along the base, on which the substrate is placed;
A second magnet coupled to the tray such that the first magnet and the second magnet are opposite in polarity to each other; And
And a driving unit for moving the tray,
Wherein at least one of the first magnet and the second magnet has a recess formed therein and the other has a recess inserted into the recess.
제1항에 있어서,
상기 베이스는,
상기 트레이의 양측단에 인접하여 상기 베이스에서 연장되며 상기 트레이의 이동을 가이드하는 한 쌍의 측벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
The method according to claim 1,
The base includes:
And a pair of side walls extending from the base adjacent to both ends of the tray and guiding movement of the tray.
삭제delete 제2항에 있어서,
상기 구동부는,
상기 측벽을 관통하는 샤프트와;
상기 샤프트의 일단에 결합되며 상기 트레이에 접하는 이송롤러와;
상기 샤프트의 타단에 결합되는 종동롤러와;
상기 종동롤러에 접하여 상기 종동롤러를 회전시키는 구동롤러; 및
상기 구동롤러를 회전시키는 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
3. The method of claim 2,
The driving unit includes:
A shaft passing through the side wall;
A conveying roller coupled to one end of the shaft and contacting the tray;
A driven roller coupled to the other end of the shaft;
A driving roller that rotates the driven roller in contact with the driven roller; And
And a motor for rotating the driving roller.
제2항에 있어서,
상기 측벽에는 상기 트레이를 향하여 연장되는 측벽탭이 형성되고,
상기 트레이에는 상기 측벽 방향을 향하여 연장되며 상기 측벽탭의 상면에 대향하고, 상기 측벽탭과 이격되는 트레이탭이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
3. The method of claim 2,
A side wall tab extending toward the tray is formed on the side wall,
Wherein the tray has a tray tab extending toward the sidewall and facing the upper surface of the sidewall tab and spaced apart from the sidewall tab.
제1항에 있어서,
상기 베이스에는, 상기 기판의 이동방향을 따라 형성되는 가이드레일이 형성되며,
상기 트레이에는, 상기 가이드레일에 의해 안내되는 가이드블록이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
The method according to claim 1,
Wherein a guide rail is formed on the base along a moving direction of the substrate,
Wherein a guide block guided by the guide rail is formed in the tray.
제1항에 있어서,
상기 마그넷열은 상기 베이스의 폭 방향으로 서로 이격되어 복수 개로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
The method according to claim 1,
Wherein the plurality of magnet rows are spaced apart from each other in the width direction of the base.
제2항에 있어서,
상기 구동부와 상기 제1 마그넷 사이에 개재되어 상기 구동부의 승강과 반대방향으로 상기 제1 마그넷을 승강시키는 균형조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
3. The method of claim 2,
Further comprising a balance adjusting unit interposed between the driving unit and the first magnet to move the first magnet in a direction opposite to the elevation direction of the driving unit.
제8항에 있어서,
상기 구동부는,
상기 측벽을 관통하는 샤프트; 및
상기 샤프트의 일단에 결합되며 상기 트레이에 접하는 이송롤러를 포함하며,
상기 균형조절부는,
일단이 상기 샤프트에 결합되는 제1 로드와;
상기 제1 로드에 평행하게 배치되며 일단이 상기 제1 마그넷에 결합되는 제2 로드; 및
중앙부가 회전축에 회전가능하게 결합되며, 양단이 상기 제1 로드 및 상기 제2 로드의 타단에 힌지 결합되는 균형바를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.9. The method of claim 8,
The driving unit includes:
A shaft passing through the side wall; And
And a conveying roller coupled to one end of the shaft and contacting the tray,
Wherein the balance adjuster comprises:
A first rod having one end coupled to the shaft;
A second rod disposed parallel to the first rod and having one end coupled to the first magnet; And
And a balance bar rotatably coupled to the rotary shaft at a central portion thereof and hinged to both ends of the first rod and the second rod at both ends thereof.
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